KR100990185B1 - ＬＣＯＳ Ｐａｎｅｌ 제작을 위한 증착장치 및선경사각제어를 위한 증착지그 - Google Patents

Abstract

본 발명은 소정의 피증착물에 진공 증착을 하기 위해 형성되는 절곡 형상의 앵글지그에 4각 형태로 된 지그홀을 구비하되, 상기 지그홀의 꼭지점 내단부에 각각 받침단을 형성하고, 지그홀 가장자리 소정부에 손잡이단을 형성한 구성에 의해서 상기 지그홀에 피증착물을 안착시킨 후 커버를 덮은 후 다수의 홀이 증착원으로부터 동일 선상의 거리에 위치하도록 제작된 돔형상의 지그 고정장치에 상기 앵글지그를 결합시켜 피증착물의 표면에 소정 물질이 경사 증착되어 특정 경향을 가진 박막이 형성되도록 하는 LCOS Panel 제작을 위한 증착장치 및 선경사각제어를 위한 증착지그에 관한 것으로, 증착지그에 있어서, 특정 경향성을 가질 수 있도록 임의의 각도로 절곡되어 서로 마주보는 2개의 면이 형성되어 있으며, 상기 2개의 면 각각에 지그홀이 구비되어, 그 내부에 피증착물을 안착시킬 수 있도록 하는 앵글지그; 상기 피증착물의 외측면이 증착환경에 노출되지 않도록 상기 지그홀을 개폐할 수 있도록 마련된 커버; 및 상기 앵글지그의 후면 임의의 위치에 마련되어 상기 커버가 앵글지그에 부착, 고정되도록 하는 고정부재를 포함하여 형성된 것을 특징으로 한다.

LCOS Panel, 증착, 선경사각, 앵글지그, 돔형상, 지그 고정장치

Description

ＬＣＯＳ Ｐａｎｅｌ 제작을 위한 증착장치 및 선경사각제어를 위한 증착지그{.}

본 발명은 LCOS Panel 제작을 위한 증착장치 및 선경사각제어를 위한 증착지그에 관한 것이다.

보다 상세하게는 소정의 피증착물에 진공 증착을 하기 위해 형성되는 절곡 형상의 앵글지그에 4각 형태로 된 지그홀을 구비하되, 상기 지그홀의 꼭지점 내단부에 각각 받침단을 형성하고, 지그홀 가장자리 소정부에 손잡이단을 형성한 구성에 의해서 상기 지그홀에 피증착물을 안착시킨 후 커버를 덮은 후 다수의 홀이 증착원으로부터 동일 선상의 거리에 위치하도록 제작된 돔형상의 지그 고정장치에 상기 앵글지그를 결합시켜 피증착물의 표면에 소정 물질이 경사 증착되어 특정 경향을 가진 박막이 형성되도록 하는 LCOS Panel 제작을 위한 증착장치 및 선경사각제어를 위한 증착지그에 관한 것이다.

진공증착은, 고온으로 유지된 증발원과 저온으로 유지된 피증착물 표면 사이 의 포화증기압의 차이를 이용하여 금속 또는 화합물을 고진공 속에서 증발시켜 그 증기를 피증착물 표면에 석출하여 얇은 피막을 형성시키는 표면처리법으로, 어떤 물질이라도 증착 가능하다는 이점 때문에 많은 분야에서 응용 실시되고 있다.

일반적인 진공 증착 구조는, 다수의 피증착물을 동시에 증착시키기 위해 진공증착기 챔버 내에 증발원을 구비하고, 그 상부에 피증착물을 고정한 지그를 설치하며, 상기 증발원을 전기 저항 또는 레이저 빔을 조사하여 가열시키면 증기가 휘산되면서 피증착물에 고착되게 하는 구조를 갖는다.

그러므로 다수의 피증착물의 표면에 고르게 박막을 형성시키기 위함과 특정 목적에 맞는 박막형성을 위하여 다양한 지그가 개발 제공되고 있으며, 좀 더 효과적인 지그를 제작하기 위해 많은 연구 개발이 이루어지고 있다.

본 발명은 좀 더 효과적으로 피증착물의 표면에 특정 경향성을 가진 박막이 일정 각도를 가질 수 있도록 형성시키기 위한 지그의 연구 개발에 부응하여 안출된 것으로 피증착물의 표면에 박막을 형성시기키 위한 지그의 연구 개발에 부응하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 소정의 피증착물에 진공 증착을 하기 위해 형성되는 절곡 형상의 앵글지그에 4각 형태로 된 지그홀을 구비하되, 상기 지그홀의 꼭 지점 내단부에 각각 받침단을 형성하고, 지그홀 가장자리 소정부에 손잡이단을 형성한 구성에 의해서 상기 지그홀에 피증착물을 안착시킨 후 커버를 덮은 후 다수의 홀이 증착원으로부터 동일 선상의 거리에 위치하도록 제작된 돔형상의 지그 고정장치에 상기 앵글지그를 결합시켜 피증착물의 표면에 소정 물질이 경사 증착되어 특정 경향을 가진 박막이 형성되도록 하는 LCOS Panel 제작을 위한 증착장치 및 선경사각제어를 위한 증착지그를 제공하도록 하는 데 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일실시예는 증착지그에 있어서, 특정 경향성을 가질 수 있도록 임의의 각도로 절곡되어 서로 마주보는 2개의 면이 형성되어 있으며, 상기 2개의 면 각각에 지그홀이 구비되어, 그 내부에 피증착물을 안착시킬 수 있도록 하는 앵글지그; 상기 피증착물의 외측면이 증착환경에 노출되지 않도록 상기 지그홀을 개폐할 수 있도록 마련된 커버; 및 상기 앵글지그의 후면 임의의 위치에 마련되어 상기 커버가 앵글지그에 부착, 고정되도록 하는 고정부재를 포함하여 형성된 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명의 다른 실시예는 다수의 피증착물을 동시에 증착시키기 위해 진공증착기 챔버 내에 증발원을 구비하고, 그 상부에 피증착물을 고정한 지그를 설치하며, 상기 증발원을 가열시키면 증기가 휘산되어 피증착물에 고착되어 피증착물의 표면에 박막을 형성시키는 증착장치에 있어서, 탑재된 복수의 피증착물의 표면 에 소정 물질이 경사 증착되어 특정 경향을 가진 박막이 형성되도록 하는 선경사각제어를 위한 증착지그; 및 상기 다수의 지그가 동시에 결합될 수 있는 다수의 홀이 증착원으로부터 동일 선상의 거리에 위치하도록 제작된 돔형상의 지그 고정장치를 포함하여 형성된 것을 특징으로 한다.

상기에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 따른 LCOS Panel 제작을 위한 증착장치 및 선경사각제어를 위한 증착지그는 한꺼번에 다수의 피증착물의 표면에 박막을 형성시킬 수 있을 뿐만 아니라, 특정 경향성을 가질 수 있도록 임의의 각도로 절곡되어 서로 마주보는 2개의 면을 가지는 지그를 이용하여, 탑재된 복수의 피증착물의 표면에 소정 물질이 경사 증착되어 특정 경향을 가진 박막을 형성시킬 수 있도록 하는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 선경사각제어를 위한 증착지그의 구조가 피증착물의 전극부분에 증착물이 코팅되지 않도록 하는 마스킹 구조를 갖도록 하여, 피증착물에 전극을 형성시키기 위한 별도의 마스크를 제거할 수 있도록 하는 효과가 있다.

본 발명은 다수개의 앵글 지그를 결합되는 다수의 홀이 증착원으로부터 동일 선상의 거리에 위치하도록 제작되어, 앵글지그가 증착원으로부터 동일 선상에 위치하게 되어, 증착시 다수개의 피증착물에 대해 그 표면에 형성되는 박막의 두께가 균일하게 형성되는 효과가 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 LCOS Panel 제작을 위한 증착장치 및 선경사각제어를 위한 증착지그에 대해 좀 더 상세히 설명하면 다음과 같다.

(선경사각제어를 위한 증착지그)

본 발명에 따른 선경사각제어를 위한 증착지그(100)는 도 1에 도시된 바와 같이 특정 경향성을 가질 수 있도록 임의의 각도로 절곡되어 서로 마주보는 2개의 면이 형성되어 있으며, 상기 2개의 면 각각에 지그홀(111)이 구비되어, 그 내부에 피증착물을 안착시킬 수 있도록 하는 앵글지그(110)와, 상기 피증착물의 상단이 증착환경에 노출되지 않도록 상기 지그홀을 개폐할 수 있도록 마련된 커버(120)와, 상기 앵글지그(110)의 상단 임의의 위치에 마련되어 상기 커버(120)가 앵글지그(110)에 부착, 고정되도록 하는 고정부재(130)로 이루어진다.

특히 상기 앵글지그(110)는 상기 상단으로부터 내측으로 소정 깊이 함몰되어 피증착물이 삽입 안착될 수 있도록 형성된 피증착물 안착부(112)와, 상기 피증착물 안착부(112)의 연장선상의 소정 위치에 상기 상단으로부터 내측으로 함몰되어 형성된 손잡이단(113)으로 이루어진다.

상기 앵글지그(110)의 피증착물 안착부(112)는 손잡이단(113)이 형성되지 않은 양측 단부에 증착물로부터 피증착물을 보호하기 위한 보호영역(114a)(114b)이 서로 다른 넓이를 가지고 형성되도록 한다. 상기 보호영역은 피증착물에 대해 앵글지그(110)가 마스크로 작용되도록 한다. 즉, 앵글지그(110)는 전극으로 사용하는 부분을 마스킹할 수 있도록 하는 구조적 특징을 가지고 있으며, 피증착물에서 전극이 형성되는 영역은 보호영역(114a)(114b)에 매칭되는 영역이다.

상기 고정부재(130)는 자석으로서, 커버(120)가 앵글지그(110)에 자력으로 부착되어 고정되도록 한다.

한편, 앵글지그(100)에서 2개의 면이 특성 경향성을 가질 수 있도록 임의의 각도로 절곡되어 있다고 하였는데, 이때 상기 특성 경향성은 상기 앵글지그(100)에 의해 피증착물의 일측면에 형성되는 박막은 배향막이라는 의미로 기재된 용어이며, 액정분자 배향 형태는 증착각, 증착속도, 진공도, 기판온도, 막두께 등의 증착조건이나 증착물질 및 액정물질이 다르면 변화한다.

상기와 같이 형성된 선경사각제어를 위한 증착지그의 작용에 대해 설명하면 다음과 같다.

도 1에 도시된 바와 같이 앵글지그(110)의 피증착물 안착부(112)에 피증착 물(140)을 안착시킨 후 커버(120)를 상기 피증착물(140) 상부에 얹으면 자석으로 이루어진 고정부재(130)에 의해 커버(120)가 앵글지그(110)에 부착 고정되어 떨어지지 않는다.

이때, 피증착물 안착부(110)의 4개의 변 중 피증착물(140)의 상하부에 대응되는 변에는 내측으로 상기 피증착물 안착부(110)의 깊이와 동일하게 함몰되어 보호 영역(114a)(114b)이 형성되어 있으며, 나머지 다른 2변에는 외측으로 상기 피증착물 안착부(110)의 깊이와 동일하게 함몰되어 손잡이단(113)이 형성되어 있다. 상기 손잡이단(113)은 상기 피증착물 안착부(110)에 피증착물(140)을 안착시키거나 탈착시킬 때 용이하게 할 수 있도록 한다.

(LCOS Panel 제작을 위한 증착장치)

LCOS Panel 제작을 위한 증착장치는 도 4에 도시된 바와 같이 다수의 피증착물을 동시에 증착시키기 위해 진공증착기 챔버(300) 내에 하부에 구비되는 증발원(310)과, 탑재된 복수의 피증착물의 표면에 소정 물질이 경사 증착되어 특정 경향을 가진 박막이 형성되도록 하는 선경사각제어를 위한 증착지그(100)와, 상기 다수의 선경사각제어를 위한 증착지그(100)가 동시에 결합될 수 있는 다수의 홀(210)이 증착원으로부터 동일 선상의 거리에 위치하도록 제작된 돔형상의 지그 고정장치(200)로 구성된다.

상기 선경사각제어를 위한 증착지그(100)는 도 1에 도시된 바와 같이 특정 경향성을 가질 수 있도록 임의의 각도로 절곡되어 서로 마주보는 2개의 면이 형성되어 있으며, 상기 2개의 면 각각에 지그홀(111)이 구비되어, 그 내부에 피증착물을 안착시킬 수 있도록 하는 앵글지그(110)와, 상기 피증착물의 상단이 증착환경에 노출되지 않도록 상기 지그홀을 개폐할 수 있도록 마련된 커버(120)와, 상기 앵글지그(110)의 상단 임의의 위치에 마련되어 상기 커버(120)가 앵글지그(110)에 부착, 고정되도록 하는 고정부재(130)로 이루어진다.

특히 상기 앵글지그(110)는 상기 상단으로부터 내측으로 소정 깊이 함몰되어 피증착물이 삽입 안착될 수 있도록 형성된 피증착물 안착부(112)와, 상기 피증착물 안착부(112)의 연장선상의 소정 위치에 상기 상단으로부터 내측으로 함몰되어 형성된 손잡이단(113)으로 이루어진다.

상기 앵글지그(110)의 피증착물 안착부(112)는 손잡이단(113)이 형성되지 않은 양측 단부에 증착물로부터 피증착물을 보호하기 위한 보호영역(114a)(114b)이 서로 다른 넓이를 가지고 형성되도록 한다. 상기 보호영역은 피증착물에 대해 앵글지그(110)가 마스크로 작용되도록 한다. 상기 보호영역(114a)(114b)은 증착단계에서 피증착물의 전극영역에 해당되는 부위가 증착원으로 코팅되지 않도록 한다.

상기 고정부재(130)는 자석으로서, 커버(120)가 앵글지그(110)에 자력으로 부착되어 고정되도록 한다.

상기 돔형상의 지그 고정장치(200)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 다수의 홀(210)이 증착원으로부터 동일 선상의 거리에 위치되도록 배열 형성되어 있다. 홀(210)의 후면은 도 2에 도시된 바와 같이 상기 선경사각제어를 위한 증착지그(100)가 결합될 수 있는 구조를 가지고 있으며, 전면은 피증착물이 증착원으로부터 노출되도록 원모양이다. 상기 홀(210)은 중심으로부터 제일 먼저 형성된 제1열은 8개이며 각도는 45ㅀ이고, 제2열은 15개이며 각도는 24ㅀ이며, 제3열은 21개로 17.15ㅀ가 바람직하다.

상기와 같이 형성된 LCOS Panel 제작을 위한 증착장치의 작용에 대해 설명하면 다음과 같다.

선경사각제어를 위한 증착지그(100)에 피증착물(140)을 결합시킨다. 즉 앵글지그(110)의 피증착물 안착부(112)에 피증착물(140)을 안착시킨 후 커버(120)를 상기 피증착물(140) 상부에 얹으면 자석으로 이루어진 고정부재(130)에 의해 커버(120)가 앵글지그(110)에 부착 고정되어 떨어지지 않는다.

상기와 같이 선경사각제어를 위한 증착지그(100)에 피증착물(140)을 증착시킨 후 상기 돔형상의 지그 고정장치(200)의 홀(210)에 상기 선경사각제어를 위한 증착지그(100)를 일일이 삽입 고정시킨다.

돔형상의 지그 고정장치(200)에 선경사각제어를 위한 증착지그(100)를 모두 결합시킨 후 컨베이어와 같은 이동수단을 통해 진공챔버(300)로 이동시킨 후 도 4에 도시된 바와 같이 진공챔버(300)의 상단부에 고정되도록 결합시킨다.

이후 증발원(310)을 가열시키고, 상기 증발원(310)에 구비된 증착원이 증발되어 증기로 휘산되도록 함으로써, 증착원이 피증착물에 고착되어 피증착물 표면에 박막이 형성되도록 한다.

이때, 상기 앵글지그(110)가 피증착물(140)의 표면에 형성되는 박막의 증착각도와 성장각도를 결정하게 되며, 돔형상의 지그 고정장치(200)가 상기 복수의 앵글지그(110)에 탑재된 피증착물의 표면에 형성된 박막의 두께가 균일하게 이루어지도록 한다. 즉, 특정 경향성을 가질 수 있도록 임의의 각도로 절곡되어 서로 마주보는 2개의 면을 가지는 앵글지그(110)는 피증착물의 표면에 소정 물질이 경사 증착되어 특정 경향을 가진 박막을 형성시킬 수 있도록 하며, 상기 돔형상의 지그 고정장치(200)에 형성된 다수의 홀(210)이 증착원으로부터 동일 선상의 거리에 위치되도록 형성, 배열되어 있기 때문에, 상기 홀(210)에 결합된 앵글지그(110) 또한 증착원으로부터 동일 선상의 거리에 위치하게 되며, 이로 인해 복수의 피증착물 표면에 균일한 두께의 박막이 형성된다.

본 발명은 상기 실시예에서 상세히 설명되었지만, 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 선경사각제어를 위한 증착지그의 분해 사시도이다.

도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 돔형상의 지그 고정장치의 전 후면을 도시한 도면이다.

도 4는 본 발명이 적용된 LCOS Panel 제작을 위한 증착장치의 개략도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

100: 선경사각제어를 위한 증착지그

200: 돔형상의 지그 고정장치

300: 진공챔버

Claims (7)

1. 증착지그에 있어서,

   특정 경향성을 가질 수 있도록 임의의 각도로 절곡되어 서로 마주보는 2개의 면이 형성되어 있으며, 상기 2개의 면 각각에 지그홀이 구비되어, 그 내부에 피증착물을 안착시킬 수 있도록 하는 앵글지그;

   상기 피증착물의 상단이 증착환경에 노출되지 않도록 상기 지그홀을 개폐할 수 있도록 마련된 커버; 및

   상기 앵글지그의 상단 임의의 위치에 마련되어 상기 커버가 앵글지그에 부착, 고정되도록 하는 고정부재;

   를 포함하되,

   상기 앵글지그는, 상기 상단으로부터 내측으로 소정 깊이 함몰되어 피증착물이 삽입 안착될 수 있도록 형성된 피증착물 안착부와, 상기 피증착물 안착부의 연장선상의 소정 위치에 상기 상단으로부터 내측으로 함몰되어 형성된 손잡이단,

   을 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 선경사각제어를 위한 증착지그.
2. 삭제
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 앵글지그의 피증착물 안착부는, 손잡이단이 형성되지 않은 양측 단부에 증착물로부터 피증착물을 보호하기 위한 보호영역이 서로 다른 넓이를 가지고 형성되도록 하는 것을 특징으로 하는 선경사각제어를 위한 증착지그.
4. 다수의 피증착물을 동시에 증착시키기 위해 진공증착기 챔버 내에 증발원을 구비하고, 그 상부에 피증착물을 고정한 지그를 설치하며, 상기 증발원을 가열시키면 증기가 휘산되어 피증착물에 고착되어 피증착물의 표면에 박막을 형성시키는 증착장치에 있어서,

   특정 경향성을 가질 수 있도록 임의의 각도로 절곡되어 서로 마주보는 2개의 면이 형성되어 있으며 상기 2개의 면 각각에 지그홀이 구비되어 있는 앵글지그와, 상기 피증착물의 상단이 증착 환경에 노출되지 않도록 상기 지그홀을 개폐할 수 있도록 마련된 커버와, 상기 앵글지그의 상단 임의의 위치에 마련되어 상기 커버가 앵글지그에 부착, 고정되도록 하는 고정부재를 포함하여, 탑재된 복수의 피증착물의 표면에 소정 물질이 경사 증착되어 특정 경향을 가진 박막이 형성되도록 하는 선경사각제어를 위한 증착지그; 및

   상기 다수의 지그가 동시에 결합될 수 있는 다수의 홀이 증착원으로부터 동일 선상의 거리에 위치하도록 제작된 돔형상의 지그 고정장치; 를 포함하되,

   상기 선경사각제어를 위한 증착지그의 앵글지그는, 상기 상단으로부터 내측으로 소정 깊이 함몰되어 피증착물이 삽입 안착될 수 있도록 형성된 피증착물 안착부와, 상기 피증착물 안착부의 연장선상의 소정 위치에 상기 상단으로부터 내측으로 함몰되어 형성된 손잡이단을 포함하여 형성된 것을 특징으로 하는 LCOS Panel 제작을 위한 증착장치.
5. 삭제
6. 삭제
7. 제 4 항에 있어서,

   상기 피증착물 안착부는, 손잡이단이 형성되지 않은 양측 단부에 증착물로부터 피증착물을 보호하기 위한 보호영역이 서로 다른 넓이를 가지고 형성되도록 하는 것을 특징으로 하는 LCOS Panel 제작을 위한 증착장치.

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