KR100899944B1 - 테스트 트레이 이송장치 및 그를 적용한 테스트 핸들러 - Google Patents
테스트 트레이 이송장치 및 그를 적용한 테스트 핸들러 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (12)
- 회전가능한 지지바;상기 지지바에 형성되어 테스트 트레이의 측변에 형성된 홈과 결합할 수 있는 돌출구; 및상기 테스트 트레이의 측변에 형성된 홈이 상기 돌출구와 결합할 수 있는 위치에 위치할 수 있도록 상기 테스트 트레이를 이동시키기 위한 푸싱장치를 포함하여 이루어지며,상기 돌출구가 상기 테스트 트레이의 홈과 결합한 상태에서 상기 지지바가 회전하여 상기 테스트 트레이를 이송하도록 구성된 테스트 트레이 이송장치.
- 삭제
- 제1항에 있어서,상기 테스트 트레이가 이송된 후 상기 테스트 트레이의 측면을 고정하여 상기 테스트 트레이의 위치를 고정하기 위한 위치고정장치를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 이송장치.
- 가열영역 및 테스트영역을 구비한 제1챔버부;상기 제1챔버부의 일측면에 형성되며 냉각영역을 구비한 제2챔버부; 및상기 제1챔버부의 가열영역에서 테스트영역으로 테스트 트레이를 이송함과 더불어 상기 제1챔버부의 테스트영역에서 상기 제2챔버부로 테스트 트레이를 이송하기 위한 테스트 트레이 이송장치를 포함하여 이루어지고,상기 테스트 트레이 이송장치는상기 제1챔버부 및 제2챔버부 내에 형성된 회전가능한 지지바;상기 지지바에 형성되어 테스트 트레이의 측변에 형성된 홈과 결합할 수 있는 돌출구를 포함하여 이루어지며,상기 돌출구가 상기 테스트 트레이의 홈과 결합한 상태에서 상기 지지바가 회전하여 상기 테스트 트레이를 이송하도록 구성된 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 제4항에 있어서,상기 회전가능한 지지바는 상기 제1챔버부 및 제2챔버부의 외측에 형성된 풀리에 연결되어 있고, 상기 풀리는 벨트에 의해 모터부에 연결되어 있어, 상기 모터의 회전에 의해 상기 지지바가 회전하도록 구성된 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 제4항에 있어서,상기 제1챔버부의 내부 측면에는 테스트 트레이를 이동시키기 위한 푸싱장치가 추가로 형성되어 있어, 상기 푸싱장치에 의해 테스트 트레이의 측변에 형성된 홈이 상기 돌출구와 결합할 수 있는 위치에 위치하도록 테스트 트레이가 이동하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 제4항에 있어서,상기 제2챔버부의 내부 측면에는 상기 제1챔버부에서 이송된 테스트 트레이의 측면을 고정하여 테스트 트레이의 위치를 고정하기 위한 위치고정장치가 추가로 형성된 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 제7항에 있어서,상기 위치고정장치는 중심축을 중심으로 회전하는 회전부재, 상기 회전부재의 일단과 연결되는 실린더로드 및 상기 실린더로드를 구동하는 실린더를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 제4항에 있어서,상기 제1챔버부의 가열영역 전방에 형성된 제1버퍼부;상기 제1챔버부의 테스트영역 전방에 형성된 로딩/언로딩부; 및상기 제2챔버부의 전방에 형성된 제2버퍼부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 제9항에 있어서,상기 제1챔버부에서 제2챔버부로 테스트 트레이가 이동할 수 있도록 상기 제1챔버부와 제2챔버부의 경계부에는 소정의 제1개구부 및 상기 제1개구부를 개폐하기 위한 개폐장치가 형성되어 있고,상기 제1버퍼부에서 상기 제1챔버부의 가열영역으로 테스트 트레이가 이동할 수 있도록 상기 제1버퍼부와 마주하는 제1챔버부의 측면에는 소정의 제2개구부 및 상기 제2개구부를 개폐하기 위한 개폐장치가 형성되어 있고,상기 제2챔버부에서 상기 제2버퍼부로 테스트 트레이가 이동할 수 있도록 상기 제2버퍼부와 마주하는 제2챔버부의 측면에는 소정의 제3개구부 및 상기 제3개구부를 개폐하기 위한 개폐장치가 형성되어 있고, 그리고,상기 개폐장치는 실린더, 상기 실린더와 연결되는 실린더 로드, 및 상기 실린더 로드와 연결되는 플레이트로 이루어져, 상기 플레이트가 상승 또는 하강하여 상기 제1개구부, 제2개구부 및 제3개구부를 열거나 닫도록 형성된 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 제4항에 있어서,상기 제1챔버부의 테스트영역 전방에 형성된 로딩/언로딩부를 추가로 포함하고,상기 로딩/언로딩부의 전방 일측에는 테스트할 반도체 소자를 적재하는 로딩스택커가 구비되어 있고,상기 로딩/언로딩부의 전방 타측에는 테스트완료한 반도체 소자를 분리하여 적재하는 언로딩 스택커가 구비되어 있고,상기 로딩/언로딩부와 상기 로딩 스택커 사이 영역, 및 상기 로딩/언로딩부와 상기 언로딩 스택커 사이 영역에는 위치정렬장치가 구비되어 있으며,상기 로딩/언로딩부, 로딩 스택커, 언로딩 스택커 및 위치정렬장치 사이에서 반도체 소자를 이송하기 위해서, Y축 스테이지, 상기 Y축 스테이지에 연결된 X축 스테이지 및 상기 X축 스테이지에 연결된 픽커 유닛으로 이루어진 반도체 소자 이송기구가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 제4항에 있어서,상기 제1챔버부 및 제2챔버부는 한 장의 테스트트레이가 수평상태로 진입하여 공정이 진행되도록 구성된 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
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Family Applications (1)
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