JP4658106B2 - ハンドラー用押しブロック及びこれを備えたハンドラー - Google Patents

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Description

本発明はテストトレイのソケットに電子部品をロードしたり、収納された電子部品をアンロードできるように電子部品を固定するラッチを解放させる押しブロック及びこれを備えたハンドラーに関するものである。
一般的にメモリ、非メモリ半導体素子等の電子部品はパッケージングした後、技能検査を行う。
電子部品は一種のジグ(jig)であるテストトレイに収納されたままハンドラーによりテスト装置に移送される。テスト装置はハンドラーの内部に設けたり、ハンドラーとは別個に構成して設けることができる。また、ハンドラーはテストする電子部品が待機するローディングスタッカー(loading stacker)とテスト済みの電子部品を等級別に分類して収納するアンローディングスタッカー(unloading stacker)を備える。
したがって、ハンドラーの動作はローディングスタッカーから電子部品をテストトレイに移送するロード工程と、テストトレイに収納された電子部品をテストするテスト工程と、テスト済みの電子部品をテストトレイからアンローディングスタッカーでアンロードするアンロード工程を含む。
ハンドラーはロード工程及びアンロード工程のために少なくとも一つの電子部品ピッカーを備える。電子部品ピッカーはハンドラー本体に設けられるガントリー(gantry)に沿って移動可能にガントリーに設けられる。ピッカーは電子部品をローディングスタッカーからピックアップしたり、電子部品をアンローディングスタッカーに載置したり、電子部品をローディングスタッカーからテストトレイにまたはテストトレイからアンローディングスタッカーに移送する。
テストトレイには電子部品が収納されるソケットが行列で配列される。ソケットは収納される電子部品を固定させるラッチを含む。ラッチはソケットに収納される電子部品が外力により離脱しないように電子部品を固定する。また、ラッチが電子部品から解放される時、ソケットから電子部品を取り出すことができる。
従来のピッカーはラッチを押さえてラッチを電子部品から解放させる押しピン(push pin)を備える。押しピンはピッカーのノズルよりさらに突出設されているので、電子部品ピッカーが下降する時ノズルが電子部品に当接する前にソケットに設けられたラッチを開いてピッカーが電子部品をピックアップしたり載置することができるようにする。
しかし、この場合押しピンは電子部品ピッカー別に備えなければならないため、ピッカーのサイズを増加させる。また、電子部品をピックアップしたり収納する必要がない場合にもピッカーは押しピンを常に吊らなければならない問題点がある。
上記の問題点を解決するための通常のテストトレイでは、図1に示したように、ソケットに収納された電子部品からラッチを解放する別の押しブロックを備える。図1を参照すれば、テストトレイ20の各ソケットにはボタン部32と固定部34を含むラッチ30が設けられている。固定部34はソケット25に収納された電子部品を直接押圧して固定させるラッチの一部分であり、ボタン部32はラッチ30に押しピンが当接する所で、押しピンがこちらを押して電子部品からラッチを解放させるラッチの一部分である。
固定部34とボタン部32との間には回転軸(不図示)が形成されていて押しピンがボタン部34の上段を押すと、固定部34が持ち上げられて電子部品から解放される。また、押しピンがボタン部から除去されると、ラッチはトーションスプリングまたはコイルバネの弾性によりラッチが原状回復しながら電子部品を固定する。
したがって、ピッカーがソケット25に電子部品を載置したりピックアップする時、押しピンがラッチ30を解放させてテストトレイ20が移動するようになる。この時ソケット25から電子部品が離脱することを阻止するために、ラッチ30により電子部品を固定している。
押しピン42は押しブロック10に設けられる。図1を参照すれば、押しブロック10は多数の押しピン42が設けられた押し板40と、押し板40を乗降運動させるシリンダーブロック60を備える。押しピン42はテストトレイのソケットに設けられるラッチの数に相応して形成することができる。
押し板40はシリンダーブロック60により乗降する。シリンダーブロック60はシリンダー62と、ピストン及びピストンロッド64から構成される。シリンダー62は交換部の上に設けられる固定フレーム50に設けられており、ピストンロード64はその一端が押し板40に連結されているので、シリンダー62が往復運動すると、押し板40が乗降する。
固定フレーム50は交換部の左右側に対向して配設される一対の固定フレーム50a、50bから構成される。
したがって、シリンダー62が往復運動すると、押し板40が乗降し、押し板40に設けられた押しピン42はソケットのラッチを押圧したり、またはラッチへの押圧を解除する。
ところが、前述の押しブロック10は交換部に位置するテストトレイ20の上に設けられるためにピッカーのピックアンドプレースの動作中、誤りが発生して電子部品がテストトレイ上から離脱したり他のソケット等に挟まれるなどの不良が発生する可能性がある。その場合は維持保守が難しくなるなどの問題がある。また、ピッカーとテストトレイとの間に押しブロック10が形成されるために、ピッカーと押しブロックとの間に干渉が発生して電子部品の離脱が発生する不具合もある。
このようなピッカーと押しブロック10との間の干渉を最小化するためにできるだけ広い固定フレーム50を使用しなければならない。そして、シリンダーブロック60は固定フレーム50だけに設けることが好ましい。この場合、押し板40が大きくなってシリンダーブロック60の数が多くなり、シリンダーブロック60を駆動する動力も増加するようになる。
また、押し板40が広くなれば中央が沈むようになってピーカーのピックアンドプレース動作中に不良をさらに招く。すなわち、押し板40が沈む地点の押しピンがラッチを正しく押さえることができなくてピッカーが電子部品をピックアップできないことがあり得る。
また、押し板40が大きくなれば押し板40の乗降動作をガイドする押し板ガイド70を固定フレーム50にさらに設けなければならない難しさがある。
本発明は、電子部品ピッカーと干渉が発生しない押しブロック及びこれを備えたハンドラーを提供することを目的とする。
本発明の他の目的は、簡単な構造の押しブロック及びこれを備えたハンドラーを提供することにある。
前記目的を達成するために、本発明の好ましい実施形態に係るハンドラー用押しブロックは、ラッチを上に押し上げて電子部品をラッチから解放させる押しピン;押しピンが形成される押し板;水平方向の動力を垂直方向の動力に変換することによって、押し板を垂直方向に移動させる押し板移動装置を含むことを特徴とする。
特に、押し板移動装置は、ハンドラー本体に固設されたシリンダーベース;シリンダーベース上面に固定されたシリンダーとシリンダー内で往復運動するピストンと、ピストンの動力を水平方向に伝達するピストンロッドを含むシリンダーブロック;ピストンロードの動力が伝達される運動方向変換板;運動方向変換板の移動方向を転換させる案内孔が形成された案内板;運動方向変換板の側面に設けられて案内孔に沿って移動する移動ロード;及び押し板を支持して運動方向変換板から垂直方向の力が伝達される支持板を含むことを特徴とする。
一方、本発明の他の好ましい実施形態に係るハンドラーは、電子部品をテストするテスト部;テストする複数の電子部品が置かれるローディングスタッカー;ローディングスタッカー側に配置されてテスト済みの電子部品を等級別に分類して収納するアンローディングスタッカー;電子部品を収納して移動させるテストトレイ;テスト部でテスト済みの電子部品をテストトレイからアンロードし、テストする電子部品をローディングスタッカーから移送してテストトレイにロードする交換部;ローディングスタッカーと交換部との間及び交換部とアンローディングスタッカーとの間を移動して、電子部品を移送する少なくともひとつの電子部品ピッカー;及び交換部の下に配置されてテストトレイに収納された電子部品をテストトレイから解放させる押しピンが形成される押し板と、水平方向の動力を垂直方向の動力に変換することによって、押し板を垂直方向に移動させる押し板移動装置を含む押しブロックを含むことを特徴とする。
本発明によれば、押しブロックがテストトレイの下に配置されて押しブロックとピッカーとの間の干渉が基本的に発生せず、ピッカーのピックアンドプレース動作で誤りが発生する時、維持保守が容易になる。また本発明の押しブロックは水平方向に作用する動力を垂直方向に変換できるようにすることで押しブロックをコンパクトに構成できる。
また本発明は押し板全面を下から支持しながら押圧するために押し板が大きくなっても押し板が部分的に沈む問題を防止でき、テストトレイの位置によって押しピンがラッチを開く程度が変わる不良を防止できる。
以下、添付図面を参照して、本発明の好ましい実施形態について詳細に説明する。
図2は本発明の好ましい実施形態に係るハンドラー用押しブロック120とテストトレイの分解斜視図であり、図3は図2に示したハンドラー用押しブロック120の結合斜視図である。
ハンドラーは電子部品をテストトレイのソケットに収納してテスト装置に提供し、テスト済みの電子部品をテストトレイのソケットからアンロードする。
図2及び図3に示したように、本発明のハンドラー用押しブロック120はテストトレイ20の下に配置される。
テストトレイ20は電子部品を収納して運搬する一種のジグで、複数のソケット110が行列して配列されている。ソケット110は収納される電子部品を固定するラッチを備える。ラッチはソケットに収納される電子部品を固定するラッチの固定部114と、この固定部114を解放させるラッチのボタン部112を含む。固定部114はソケットに収納された電子部品を押さえて固定する。
ボタン部112は固定部114と連動して動くもので、ボタン部112が上方に移動すれば、固定部114も共に上昇してソケットに収納された電子部品から解放される。したがって、本発明のラッチは押しピンがボタン部112を押し上げる時、ラッチが回転する中心を提供する回転軸がボタン部112の一側に形成され、固定部114がボタン部112の他側に形成される。
押しブロック120はラッチを押し上げる押しピン132が設けられる押し板130と押し板130を乗降させる押し板移動装置140を備える。
押し板130には押しピン132がテストトレイのラッチの数だけ形成することができる。また、押しピン132が正確な位置でラッチを押すことができるように、押し板の移動方向を案内する案内ピン134をさらに具備できる。案内ピン134は押し板130から押しピン132よりさらに突設されている。
したがって、押し板130が上昇する時、案内ピン134は押しピン132がラッチのボタン部112に届く前にまずソケット110に形成された案内孔に挿入されながら、押しピン132が正確にラッチのボタン部112を押すことができるようにする。
押しピン132がラッチのボタン部112を上方に押すと、固定部114も共に上昇してラッチが電子部品から解放される。この時ピッカーがソケット110に収納された電子部品をピックアップしたり、空いているソケットに電子部品を載置する。
押し板移動装置140は押し板130の下に配置される。
押し板移動装置140は押し板を支持及び固定する支持板182と、支持板182を上下に運動させる運動方向変換板170と、運動方向変換板170に水平方向に動力を伝達するシリンダーブロック160と、このシリンダーブロック160の水平運動力を垂直方向に変換させる一対の案内板184と、案内板184が固設されるシリンダーベース150を含む。
シリンダーベース150はハンドラーのボディーに固定される。一対の案内板184はシリンダーベース150の長さ方向に沿って延びながら、互いに対向してシリンダーベース150の両側縁に立設される。一対の案内板184間のシリンダーベース150上にシリンダーブロック160が固設されるようになる。
一方、一対の案内板184間には運動方向変換板170が設けられる。運動方向変換板170は四角形のフレームで、その中央に形成された空間部にはシリンダーブロック160が設けられる。そして運動方向変換板170はピストンロード164によりシリンダー162と連結している。
したがって、シリンダーの水平往復運動によって運動方向変換板170も共に往復運動する。
一方、運動方向変換板170の運動方向を水平方向から垂直方向に変換させるために、案内板184には下段から上段に達するように所定の傾斜を成す案内孔185が形成されている。
また、案内孔185に挟まれる移動ロード175が運動方向変換板170の側面に形成される。したがって、シリンダーブロック160により発生した水平運動力が運動方向変換板170に伝達されると、移動ロード175は案内孔185に沿って移動しながら運動方向変換板170の運動方向が水平から垂直に変換される。
移動ロード175が案内孔185内で円滑に摺動するように移動ロード175はベアリング177をさらに具備できる。
一方、案内孔185はその下段と上段にそれぞれ下側係止部188と、上側係止部186をさらに具備できる。したがってこの場合、案内孔185は下側係止部188と上側係止部186、及びその間の傾斜ホール187に区分されることができる。
上側係止部186及び下側係止部188は案内孔185内で移動ロード175が移動を阻止する地点を規定し、移動ロード175が安定して止まっているように固定する役割をする。
また、上側係止部186及び下側係止部188は水平方向に棒状に形成することができるが、この場合、移動ロード175が案内孔185に沿って移動すれば運動方向変換板170が支持板182を安全に押圧するようになる。
案内孔185は案内板184に複数個形成することができ、それによって移動ロード175も複数個であり得る。
運動方向変換板170は垂直方向に支持板182を押す。この支持板182は平板として押し板130を固定支持する。支持板182は押し板130より広い平板であり得る。
図4は移動ロード175が上側係止部186に載置された状態を示す。図5は移動ロード175が下側係止部186に載置した状態を示す。したがって、移動ロード175が図5に示したように案内孔185に沿って下側係止部188に移動すれば、押し板130が案内孔185の高さの差だけ低くなり押しピンがラッチから除去される。そうするとラッチが閉まる。その反対に移動ロード175が案内孔185に沿って上昇すれば、押し板130が案内孔185の高さの差だけ上昇し、押しピンがラッチを押して開く。
本発明は前述のように押しブロックがテストトレイの下に配置されるためにピッカーと押しブロックの干渉が全く発生せず、ピッカーのピックアンドプレース動作で不良が発生する可能性が小さくなる。
図6は本発明に係るソケット110の一例を示した分解斜視図であり、図7及び図8は図6のソケット110作動状態を示した断面図である。図6、図7及び図8に示したように、ソケット110はボタン部112と固定部114を備えるラッチと、このラッチの回転時、回転中心の役割をするヒンジ軸117と、ラッチを原状回復するコイルバネ118を備える。コイルバネ118はボタン部112に所定以上の力が加えられないと、固定部114がソケットに収納された電子部品を押すようにする。
図6に示したように、固定部114及びボタン部112からなるラッチはヒンジ軸117によりソケット110に回動可能に結合される。ヒンジ軸117の外周にはコイルバネ118が外嵌されるので、外力の解除時、固定部114はコイルバネ118により原状回復されるようになる。したがって、図7に示したように、コイルバネの弾性によりラッチが閉まっていると、電子部品をソケットの収納溝119に収納できず、図8に示したように、押しピン132が上昇してボタン部112を押してラッチを開けば、ソケットの収納溝119に電子部品を収納できるようになる。また押しピン132がラッチから除去されると、コイルバネの弾性力によりラッチは原状回復されて閉じる。
しかし、本発明に開示したボタン部112及び固定部114を備えるラッチの作動メカニズムは、図6、図7及び図8に示した構造に限定されない。例えばボタン部112と固定部114が一つの回転軸を中心にシーソー運動をするよう構成することも可能である。
図9は本発明の押しブロックを備えるハンドラーを示す。図9に示したように、本発明の実施形態に係るハンドラー200はローディングスタッカー210と、アンローディングスタッカー220と、テスト部240と、ピッカー250と、交換部230の下に配置される押しブロックを備える。
ローディングスタッカー210はテストする電子部品がユーザートレイに収納されたまま待機する所で、ハンドラーを平面図で見る時、通常、ハンドラー200の前方に配置される。
アンローディングスタッカー220はテスト済みの電子部品が等級別に分類されてユーザートレイに収納される所で、通常、ローディングスタッカー210の横に配置される。
ローディングスタッカー210から移送された電子部品はテストトレイ222に収納され、テストトレイ222に収納された状態でテスト済みの電子部品はアンローディングスタッカー220に移送される。
また、ハンドラーは交換部をさらに具備できる。交換部230はロード及びアンロード作業時、テストトレイが待機する所で、テスト済みの電子部品を収納したテストトレイから電子部品をアンローディングスタッカー220にアンロードすると、アンロードされたテストトレイのその位置にテストする電子部品をローディングスタッカー210から移送してロードする。ローディングスタッカー210と交換部230との間にはローディングバッファー260aをさらに設けることができ、アンローディングスタッカー220と交換部230との間にアンローディングバッファー260bをさらに設けることができる。ローディングバッファー260a及びアンローディングバッファー260bはロード作業及びアンロード作業時、電子部品が少しの間待機する所で、バッファーリングの役割をしてロード作業及びアンロード作業の効率を増加させる。ローディングバッファー260a及びアンローディングバッファー260bはそれぞれ一対で構成することができ、各対はそれぞれ前後進しながら電子部品を一時的に収納できる。ピッカー250は複数のピッカーからなる。すなわち、図9を例に上げて説明すれば、ピッカーはローディングスタッカー210とローディングバッファー260aとの間で移動する第1ローディングピッカー250aと、ローディングバッファー260aと交換部230との間で移動する第2ローディングピッカー250bと、アンローディングスタッカー220とアンローディングバッファー260bとの間で移動する第1アンローディングピッカー250dと、交換部230とアンローディングバッファー260bとの間で移動する第2アンローディングピッカー250cを含むことができる。ピッカーはハンドラーの上部に設けられるx、yガントリーに設けられて移動する。特に、第1ローディングピッカー250a及び第1アンローディングピッカー250dはx、y方向に移動可能に設けられ、第2ローディングピッカー250b及び第2アンローディングピッカー250cはx方向にだけ移動可能に設けられて効率を増大させることができる。
テスト部240は通常ハンドラーの後方部に配置され、複数のチャンバーで構成する。すなわち、テスト部240は電子部品を所定の温度に加熱する加熱チャンバーと、電子部品をテストするテストチャンバーと、テスト済みの電子部品を冷却させる冷却チャンバーから構成することができる。電子部品はテストトレイに収納されたまま加熱チャンバー、テストチャンバー及び冷却チャンバーを順次に移動する。
上述の本発明の押しブロックは交換部230の下に配置される。したがって、テストトレイに電子部品がロード及びアンロードされるために交換部に待機する時、押しブロックが上昇してテストトレイに設けられるソケットのラッチを開いて、電子部品がソケットにロード及びアンロードされるようにする。また、押しブロックが下降してラッチが閉じると、ラッチはソケットに収納される電子部品を固定してテストトレイがテスト部に移動する時、電子部品がテストトレイから離脱することを防止する。押しブロックの構造及び動作は上で説明したところと同様である。
本発明によれば、押しブロックがテストトレイの下に配置されて、押しブロックとピッカー間の干渉が基本的に発生せず、ピッカーのピックアンドプレース動作で誤りが発生する時、維持保守が容易になる。また本発明の押しブロックは水平方向に作用する動力を垂直方向に変換できるようにすることで押しブロックをコンパクトに構成できる。したがって、本発明の産業利用性はきわめて高いものといえる。
一方、本明細書内で本発明をいくつかの好ましい実施形態によって記述したが、当業者ならば、添付の特許請求の範囲に開示した本発明の範疇及び思想から外れずに、多くの変形及び修正がなされ得ることがわかるはずである。
従来のハンドラーに備わった押しブロックの斜視図である。 本発明の実施形態に係るハンドラー用押しブロックとテストトレイを示した分解斜視図である。 図2に示したハンドラー用押しブロックの結合斜視図である。 図2に示したハンドラー用押しブロック動作を示す断面図で、押しピンが上昇した時の図面である 図2に示したハンドラー用押しブロック動作を示す断面図で、押しピンが下降した時の図面である。 図2に示したテストトレイに設けられるソケットの分解斜視図である。 図6に示したソケットの作動を示す断面図で、ラッチが閉まっている状態を示す図面である。 図6に示したソケットの作動を示す断面図で、ラッチが開いている状態を示す図面である。 本発明のハンドラー用押しブロックを備えるハンドラーを示した平面図である。
符号の説明
20 テストトレイ
25、110 ソケット
112 ボタン部
114 固定部
118 コイルバネ
120 押しブロック
130 押し板
132 押しピン
134 案内ピン
140 押し板移動装置
150 シリンダーベース
160 シリンダーブロック
164 ピストンロード
170 運動方向変換板
175 移動用ロード
182 支持板
184 案内板
185 案内孔
186 上側係止部
187 傾斜部
188 下側係止部
210 ローディングスタッカー
220 アンローディングスタッカー
222 テストトレイ
230 交換部
240 テスト部
250 ピッカー

Claims (16)

  1. テストトレイ、前記テストトレイに行列で配列され、電子部品を収納するソケット、前記ソケットに収納された電子部品を固定するラッチを含むハンドラー用押しブロックにおいて、
    前記テストトレイの下から前記ラッチを上方に押して電子部品を前記ラッチから解放する押しピン;
    前記押しピンが形成される押し板;及び
    前記押し板の下に配置されており、水平方向の動力を伝達され、垂直方向に移動する時、前記押し板を垂直方向に移動させる運動方向変換板と、前記運動方向変換板の両側面に形成された移動ロードと、前記運動方向変換板の水平方向移動時、前記運動方向変換板を垂直方向に移動させるように前記移動ロードを案内する案内孔が形成された案内板とを含む押し板移動装置を含むことを特徴とする押しブロック。
  2. 前記押し板移動装置は、
    前記ハンドラー本体に固設されたシリンダーベース;
    前記シリンダーベースの表面に固定されたシリンダーと、前記シリンダーの水平方向の動力を前記運動方向変換板に伝達するピストンロードを含むシリンダーブロック;及び
    前記押し板を支持し、前記運動方向変換板から垂直方向の力が伝達される支持板をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の押しブロック。
  3. 前記移動ロードの一端には前記案内孔に沿って移動するベアリングがさらに設けられることを特徴とする請求項2に記載の押しブロック。
  4. 前記案内孔は下段から上段に達するように所定の傾斜をなすことを特徴とする請求項3に記載の押しブロック。
  5. 前記案内孔の上側及び下側には、それぞれ上側係止部と下側係止部がさらに形成されることを特徴とする請求項4に記載の押しブロック。
  6. 前記案内板は前記運動方向変換板の両側面に対向して配設される一対の板であることを特徴とする請求項2に記載の押しブロック。
  7. 前記押し板は、
    前記支持板の上昇時、前記押しピンが前記ラッチを定位置から押すことができるように前記テストトレイに形成された案内孔に挿入される案内ピンをさらに備えることを特徴とする請求項2に記載の押しブロック。
  8. 前記シリンダーブロックは前記一対の案内板の間に形成されることを特徴とする請求項6に記載の押しブロック。
  9. 電子部品をテストするテスト部;
    テストする複数の電子部品が待機するローディングスタッカー;
    前記ローディングスタッカーの一側に配置され、テスト済みの電子部品を等級別に分類して収納するアンローディングスタッカー;
    前記電子部品を収納して移動させ、前記電子部品を収納するソケット、前記ソケットに収納された電子部品を固定するラッチを備えるテストトレイ;
    前記テスト部でテスト済みの電子部品を前記テストトレイからアンロードし、テストする電子部品を前記ローディングスタッカーから移送して前記テストトレイにロードする交換部;
    前記ローディングスタッカーと前記交換部との間及び前記交換部と前記アンローディングスタッカーとの間で移動し、前記電子部品を移送する少なくとも一つの電子部品ピッカー;及び
    前記交換部の下に配置されて前記テストトレイに収納された電子部品を前記テストトレイの下から前記ラッチを上方に押して電子部品を前記ラッチから解放する押しピンが形成される押し板と、水平方向の動力を垂直方向の動力に変換することによって前記押し板を垂直方向に移動させる押し板移動装置を含む押しブロックを含み、
    前記押し板移動装置は、
    前記押し板の下に配置されており、水平方向の動力を伝達され、垂直方向に移動する時、前記押し板を垂直方向に移動させる運動方向変換板と、前記運動方向変換板の両側面に形成された移動ロードと、前記運動方向変換板の水平方向移動時、前記運動方向変換板を垂直方向に移動させるように前記移動ロードを案内する案内孔が形成された案内板とを含むことを特徴とするハンドラー。
  10. 前記押し板移動装置は、
    前記ハンドラー本体に固設されたシリンダーベース;
    前記シリンダーベースの表面に固定されたシリンダーと、前記シリンダーの水平方向の動力を前記運動方向変換板に伝達するピストンロードを含むシリンダーブロック;及び
    前記押し板を支持し、前記運動方向変換板から垂直方向の力が伝達される支持板をさらに含むことを特徴とする請求項9に記載のハンドラー
  11. 前記移動ロードの一端には前記案内孔に沿って移動するベアリングがさらに設けられることを特徴とする請求項10に記載のハンドラー
  12. 前記案内孔は下段から上段に達するように所定の傾斜をなすことを特徴とする請求項10に記載のハンドラー
  13. 前記案内孔の上側及び下側には、それぞれ上側係止部と下側係止部がさらに形成されることを特徴とする請求項12に記載のハンドラー
  14. 前記案内板は前記運動方向変換板の両側面に対向して配設される一対の板であることを特徴とする請求項10に記載のハンドラー
  15. 前記押し板は、
    前記支持板の上昇時、前記押しピンが前記ラッチを定位置から押すことができるように前記テストトレイに形成された案内孔に挿入される案内ピンをさらに備えることを特徴とする請求項10に記載のハンドラー
  16. 前記シリンダーブロックは前記一対の案内板の間に形成されることを特徴とする請求項14に記載のハンドラー
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