JP4658106B2 - ハンドラー用押しブロック及びこれを備えたハンドラー - Google Patents
ハンドラー用押しブロック及びこれを備えたハンドラー Download PDFInfo
- Publication number
- JP4658106B2 JP4658106B2 JP2007247496A JP2007247496A JP4658106B2 JP 4658106 B2 JP4658106 B2 JP 4658106B2 JP 2007247496 A JP2007247496 A JP 2007247496A JP 2007247496 A JP2007247496 A JP 2007247496A JP 4658106 B2 JP4658106 B2 JP 4658106B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- push
- electronic component
- handler
- latch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 74
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 22
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 3
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims 1
- 239000000872 buffer Substances 0.000 description 6
- 239000012160 loading buffer Substances 0.000 description 6
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2893—Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
25、110 ソケット
112 ボタン部
114 固定部
118 コイルバネ
120 押しブロック
130 押し板
132 押しピン
134 案内ピン
140 押し板移動装置
150 シリンダーベース
160 シリンダーブロック
164 ピストンロード
170 運動方向変換板
175 移動用ロード
182 支持板
184 案内板
185 案内孔
186 上側係止部
187 傾斜部
188 下側係止部
210 ローディングスタッカー
220 アンローディングスタッカー
222 テストトレイ
230 交換部
240 テスト部
250 ピッカー
Claims (16)
- テストトレイ、前記テストトレイに行列で配列され、電子部品を収納するソケット、前記ソケットに収納された電子部品を固定するラッチを含むハンドラー用押しブロックにおいて、
前記テストトレイの下から前記ラッチを上方に押して電子部品を前記ラッチから解放する押しピン;
前記押しピンが形成される押し板;及び
前記押し板の下に配置されており、水平方向の動力を伝達され、垂直方向に移動する時、前記押し板を垂直方向に移動させる運動方向変換板と、前記運動方向変換板の両側面に形成された移動ロードと、前記運動方向変換板の水平方向移動時、前記運動方向変換板を垂直方向に移動させるように前記移動ロードを案内する案内孔が形成された案内板とを含む押し板移動装置を含むことを特徴とする押しブロック。 - 前記押し板移動装置は、
前記ハンドラー本体に固設されたシリンダーベース;
前記シリンダーベースの表面に固定されたシリンダーと、前記シリンダーの水平方向の動力を前記運動方向変換板に伝達するピストンロードとを含むシリンダーブロック;及び
前記押し板を支持し、前記運動方向変換板から垂直方向の力が伝達される支持板をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の押しブロック。 - 前記移動ロードの一端には前記案内孔に沿って移動するベアリングがさらに設けられることを特徴とする請求項2に記載の押しブロック。
- 前記案内孔は下段から上段に達するように所定の傾斜をなすことを特徴とする請求項3に記載の押しブロック。
- 前記案内孔の上側及び下側には、それぞれ上側係止部と下側係止部がさらに形成されることを特徴とする請求項4に記載の押しブロック。
- 前記案内板は前記運動方向変換板の両側面に対向して配設される一対の板であることを特徴とする請求項2に記載の押しブロック。
- 前記押し板は、
前記支持板の上昇時、前記押しピンが前記ラッチを定位置から押すことができるように前記テストトレイに形成された案内孔に挿入される案内ピンをさらに備えることを特徴とする請求項2に記載の押しブロック。 - 前記シリンダーブロックは前記一対の案内板の間に形成されることを特徴とする請求項6に記載の押しブロック。
- 電子部品をテストするテスト部;
テストする複数の電子部品が待機するローディングスタッカー;
前記ローディングスタッカーの一側に配置され、テスト済みの電子部品を等級別に分類して収納するアンローディングスタッカー;
前記電子部品を収納して移動させ、前記電子部品を収納するソケット、前記ソケットに収納された電子部品を固定するラッチを備えるテストトレイ;
前記テスト部でテスト済みの電子部品を前記テストトレイからアンロードし、テストする電子部品を前記ローディングスタッカーから移送して前記テストトレイにロードする交換部;
前記ローディングスタッカーと前記交換部との間及び前記交換部と前記アンローディングスタッカーとの間で移動し、前記電子部品を移送する少なくとも一つの電子部品ピッカー;及び
前記交換部の下に配置されて前記テストトレイに収納された電子部品を前記テストトレイの下から前記ラッチを上方に押して電子部品を前記ラッチから解放する押しピンが形成される押し板と、水平方向の動力を垂直方向の動力に変換することによって前記押し板を垂直方向に移動させる押し板移動装置を含む押しブロックを含み、
前記押し板移動装置は、
前記押し板の下に配置されており、水平方向の動力を伝達され、垂直方向に移動する時、前記押し板を垂直方向に移動させる運動方向変換板と、前記運動方向変換板の両側面に形成された移動ロードと、前記運動方向変換板の水平方向移動時、前記運動方向変換板を垂直方向に移動させるように前記移動ロードを案内する案内孔が形成された案内板とを含むことを特徴とするハンドラー。 - 前記押し板移動装置は、
前記ハンドラー本体に固設されたシリンダーベース;
前記シリンダーベースの表面に固定されたシリンダーと、前記シリンダーの水平方向の動力を前記運動方向変換板に伝達するピストンロードとを含むシリンダーブロック;及び
前記押し板を支持し、前記運動方向変換板から垂直方向の力が伝達される支持板をさらに含むことを特徴とする請求項9に記載のハンドラー。 - 前記移動ロードの一端には前記案内孔に沿って移動するベアリングがさらに設けられることを特徴とする請求項10に記載のハンドラー。
- 前記案内孔は下段から上段に達するように所定の傾斜をなすことを特徴とする請求項10に記載のハンドラー。
- 前記案内孔の上側及び下側には、それぞれ上側係止部と下側係止部がさらに形成されることを特徴とする請求項12に記載のハンドラー。
- 前記案内板は前記運動方向変換板の両側面に対向して配設される一対の板であることを特徴とする請求項10に記載のハンドラー。
- 前記押し板は、
前記支持板の上昇時、前記押しピンが前記ラッチを定位置から押すことができるように前記テストトレイに形成された案内孔に挿入される案内ピンをさらに備えることを特徴とする請求項10に記載のハンドラー。 - 前記シリンダーブロックは前記一対の案内板の間に形成されることを特徴とする請求項14に記載のハンドラー。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060092269A KR100839665B1 (ko) | 2006-09-22 | 2006-09-22 | 핸들러용 전자부품 고정해제 장치 및 이를 구비한 핸들러 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008076400A JP2008076400A (ja) | 2008-04-03 |
JP4658106B2 true JP4658106B2 (ja) | 2011-03-23 |
Family
ID=38616353
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007247496A Expired - Fee Related JP4658106B2 (ja) | 2006-09-22 | 2007-09-25 | ハンドラー用押しブロック及びこれを備えたハンドラー |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080074120A1 (ja) |
EP (1) | EP1903344A1 (ja) |
JP (1) | JP4658106B2 (ja) |
KR (1) | KR100839665B1 (ja) |
CN (1) | CN100587495C (ja) |
TW (1) | TWI380394B (ja) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101028774B1 (ko) * | 2008-11-13 | 2011-04-14 | 미래산업 주식회사 | 테스트 트레이 랫치 해제 유닛 |
KR101304274B1 (ko) * | 2008-12-31 | 2013-09-26 | (주)테크윙 | 테스트 핸들러의 픽앤플레이스장치 |
TWI401766B (zh) * | 2009-03-23 | 2013-07-11 | Evertechno Co Ltd | 試驗處理機及其零件移送方法 |
KR101499573B1 (ko) * | 2010-06-16 | 2015-03-10 | (주)테크윙 | 테스트핸들러에서의 반도체소자 언로딩방법 |
US20120249175A1 (en) * | 2011-03-31 | 2012-10-04 | Electro Scientific Industries, Inc. | Conveyor-mountable carrier for electronic device testing |
KR101227773B1 (ko) * | 2011-07-05 | 2013-01-29 | 세크론 주식회사 | 테스트 핸들러용 래치 개방 장치 |
JP2013145132A (ja) * | 2012-01-13 | 2013-07-25 | Advantest Corp | ハンドラ装置、試験方法 |
KR101748256B1 (ko) * | 2014-03-25 | 2017-06-16 | 가부시키가이샤 어드밴티스트 | 핸들러 장치, 핸들러 장치의 조정 방법 및 시험 장치 |
KR102312865B1 (ko) * | 2015-06-25 | 2021-10-14 | 세메스 주식회사 | 커스터머 트레이 로딩 유닛 |
CN107052742A (zh) * | 2017-02-27 | 2017-08-18 | 桂林电子科技大学 | 一种符合动作经济原理的大型加工件脚踏式物料供给装置 |
KR102606650B1 (ko) * | 2018-04-23 | 2023-11-27 | (주)테크윙 | 픽커 팁 교환 장치 |
CN110010568B (zh) * | 2019-04-16 | 2020-11-27 | 常州信息职业技术学院 | 微电子封装结构 |
TWI726555B (zh) * | 2019-12-27 | 2021-05-01 | 致茂電子股份有限公司 | 下壓頭鎖定機構、及具備該機構之電子元件檢測設備 |
KR102209062B1 (ko) * | 2020-03-03 | 2021-01-28 | 팸텍주식회사 | 반도체 소자 테스트 소켓의 래치 개폐 제어 장치 |
KR102554635B1 (ko) * | 2021-04-12 | 2023-07-13 | (주)이즈미디어 | 카메라 모듈 검사용 소켓 개방장치 |
CN114054385B (zh) * | 2021-11-11 | 2024-02-09 | 四川和恩泰半导体有限公司 | 全自动双头晶片测试机 |
CN116298828B (zh) * | 2023-05-15 | 2023-10-13 | 合肥联宝信息技术有限公司 | 一种fct半自动测试机构 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62201377A (ja) * | 1986-02-28 | 1987-09-05 | Nippon Eng Kk | レ−ザのエ−ジング装置におけるプロ−ブ配設機構 |
JPH065676A (ja) * | 1992-06-23 | 1994-01-14 | Hitachi Ltd | Icハンドラ |
JPH11165847A (ja) * | 1997-12-05 | 1999-06-22 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | Icデバイス反転装置 |
JP2002257900A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-11 | Advantest Corp | 試験用電子部品搬送媒体、電子部品試験装置および試験方法 |
WO2004095039A1 (ja) * | 2003-04-23 | 2004-11-04 | Advantest Corporation | 電子部品ハンドリング装置用インサート、トレイおよび電子部品ハンドリング装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR950006721B1 (ko) * | 1991-10-26 | 1995-06-21 | 주식회사코오롱 | 에스테르 반응관 |
JP3097017B2 (ja) * | 1994-01-31 | 2000-10-10 | 株式会社ダイトー | Icハンドラーのキャリア構造 |
KR19980069436A (ko) * | 1997-02-28 | 1998-10-26 | 김광호 | 테스트 핸들러의 캐리어 |
KR20000065297A (ko) * | 1999-04-01 | 2000-11-06 | 정문술 | 핸들러의 헤드핀 구조 |
KR100298536B1 (ko) * | 1999-05-01 | 2001-09-26 | 정문술 | 테스트 핸들러의 캐리어 모듈 |
US6636060B1 (en) * | 1999-07-16 | 2003-10-21 | Advantest Corporation | Insert for electric devices testing apparatus |
US6626682B2 (en) * | 2001-09-13 | 2003-09-30 | Earl W. Sausen | Integrated circuit device socket |
KR100432355B1 (ko) * | 2001-11-17 | 2004-05-22 | 미래산업 주식회사 | 반도체 소자 테스트 핸들러의 테스트 트레이의 소자탈부착장치 |
-
2006
- 2006-09-22 KR KR1020060092269A patent/KR100839665B1/ko active IP Right Grant
-
2007
- 2007-09-18 EP EP07116691A patent/EP1903344A1/en not_active Withdrawn
- 2007-09-20 US US11/858,560 patent/US20080074120A1/en not_active Abandoned
- 2007-09-21 TW TW096135560A patent/TWI380394B/zh not_active IP Right Cessation
- 2007-09-24 CN CN200710151320A patent/CN100587495C/zh active Active
- 2007-09-25 JP JP2007247496A patent/JP4658106B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62201377A (ja) * | 1986-02-28 | 1987-09-05 | Nippon Eng Kk | レ−ザのエ−ジング装置におけるプロ−ブ配設機構 |
JPH065676A (ja) * | 1992-06-23 | 1994-01-14 | Hitachi Ltd | Icハンドラ |
JPH11165847A (ja) * | 1997-12-05 | 1999-06-22 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | Icデバイス反転装置 |
JP2002257900A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-11 | Advantest Corp | 試験用電子部品搬送媒体、電子部品試験装置および試験方法 |
WO2004095039A1 (ja) * | 2003-04-23 | 2004-11-04 | Advantest Corporation | 電子部品ハンドリング装置用インサート、トレイおよび電子部品ハンドリング装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008076400A (ja) | 2008-04-03 |
TW200828486A (en) | 2008-07-01 |
TWI380394B (en) | 2012-12-21 |
US20080074120A1 (en) | 2008-03-27 |
KR100839665B1 (ko) | 2008-06-19 |
CN101149394A (zh) | 2008-03-26 |
EP1903344A1 (en) | 2008-03-26 |
KR20080026972A (ko) | 2008-03-26 |
CN100587495C (zh) | 2010-02-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4658106B2 (ja) | ハンドラー用押しブロック及びこれを備えたハンドラー | |
US7557564B2 (en) | Test handler comprising at least one opening unit opening one part of the plurality of inserts | |
KR100748482B1 (ko) | 반도체 소자 테스트 핸들러 | |
KR20100033938A (ko) | 프로브 장치 | |
US7235991B2 (en) | Insert having independently movable latch mechanism for semiconductor package | |
JP2005003663A (ja) | 半導体素子テストハンドラの素子収容装置 | |
JP2854276B2 (ja) | 半導体素子テスト用のトレーユニット | |
JPH11297791A (ja) | トレイ移送アーム及びこれを用いたトレイの移載装置、ic試験装置並びにトレイの取り廻し方法 | |
JP2009236915A (ja) | テストトレイ用インサート開放ユニット及びこれを用いた半導体素子の装着方法 | |
US20110199113A1 (en) | Insert containing apparatus for semiconductor package | |
JPWO2007083356A1 (ja) | 電子部品試験装置及び電子部品の試験方法 | |
KR100792729B1 (ko) | 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈 | |
TWI767536B (zh) | 測試托盤以及電子部件測試用分選機 | |
KR100894734B1 (ko) | 전자부품 수납 장치 및 이를 구비한 전자부품 테스트용핸들러 | |
US6873169B1 (en) | Carrier module for semiconductor device test handler | |
JP2000329809A (ja) | 電子部品基板の試験装置および試験方法 | |
KR100835246B1 (ko) | 캐리어 모듈, 그를 포함하는 테스트 핸들러, 및 그를이용한 반도체 소자 제조방법 | |
KR100795490B1 (ko) | 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈 | |
KR100899927B1 (ko) | 캐리어모듈 개방장치, 그를 포함하는 테스트 핸들러, 및그를 이용한 반도체 소자 제조방법 | |
KR100610778B1 (ko) | 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈 | |
KR100945215B1 (ko) | 테스트 핸들러 | |
JP4044063B2 (ja) | 半導体素子テストハンドラ用キャリアモジュール | |
KR100924915B1 (ko) | 로테이터, 그를 포함하는 테스트 핸들러, 및 그를 이용한반도체 소자 제조방법 | |
KR100577756B1 (ko) | 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈 | |
KR200389391Y1 (ko) | 반도체칩캐리어 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100804 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100810 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101110 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101126 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101222 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140107 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |