KR100262266B1 - 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어모듈 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 소자의 테스트시 반도체 소자를 테스트 트레이(test tray)상에 실어 반송하기 위해 사용되고, 반도체 소자를 수용하여 테스트 트레이에 유지시키는 반도체 소자테스트용 테스트트레이의 캐리어모듈(carrier moudle)에 관한 것으로 소자의 상면을 지지하는 지지돌기를 탄성부재에 일체로 형성하여 본체로부터 독립적으로 작동할 수 있도록 한 것이다.

이를 위해, 본 발명은 일면에 소자(8)가 수용되는 캐비티(17)가 형성된 본체(16)와, 상기 캐비티와 통하여지게 본체에 형성된 체결홈(18)내에 대향 설치되어 걸림수단에 의해 본체에 고정되며, 일측으로는 소자를 눌러주는 지지돌기(23)가 형성되고 지지돌기의 직하방으로는 아암(24)이 일체로 형성되어 걸림수단과 지지돌기가 고리부(25)에 의해 연결된 탄성력이 양호한 재질의 소자 지지부재(20)와, 상기 소자 지지부재의 아암에 접속되게 본체의 삽입공(26)내에 설치된 버튼(19)으로 구성되어 있어 캐리어모듈(6)을 장기간 사용하더라도 소자(8)의 지지정도를 항상 일정하게 유지시킬 수 있게 되고, 캐리어모듈을 테스트 트레이에 뒤집어 장착하여 소자를 캐리어모듈에 매달은 상태로 공정간 이송가능하게 된다.

Description

반도체 소자테스트용 테스트트레이의 캐리어모듈

본 발명은 반도체 소자의 테스트시 반도체 소자를 테스트 트레이(test tray)상에 실어 반송하기 위해 사용되고, 반도체 소자를 수용하여 테스트 트레이에 유지시키는 반도체 소자테스트용 테스트트레이의 캐리어모듈(carrier moudle)에 관한 것이다.

근래에는 부품의 경박단소화 추세에 따라 반도체 소자(이하 "소자"라 함) 또한 그 두께가 점진적으로 얇아지고 있는데, 그 중 대표적인 소자가 TSOP(Thin Small Outline Package)이다.

상기 TSOP는 그 두께가 약 1mm정도로써, 제조공정에서 생산완료하여 성능을 검사하는 테스트공정간에 취급부주의 등으로 상면 또는 하면에 충격을 가할 경우 소자의 특성이 저하되고, 가해지는 충격이 심한 경우에는 몰딩된 칩(Chip)이 파손되므로 핸들러(handler)내부에서의 이송간 또는 테스트중 소자에 충격이 가해지지 않도록 세심한 주의를 하여야 된다.

이러한 TSOP는 도 1에 나타낸 바와 같은 금속재의 테스트 트레이(1)에 실려져 테스트공정간에 이송된다.

상기 테스트 트레이(1)는 4각틀형태의 프레임(2)에 복수개의 살(3)이 등간격으로 평행하게 형성되어 있고 이들 살의 양측 및 상기 살과 대향하는 프레임(2)의 변(2a)(2b)에는 각각 장치편(4)이 등간격으로 돌출 형성되어 있으며, 상기 살(3) 또는 변(2a)(2b)사이와, 2개의 장치편(4)에 의해 약 64개의 캐리어모듈 수납부(5)가 테스트 트레이(1)에 구비된다.

상기 각 캐리어모듈 수납부(5)에는 소자가 실려지는 캐리어모듈(6)이 파스너(7)에 의해 플로팅상태로 장착된다.

첨부도면 도 2는 종래 캐리어모듈의 일 실시예를 나타낸 사시도이고 도 3은 도 2의 A - A선 단면도로써, 캐리어모듈(6)의 상부에 소자(8)가 안착되는 캐비티(Cavity)(9)가 형성되어 있고 상기 캐비티의 양측으로는 소자의 리드(8a)가 하방으로 노출되도록 길다랗게 장홈(10)이 형성되어 있으며, 캐리어모듈(6)의 양측부분에 형성된 날개편(11)에는 소자(8)의 로딩시 캐리어모듈의 위치를 결정하는 위치결정홈(12)과, 상기 캐리어모듈(6)을 테스트 트레이(1)에 파스너(7)로 장착하기 위한 체결공(13)이 형성되어 있다.

따라서 상기한 구조의 캐리어모듈(6)을 테스트 트레이(1)에 복수개 결합시킨 상태에서 이송수단에 의해 테스트 트레이(1)를 소자(8)의 로딩위치로 이송시키면 카세트내에 담겨져 있던 소자를 별도의 소자 흡착수단이 흡착하여 테스트 트레이(1)의 상부로 이송되어와 소자의 흡착력을 해제하므로써 흡착패드에 흡착되어 있던 소자가 자중에 의해 캐리어모듈(6)의 캐비티(9)내에 얹혀지게 되므로 소자의 리드(8a)가 캐비티(9)의 양측으로 길게 형성된 장홈(10)을 통해 하방으로 노출된다.

그 후, 이송수단에 의해 테스트 트레이(1)가 소자의 테스트부로 이송된 상태에서 절연체(도시는 생략함)가 테스트 트레이의 상부로부터 내려와 소자의 리드를 눌러줌과 동시에 테스트핀(도시는 생략함)이 장홈(10)을 통해 상승되어 소자의 리드(8a)와 접속되면 리드(8a)와 테스트핀이 전기적으로 통하여지게 되므로 CPU(중앙처리장치)에서 소자의 전기적 특성을 테스트하게 된다.

그러나 이러한 종래의 테스트 트레이(1)의 캐리어모듈(6)에 형성된 캐비티(9)의 크기는 소자(2)의 용이한 로딩을 위해 소자의 길이방향 폭(L)보다 길게 형성되므로 인해 소자 흡착수단이 소자(2)를 흡착하여와 캐비티(9)의 상부에서 소자를 자유 낙하시켜 캐비티(9)내에 로딩시킬 때 도 3에 도시한 바와 같이 소자(2)가 캐비티(9)내에 정확히 로딩되지 않는 경우가 빈번히 발생되었다.

만약, 이러한 상태에서 테스트부에서 테스트를 실시하면 테스트핀이 리드와 정확히 접속되지 않게 되므로 양품의 소자를 불량품으로 판정하는 치명적인 문제점을 나타낸다.

또한, 소자(8)가 캐비티(9)내에 정확히 로딩되었더라도 테스트 트레이(1)의 이송시 진동 등에 의해 테스트 트레이에 충격이 가해질 경우에는 소자(8)가 단순히 캐리어모듈(6)의 캐비티(9)내에 얹혀져 있으므로 소자의 정위치가 벗어나게 되고, 이에 따라 전술한 바와 같은 문제점을 야기시키게 된다.

도 4a 내지 도 4d는 종래 캐리어모듈의 다른 실시예를 나타낸 사시도로써, 전술한 일 실시예와 같은 캐리어모듈(6)의 문제점을 해결하기 위해 개발된 것이다.

그 구성을 살펴보면, 캐리어모듈(6)에 형성된 캐비티(9)의 양측으로 한쌍의 래치(14)가 캐비티로부터 좌우로 이동가능하게 일체 형성되어 있다.

이러한 구조의 래치(14)는 캐비티(9)의 저면에서 상방으로 일체 형성되어 캐리어모듈(6)의 재질인 수지재의 탄성력을 이용하여 소자(8)를 캐비티(9)내에 수용할 때, 또는 캐비티(9)로부터 꺼낼 때 소자(8)를 흡착하는 소자 흡착수단과 동시에 이동하는 래치 해방기구(15)에 의해 2개의 래치(14)가 양측으로 동시에 벌려진 상태에서 소자(8)를 캐비티내에 수용하거나, 캐비티내에 수용되어 있던 소자를 꺼내게 된다.

만약, 캐비티(9)내에 소자(8)를 로딩하고 상기 래치 해방기구(15)가 래치(14)로부터 이탈되면 래치(14)가 자체 탄성력에 의해 초기상태로 환원되어 캐리어모듈에 로딩된 소자(8)의 상면을 눌러주게 되므로 테스트 트레이(1)가 공정간에 이송시 캐리어모듈에 로딩된 소자(8)의 위치가 가변되지 않는다.

그러나 이러한 구조의 캐리어모듈(6) 또한 래치(14)가 수지물인 몸체와 일체로 형성되므로 인해 반복사용시 래치의 복원력이 떨어지게 되므로 수명이 매우 짧은 결점을 갖는다.

본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 소자의 상면을 지지하는 지지돌기를 탄성부재에 일체로 형성하여 본체로부터 독립적으로 작동할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 일면에 소자가 수용되는 캐비티가 형성된 본체와, 상기 캐비티와 통하여지게 본체에 형성된 체결홈내에 대향 설치되어 걸림수단에 의해 본체에 고정되며, 일측으로는 소자를 눌러주는 지지돌기가 형성되고 지지돌기의 직하방으로는 아암이 일체로 형성되어 걸림수단과 지지돌기가 고리부에 의해 연결된 탄성력이 양호한 재질의 소자 지지부재와, 상기 소자 지지부재의 아암에 접속되게 본체의 삽입공내에 설치된 버튼으로 구성된 반도체 소자테스트용 테스트트레이의 캐리어모듈이 제공된다.

도 1은 종래의 반도체 소자테스트용 테스트트레이를 나타낸 분해사시도

도 2는 종래 캐리어모듈의 일 실시예를 나타낸 사시도

도 3은 도 2의 A - A선 단면도

도 4a 내지 도 4d는 종래 캐리어모듈의 다른 실시예를 나타낸 사시도

도 5는 본 발명의 일 실시예를 나타낸 분해사시도

도 6a 및 도 6b는 도 5의 결합상태 종단면도로써,

도 6a는 버튼이 눌리기 전 상태도

도 6b는 버튼이 눌려 지지돌기가 양측으로 벌어진 상태도

도 7은 도 6a의 저면도

도 8은 본 발명의 요부인 소자 지지부재의 확대 사시도

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

16 : 본체 17 : 캐비티

19 : 버튼 20 : 소자 지지부재

23 : 지지돌기 24 : 아암

25 : 고리부 27 : 후크

이하, 본 발명을 일 실시예로 도시한 도 5 및 도 8을 참고하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 5는 본 발명의 일 실시예를 나타낸 분해사시도이고 도 6a 및 도 6b는 도 5의 결합상태 종단면도이며 도 7은 도 6a의 저면도로써, 본 발명은 본체(16)의 일면에 소자(8)가 수용되는 캐비티(17)가 형성되어 있고 상기 본체에 캐비티와 통하여지게 마주보고 형성된 체결홈(18)에는 소자(8)의 상면에 접속되어 소자를 지지하는 역할과, 버튼(19)을 초기상태로 복원시키는 탄성부재역할을 동시에 수행하는 소자 지지부재(20)가 걸림수단에 의해 설치되어 있다.

상기 걸림수단은 소자 지지부재(20)의 일측으로 형성된 한쌍의 걸림돌기(21)와, 상기 소자 지지부재(20)가 고정되는 본체(16)에 형성된 돌출편(22)으로 구성되어 상기 걸림돌기(21)가 돌출편(22)에 걸려 지지된다.

상기 소자 지지부재(20)의 일측에는 도 8에 나타낸 바와 같이 소자(8)를 눌러주는 지지돌기(23)가 형성되어 있고 지지돌기의 직하방으로는 버튼(19)의 상면과 접속되어 버튼이 눌려짐에 따라 지지돌기(23)가 캐비티(17)의 외측으로 벌어지도록 하는 아암(24)이 일체로 형성되어 있으며 상기 걸림수단과 지지돌기(23)는 대략 "U"자 형태로 탄성부재역할을 하는 고리부(25)에 의해 연결되어 있다.

이러한 구조의 소자 지지부재(20)는 소자(8)의 테스트시 챔버내의 고온에도 변형되지 않고 잘 견디어야 되므로 내열성이 양호하면서 복원력이 우수한 스프링 강 등이 적용된다.

상기 본체(16)의 삽입공(26)내에 설치되어 상면이 아암(24)과 접속되는 버튼(19)의 양측에 후크(27)가 형성되어 있고 상기 버튼이 결합되는 삽입공(26)의 양측에는 후크가 걸리는 걸림턱(28)이 형성되어 있어 본체(16)에 결합된 버튼(19)이 삽입공(26)에서 이탈되지 않고 승강운동하게 된다.

이러한 구조의 버튼(19)은 후크(27)의 양측으로 절결부(29)가 형성되어 있는데, 이는 버튼의 형상과 동일하게 형성된 삽입공(26)내에 버튼(19)을 용이하게 삽입, 결합할 수 있도록 하기 위한 것이다.

이와 같이 구성된 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.

편의상, 본체(16)의 캐비티(17)내에 테스트 완료된 소자(8)가 얹혀져 있는 도 6a와 같은 상태에서 설명한다.

이러한 상태에서 테스트 완료된 소자를 언로딩하기 위해 소자 흡착수단이 해당 캐리어모듈(6)의 직상부로 이송되고 나면 테스트 트레이의 직하방에 위치되어 있던 푸셔(30)가 상승하여 각 버튼(19)을 밀어 올리게 된다.

이에 따라, 버튼(19)의 상면에 접속되어 있던 아암(24)이 눌리면 본체(16)에 걸림수단에 의해 일단이 고정된 소자 지지부재(20)가 고리부(25)를 중심으로 변형되므로 상기 아암(24)과 일체로 형성된 지지돌기(23)가 도 6b와 같이 상호 외측으로 벌어지게 된다.

이 때, 고리부(25)는 변형에 따른 복원력을 갖게 된다.

상기 소자 지지부재(20)에 형성된 지지돌기(23)가 각각 캐비티(17)내의 소자(8) 상면으로부터 외측으로 벗어나고 나면 종래와 마찬가지로 소자 픽업수단이 하강하여 캐비티내의 소자(8)를 흡착하여 테스트 결과에 따라 카세트내에 분류하여 담게 된다.

한편, 로딩측 픽업수단이 테스트할 소자를 흡착하여 빈 캐리어모듈의 직상부로 이송된 다음 하강하여 흡착하고 있던 소자를 캐비티(17)내에 로딩한 후 캐리어모듈로부터 멀어지고 나면 상승하여 버튼(19)을 누르고 있던 푸셔(30)가 하강하게 된다.

이에 따라, 지지돌기(23)는 압축력을 갖고 있던 고리부(25)가 복원력에 의해 초기상태로 환원되므로 인해 캐비티(17)측으로 복원되어 지지돌기(23)의 저면이 캐비티(17)에 로딩된 소자(8)의 상면과 접속되어 소자를 지지하게 된다.

이와 같이 동작되는 캐리어모듈(6)은 소자(8)를 상부에서 로딩되는 타입에서도 사용 가능하지만, 테스트 트레이(1)에 캐리어모듈(6)을 뒤집어지게 장착하여 캐리어모듈에 소자가 매달린 상태로 장비(핸들러)내에서 테스트 트레이를 이송시키는 타입에서도 매우 유용하게 적용될 것이다.

이상에서와 같이 본 발명은 탄성력이 양호한 재질의 소자 지지부재(20)에 형성된 지지돌기(23)가 고리부(25)의 탄성력에 의해 소자(8)의 상면과 항상 거의 동일한 압력으로 면접촉하게 되므로 캐리어모듈을 장기간 사용하더라도 소자의 지지정도를 항상 일정하게 유지시킬 수 있게 되고, 캐리어모듈을 테스트 트레이에 뒤집어 장착하여 소자를 캐리어모듈에 매달은 상태로 공정간 이송가능하게 된다.

Claims (5)

1. 일면에 소자가 수용되는 캐비티가 형성된 본체와, 상기 캐비티와 통하여지게 본체에 형성된 체결홈내에 대향 설치되어 걸림수단에 의해 본체에 고정되며, 일측으로는 소자를 눌러주는 지지돌기가 형성되고 지지돌기의 직하방으로는 아암이 일체로 형성되어 걸림수단과 지지돌기가 고리부에 의해 연결된 탄성력이 양호한 재질의 소자 지지부재와, 상기 소자 지지부재의 아암에 접속되게 본체의 삽입공내에 설치된 버튼으로 구성된 반도체 소자테스트용 테스트트레이의 캐리어모듈.
2. 제 1 항에 있어서,

   걸림수단은 소자 지지부재의 일측으로 형성된 한쌍의 걸림돌기와, 상기 소자 지지부재가 고정되는 본체에 형성된 돌출편으로 구성하여 상기 걸림돌기가 돌출편에 걸려 지지되도록 된 반도체 소자테스트용 테스트트레이의 캐리어모듈.
3. 제 1 항에 있어서,

   고리부가 대략 "U"자 형상으로 이루어진 반도체 소자테스트용 테스트트레이의 캐리어모듈.
4. 제 1 항에 있어서,

   버튼의 양측에 후크가 형성되고 상기 버튼이 결합되는 삽입공에는 걸림턱이 형성된 반도체 소자테스트용 테스트트레이의 캐리어모듈.
5. 제 4 항에 있어서,

   후크의 양측으로 절결부가 형성된 반도체 소자테스트용 테스트트레이의 캐리어모듈.