KR101227773B1 - 테스트 핸들러용 래치 개방 장치 - Google Patents

테스트 핸들러용 래치 개방 장치 Download PDF

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Abstract

래치 개방 장치는 오픈 플레이트, 구동부 및 구동 제어부를 포함한다. 오픈 플레이트는 다수의 전자 부품들을 탄성체의 탄성력을 통해 고정하는 래치들을 갖는 테스트 트레이와 마주하며, 테스트 트레이와 마주하는 부위에 래치들을 개방하는 푸셔를 갖는다. 구동부는 푸셔가 래치를 개방하도록 테스트 트레이 및 오픈 플레이트 중 어느 하나에 구동력을 제공한다. 구동 제어부는 구동부와 연결되며, 테스트 트레이 및 오픈 플레이트가 서로 접근할 때보다 테스트 트레이 및 오픈 플레이트가 접촉하여 푸셔가 래치를 개방한 상태일 때 구동력이 작아지도록 제어한다.

Description

테스트 핸들러용 래치 개방 장치{APPARATUS FOR OPENING A LATCH USING TEST HANDLER}
본 발명은 테스트 핸들러용 래치 개방 장치에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 테스트 핸들러의 운반 수단으로 사용되는 테스트 트레이에서 수납된 전자 부품을 고정하는 래치를 개방하는 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 전자 부품은 전자 기기에 사용되는 부품을 통칭하며, 일 예로 반도체 칩을 통하여 전기적인 특성을 갖도록 구성된 디램(DRAM), 에스램(SRAM) 등과 같은 반도체 소자를 포함할 수 있다.
이에, 상기 전자 부품은 제조의 완성 단계에서 그 전기적인 특성을 테스트하는 테스트 공정을 거치게 된다. 상기 테스트 공정은 실질적으로 상기 전자 부품을 대상으로 테스트를 수행하는 테스트 장치와 상기 테스트 장치에 상기 전자 부품을 제공하기 위한 테스트 핸들러를 통하여 진행된다.
상기 테스트 핸들러는 테스트 트레이에 다수의 전자 부품들을 수납한 상태로 상기 테스트 장치로 이송한 다음, 상기 테스트 트레이에 수납된 상태 그대로 상기 테스트 장치에 접속시킴으로써, 한번에 많은 개수의 전자 부품들을 동시에 테스트할 수 있도록 한다.
이때, 상기 테스트 트레이에는 상기 수납한 전자 부품들 각각을 탄성체의 탄성력에 의해 고정하기 위한 래치가 장착된다. 이에, 상기 래치는 상기 전자 부품을 수납하고자 할 때 래치 개방 장치를 통해서 상기 전자 부품이 수납되는 공간이 개방되도록 동작한다.
이때, 상기 래치 개방 장치는 상기 래치를 개방하기 위한 푸셔를 갖는 오픈 플레이트와 상기 테스트 트레이와 연결되며 상기 푸셔가 상기 래치를 개방하도록 상기 테스트 트레이를 상기 오픈 플레이트로 접촉시키는 실린더를 포함한다.
그러나, 상기 푸셔가 상기 래치를 개방한 상태에서도 상기 실린더가 상기 테스트 트레이를 상기 오픈 플레이트로 접근할 때의 압력과 동일한 압력으로 상기 테스트 트레이를 푸싱함으로써, 상기 테스트 트레이가 상기 압력에 의해 변형될 수 있다.
본 발명의 목적은 테스트 핸들러에 운반 수단으로 사용되는 테스트 트레이로부터 래치를 개방할 때 상기 테스트 트레이의 변형을 방지할 수 있는 래치 개방 장치를 제공하는 것이다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 래치 개방 장치는 오픈 플레이트, 구동부 및 구동 제어부를 포함한다.
상기 오픈 플레이트는 다수의 전자 부품들을 탄성체의 탄성력을 통해 고정하는 래치들을 갖는 테스트 트레이와 마주하며, 상기 테스트 트레이와 마주하는 부위에 상기 래치들을 개방하는 푸셔를 갖는다.
상기 구동부는 상기 푸셔가 상기 래치를 개방하도록 상기 테스트 트레이 및 상기 오픈 플레이트 중 어느 하나에 구동력을 제공한다.
상기 구동 제어부는 상기 구동부와 연결되며, 상기 테스트 트레이 및 상기 오픈 플레이트가 서로 접근할 때보다 상기 테스트 트레이 및 상기 오픈 플레이트가 접촉하여 상기 푸셔가 상기 래치를 개방한 상태일 때 상기 구동력이 작아지도록 제어한다.
여기서, 상기 구동 제어부는 상기 푸셔가 상기 래치를 개방한 상태일 때의 구동력이 상기 테스트 트레이 및 상기 오픈 플레이트가 접근할 때보다 1:0.5 내지 0.7의 비율로 작아지도록 제어할 수 있다.
한편, 상기 구동부는 상기 테스트 트레이 및 상기 오픈 플레이트 중 어느 하나와 수직한 방향으로 직선 운동하도록 연결되어 상기 구동력을 상기 어느 하나에 전달하는 구동 로드를 포함할 수 있다. 이때, 상기 구동 제어부는 상기 푸셔가 상기 래치를 개방한 상태에서의 상기 구동 로드의 위치에 설치된 센서의 감지를 통하여 상기 구동력이 작아지도록 제어할 수 있다.
또한, 상기 구동 제어부는 상기 테스트 트레이와 상기 오픈 플레이트가 일정 간격으로 이격된 상태에서의 상기 구동 로드의 위치에 설치된 제2 센서의 감지를 통하여 상기 구동력을 차단하도록 제어할 수 있다.
또한, 상기 구동부는 실린더(cylinder)를 포함할 수 있다. 이에, 상기 구동 제어부는 상기 실린더에 제공되는 압력을 조절하여 상기 구동력을 제어할 수 있다.
이러한 테스트 핸들러용 래치 개방 장치에 따르면, 래치를 개방하기 위하여 테스트 트레이와 오픈 플레이트를 서로 접근시킬 때의 구동력보다 상기 오픈 플레이트 푸셔가 상기 래치를 개방한 상태일 때의 구동력을 더 작게 제어함으로써, 상기 푸셔가 상기 래치를 개방한 상태에서 배경 기술에서와 같이 상기 테스트 트레이가 변형되는 것을 방지할 수 있다.
이에 따라, 상기 테스트 트레이의 파손을 최대한 억제하여 생산성 향상 및 비용 절감 효과를 기대할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러용 래치 개방 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1의 Ⅰ-Ⅰ｀선을 따라 절단하여 일부분을 확대한 도면이다.
도 3은 도 2에 도시된 래치 개방 장치의 구동 제어부를 구체적으로 나타낸 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 테스트 핸들러용 래치 개방 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러용 래치 개방 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이며, 도 2는 도 1의 Ⅰ-Ⅰ｀선을 따라 절단하여 일부분을 확대한 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러용 래치 개방 장치(1000)는 오픈 플레이트(100), 구동부(200) 및 구동 제어부(300)를 포함한다.
상기 오픈 플레이트(100)는 테스트 트레이(10)의 상부면과 마주하도록 배치된다. 상기 테스트 트레이(10)는 테스트 공정에서 전자 부품(SD)을 테스트 장치에 접속시키기 위한 테스트 핸들러의 운반 수단으로 사용된다. 여기서, 상기 전자 부품(SD)은 일 예로, 디램(DRAM), 에스램(SRAM) 등과 같은 메모리 소자를 포함할 수 있다.
상기 테스트 트레이(10)에는 상기 전자 부품(SD)이 수납 고정되는 다수의 인서트(20)들이 장착된다. 이에, 상기 테스트 트레이(10)는 상기 인서트(20)들을 수납하는 수납홀(12)들을 가지며, 각 인서트는 상기 전자 부품(SD)을 수납하기 위한 공간을 갖는다.
또한, 상기 인서트(20)는 상기 전자 부품(SD)이 상기 테스트 트레이(10)가 이송되는 도중에도 떨어지지 않도록 상기 수납된 전자 부품(SD)을 고정하는 래치(22)를 갖는다. 상기 래치(22)는 도 2에서와 같이 수납된 전자 부품(SD)의 양 측면들을 밀어서 고정하는 타입으로 이루어질 수도 있고, 상기 수납된 전자 부품(SD)의 상부면을 가압하는 타입으로 이루어질 수도 있다.
이때, 상기 래치(22)는 상기 인서트(20)의 인접한 위치에 장착된 탄성체(24)와 구조적으로 연결되어 상기 탄성체(24)의 탄성력에 의해 상기 전자 부품(SD)을 가압하여 고정하며, 상기 오픈 플레이트(100)는 상기 테스트 트레이(10)와 마주하는 면에 상기 래치(22)를 개방하기 위하여 상기 탄성체(24)에 힘을 전달하는 푸셔(110)를 갖는다.
예를 들어, 상기 탄성체(24)의 상부에 상기 래치(22)와 구조적으로 연결된 연결부(26)와 상기 연결부(26)의 상부에 상기 푸셔(110)에 의해 가압되는 가압부(28)를 설치하여 상기 푸셔(110)가 상기 가압부(28)를 가압함에 의해 상기 연결부(26)가 상기 래치(22)를 개방하도록 할 수 있다. 또한, 상기 푸셔(110)가 상기 가압부(28)로부터 분리되면 상기 탄성체(24)의 탄성력에 의해서 상기 래치(22)는 상기 전자 부품(SD)을 가압하여 고정하게 된다. 이때, 상기 오픈 플레이트(100)는 상기 전자 부품(SD)이 수납될 수 있도록 상기 인서트(20)의 수납 공간에 대응되도록 다수의 관통홀(120)들을 가질 수 있다.
이하, 상기 탄성체(24)와 상기 래치(22)의 구조적인 연결은 상기 탄성체(24)의 탄성력을 상기 래치(22)에 전달시킨다는 조건 하에서 다양한 방식이 당업자에 의하여 용이하게 적용될 수 있으며, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
상기 구동부(200)는 상기 테스트 트레이(10)의 하부면에 연결된다. 상기 구동부(200)는 상기 테스트 트레이(10)가 상기 오픈 플레이트(100)로 상승되도록 구동력을 제공하여 상기 테스트 트레이(10)를 상기 오픈 플레이트(100)와 접촉시킨다. 상기 구동부(200)는 에어 또는 오일의 압력에 의해서 직선 운동을 제공하는 실린더(210)(cylinder)를 포함할 수 있다. 이와 달리, 상기 구동부(200)는 회전력을 발생시키는 모터와 상기 회전력을 직선 운동으로 전환시키는 피니언 기어 및 렉 기어의 조합으로 이루어질 수 있다. 이하에서는 상기 구동부(200)가 실린더(210)를 포함하는 경우에 대하여 상세하게 설명하고자 한다.
한편, 본 실시예에서는 상기 구동부(200)가 상기 테스트 트레이(10)를 상승시키도록 구성된다고 설명하였지만, 상기 오픈 플레이트(100)와 연결되어 상기 오픈 플레이트(100)를 상기 테스트 트레이(10)로 하강시켜 상기 테스트 트레이(10)와 접촉시킬 수도 있다.
또한, 본 실시예에서는 상기 오픈 플레이트(100)가 상기 테스트 트레이(10)의 상부면에 마주하도록 배치된 것으로 설명하였지만, 이와 달리 상기 오픈 플레이트(100)가 상기 테스트 트레이(10)의 하부면에 마주하도록 배치되어 상기 구동부(200)가 상기 오픈 플레이트(100)를 상승시키도록 구성될 수도 있다. 이럴 경우, 상기 인서트(20)의 가압부(28)는 상기 오픈 플레이트(100)의 푸셔(110)와 마주하도록 상기 테스트 트레이(10)의 하부면을 향해 형성되며, 상기 탄성체(24)와 상기 래치(22)의 구조적인 연결도 당업자에 의해서 다르게 구성될 수도 있다.
상기 구동부(200)는 상기 테스트 트레이(10)와 수직한 방향, 즉 상하 방향으로 직선 운동하도록 상기 테스트 트레이(10)와 연결되어 상기 구동력을 상기 테스트 트레이(10)에 직접 전달하는 구동 로드(220)를 더 포함한다. 다시 말해, 상기 실린더(210)는 상기 구동 로드(220)와 연결되어 그 구동력을 상기 테스트 트레이(10)에 전달할 수 있다.
상기 구동 제어부(300)는 상기 구동부(200)와 연결된다. 상기 구동 제어부(300)는 상기 구동부(200)가 상기 테스트 트레이(10)를 상승시켜 상기 오픈 플레이트(100)에 접근시킬 때의 제1 구동력보다 상기 오픈 플레이트(100)의 푸셔(110)가 상기 테스트 트레이(10)의 가압부(28)를 가압하여 상기 래치(22)를 개방한 상태일 때의 제2 구동력이 작아지도록 제어한다. 구체적으로, 상기 구동 제어부(300)는 상기 실린더(210)에 가해지는 압력을 통해 상기 제1 및 제2 구동력들을 제어할 수 있다.
이에, 상기 테스트 트레이(10)에 상기 제1 구동력보다 상기 제2 구동력을 약 1:0.5의 비율 미만으로 제공하면 상기 푸셔(110)가 상기 래치(22)를 개방한 상태가 유지되기 힘들므로 바람직하지 않고, 약 1:0.7의 비율을 초과하여 제공하면 상기 테스트 트레이(10)가 변형되므로 바람직하지 않다. 따라서, 상기 제2 구동력을 상기 제1 구동력보다 약 1:0.5 내지 0.7 비율로 작게 제공하는 것이 바람직하다.
예를 들어, 상기 실린더(210)에 약 5 bar의 압력을 통해 구동력을 제공하면, 상기 테스트 트레이(10)가 상기 오픈 플레이트(100)로 접근할 때는 약 50㎏의 하중을 받는데 반해, 상기 푸셔(110)가 상기 래치(22)를 개방한 상태에서는 약 80㎏의 하중을 받게 되어 변형될 수 있다. 이에, 상기 푸셔(110)가 상기 래치(22)를 개방한 상태에서 약 3 bar의 압력을 상기 실린더(210)에 제공하면, 상기 테스트 트레이(10)는 약 45㎏의 하중을 받게 된다.
이에, 상기 푸셔(110)가 상기 래치(22)를 개방한 상태에서 상기 테스트 트레이(10)가 약 60㎏을 초과하는 하중을 받게 되면 변형 가능성이 있고, 약 30㎏ 미만의 하중을 받게 되면 상기 푸셔(110)가 상기 래치(22)를 개방한 상태가 안정적으로 유지되기 힘들다는 실험적 조건 하에, 상기 푸셔(110)가 상기 래치(22)를 개방한 상태에서 상기 실린더(210)에 약 3 bar의 압력이 제공, 즉 상기 테스트 트레이(10)가 상기 오픈 플레이트(100)로 접근할 때보다 상기 푸셔(110)가 상기 래치(22)를 개방할 때 약 5:3, 환산하면 약 1:0.6 만큼 상기 구동력을 작게 제공되면 가장 바람직한 결과를 얻을 수 있다. .
이와 같이, 상기 래치(22)를 개방하기 위하여 상기 테스트 트레이(10)와 상기 오픈 플레이트(100)를 서로 접근시킬 때의 제1 구동력보다 상기 오픈 플레이트(100) 푸셔(110)가 상기 래치(22)를 개방한 상태일 때의 제2 구동력을 더 작게 제어함으로써, 상기 푸셔(110)가 상기 래치(22)를 개방한 상태에서 상기 테스트 트레이(10)가 불필요하게 많은 하중을 받아 변형되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 상기 테스트 트레이(10)의 파손을 최대한 억제하여 생산성 향상 및 비용 절감 효과를 기대할 수 있다.
이하, 상기 구동 제어부(300)가 상기 구동부(200)에 의해 상기 제2 구동력이 제공되는 시점을 감지하기 위한 실시예에 대해서 도 3을 추가적으로 참조하여 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 3은 도 2에 도시된 래치 개방 장치의 구동 제어부를 구체적으로 나타낸 도면이다.
도 3을 추가적으로 참조하면, 상기 구동 제어부(300)는 압력 공급부(310), 압력 조절부(320), 제1 센서(330) 및 제2 센서(340)를 포함할 수 있다.
상기 압력 공급부(310)는 상기 구동부(200)의 실린더(210)와 연결된다. 상기 압력 공급부(310)는 상기 실린더(210)에 압력을 공급하여 구동력을 제공한다. 상기 압력 조절부(320)는 상기 압력 공급부(310)와 상기 실린더(210) 사이에 연결되어 상기 실린더(210)로 공급되는 압력을 조절함으로써, 구동력을 조절한다.
상기 제1 센서(330)는 상기 압력 조절부(320)와 연결된다. 상기 푸셔(110)가 상기 래치(22)를 개방한 상태에서의 상기 구동 로드(220), 예컨대 상기 구동 로드(220)의 단부를 감지하도록 설치된다.
이에, 상기 제1 센서(330)가 상기 구동 로드(220)의 단부를 감지하게 되면, 상기 압력 조절부(320)는 상기 실린더(210)에 공급되는 압력을 도 1 내지 도 2를 참조한 설명해서 설명한 비율로 낮추어서 상기 테스트 트레이(10)에 불필요한 하중이 가해지지 않도록 한다.
상기 제2 센서(340)는 상기 압력 조절부(320)와 연결된다. 상기 제2 센서(340)는 상기 테스트 트레이(10)가 상기 오픈 플레이트(100)와 충분히 이격된 상태에서의 상기 구동 로드(220), 예컨대 상기 제1 센서(330)와 마찬가지로 상기 구동 로드(220)의 단부를 감지하도록 설치된다.
이에, 상기 제2 센서(340)가 상기 구동 로드(220)의 단부를 감지하게 되면, 상기 압력 조절부(320)는 상기 실린더(210)에 공급되는 압력이 차단되도록 조절한다. 구체적으로, 상기 래치(22)를 개방하여 상기 전자 부품(SD)을 수납하거나 분리시킨 다음, 상기 구동부(200)가 상기 테스트 트레이(10)를 하강시킬 때 상기 테스트 트레이(10)가 상기 오픈 플레이트(100)로부터 충분히 이격된 상태를 상기 제2 센서(340)를 통해 감지하여 상기 실린더(210)에 공급되는 압력을 차단함으로써, 상기 테스트 트레이(10)의 동작을 멈추게 한다.
이에, 상기 제2 센서(340)는 상기 실린더(210)에 공급되는 압력을 조절한다기보다 차단하는 시점을 감지하므로, 상기 압력 조절부(320)가 아닌 상기 압력 공급부(310)와 연결되어 상기 압력을 원천적으로 차단할 수 있다.
본 실시예에서는 상기 제1 및 제2 센서(330, 340)들이 상기 구동 로드(220)의 단부를 감지하는 것으로 설명하였지만, 상기 구동 로드(220)의 해당 위치에 상기 제1 및 제2 센서(330, 340)들과 반응하는 반응부들을 설치하여 상기 구동 로드(220)의 단부를 감지하는 위치가 아닌 다른 위치에도 상기 제1 및 제2 센서(330, 340)들을 설치할 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
SD : 전자 부품 10 : 테스트 트레이
20 : 인서트 22 : 래치
24 : 탄성체 100 : 오픈 플레이트
110 : 푸셔 200 : 구동부
210 : 실린더 220 : 구동 로드
300 : 구동 제어부 310 : 압력 공급부
320 : 압력 조절부 330 : 제1 센서
340 : 제2 센서

Claims (5)

  1. 다수의 전자 부품들을 탄성체의 탄성력을 통해 고정하는 래치들을 갖는 테스트 트레이와 마주하며, 상기 테스트 트레이와 마주하는 부위에 상기 래치들을 개방하는 푸셔를 갖는 오픈 플레이트;
    상기 푸셔가 상기 래치를 개방하도록 상기 테스트 트레이 및 상기 오픈 플레이트 중 어느 하나에 구동력을 제공하는 실린더(cylinder)로 이루어진 구동부; 및
    상기 구동부와 연결되며, 상기 테스트 트레이 및 상기 오픈 플레이트가 서로 접근할 때보다 상기 테스트 트레이 및 상기 오픈 플레이트가 접촉하여 상기 푸셔가 상기 래치를 개방한 상태일 때 상기 구동력이 작아지도록 제어하는 구동 제어부를 포함하고,
    상기 구동 제어부는 상기 실린더에 제공되는 압력을 조절하여 상기 구동력을 제어하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러용 래치 개방 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 구동 제어부는 상기 푸셔가 상기 래치를 개방한 상태일 때의 압력을 상기 테스트 트레이 및 상기 오픈 플레이트가 접근할 때보다 압력보다 0.5 내지 0.7 비율로 작게 제어하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러용 래치 개방 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 구동부는 상기 테스트 트레이 및 상기 오픈 플레이트 중 어느 하나와 수직한 방향으로 직선 운동하도록 연결되어 상기 구동력을 상기 어느 하나에 전달하는 구동 로드를 포함하며,
    상기 구동 제어부는 상기 푸셔가 상기 래치를 개방한 상태에서의 상기 구동 로드의 위치에 설치된 센서의 감지를 통하여 상기 구동력이 작아지도록 제어하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러용 래치 개방 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 구동 제어부는 상기 테스트 트레이와 상기 오픈 플레이트가 일정 간격으로 이격된 상태에서의 상기 구동 로드의 위치에 설치된 센서의 감지를 통하여 상기 구동력을 차단하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러용 래치 개방 장치.
  5. 삭제
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