JPH065676A - Ｉｃハンドラ - Google Patents
ＩｃハンドラInfo
- Publication number
- JPH065676A JPH065676A JP4164568A JP16456892A JPH065676A JP H065676 A JPH065676 A JP H065676A JP 4164568 A JP4164568 A JP 4164568A JP 16456892 A JP16456892 A JP 16456892A JP H065676 A JPH065676 A JP H065676A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tray
- handler
- soft
- warped
- clamping
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】トレイガイド１，トレイガイド３の上部にトレ
イをクランプするクランプ爪７を取り付けエアシリンダ
とスプリング１０で動作させ、トレイの位置ずれ防止及
び反ったソフトトレイの対応可能な機構を設けたＩＣハ
ンドラ。 【効果】ＩＣのトレイ供給形態のハンドラにおいて、ト
レイ供給部のトレイの位置ずれ防止ができ、ハンドラの
性能向上が図れる。また、反るソフトトレイへの対応が
可能なためトレイの種類に限定されずに対応でき、幅広
いＩＣの品種対応が図れる。
イをクランプするクランプ爪７を取り付けエアシリンダ
とスプリング１０で動作させ、トレイの位置ずれ防止及
び反ったソフトトレイの対応可能な機構を設けたＩＣハ
ンドラ。 【効果】ＩＣのトレイ供給形態のハンドラにおいて、ト
レイ供給部のトレイの位置ずれ防止ができ、ハンドラの
性能向上が図れる。また、反るソフトトレイへの対応が
可能なためトレイの種類に限定されずに対応でき、幅広
いＩＣの品種対応が図れる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣのトレイ供給形態
のハンドラにおけるＩＣのトレイ供給機構に関する。
のハンドラにおけるＩＣのトレイ供給機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のトレイ供給部機構の構造を図６，
図７に示す。トレイの位置決めは横側からのトレイガイ
ド１，トレイガイド２，トレイガイド３の３方向だけで
構成されており、トレイセット入口側の矢印Ａ方向と上
側の矢印Ｂ方向は、フリーな状態である。使用条件等に
よりトレイの位置ずれ及び、反ったソフトトレイや反り
やすい幅広ソフトトレイの使用は不可となる問題があ
る。
図７に示す。トレイの位置決めは横側からのトレイガイ
ド１，トレイガイド２，トレイガイド３の３方向だけで
構成されており、トレイセット入口側の矢印Ａ方向と上
側の矢印Ｂ方向は、フリーな状態である。使用条件等に
よりトレイの位置ずれ及び、反ったソフトトレイや反り
やすい幅広ソフトトレイの使用は不可となる問題があ
る。
【０００３】従来のＩＣハンドラには特開平1−237471
号公報に開示の技術がある。
号公報に開示の技術がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来技術では、トレイ
の位置決めは横側からの３方向のガイドだけであり、そ
のため、トレイセットの入口側からハンドラ動作の振動
等によりトレイ位置ずれが発生しＩＣが吸着することが
できない。また、上側がフリーな状態なため反ったソフ
トトレイの場合はそのままセットされるのでトレイ上の
ＩＣ上面は平面化せず吸着レベルが一定しないため吸着
することができない。
の位置決めは横側からの３方向のガイドだけであり、そ
のため、トレイセットの入口側からハンドラ動作の振動
等によりトレイ位置ずれが発生しＩＣが吸着することが
できない。また、上側がフリーな状態なため反ったソフ
トトレイの場合はそのままセットされるのでトレイ上の
ＩＣ上面は平面化せず吸着レベルが一定しないため吸着
することができない。
【０００５】本発明の目的は、トレイの位置ずれ防止及
び、反ったソフトトレイのトレイ上のＩＣ上面を平面化
するように補正できるようにしたＩＣハンドラを提供す
ることにある。
び、反ったソフトトレイのトレイ上のＩＣ上面を平面化
するように補正できるようにしたＩＣハンドラを提供す
ることにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、ＩＣのトレイをクランプする機構をＩＣ
ハンドラのトレイ供給部に具備して、トレイの位置ずれ
防止及び、反ったソフトトレイや反りやすい幅広のソフ
トトレイのトレイ上のＩＣ上面を平面化するように補正
する。
め、本発明は、ＩＣのトレイをクランプする機構をＩＣ
ハンドラのトレイ供給部に具備して、トレイの位置ずれ
防止及び、反ったソフトトレイや反りやすい幅広のソフ
トトレイのトレイ上のＩＣ上面を平面化するように補正
する。
【０００７】
【作用】本発明では、従来のトレイガイドによるトレイ
の位置決め構造にトレイをクランプするクランプ機構を
設け、これによりトレイの位置ずれを防止する。また、
本クランプ機構とトレイ昇降板の昇降モータとトレイレ
ベル感知の光電スイッチセンサとの動作により反ったソ
フトトレイや反りやすい幅広ソフトトレイのトレイ上の
ＩＣ上面を平面化に補正できる。これによりトレイの種
類に限定されることはない。
の位置決め構造にトレイをクランプするクランプ機構を
設け、これによりトレイの位置ずれを防止する。また、
本クランプ機構とトレイ昇降板の昇降モータとトレイレ
ベル感知の光電スイッチセンサとの動作により反ったソ
フトトレイや反りやすい幅広ソフトトレイのトレイ上の
ＩＣ上面を平面化に補正できる。これによりトレイの種
類に限定されることはない。
【０００８】
【実施例】本発明のトレイ供給部機構の構造を図１，図
２，図３，図４，図５に示す。トレイガイド１，トレイ
ガイド３の上部にトレイをクランプするクランプ爪７
を、６ケ所に取り付けエアシリンダ８とスプリング１０
で動作させる構成となっている。トレイクランプ機構
は、トレイの長手方向の両側をクランプ爪７でクランプ
する構造となっており、又、クランプ爪７は両側ともに
片側３ケ所が連結板９で接続されているためエアシリン
ダ８で同時に動作するようになっている。
２，図３，図４，図５に示す。トレイガイド１，トレイ
ガイド３の上部にトレイをクランプするクランプ爪７
を、６ケ所に取り付けエアシリンダ８とスプリング１０
で動作させる構成となっている。トレイクランプ機構
は、トレイの長手方向の両側をクランプ爪７でクランプ
する構造となっており、又、クランプ爪７は両側ともに
片側３ケ所が連結板９で接続されているためエアシリン
ダ８で同時に動作するようになっている。
【０００９】クランプ爪７の動作は、供給トレイのセッ
ト時及び、ハンドラ動作中の供給トレイが空トレイとな
って空バッファトレイ部に搬送する時は、図４のように
アンクランプ状態となっている。また、ハンドラ動作中
の供給トレイよりＩＣ搬送中の時及び、ハンドラ着工中
のハンドラ停止中の時は、図５のようにクランプ状態と
なっている。このクランプ状態はクランプ爪７がスプリ
ング１０のスプリング力でクランプされているためトレ
イの位置ずれ防止となっている。さらにトレイ昇降板４
上のＩＣのトレイ５が昇降モータ６の上昇動作と光電ス
イッチセンサ１１の感知により、クランプ爪７へ押し当
てるようにトレイのレベルを調整できるため、反ったソ
フトトレイや反りやすい幅広のソフトトレイのトレイ上
のＩＣ上面を平面化するように補正できるようになって
いる。
ト時及び、ハンドラ動作中の供給トレイが空トレイとな
って空バッファトレイ部に搬送する時は、図４のように
アンクランプ状態となっている。また、ハンドラ動作中
の供給トレイよりＩＣ搬送中の時及び、ハンドラ着工中
のハンドラ停止中の時は、図５のようにクランプ状態と
なっている。このクランプ状態はクランプ爪７がスプリ
ング１０のスプリング力でクランプされているためトレ
イの位置ずれ防止となっている。さらにトレイ昇降板４
上のＩＣのトレイ５が昇降モータ６の上昇動作と光電ス
イッチセンサ１１の感知により、クランプ爪７へ押し当
てるようにトレイのレベルを調整できるため、反ったソ
フトトレイや反りやすい幅広のソフトトレイのトレイ上
のＩＣ上面を平面化するように補正できるようになって
いる。
【００１０】
【発明の効果】本発明によれば、ＩＣのトレイ供給形態
のハンドラにおいて、トレイ供給部のトレイの位置ずれ
防止ができ、ハンドラの性能向上が図れる。また、反る
ソフトトレイへの対応が可能なためトレイの種類に限定
されずに対応でき、幅広いＩＣの品種の対応が図れる。
のハンドラにおいて、トレイ供給部のトレイの位置ずれ
防止ができ、ハンドラの性能向上が図れる。また、反る
ソフトトレイへの対応が可能なためトレイの種類に限定
されずに対応でき、幅広いＩＣの品種の対応が図れる。
【図１】本発明のＩＣハンドラのトレイ供給部機構の上
面図。
面図。
【図２】図１の正面図。
【図３】図１の側面図。
【図４】トレイクランプ部詳細のアンクランプ状態の説
明図。
明図。
【図５】トレイクランプ部詳細のクランプ状態の説明
図。
図。
【図６】従来のＩＣハンドラのトレイ供給部機構の上面
図。
図。
【図７】図６の正面図。
１，２，３…トレイガイド、４…トレイ昇降板、５…Ｉ
Ｃのトレイ、６…昇降モータ、７…クランプ爪、８…エ
アシリンダ、９…連結板、１０…スプリング、１１…光
電スイッチセンサ。
Ｃのトレイ、６…昇降モータ、７…クランプ爪、８…エ
アシリンダ、９…連結板、１０…スプリング、１１…光
電スイッチセンサ。
フロントページの続き (72)発明者 尾川 健男 静岡県清水市村松390番地 株式会社日立 製作所清水工場内
Claims (1)
- 【請求項１】ＩＣのトレイ供給形態のハンドラにおい
て、前記ＩＣの前記トレイをクランプする機構を前記ト
レイの供給部に具備したことを特徴とするＩＣハンド
ラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4164568A JPH065676A (ja) | 1992-06-23 | 1992-06-23 | Ｉｃハンドラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4164568A JPH065676A (ja) | 1992-06-23 | 1992-06-23 | Ｉｃハンドラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH065676A true JPH065676A (ja) | 1994-01-14 |
Family
ID=15795645
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4164568A Pending JPH065676A (ja) | 1992-06-23 | 1992-06-23 | Ｉｃハンドラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH065676A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100809697B1 (ko) * | 2006-08-08 | 2008-03-06 | 삼성전자주식회사 | 트레이 클램핑 장치 |
| JP2008076400A (ja) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Mire Kk | ハンドラー用押しブロック及びこれを備えたハンドラー |
| KR100846682B1 (ko) * | 2006-12-11 | 2008-07-17 | (주)테크윙 | 테스트핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치 |
| WO2009096896A1 (en) * | 2008-01-30 | 2009-08-06 | Advanced Systems Automation Limited | Tray flattener |
| JP2019190972A (ja) * | 2018-04-24 | 2019-10-31 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
-
1992
- 1992-06-23 JP JP4164568A patent/JPH065676A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100809697B1 (ko) * | 2006-08-08 | 2008-03-06 | 삼성전자주식회사 | 트레이 클램핑 장치 |
| JP2008076400A (ja) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Mire Kk | ハンドラー用押しブロック及びこれを備えたハンドラー |
| JP4658106B2 (ja) * | 2006-09-22 | 2011-03-23 | ミレ株式会社 | ハンドラー用押しブロック及びこれを備えたハンドラー |
| KR100846682B1 (ko) * | 2006-12-11 | 2008-07-17 | (주)테크윙 | 테스트핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치 |
| WO2009096896A1 (en) * | 2008-01-30 | 2009-08-06 | Advanced Systems Automation Limited | Tray flattener |
| JP2019190972A (ja) * | 2018-04-24 | 2019-10-31 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
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