JPH0238740U - - Google Patents
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- JPH0238740U JPH0238740U JP11687988U JP11687988U JPH0238740U JP H0238740 U JPH0238740 U JP H0238740U JP 11687988 U JP11687988 U JP 11687988U JP 11687988 U JP11687988 U JP 11687988U JP H0238740 U JPH0238740 U JP H0238740U
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- JP
- Japan
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- substrate
- holding
- holding means
- pair
- pinion
- Prior art date
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- Granted
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Description
第1図は本考案の第1実施例装置を示す斜視図
、第2図は第2実施例装置を示す斜視図、第3図
は第3実施例装置を示す斜視図、第4図は直進駆
動手段としてネジ軸を適用した実施例の要部を示
す斜視図、第5図従来の基板保持装置を示す斜視
図である。 1……ガイドレール、2……ベース板、3,4
……摺動板、5,6……ガイド材、7,8……ラ
ツク、9……ピニオン、12……スプリング、1
3……エアシリンダ、15,16……基板保持ア
ーム、18……支持棒、19……基板保持爪、2
2……ベース板、23……ピニオン、25……第
1保持アーム、32……第2保持アーム、26,
30,33……摺動子、27,34……ラツク、
29……スライド板、37……スプリング、38
……エアシリンダ、40……ラツク、41……ピ
ニオン、43……モーター、44……エアシリン
ダ、45……位置決め部材、46……ピン、47
……光電装置、48……遮光板、52……ベース
板、55……ガイドレール、56……右スライド
台、57……左スライド台、58,59……ガイ
ドレール、60……右アーム台、61……左アー
ム台、62,63……ラツク、65……ピニオン
、66……スプリング、67……エアシリンダ、
68,69……ラツク、71……モーター、72
……ピニオン、73,74……基板保持アーム、
75……爪、77……エアシリンダ、78……位
置決め部材、79……ピン、80……光電装置、
81……遮光板、90……軸受、91……ネジ軸
、92……キー溝、94……ナツト(プリー)、
95……モーター。
、第2図は第2実施例装置を示す斜視図、第3図
は第3実施例装置を示す斜視図、第4図は直進駆
動手段としてネジ軸を適用した実施例の要部を示
す斜視図、第5図従来の基板保持装置を示す斜視
図である。 1……ガイドレール、2……ベース板、3,4
……摺動板、5,6……ガイド材、7,8……ラ
ツク、9……ピニオン、12……スプリング、1
3……エアシリンダ、15,16……基板保持ア
ーム、18……支持棒、19……基板保持爪、2
2……ベース板、23……ピニオン、25……第
1保持アーム、32……第2保持アーム、26,
30,33……摺動子、27,34……ラツク、
29……スライド板、37……スプリング、38
……エアシリンダ、40……ラツク、41……ピ
ニオン、43……モーター、44……エアシリン
ダ、45……位置決め部材、46……ピン、47
……光電装置、48……遮光板、52……ベース
板、55……ガイドレール、56……右スライド
台、57……左スライド台、58,59……ガイ
ドレール、60……右アーム台、61……左アー
ム台、62,63……ラツク、65……ピニオン
、66……スプリング、67……エアシリンダ、
68,69……ラツク、71……モーター、72
……ピニオン、73,74……基板保持アーム、
75……爪、77……エアシリンダ、78……位
置決め部材、79……ピン、80……光電装置、
81……遮光板、90……軸受、91……ネジ軸
、92……キー溝、94……ナツト(プリー)、
95……モーター。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 被搬送基板を保持する一対の保持手段のそれぞ
れに固着したラツクを、1個のピニオンに対称側
から係合させて、逆方向に連動して移動するよう
にし、その保持手段の一方を、移動方向に沿つて
設置した直進駆動手段の作動部材に連設して、一
対の保持手段を開閉駆動するようにした基板搬送
装置における基板保持装置において、 前記直進駆動手段の取付部を、保持手段の移動
方向に沿つて移動可能に支持し、かつ、その移動
範囲内の所要の複数位置で固定できるようにした
基板搬送装置における基板保持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1988116879U JPH0713220Y2 (ja) | 1988-09-07 | 1988-09-07 | 基板搬送装置における基板保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1988116879U JPH0713220Y2 (ja) | 1988-09-07 | 1988-09-07 | 基板搬送装置における基板保持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0238740U true JPH0238740U (ja) | 1990-03-15 |
JPH0713220Y2 JPH0713220Y2 (ja) | 1995-03-29 |
Family
ID=31359820
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1988116879U Expired - Lifetime JPH0713220Y2 (ja) | 1988-09-07 | 1988-09-07 | 基板搬送装置における基板保持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0713220Y2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06278806A (ja) * | 1993-03-29 | 1994-10-04 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板支持アーム |
JPH09165104A (ja) * | 1995-12-19 | 1997-06-24 | Advantest Corp | ハンドラ装置のストッカ部 |
JP2017094413A (ja) * | 2015-11-19 | 2017-06-01 | 株式会社椿本チエイン | ワークピッキング装置 |
JP2018192576A (ja) * | 2017-05-18 | 2018-12-06 | Smc株式会社 | ワーク把持装置 |
JP2019130638A (ja) * | 2018-02-01 | 2019-08-08 | 中洲電機株式会社 | ハンドリング装置及び搬送装置 |
CN111618845A (zh) * | 2019-02-28 | 2020-09-04 | 精工爱普生株式会社 | 机器人系统 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5072697B2 (ja) * | 2008-04-23 | 2012-11-14 | セマテックノース インコーポレテッド | 薄板の保持装置及び該装置を有するフォトマスクの保持システム並びに搬送方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6079742U (ja) * | 1983-11-09 | 1985-06-03 | 日立電子エンジニアリング株式会社 | 角マスクチヤツク機構 |
JPS61138444U (ja) * | 1985-02-12 | 1986-08-28 | ||
JPS6232789U (ja) * | 1985-08-13 | 1987-02-26 | ||
JPS62103519U (ja) * | 1985-12-20 | 1987-07-01 |
-
1988
- 1988-09-07 JP JP1988116879U patent/JPH0713220Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6079742U (ja) * | 1983-11-09 | 1985-06-03 | 日立電子エンジニアリング株式会社 | 角マスクチヤツク機構 |
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JPS6232789U (ja) * | 1985-08-13 | 1987-02-26 | ||
JPS62103519U (ja) * | 1985-12-20 | 1987-07-01 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06278806A (ja) * | 1993-03-29 | 1994-10-04 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板支持アーム |
JPH09165104A (ja) * | 1995-12-19 | 1997-06-24 | Advantest Corp | ハンドラ装置のストッカ部 |
JP2017094413A (ja) * | 2015-11-19 | 2017-06-01 | 株式会社椿本チエイン | ワークピッキング装置 |
JP2018192576A (ja) * | 2017-05-18 | 2018-12-06 | Smc株式会社 | ワーク把持装置 |
CN108943000A (zh) * | 2017-05-18 | 2018-12-07 | Smc株式会社 | 工件夹持装置 |
TWI758477B (zh) * | 2017-05-18 | 2022-03-21 | 日商Smc股份有限公司 | 工件夾持裝置 |
CN108943000B (zh) * | 2017-05-18 | 2022-10-14 | Smc株式会社 | 工件夹持装置 |
JP2019130638A (ja) * | 2018-02-01 | 2019-08-08 | 中洲電機株式会社 | ハンドリング装置及び搬送装置 |
CN111618845A (zh) * | 2019-02-28 | 2020-09-04 | 精工爱普生株式会社 | 机器人系统 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0713220Y2 (ja) | 1995-03-29 |
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