JPS6079742U - 角マスクチヤツク機構 - Google Patents

角マスクチヤツク機構

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Publication number
JPS6079742U
JPS6079742U JP17239883U JP17239883U JPS6079742U JP S6079742 U JPS6079742 U JP S6079742U JP 17239883 U JP17239883 U JP 17239883U JP 17239883 U JP17239883 U JP 17239883U JP S6079742 U JPS6079742 U JP S6079742U
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JP
Japan
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pair
support blocks
supported
chuck mechanism
spring
Prior art date
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Pending
Application number
JP17239883U
Other languages
English (en)
Inventor
飯塚　信行
本郷　勉
福島　常美
Original Assignee
日立電子エンジニアリング株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日立電子エンジニアリング株式会社 filed Critical 日立電子エンジニアリング株式会社
Priority to JP17239883U priority Critical patent/JPS6079742U/ja
Publication of JPS6079742U publication Critical patent/JPS6079742U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図乃至第４図は本考案の角マスクチャック機構の１
実施例を示し、第１図は原理説明のための概要的な平面
図、第２図はヒンドレ形ローラ付近の斜視図、第３図は
ヒンドレ形ローラの１部を破断して描いた斜視図、第４
図は第１図にＢ部として示した駆動部分を説明するため
の１部破断斜視図である。 ｌａ、ｌｂ・・・支承ブロック、２・・・ガイド軸、３
ａ、３ｂ・・・アーム、４・・・ヒンドレ形ローラ、５
・・・角マスク、６・・・スプリング、７ａｔ　　７ｂ
・・・駆動用ブロック、８ａｔ　　８ｂ・・・ラック、
９・・・ピニオンギヤ、１０・・・モータ、１１・・・
クッションゴム、１２・・・ストッパ突起、１３・・・
ストッパプレート、１４・・・ストッパピン。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 平行に設置した１対の案内手段によって摺動自在に支承
    された１対の支承ブロックと、上記１対の支承ブロック
    によってそれぞれ支承された１対のアームと、上記１対
    のアームにそれぞれ１対づつ支承されたヒンドレ形ロー
    ラと、前記１対の支承ブロックを相互に接近せしめる方
    向に付勢するバネ１段と、前記１対の支承ブロックに当
    接して上記のバネの付勢力に抗して離間方向に押動する
    １対の駆動用ブロックと、上記１対の駆動用ブロックを
    駆動するためのラック・ピニオン手段とを設けたことを
    特徴とする角マスクチャック機構。
JP17239883U 1983-11-09 1983-11-09 角マスクチヤツク機構 Pending JPS6079742U (ja)

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JP17239883U JPS6079742U (ja) 1983-11-09 1983-11-09 角マスクチヤツク機構

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Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6079742U true JPS6079742U (ja) 1985-06-03

Family

ID=30375806

Family Applications (1)

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JP (1) JPS6079742U (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6247542U (ja) * 1985-09-10 1987-03-24
JPS6350133U (ja) * 1986-09-19 1988-04-05
JPH0238740U (ja) * 1988-09-07 1990-03-15

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59201782A (ja) * 1983-04-23 1984-11-15 大日本スクリ−ン製造株式会社 ウエハ等の薄板物搬送装置

Patent Citations (1)

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