JPH079377Y2 - ボンディング装置におけるｘｙテーブル - Google Patents
ボンディング装置におけるｘｙテーブルInfo
- Publication number
- JPH079377Y2 JPH079377Y2 JP1988088526U JP8852688U JPH079377Y2 JP H079377 Y2 JPH079377 Y2 JP H079377Y2 JP 1988088526 U JP1988088526 U JP 1988088526U JP 8852688 U JP8852688 U JP 8852688U JP H079377 Y2 JPH079377 Y2 JP H079377Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moving plate
- guide
- feed screw
- bearings
- linear guide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Transmission Devices (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、ワイヤボンディング装置やダイボンディング
装置におけるXYテーブルに関するものである。
装置におけるXYテーブルに関するものである。
XYテーブルにあっては、高速性と高精度が要求され、種
々のXYテーブルが開発され、この種のXYテーブルとし
て、特公昭59-52540号公報や特公昭49-37079号公報に記
載されたもの等が知られる。
々のXYテーブルが開発され、この種のXYテーブルとし
て、特公昭59-52540号公報や特公昭49-37079号公報に記
載されたもの等が知られる。
例えば、前者の特公昭59-52540号公報には、XYの一方向
に移動する移動板（第２の移動板）と他方向に移動する
移動板（第１の移動板）とを水平方向に並べて配設し、
第２の移動板上にさらに物品支持テーブルを載置し、こ
の物品支持テーブルと第１の移動板とを第２の移動板の
移動方向に移動可能に連結するものが記載されている。
そして、このXYテーブルでは、第１の移動板の底面に固
設されたナットにガイドピンを設け、このガイドピンを
ハウジングの円板の底部に形成されたガイド溝に摺動自
在に嵌合させ、第１の移動板の移動を案内している。
に移動する移動板（第２の移動板）と他方向に移動する
移動板（第１の移動板）とを水平方向に並べて配設し、
第２の移動板上にさらに物品支持テーブルを載置し、こ
の物品支持テーブルと第１の移動板とを第２の移動板の
移動方向に移動可能に連結するものが記載されている。
そして、このXYテーブルでは、第１の移動板の底面に固
設されたナットにガイドピンを設け、このガイドピンを
ハウジングの円板の底部に形成されたガイド溝に摺動自
在に嵌合させ、第１の移動板の移動を案内している。
しかしながら、上述した特公昭59-52540号公報のXYテー
ブルにあっては、第１の移動板の移動をガイド溝とガイ
ドピンとの摺動で案内するため、第１の移動板は移動に
際してふらつきを生じやすく、この第１の移動板のふら
つきが移動台に伝播して送り精度に悪影響を及ぼすとい
う問題点があった。
ブルにあっては、第１の移動板の移動をガイド溝とガイ
ドピンとの摺動で案内するため、第１の移動板は移動に
際してふらつきを生じやすく、この第１の移動板のふら
つきが移動台に伝播して送り精度に悪影響を及ぼすとい
う問題点があった。
一方、上述した問題点は、第１の移動板を案内するため
の部材をさらに多く設けることで解決できるとも考えら
れるが、さらに多くのガイド部材を設けることは全体構
造が複雑化、大型化するという新たな問題を生じる。
の部材をさらに多く設けることで解決できるとも考えら
れるが、さらに多くのガイド部材を設けることは全体構
造が複雑化、大型化するという新たな問題を生じる。
この考案は、上記問題に鑑みて成されたもので、高い送
り精度を得られるXYテーブルを簡単な構造で達成するこ
とを目的とする。
り精度を得られるXYテーブルを簡単な構造で達成するこ
とを目的とする。
本考案は、ガイドブロック１の上面に下方移動板２をそ
の下方に設けた送りネジ４を介してガイドブロック１に
対してＸ方向に移動可能に支持し、下方移動板２の上方
には上方移動板６をＹ方向に移動自在に支持し、前記ガ
イドブロック１に対してＹ方向に延長した長尺棒状のリ
ニアガイド９を設け、該リニアガイド９に座乗され、送
りネジ11によりＹ方向に移動可能とされたブロック状の
移動台10を設け、該移動台10に一対の軸受13,13をＹ方
向に離間して回転自在に取り付けるとともに、前記上方
移動板６に前記軸受13,13間に挟着される連結バー８を
一体的に形成したことを特徴とするXYテーブルである。
の下方に設けた送りネジ４を介してガイドブロック１に
対してＸ方向に移動可能に支持し、下方移動板２の上方
には上方移動板６をＹ方向に移動自在に支持し、前記ガ
イドブロック１に対してＹ方向に延長した長尺棒状のリ
ニアガイド９を設け、該リニアガイド９に座乗され、送
りネジ11によりＹ方向に移動可能とされたブロック状の
移動台10を設け、該移動台10に一対の軸受13,13をＹ方
向に離間して回転自在に取り付けるとともに、前記上方
移動板６に前記軸受13,13間に挟着される連結バー８を
一体的に形成したことを特徴とするXYテーブルである。
本考案では、上方移動板６は送りネジ４により駆動され
る下方移動板２と一体的にＸ方向に移動し、また、Ｙ方
向には送りネジ11により駆動される移動台10と軸受13,1
3および連結バー８を介し連結されて移動台10と一体的
に移動する。そして、移動台10はリニアガイド９に座乗
して設けられリニアガイド９により案内されるため移動
時のふらつきが少なく、また、移動台10は１対の軸受1
3,13間に上方移動板６の連結バー８を挟持して上方移動
板６と連結するため移動台10のふらつきが上方移動台６
に伝播することも防止でき、簡単な構造で高い送り精度
が得られる。
る下方移動板２と一体的にＸ方向に移動し、また、Ｙ方
向には送りネジ11により駆動される移動台10と軸受13,1
3および連結バー８を介し連結されて移動台10と一体的
に移動する。そして、移動台10はリニアガイド９に座乗
して設けられリニアガイド９により案内されるため移動
時のふらつきが少なく、また、移動台10は１対の軸受1
3,13間に上方移動板６の連結バー８を挟持して上方移動
板６と連結するため移動台10のふらつきが上方移動台６
に伝播することも防止でき、簡単な構造で高い送り精度
が得られる。
本考案の実施例を第１図を用いて説明する。
１はガイドブロックで、下方移動板２をＸ方向移動自在
に支持するガイドレール3,3を１対備え、Ｘ方向の送り
ネジ４を回転自在に支承している。
に支持するガイドレール3,3を１対備え、Ｘ方向の送り
ネジ４を回転自在に支承している。
下方移動板２は、両側部でローラを介してガイドレール
3,3に支持されていると共に送りネジ４に螺合されたナ
ット部材５を下面部に連結され、送りネジ４の正逆回転
によりＸ方向に往復移動するようになっている。下方移
動板２の上面部には上方移動板６をＹ方向移動自在に支
持するガイドレール7,7が１対設けられている。
3,3に支持されていると共に送りネジ４に螺合されたナ
ット部材５を下面部に連結され、送りネジ４の正逆回転
によりＸ方向に往復移動するようになっている。下方移
動板２の上面部には上方移動板６をＹ方向移動自在に支
持するガイドレール7,7が１対設けられている。
上方移動板６はガイドレール7,7に両側部でローラを介
してＹ方向移動自在に備えられている。上方移動板６の
一側部にはＹ方向の力を伝達されるための連結バー８が
Ｘ方向に備えられるが、この例では凹部を備えた本体に
連結バー８を取り付けて上方移動板６と同一平面上にＹ
方向の力の伝達部を位置させてある。
してＹ方向移動自在に備えられている。上方移動板６の
一側部にはＹ方向の力を伝達されるための連結バー８が
Ｘ方向に備えられるが、この例では凹部を備えた本体に
連結バー８を取り付けて上方移動板６と同一平面上にＹ
方向の力の伝達部を位置させてある。
９はガイドブロック１の隣にガイドブロック１に対して
直交方向に設けたＹ方向のリニアガイドで、移動台10が
Ｙ方向に移動自在に座乗されている。
直交方向に設けたＹ方向のリニアガイドで、移動台10が
Ｙ方向に移動自在に座乗されている。
移動台10はＹ方向の送りネジ11（送りネジ11の支承部材
は図示省略）に螺合されたナット部材12を嵌め込んで備
えている。上面部には軸受13,13がＹ方向の間隔をあけ
て設けられ、軸受13,13間に上方移動板６の連結バー８
を挿入して、上方移動板６の移動台10に対するＸ方向移
動を許し、移動台10に対するＹ方向移動を許さないよう
に、上方移動板６と移動台10とを連結している。
は図示省略）に螺合されたナット部材12を嵌め込んで備
えている。上面部には軸受13,13がＹ方向の間隔をあけ
て設けられ、軸受13,13間に上方移動板６の連結バー８
を挿入して、上方移動板６の移動台10に対するＸ方向移
動を許し、移動台10に対するＹ方向移動を許さないよう
に、上方移動板６と移動台10とを連結している。
なお、送りネジ4,11としてはボールネジが用いられてい
る。また、軸受13,13の一方は偏心軸にローラが取り付
けられ、軸の回動角を調節して固定することができる偏
心軸受が用いられ、他方の軸受13との間隔を調節して連
結バー８のＹ方向の巾に合致させることができるように
してある。
る。また、軸受13,13の一方は偏心軸にローラが取り付
けられ、軸の回動角を調節して固定することができる偏
心軸受が用いられ、他方の軸受13との間隔を調節して連
結バー８のＹ方向の巾に合致させることができるように
してある。
図中、14,15は送りネジ4,11の駆動モータで、パルスモ
ータやDCサーボモータなどが用いられる。
ータやDCサーボモータなどが用いられる。
本考案のXYテーブルは、下方移動板をその下方に設けた
送りネジを介してガイドブロックに対してＸ方向に移動
可能に支持し、下方移動板の上方には上方移動板をＹ方
向に移動自在に支持し、前記ガイドブロックに対して直
交方向にリニアガイドを設け、該リニアガイドに座乗さ
れ、送りネジによりＹ方向に移動可能とされたブロック
状の移動台を設け、該移動台に一対の軸受をＹ方向に離
間して回転自在に取り付けるとともに、前記上方移動台
に前記軸受間に挟着される連結バーを一体的に形成した
ので、簡単な構造で高い送り精度を得られる。
送りネジを介してガイドブロックに対してＸ方向に移動
可能に支持し、下方移動板の上方には上方移動板をＹ方
向に移動自在に支持し、前記ガイドブロックに対して直
交方向にリニアガイドを設け、該リニアガイドに座乗さ
れ、送りネジによりＹ方向に移動可能とされたブロック
状の移動台を設け、該移動台に一対の軸受をＹ方向に離
間して回転自在に取り付けるとともに、前記上方移動台
に前記軸受間に挟着される連結バーを一体的に形成した
ので、簡単な構造で高い送り精度を得られる。
第１図は本考案の実施例の、分離状態の斜視図である １……ガイドブロック、２……下方移動板、３……ガイ
ドレール、４……送りネジ、５……ナット部材、６……
上方移動板、７……ガイドレール、８……連結バー、９
……リニアガイド、10……移動台、11……送りネジ、12
……ナット部材、13……軸受。
ドレール、４……送りネジ、５……ナット部材、６……
上方移動板、７……ガイドレール、８……連結バー、９
……リニアガイド、10……移動台、11……送りネジ、12
……ナット部材、13……軸受。
Claims (1)
- 【請求項１】ガイドブロック１の上面に下方移動板２を
その下方に設けた送りネジ４を介してガイドブロック１
に対してＸ方向に移動可能に支持し、下方移動板２の上
方には上方移動板６をＹ方向に移動自在に支持し、前記
ガイドブロック１に対してＹ方向に延長した長尺棒状の
リニアガイド９を設け、該リニアガイド９に座乗され、
送りネジ11によりＹ方向に移動可能とされたブロック状
の移動台10を設け、該移動台10に一対の軸受13,13をＹ
方向に離間して回転自在に取り付けるとともに、前記上
方移動板６に前記軸受13,13間に挟着される連結バー８
を一体的に形成したことを特徴とするボンディング装置
におけるXYテーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988088526U JPH079377Y2 (ja) | 1988-07-05 | 1988-07-05 | ボンディング装置におけるｘｙテーブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988088526U JPH079377Y2 (ja) | 1988-07-05 | 1988-07-05 | ボンディング装置におけるｘｙテーブル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0211330U JPH0211330U (ja) | 1990-01-24 |
| JPH079377Y2 true JPH079377Y2 (ja) | 1995-03-06 |
Family
ID=31313085
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988088526U Expired - Lifetime JPH079377Y2 (ja) | 1988-07-05 | 1988-07-05 | ボンディング装置におけるｘｙテーブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH079377Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0630004U (ja) * | 1992-09-24 | 1994-04-19 | 株式会社石津製作所 | 濾しパック |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5371569A (en) * | 1976-12-08 | 1978-06-26 | Hitachi Ltd | X - y moving table |
| JPS5952540A (ja) * | 1982-09-20 | 1984-03-27 | 株式会社富士電機総合研究所 | 電磁式粉砕混合等処理装置 |
| JPS62147737A (ja) * | 1985-12-23 | 1987-07-01 | Toshiba Corp | ワイヤボンダ用ｘ−ｙテ−ブル |
-
1988
- 1988-07-05 JP JP1988088526U patent/JPH079377Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0211330U (ja) | 1990-01-24 |
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