JPS61144934U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61144934U JPS61144934U JP2958785U JP2958785U JPS61144934U JP S61144934 U JPS61144934 U JP S61144934U JP 2958785 U JP2958785 U JP 2958785U JP 2958785 U JP2958785 U JP 2958785U JP S61144934 U JPS61144934 U JP S61144934U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- base
- moving
- drive shaft
- disposed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す主要部の平面
図、第２図は第１図のＡ―Ａ断面図、第３図は第
１図のＢ―Ｂ断面図である。 １：試料室、２：ベース、３ｘ，３ｙ：駆動軸
、６ｘ，６ｙ：ブロツク、７ｘ，７ｙ：モータ、
８：移動台、９ａ〜９ｄ，１４ａ〜１４ｄ，１５
ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ，２１ａ〜２１ｄ：
スライドチツプ、１１：第１のアーム、１２：案
内溝、１３：ピン、１７：第２のアーム、１８：
案内板、１９ａ，１９ｂ：調整板、２０ａ，２０
ｂ：ローラ、２２ａ，２２ｂ，２３：ガイドロー
ラ。
図、第２図は第１図のＡ―Ａ断面図、第３図は第
１図のＢ―Ｂ断面図である。 １：試料室、２：ベース、３ｘ，３ｙ：駆動軸
、６ｘ，６ｙ：ブロツク、７ｘ，７ｙ：モータ、
８：移動台、９ａ〜９ｄ，１４ａ〜１４ｄ，１５
ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ，２１ａ〜２１ｄ：
スライドチツプ、１１：第１のアーム、１２：案
内溝、１３：ピン、１７：第２のアーム、１８：
案内板、１９ａ，１９ｂ：調整板、２０ａ，２０
ｂ：ローラ、２２ａ，２２ｂ，２３：ガイドロー
ラ。
Claims (1)
- 上面と少なくとも一側面に高精度に加工されて
いるベース部材、該高精度に加工された一側面に
対して平行に配置された第１の駆動軸、前記ベー
ス上面に摺動自在に配置された移動台、前記ベー
ス上面を横断して配置され、前記高精度に加工さ
れたベースの一側面に摺動自在に接合し且つ前記
移動台とも摺動自在に係合した第１の移動アーム
、前記高精度に加工されたベースの一側面に該第
１のアームを一定圧力で押圧する手段、前記第１
のアームを移動台の摺動面に一定圧力で押圧する
手段、前記第１のアームの一端と前記移動軸とを
該アームの長手方向への相対移動を許容して結合
する締結機構、前記第１の駆動軸と直交して配置
された第２の駆動軸、第２の駆動軸に一端が係合
され、第１のアームと直交して配置され且つ移動
台に摺動自在に係合した第２の移動アーム、第２
のアームと移動台との相対摺動方向を微調整する
ための機構及びベースと第１のアームの摺動部、
ベースと移動台との摺動部、第２のアームと移動
台との摺動部等の適所に配置された非磁性のスラ
イドチツプからなるＸＹ移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2958785U JPS61144934U (ja) | 1985-03-01 | 1985-03-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2958785U JPS61144934U (ja) | 1985-03-01 | 1985-03-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61144934U true JPS61144934U (ja) | 1986-09-06 |
Family
ID=30528531
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2958785U Pending JPS61144934U (ja) | 1985-03-01 | 1985-03-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61144934U (ja) |
-
1985
- 1985-03-01 JP JP2958785U patent/JPS61144934U/ja active Pending
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