JPS5869396U - 磁気デイスクモジユ−ル検査装置 - Google Patents
磁気デイスクモジユ−ル検査装置Info
- Publication number
- JPS5869396U JPS5869396U JP16508581U JP16508581U JPS5869396U JP S5869396 U JPS5869396 U JP S5869396U JP 16508581 U JP16508581 U JP 16508581U JP 16508581 U JP16508581 U JP 16508581U JP S5869396 U JPS5869396 U JP S5869396U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic disk
- disk module
- slide table
- positioning
- inspection equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、本考案の二実雄側を示す磁気ディスクモジュ
ール検査装置の斜視図、第２図は同装置のスライドテー
ブル及びガイド部の一部断面説明図である。 図において、１は磁気ディスクモジュール位置決め板、
２は吹出口、３は定盤、４はスライドテーブル、５．
５’はガイド、６はシリンダ、７はストッパ、８． ８
’はクランプ、１２は検査ヘッドをそれぞれ示す。
ール検査装置の斜視図、第２図は同装置のスライドテー
ブル及びガイド部の一部断面説明図である。 図において、１は磁気ディスクモジュール位置決め板、
２は吹出口、３は定盤、４はスライドテーブル、５．
５’はガイド、６はシリンダ、７はストッパ、８． ８
’はクランプ、１２は検査ヘッドをそれぞれ示す。
Claims (1)
- 上面に磁気ディスクモジュールを位置決めする位置決め
板１を備え、下面９と側面１０．１１に、それぞれ少な
くとも１つのエアーの吹出口２を有し、定盤３の上面を
浮上し不ライド可能なスライドテーブル４と、スライド
テーブル４の動きを規制する２本の平行なガイド５，５
′ と、スライドテーブル４をガイド５，５′に沿って
駆動させるシリンダ６と、スライドテーブル４を位置決
めするストッパ７と、スライドテーブル４を位置決め後
固定するクランプ８．’８’ とからなる磁気ディスク
モジュール供給機構を具備したことを特徴とする磁気デ
ィスクモジュール検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16508581U JPS5869396U (ja) | 1981-11-05 | 1981-11-05 | 磁気デイスクモジユ−ル検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16508581U JPS5869396U (ja) | 1981-11-05 | 1981-11-05 | 磁気デイスクモジユ−ル検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5869396U true JPS5869396U (ja) | 1983-05-11 |
Family
ID=29957294
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16508581U Pending JPS5869396U (ja) | 1981-11-05 | 1981-11-05 | 磁気デイスクモジユ−ル検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5869396U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS634440A (ja) * | 1986-06-24 | 1988-01-09 | Idemitsu Petrochem Co Ltd | ディスク検査装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5441079A (en) * | 1977-09-08 | 1979-03-31 | Kobatoron Kk | Device for inspecting semiconductor |
-
1981
- 1981-11-05 JP JP16508581U patent/JPS5869396U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5441079A (en) * | 1977-09-08 | 1979-03-31 | Kobatoron Kk | Device for inspecting semiconductor |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS634440A (ja) * | 1986-06-24 | 1988-01-09 | Idemitsu Petrochem Co Ltd | ディスク検査装置 |
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