JPS634440A

JPS634440A - ディスク検査装置

Info

Publication number: JPS634440A
Application number: JP14785286A
Authority: JP
Inventors: Shunichi Nagashima; 長嶋　俊一; Toshiki Shojima; 庄嶋　敏樹
Original assignee: Idemitsu Petrochemical Co Ltd
Current assignee: Idemitsu Petrochemical Co Ltd
Priority date: 1986-06-24
Filing date: 1986-06-24
Publication date: 1988-01-09
Also published as: JPH044664B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、光ディスク等の情報記憶用ディスクのそりや
面振れを検査するための装置に関するものである。

［従来の技術］光ディスク等の情報記憶用ディスクにおいては、ディス
クの形状精度が非常に重要となる０例えば、光ディスク
に一定以上の大きさの面振れ（円周方向の変位）やそり
（径方向の変位）があると、ディスク装置の光学ピック
アップの追従性が悪くなり、記録再生ができなくなると
いった問題がある。

このため、ディスクの面振れやそりを検査し、ディスク
の形状精度が光学ピックアップの追従性に！！形ツを与
えない範囲となるような生産管理が行なわれている。こ
の場合、従来は、測２精度の高さあるいは測定範囲の広
さ等の見地から検査装置の検出器として、光学式のもの
が多く使われている（例えば、特開昭６１−７１９０３
号）。

［解決すべき問題点］上述した光学式の検出器を用いたディスク検査装置にお
いては、ある−定レベルの測定精度は得られるものの、
それ以上の高い測定精度を得るには限界があった。この
限界は検出器自体の精度に起因するものではなく、被検
査体を支持し回転させるスピンドル、あるいは検出器を
ディスクとの間で移動させるスライド等の機械的部分の
精度に起因するものであった。

しかし、従来のディスク検査装置においては、検出器自
体の精度向上については種々研究がなされているものの
、機械的な部分の精度向上については余り研究がなされ
ていなかった。そのため、従来のディスク検査装置では
、ディスクの十分な生産管理を行なう上で必要な、高精
度の検査を行なうことができないという問題があった。

本発明は上記の問題点にかんがみてなされたもので、検
出器のみならず、ディスクを支持するスピンドルおよび
ディスクと検出器を相対移動させるスライド等の機械的
部分の精度を向上させることにより、装置自体の測定精
度を大幅に向上させたディスク検査装置の提供を目的と
する。

［問題点の解決手段］上記目的を達成するため本発明のディスク検査装置は、
ディスクを基準面に支持する支持部材と、この支持部材
を先端に有するエアースピンドルと、前記ディスクの表
面を走査する検出器と、この検出器と前記ディスクとを
相対的に移動させるエアースライドとで構成してあり、
このうち、例えばエアースライドが、検出器を支持しデ
ィスクとの間を移動するような構成としである。

［実施例］以下、本発明の一実施例について図面を参照しつつ説明
する。

第１図は実施個装この正面図、第２図はエアースライド
の要部断面図、第３図は検出器の概略構成図を示す。

これら図面において、１０はエアースピンドルであり、
スピンドル１１と、このスピンドル１１をエアーによる
静圧軸受等で回転自在に支承する軸台１ｚとからなって
いる。このエアースピンドル１０は、基台１の適所に垂
直に？Ｃ着配置してあり、そのスピンドル１１の下端は
モータ１３と連接している。また、スピンドル１１の上
部にはターンテーブル等の支持部材１４が水平に装着し
である。また、被検査体であるディスク２は、ターンテ
ーブル等の支持部材１４に、例えば真空吸着手段によっ
て取り付けられ、常に基準面に支持されるようになって
いる。

２０はエアースライド　（ａｉｒ　５ｌｉｄｅ）　　で
あり、ターンテーブル１４の径方向延長線上に配置した
ガイドレール２１と、このガイドレール２１の四周を囲
むようにしてガイドレール２１に装着した移動台２２、
および移動台２２をガイドレールに沿って移動させる駆
！ｈｆ−段２３とからなっている。移動台２２は縦断面
が口字状になっており、その内周面にそれぞれ給気ポケ
ッ）２２ａを設け、この給気ポケット２２ａよりエアー
を吹き出すことによって移動台２２を浮揚させている。

また、移動台２２を移動させる駆動手段２３としては、
移動台２２のナラ）２２ｂと螺合するボールスクリュ２
３ａ等をモータ２３ｂによって回転させるねじ！％！！
＋式、あるいはりニアモータを用いたりニアモータ駆動
式等（図示せず）の種々の駆動手段を採用することがで
きる。

なお、エアースピンドル１０およびエアースライド２０
に供給する圧縮空気は、図示してないが、通常、基台１
もしくは基台１の近傍に設けられたコンプレフサより供
給される。

３０はディスク２の表面を走査する検出：であり、保持
部材３１によって移動台２２に、ディスク２の表面との
間に所定の間隙ｄがあくように取り付けである０本実施
例の場合、検出器３０としてレーザビームスポット位置
検出器を用いている。なお、レーザビームスポット位置
検出器としては、測定範囲が±１５０ル以上と比較的広
く、しかも測定精度が±０．５．以下を満足するものが
望ましい。

このレーザビームスポット位置検出器は、半導体レーザ
３０ａからのビームを照明レンズ３０ｂを通して細く絞
った上でディスク２の表面に照射するとともに、ディス
ク２の表面から反射、散乱してきた光の一部奢結像レン
ズ３０ｃを介して光検出素子３０ｄの受光面に投影する
。光検出素子３０ｄは、光束が受光面上のどの位置に入
射しているかを電気出力として演算回路３０ｅに出力す
る。したがって、ディスク２に面振れあるいはそりがあ
ると、面振れ、そり量に応じて光検出素子３０ｄから演
算回路３０ｅに送られる電気出力が変化する。

３２は制御手段であり、検出器３０にレーザビーム照射
指令等の各！！指令を与えるとともに。

演算回路３０ｅからのデータをもとに、ディスク２の振
れあるいはそり量が許容値に入っているか否か等を判断
し、ディスク２の良、不良を検査する０図示してないが
、この制御手段３２は通常基台１もしくは基台ｌの近傍
に設けられている。

このような構成からなるディスク検査装置においては、
支持部材１４の上に被検査体であるディスク２を載せて
位置決めし、その後エアースピンドルｌＯをモータ１３
によって回転させ、ディスク２を所定の速度で回転させ
る。エアースピンドル１０は、高速回転を可滝とすると
ともに、スピンドル１０の振れをきわめて小さくするこ
とができるので、スピンドル１０の振れによって生じる
測定誤差を最小限に抑えられる。

また、エアースライド２０は、ガイドレール２１に沿っ
て移動台２２をディスク２の径方向に移動させることに
より、検出８３０をディスク２上において径方向に走査
させる。そして、検出器３０は、ディスク２の面振れ、
そりによるディスク２と検出器３０との間隙ｄの変化、
すなわち、光検出素子３０ｄの光束受光位置の変化を捉
え、面振れ、そりの量を検出する。エアースライド２０
は、移動台２２すなわち検出器３０の走査時における振
れをきわめて小ざくすることができるので、移動台２２
の振れによって生じる測定誤差を最小限に抑えることが
可老となる。

さらに、エアースピンドル１０とエアースライド２０を
用いることにより、検査装この可動部の摩耗等に起因す
る精度低下もないので、長期間にわたって高精度な状慝
を維持する。

このように、本実施例のディスク検査装置によれば、デ
ィスク２を回転させるスピンドル、および検出器を移動
させるスライドの精度を向上させることにより、検査装
置の測定精度を大幅に向上させることができる。また、
検出器としてレーザビームスポット式検出器を用いてい
るので、ディスクの材質、あるいは含水率９反射率など
に影テされることなく正確な検査を行なえる。さらに。

高精度な検査を短時間のうちに行なうことができる。さ
らにまた、検出器からの信号を処理することによって、
そり１面振れの他に、面振れ加速度、スキュー角等も測
定することができる。

なお１本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
例えば、次のような変形例をも含むものである。

■　検出器が、ディスクの下面を走査するようにしたも
の。

■　エアースライドをエアースピンドル側に設けるとと
もに、検出：を固定し、エアースピンドルすなわちディ
スクを検出器に対して移動させるようにしたもの。

■　エアースライドをエアースピンドル側にも設け、デ
ィスクおよび検出器を必要に応じて移動させるようにし
たもの。

＠　エアースピンドルすなわちディスクの支持部材と、
エアースライドすなわち検出器の配ごをそれぞれ変えた
もの０例えば、エアースピンドルを水玉に配置して、デ
ィスクを垂直基準面に支持するとともに、エアースライ
ドを垂直に配置して、検出：を垂直方向に移動させるよ
うにしたもの。

■　ディスクの支持部材として、ターンテーブル以外の
支持部材１例えば各種のチャック等を用いるようにした
もの。

■　エアースライドにおけるガイドレールおよび移動台
の形状を変えたもの０例えば、ガイドレールを凸状とし
、移動台を回状としたもの、あるいはこの逆としたもの
。

■　検出器を８［数台用いるようにしたもの。

■　光デイスク以外のディスクを検査するようにしたも
の。

■　ディスクの面振れ、そり以外の要素を測定するよう
にしたもの。

［発明の効果］以上のように、ｉｔ発明のディスク検査装置によれば、
高精度な検査が回置となり、モ分な生産管理を行なえる
効果がある。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示すもので、第１図は実施例
装置の正面図、第２図はエアースライドの要部断面図、
第３図は検出器の概略構成図を示す。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ディスクを基準面に支持する支持部材と、この支
持部材を先端に有するエアースピンドルと、前記ディス
クの表面を走査する検出器と、この検出器と前記ディス
クとを相対的に移動させるエアースライドとからなるこ
とを特徴としたディスク検査装置。
（２）エアースライドが、検出器を支持し移動させるこ
とを特徴とした特許請求の範囲第１項記載のディスク検
査装置。
（３）エアースピンドルを、ディスクの支持装置を上部
に位置せしめるとともに、垂直配置としたことを特徴と
する特許請求の範囲第１項または第２項記載のディスク
検査装置。（４）検出器が、レーザビームスポット位置
検出器であることを特徴とした特許請求の範囲第１項、
第２項または第３項記載のディスク検査装置。