JPS61277006A - 記録用デイスク検査装置 - Google Patents
記録用デイスク検査装置Info
- Publication number
- JPS61277006A JPS61277006A JP11849685A JP11849685A JPS61277006A JP S61277006 A JPS61277006 A JP S61277006A JP 11849685 A JP11849685 A JP 11849685A JP 11849685 A JP11849685 A JP 11849685A JP S61277006 A JPS61277006 A JP S61277006A
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- JP
- Japan
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- disk
- optical
- optical pickup
- pickups
- radius direction
- Prior art date
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- Pending
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明はアルミを基板とした所謂／・−ド磁気ディス
ク、あるいは溝付アクリルガラス基板からなる光磁気用
ディスクの表面の仕上り状態を検査するための装置に関
するものである。
ク、あるいは溝付アクリルガラス基板からなる光磁気用
ディスクの表面の仕上り状態を検査するための装置に関
するものである。
従来の技術
ハード磁気ディスク−は、周知のようにＩＣビット以上
の記憶容量を持ち高速（３６００ｒ、μｍ、）で回転さ
れ、その表面から微少の距離、すなわち０．２〜０．５
μｍ離れた状態に浮いているフローティングヘッドによ
って書き込みおよび読み出し動作を行なうものである。
の記憶容量を持ち高速（３６００ｒ、μｍ、）で回転さ
れ、その表面から微少の距離、すなわち０．２〜０．５
μｍ離れた状態に浮いているフローティングヘッドによ
って書き込みおよび読み出し動作を行なうものである。
したがって、ディスク表面に突起があったりすると、そ
れによってフローティングヘッドがはじき飛ばされたり
破壊することがある。また、光磁気ディスクにおいては
、ディスク形状の欠陥に加えて媒体の塗布むらによる磁
気特性上の欠陥ならびに光磁気ディスクの場合カー（Ｋ
ｅ ｒ ｒ ）欠陥が発生する問題がある。そのため、
製造さ−れるディスクは厳しく検査された後出荷する必
要がある。
れによってフローティングヘッドがはじき飛ばされたり
破壊することがある。また、光磁気ディスクにおいては
、ディスク形状の欠陥に加えて媒体の塗布むらによる磁
気特性上の欠陥ならびに光磁気ディスクの場合カー（Ｋ
ｅ ｒ ｒ ）欠陥が発生する問題がある。そのため、
製造さ−れるディスクは厳しく検査された後出荷する必
要がある。
従来用いられている検査装置の概略構成を第４図に示す
。１は被測定用ディスクで、矢印Ａの方向に高速で回転
しているａｌｌはディスク１の中心で、１２は回転位相
の基準となり、また測定の位置決めをするだめのマーク
である。２け二次元ＣＣＤイメージセンサで、レンズ３
によってディスク１の被測定部１３の像が投写されてい
る０４けイメージセンサ２の出力から欠陥部を検出する
ための二次元欠陥検出処理系で、５はディスクの欠陥の
位置を指示するためのディス−′プレイであり、６けデ
ィスク上の被測定部１３の画像を見るための陰極線管モ
ニタである。第４図の装置は、ディスク上にもし欠陥が
ある場合、それが基準マーク１２に対してどの位置にあ
るかをコンピュータ処理してディス２プレイ５に表示す
ることができる。
。１は被測定用ディスクで、矢印Ａの方向に高速で回転
しているａｌｌはディスク１の中心で、１２は回転位相
の基準となり、また測定の位置決めをするだめのマーク
である。２け二次元ＣＣＤイメージセンサで、レンズ３
によってディスク１の被測定部１３の像が投写されてい
る０４けイメージセンサ２の出力から欠陥部を検出する
ための二次元欠陥検出処理系で、５はディスクの欠陥の
位置を指示するためのディス−′プレイであり、６けデ
ィスク上の被測定部１３の画像を見るための陰極線管モ
ニタである。第４図の装置は、ディスク上にもし欠陥が
ある場合、それが基準マーク１２に対してどの位置にあ
るかをコンピュータ処理してディス２プレイ５に表示す
ることができる。
発明が解決しようとする問題点
第４図の従来の装置は二次元ＣＣＤイメージセンサを用
いて構成されているが、これけ絵素として４０，０００
エレメント程度のものが限界であり、また転送レート
（クロック周波数）に制限があり、高速処理および分解
能の点で十分な成果が得にくかった。
いて構成されているが、これけ絵素として４０，０００
エレメント程度のものが限界であり、また転送レート
（クロック周波数）に制限があり、高速処理および分解
能の点で十分な成果が得にくかった。
問題点を解決するための手段
この発明の記録用ディスク検査装置の構成としては、被
測定用ディスクの半径方向に沿って測定長を等分割する
間隔で複数個の光ピックアップを配列し、共通なレーザ
光源を設け、このレーザ光源から発射されるレーザ光を
分光してピックアップのそれぞれにより被測定用ディス
ク上に照射する光供給手段を有し、各党ピックアップに
より取−り出された反射レーザ光から被測定用ディスク
面の状態を検出回路により検出し、前述の複数個の光ピ
ックアップを一体的に保持して半径方向に沿って所定の
間隔分移動可能にする移動手段を設け１いることを特徴
とするものである。
測定用ディスクの半径方向に沿って測定長を等分割する
間隔で複数個の光ピックアップを配列し、共通なレーザ
光源を設け、このレーザ光源から発射されるレーザ光を
分光してピックアップのそれぞれにより被測定用ディス
ク上に照射する光供給手段を有し、各党ピックアップに
より取−り出された反射レーザ光から被測定用ディスク
面の状態を検出回路により検出し、前述の複数個の光ピ
ックアップを一体的に保持して半径方向に沿って所定の
間隔分移動可能にする移動手段を設け１いることを特徴
とするものである。
作用
この発明によれば、複数個の光ピックアップを被測定用
ディスクの半径方向に所定の間隔で配列するため、１個
の光ピックアップの測定領域を少なくでき、全体として
短時間で測定を完了できる。
ディスクの半径方向に所定の間隔で配列するため、１個
の光ピックアップの測定領域を少なくでき、全体として
短時間で測定を完了できる。
また、レーザ光源としては共通のものを１何段ければよ
いので価格上も有利である。また、光ピックアップは分
解能に優れ、価格的にもかなり低くなっているので従来
の手段にとって代る要素を十分備えている。
いので価格上も有利である。また、光ピックアップは分
解能に優れ、価格的にもかなり低くなっているので従来
の手段にとって代る要素を十分備えている。
実施例
この考案の実施例について、以下図面に従って説明する
。第１図はこの考案の実施例に係る記録用ディスク検査
装置の主要構成を示す立面図、第２図は第１図における
光ピックアップの構造の一部分を説明するだめの斜視図
、第３図は光ピックアップの他の構造を示す斜視図であ
る。
。第１図はこの考案の実施例に係る記録用ディスク検査
装置の主要構成を示す立面図、第２図は第１図における
光ピックアップの構造の一部分を説明するだめの斜視図
、第３図は光ピックアップの他の構造を示す斜視図であ
る。
第１図において、１０は被測定用ディスク１を回転させ
るモータである。７および７′はディスク１の下面また
は上面に対向して設けられた光ピックアップキャリアで
、被測定用ディスク１の半径方向に沿って後述する距離
ｄだけ移動する。その移動メカニズムは周知の光デイス
クプレーヤと同様な構成で良いので、ここではその詳細
については略す。この光ピックアップキャリア７．７′
はディスクをはさんで向い合うわけであるが、その内部
構造は両方とも同じなので、符号７の内部のみについて
説明をする。また、１４は位相基準マーク１２の通過を
検出する回転位相検出器である。
るモータである。７および７′はディスク１の下面また
は上面に対向して設けられた光ピックアップキャリアで
、被測定用ディスク１の半径方向に沿って後述する距離
ｄだけ移動する。その移動メカニズムは周知の光デイス
クプレーヤと同様な構成で良いので、ここではその詳細
については略す。この光ピックアップキャリア７．７′
はディスクをはさんで向い合うわけであるが、その内部
構造は両方とも同じなので、符号７の内部のみについて
説明をする。また、１４は位相基準マーク１２の通過を
検出する回転位相検出器である。
光ピックアップキャリア７の中には光ピックアップ７１
，７２．７３が等゛間隔ｄで半径方向に一列に配列され
ている。被測定用ディスク１の測定領域が半径方向で見
たとき符号りで示されるものとすると、Ｄ＝３ｄとなり
、ｄは半径方向の測定長りを３つに等分割する間隔とな
る。各光ピックアップ７１，７２．７３は第２図に示さ
れるように周知の光ピックアップの光学系と同じ構造を
持つが、ことではそのレーザ光供給源として共通のもの
を用いる点で異なる。すなわち、半導体レーザ７５から
発射されるレーザ光はコリメータレンズ７４を通して分
光プリズムのハーフミラ−に与えられるが、各光ピック
アップ７１．７２．７３は前述のように一列に並んでい
るため、分光プリズムのハーフミラ−を通して進むレー
ザ光の成分は隣の分光プリズムで屈折した光は周知のよ
うにそれぞれの１λ板、対物レンズを介して被測定用デ
ィスク１の面に照射され、その反射光のうち対物レンズ
、１λ板、分光プリズム、収束レンズ、円筒レンズを通
して直進した成分はフォトディテクタで受光される。フ
ォトディテクタの出力は後述するように被測定用ディス
ク１の面の状態を判別するのに用いられる。
，７２．７３が等゛間隔ｄで半径方向に一列に配列され
ている。被測定用ディスク１の測定領域が半径方向で見
たとき符号りで示されるものとすると、Ｄ＝３ｄとなり
、ｄは半径方向の測定長りを３つに等分割する間隔とな
る。各光ピックアップ７１，７２．７３は第２図に示さ
れるように周知の光ピックアップの光学系と同じ構造を
持つが、ことではそのレーザ光供給源として共通のもの
を用いる点で異なる。すなわち、半導体レーザ７５から
発射されるレーザ光はコリメータレンズ７４を通して分
光プリズムのハーフミラ−に与えられるが、各光ピック
アップ７１．７２．７３は前述のように一列に並んでい
るため、分光プリズムのハーフミラ−を通して進むレー
ザ光の成分は隣の分光プリズムで屈折した光は周知のよ
うにそれぞれの１λ板、対物レンズを介して被測定用デ
ィスク１の面に照射され、その反射光のうち対物レンズ
、１λ板、分光プリズム、収束レンズ、円筒レンズを通
して直進した成分はフォトディテクタで受光される。フ
ォトディテクタの出力は後述するように被測定用ディス
ク１の面の状態を判別するのに用いられる。
光ピックアップキャリア７を距離ｄだけ半径に沿って外
側に移動させると、各光ピックアップ７１．７２．７３
もそれぞれ距離ｄだけ移動し、全体として測定領域（半
径方向ではＤ）をすべて検査することができる。すなわ
ち、分担して検査するため短時間で完了することができ
るわけである。
側に移動させると、各光ピックアップ７１．７２．７３
もそれぞれ距離ｄだけ移動し、全体として測定領域（半
径方向ではＤ）をすべて検査することができる。すなわ
ち、分担して検査するため短時間で完了することができ
るわけである。
第２図は第１図における構造のうち、光ピックアップ７
１の関連する部分について示すものであるが、７１１け
対物レンズ、７１２けフォーカスサーボを制御するアク
チユエータ、７１３はτλ板、７１４は分光プリズム、
７１５け収束レンズ、７１６は円筒レンズである。また
７１７け４分割フォトディテクタで、対角状に位置する
出力同志の和をとり、それらの和信号をコンノ（レータ
７１８で比較する。出力端子７１９から得られる信号は
周知のようにフォーカスエラーを表わすもので、この信
号によってアクチュエータ７１２を駆動し、対物レンズ
を調整してフォーカスを自動調整する。
１の関連する部分について示すものであるが、７１１け
対物レンズ、７１２けフォーカスサーボを制御するアク
チユエータ、７１３はτλ板、７１４は分光プリズム、
７１５け収束レンズ、７１６は円筒レンズである。また
７１７け４分割フォトディテクタで、対角状に位置する
出力同志の和をとり、それらの和信号をコンノ（レータ
７１８で比較する。出力端子７１９から得られる信号は
周知のようにフォーカスエラーを表わすもので、この信
号によってアクチュエータ７１２を駆動し、対物レンズ
を調整してフォーカスを自動調整する。
また、フォトディテクタ７１７の和出力はＡＣまたはＤ
Ｃアンプ７２０で加算されてＲＦ倍信号なる。もし、被
測定用ディスクの面に突出部のような傷があると、この
アンプ７２０の出力にピーク波が出現する。アンプ７２
０の出力は分析装置７２２に与えられる。この装置は入
力端子７２１に加えられる回転位相検出器１４の出力と
からディスクの傷の大きさ、位置等を分析する。その分
析出力は出力端子７２３から取り出されディス・プレイ
装置に与えられ可視できるようにする。
Ｃアンプ７２０で加算されてＲＦ倍信号なる。もし、被
測定用ディスクの面に突出部のような傷があると、この
アンプ７２０の出力にピーク波が出現する。アンプ７２
０の出力は分析装置７２２に与えられる。この装置は入
力端子７２１に加えられる回転位相検出器１４の出力と
からディスクの傷の大きさ、位置等を分析する。その分
析出力は出力端子７２３から取り出されディス・プレイ
装置に与えられ可視できるようにする。
第３図はハード磁気ディスクの欠陥がＫｅｒｒ効果で検
出されるもの、もしくは光磁気ディスクのＫｅｒｒ回転
欠陥を検出する機能を付加した光ピックアップの構造で
あるが、この場合にはΣλλ板 １３’、 偏光ビーム
スプリッタ７２５、収束レンズ７２６、フォトディテク
タ７２７、アンプ７２８、差動アンプ７２９が付は加え
られている’２波長板７１３け取り出される光の偏光面
が偏光ビームスプリッタ７２５に対して４５度ずれるよ
うに配置されている。ディテクタ７２７はＰｉＮ フォ
トダイオードで、そのＲＦ比出力前述のアンプ７２０の
ＲＦ比出力差動ナンプ７２９において抽出される。被測
定用ディスク１が光磁気ディスクの場合、塗布されてい
る媒体にもしむらがあったりすると、出力端子７３０に
現われる。すなわち、磁気媒体上に光があたると直線偏
光角が曲げられて所謂Ｋｅｒｒ回転して戻ってくるわけ
で、その変化の度合を検出することによって媒体面の不
良を発見することができる。したがって、端子７３０の
出力と回転位相検出器１４の出力等を分析装置に与えて
やればディスクの欠陥個所を算出表示することができる
。
出されるもの、もしくは光磁気ディスクのＫｅｒｒ回転
欠陥を検出する機能を付加した光ピックアップの構造で
あるが、この場合にはΣλλ板 １３’、 偏光ビーム
スプリッタ７２５、収束レンズ７２６、フォトディテク
タ７２７、アンプ７２８、差動アンプ７２９が付は加え
られている’２波長板７１３け取り出される光の偏光面
が偏光ビームスプリッタ７２５に対して４５度ずれるよ
うに配置されている。ディテクタ７２７はＰｉＮ フォ
トダイオードで、そのＲＦ比出力前述のアンプ７２０の
ＲＦ比出力差動ナンプ７２９において抽出される。被測
定用ディスク１が光磁気ディスクの場合、塗布されてい
る媒体にもしむらがあったりすると、出力端子７３０に
現われる。すなわち、磁気媒体上に光があたると直線偏
光角が曲げられて所謂Ｋｅｒｒ回転して戻ってくるわけ
で、その変化の度合を検出することによって媒体面の不
良を発見することができる。したがって、端子７３０の
出力と回転位相検出器１４の出力等を分析装置に与えて
やればディスクの欠陥個所を算出表示することができる
。
発明の詳細
な説明したごとくこの発明は、光ピックアップを複数個
配列した構成を備えており、その数を多くすれば光ピッ
クアップの単位あたりの測定量は小さくなる。その結果
、キャリアの移動量を小さくできるから測定時間を短か
ぐすることができる。また、光ピックアップの構造は市
販されているコンパクトディスクプレーヤに使用されて
いるものを若干改良すれば良いし、レーザ光源となるレ
ーザ素子も複数のピックアップに対し共通なものを用い
れば良いのでコスト的に従来のものに比べてかなり有利
である。また、本発明の装置によれば分解能が優れてお
り、かつ不良検出の課程も自動的に行える要素も含んで
いるので量産化にも十分寄与することができるものであ
る。
配列した構成を備えており、その数を多くすれば光ピッ
クアップの単位あたりの測定量は小さくなる。その結果
、キャリアの移動量を小さくできるから測定時間を短か
ぐすることができる。また、光ピックアップの構造は市
販されているコンパクトディスクプレーヤに使用されて
いるものを若干改良すれば良いし、レーザ光源となるレ
ーザ素子も複数のピックアップに対し共通なものを用い
れば良いのでコスト的に従来のものに比べてかなり有利
である。また、本発明の装置によれば分解能が優れてお
り、かつ不良検出の課程も自動的に行える要素も含んで
いるので量産化にも十分寄与することができるものであ
る。
なお、共通なレーザ光源は、すべての光ピックアップに
対して１個だけ設けるというものではなく、そのパワー
に応じて二組に分けた光ピックアップ群に対してそれぞ
れ設けることも考えられる。
対して１個だけ設けるというものではなく、そのパワー
に応じて二組に分けた光ピックアップ群に対してそれぞ
れ設けることも考えられる。
また、光ピックアップの光学系および検出回路の構成に
ついてもいろいろな組合せが考えられ、上述した実施例
に示されたものだけに限定されるものではない。
ついてもいろいろな組合せが考えられ、上述した実施例
に示されたものだけに限定されるものではない。
第１図はこの発明の実施例に係る記録用デ′イスり検査
装置の概略構成を示す正面図、第２図は第１図における
一部分の構成を説明するだめの斜視図、第３図はこの発
明の他の実施例を示す斜視図第４図は従来の記録用ディ
スク検出装置の概略構成図である。 １・・・・・・・・・被測定用ディスク、Ｄ・・・・・
・・・・測定長、 ７１．７２および７３・・・・・・光ピックアップ、７
５・・・・・・ レーザ光源、 ７１４・・・・・・ レーザ光供給手段となる分光プリ
ズム、 ７１７．７２０，７２７，７２８，７２９・・・・・・
検出回路手段、 ７．７′・・・・・・移動手段のキャリア。 第１図 第２図 第３図
装置の概略構成を示す正面図、第２図は第１図における
一部分の構成を説明するだめの斜視図、第３図はこの発
明の他の実施例を示す斜視図第４図は従来の記録用ディ
スク検出装置の概略構成図である。 １・・・・・・・・・被測定用ディスク、Ｄ・・・・・
・・・・測定長、 ７１．７２および７３・・・・・・光ピックアップ、７
５・・・・・・ レーザ光源、 ７１４・・・・・・ レーザ光供給手段となる分光プリ
ズム、 ７１７．７２０，７２７，７２８，７２９・・・・・・
検出回路手段、 ７．７′・・・・・・移動手段のキャリア。 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- 被測定用ディスクの半径方向に沿つて半径方向の測定長
を等分割する間隔で配列された複数個の光ピックアップ
と、共通なレーザ光源と、このレーザ光源から発射され
るレーザ光を分光して前記ピックアップのそれぞれによ
り前記被測定用ディスク上に照射するレーザ光供給手段
と、前記各光ピックアップにより取り出された反射レー
ザ光から前記被測定用ディスク面の状態を検出する検出
回路手段と、前記複数個の光ピックアップを一体的に保
持して前記半径方向に沿つて前記間隔分移動可能にする
移動手段とを備えたことを特徴とする記録用ディスク検
査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11849685A JPS61277006A (ja) | 1985-05-31 | 1985-05-31 | 記録用デイスク検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11849685A JPS61277006A (ja) | 1985-05-31 | 1985-05-31 | 記録用デイスク検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61277006A true JPS61277006A (ja) | 1986-12-08 |
Family
ID=14738107
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11849685A Pending JPS61277006A (ja) | 1985-05-31 | 1985-05-31 | 記録用デイスク検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61277006A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01179245U (ja) * | 1988-06-07 | 1989-12-22 | ||
| JPH02156181A (ja) * | 1988-12-07 | 1990-06-15 | Kyoto Seisakusho:Kk | 磁気ディスクカートリッジの磁性欠陥検査あるいはデータ書込方法及びその装置 |
| EP0387050A2 (en) * | 1989-03-09 | 1990-09-12 | Tosoh Corporation | Magneto-optical disk inspecting method and apparatus |
| JPH02236840A (ja) * | 1989-03-09 | 1990-09-19 | Digital Sutoriimu:Kk | 光ディスク装置用多段マルチ光ヘッド |
| US5270879A (en) * | 1989-03-09 | 1993-12-14 | Tosoh Corporation | Magneto-optical disk inspecting method and apparatus |
| JP2012058228A (ja) * | 2010-08-09 | 2012-03-22 | Mitsubishi Electric Corp | 面形状検査装置及び面形状検査方法 |
-
1985
- 1985-05-31 JP JP11849685A patent/JPS61277006A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01179245U (ja) * | 1988-06-07 | 1989-12-22 | ||
| JPH02156181A (ja) * | 1988-12-07 | 1990-06-15 | Kyoto Seisakusho:Kk | 磁気ディスクカートリッジの磁性欠陥検査あるいはデータ書込方法及びその装置 |
| EP0387050A2 (en) * | 1989-03-09 | 1990-09-12 | Tosoh Corporation | Magneto-optical disk inspecting method and apparatus |
| JPH02236840A (ja) * | 1989-03-09 | 1990-09-19 | Digital Sutoriimu:Kk | 光ディスク装置用多段マルチ光ヘッド |
| US5270879A (en) * | 1989-03-09 | 1993-12-14 | Tosoh Corporation | Magneto-optical disk inspecting method and apparatus |
| JP2012058228A (ja) * | 2010-08-09 | 2012-03-22 | Mitsubishi Electric Corp | 面形状検査装置及び面形状検査方法 |
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