JPS60161811U - ワ−クへの付着異物の検知装置 - Google Patents
ワ−クへの付着異物の検知装置Info
- Publication number
- JPS60161811U JPS60161811U JP4799484U JP4799484U JPS60161811U JP S60161811 U JPS60161811 U JP S60161811U JP 4799484 U JP4799484 U JP 4799484U JP 4799484 U JP4799484 U JP 4799484U JP S60161811 U JPS60161811 U JP S60161811U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- attached
- workpieces
- contact plate
- detection device
- foreign matter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来例を示す平面図、第２図はこの考案の一実
施例を示す部分断面平面図、第３図はワークの傾き角と
測定誤差との関係を示すグラフである。
。 ゛ ２１・・・ベース、２ｉ・・・フレーム、２３，２
４゜３７・・・弾性手段、３１・・・ブラケット、３２
．３９・・・球面ブツシュ、３３・・・第１の接触プレ
ート、３４．４１・・・ワーク当接面、３５・・・可動
ブラケット、３８・・・部分、４０・・・第２の接触プ
レート、４３・・・変位検出手段、４４・・・接触子。
施例を示す部分断面平面図、第３図はワークの傾き角と
測定誤差との関係を示すグラフである。
。 ゛ ２１・・・ベース、２ｉ・・・フレーム、２３，２
４゜３７・・・弾性手段、３１・・・ブラケット、３２
．３９・・・球面ブツシュ、３３・・・第１の接触プレ
ート、３４．４１・・・ワーク当接面、３５・・・可動
ブラケット、３８・・・部分、４０・・・第２の接触プ
レート、４３・・・変位検出手段、４４・・・接触子。
Claims (1)
- ベース２１と、このベース２１に摺動可能に取り付けら
れ、弾性手段２３．２４によってベース６ ２１に対す
る位置を特定されるブレーム２２と、このフレーｌ、２
２と一体をなすブラケット３１に球面ブツシュ３２を介
して取り付けた第１の接触プレート３３と、前記フレー
ム２２に、その摺動力向と同一方向へ摺動可能に取り付
けられ、これも弾性手段３７によって第１の接触プレー
ト３３の方向へ押圧される可動ブラケット３５と、この
可動ブラケット３５に球面ブツシュ３９を介して取り付
けられて第１の接触プレート３３と対向した第２の接触
プレート４１と、フレーム２２に取−付１ｉｊられた第
２の接触ブレニド４０の変位検出手段４３とを具えてな
るワークへの付着異物の検知−装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4799484U JPS60161811U (ja) | 1984-04-03 | 1984-04-03 | ワ−クへの付着異物の検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4799484U JPS60161811U (ja) | 1984-04-03 | 1984-04-03 | ワ−クへの付着異物の検知装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60161811U true JPS60161811U (ja) | 1985-10-28 |
| JPH0329695Y2 JPH0329695Y2 (ja) | 1991-06-25 |
Family
ID=30563826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4799484U Granted JPS60161811U (ja) | 1984-04-03 | 1984-04-03 | ワ−クへの付着異物の検知装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60161811U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010234394A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-21 | Denso Corp | スパッタ検出装置 |
-
1984
- 1984-04-03 JP JP4799484U patent/JPS60161811U/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010234394A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-21 | Denso Corp | スパッタ検出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0329695Y2 (ja) | 1991-06-25 |
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