JPH07106214A - 半導体ウェーハ用ソータ - Google Patents
半導体ウェーハ用ソータInfo
- Publication number
- JPH07106214A JPH07106214A JP25132393A JP25132393A JPH07106214A JP H07106214 A JPH07106214 A JP H07106214A JP 25132393 A JP25132393 A JP 25132393A JP 25132393 A JP25132393 A JP 25132393A JP H07106214 A JPH07106214 A JP H07106214A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- carrier
- recognition
- wafers
- robot
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ウェーハ搬送手段の必要移動距離を短くし
て、作業時間を短縮する。 【構成】 半導体ウェーハ用ソータは、それぞれに認識
コードが付されているウェーハ３をそれぞれ複数枚収納
するための複数のキャリア４ａ〜９ａと、該複数のキャ
リア４ａ〜９ａがそれぞれ置かれるウェーハキャリアス
テージ４〜９と、軌道レール１ｂに沿って移動するウェ
ーハ搬送用ロボット１と、ウェーハ３に付されている認
識コードを読み取るためのウェーハＩＤ認識ユニット２
と、ウェーハＩＤ認識ユニット２によって読み取られた
ウェーハ３の認識コードに基づいてロボット１を操作す
ることにより、各ウェーハ３を認識コードに対応した所
定の空のキャリア４ａ〜９ａにおける所定の位置に収納
させるコントローラ１ｃとを有する。ロボット１と１つ
のステージ４と認識ユニット２は、同期移動手段として
の、軌道レール１ｂに沿って移動するロボット台座１ｄ
に搭載されている。
て、作業時間を短縮する。 【構成】 半導体ウェーハ用ソータは、それぞれに認識
コードが付されているウェーハ３をそれぞれ複数枚収納
するための複数のキャリア４ａ〜９ａと、該複数のキャ
リア４ａ〜９ａがそれぞれ置かれるウェーハキャリアス
テージ４〜９と、軌道レール１ｂに沿って移動するウェ
ーハ搬送用ロボット１と、ウェーハ３に付されている認
識コードを読み取るためのウェーハＩＤ認識ユニット２
と、ウェーハＩＤ認識ユニット２によって読み取られた
ウェーハ３の認識コードに基づいてロボット１を操作す
ることにより、各ウェーハ３を認識コードに対応した所
定の空のキャリア４ａ〜９ａにおける所定の位置に収納
させるコントローラ１ｃとを有する。ロボット１と１つ
のステージ４と認識ユニット２は、同期移動手段として
の、軌道レール１ｂに沿って移動するロボット台座１ｄ
に搭載されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の製造工程
において、ウェーハを所定のキャリアの所定の箇所に収
納して並べるための半導体ウェーハ用ソータに関する。
において、ウェーハを所定のキャリアの所定の箇所に収
納して並べるための半導体ウェーハ用ソータに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置製造工程において、一般にウ
ェーハはレジストコート、エッチング、イオン注入、拡
散、酸化、金属膜蒸着、ホトリソグラフィー等の各工程
を経て製造、処理されている。
ェーハはレジストコート、エッチング、イオン注入、拡
散、酸化、金属膜蒸着、ホトリソグラフィー等の各工程
を経て製造、処理されている。
【０００３】これらの一連の製造工程において、ウェー
ハは内壁に多段に形成された収納溝等を有するカセット
（ウェーハキャリア）に複数枚収納されて順次各工程に
搬送されるが、ウェーハは前記各処理工程段階を経て製
造されるため、処理順を正しく行い、ウェーハの経歴を
知ることができるようにするため、半導体ウェーハ用ソ
ータによりウェーハを所定のキャリアの所定の箇所に収
納して並べる必要がある。
ハは内壁に多段に形成された収納溝等を有するカセット
（ウェーハキャリア）に複数枚収納されて順次各工程に
搬送されるが、ウェーハは前記各処理工程段階を経て製
造されるため、処理順を正しく行い、ウェーハの経歴を
知ることができるようにするため、半導体ウェーハ用ソ
ータによりウェーハを所定のキャリアの所定の箇所に収
納して並べる必要がある。
【０００４】すなわち、半導体ウェーハ用ソータとは、
ウェーハを管理するものであり、複数のウェーハで構成
される１つのロットを複数のロットに分離する動作や、
また、その逆の動作で、複数のロットを１つのロットに
統合する動作、さらに、１つのロット内において、ウェ
ーハが収納される位置を変更する動作を行うときに使用
されるものである。以上説明した各動作を以下それぞれ
分離、統合および並び替えと呼ぶことにする（例えば特
開平３−２４１８１５号公報、特開平１−１７００１３
号公報参照）。
ウェーハを管理するものであり、複数のウェーハで構成
される１つのロットを複数のロットに分離する動作や、
また、その逆の動作で、複数のロットを１つのロットに
統合する動作、さらに、１つのロット内において、ウェ
ーハが収納される位置を変更する動作を行うときに使用
されるものである。以上説明した各動作を以下それぞれ
分離、統合および並び替えと呼ぶことにする（例えば特
開平３−２４１８１５号公報、特開平１−１７００１３
号公報参照）。
【０００５】従来の半導体ウェーハ用ソータは、図３に
示すように、それぞれに認識コードが付されているウェ
ーハ１１Ｘをそれぞれ複数枚収納するための複数のキャ
リア（カセット）１Ｘａ，５Ｘａ，６Ｘａ，７Ｘａ，８
Ｘａ，９Ｘａと、該複数のキャリア１Ｘａ，５Ｘａ，６
Ｘａ，７Ｘａ，８Ｘａ，９Ｘａがそれぞれ置かれるウェ
ーハキャリアステージ１Ｘ，５Ｘ〜９Ｘと、軌道レール
４Ｘに沿って移動するウェーハ搬送用ロボット３Ｘと、
ウェーハ１１Ｘに付されている認識コードを読み取るた
めのウェーハＩＤ認識ユニット２Ｘと、このウェーハＩ
Ｄ認識ユニット２Ｘによって読み取られたウェーハ１１
Ｘの認識コードに基づいてウェーハ搬送用ロボット３Ｘ
を操作することにより、各ウェーハ１１Ｘを認識コード
に対応した所定の空のキャリア１Ｘａ，５Ｘａ，６Ｘ
ａ，７Ｘａ，８Ｘａ，９Ｘａにおける所定の位置に収納
させるコントローラ１０Ｘとを有する。すなわち、ウェ
ーハ搬送用ロボット３Ｘの移動は、ウェーハＩＤ認識ユ
ニット２Ｘの認識情報に基づいて、コントローラ１０Ｘ
により制御されて行われる。なお、符号Ｘは、上述した
各ユニットが置かれるフロアを示している。
示すように、それぞれに認識コードが付されているウェ
ーハ１１Ｘをそれぞれ複数枚収納するための複数のキャ
リア（カセット）１Ｘａ，５Ｘａ，６Ｘａ，７Ｘａ，８
Ｘａ，９Ｘａと、該複数のキャリア１Ｘａ，５Ｘａ，６
Ｘａ，７Ｘａ，８Ｘａ，９Ｘａがそれぞれ置かれるウェ
ーハキャリアステージ１Ｘ，５Ｘ〜９Ｘと、軌道レール
４Ｘに沿って移動するウェーハ搬送用ロボット３Ｘと、
ウェーハ１１Ｘに付されている認識コードを読み取るた
めのウェーハＩＤ認識ユニット２Ｘと、このウェーハＩ
Ｄ認識ユニット２Ｘによって読み取られたウェーハ１１
Ｘの認識コードに基づいてウェーハ搬送用ロボット３Ｘ
を操作することにより、各ウェーハ１１Ｘを認識コード
に対応した所定の空のキャリア１Ｘａ，５Ｘａ，６Ｘ
ａ，７Ｘａ，８Ｘａ，９Ｘａにおける所定の位置に収納
させるコントローラ１０Ｘとを有する。すなわち、ウェ
ーハ搬送用ロボット３Ｘの移動は、ウェーハＩＤ認識ユ
ニット２Ｘの認識情報に基づいて、コントローラ１０Ｘ
により制御されて行われる。なお、符号Ｘは、上述した
各ユニットが置かれるフロアを示している。
【０００６】５つのウェーハキャリアステージ５Ｘ〜９
Ｘは並んで配置され、残る１つのウェーハキャリアステ
ージ１Ｘは、ウェーハ搬送用ロボット３Ｘに対して他の
ウェーハキャリアステージ５Ｘ〜９Ｘとは反対側に配置
されている。また、ウェーハＩＤ認識ユニット２Ｘは前
記残る１つのウェーハキャリアステージ１Ｘのとなりに
配置されている。
Ｘは並んで配置され、残る１つのウェーハキャリアステ
ージ１Ｘは、ウェーハ搬送用ロボット３Ｘに対して他の
ウェーハキャリアステージ５Ｘ〜９Ｘとは反対側に配置
されている。また、ウェーハＩＤ認識ユニット２Ｘは前
記残る１つのウェーハキャリアステージ１Ｘのとなりに
配置されている。
【０００７】次に、各動作について、図３および図４の
従来技術の欄を参照して説明する。
従来技術の欄を参照して説明する。
【０００８】先ず、分離の動作について説明する。予
め、ウェーハキャリアステージ１Ｘ上に、分離されるウ
ェーハが収納されたキャリア１Ｘａをセットするととも
に、他のウェーハキャリアステージ５Ｘ〜９Ｘ上に、分
離されたウェーハが収納される空のキャリア５Ｘａ，６
Ｘａ，７Ｘａ，８Ｘａ，９Ｘａをそれぞれセットする。
め、ウェーハキャリアステージ１Ｘ上に、分離されるウ
ェーハが収納されたキャリア１Ｘａをセットするととも
に、他のウェーハキャリアステージ５Ｘ〜９Ｘ上に、分
離されたウェーハが収納される空のキャリア５Ｘａ，６
Ｘａ，７Ｘａ，８Ｘａ，９Ｘａをそれぞれセットする。
【０００９】そして、ウェーハ搬送用ロボット３Ｘは、
ニュートラル位置からウェーハキャリアステージ１Ｘの
位置まで移動し（図４中、ステップ１）、そのロボット
アーム１２Ｘによりキャリア１Ｘａからウェーハを１枚
抜き取り（図４中、ステップ２）、この後、ウェーハＩ
Ｄ認識ユニット２Ｘの位置まで移動する（図４中、ステ
ップ３）。そこで、ウェーハ搬送用ロボット３Ｘは、保
持しているウェーハをウェーハＩＤ認識ユニット２Ｘへ
セットする（図４中、ステップ４）。ウェーハＩＤ認識
ユニット２Ｘでは、セットされたウェーハの位置出しが
行われた後（図４中、ステップ５）、このウェーハに付
されている認識コードの読み取りが行われる（図４中、
ステップ６）。ウェーハＩＤ認識が終了すると、ウェー
ハＩＤ認識ユニット２Ｘ内ではウェーハの取り出し位置
への移動が行われ（図４中、ステップ７）、さらに、ウ
ェーハ搬送用ロボット３ＸはウェーハＩＤ認識ユニット
２Ｘからウェーハを抜き取る（図４中、ステップ８）。
この後、ウェーハ搬送用ロボット３Ｘは、コントローラ
１０Ｘから入力したＩＤ情報に基づいて、所定のキャリ
アを選択し（この場合、キャリア５Ｘａを選択したとす
る）、このキャリア５Ｘａの位置まで移動した後（図４
中、ステップ９）、保持しているウェーハをキャリア５
Ｘａの所定の位置に収納する（図４中、ステップ１
０）。ウェーハ搬送用ロボット３Ｘは、これら一連の動
作を、キャリア１Ｘａ内にウェーハがなくなるまで繰り
返す。１サイクルの分離動作が完了するには約３６秒
（図４参照）の時間がかかっていた。
ニュートラル位置からウェーハキャリアステージ１Ｘの
位置まで移動し（図４中、ステップ１）、そのロボット
アーム１２Ｘによりキャリア１Ｘａからウェーハを１枚
抜き取り（図４中、ステップ２）、この後、ウェーハＩ
Ｄ認識ユニット２Ｘの位置まで移動する（図４中、ステ
ップ３）。そこで、ウェーハ搬送用ロボット３Ｘは、保
持しているウェーハをウェーハＩＤ認識ユニット２Ｘへ
セットする（図４中、ステップ４）。ウェーハＩＤ認識
ユニット２Ｘでは、セットされたウェーハの位置出しが
行われた後（図４中、ステップ５）、このウェーハに付
されている認識コードの読み取りが行われる（図４中、
ステップ６）。ウェーハＩＤ認識が終了すると、ウェー
ハＩＤ認識ユニット２Ｘ内ではウェーハの取り出し位置
への移動が行われ（図４中、ステップ７）、さらに、ウ
ェーハ搬送用ロボット３ＸはウェーハＩＤ認識ユニット
２Ｘからウェーハを抜き取る（図４中、ステップ８）。
この後、ウェーハ搬送用ロボット３Ｘは、コントローラ
１０Ｘから入力したＩＤ情報に基づいて、所定のキャリ
アを選択し（この場合、キャリア５Ｘａを選択したとす
る）、このキャリア５Ｘａの位置まで移動した後（図４
中、ステップ９）、保持しているウェーハをキャリア５
Ｘａの所定の位置に収納する（図４中、ステップ１
０）。ウェーハ搬送用ロボット３Ｘは、これら一連の動
作を、キャリア１Ｘａ内にウェーハがなくなるまで繰り
返す。１サイクルの分離動作が完了するには約３６秒
（図４参照）の時間がかかっていた。
【００１０】次に、統合の動作について説明する。
【００１１】先ず、ウェーハキャリアステージ１Ｘに、
統合されたウェーハが収納される空のキャリア１Ｘａを
セットするとともに、ウェーハキャリアステージ５Ｘ〜
９Ｘに、統合されるウェーハが収納されたキャリア５Ｘ
ａ〜９Ｘａをそれぞれセットする。ウェーハ搬送用ロボ
ット３Ｘは、キャリア５Ｘａに収納されたウェーハを１
枚づつ抜き取り、キャリア１Ｘａへ収納する。ウェーハ
搬送用ロボット３Ｘは、この動作をキャリア５Ｘａ内に
ウェーハがなくなるまで繰り返し、次に、キャリア６Ｘ
ａ〜９Ｘａについても抜き取りおよび収納を順次行う。
このとき、後述する並び替えがキャリア１Ｘａへの収納
時に必要な場合、統合動作についてもウェーハＩＤ認識
が必要になり、統合されるウェーハはキャリア１Ｘａに
収納前に、ウェーハＩＤ認識ユニット２ＸでＩＤ読み取
りの処理されることになる。
統合されたウェーハが収納される空のキャリア１Ｘａを
セットするとともに、ウェーハキャリアステージ５Ｘ〜
９Ｘに、統合されるウェーハが収納されたキャリア５Ｘ
ａ〜９Ｘａをそれぞれセットする。ウェーハ搬送用ロボ
ット３Ｘは、キャリア５Ｘａに収納されたウェーハを１
枚づつ抜き取り、キャリア１Ｘａへ収納する。ウェーハ
搬送用ロボット３Ｘは、この動作をキャリア５Ｘａ内に
ウェーハがなくなるまで繰り返し、次に、キャリア６Ｘ
ａ〜９Ｘａについても抜き取りおよび収納を順次行う。
このとき、後述する並び替えがキャリア１Ｘａへの収納
時に必要な場合、統合動作についてもウェーハＩＤ認識
が必要になり、統合されるウェーハはキャリア１Ｘａに
収納前に、ウェーハＩＤ認識ユニット２ＸでＩＤ読み取
りの処理されることになる。
【００１２】最後に、並び替えの動作について説明す
る。
る。
【００１３】先ず、ウェーハキャリアステージ１Ｘに、
並び替え前のウェーハが収納されたキャリア１Ｘａをセ
ットし、ウェーハキャリアステージ５Ｘ〜９Ｘのどれか
１つに、並び替え後のウェーハが収納される空のキャリ
アをセットする。この場合、ウェーハキャリアステージ
５Ｘにキャリア５Ｘａをセットすると仮定する。
並び替え前のウェーハが収納されたキャリア１Ｘａをセ
ットし、ウェーハキャリアステージ５Ｘ〜９Ｘのどれか
１つに、並び替え後のウェーハが収納される空のキャリ
アをセットする。この場合、ウェーハキャリアステージ
５Ｘにキャリア５Ｘａをセットすると仮定する。
【００１４】ウェーハ搬送用ロボット３Ｘは、キャリア
１Ｘａよりウェーハを１枚抜き取り、このウェーハをウ
ェーハＩＤ認識ユニット２Ｘにセットする。セットされ
たウェーハのウェーハＩＤ認識が終了すると、ウェーハ
搬送用ロボット３Ｘは、ウェーハＩＤ認識ユニット２Ｘ
からウェーハを抜き取る。この後、ウェーハ搬送用ロボ
ット３Ｘは、コントローラ１０Ｘから入力したＩＤ認識
に基づいた、キャリア５Ｘａのスロット位置（収納位
置）を選択してこの位置にウェーハを収納する。ウェー
ハ搬送用ロボット３Ｘは、これら一連の動作を、キャリ
ア１Ｘａ内にウェーハがなくなるまで繰り返す。
１Ｘａよりウェーハを１枚抜き取り、このウェーハをウ
ェーハＩＤ認識ユニット２Ｘにセットする。セットされ
たウェーハのウェーハＩＤ認識が終了すると、ウェーハ
搬送用ロボット３Ｘは、ウェーハＩＤ認識ユニット２Ｘ
からウェーハを抜き取る。この後、ウェーハ搬送用ロボ
ット３Ｘは、コントローラ１０Ｘから入力したＩＤ認識
に基づいた、キャリア５Ｘａのスロット位置（収納位
置）を選択してこの位置にウェーハを収納する。ウェー
ハ搬送用ロボット３Ｘは、これら一連の動作を、キャリ
ア１Ｘａ内にウェーハがなくなるまで繰り返す。
【００１５】次に、半導体ウェーハ用ソータの設備内で
の各ユニットのレイアウトについてであるが、従来、こ
の種の設備には多くのレイアウトが有り、本記載の図の
ものは一例に過ぎない。しかしながら、今後は、下記の
理由により本記載のレイアウトになっていくと考えられ
る。
の各ユニットのレイアウトについてであるが、従来、こ
の種の設備には多くのレイアウトが有り、本記載の図の
ものは一例に過ぎない。しかしながら、今後は、下記の
理由により本記載のレイアウトになっていくと考えられ
る。
【００１６】その理由とは、第１に、ウェーハの大口径
化によるキャリア１Ｘａ，５Ｘａ，６Ｘａ，７Ｘａ，８
Ｘａ，９Ｘａの大型化と、少量多品種化によるキャリア
数の増加により、設備全体は大型化し、その結果、ウェ
ーハ搬送用ロボット３Ｘは軌道レール４Ｘがなければ多
くのキャリア１Ｘａ，５Ｘａ，６Ｘａ，７Ｘａ，８Ｘ
ａ，９Ｘａにアクセスできないこと。第２に、本設備へ
のキャリア搬送を自動化する場合、キャリアセット方向
は全て同じである方が、効率が良いためである。また、
ウェーハの搬送にロボットを使用するのはそのフレキシ
ブルな動作と半導体特有のゴミ発生の少なさである。
化によるキャリア１Ｘａ，５Ｘａ，６Ｘａ，７Ｘａ，８
Ｘａ，９Ｘａの大型化と、少量多品種化によるキャリア
数の増加により、設備全体は大型化し、その結果、ウェ
ーハ搬送用ロボット３Ｘは軌道レール４Ｘがなければ多
くのキャリア１Ｘａ，５Ｘａ，６Ｘａ，７Ｘａ，８Ｘ
ａ，９Ｘａにアクセスできないこと。第２に、本設備へ
のキャリア搬送を自動化する場合、キャリアセット方向
は全て同じである方が、効率が良いためである。また、
ウェーハの搬送にロボットを使用するのはそのフレキシ
ブルな動作と半導体特有のゴミ発生の少なさである。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の半導体ウェーハ用ソータでは、それぞれのユニ
ットが分離されているため、ウェーハ搬送に必要なロボ
ットの移動距離が長くなり、作業時間が長くかかるとい
う問題点がある。
た従来の半導体ウェーハ用ソータでは、それぞれのユニ
ットが分離されているため、ウェーハ搬送に必要なロボ
ットの移動距離が長くなり、作業時間が長くかかるとい
う問題点がある。
【００１８】本発明は、上記従来技術の有する問題点に
鑑みてなされたものであり、ウェーハ搬送に必要なロボ
ットの移動距離を短くして、作業時間を短縮できる、半
導体ウェーハ用ソータを提供することを目的としてい
る。
鑑みてなされたものであり、ウェーハ搬送に必要なロボ
ットの移動距離を短くして、作業時間を短縮できる、半
導体ウェーハ用ソータを提供することを目的としてい
る。
【００１９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、それぞれに認識コードが付されているウェ
ーハをそれぞれ複数枚収納するための複数のウェーハキ
ャリアと、軌道に沿って移動するウェーハ搬送手段と、
ウェーハに付されている認識コードを読み取るための認
識手段と、該認識手段によって読み取られたウェーハの
認識コードに基づいて前記ウェーハ搬送手段を操作する
ことにより、各ウェーハを認識コードに対応した所定の
空のウェーハキャリアの所定の位置に収納させるコント
ローラと、を有する半導体ウェーハ用ソータにおいて、
少なくとも１つの前記ウェーハキャリアおよび前記認識
手段を、前記ウェーハ搬送手段と同期して移動させるた
めの同期移動手段を備えていることを特徴とするもので
ある。
の本発明は、それぞれに認識コードが付されているウェ
ーハをそれぞれ複数枚収納するための複数のウェーハキ
ャリアと、軌道に沿って移動するウェーハ搬送手段と、
ウェーハに付されている認識コードを読み取るための認
識手段と、該認識手段によって読み取られたウェーハの
認識コードに基づいて前記ウェーハ搬送手段を操作する
ことにより、各ウェーハを認識コードに対応した所定の
空のウェーハキャリアの所定の位置に収納させるコント
ローラと、を有する半導体ウェーハ用ソータにおいて、
少なくとも１つの前記ウェーハキャリアおよび前記認識
手段を、前記ウェーハ搬送手段と同期して移動させるた
めの同期移動手段を備えていることを特徴とするもので
ある。
【００２０】また、前記同期移動手段が、少なくとも１
つの前記ウェーハキャリアと前記認識手段と前記ウェー
ハ搬送手段とを搭載しかつ前記軌道に沿って移動するロ
ボット台座である。
つの前記ウェーハキャリアと前記認識手段と前記ウェー
ハ搬送手段とを搭載しかつ前記軌道に沿って移動するロ
ボット台座である。
【００２１】
【作用】上記のとおりに構成された本発明では、例えば
分離動作については、予め、ウェーハ搬送手段と同期し
て移動するウェーハキャリアに、分離されるウェーハを
収納するとともに、他のウェーハキャリアを空にしてお
く。
分離動作については、予め、ウェーハ搬送手段と同期し
て移動するウェーハキャリアに、分離されるウェーハを
収納するとともに、他のウェーハキャリアを空にしてお
く。
【００２２】そして、ウェーハ搬送手段は、これと同期
して移動可能なウェーハキャリアよりウェーハを１枚抜
き取り、この後、ウェーハ搬送手段は、保持しているウ
ェーハを認識手段へセットする。この認識手段では、セ
ットされたウェーハに付されている認識コードの読み取
りが行われる。ウェーハ認識が終了すると、ウェーハ搬
送手段は、コントローラから入力した認識情報に基づい
て、所定のキャリアを選択し、この選択したキャリアの
位置まで移動するとともに、ウェーハ搬送手段は、これ
と同期して移動する認識手段からウェーハを抜き取る。
この後、ウェーハ搬送手段は、保持しているウェーハ
を、選択したキャリアの所定の位置に収納する。
して移動可能なウェーハキャリアよりウェーハを１枚抜
き取り、この後、ウェーハ搬送手段は、保持しているウ
ェーハを認識手段へセットする。この認識手段では、セ
ットされたウェーハに付されている認識コードの読み取
りが行われる。ウェーハ認識が終了すると、ウェーハ搬
送手段は、コントローラから入力した認識情報に基づい
て、所定のキャリアを選択し、この選択したキャリアの
位置まで移動するとともに、ウェーハ搬送手段は、これ
と同期して移動する認識手段からウェーハを抜き取る。
この後、ウェーハ搬送手段は、保持しているウェーハ
を、選択したキャリアの所定の位置に収納する。
【００２３】このように、ウェーハ搬送手段が移動中に
ウェーハをハンドリングでき、いわゆるマルチ動作が可
能になり、その結果、作業時間を短縮でき、設備能力が
大幅に向上する。
ウェーハをハンドリングでき、いわゆるマルチ動作が可
能になり、その結果、作業時間を短縮でき、設備能力が
大幅に向上する。
【００２４】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００２５】図１は本発明の半導体ウェーハ用ソータの
第１実施例の構成を示す上面図である。
第１実施例の構成を示す上面図である。
【００２６】図１に示すように、この半導体ウェーハ用
ソータは、それぞれに認識コードが付されているウェー
ハ３をそれぞれ複数枚収納するための複数のキャリア
（カセット）４ａ，５ａ，６ａ，７ａ，８ａ，９ａと、
該複数のキャリア４ａ，５ａ，６ａ，７ａ，８ａ，９ａ
がそれぞれ置かれるウェーハキャリアステージ４，５，
６，７，８，９と、軌道レール１ｂに沿って移動するウ
ェーハ搬送手段としてのウェーハ搬送用ロボット１と、
ウェーハ３に付されている認識コードを読み取るための
認識手段としてのウェーハＩＤ認識ユニット２と、この
ウェーハＩＤ認識ユニット２によって読み取られたウェ
ーハ３の認識コードに基づいてロボット台座１ｄを操作
することにより、ウェーハ搬送用ロボット１を認識コー
ドに対応した空のキャリア４ａ，５ａ，６ａ，７ａ，８
ａ，９ａの位置に移動させ、各ウェーハ３を認識コード
に対応した所定の空のキャリア４ａ，５ａ，６ａ，７
ａ，８ａ，９ａにおける所定の位置に収納させるコント
ローラ１ｃとを有する。すなわち、ウェーハ搬送用ロボ
ット１の移動は、ウェーハＩＤ認識ユニット２の認識情
報に基づいて、コントローラ１ｃにより制御されて行わ
れる。なお、符号Ａは、上述した各ユニットが置かれる
フロアを示している。
ソータは、それぞれに認識コードが付されているウェー
ハ３をそれぞれ複数枚収納するための複数のキャリア
（カセット）４ａ，５ａ，６ａ，７ａ，８ａ，９ａと、
該複数のキャリア４ａ，５ａ，６ａ，７ａ，８ａ，９ａ
がそれぞれ置かれるウェーハキャリアステージ４，５，
６，７，８，９と、軌道レール１ｂに沿って移動するウ
ェーハ搬送手段としてのウェーハ搬送用ロボット１と、
ウェーハ３に付されている認識コードを読み取るための
認識手段としてのウェーハＩＤ認識ユニット２と、この
ウェーハＩＤ認識ユニット２によって読み取られたウェ
ーハ３の認識コードに基づいてロボット台座１ｄを操作
することにより、ウェーハ搬送用ロボット１を認識コー
ドに対応した空のキャリア４ａ，５ａ，６ａ，７ａ，８
ａ，９ａの位置に移動させ、各ウェーハ３を認識コード
に対応した所定の空のキャリア４ａ，５ａ，６ａ，７
ａ，８ａ，９ａにおける所定の位置に収納させるコント
ローラ１ｃとを有する。すなわち、ウェーハ搬送用ロボ
ット１の移動は、ウェーハＩＤ認識ユニット２の認識情
報に基づいて、コントローラ１ｃにより制御されて行わ
れる。なお、符号Ａは、上述した各ユニットが置かれる
フロアを示している。
【００２７】ウェーハ搬送用ロボット１と１つのウェー
ハキャリアステージ４とウェーハＩＤ認識ユニット２
は、同期移動手段としてのロボット台座１ｄに搭載さ
れ、このロボット台座１ｄはコントローラ１ｃからの信
号に基づいて軌道レール１ｂに沿って移動される。これ
により、１つのキャリア４ａおよびウェーハＩＤ認識ユ
ニット２が、ウェーハ搬送用ロボット１と同期して移動
される。他のウェーハキャリアステージ５〜９は従来と
同様に並んで配置されている。
ハキャリアステージ４とウェーハＩＤ認識ユニット２
は、同期移動手段としてのロボット台座１ｄに搭載さ
れ、このロボット台座１ｄはコントローラ１ｃからの信
号に基づいて軌道レール１ｂに沿って移動される。これ
により、１つのキャリア４ａおよびウェーハＩＤ認識ユ
ニット２が、ウェーハ搬送用ロボット１と同期して移動
される。他のウェーハキャリアステージ５〜９は従来と
同様に並んで配置されている。
【００２８】次に、各動作について、図３および図４の
本発明の欄を参照して説明する。
本発明の欄を参照して説明する。
【００２９】先ず、分離の動作について説明する。予
め、ウェーハキャリアステージ４上に、分離されるウェ
ーハが収納されたキャリア４ａをセットするとともに、
他のウェーハキャリアステージ５〜９上に、分離された
ウェーハが収納される空のキャリア５ａ，６ａ，７ａ，
８ａ，９ａをそれぞれセットする。
め、ウェーハキャリアステージ４上に、分離されるウェ
ーハが収納されたキャリア４ａをセットするとともに、
他のウェーハキャリアステージ５〜９上に、分離された
ウェーハが収納される空のキャリア５ａ，６ａ，７ａ，
８ａ，９ａをそれぞれセットする。
【００３０】そして、ウェーハ搬送用ロボット１は、そ
のロボットアーム１ａによりキャリア４ａよりウェーハ
を１枚抜き取り（図４中、ステップ２）、この後、ウェ
ーハ搬送用ロボット１は、保持しているウェーハをウェ
ーハＩＤ認識ユニット２へセットする（図４中、ステッ
プ４）。ウェーハＩＤ認識ユニット２では、セットされ
たウェーハの位置出しが行われた後（図４中、ステップ
５）、このウェーハに付されている認識コードの読み取
りが行われる（図４中、ステップ６）。ウェーハＩＤ認
識が終了すると、ウェーハＩＤ認識ユニット２内ではウ
ェーハの取り出し位置への移動が行われるとともに（図
４中、ステップ７）、これと同時に、ウェーハ搬送用ロ
ボット１は、コントローラ１ｃから入力したＩＤ情報に
基づいて、所定のキャリアを選択し（この場合、キャリ
ア５ａを選択したとする）、また、ロボット台座１ｄが
このキャリア５ａの位置まで移動する（図４中、ステッ
プ９）。前記ステップ７が終了すると、ウェーハ搬送用
ロボット１はウェーハＩＤ認識ユニット２からウェーハ
を抜き取り（図４中、ステップ８）、この後、ウェーハ
搬送用ロボット１は、保持しているウェーハをキャリア
５ａの所定の位置に収納する（図４中、ステップ１
０）。ロボット台座１ｄおよびウェーハ搬送用ロボット
１は、これら一連の動作を、キャリア４ａ内にウェーハ
がなくなるまで繰り返す。
のロボットアーム１ａによりキャリア４ａよりウェーハ
を１枚抜き取り（図４中、ステップ２）、この後、ウェ
ーハ搬送用ロボット１は、保持しているウェーハをウェ
ーハＩＤ認識ユニット２へセットする（図４中、ステッ
プ４）。ウェーハＩＤ認識ユニット２では、セットされ
たウェーハの位置出しが行われた後（図４中、ステップ
５）、このウェーハに付されている認識コードの読み取
りが行われる（図４中、ステップ６）。ウェーハＩＤ認
識が終了すると、ウェーハＩＤ認識ユニット２内ではウ
ェーハの取り出し位置への移動が行われるとともに（図
４中、ステップ７）、これと同時に、ウェーハ搬送用ロ
ボット１は、コントローラ１ｃから入力したＩＤ情報に
基づいて、所定のキャリアを選択し（この場合、キャリ
ア５ａを選択したとする）、また、ロボット台座１ｄが
このキャリア５ａの位置まで移動する（図４中、ステッ
プ９）。前記ステップ７が終了すると、ウェーハ搬送用
ロボット１はウェーハＩＤ認識ユニット２からウェーハ
を抜き取り（図４中、ステップ８）、この後、ウェーハ
搬送用ロボット１は、保持しているウェーハをキャリア
５ａの所定の位置に収納する（図４中、ステップ１
０）。ロボット台座１ｄおよびウェーハ搬送用ロボット
１は、これら一連の動作を、キャリア４ａ内にウェーハ
がなくなるまで繰り返す。
【００３１】本実施例では、ウェーハ搬送用ロボット１
が軌道レール１ｂに沿って移動中にウェーハをハンドリ
ングでき、いわゆるマルチ動作が可能になり、１サイク
ルの分離動作は約２１秒で完了した（図４参照）。その
結果、作業時間を短縮でき、設備能力が約７２％の設備
処理能力が向上した。
が軌道レール１ｂに沿って移動中にウェーハをハンドリ
ングでき、いわゆるマルチ動作が可能になり、１サイク
ルの分離動作は約２１秒で完了した（図４参照）。その
結果、作業時間を短縮でき、設備能力が約７２％の設備
処理能力が向上した。
【００３２】次に、統合の動作について説明する。
【００３３】先ず、ウェーハキャリアステージ４に、統
合されたウェーハが収納される空のキャリア４ａをセッ
トするとともに、ウェーハキャリアステージ５〜９に、
統合されるウェーハが収納されたキャリア５ａ〜９ａを
それぞれセットする。ウェーハ搬送用ロボット１は、先
ず、キャリア５ａに収納されたウェーハを１枚づつ抜き
取り、キャリア１ａへ収納する。ウェーハ搬送用ロボッ
ト１は、この動作をキャリア５ａ内にウェーハがなくな
るまで繰り返し、次に、キャリア６ａ〜９ａについても
抜き取りおよび収納を順次行う。このとき、後述する並
び替えがキャリア４ａへの収納時に必要な場合、統合動
作についてもウェーハＩＤ認識が必要になり、統合され
るウェーハはキャリア４ａに収納前に、ウェーハＩＤ認
識ユニット２でＩＤ読み取りの処理がなされることにな
るが、本実施例では、ウェーハ搬送用ロボット１がウェ
ーハキャリアステージ５〜９間を移動する際に、ウェー
ハのＩＤ認識も同時に行われる。
合されたウェーハが収納される空のキャリア４ａをセッ
トするとともに、ウェーハキャリアステージ５〜９に、
統合されるウェーハが収納されたキャリア５ａ〜９ａを
それぞれセットする。ウェーハ搬送用ロボット１は、先
ず、キャリア５ａに収納されたウェーハを１枚づつ抜き
取り、キャリア１ａへ収納する。ウェーハ搬送用ロボッ
ト１は、この動作をキャリア５ａ内にウェーハがなくな
るまで繰り返し、次に、キャリア６ａ〜９ａについても
抜き取りおよび収納を順次行う。このとき、後述する並
び替えがキャリア４ａへの収納時に必要な場合、統合動
作についてもウェーハＩＤ認識が必要になり、統合され
るウェーハはキャリア４ａに収納前に、ウェーハＩＤ認
識ユニット２でＩＤ読み取りの処理がなされることにな
るが、本実施例では、ウェーハ搬送用ロボット１がウェ
ーハキャリアステージ５〜９間を移動する際に、ウェー
ハのＩＤ認識も同時に行われる。
【００３４】最後に、並び替えの動作について説明す
る。
る。
【００３５】先ず、ウェーハキャリアステージ４に、並
び替え前のウェーハが収納されたキャリア４ａをセット
し、ウェーハキャリアステージ５〜９のどれか１つに、
並び替え後のウェーハが収納される空のキャリアをセッ
トする。この場合、ウェーハキャリアステージ５にキャ
リア５ａをセットすると仮定する。
び替え前のウェーハが収納されたキャリア４ａをセット
し、ウェーハキャリアステージ５〜９のどれか１つに、
並び替え後のウェーハが収納される空のキャリアをセッ
トする。この場合、ウェーハキャリアステージ５にキャ
リア５ａをセットすると仮定する。
【００３６】ウェーハ搬送用ロボット１は、キャリア４
ａよりウェーハを１枚抜き取り、このウェーハをウェー
ハＩＤ認識ユニット２にセットする。セットされたウェ
ーハのウェーハＩＤ認識が終了すると、ウェーハ搬送用
ロボット１は、ウェーハＩＤ認識ユニット２からウェー
ハを抜き取る。この後、ウェーハ搬送用ロボット１は、
コントローラ１ｃから入力したＩＤ認識に基づいた、キ
ャリア５ａのスロット位置（収納位置）を選択してこの
位置にウェーハを収納する。ウェーハ搬送用ロボット１
は、これら一連の動作を、キャリア４ａ内にウェーハが
なくなるまで繰り返す。
ａよりウェーハを１枚抜き取り、このウェーハをウェー
ハＩＤ認識ユニット２にセットする。セットされたウェ
ーハのウェーハＩＤ認識が終了すると、ウェーハ搬送用
ロボット１は、ウェーハＩＤ認識ユニット２からウェー
ハを抜き取る。この後、ウェーハ搬送用ロボット１は、
コントローラ１ｃから入力したＩＤ認識に基づいた、キ
ャリア５ａのスロット位置（収納位置）を選択してこの
位置にウェーハを収納する。ウェーハ搬送用ロボット１
は、これら一連の動作を、キャリア４ａ内にウェーハが
なくなるまで繰り返す。
【００３７】このように、ソートされるウェーハの入っ
たキャリアから、ロボットがウェーハを取る動作が軌道
上のどこにおいても最短の距離で可能となるし、さら
に、認識が終了した時点で目的のキャリアにロボットを
移動しながら認識ユニットからウェーハを取るマルチな
動作も可能となり、従来装置に比べ、概算で２００％の
能力を発揮できることになる。この効果は、装置が大型
化すればするほど大きくなるものであり、超ＳＩＣライ
ンにおいて生産性を上げるための手法であるロット統合
の促進に絶大なる効果がある。
たキャリアから、ロボットがウェーハを取る動作が軌道
上のどこにおいても最短の距離で可能となるし、さら
に、認識が終了した時点で目的のキャリアにロボットを
移動しながら認識ユニットからウェーハを取るマルチな
動作も可能となり、従来装置に比べ、概算で２００％の
能力を発揮できることになる。この効果は、装置が大型
化すればするほど大きくなるものであり、超ＳＩＣライ
ンにおいて生産性を上げるための手法であるロット統合
の促進に絶大なる効果がある。
【００３８】図２は本発明の半導体ウェーハ用ソータの
第２実施例の構成を示す上面図である。
第２実施例の構成を示す上面図である。
【００３９】第２実施例の半導体ウェーハ用ソータは、
第１実施例と同じタイプであるが、分離動作における供
給側であるキャリア４０ａを取り囲むように、キャリア
５０ａ，６０ａ，７０ａ，８０ａ，９０ａ，１００ａ，
１１０ａ，１２０ａを配置することにより、省スペース
を達成して、キャリアステージの増加にも対応でき、か
つウェーハ搬送用ロボット１０の必要動作範囲を狭くし
て、設備処理能力の向上を行うものである。本設備の図
示右側面はキャリア４０ａを置くための作業スペースと
なっている。
第１実施例と同じタイプであるが、分離動作における供
給側であるキャリア４０ａを取り囲むように、キャリア
５０ａ，６０ａ，７０ａ，８０ａ，９０ａ，１００ａ，
１１０ａ，１２０ａを配置することにより、省スペース
を達成して、キャリアステージの増加にも対応でき、か
つウェーハ搬送用ロボット１０の必要動作範囲を狭くし
て、設備処理能力の向上を行うものである。本設備の図
示右側面はキャリア４０ａを置くための作業スペースと
なっている。
【００４０】上述した各実施例では、ロボット台座に、
ウェーハ搬送用ロボットとキャリアとウェーハＩＤ認識
ユニットを搭載するものを示したが、これに限られず、
キャリアとウェーハＩＤ認識ユニットを、ウェーハ搬送
用ロボットと同期して移動する台座に搭載してもよく、
また、ロボット台座に２つ以上のキャリアを搭載しても
よい。
ウェーハ搬送用ロボットとキャリアとウェーハＩＤ認識
ユニットを搭載するものを示したが、これに限られず、
キャリアとウェーハＩＤ認識ユニットを、ウェーハ搬送
用ロボットと同期して移動する台座に搭載してもよく、
また、ロボット台座に２つ以上のキャリアを搭載しても
よい。
【００４１】
【発明の効果】本発明は、以上説明したとおりに構成さ
れているので、少なくとも１つのウェーハキャリアと認
識手段が、ウェーハ搬送手段と同期して移動することに
より、ウェーハ搬送手段の必要動作範囲が狭くなり、か
つウェーハ搬送手段が軌道上を移動中にウェーハをハン
ドリングでき、いわゆるマルチ動作が可能になる。その
結果、作業時間を短縮でき、設備能力が大幅に向上する
という効果がある。
れているので、少なくとも１つのウェーハキャリアと認
識手段が、ウェーハ搬送手段と同期して移動することに
より、ウェーハ搬送手段の必要動作範囲が狭くなり、か
つウェーハ搬送手段が軌道上を移動中にウェーハをハン
ドリングでき、いわゆるマルチ動作が可能になる。その
結果、作業時間を短縮でき、設備能力が大幅に向上する
という効果がある。
【図１】本発明の半導体ウェーハ用ソータの第１実施例
の構成を示す上面図である。
の構成を示す上面図である。
【図２】本発明の半導体ウェーハ用ソータの第２実施例
の構成を示す上面図である。
の構成を示す上面図である。
【図３】従来の半導体ウェーハ用ソータの構成を示す上
面図である。
面図である。
【図４】本発明と従来例とにおける、ＩＤ認識込み動作
での１サイクルを示したタイミングチャートである。
での１サイクルを示したタイミングチャートである。
Ａ フロア １ ウェーハ搬送用ロボット １ａ ロボットアーム １ｂ 軌道レール １ｃ コントローラ １ｄ ロボット台座 ２ ウェーハＩＤ認識ユニット ３ ウェーハ ４，５，６，７，８，９， ウェーハキャリアステージ ４ａ，５ａ，６ａ，７ａ，８ａ，９ａ キャリア Ｂ フロア １０ ウェーハ搬送用ロボット １０ａ ロボットアーム １０ｂ 軌道レール １０ｃ コントローラ １０ｄ ロボット台座 ２０ ウェーハＩＤ認識ユニット ３０ ウェーハ ４０，５０，６０，７０，８０，９０，１００，１１
０，１２０ ウェーハキャリアステージ ４０ａ，５０ａ，６０ａ，７０ａ，８０ａ，９０ａ，１
００ａ，１１０ａ，１２０ａ キャリア
０，１２０ ウェーハキャリアステージ ４０ａ，５０ａ，６０ａ，７０ａ，８０ａ，９０ａ，１
００ａ，１１０ａ，１２０ａ キャリア
Claims (2)
- 【請求項１】 それぞれに認識コードが付されているウ
ェーハをそれぞれ複数枚収納するための複数のウェーハ
キャリアと、軌道に沿って移動するウェーハ搬送手段
と、ウェーハに付されている認識コードを読み取るため
の認識手段と、該認識手段によって読み取られたウェー
ハの認識コードに基づいて前記ウェーハ搬送手段を操作
することにより、各ウェーハを認識コードに対応した所
定の空のウェーハキャリアの所定の位置に収納させるコ
ントローラと、を有する半導体ウェーハ用ソータにおい
て、 少なくとも１つの前記ウェーハキャリアおよび前記認識
手段を、前記ウェーハ搬送手段と同期して移動させるた
めの同期移動手段を備えていることを特徴とする半導体
ウェーハ用ソータ。 - 【請求項２】 前記同期移動手段が、少なくとも１つの
前記ウェーハキャリアと前記認識手段と前記ウェーハ搬
送手段とを搭載しかつ前記軌道に沿って移動するロボッ
ト台座である請求項１に記載の半導体ウェーハ用ソー
タ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5251323A JP2788845B2 (ja) | 1993-10-07 | 1993-10-07 | 半導体ウェーハ用ソータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5251323A JP2788845B2 (ja) | 1993-10-07 | 1993-10-07 | 半導体ウェーハ用ソータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07106214A true JPH07106214A (ja) | 1995-04-21 |
| JP2788845B2 JP2788845B2 (ja) | 1998-08-20 |
Family
ID=17221114
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5251323A Expired - Lifetime JP2788845B2 (ja) | 1993-10-07 | 1993-10-07 | 半導体ウェーハ用ソータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2788845B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100388836B1 (ko) * | 2001-03-12 | 2003-06-25 | 블루코드테크놀로지 주식회사 | 웨이퍼 분류장치 및 그 방법 |
| CN106952847A (zh) * | 2017-04-25 | 2017-07-14 | 中山英达思迅智能科技有限公司 | 一种晶元板发片机 |
| CN108044355A (zh) * | 2017-12-22 | 2018-05-18 | 沈阳芯嘉科技有限公司 | 一种激光砂轮划片机及复合材料切割方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61140148A (ja) * | 1984-12-12 | 1986-06-27 | Nanbu Denki Seisakusho:Kk | 物品の移載装置 |
| JPS63110650A (ja) * | 1986-10-28 | 1988-05-16 | Mitsubishi Electric Corp | ウエハのロツト形成装置 |
| JPS63169738A (ja) * | 1987-01-07 | 1988-07-13 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体製造装置 |
-
1993
- 1993-10-07 JP JP5251323A patent/JP2788845B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61140148A (ja) * | 1984-12-12 | 1986-06-27 | Nanbu Denki Seisakusho:Kk | 物品の移載装置 |
| JPS63110650A (ja) * | 1986-10-28 | 1988-05-16 | Mitsubishi Electric Corp | ウエハのロツト形成装置 |
| JPS63169738A (ja) * | 1987-01-07 | 1988-07-13 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体製造装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100388836B1 (ko) * | 2001-03-12 | 2003-06-25 | 블루코드테크놀로지 주식회사 | 웨이퍼 분류장치 및 그 방법 |
| CN106952847A (zh) * | 2017-04-25 | 2017-07-14 | 中山英达思迅智能科技有限公司 | 一种晶元板发片机 |
| CN108044355A (zh) * | 2017-12-22 | 2018-05-18 | 沈阳芯嘉科技有限公司 | 一种激光砂轮划片机及复合材料切割方法 |
| CN108044355B (zh) * | 2017-12-22 | 2024-01-23 | 沈阳芯嘉科技有限公司 | 一种激光砂轮划片机及复合材料切割方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2788845B2 (ja) | 1998-08-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5976199A (en) | Single semiconductor wafer transfer method and manufacturing system | |
| US5256204A (en) | Single semiconductor water transfer method and manufacturing system | |
| US5551830A (en) | Automatic lot organization method | |
| KR100235917B1 (ko) | 진공처리장치 | |
| US20060078415A1 (en) | Methods for use with tray-based integrated circuit device handling systems | |
| US6398476B1 (en) | Automatic storage unit and automatic storing method | |
| JP5592863B2 (ja) | 真空処理装置および被処理体の搬送方法 | |
| JPS582158B2 (ja) | キヤリツジイドウセイギヨソウチ | |
| US6821082B2 (en) | Wafer management system and methods for managing wafers | |
| US5383482A (en) | Semiconductor processing apparatus and module | |
| JPH07106214A (ja) | 半導体ウェーハ用ソータ | |
| JPH07263521A (ja) | ウェーハ移載の装置と方法並びに半導体装置の製造方法 | |
| US6392403B1 (en) | Integrated wafer stocker and sorter apparatus | |
| US6747230B2 (en) | Method and device for sorting wafers | |
| US6390271B2 (en) | Leadframe transport and method therefor | |
| US20050096782A1 (en) | Automated sorter system and method thereof | |
| JP2651858B2 (ja) | ウエハ移替え装置 | |
| KR100523826B1 (ko) | 반도체 웨이퍼 제조시의, 웨이퍼 위치 데이터를 정정하기위한방법 | |
| US6194232B1 (en) | Multi-track wafer processing method | |
| JPS62131455A (ja) | イオン処理装置用エンドステ−シヨン | |
| JP2614020B2 (ja) | 半導体ウェハの統合方法 | |
| JPS61217442A (ja) | ウエ−ハ插入装置 | |
| JPH0834236B2 (ja) | ウェハのロ−ディング装置 | |
| JP2617790B2 (ja) | 処理方法 | |
| JPH02128444A (ja) | 拡散炉ウエハハンドラ装置 |