JPS61217442A - ウエ−ハ插入装置 - Google Patents
ウエ−ハ插入装置Info
- Publication number
- JPS61217442A JPS61217442A JP5742985A JP5742985A JPS61217442A JP S61217442 A JPS61217442 A JP S61217442A JP 5742985 A JP5742985 A JP 5742985A JP 5742985 A JP5742985 A JP 5742985A JP S61217442 A JPS61217442 A JP S61217442A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- wafers
- arm
- magazine
- moved
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ウェーハを収容したマガジンが載置され該マ
ガジンとウェーハ処理装置との間でウェーハを搬送する
ウェーハ挿入装置の構成に関す。
ガジンとウェーハ処理装置との間でウェーハを搬送する
ウェーハ挿入装置の構成に関す。
半導体装置などの製造におけるウェーハプロセスに使用
されるウェーハ処理装置例えばイオン注入（Ｉ Ｉ）装
置や化学気相成長（ＣＶ Ｄ）装置などは、枚葉処理の
構成になっているものが多い。
されるウェーハ処理装置例えばイオン注入（Ｉ Ｉ）装
置や化学気相成長（ＣＶ Ｄ）装置などは、枚葉処理の
構成になっているものが多い。
この枚葉処理を自動化するのに、通常、複数枚のウェー
ハを収容したマガジンが載置され該マガジンとウェーハ
処理装置との間でウェーハを搬送するウェーハ挿入装置
が用いられている。
ハを収容したマガジンが載置され該マガジンとウェーハ
処理装置との間でウェーハを搬送するウェーハ挿入装置
が用いられている。
この場合、マガジンの大きさの制約などから、マガジン
が収容するウェーハの枚数が制限されるが、自動運転の
立場からその枚数を多くすることが望まれている。
が収容するウェーハの枚数が制限されるが、自動運転の
立場からその枚数を多くすることが望まれている。
従来のウェーハ挿入装置の一例の構成は、第３図の側面
図に示す如くである。
図に示す如くである。
同図において、Ｍは複数枚のウェーハＷを間隔をおいて
積層収容するマガジン、ｌはマガジンＭを載置する載置
台、２は載置台１を図上上下方向に移動させる載置台移
動装置、３はウェーハＷを先端部のウェーハ保持部３ａ
で街えマガジンＭとウェーハ処理装置Ａとの間を搬送す
る搬送アーム、４は搬送アーム３を図上左右方向と上下
方向に移動させるアーム移動装置である。
積層収容するマガジン、ｌはマガジンＭを載置する載置
台、２は載置台１を図上上下方向に移動させる載置台移
動装置、３はウェーハＷを先端部のウェーハ保持部３ａ
で街えマガジンＭとウェーハ処理装置Ａとの間を搬送す
る搬送アーム、４は搬送アーム３を図上左右方向と上下
方向に移動させるアーム移動装置である。
このウェーハ挿入装置の作動は次の如くである（第３図
ならびに作動フローチャートなる第し図参照）。
ならびに作動フローチャートなる第し図参照）。
搬送アーム３が定位置（第３図図示実線の位置）から図
上右方向に搬送移動ａをなして第３図図示実線の位置に
移り（この際、これから処理されるウェーハＷの高さが
搬送アーム３の高さに合うように載置台１が位置してい
る）、そこでウェーハ保持部３ａがマガジンＭから処理
されるウェーハＷを街え、更に右方向に搬送移動ａをな
し第３図図示実線の位置に移る。ここで搬送されたつ工
−ハは、ウェーハ処理装置ＡにおけるウェーハＷ載置位
置の直上に位置する。
上右方向に搬送移動ａをなして第３図図示実線の位置に
移り（この際、これから処理されるウェーハＷの高さが
搬送アーム３の高さに合うように載置台１が位置してい
る）、そこでウェーハ保持部３ａがマガジンＭから処理
されるウェーハＷを街え、更に右方向に搬送移動ａをな
し第３図図示実線の位置に移る。ここで搬送されたつ工
−ハは、ウェーハ処理装置ＡにおけるウェーハＷ載置位
置の直上に位置する。
次いで、搬送アーム３が下方向に載置移動すをなしてウ
ェーハＷをウェーハ処理装置Ａに載置し、上記と逆方向
に移動して定位置に復帰する。ウェーハ処理装置Ａはウ
ェーハ処理を開始する。
ェーハＷをウェーハ処理装置Ａに載置し、上記と逆方向
に移動して定位置に復帰する。ウェーハ処理装置Ａはウ
ェーハ処理を開始する。
次いで、ウェーハ処理が完了したところで、搬送アーム
３が搬送移動ａと載置移動すをなして処理が完了したウ
ェーハＷを街え、逆に戻って酸ウェーハＷをマガジンＭ
の元の位置に載置し定位置に復帰する。
３が搬送移動ａと載置移動すをなして処理が完了したウ
ェーハＷを街え、逆に戻って酸ウェーハＷをマガジンＭ
の元の位置に載置し定位置に復帰する。
次いで、載置台１が図上上下方向（通常は下方向）にス
テップ移動Ｃをなし、先に戻したウェーハＷに隣接（通
常は上に隣接）するウェーハＷの高さを搬送アーム３の
高さに合わせる。
テップ移動Ｃをなし、先に戻したウェーハＷに隣接（通
常は上に隣接）するウェーハＷの高さを搬送アーム３の
高さに合わせる。
以下、上記の作動を繰り返し、マガジンＭに収容された
全てのウェーハＷの処理が完了したところで、通常、手
作業によりマガジンＭが交換される。
全てのウェーハＷの処理が完了したところで、通常、手
作業によりマガジンＭが交換される。
従って、−回の自動運転の期間はマガジンＭが交換され
てから次の交換迄であり、その間に処理されるウェーハ
Ｗの枚数はマガジンＭに収容されている枚数である。
てから次の交換迄であり、その間に処理されるウェーハ
Ｗの枚数はマガジンＭに収容されている枚数である。
この構成のウェーハ挿入装置において、搬送アーム３は
、載置移動すをなす際に、マガジンＭにおける６テえ出
したウェーハＷに隣接していた二枚のウェーハＷの間に
ある。
、載置移動すをなす際に、マガジンＭにおける６テえ出
したウェーハＷに隣接していた二枚のウェーハＷの間に
ある。
このため、マガジンＭがウェーハＷを収容する際のウェ
ーハ間隔ｇは、載置移動すによって搬送アーム３がウェ
ーハＷに接触しないだけの大きさが必要である。このこ
とから、マガジンＭは収容するウェーハＷの枚数を多く
することが困難となり、本ウェーハ挿入装置は一回の自
動運転で処理出来るウェーハＷの枚数が少ない問題があ
る。
ーハ間隔ｇは、載置移動すによって搬送アーム３がウェ
ーハＷに接触しないだけの大きさが必要である。このこ
とから、マガジンＭは収容するウェーハＷの枚数を多く
することが困難となり、本ウェーハ挿入装置は一回の自
動運転で処理出来るウェーハＷの枚数が少ない問題があ
る。
上記問題点は、複数枚のウェーハを間隔を置いて積層収
容したマガジンが載置され、ウェーハ搬送アームが、該
積層収容部の横方向から該マガジン領域に入って一枚の
ウェーハを街え、更に前進した後該積層方向に移動して
街えたウェーハをウェーハ処理装置に載置する手段を有
し、該アームの上記積層方向の移動に際して該アームが
該マガジンに収容されているウェーハに接触せぬよう該
マガジンを同方向に移動させる手段を具える本発明のウ
ェーハ挿入装置によって解決される。
容したマガジンが載置され、ウェーハ搬送アームが、該
積層収容部の横方向から該マガジン領域に入って一枚の
ウェーハを街え、更に前進した後該積層方向に移動して
街えたウェーハをウェーハ処理装置に載置する手段を有
し、該アームの上記積層方向の移動に際して該アームが
該マガジンに収容されているウェーハに接触せぬよう該
マガジンを同方向に移動させる手段を具える本発明のウ
ェーハ挿入装置によって解決される。
（作用〕
従来のウェーハ挿入装置の場合、マガジンに収容するウ
ェーハの間隔を大きくする必要性は、つ工−ハ搬送アー
ムを挟むウェーハの位置が固定したまま該アームが上記
積層方向に移動（第３図図示における載置移動ｂ）する
ことに起因している。
ェーハの間隔を大きくする必要性は、つ工−ハ搬送アー
ムを挟むウェーハの位置が固定したまま該アームが上記
積層方向に移動（第３図図示における載置移動ｂ）する
ことに起因している。
従って上記構成のように、ウェーハ搬送アームが上記積
層方向に移動する際にマガジンを同方向に移動させるこ
とにより、該アームを挟むウェーハも同方向に移動する
ので、ウェーハの間隔を従来より小さくすることが可能
になる。
層方向に移動する際にマガジンを同方向に移動させるこ
とにより、該アームを挟むウェーハも同方向に移動する
ので、ウェーハの間隔を従来より小さくすることが可能
になる。
かくして本ウェーハ挿入装置は、マガジンが収容するウ
ェーハ枚数の増加を可能にさせ、−回の自動運転で処理
出来るウェーハの枚数を従来より増加させることが可能
になる。
ェーハ枚数の増加を可能にさせ、−回の自動運転で処理
出来るウェーハの枚数を従来より増加させることが可能
になる。
以下本発明によるウェーハ挿入装置の一実施例について
その構成を示す第１図の側面図および第２図の作動フロ
ーチャートにより説明する。企図を通じ同一符号は同一
対象物を示す。
その構成を示す第１図の側面図および第２図の作動フロ
ーチャートにより説明する。企図を通じ同一符号は同一
対象物を示す。
第１図は第３図に対応する図で、第１図図示のウェーハ
挿入装置は、搬送アーム３が図上上下方向の載置移動す
をする際に、載置台１も載置移動すの移動に見合った同
方向の補助移動ｄをするような機能を第３図図示のウェ
ーハ挿入装置に付加したものである。この変更に伴い載
置台移動装置２は、載置台１の補助移動ｄも可能にした
載置台移動装置２ａに変わっている。
挿入装置は、搬送アーム３が図上上下方向の載置移動す
をする際に、載置台１も載置移動すの移動に見合った同
方向の補助移動ｄをするような機能を第３図図示のウェ
ーハ挿入装置に付加したものである。この変更に伴い載
置台移動装置２は、載置台１の補助移動ｄも可能にした
載置台移動装置２ａに変わっている。
即ち、載置台移動装置２ａは、アーム移動装置４が搬送
アーム３に載置移動すを与えた際に、アーム移動装置４
から信号を貰い載置移動すと同方向略同量の補助移動ｄ
を載置台１に与えている。
アーム３に載置移動すを与えた際に、アーム移動装置４
から信号を貰い載置移動すと同方向略同量の補助移動ｄ
を載置台１に与えている。
このウェーハ挿入装置の作動は、第４図に対応する第２
図にも示す如く、付加された上記作動以外は第３図図示
のウェーハ挿入装置で述べたのと全く同一であるので説
明を省略する。
図にも示す如く、付加された上記作動以外は第３図図示
のウェーハ挿入装置で述べたのと全く同一であるので説
明を省略する。
以上の内容から明らかなように、このウェーハ挿入装置
に使用するマガジンは、従来のマガジンＭの場合よりウ
ェーハ間隔ｇを狭め、収容するウェーハＷの枚数を増加
させた図示マガジンＭａにすることが出来て、−回の自
動運転で処理出来るウェーハＷの枚数を増加させる。
に使用するマガジンは、従来のマガジンＭの場合よりウ
ェーハ間隔ｇを狭め、収容するウェーハＷの枚数を増加
させた図示マガジンＭａにすることが出来て、−回の自
動運転で処理出来るウェーハＷの枚数を増加させる。
かくすることによって本願の発明者は、マガジンＭａの
外径寸法をマガジンＭより大きくすることなしに、ウェ
ーハＷの収容枚数を約２倍にすることが出来た。
外径寸法をマガジンＭより大きくすることなしに、ウェ
ーハＷの収容枚数を約２倍にすることが出来た。
なお上記実施例では、載置台移動装置２ａが、補助移動
ｄを与えるための信号をアーム移動装置４から貰ったが
、搬送アーム３の移動を検知する別のセンサを設けて該
センサから信号を貰ってもよい。
ｄを与えるための信号をアーム移動装置４から貰ったが
、搬送アーム３の移動を検知する別のセンサを設けて該
センサから信号を貰ってもよい。
以上説明したように、本発明の構成によれば、ウェーハ
を収容したマガジンが載置され該マガジンとウェーハ処
理装置との間でウェーハを搬送するウェーハ挿入装置に
おいて、マガジンが収容するウェーハ枚数の増加を可能
にさせ、−回の自動運転で処理出来るウェーハの枚数を
従来より増加することを可能にさせる効果がある。
を収容したマガジンが載置され該マガジンとウェーハ処
理装置との間でウェーハを搬送するウェーハ挿入装置に
おいて、マガジンが収容するウェーハ枚数の増加を可能
にさせ、−回の自動運転で処理出来るウェーハの枚数を
従来より増加することを可能にさせる効果がある。
図面において、
第１図は本発明によるウェーハ挿入装置の一実施例の構
成を示す側面図、 第２図はそのフローチャート、 第３図は従来のウェーハ挿入装置の一例の構成を示す側
面図、 第４図はそのフローチャートである。 また、図中において、 １はマガジン載置台、 ２．２ａは載置台移動装置、３
は搬送アーム、 ３ａはウェーハ保持部、４はアー
ム移動装置、 Ａはウェーハ処理装置、Ｍ、Ｍａはマガ
ジン、 Ｗはウェーハ、ａは搬送移動、 ｂは
載置移動、Ｃはステップ移動、 ｄは補助移動、ｇは
ウェーハ間隔、 をそれぞれ示す。 拳３町 導４唖
成を示す側面図、 第２図はそのフローチャート、 第３図は従来のウェーハ挿入装置の一例の構成を示す側
面図、 第４図はそのフローチャートである。 また、図中において、 １はマガジン載置台、 ２．２ａは載置台移動装置、３
は搬送アーム、 ３ａはウェーハ保持部、４はアー
ム移動装置、 Ａはウェーハ処理装置、Ｍ、Ｍａはマガ
ジン、 Ｗはウェーハ、ａは搬送移動、 ｂは
載置移動、Ｃはステップ移動、 ｄは補助移動、ｇは
ウェーハ間隔、 をそれぞれ示す。 拳３町 導４唖
Claims (1)
- 複数枚のウェーハを間隔を置いて積層収容したマガジン
が載置され、ウェーハ搬送アームが、該積層収容部の横
方向から該マガジン領域に入って一枚のウェーハを銜え
、更に前進した後該積層方向に移動して銜えたウェーハ
をウェーハ処理装置に載置する手段を有し、該アームの
上記積層方向の移動に際して該アームが該マガジンに収
容されているウェーハに接触せぬよう該マガジンを同方
向に移動させる手段を具えることを特徴とするウェーハ
挿入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5742985A JPS61217442A (ja) | 1985-03-20 | 1985-03-20 | ウエ−ハ插入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5742985A JPS61217442A (ja) | 1985-03-20 | 1985-03-20 | ウエ−ハ插入装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61217442A true JPS61217442A (ja) | 1986-09-27 |
| JPH0255340B2 JPH0255340B2 (ja) | 1990-11-27 |
Family
ID=13055409
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5742985A Granted JPS61217442A (ja) | 1985-03-20 | 1985-03-20 | ウエ−ハ插入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61217442A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63139844A (ja) * | 1986-11-28 | 1988-06-11 | Ulvac Corp | 真空室内における物体の搬送方法 |
| JPS63208452A (ja) * | 1987-02-20 | 1988-08-29 | Canon Inc | 基板搬送装置 |
| JPS6421147U (ja) * | 1987-07-27 | 1989-02-02 |
-
1985
- 1985-03-20 JP JP5742985A patent/JPS61217442A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63139844A (ja) * | 1986-11-28 | 1988-06-11 | Ulvac Corp | 真空室内における物体の搬送方法 |
| JPS63208452A (ja) * | 1987-02-20 | 1988-08-29 | Canon Inc | 基板搬送装置 |
| JPS6421147U (ja) * | 1987-07-27 | 1989-02-02 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0255340B2 (ja) | 1990-11-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |