JP2550553Y2 - 表面処理装置のウエハ移替装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この考案は、処理液を貯溜した処
理槽内にウエハを収容したキャリアを浸漬して処理する
キャリア方式の表面処理装置に関し、さらに詳しくは、
ウエハ搬送用キャリアからウエハを取り出して別の浸漬
用キャリアに移し替える際に、又はこれと逆の場合に用
いられるウエハ移替装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体技術の高度化とともに被処
理基板の製造工程における高度な品質が要求されるよう
になり、これに伴って基板を搬送用キャリアから浸漬用
キャリアへ移し替えて浸漬処理するキャリアバッジ方式
により基板を浸漬処理するようになった。これは可能な
限り塵埃を処理槽内に持ち込まないように意図したもの
である。そしてこの種のウエハ移替装置としては、従来
より例えば実公平２−４００３３号公報に開示されたも
のが知られている。

【０００３】それは図４で示すように、一方に複数のウ
エハを収容したウエハキャリア１Ａを、他方に空のウエ
ハキャリア１Ｂを配置して水平移動可能に設けられたた
キャリア載置台１０２と、キャリア載置台１０２の下方
にあってウエハキャリア１Ａ内のウエハＷを押上げて一
括保持するウエハ保持具１０６と、ウエハ保持具１０６
の上方に対向配置され、ウエハ保持具１０６で押上保持
したウエハＷを一括挟持するウエハチャック１１５とを
具備して成り、図４Ａ〜Ｈの手順を経てウエハＷを一方
の搬送用キャリア１Ａから他方の浸漬用キャリア１Ｂ内
に移し替えるように構成されている。

【０００４】なお同図中のＡ〜Ｈは移し替え動作を示
し、ステップＡは移し替え動作開始前の状態を示す。先
ずステップＢではウエハキャリア１Ａ内のウエハＷをウ
エハ保持具１０６で押上げて一括保持し、ステップＣで
はウエハ保持具１０６で押上保持したウエハＷをウエハ
チャック１１５で一括挟持し、ステップＤではウエハ保
持具１０６を下降させ、ステップＥではキャリア載置台
１０２を水平移動させ、ステップＦではウエハ保持具１
０６を上昇させ、ステップＧではウエハチャック１１５
の挟持を解除し、ステップＨではウエハ保持具１０６を
下降させて他方の浸漬用キャリア１Ｂ内にウエハＷを移
し替える。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】上記従来例は、キャリ
ア載置台１０２が水平移動する構造であるため、ウエハ
移替装置が大型化する。しかもウエハＷの移し替えのた
めにステップＡ〜Ｈを経る構造であるため、ウエハの移
し替えに長時間を要する。本考案はこのような事情を考
慮してなされたもので、ウエハ移替装置の小型化及びウ
エハの移し替えに要する時間を短縮することを技術課題
とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本考案は上記課題を解決
するものとして、以下のように構成される。即ち、一方
に複数のウエハを収容した第１ウエハキャリアを配置
し、他方に空の第２ウエハキャリアを配置したキャリア
載置台と、第１ウエハキャリア及び第２ウエハキャリア
のウエハ収納溝と同一ピッチのウエハ保持溝をそれぞれ
上面に刻設し、各ウエハキャリア内のウエハをそれぞれ
一括保持する第１ウエハ保持具及び第２ウエハ保持具
と、第１ウエハ保持具で保持したウエハを一括挟持し、
上下移動及び水平移動自在のウエハチャックとを具備し
て成り、ウエハチャックで一括挟持したウエハを第２ウ
エハキャリア内に移し替えるように構成した表面処理装
置のウエハ移替装置において、第１ウエハ保持具及び第
２ウエハ保持具を同じ高さに固定配置し、キァリア載置
台を第１ウエハ保持具及び第２ウエハ保持具の上方及び
下方に昇降可能に設け、第１ウエハ保持具で保持したウ
エハをウエハチャックで受け取り、ウエハチャックを移
動して当該ウエハを第２ウエハ保持具へ引き渡すように
構成したことを特徴とするものである。

【０００７】

【作 用】以下、図２に基づき本考案に係るウエハ移
替装置の動作を説明する。なお、同図中のステップＡは
移し替え動作の始動前の状態を示す。先ずステップＢで
はキャリア載置台２を下降させることにより、第１ウエ
ハキャリア１Ａ内の各ウエハＷを第１ウエハ保持具６Ａ
でそれぞれ一括保持し、ステップＣでは第１ウエハ保持
具６Ａで保持したウエハＷをウエハチャック１５で一括
挟持し、ステップＤではウエハチャック１５を水平移動
させ、ステップＥではウエハチャック１５の挟持を解除
して各ウエハＷを他方の第２ウエハ保持具６Ｂでそれぞ
れ一括保持し、ステップＦではキャリア載置台２を上昇
させて第２ウエハキャリア１Ｂ内にウエハＷを移し替え
る。つまり、上記のように第１・第２ウエハ保持具６Ａ
・６Ｂを同じ高さに固定配置するとともに、キァリア載
置台２を第１・第２ウエハ保持具６Ａ・６Ｂの上方及び
下方に昇降させ、キャリアチャック１５を水平移動す
る。

【０００８】

【実施例】以下本考案の実施例を図面に基づいて説明す
る。図１は本考案に係るウエハ移替装置の概要を示す斜
視図である。このウエハ移替装置は、一方にウエハＷを
収容した第１ウエハキャリア１Ａ・１Ａを配置し、他方
に空の第２ウエハキャリア１Ｂ・１Ｂを載置したキャリ
ア載置台２と、固定配置され、キャリア載置台２にあけ
た挿通孔３Ａ・３Ｂを挿通する、それぞれ２個で一組を
なす第１ウエハ保持具６Ａ・６Ａ及び第２ウエハ保持具
６Ｂ・６Ｂと、ウエハ保持具６Ａ・６Ａで保持したウエ
ハＷを一括挟持して水平移動するウエハチャック１５と
を具備して成り、ウエハチャック１５で保持したウエハ
Ｗを第２ウエハ保持具６Ｂ・６Ｂを介して第２ウエハキ
ャリア１Ｂ・１Ｂ内に移し替えるように構成されてい
る。

【０００９】キャリア載置台２は所定ストロークで上下
（矢印Ａ）方向へ昇降可能に設けられ、キャリア載置台
２の左右にはウエハ保持具が挿通する挿通孔３Ａ・３Ｂ
が一対開口形成されている。即ち、キャリア載置台２が
上昇した位置では、ウエハＷの移し替え動作の始動前の
状態、あるいはウエハＷの移し替え動作の完了状態とな
り、図１の実線で示す下降位置では、第１ウエハ保持具
６Ａ・６Ａ及び第２ウエハ保持具６Ｂ・６Ｂがそれぞれ
挿通孔３Ａ、３Ａを貫通して第１ウエハキャリア１Ａ・
１Ａ及び第２ウエハキャリア１Ｂ・１Ｂの底部開口（図
示せず）を挿通し、ウエハチャック１５でウエハＷを第
１ウエハ保持具５Ａ・５Ａから他方の第２ウエハ保持具
５Ｂ・５Ｂへ移し替え可能となる。なお、第１ウエハキ
ャリア１Ａ内にはあらかじめ別の位置でオリエンテーシ
ョン・フラットを揃えたウエハＷが起立整列状態で収容
されている。

【００１０】第１・第２ウエハ保持具６Ａ・６Ｂはそれ
ぞれ支柱８Ａ・８Ｂで同じ高さに支持され、ウエハチャ
ック１５のウエハ挟持溝に対して位置整合するように固
定配置されている。そしてこれらのウエハ保持具６Ａ・
６Ｂにはその上面に複数のウエハＷを一括して保持する
基板保持溝７が第１・第２ウエハキャリア１Ａ・１Ｂの
ウエハ収納溝（図示せず）と同一ピッチで凹設されてい
る。従って、図１で示すように、キャリア載置台２を下
降させることにより、第１ウエハキャリア１Ａ内のウエ
ハＷを第１ウエハ保持具６Ａで受け取り可能となり、あ
るいは、キァリア載置台２を上昇させることにより、第
２ウエハ保持具６Ｂで保持したウエハＷを第２ウエハキ
ャリア１Ｂ内に収納可能となる。

【００１１】一方ウエハチャック１５は図１で示すよう
に、キャリア載置台２と同期して上下動するとともに、
水平（矢印Ｂ）方向へ移動可能に設けられた移動架本体
１６と、移動架本体１６より前方へ突設された一対のチ
ャック作動杆１７・１７と、各チャック作動杆１７に固
設された一対のチャックアーム１８・１８と、各チャッ
クアーム１８に固設されたチャックハンド１９とから成
り、チャックハンド１９で複数のウエハＷを第１ウエハ
保持具６Ａから受け取って一括保持し、第２ウエハ保持
具６Ｂへ引き渡すように構成されている。なおチャック
ハンド１９には第１・第２ウエハ保持具６Ａ・６Ｂのウ
エハ挟持溝７と同様のウエハ挟持溝が等ピッチで凹設さ
れてており、ウエハキャリア２個分のウエハを一括して
挟持するように構成されている。

【００１２】上記実施例装置によるウエハＷの移し替え
動作は、図２で示す通りであるから先の説明との重複を
省き、補足説明にとどめる。ステップＣにおいて、ウエ
ハチャック１５のチャックハンド１９でウエハＷを掬い
上げるようにして一括挟持する。これによりウエハチャ
ック１５を上昇させなくても、ウエハＷは図示のように
ウエハ保持具６Ａから浮上し、移し替え可能な状態にな
る。また、ステップＥにおいてウエハチャック１５の挟
持を解除する場合は、チャックハンド１９をこれと逆操
作する。このように本考案においては、従来例と比較し
て、ウエハを移し替えるに際してウエハを上下動させる
程度がかなり少なくてすむので、上下動に伴って発生す
るウエハの損傷、パーティクルの付着等の問題が減少で
きる。

【００１３】本考案は上記実施例に限るものではなく、
例えば図３で示すように、ウエハチャック１５をキャリ
ア載置台２とは独立して上下方向へ昇降可能に構成して
も良い。また、上記実施例ではウエハチャック１５がウ
エハキャリア２個分のウエハを、一括挟持して移し替え
るものについて例示したがこれに限らない。さらに、上
記実施例ではキャリア載置台２が１体の場合について例
示したが、２分割した別体のものでも良く、その他適宜
変更を加えて実施できる。

【００１４】

【考案の効果】以上の説明で明らかなように、本考案で
は第１・第２ウエハ保持具を同じ高さに固定配置すると
ともに、キァリア載置台２を第１・第２ウエハ保持具の
上方及び下方に昇降させ、キャリアチャック１５を昇降
可能、かつ水平移動するように構成したので、従来例の
ものと比較して装置全体を小型化することができ、しか
も移し替えに要する手順は従来例のものに比較して２ス
テップ短縮できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の１実施例を示すウエハ移替装置の斜視
図である。

【図２】本考案に係るウエハ移替装置の動作説明図であ
る。

【図３】本考案の別の実施例を示すウエハ移替装置の斜
視図である。

【図４】従来例に係るウエハ移替装置の動作説明図であ
る。

【符号の説明】

Ｗ…ウエハ、 １Ａ…第１ウエハキャリ
ア、１Ｂ…第２ウエハキャリア、 ２…キャリア載置
台、６Ａ…第１ウエハ保持具、 ６Ｂ…第２ウエハ保
持具、１５…ウエハチャック。

Claims (2)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 一方に複数のウエハを収容した第１ウエ
   ハキャリアを配置し、他方に空の第２ウエハキャリアを
   配置したキャリア載置台と、第１ウエハキャリア及び第
   ２ウエハキャリアのウエハ収納溝と同一ピッチのウエハ
   保持溝をそれぞれ上面に刻設し、各ウエハキャリア内の
   ウエハをそれぞれ一括保持する第１ウエハ保持具及び第
   ２ウエハ保持具と、第１ウエハ保持具で保持したウエハ
   を一括挟持し、上下移動及び水平移動自在のウエハチャ
   ックとを具備して成り、ウエハチャックで一括挟持した
   ウエハを第２ウエハキャリア内に移し替えるように構成
   した表面処理装置のウエハ移替装置において、第１ウエ
   ハ保持具及び第２ウエハ保持具を同じ高さに固定配置
   し、キァリア載置台を第１ウエハ保持具及び第２ウエハ
   保持具の上方及び下方に昇降可能に設け、第１ウエハ保
   持具で保持したウエハをウエハチャックで受け取り、ウ
   エハチャックを移動して当該ウエハを第２ウエハ保持具
   へ引き渡すように構成したことを特徴とする表面処理装
   置のウエハ移替装置。
2. 【請求項２】 ウエハチャックをキャリア載置台と同期
   させて上下動するように構成した請求項１に記載した表
   面処理装置のウエハ移替装置。