KR100375866B1 - 유체 컨테이너에서 기판을 처리하기 위한 방법 및 장치 - Google Patents

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Abstract

유체 컨테이너(1)에서 기판(12)을 처리하기 위한 장치는 유체 컨테이너(1) 내에 배치될 수 있는 제 1 기판 이송 장치(6 또는 7)와, 제 1 위치에서 기판(12)을 홀딩하고 제 2 위치에서 홀딩을 해제하는 적어도 하나의 기판 홀더(20 또는 21)를 가진다. 간단한 설계로 상기 장치의 생산성을 개선하기 위하여, 기판을 신뢰적으로 처리하는 동안 제 2 기판 이송 장치(7 또는 6)는 제 1 이송 장치에 고정되어 상기 제 1 이송 장치와 함께 이동될 수 있다. 상기 장치를 동작시키기 위한 방법이 본 명세서에 개시된다.

Description

유체 컨테이너에서 기판을 처리하기 위한 방법 및 장치{PROCESS AND DEVICE FOR TREATING SUBSTRATES IN A FLUID CONTAINER}
상기된 바와 같은 장치는 동일 출원인에 의한 DE 44 13 077 A에 공지되어 있다. 이런 공지된 장치를 사용하여, 처리될 기판을 기판 이송 장치에 로딩하고 상기 기판 이송 장치로부터 처리된 기판을 제거하는 것은 처리 비용과 관련하여, 특히 시간에 의해 요구되는 비용과 관련하여 비용이 많이 들어, 공지된 장치의 생산성이 제한된다.
동일 출원자의 DE 195 46 990 A로부터, 기판의 화학 습식 처리 장치가 공지되고, 상기 장치에서 기판은 수직으로 이동할 수 있는 제 1 이송 캐리지(carriage)에 의해 상하로 이동된다. 기판을 홀딩하는 캐리어용 제 2 이송 캐리지가 제공되어 기판을 이송시키는 제1 이송 캐리어(carrier)와 관련하여 이동할 수 있다. 공지된 장치는 캐리어없이 유체 컨테이너의 안팎으로 기판을 인도하고 들어올리지 못한다.
EP 0 385 536 A는 유체 컨테이너에 배치된 캐리어의 안팎으로 기판을 로딩하고 제거하기 위한 장치를 기술한다. 캐리어 자체는 기판이 제거된 후 유체 컨테이너의 밖으로 들어올려지지 못한다.
DE 44 25 208 A에서, 반도체 처리 장치를 가진 로딩 및 언로딩 장치를 결합하기 위한 장치가 공지되고, 상기 장치에서 로딩 및 언로딩 장치를 적당하게 수용할 수 있는 엘리먼트가 또다른 평면상에 배치된 적어도 두개의 평면 사이에서 조절할수있는 이동 가능한 엔클로저(enclosure) 안쪽에 제공되고, 상기 엔클로저는 반도체 처리 장치와 정렬된 결합 엘리먼트에 부착된 정렬 및 지지 엘리먼트를 포함한다.
US 4 840 530은 기판 처리 장치 내에 통합된 기판 캐리어로부터 추가의 이송을 위해 제공된 캐리어쪽으로 및 그 반대로 반도체 기판을 이송하기 위한 장치를 도시한다.1986년 10월 17일자에 출원된 JP-A-61 121337의 제 10 권 306호(E446)의 "일본 특허 요약서"는 회전식 원형 컨베이어 각각의 위치에서 각 웨이퍼가 단계적인 방식으로 회전식 원형 컨베이어 회전에 의해 다른 처리 배쓰(bath) 또는 유체 배쓰로 인도되는 웨이퍼용 회전식 원형 컨베이어 조절 장치를 개시한다. 이 장치는 순수하게 각각의 웨이퍼가 스테이션간에 이송되는 이송 장치로서 사용한다. 웨이퍼의 처리와 관련하여 이 장치의 부가적인 기능은 개시하지 않는다.
본 발명은 유체 컨테이너 상에 배치될 수 있으며, 제 1 위치에서 기판을 로킹하고 제 2 위치에서 기판의 로킹을 해제하는 적어도 하나의 기판 지지 장치를 가지는 제 1 기판 이송 장치를 구비하는, 유체 컨테이너에서 기판을 처리하는 방법에 관한 것이다. 게다가, 본 발명은 기판 이송 방법에 관한 것이다.
도 1은 개략적으로 도시된 기판 상승 및/또는 하강 장치(4 및 5)를 각각 가지며, 하나의 측면상에 제 1 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(2)과, 다른 측면상에 제 2 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(3)을 포함하는 유체 컨테이너(1)를 개략적으로 도시한다.
본 발명의 목적은 유체 컨테이너에서 기판을 처리하고 간단한 구조의 장치를 사용하여, 특히 상기와 같은 장치의 생산성이 개선되도록 시간 비용을 최소로하여 안전하고 신뢰적인 방식으로 유체 컨테이너에서 로딩 및 언로딩하는 장치 및 방법을 제공하는 것이다.유체 컨테이너 및 상기 유체 컨테이너상에 배치될 기판 이송 장치의 처리를 위한 장치를 개시하는 상기된 1986년 10월 17일자 출원된 JP-A-61 121337 제 10권 306호(E446)의 "일본 특허 요약서"를 바탕으로, 본 발명의 목적은 다수의 기판을 위해 후드로서 구현되고 제 1 위치에서 기판을 고정하고 제 2 위치에서 기판을 해제하는 적어도 하나의 기판 지지 장치를 포함하는 두개의 기판 이송 장치와, 서로 단단하게 연결되고 유체 컨테이너상에 기판 이송 장치 배치를 변경하기 위해 선형적으로 이동할 수 있는 기판 이송 장치에 의해 달성된다.제 2 이송 장치를 사용하여 유체 컨테이너에 (제 2 기판 이송 장치를 로딩함으로써) 기판을 (매우 빠르게) 이송하는 것이 가능하다.
상기된 본 발명의 목적은 제 1 이송 장치와 단단하게 접속되고 왕복 이동 가능한 제 2 기판 이송 장치에 의해 해결된다. 제 2 기판 이송 장치를 사용하여, 제 1 기판 패키지가 처리되는 동안 처리될 기판 및/또는 다른 기판 패키지를 제 2 기판 이송 장치에 로딩함으로써 유체 컨테이너 내로 기판의 이송을 상당히 가속시키는 것이 가능하다. 이런 종류의 이중 기판 이송 장치는 설계가 특히 간단하여 제 2 기판 이송 장치를 위한 부가적인 비용이 상당히 높은 생산성에 비해 최소이다. 제 2 기판 이송 장치는 기판 이송 장치의 로딩 및 언로딩을 분리시키고 그 자체의 처리 위치로부터 제거되게 하므로, 이송 안전성을 증가시켜, 불량품 비율을 보다 낮춘다.
이송 장치들을 동시에 이동시키기 위하여 공통 장치(common device)를 가지는 두개의 단단하게 연결된 기판 이송 장치들을 제공하는 것이 특히 바람직하다. 따라서, 기판 이송 장치의 이동을 위한 기계적 작동 장치는 단지 하나의 기판 이송 장치를 가지는 실시예보다 더 복잡하지는 않다.
본 발명의 다른 바람직한 실시예에 따라, 이송 장치를 로딩 및/또는 언로딩하기 위한 적어도 하나의 로딩 및/또는 언로딩 스테이션이 제공되고, 여기에서 유체 컨테이너의 각각의 측면상에 하나의 로딩 및/또는 언로딩 스테이션을 제공하는 것이 바람직하다.
적어도 하나의 로딩 및/또는 언로딩 스테이션은 기판 캐리어를 건조시키기 위한 장치를 포함하고, 상기 기판은 상기 스테이션으로부터 이송 장치로 이송되거나 이송 장치로부터 상기 스테이션으로 로딩된다. 이런 방식으로, 건조 처리 완료후 처리되고 건조된 기판의 즉각적인 수용을 위해 기판에서 습기 또는 물기를 제거후 상기 기판 캐리어를 재사용하는 것이 가능하다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따라, 기판 이송 장치의 기판 지지 장치는 회전된 위치에 따라 기판 이송 장치에 기판을 로킹하거나 로킹을 해제하는 적어도 하나의 회전 가능한 스테이 바아(stay bar)를 포함한다. 이런 기판 이송 장치 및 기판 지지 장치의 실시예는 DE-A-196 15 969에 상세히 기술되고, 상기 출원은 출원일 때문에 아직 공개되지 않았고 본 실시예와 관련하여 반복을 피하기 위하여 본 특허 출원에 참조로 통합된다.
후드(hood)로서 이송 장치를 구현하는 것은 특히 바람직하고, 여기에서 서로 대향하는 두개의 후드 벽은 기판을 위한 슬롯을 포함하고 상기 기판은 그것들이 후드로 밀어 넣어지거나, 후드로부터 제거되고, 및/또는 후드로 로킹될 때 서로 평행한 위치에 고정된다. 후드는 마랜고니(Marangoni) 방법에 따라 건조 처리하기 위하여 적어도 하나의 유체용 인입 구멍을 포함하는 처리 후드이다. 이 실시예에 따라 반복을 피하기 위하여, 출원이 출원일 때문에 공개되지 않았고 본 특허 출원에 참조로써 통합된 동일 출원자에 의한 DE-A-195 46 990, DE-A-196 15 970, 또는 DE-A-196 37 875에 대한 참조가 이루어진다.
본 발명의 목적은 다른 기판 이송 장치에 기판이 언로딩되고 및/또는 로딩되는 동안, 기판이 유체 컨테이너상에 배치된 기판 이송 장치에서 처리되도록 선행 청구범위중 하나에 따른 제 1 기판 이송 장치 및 제 2 기판 이송 장치를 가진 유체 컨테이너에서 기판을 처리하는 방법에 의해 해결된다. 이런 방식으로, 본 발명의 방법 및 장치는 기판의 처리와 동시에 본 발명의 이중 이송 장치(double transport device)중 다른 기판 이송 장치에 기판을 로딩 및/또는 언로딩하게 한다. 전체 과정은 실질적으로 통상적인 장치와 비교하여 빨라지고, 전체 설비의 생산성은 실질적으로 증가된다. 통상적인 장치와 비교하여 본 발명에 따른 로딩 및 언로딩 과정이 유체 컨테이너 상에서 수행되는 것이 아니라 그 밖에서 이루어지므로, 상기 장치 자체를 보다 간단히하고 보다 안전하고 보다 신뢰적으로 로딩 및 언로딩 과정을 수행하여, 보다 낮은 불량품 비율을 달성하는 것이 가능하다.
비록 본 발명의 장치가 유체 컨테이너의 한측면상에 하나의 로딩 및 언로딩 장치가 사용될지라도, 유체 컨테이너의 각각의 측면상에 로딩 및 언로딩 장치를 제공하는 것이 가능하다. 이런 경우, 상기 처리 다음 단계를 포함할때 특히 바람직하다.
a) 유체 컨테이너로부터 제 1 기판 이송 장치로 기판을 이동시킴과 동시에 로딩 및/또는 언로딩 스테이션상에 배치된 제 2 기판 이송 장치에 기판을 로딩하는 단계. 상기 기판은 제 1 및 제 2 기판 이송 장치에서 지지되고 로킹된다.
b) 두개의 기판 이송 장치를 제 1 기판 이송 장치가 제 1 로딩 및/또는 언로딩 스테이션에 배치되고 제 2 기판 이송 장치가 유체 컨테이너상에 배치되는 위치로 이송하는 단계. 만약 처리 동안 처리 후드로서 구현되는 기판 이송 장치가 외부쪽으로 유체 컨테이너상에 밀봉을 제공하여야 하면, 기판 이송 장치를 이동하거나 대체하기전 두개의 기판 이송 장치를 약간 들고 그후 이동을 수행하는 것이 바람직하다.
c) 동시에 제 1 로딩 및/또는 언로딩 스테이션에 배치된 기판을 제 1 기판 이송 장치로부터 기판 캐리어로 언로딩하고, 제 2 기판 이송 장치로부터 유체 컨테이너로 기판을 언로딩하는 단계.
d) 두개의 기판 이송 장치를 제 1 기판 이송 장치가 유체 컨테이너상에 배치되고 제 2 기판 이송 장치가 제 2 로딩 및/또는 언로딩 장치상에 배치되는 위치로이송하는 단계.
이런 과정은 제한되지 않고 반복될 수 있고 높은 생산성을 가진 짧은 처리 사이클을 제공한다.
기판 이송 장치가 후드 형태로 구현될 때, 즉 DE-A-196 15 969에 따라 기판 지지 장치에 대해 회전 가능한 스테이 바아를 가지는 이중 후드 모양일 때, 제 1 및 제 2 이송 장치의 스테이 바아를 제 1 기판 로킹 위치로 회전시킴으로써 a) 처리 단계동안 및/또는 a) 처리 단계후 기판을 로킹하고, 제 1 및 제 2 이송 장치의 스테이 바아를 제 2 기판 로킹 해제 위치로 회전함으로써 c) 처리 단계 동안 및/또는 c) 처리 단계 이후 기판을 방출하는 것이 바람직하다.
본 발명의 방법의 다른 바람직한 실시예에 따라, 소위 마랜고니 건조 방법이 유체 컨테이너에서 후드로서 구현된 이송 장치쪽으로 밖으로 기판을 들어올리는 동안 적용될 때, 가스는 후드에 유입된다.
본 발명의 방법의 다른 바람직한 실시예에 따라, 기판은 a) 처리 단계 동안 건조되고, 유체 컨테이너에서 제 1 기판 이송 장치쪽으로 밖으로 들어올려진다. 이런 종류의 건조 과정은 DE-A-44 13 077 및 출원이 출원일 때문에 공개되지 않은 상기된 동일 출원인의 독일 특허 출원에 기술된다.
본 발명의 방법 중 다른 바람직한 실시예에 따라, 기판 캐리어는 제 1 및/또는 제 2 이송 장치의 로딩후, 즉 기판 캐리어가 기판을 홀딩하지 않을때 제 1 및/또는 제 2 로딩 및/또는 언로딩 스테이션에서 건조된다. 이런 목적을 위하여, 건조 가스는 기판 캐리어위로 분다.
본 발명은 본 발명의 장치의 실시예를 단면으로 개략적으로 도시한 하나의 도면을 참조하여 바람직한 실시예의 도움으로 이후에 기술된다.
제 1 기판 이송 장치(6)는 제 1 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(2)상에 배치되고, 제 2 기판 이송 장치(7)는 유체 컨테이너(1)상에 배치되고, 양쪽 장치는 후드이다. 상기 후드(6, 7)는 접속 엘리먼트에 의해 서로 단단하게 연결된다.
개략적으로 도시된 제 2 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(3)은 건조 가스를 기판 캐리어(10)쪽으로 불기 위한 개략적으로 도시된 기판 캐리어 건조 장치(9)를 포함한다.
유체 컨테이너(1)는 기판(12)을 유체 컨테이너(1) 안팎으로 들어올리는 칼 모양 바아의 지지 장치(11)를 포함한다. 유체 컨테이너(1) 및 지지 장치(11)의 실시예는 DE-A-44 013 077 및 출원일 때문에 공개되지 않았고 상기 실시예에 관한 반복을 피하기 위하여 본 특허 출원에 참조로써 통합된 동일 출원인의 상기된 출원에 기술된다.
도시된 실시예에서, 후드(6, 7)는 처리 후드로서 예시되고, 후드에는 유체 컨테이너(1)의 밖으로 기판(12)을 들어올리는 동안 마랜고니 방법에 따라 건조 처리를 개선하고 촉진시키기 위한 건조 가스, 예를들어 질소 및 이소프로필 알콜을 후드(6 및 7)쪽에 유입하기 위한 인입 개구부(13) 및 분배 개구부(14, 15)가 제공된다.
후드(6, 7)는 기판(12)이 상승 및 하강동안 인도되고 지지되는, 각각의 측벽에 슬롯(16, 17)을 포함한다. 후드(6, 7)의 하나의 벽(18, 19)에는 회전 가능한 스테이 바아 모양의 각각의 기판 지지 장치(20, 21)가 제공된다.
기판 이송 장치로서 사용된 후드(6 및/또는 7), 및 회전 가능한 스테이 바아로서 구현된 후드(6 및 7) 내의 기판 지지 장치, 및 이 장치들의 기능 동작은 출원일때문에 공개되지 않았고 이런 실시예에 관한 반복을 피하기 위하여 본 특허 출원에 참조로써 통합된 DE-A-196 15 969에 상세히 기술된다.
도 1에 도시된 실시예에 따른 본 발명의 장치의 기능은 아래에 기술된다.
도면에 도시된 처리 시점에서, 기판 상승 장치(4)에 의해서는 후드(6)로부터 또는 칼 모양 바아(11)에 의해서는 후드(7)로부터 제 1 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(2)에서 유체 컨테이너(1)쪽으로 하강하도록, 후드(6, 7)의 회전 가능한 스테이 바아(20. 21)는 제 2 기판 방출 위치에 배치된다.처리된 기판을 다른 처리 스테이션 또는 다른 처리 단계로 이송하기 위하여, 후드(6)로부터 이송된 처리 및/또는 건조된 기판(12)은 후드(6) 아래의 표시되지 않은 기판 캐리어로 이송된다.
기판(12)이 제 1 로딩 및 언로딩 스테이션(2) 또는 유체 컨테이너(1)쪽으로 완전히 하강된 후, 이중 후드(6, 7, 8)는 제 1 후드(6)가 유체 컨테이너(1)상에 배치되고 제 2 후드(6)가 제 2 로딩 및 언로딩 스테이션(3)상에 배치될 때까지 화살표(22) 방향으로 이동된다.
이중 후드(6, 7, 8)가 화살표(22) 방향으로 이동되기 전, 상기 후드는 이동의 완료후 약간 들어올려지고 하강될 수 있다. 이런 방식으로, 유체 컨테이너(1) 및 후드(6 또는 7) 사이의 전송 지역을 밀봉하는 것이 가능하고, 이것은 처리 방법을 개선시킨다.
후드(6)가 유체 컨테이너(1)상에 배치되고, 따라서 후드(7)가 제 2 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(3) 상에 배치될 때, 기판(12)이 스테이 바아(20) 상에 배치될 때까지 제 1 후드(6)의 슬롯(15)으로 밀어 넣어지도록, 칼모양 바아(11)는 유체 컨테이너(1)의 위쪽으로 이동된다. 유체 컨테이너(1)의 밖으로 기판을 들어올리는 동안, 건조 과정이 수행되고, 상기 과정은 마랜고니 방법에 따라 제 1 후드(6)쪽으로 가스를 인입함으로써 가속화된다. 유체 컨테이너(1)상에 제 1 후드(6)의 로딩과 동시에, 제 2 로딩 및/또는 언로딩 장치(3) 상에 배치된 제 2 후드(7)에는 기판 캐리어(10) 밖으로 기판을 들어올리고 및/또는 낮추는 장치(5)를 사용하여 기판(12)을 들어올리고 기판이 회전 가능 스테이 바아(20)상에 배치되고 제 1 기판 로킹 위치로 스테이 바아를 회전함으로써 로킹되는 제 2 후드(7)쪽으로 기판을 밀어 넣음으로써 처리될 기판(12)이 로드된다.
그 다음, 이중 후드(6, 7, 8)의 이동이 화살표(22)의 반대 방향으로 발생하여, 도면에 도시된 바와같이 제 1 후드(6)가 다시 제 1 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(2)상에 배치되고 제 2 후드(7)가 유체 컨테이너(1)상에 배치된다. 제 1 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(2)의 기판 상승 및/또는 하강 장치(4)뿐 아니라, 유체 컨테이너(1) 내의 칼 모양 바아(11)는 상부 위치로 상승된다. 스테이 바아(19, 20)를 제 2 기판 방출 위치로 회전함으로써, 기판은 후드(6, 7) 밖으로 낮춰지고 제 1 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(2)의 도시되지 않은 기판 캐리어에 배치되거나 완전히 유체 컨테이너(1)의 처리 유체에 잠겨진다.
그리고나서 이중 후드(6, 7, 8)는 제 1 후드(6)가 유체 컨테이너(1)에 배치되고 제 2 후드(7)가 제 2 로딩 및 언로딩 스테이션(3)상에 배치되는 위치로 이동된다. 기술된 처리 순서는 제한되지 않고 반복될 수 있다.
본 발명은 상기 바람직한 실시예의 도움으로 기술되었다. 그러나, 당업자는 본 발명의 요지에서 벗어나지 않고 다양한 변형, 설계 및 변경을 이룰수있다. 비록 상기 장치 및 방법이 건조 과정의 도움으로 기술되었지만, 본 발명의 장치 및 본 발명의 방법은 다른 처리 과정과 관련하여 기판 이송에 적당하다.

Claims (20)

  1. 유체 컨테이너 및 상기 유체 컨테이너(1)상에 배치될 수 있는 기판 이송 장치(6 또는 7)를 포함하는 기판 처리 장치로서,
    상기 두개의 이송 장치는 다수의 기판을 위해 후드로서 구현되고 제 1 위치에서 기판(12)을 로킹하고 제 2 위치에서 기판의 로킹을 해제하는 적어도 하나의 기판 지지 장치(20 또는 21)를 가지며, 상기 기판 이송 장치(7 또는 6)는 서로 단단하게 연결되어 유체 컨테이너(1)상의 기판 이송 장치(7 또는 6)의 위치를 교체하기 위하여 선형적으로 이동할 수 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 두개의 기판 이송 장치(6, 7)를 동시에 이동시키기 위한 공통 장치가 제공되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 이송 장치(6, 7)의 로딩 및/또는 언로딩을 위하여 적어도 하나의 기판 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(2, 3)이 제공되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(2, 3)은 기판 캐리어(10) 의 건조 장치(9)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 기판 지지 장치(20, 21)는 적어도 하나의 회전 가능한 스테이 바아를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 스테이 바아(20, 21)는 제 1 기판 로킹 위치로부터 제 2 기판 방출 위치로 회전되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 후드(6, 7)의 두 개의 대향하는 벽은 기판(12)을 위한 슬롯(16 또는 17)을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 스테이 바아(20, 21)는 기판(12)이 제 1 기판 로킹 위치에 놓이는 길이 방향 영역에 기판(12)을 위한 슬롯을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 후드(6, 7)는 적어도 하나의 유체를 위해 유입 개구부(13)를 가지는 처리 후드인 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  10. 제 3 항에 있어서,
    상기 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(2, 3)은 기판(12)을 이송 장치(6, 7) 안쪽으로, 또는 이송 장치(6, 7) 바깥쪽으로 상승 및/또는 하강시키기 위한 각각의 기판 상승 및/또는 하강 장치(4 또는 5)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  11. 다수의 기판을 수용하기 위한 후드로서 구현된 제 1 및 제 2 기판 이송 장치(6, 7)를 가지는 유체 컨테이너(1)에서 기판(12)을 처리하기 위한 방법으로서,
    상기 유체 컨테이너(1)상의 기판 이송 장치(6 또는 7)의 기판(12)은 기판(12)이 다른 기판 이송 장치(7 및/또는 6)에 로딩되거나 상기 장치로부터 언로딩되는 동안 처리되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    a) 후드로서 구현된 제 1 기판 이송 장치(6)로 유체 컨테이너(1)로부터 기판(12)을 이송하는 동시에, 후드로 구현되고 제 2 로딩 및/또는 언로딩 스테이션상에 배치된 제 2 기판 이송 장치(7)를 로딩하는 단계;
    b) 제 1 기판 이송 장치가 제 1 로딩 및/또는 언로딩 스테이션상에 배치되고 제 2 기판 이송 장치가 유체 컨테이너(19)상에 배치되는 위치로 두개의 기판 이송 장치(6, 7)를 선형적으로 이송하는 단계;
    c) 동시에 제 1 기판 이송 장치(6)로부터 제 1 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(2)의 기판 캐리어로 기판을 언로딩하고 제 2 기판 이송 장치(7)로부터 유체 컨테이너(1)로 기판(12)을 언로딩하는 단계; 및
    d) 제 1 기판 이송 장치(6)가 유체 컨테이너(1)상에 배치되고 제 2 기판 이송 장치(7)가 제 2 로딩 및/또는 언로딩 장치(3)상에 배치되는 위치로 두개의 기판 이송 장치(6, 7)를 선형적으로 이송하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 기판(12) 로킹은 제 1 및/또는 제 2 이송 장치(6, 7)의 스테이 바아(20 또는 21)를 제 1 기판 로킹 위치로 회전시킴으로써 실현되고 기판(12)의 로킹 해제는 제 1 및/또는 제 2 이송 장치(6, 7)의 스테이 바아(20 또는 21)를 제 2 기판 로킹 해제 위치로 회전시킴으로써 실현되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
  14. 제 11 항 내지 제 13 항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판(12)은 a) 처리 단계 동안 건조되고, 유체 컨테이너(1)에서 제 2 기판 이송 장치(7)로 밖으로 들어 올려지는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 유체 컨테이너(1)에서 후드로서 구현되는 제 1 이송 장치(6)로 기판(12)을 들어올리는 동안, 가스는 후드로 유입되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
  16. 제 11 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 및/또는 제 2 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(2, 3)에서 기판 캐리어(10)는 제 1 및/또는 제 2 이송 장치(6, 7)의 로딩 후에 건조되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
  17. 제 16 항에 있어서,
    건조 가스가 기판 캐리어(10)쪽으로 유입되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
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