KR101285988B1 - 프리얼라이너 장치 - Google Patents

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야스히코 하시모토
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가와사키 쥬코교 가부시키가이샤
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Abstract

본 장치는, 반도체 웨이퍼(30)를 보유지지해서 회전시키는 회전기구(11)와, 웨이퍼에 형성된 위치결정용 절결부를 검출하는 검출기구(12)와, 회전기구(11)의 웨이퍼 재치부로부터 웨이퍼(30)를 집어올리거나 웨이퍼 재치부에 웨이퍼(30)를 재치하는 웨이퍼 이송기구(13)를 구비하고 있다. 웨이퍼 이송기구(13)는, 웨이퍼 재치부의 바로 위쪽 위치에서 웨이퍼(30)를 보유지지하는 가동 보유지지부(15)를 갖고, 회전기구(11)에 보유지지되어 있는 웨이퍼(30)를 회피해서 가동 보유지지부(15)가 하강 또는 상승하도록 구성되어 있다.

Description

프리얼라이너 장치 {PREALIGNER}
본 발명은, 기판처리장치에서의 처리에 앞서 반도체 웨이퍼를 위치맞춤 하기 위한 프리얼라이너 장치(prealignr)에 관한 것이다.
성막장치, 에칭장치 등과 같은 기판처리장치에서 반도체 웨이퍼를 처리할 때에는, 반도체 웨이퍼의 주위 가장자리부에 미리 형성된 위치결정용 절결부(노치 또는 오리엔테이션 플랫(orientation flat))를 기준으로 해서 반도체 웨이퍼의 위치맞춤이 실행된다.
이 위치맞춤을 행하기 위한 장치는 프리얼라이너 장치라 불리고, 기본적인 구성으로는 웨이퍼를 보유지지해서 회전시키는 회전기구와, 웨이퍼의 절결부를 검출하는 검출기구를 구비하고 있다(특허문헌 1, 2, 3 참조).
프리얼라이너 장치로의 웨이퍼의 수도(受渡: 받아 넘김)는 예컨대 로봇에 의해 행해지고, 이 웨이퍼 반송용의 로봇은 그 아암의 선단에 웨이퍼를 보유지지할 수 있는 핸드를 구비하고 있다.
로봇에 의해 카세트로부터 취출된 웨이퍼는, 프리얼라이너 장치의 회전기구의 재치부 상에 재치(載置)되어 그곳에 보유지지되고, 회전기구에 의해 웨이퍼를 회전시키면서 검출기구로 웨이퍼의 절결부를 검출하게 된다. 이와 같이 해서 웨이퍼의 XY 위치 및 회전방향(θ방향) 위치가 검출되는데, 이 검출에는 일반적으로 3∼10초 정도를 요한다.
근래, 웨이퍼 처리의 처리율(throughput)을 높이기 위해 이 프리얼라이너 장치에서의 위치맞춤작업에 수반해서 필요하게 되는 작업시간이 문제로 되고 있다.
그래서 종래에는, 예컨대 웨이퍼를 반송하는 로봇의 아암을 2개 설치해서, 위치맞춤 종료 후의 웨이퍼를 한쪽 아암으로 회전기구로부터 취출하면, 즉시 다른 쪽의 아암으로 다음의 웨이퍼를 프리얼라이너 장치에 반입한다고 하는 방법이 취해지고 있었다.
이와 같이 하면, 1개의 아암에 의해 프리얼라이너 장치로부터 웨이퍼를 출입시키는 경우에 비해, 작업시간을 전체로서 단축할 수가 있게 된다.
특허문헌 1 : 일본국 특개2007-281249호 공보 특허문헌 2 : 일본국 특개2004-363218호 공보 특허문헌 3 : 일본국 특표2005-536878호 공보
그러나, 로봇의 아암을 1개에서 2개로 변경하기 위해서는 다대한 비용을 필요로 하기 때문에, 웨이퍼 처리의 처리율을 높일 수는 있다 하더라도, 아암을 2개로 하는데(듀얼 아암화)에 수반하는 비용의 상승에 의해, 제조비용의 저감효과가 상쇄되어 버린다고 하는 문제가 있었다.
본 발명은, 앞에서 설명한 사정을 감안해서 이루어진 것으로, 다대한 비용의 상승을 초래하지 않고, 웨이퍼 처리의 처리율을 높일 수 있는 프리얼라이너 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 따른 프리얼라이너 장치는, 반도체 웨이퍼를 보유지지해서 회전시키기 위한 회전기구와, 상기 웨이퍼에 형성된 위치결정용 절결부를 검출하기 위한 검출기구와, 상기 회전기구의 웨이퍼 재치부로부터 상기 웨이퍼를 집어올리거나 상기 웨이퍼 재치부에 웨이퍼를 재치하기 위한 웨이퍼 이송기구를 구비하되, 상기 웨이퍼 이송기구가, 상기 웨이퍼 재치부의 바로 위쪽 위치에서 상기 웨이퍼를 보유지지하기 위한 1쌍의 세장부재(細長部材)를 갖추고, 상기 1쌍의 세장부재는 상기 웨이퍼와 평행한 공통의 평면에서 연장되어 있으며, 상기 웨이퍼 이송기구는 상기 회전기구에 보유지지되어 있는 웨이퍼를 우회해서 상기 1쌍의 세장부재가 상기 회전기구에 보유지지되어 있는 웨이퍼의 위쪽 위치로부터 상기 회전기구에 보유지지되어 있는 웨이퍼의 아래쪽 위치로, 또는 그와 반대로 이동하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 따른 프리얼라이너 장치는, 반도체 웨이퍼를 보유지지해서 회전시키기 위한 회전기구와, 상기 웨이퍼에 형성된 위치결정용 절결부를 검출하기 위한 검출기구와, 상기 회전기구의 웨이퍼 재치부로부터 상기 웨이퍼를 집어올리기 위한 웨이퍼 이송기구를 구비하되, 상기 웨이퍼 이송기구가, 상기 웨이퍼를 집어올릴 때에 상승해서 상기 웨이퍼의 이면에 접해지는 1쌍의 세장부재를 갖추고, 상기 1쌍의 세장부재는 상기 웨이퍼와 평행한 공통의 평면에서 연장되어 있으며, 상기 웨이퍼 이송기구는 상기 1쌍의 세장부재에 의해 집어올려진 상기 웨이퍼가 반출된 후, 상기 회전기구에 보유지지되어 있는 다음의 웨이퍼를 우회해서 상기 1쌍의 세장부재가 상기 회전기구에 보유지지되어 있는 웨이퍼의 위쪽 위치로부터 상기 회전기구에 보유지지되어 있는 웨이퍼의 아래쪽 위치로, 또는 그와 반대로 이동하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 1쌍의 세장부재는, 상기 회전기구의 회전축선을 사이에 두고 양쪽에 배치되고, 상기 1쌍의 세장부재끼리의 수평방향의 이간 거리는, 상기 웨이퍼를 보유지지할 때의 제1거리와, 상기 제1거리보다도 큰, 상기 회전기구에 보유지지되어 있는 웨이퍼를 회피해서 하강 또는 상승할 때의 제2거리와의 사이에서 변경할 수가 있다.
또 바람직하게는, 상기 웨이퍼 이송기구는, 상기 1쌍의 세장부재의 수평방향의 위치를 변경하기 위한 수평구동기구와, 상기 1쌍의 세장부재의 상하방향의 위치를 변경하기 위한 승강구동기구를 구비하고 있다.
도 1a는 본 발명의 1실시형태에 따른 프리얼라이너 장치를 웨이퍼 반송용 로봇과 함께 나타낸 평면도.
도 1b는 도 1a의 b-b 선에 따른 종단면도.
도 2는 도 1에 도시된 프리얼라이너 장치의 개폐구동기구의 1예를 설명하기 위한 도면.
도 3은 도 1에 도시된 프리얼라이너 장치의 개폐구동기구의 다른 예를 설명하기 위한 도면.
도 4는 도 1에 도시된 프리얼라이너 장치의 승강구동기구의 1예를 설명하기 위한 도면.
도 5는, 도 1에 도시된 프리얼라이너 장치에 있어서, 위치맞춤 후의 웨이퍼를 웨이퍼 이송기구로 집어올리는 모습을 나타낸 도면.
도 6은, 도 1에 도시된 프리얼라이너 장치에 있어서, 웨이퍼 이송기구로 집어올린 웨이퍼와 다음의 웨이퍼를 교환하는 모습을 나타낸 도면.
도 7은, 도 1에 도시된 프리얼라이너 장치에 있어서, 다음의 웨이퍼를 웨이퍼 이송기구 상에 재치하고, 위치맞춤이 끝난 웨이퍼를 반출하며, 다음의 웨이퍼를 회전기구 상에 재치하는 모습을 나타낸 도면.
도 8은, 도 1에 도시된 프리얼라이너 장치에 있어서, 다음의 웨이퍼를 회전기구 상에 재치한 후의 웨이퍼 이송기구의 동작을 나타낸 도면.
도 9는, 도 1에 도시된 프리얼라이너 장치에 있어서, 웨이퍼 이송기구를 변경시킨 구성을 나타낸 도면.
이하, 본 발명의 1실시형태에 따른 프리얼라이너 장치에 대해 도면을 참조해서 설명한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 실시형태에 따른 프리얼라이너 장치(10)는 대략 원판모양의 반도체 웨이퍼(30)를 보유지지해서 회전시키기 위한 회전기구(11)와, 웨이퍼(30)에 미리 형성되어 있는 위치결정용 절결부(노치 또는 오리엔테이션 플랫(orientation flat))를 검출하기 위한 검출기구(12)를 구비하고 있다.
회전기구(11)는, 그 재치면(11A) 상에 재치된 웨이퍼(30)를 보유지지하기 위한 척 기구(도시를 생략)를 갖추고 있고, 보유지지한 웨이퍼(30)를 회전축선(14) 주위를 회전시킨다.
검출기구(12)는, 회전기구(11)의 재치면(11A) 상에 재치된 웨이퍼(30)의 절결부를, 예컨대 광학센서나 촬상장치(CCD 카메라 등)에 의해 검출한다.
본 실시형태에 따른 프리얼라이너 장치(10)는, 위치맞춤 후의 웨이퍼(30)를 회전기구(11)의 재치면(11A)으로부터 집어올리기 위한 웨이퍼 이송기구(13)를 더 구비하고 있다.
이 웨이퍼 이송기구(13)는, 회전기구(11)의 회전축선(14)을 사이에 두고 양쪽에 배치된 1쌍의 핀 부재(가동 보유지지부; 15)와, 1쌍의 핀 부재(15)끼리의 수평방향의 이간 거리를 변경하기 위한 개폐구동기구(수평구동기구)와, 1쌍의 핀 부재(15)를 승강시키는 승강구동기구를 구비하고 있다.
도 2a에 도시된 바와 같이, 1쌍의 핀 부재(15)는 서로 평행 관계를 유지하면서 바깥쪽으로 수평이동해서 상호의 이간 거리를 넓힐 수가 있다.
도 2b 및 도 2c는 개폐구동기구의 구성을 나타내고 있는바, 1쌍의 핀 부재(15)는 그들의 기단부(基端部)가 1쌍의 리니어 가이드(40)에 의해 자유로이 이동할 수 있게 지지되어 있다.
1쌍의 핀 부재(15)의 각 기단부에는 1쌍의 제1링크부재(41)의 각각의 일단이 피봇(pivot)으로 장착되어 있고, 각 제1링크부재(41)의 타단은 제2링크부재(42)의 각 단부에 피봇으로 장착되어 있다.
제2링크부재(42)는, 그 중앙부(42a)가 회전할 수 있게 지지되어 있다. 제2링크부재(42)의 일단(42b)에는, 에어 실린더(43)의 출력축(43a)의 선단부가 피봇으로 장착되어 있다.
에어 실린더(43)는, 프리얼라이너 장치(10)의 제어부로부터의 신호에 의해 출력축(43a)의 진퇴동작이 제어된다.
도 2b에 도시된 상태로부터 에어 실린더(43)를 구동해서 출력축(43a)을 전진시키면, 제2링크부재(42)가 그 중앙부(42a)를 지지점으로 해서 회전하여, 각 제1링크부재(41)가 각 핀 부재(15)를 바깥쪽으로 향하여 누르게 된다. 이에 따라, 각 핀 부재(15)가 각 리니어 가이드(40) 상을 바깥쪽으로 향하여 슬라이드 해서, 도 2c에 도시된 바와 같이 핀 부재(15)끼리의 수평방향의 간격이 넓어지게 된다.
도 3은 개폐구동기구의 다른 예를 설명하기 위한 도면으로서, 이 예에 있어서는, 도 3a에 도시된 바와 같이 1쌍의 핀 부재(15)가 그들의 기단부를 중심으로 해서 회전할 수가 있고, 이에 따라 핀 부재(15)끼리의 수평방향의 간격이 넓어질 수가 있다.
도 3b 및 도 3c는, 이 예에서의 개폐구동기구의 구성을 나타내고 있는바, 1쌍의 핀 부재(15)의 각 기단부가 각 회전축선(15a)을 중심으로 해서 회전할 수 있게 되어 있다.
각 핀 부재(15)에 있어서, 그 회전축선(15a)보다도 기단 측의 부분에는 1쌍의 제1링크부재(51)의 각각의 일단이 피봇으로 장착되어 있고, 각 제1링크부재(51)의 타단은 제2링크부재(52)의 각 단부에 피봇으로 장착되어 있다.
제2링크부재(52)는, 그 중앙부(52a)가 회전할 수 있게 지지되어 있다. 제2링크부재(52)의 일단(52b)에는, 에어 실린더(53)의 출력축(53a)의 선단부가 피봇으로 장착되어 있다.
에어 실린더(53)는, 프리얼라이너 장치(10)의 제어부로부터의 신호에 의해, 출력축(53a)의 진퇴동작이 제어된다.
도 3b에 도시된 상태로부터 에어 실린더(53)를 구동해서 출력축(53a)을 후퇴시키면, 제2링크부재(52)가 그 중앙부(52a)를 지지점으로 해서 회전하게 된다. 이에 따라, 각 제1링크부재(51)가 각 핀 부재(15)를 회전시켜, 도 2c에 도시된 바와 같이 핀 부재(15)끼리의 수평방향의 간격이 넓어진다.
도 4는, 웨이퍼 이송기구(13)의 승강구동기구를 나타내고 있는바, 에어 실린더(60)의 출력축(60a)의 선단부에 베이스 부재(61)가 설치되어 있다. 이 베이스 부재(61)는, 에어 실린더(60)의 출력축(60a)을 진퇴시킴으로써 승강하게 된다.
에어 실린더(60)는, 프리얼라이너 장치(10)의 제어부로부터의 신호에 의해 출력축(60a)의 진퇴동작이 제어된다.
도 2 또는 도 3에 도시된 개폐구동기구 및 1쌍의 핀 부재(15)는, 도 4에 도시된 베이스 부재(61)에 배치되어 있다. 따라서, 에어 실린더(60)를 구동함으로써, 1쌍의 핀 부재(15)를 개폐구동기구와 함께 승강시킬 수가 있다.
프리얼라이너 장치(10)의 회전기구(11) 상에 웨이퍼(30)를 재치할 때에는, 로봇(20)의 아암(21)을 구동해서 아암(21)의 선단에 설치된 핸드(22)에 의해 카세트(도시를 생략)로부터 웨이퍼(30)를 취출하고, 다시 아암(21)을 구동해서 웨이퍼(30)를 회전기구(11)의 재치면(11A) 상에 재치한다.
그리고, 회전기구(11)에 의해 웨이퍼(30)를 회전시키면서, 검출기구(12)에 의해 웨이퍼(30)의 절결부를 검출하고, 그 검출결과에 기초해서 웨이퍼(30)의 회전방향(θ방향)의 위치맞춤을 실행한다.
한편, 검출기구(12)의 검출결과에 기초해서, 웨이퍼(30)가 회전기구(11)의 회전축선(14)으로부터 편심하고 있다고 판단된 경우에는, 산출된 편심량에 기초해서 핸드(22)에 의해 웨이퍼(30)를 회전기구(11) 상의 올바른 위치에 다시 재치하게 된다. 또는, 회전기구(11)를 XY 방향으로 이동할 수 있게 구성해서, 웨이퍼(30)의 편심을 회전기구(11)의 이동에 의해 조정하도록 해도 좋다.
다음에는, 도 5 및 도 6을 참조해서, 프리얼라이너 장치(10)로부터 위치맞춤이 끝난 웨이퍼(30)를 취출하고, 다음의 웨이퍼(30)를 회전기구(11) 상에 재치할 때의 공정에 관해 설명한다.
웨이퍼(30)를 회전시켜 검출기구(12)에서 웨이퍼(30)의 위치를 검출하는 위치검출조작(얼라인먼트 조작) 중에는, 도 5a에 도시된 바와 같이 1쌍의 핀 부재(15)가 상호 멀어진 위치인 퇴피위치에 배치되어 있다.
웨이퍼(30)의 위치검출조작이 종료하면, 웨이퍼 이송기구(13)의 개폐구동기구를 작동시켜 도 5b에 도시된 바와 같이 1쌍의 핀 부재(15)끼리를 가까워지게 해서 웨이퍼(30)의 바로 밑으로 이동시킨다.
이 상태에서, 웨이퍼 이송기구(13)의 승강구동기구를 작동시켜 도 5c에 도시된 바와 같이 1쌍의 핀 부재(15)를 웨이퍼(30)의 이면에 닿게 해서 회전기구(11)의 재치면(11A)으로부터 웨이퍼(30)를 수직방향 위쪽으로 집어올린다.
웨이퍼(30)를 집어올렸을 때의 핀 부재(15)의 높이 위치는, 로봇(20)의 핸드(22)에 재치한 다음의 웨이퍼(30)를 핀 부재(15)와 회전기구(11) 사이에 넣을 수 있는 위치이다.
이어서, 1쌍의 핀 부재(15)에서 웨이퍼(30)를 집어올린 상태에서, 도 6a에 도시된 바와 같이 로봇(20)의 핸드(22)에 의해 다음의 웨이퍼(30)를 회전기구(11)의 재치면(11A) 상에 재치한다.
이와 같이 해서 다음의 웨이퍼(30)를 핸드(22)에 의해 회전기구(11) 상에 재치하면, 도 6b에 도시된 바와 같이 방금 전의 핸드(22)를 이용해서 1쌍의 핀 부재(15) 상에 있는 위치맞춤이 끝난 웨이퍼(30)를 반출하게 된다.
핀 부재(15) 상으로부터 웨이퍼(30)가 반출되면, 도 6c에 도시된 바와 같이 웨이퍼 이송기구(13)의 개폐구동기구를 작동시켜 1쌍의 핀 부재(15)끼리의 수평방향의 이간 거리를 퇴피위치까지 넓힌다.
이때의 핀 부재(15)끼리의 이간 거리는, 핀 부재(15)를 강하시켰을 때에 회전기구(11) 상에 재치되어 있는 웨이퍼(30)에 핀 부재(15)가 접촉하지 않는 거리이다.
다음에, 도 6d에 도시된 바와 같이 핀 부재(15)를 강하시키고, 다음의 웨이퍼(30)의 위치맞춤조작을 개시한다.
이상 설명한 바와 같이 본 실시형태에 따른 프리얼라이너 장치(10)에 의하면, 위치맞춤이 끝난 웨이퍼(30)를 다음의 웨이퍼(30)와 교환할 때에, 위치맞춤이 끝난 웨이퍼(30)를 웨이퍼 이송기구(13)에 의해 집어올려 잠정적으로 보유지지하고, 이 상태에서 다음의 웨이퍼(30)를 로봇(20)에 의해 반입할 수가 있기 때문에, 프리얼라이너 장치(10)에 있어서 웨이퍼(30)의 교환작업에 요하는 시간을 단축할 수가 있고, 이에 따라 웨이퍼 처리의 처리율을 높일 수가 있게 된다.
앞에서 설명한 실시형태의 1변형예로서, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이 웨이퍼 이송기구(13)의 동작 순서를 변경할 수가 있다.
즉, 웨이퍼(30)의 위치검출조작이 종료하면, 도 7a에 도시된 바와 같이 위치 검출이 끝난 웨이퍼(30)의 위쪽에 위치하는 1쌍의 핀 부재(15) 상에 로봇(20)의 핸드(22)로 다음의 웨이퍼(30)를 재치한다.
다음에, 도 7b 및 도 7c에 도시된 바와 같이 로봇(20)의 핸드(22)로 위치 검출이 끝난 웨이퍼(30)를 반출한다.
그리고, 웨이퍼 이송기구(13)의 승강구동기구를 작동시켜 도 7d에 도시된 바와 같이 1쌍의 핀 부재(15)를 하강시키고, 회전기구(11)의 재치면(11A) 상에 다음의 웨이퍼(30)를 재치한다.
그 후, 웨이퍼 이송기구(13)의 개폐구동기구를 작동시켜 도 8a에 도시된 바와 같이 1쌍의 핀 부재(15)끼리의 수평방향의 간격을 넓혀 퇴피위치에 배치한다.
이 상태에서, 웨이퍼 이송기구(13)의 승강구동기구를 작동시켜 1쌍의 핀 부재(15)를 상승시킨다. 이때의 핀 부재(15)끼리의 이간 거리는, 핀 부재(15)를 상승시켰을 때에 회전기구(11) 상에 재치되어 있는 웨이퍼(30)에 핀 부재(15)가 접촉하지 않는 거리이다.
그런 후, 웨이퍼 이송기구(13)의 개폐구동기구를 작동시켜 도 8c에 도시된 바와 같이 1쌍의 핀 부재(15)끼리를 가까워지게 해서 웨이퍼(30)의 바로 위쪽으로 이동시킨다.
한편, 웨이퍼(30)의 위치검출조작은 도 8c에 도시된 1쌍의 핀 부재(15)의 폐쇄동작보다도 전에 실시된다.
도 7 및 도 8에 도시된 예에 있어서도, 프리얼라이너 장치(10)에 있어서 웨이퍼(30)의 교환작업에 요하는 시간을 단축할 수가 있고, 이에 따라 웨이퍼 처리의 처리율을 높일 수가 있다.
한편, 본 발명에 따른 프리얼라이너 장치에서의 웨이퍼 이송기구는, 앞에서 설명한 실시형태에서의 웨이퍼 이송기구(13)에 한정되는 것은 아니다.
즉, 본 발명에서의 웨이퍼 이송기구는, 회전기구(11)의 웨이퍼 재치면(11A)의 바로 위쪽 위치에서 웨이퍼(30)를 보유지지하기 위한 가동 보유지지부(상기 실시형태에서는 핀 부재(15))를 갖추고서, 회전기구(11)에 보유지지되어 있는 웨이퍼(30)를 회피해서 가동 보유지지부가 하강 또는 상승하도록 구성되어 있으면 좋다.
예컨대, 앞에서 설명한 실시형태에서의 웨이퍼 이송기구(13)의 핀 부재(15) 대신, 도 9에 도시된 바와 같이 단면 L자형의 L형 부재(16)를 설치함과 더불어, 이 L형 부재(16)를 그 길이방향으로 평행한 축선 주위에 회전할 수 있게 설치할 수가 있다.
이 예에서는, 단면 L자형의 L형 부재(16)의 위치를, 그 회전동작에 의해 도 9a에 도시된 퇴피위치와 도 9b 및 도 9c에 도시된 작동위치로 적절히 절환할 수가 있다. L형 부재(16)의 승강 구동 및 회전 구동은, 예컨대 에어 실린더에 의해 실행할 수가 있다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시형태에 대해 설명하였으나, 상기 실시형태는 본 발명의 범위 내에서 적절히 변경할 수가 있다.

Claims (4)

  1. 반도체 웨이퍼를 보유지지해서 회전시키기 위한 회전기구와, 상기 웨이퍼에 형성된 위치결정용 절결부를 검출하기 위한 검출기구와, 상기 회전기구의 웨이퍼 재치부로부터 상기 웨이퍼를 집어올리거나 상기 웨이퍼 재치부에 웨이퍼를 재치하기 위한 웨이퍼 이송기구를 구비하되,
    상기 웨이퍼 이송기구가, 상기 웨이퍼 재치부의 바로 위쪽 위치에서 상기 웨이퍼를 보유지지하기 위한 1쌍의 세장부재를 갖추고, 상기 1쌍의 세장부재는 상기 웨이퍼와 평행한 공통의 평면에서 연장되어 있으며, 상기 웨이퍼 이송기구는 상기 회전기구에 보유지지되어 있는 웨이퍼를 우회해서 상기 1쌍의 세장부재가 상기 회전기구에 보유지지되어 있는 웨이퍼의 위쪽 위치로부터 상기 회전기구에 보유지지되어 있는 웨이퍼의 아래쪽 위치로, 또는 그와 반대로 이동하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 프리얼라이너 장치.
  2. 반도체 웨이퍼를 보유지지해서 회전시키기 위한 회전기구와, 상기 웨이퍼에 형성된 위치결정용 절결부를 검출하기 위한 검출기구와, 상기 회전기구의 웨이퍼 재치부로부터 상기 웨이퍼를 집어올리기 위한 웨이퍼 이송기구를 구비하되,
    상기 웨이퍼 이송기구가, 상기 웨이퍼를 집어올릴 때에 상승해서 상기 웨이퍼의 이면에 접해지는 1쌍의 세장부재를 갖추고, 상기 1쌍의 세장부재는 상기 웨이퍼와 평행한 공통의 평면에서 연장되어 있으며, 상기 웨이퍼 이송기구는 상기 1쌍의 세장부재에 의해 집어올려진 상기 웨이퍼가 반출된 후, 상기 회전기구에 보유지지되어 있는 다음의 웨이퍼를 우회해서 상기 1쌍의 세장부재가 상기 회전기구에 보유지지되어 있는 웨이퍼의 위쪽 위치로부터 상기 회전기구에 보유지지되어 있는 웨이퍼의 아래쪽 위치로, 또는 그와 반대로 이동하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 프리얼라이너 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 1쌍의 세장부재는, 상기 회전기구의 회전축선을 사이에 두고 양쪽에 배치되고, 상기 1쌍의 세장부재끼리의 수평방향의 이간 거리는, 상기 웨이퍼를 보유지지할 때의 제1거리와, 상기 제1거리보다도 큰, 상기 회전기구에 보유지지되어 있는 웨이퍼를 회피해서 하강 또는 상승할 때의 제2거리와의 사이에서 변경할 수 있는 것을 특징으로 하는 프리얼라이너 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 웨이퍼 이송기구는, 상기 1쌍의 세장부재의 수평방향의 위치를 변경하기 위한 수평구동기구와, 상기 1쌍의 세장부재의 상하방향의 위치를 변경하기 위한 승강구동기구를 가진 것을 특징으로 하는 프리얼라이너 장치.
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