CN114654394B - 一种晶圆检测移动载台机构 - Google Patents

Abstract

本发明公开了晶圆检测技术领域的一种晶圆检测移动载台机构，一种晶圆检测移动载台机构，包括驱动臂，所述驱动臂的顶端传动连接有旋转臂，所述旋转臂的顶面固定安装有固定轴，所述固定轴的顶端固定安装有固定杆，所述固定杆内腔活动连接有伸缩杆。本发明通过气泵将空气送入固定轴内，通过分气管二进入进气管内，然后进入延伸盒内吹动扇叶，从而带动扇叶进行旋转，使扇叶通过旋转轴带动橡胶轮旋转，由于橡胶轮上开设的卡槽与晶圆的侧壁接触，从而可以带动晶圆旋转，使晶圆上的检测位置以旋转的方式进入检测区域内，在检测时，驱动臂和旋转臂不需要进行移动，从而减少了损耗，增加了装置的使用寿命。

Description

一种晶圆检测移动载台机构

技术领域

本发明涉及晶圆检测设备领域，具体为一种晶圆检测移动载台机构。

背景技术

晶圆检测设备需要使用到移动载台抓去并将晶圆移动至检测位置进行检测。现有的移动载台在大多通过机械臂对晶圆进行抓取，然后通过机械臂带动晶圆移动至检测位置进行检测，但在进行检测时，由于晶圆上存在多个检测位置，因此需要机械臂不断移动，从而使每个检测位置移动至检测机构下，在长时间使用后，由于每个晶圆的检测都需要机械臂移动多个位置进行检测，从而会增加机械臂的磨损，降低了移动载台的使用寿命。机械臂除了会出现磨损影响寿命外，还会产生热量，对于整机环境有不利的影响。

现有的移动载台在使用时，直接采用抓取的防止进行抓取，但在抓取后，可能会出现晶圆拾取偏心的情况，即晶圆的底面与水平面不平行的情况，导致晶圆的受力不均，在机械臂带动晶圆移动时，震动传递至受力不均的晶圆上可能会导致晶圆损坏，增加了晶圆检测的成本。

发明内容

本发明的目的在于提供一种晶圆检测移动载台机构，以解决上述背景技术中提出的现有技术的缺点的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种晶圆检测移动载台机构，包括驱动臂，所述驱动臂的顶端传动连接有旋转臂，所述旋转臂的顶面固定安装有固定轴，所述固定轴的顶端固定安装有固定杆，所述固定杆内腔活动连接有伸缩杆，所述伸缩杆靠近固定轴的一端固定安装有磁性板一，所述伸缩杆的另一端固定安装有连接轴，所述连接轴的内腔活动连接有旋转轴，所述旋转轴的顶端固定安装有橡胶轮，所述连接轴的底面固定安装有延伸盒，所述延伸盒的内腔活动连接有扇叶，所述固定杆内腔靠近固定轴轴线的一端固定安装有磁性板二，所述固定轴的顶端固定安装有连接管，所述延伸盒靠近固定轴的一端固定安装有连接气管，所述旋转臂的顶端固定安装有气泵，所述气泵的底端固定安装有贯穿气管，所述连接管的内部设有电磁通断组件；

驱动臂通过旋转臂将橡胶板移动至晶圆的下方，然后驱动臂带动旋转臂向上移动，使橡胶板的底面与晶圆的底面接触，将晶圆向上顶出放置位置，然后通过电磁通断组件将分气管一打开，固定杆通过分气管一和固定管与固定轴连通，磁性板一与磁性板二之间的磁力将伸缩杆向磁性板二拉动，将固定杆内的空气挤入固定轴内，在伸缩杆移动时，可以拉动连接轴和旋转轴向晶圆的侧面运，当橡胶轮与晶圆接触时，将晶圆夹紧，扇叶进行旋转，使扇叶通过旋转轴带动橡胶轮旋转，由于橡胶轮上开设的卡槽与晶圆的侧壁接触，从而可以带动晶圆旋转，使晶圆上的检测位置以旋转的方式进入检测区域内；

通过气泵将空气送入固定轴内，空气通过分气管二进入进气管内，然后进入延伸盒内吹动扇叶，从而带动扇叶进行旋转，使扇叶通过旋转轴带动橡胶轮旋转，由于橡胶轮上开设的卡槽与晶圆的侧壁接触，从而可以带动晶圆旋转，使晶圆上的检测位置以旋转的方式进入检测区域内，在检测时，驱动臂和旋转臂不需要进行移动，从而减少了损耗，增加了装置的使用寿命；通过电磁通断组件将分气管一打开，此时固定杆通过分气管一和固定管与固定轴连通，磁性板一与磁性板二之间的磁力将伸缩杆向磁性板二拉动，将固定杆内的空气挤入固定轴内，在伸缩杆移动时，可以拉动连接轴和旋转轴向晶圆的侧面运，当橡胶轮与晶圆接触时，将晶圆夹紧，此时晶圆的侧壁与卡槽接触，在橡胶轮移动时，等角度分布的四个橡胶轮可以推动晶圆，使晶圆的中心与橡胶板的中心重合，从而提高了晶圆的检测精度。

优选的，所述连接管包括固定管，所述固定管固定安装在固定轴的顶端上，所述固定管的顶端和底端分别固定安装有分气管一和分气管二，所述分气管一的顶端固定安装在固定杆的底端上，所述分气管一位于分气管二靠近固定轴轴线的一侧；

进入固定管的空气，由于分气管一处于封闭的状态，通过分气管二进入进气管内，然后进入延伸盒内吹动扇叶，从而带动扇叶进行旋转；

通过设置分气管一和分气管二，可以控制空气在固定管内的流动方向，通过对分气管一和分气管二其中一个单独开启，可以实现固定杆内的空气流动和驱动扇叶旋转，实现装置的自动化进行。

优选的，所述橡胶轮的中部开设有卡槽，所述固定轴的顶端开设有活动孔，所述活动孔的内腔活动连接有顶杆，所述顶杆的顶端固定安装有橡胶板；

启动气泵，气泵将外界空气抽入固定轴内，并向活动孔和固定管流动，进入活动孔内的空气将橡胶板向上顶起，从而使橡胶板将带动晶圆向上移动，当晶圆上移时，倾斜晶圆的上方在与卡槽的顶端接触后，停止向上运动，而倾斜晶圆下方的则会继续向上移动，从而逐渐将晶圆摆正，摆正后，晶圆的四周均匀的与卡槽的顶端贴合，此时晶圆无法向上移动，此时橡胶板不在向上移动；

通过气泵将外界空气抽入固定轴内，进入活动孔内的空气将橡胶板向上顶起，从而使橡胶板将带动晶圆向上移动，当倾斜晶圆的上方在与卡槽的顶端接触后，停止向上运动，而倾斜晶圆下方的则会继续向上移动，从而逐渐将晶圆摆正，摆正后，晶圆的四周均匀的与卡槽的顶端贴合，使晶圆的受力均匀，避免造成晶圆的损坏，降低了晶圆检测的成本。

优选的，所述旋转轴的顶端固定安装有夹环，所述夹环活动连接在连接轴的顶端上，所述夹环位于橡胶轮的下方；

旋转轴在旋转时带动夹环进行旋转，由于夹环活动连接在连接轴的顶端，可以对旋转轴进行支撑；

通过设置夹环，可以对旋转轴的位置进行限定，避免旋转轴出现偏移或歪斜，避免旋转轴发生脱落。

优选的，所述扇叶固定安装在旋转轴的底面上，所述扇叶远离旋转轴轴线的一面与延伸盒的内壁贴合；

避免气体在延伸盒内旋转时可以顺利推动扇叶旋转，避免气体泄露，保证了装置的正常运行。

优选的，所述固定杆的内腔固定安装有限位杆，所述限位杆位于磁性板二远离固定轴轴线的一端；

磁性板一在固定杆内运动时，当磁性板一与限位杆接触时，磁性板一无法继续运动；

限位杆可以对磁性板一的运动进行限定，将磁性板一限制在限位杆远离固定轴轴线的一侧，避免磁性板一堵塞分气管一。

优选的，所述连接气管包括进气管和出气管，所述进气管靠近固定轴轴线的一端固定安装在分气管二的底端上，所述进气管和出气管均固定安装在延伸盒靠近固定轴轴线的一端上；

气体在进入进气管内后，通过进气管进入延伸盒，在延伸盒内旋转后通过出气管排出；

通过在延伸盒的右端设置进气管和出气管，可以使气体在延伸盒内顺利旋转，从而顺利驱动旋转轴旋转，保证了装置的顺利运行。

优选的，所述电磁通断组件包括电磁环一和电磁环二，所述电磁环一和电磁环二均固定安装在固定管的内腔中，所述电磁环一位于分气管一靠近固定轴轴线的一侧，所述电磁环二位于分气管二远离驱动臂轴线的一侧，所述电磁环一和电磁环二的中部活动连接有金属环，所述金属环的侧壁与固定管的侧壁贴合；

对电磁环二通电、电磁环一断电，此时电磁环二产生的磁力可以将金属环向电磁环二吸附，使金属环将分气管一打开，对电磁环一通电、电磁环二断电，此时金属环在电磁环一的磁力作用下向右运动，将分气管一的底端封闭；

通过对电磁环二和电磁环一其中一个进行通电，可以控制金属环的移动，从而实现自动对分气管一和分气管二进行封闭，增加了装置的自动化程度。

优选的，所述磁性板一和磁性板二之间磁性连接，所述磁性板一与磁性板二相向一面的磁性相反；

磁性板一和磁性板二之间的磁性可以对磁性板一施加向右运动的趋势，在分气管一开启时，可以实现分气管一自动移动对晶圆进行夹紧，提高了装置的自动化程度。

优选的，所述橡胶板位于卡槽的中部，所述活动孔与固定轴的中部连通，所述顶杆的顶端贯穿并延伸至固定轴的上方；

保证了在橡胶板与晶圆接触时，可以顺利的使晶圆位于卡槽内，从而实现晶圆的自动定位。

1.本发明采用气动传输，通过气泵将空气送入固定轴内，通过分气管二进入进气管内，然后进入延伸盒内吹动扇叶，从而带动扇叶进行旋转，使扇叶通过旋转轴带动橡胶轮旋转，由于橡胶轮上开设的卡槽与晶圆的侧壁接触，从而可以带动晶圆旋转，使晶圆上的检测位置以旋转的方式进入检测区域内，在检测时，驱动臂和旋转臂不需要进行移动，从而减少了损耗，增加了装置的使用寿命，减少了发热情况，有利于整机环境。

2.本发明通过在橡胶板与晶圆接触后，通过电磁通断组件将分气管一打开，此时固定杆通过分气管一和固定管与固定轴连通，磁性板一与磁性板二之间的磁力将伸缩杆向磁性板二拉动，将固定杆内的空气挤入固定轴内，在伸缩杆移动时，可以拉动连接轴和旋转轴向晶圆的侧面运，当橡胶轮与晶圆接触时，将晶圆夹紧，此时晶圆的侧壁与卡槽接触，在橡胶轮移动时，等角度分布的四个橡胶轮可以推动晶圆，使晶圆的中心与橡胶板的中心重合，从而提高了晶圆的检测精度。

3.本发明通过气泵将外界空气抽入固定轴内，进入活动孔内的空气将橡胶板向上顶起，从而使橡胶板将带动晶圆向上移动，当倾斜晶圆的上方在与卡槽的顶端接触后，停止向上运动，而倾斜晶圆下方的则会继续向上移动，从而逐渐将晶圆摆正，摆正后，晶圆的四周均匀的与卡槽的顶端贴合，使晶圆的受力均匀，避免造成晶圆的损坏，降低了晶圆检测的成本。

附图说明

图1为本发明总体结构示意图；

图2为本发明结构气泵连接示意图；

图3为本发明结构贯穿气管连接示意图；

图4为本发明结构固定轴连接示意图；

图5为本发明结构固定轴剖视示意图；

图6为本发明结构图5中A处放大示意图；

图7为本发明结构固定杆剖视示意图；

图8为本发明结构连接管连接示意图；

图9为本发明结构连接轴剖视示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、驱动臂；2、旋转臂；3、固定轴；4、固定杆；5、伸缩杆；6、磁性板一；7、连接轴；8、旋转轴；9、橡胶轮；10、夹环；11、延伸盒；12、扇叶；13、磁性板二；14、限位杆；15、连接管；151、固定管；152、分气管一；153、分气管二；16、连接气管；161、进气管；162、出气管；17、电磁通断组件；171、电磁环一；172、电磁环二；173、金属环；18、卡槽；19、活动孔；20、顶杆；21、橡胶板；22、气泵；23、贯穿气管。

具体实施方式

请参阅图1-图9，本发明提供一种技术方案：一种晶圆检测移动载台机构，包括驱动臂1，驱动臂1的顶端传动连接有旋转臂2，旋转臂2的顶面固定安装有固定轴3，固定轴3的顶端固定安装有固定杆4，固定杆4内腔活动连接有伸缩杆5，伸缩杆5靠近固定轴3的一端固定安装有磁性板一6，伸缩杆5的另一端固定安装有连接轴7，连接轴7的内腔活动连接有旋转轴8，旋转轴8的顶端固定安装有橡胶轮9，连接轴7的底面固定安装有延伸盒11，延伸盒11的内腔活动连接有扇叶12，固定杆4内腔靠近固定轴3轴线的一端固定安装有磁性板二13，固定轴3的顶端固定安装有连接管15，延伸盒11靠近固定轴3的一端固定安装有连接气管16，旋转臂2的顶端固定安装有气泵22，气泵22的底端固定安装有贯穿气管23，连接管15的内部设有电磁通断组件17；

驱动臂1通过旋转臂2将橡胶板21移动至晶圆的下方，然后驱动臂1带动旋转臂2向上移动，使橡胶板21的底面与晶圆的底面接触，将晶圆向上顶出放置位置，然后通过电磁通断组件17将分气管一152打开，固定杆4通过分气管一152和固定管151与固定轴3连通，磁性板一6与磁性板二13之间的磁力将伸缩杆5向磁性板二13拉动，将固定杆4内的空气挤入固定轴3内，在伸缩杆5移动时，可以拉动连接轴7和旋转轴8向晶圆的侧面运，当橡胶轮9与晶圆接触时，将晶圆夹紧，扇叶12进行旋转，使扇叶12通过旋转轴8带动橡胶轮9旋转，由于橡胶轮9上开设的卡槽18与晶圆的侧壁接触，从而可以带动晶圆旋转，使晶圆上的检测位置以旋转的方式进入检测区域内；

通过气泵22将空气送入固定轴3内，空气通过分气管二153进入进气管161内，然后进入延伸盒11内吹动扇叶12，从而带动扇叶12进行旋转，使扇叶12通过旋转轴8带动橡胶轮9旋转，由于橡胶轮9上开设的卡槽18与晶圆的侧壁接触，从而可以带动晶圆旋转，使晶圆上的检测位置以旋转的方式进入检测区域内，在检测时，驱动臂1和旋转臂2不需要进行移动，从而减少了损耗，增加了装置的使用寿命；通过电磁通断组件17将分气管一152打开，此时固定杆4通过分气管一152和固定管151与固定轴3连通，磁性板一6与磁性板二13之间的磁力将伸缩杆5向磁性板二13拉动，将固定杆4内的空气挤入固定轴3内，在伸缩杆5移动时，可以拉动连接轴7和旋转轴8向晶圆的侧面运，当橡胶轮9与晶圆接触时，将晶圆夹紧，此时晶圆的侧壁与卡槽18接触，在橡胶轮9移动时，等角度分布的四个橡胶轮9可以推动晶圆，使晶圆的中心与橡胶板21的中心重合，从而提高了晶圆的检测精度。

其中，连接管15包括固定管151，固定管151固定安装在固定轴3的顶端上，固定管151的顶端和底端分别固定安装有分气管一152和分气管二153，分气管一152的顶端固定安装在固定杆4的底端上，分气管一152位于分气管二153靠近固定轴3轴线的一侧；

进入固定管151的空气，由于分气管一152处于封闭的状态，通过分气管二153进入进气管161内，然后进入延伸盒11内吹动扇叶12，从而带动扇叶12进行旋转；

通过设置分气管一152和分气管二153，可以控制空气在固定管151内的流动方向，通过对分气管一152和分气管二153其中一个单独开启，可以实现固定杆4内的空气流动和驱动扇叶12旋转，实现装置的自动化进行。

其中，橡胶轮9的中部开设有卡槽18，固定轴3的顶端开设有活动孔19，活动孔19的内腔活动连接有顶杆20，顶杆20的顶端固定安装有橡胶板21；

启动气泵22，气泵22将外界空气抽入固定轴3内，并向活动孔19和固定管151流动，进入活动孔19内的空气将橡胶板21向上顶起，从而使橡胶板21将带动晶圆向上移动，当晶圆上移时，倾斜晶圆的上方在与卡槽18的顶端接触后，停止向上运动，而倾斜晶圆下方的则会继续向上移动，从而逐渐将晶圆摆正，摆正后，晶圆的四周均匀的与卡槽18的顶端贴合，此时晶圆无法向上移动，此时橡胶板21不在向上移动；

通过气泵22将外界空气抽入固定轴3内，进入活动孔19内的空气将橡胶板21向上顶起，从而使橡胶板21将带动晶圆向上移动，当倾斜晶圆的上方在与卡槽18的顶端接触后，停止向上运动，而倾斜晶圆下方的则会继续向上移动，从而逐渐将晶圆摆正，摆正后，晶圆的四周均匀的与卡槽18的顶端贴合，使晶圆的受力均匀，避免造成晶圆的损坏，降低了晶圆检测的成本。

其中，旋转轴8的顶端固定安装有夹环10，夹环10活动连接在连接轴7的顶端上，夹环10位于橡胶轮9的下方；

旋转轴8在旋转时带动夹环10进行旋转，由于夹环10活动连接在连接轴7的顶端，可以对旋转轴8进行支撑；

通过设置夹环10，可以对旋转轴8的位置进行限定，避免旋转轴8出现偏移或歪斜，避免旋转轴8发生脱落。

其中，扇叶12固定安装在旋转轴8的底面上，扇叶12远离旋转轴8轴线的一面与延伸盒11的内壁贴合；

避免气体在延伸盒11内旋转时可以顺利推动扇叶12旋转，避免气体泄露，保证了装置的正常运行。

其中，固定杆4的内腔固定安装有限位杆14，限位杆14位于磁性板二13远离固定轴3轴线的一端；

磁性板一6在固定杆4内运动时，当磁性板一6与限位杆14接触时，磁性板一6无法继续运动；

限位杆14可以对磁性板一6的运动进行限定，将磁性板一6限制在限位杆14远离固定轴3轴线的一侧，避免磁性板一6堵塞分气管一152。

其中，连接气管16包括进气管161和出气管162，进气管161靠近固定轴3轴线的一端固定安装在分气管二153的底端上，进气管161和出气管162均固定安装在延伸盒11靠近固定轴3轴线的一端上；

气体在进入进气管161内后，通过进气管161进入延伸盒11，在延伸盒11内旋转后通过出气管162排出；

通过在延伸盒11的右端设置进气管161和出气管162，可以使气体在延伸盒11内顺利旋转，从而顺利驱动旋转轴8旋转，保证了装置的顺利运行。

其中，电磁通断组件17包括电磁环一171和电磁环二172，电磁环一171和电磁环二172均固定安装在固定管151的内腔中，电磁环一171位于分气管一152靠近固定轴3轴线的一侧，电磁环二172位于分气管二153远离驱动臂1轴线的一侧，电磁环一171和电磁环二172的中部活动连接有金属环173，金属环173的侧壁与固定管151的侧壁贴合；

对电磁环二172通电、电磁环一171断电，此时电磁环二172产生的磁力可以将金属环173向电磁环二172吸附，使金属环173将分气管一152打开，对电磁环一171通电、电磁环二172断电，此时金属环173在电磁环一171的磁力作用下向右运动，将分气管一152的底端封闭；

通过对电磁环二172和电磁环一171其中一个进行通电，可以控制金属环173的移动，从而实现自动对分气管一152和分气管二153进行封闭，增加了装置的自动化程度。

其中，磁性板一6和磁性板二13之间磁性连接，磁性板一6与磁性板二13相向一面的磁性相反；

磁性板一6和磁性板二13之间的磁性可以对磁性板一6施加向右运动的趋势，在分气管一152开启时，可以实现分气管一152自动移动对晶圆进行夹紧，提高了装置的自动化程度。

其中，橡胶板21位于卡槽18的中部，活动孔19与固定轴3的中部连通，顶杆20的顶端贯穿并延伸至固定轴3的上方；

保证了在橡胶板21与晶圆接触时，可以顺利的使晶圆位于卡槽18内，从而实现晶圆的自动定位。

工作原理：

在使用时，驱动臂1通过旋转臂2将橡胶板21移动至晶圆的下方，然后驱动臂1带动旋转臂2向上移动，使橡胶板21的底面与晶圆的底面接触，将晶圆向上顶出放置位置，然后对电磁环二172通电、电磁环一171断电，此时电磁环二172产生的磁力可以将金属环173向电磁环二172吸附，使金属环173将分气管一152打开，此时固定杆4通过分气管一152和固定管151与固定轴3连通，磁性板一6与磁性板二13之间的磁力将伸缩杆5向磁性板二13拉动，将固定杆4内的空气挤入固定轴3内，在伸缩杆5移动时，可以拉动连接轴7和旋转轴8向晶圆的侧面运，当橡胶轮9与晶圆接触时，将晶圆夹紧，此时晶圆的侧壁与卡槽18接触；

然后对电磁环一171通电、电磁环二172断电，此时金属环173在电磁环一171的磁力作用下向右运动，将分气管一152的底端封闭；

然后启动气泵22，气泵22将外界空气抽入固定轴3内，并向活动孔19和固定管151流动，进入活动孔19内的空气将橡胶板21向上顶起，从而使橡胶板21将带动晶圆向上移动，当晶圆上移时，倾斜晶圆的上方在与卡槽18的顶端接触后，停止向上运动，而倾斜晶圆下方的则会继续向上移动，从而逐渐将晶圆摆正，摆正后，晶圆的四周均匀的与卡槽18的顶端贴合，此时晶圆无法向上移动，此时橡胶板21不在向上移动；

进入固定管151的空气，由于分气管一152处于封闭的状态，通过分气管二153进入进气管161内，然后进入延伸盒11内吹动扇叶12，从而带动扇叶12进行旋转，使扇叶12通过旋转轴8带动橡胶轮9旋转，由于橡胶轮9上开设的卡槽18与晶圆的侧壁接触，从而可以带动晶圆旋转，使晶圆上的检测位置以旋转的方式进入检测区域内；

在检测完毕后，驱动臂1和旋转臂2将晶圆移动至存放位置处，对电磁环二172通电、电磁环一171断电，将分气管一152打开，此时进入固定轴3内的空气通过分气管一152进入固定杆4内，并且位于磁性板一6与磁性板二13之间，通过磁性板一6将伸缩杆5向远离固定轴3轴线的一侧推动，将晶圆放松，从而然后通过驱动臂1对下移，将晶圆放置在存放位置处。

Claims (8)

1.一种晶圆检测移动载台机构，包括驱动臂（1），其特征在于：所述驱动臂（1）的顶端传动连接有旋转臂（2），所述旋转臂（2）的顶面固定安装有固定轴（3），所述固定轴（3）的顶端固定安装有固定杆（4），所述固定杆（4）内腔活动连接有伸缩杆（5），所述伸缩杆（5）靠近固定轴（3）的一端固定安装有磁性板一（6），所述伸缩杆（5）的另一端固定安装有连接轴（7），所述连接轴（7）的内腔活动连接有旋转轴（8），所述旋转轴（8）的顶端固定安装有橡胶轮（9），所述连接轴（7）的底面固定安装有延伸盒（11），所述延伸盒（11）的内腔活动连接有扇叶（12），所述固定杆（4）内腔靠近固定轴（3）轴线的一端固定安装有磁性板二（13），所述固定轴（3）的顶端固定安装有连接管（15），所述延伸盒（11）靠近固定轴（3）的一端固定安装有连接气管（16），所述旋转臂（2）的顶端固定安装有气泵（22），所述气泵（22）的底端固定安装有贯穿气管（23），所述连接管（15）的内部设有电磁通断组件（17）；

所述连接管（15）包括固定管（151），所述固定管（151）固定安装在固定轴（3）的顶端上，所述固定管（151）的顶端和底端分别固定安装有分气管一（152）和分气管二（153），所述分气管一（152）的顶端固定安装在固定杆（4）的底端上，所述分气管一（152）位于分气管二（153）靠近固定轴（3）轴线的一侧；

所述电磁通断组件（17）包括电磁环一（171）和电磁环二（172），所述电磁环一（171）和电磁环二（172）均固定安装在固定管（151）的内腔中，所述电磁环一（171）位于分气管一（152）靠近固定轴（3）轴线的一侧，所述电磁环二（172）位于分气管二（153）远离驱动臂（1）轴线的一侧，所述电磁环一（171）和电磁环二（172）的中部活动连接有金属环（173），所述金属环（173）的侧壁与固定管（151）的侧壁贴合。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测移动载台机构，其特征在于：所述橡胶轮（9）的中部开设有卡槽（18），所述固定轴（3）的顶端开设有活动孔（19），所述活动孔（19）的内腔活动连接有顶杆（20），所述顶杆（20）的顶端固定安装有橡胶板（21）。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆检测移动载台机构，其特征在于：所述旋转轴（8）的顶端固定安装有夹环（10），所述夹环（10）活动连接在连接轴（7）的顶端上，所述夹环（10）位于橡胶轮（9）的下方。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆检测移动载台机构，其特征在于：所述扇叶（12）固定安装在旋转轴（8）的底面上，所述扇叶（12）远离旋转轴（8）轴线的一面与延伸盒（11）的内壁贴合。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆检测移动载台机构，其特征在于：所述固定杆（4）的内腔固定安装有限位杆（14），所述限位杆（14）位于磁性板二（13）远离固定轴（3）轴线的一端。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆检测移动载台机构，其特征在于：所述连接气管（16）包括进气管（161）和出气管（162），所述进气管（161）靠近固定轴（3）轴线的一端固定安装在分气管二（153）的底端上，所述进气管（161）和出气管（162）均固定安装在延伸盒（11）靠近固定轴（3）轴线的一端上。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆检测移动载台机构，其特征在于：所述磁性板一（6）和磁性板二（13）之间磁性连接，所述磁性板一（6）与磁性板二（13）相向一面的磁性相反。

8.根据权利要求2所述的一种晶圆检测移动载台机构，其特征在于：所述橡胶板（21）位于卡槽（18）的中部，所述活动孔（19）与固定轴（3）的中部连通，所述顶杆（20）的顶端贯穿并延伸至固定轴（3）的上方。

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