CN214672553U - 一种用于晶圆检测的移动载台机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种用于晶圆检测的移动载台机构，包括底座和载台，所述底座底部设置有万向轮，所述底座内设置有空气压缩机，所述底座远离万向轮一侧设置有伸缩杆，所述伸缩杆上设置有安装平台，所述安装平台上设置有载台，所述载台两侧均设置有气缸，所述气缸上设置有安装板，所述安装板上设置有优力胶板，所述安装板的空槽内壁设置有第一卡槽，所述优力胶板的空槽内壁设置有第二卡槽，所述插柱上设置有转轴，所述转轴上设置有连接杆，所述连接杆上设置有弹簧，所述弹簧上设置有弹性球，通过设置了气缸、安装板等结构使得安装板和优力胶板可快速进行拆卸更换，在一定程度上减轻了工作人员的更换劳动难度。

Description

一种用于晶圆检测的移动载台机构

技术领域

本实用新型属于移动载台机构相关技术领域，具体涉及一种用于晶圆检测的移动载台机构。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，在对晶圆进行检测时，需要对晶圆进行移动输送。

现有的用于晶圆检测的移动载台机构技术存在以下问题：现有的用于晶圆检测的移动载台机构上的优力胶板在长时间推送晶圆后，一旦发生损坏不便更换。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于晶圆检测的移动载台机构，以解决上述背景技术中提出的该装置上的优力胶板在长时间推送晶圆后，一旦发生损坏不便更换的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于晶圆检测的移动载台机构，包括底座和载台，所述底座底部设置有万向轮，所述底座内设置有空气压缩机，所述底座远离万向轮一侧设置有伸缩杆，所述伸缩杆上设置有安装平台，所述安装平台上设置有载台，所述载台两侧均设置有气缸，所述气缸上设置有安装板，所述安装板上设置有优力胶板，所述安装板和优力胶板上均设置有空槽，所述安装板的空槽内壁设置有第一卡槽，所述优力胶板的空槽内壁设置有第二卡槽，所述安装板远离优力胶板的一侧设置有把手，所述把手上设置有插柱，所述插柱上设置有转轴，所述转轴上设置有连接杆，所述连接杆上设置有弹簧，所述弹簧上设置有弹性球。

优选的，所述伸缩杆一侧和底座连接，所述伸缩杆另一侧和安装平台连接。

优选的，所述把手表面为粗糙状结构，所述把手为着力点。

优选的，所述插柱插接在空槽内。

优选的，所述第一卡槽和第二卡槽尺寸相同。

优选的，所述弹性球和第一卡槽以及第二卡槽相互适配。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种用于晶圆检测的移动载台机构，具备以下有益效果：

本实用新型通过设置了气缸、安装板、优力胶板、空槽、第一卡槽、第二卡槽、把手、插柱、转轴、连接杆、弹簧、弹性球等结构解决了该装置上的优力胶板在长时间推送晶圆后，一旦发生损坏不便更换的问题，通过在安装板上设置有优力胶板，安装板的空槽内壁设置有第一卡槽，优力胶板的空槽内壁设置有第二卡槽，安装板远离优力胶板的一侧设置有把手，把手上设置有插柱，插柱上设置有转轴，转轴上设置有连接杆，连接杆上设置有弹簧，弹簧上设置有弹性球，当需要对安装板上的优力胶板进行更换时，只需要用手拿住把手，将把手向远离安装板一侧拉动，这时把手带动一侧插柱向空槽外运动，进而插柱带动两侧的弹性球运动，当弹性球被带动向外运动时，弹性球一侧的弹簧受力收缩，继续拉动把手，将插柱脱离空槽，使得安装板和优力胶板分离，这样可快速进行拆卸更换，在一定程度上减轻了工作人员的更换劳动难度。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制，在附图中：

图1为本实用新型提出的一种整体结构示意图；

图2为本实用新型提出的安装板和优力胶板连接方式结构示意图；

图中：1、底座；2、万向轮；3、空气压缩机；4、伸缩杆；5、安装平台；6、载台；7、气缸；8、安装板；9、优力胶板；10、空槽；11、第一卡槽；12、第二卡槽；13、把手；14、插柱；15、转轴；16、连接杆；17、弹簧；18、弹性球。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体式连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种用于晶圆检测的移动载台机构，包括底座1和载台6，底座1底部设置有万向轮2，底座1内设置有空气压缩机3，底座1远离万向轮2一侧设置有伸缩杆4，伸缩杆4上设置有安装平台5，安装平台5上设置有载台6，载台6两侧均设置有气缸7，气缸7上设置有安装板8，安装板8上设置有优力胶板9，安装板8和优力胶板9上均设置有空槽10，安装板8的空槽10内壁设置有第一卡槽11，优力胶板9的空槽10内壁设置有第二卡槽12，安装板8远离优力胶板9的一侧设置有把手13，把手13上设置有插柱14，插柱14上设置有转轴15，转轴15上设置有连接杆16，连接杆16上设置有弹簧17，弹簧17上设置有弹性球18。

一种用于晶圆检测的移动载台机构，伸缩杆4一侧和底座1连接，伸缩杆4另一侧和安装平台5连接，把手13表面为粗糙状结构，把手13为着力点，插柱14插接在空槽10内，第一卡槽11和第二卡槽12尺寸相同，弹性球18和第一卡槽11以及第二卡槽12相互适配。

本实用新型的工作原理及使用流程：本实用新型安装好过后，检查各个结构是否存在安全隐患，是否安装紧固，检查完成之后，将该装置推到安全合适的位置，通过在底座1底部设置有万向轮2，使得该装置方便移动，为了加强该装置的实用性，通过在底座1内设置有空气压缩机3，底座1远离万向轮2一侧设置有伸缩杆4，伸缩杆4上设置有安装平台5，这样检测人员可根据自己的习惯来对该装置的高度进行调整，由于伸缩杆4一侧和底座1连接，伸缩杆4另一侧和安装平台5连接，在调整时，只需要通过启动底座1内的空气压缩机3，空气压缩机3控制伸缩杆4的长度，进而控制整个装置的高度，当对晶圆进行检测时，将晶圆放置在载台6上，进而启动载台6两侧均设置有气缸7，气缸7一侧的安装板8带动优力胶板9靠近晶圆，进而固定住晶圆，通过在安装板8上设置优力胶板9，可在一定程度上保护晶圆不会在固定时造成晶圆表面的磨损。

为了解决该装置上的优力胶板9在长时间推送晶圆后，一旦发生损坏不便更换的问题，通过在气缸7上设置有安装板8，安装板8上设置有优力胶板9，安装板8和优力胶板9上均设置有空槽10，安装板8的空槽10内壁设置有第一卡槽11，优力胶板9的空槽10内壁设置有第二卡槽12，安装板8远离优力胶板9的一侧设置有把手13，把手13上设置有插柱14，插柱14上设置有转轴15，转轴15上设置有连接杆16，连接杆16上设置有弹簧17，弹簧17上设置有弹性球18，当需要对安装板8上的优力胶9板进行更换时，只需要用手拿住把手13，将把手13向远离安装板8一侧拉动，这时把手13带动一侧插柱14向空槽10外运动，进而插柱14带动两侧的弹性球18运动，当弹性球18被带动向外运动时，弹性球18一侧的弹簧17受力收缩，继续拉动把手13，将插柱14脱离空槽10，使得安装板8和优力胶板9分离，这样可快速进行拆卸更换，当需要安装优力胶板9时，只需要用手拿住把手13，将把手13一侧的插柱14对准空槽10内，将插柱14向靠近安装板8一侧推动，进而插柱14带动两侧的弹性球18运动，当弹性球18被带动向空槽10内运动时，弹性球18一侧的弹簧17受力收缩，继续推动把手13，弹簧17一侧的弹性球18触碰到第一卡槽11和第二卡槽12时，弹簧17弹力释放，将弹性球18弹入第一卡槽11和第二卡槽12内，插柱14也完全卡入空槽10，使得安装板8和优力胶板9固定，通过设置了以上结构使得该装置的实用性增强，不仅可以根据习惯调整该装置的高度，也可对优力胶板9进行更换。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种用于晶圆检测的移动载台机构，包括底座(1)和载台(6)，其特征在于：所述底座(1)底部设置有万向轮(2)，所述底座(1)内设置有空气压缩机(3)，所述底座(1)远离万向轮(2)一侧设置有伸缩杆(4)，所述伸缩杆(4)上设置有安装平台(5)，所述安装平台(5)上设置有载台(6)，所述载台(6)两侧均设置有气缸(7)，所述气缸(7)上设置有安装板(8)，所述安装板(8)上设置有优力胶板(9)，所述安装板(8)和优力胶板(9)上均设置有空槽(10)，所述安装板(8)的空槽(10)内壁设置有第一卡槽(11)，所述优力胶板(9)的空槽(10)内壁设置有第二卡槽(12)，所述安装板(8)远离优力胶板(9)的一侧设置有把手(13)，所述把手(13)上设置有插柱(14)，所述插柱(14)上设置有转轴(15)，所述转轴(15)上设置有连接杆(16)，所述连接杆(16)上设置有弹簧(17)，所述弹簧(17)上设置有弹性球(18)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：所述伸缩杆(4)一侧和底座(1)连接，所述伸缩杆(4)另一侧和安装平台(5)连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：所述把手(13)表面为粗糙状结构，所述把手(13)为着力点。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：所述插柱(14)插接在空槽(10)内。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：所述第一卡槽(11)和第二卡槽(12)尺寸相同。

6.根据权利要求5所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：所述弹性球(18)和第一卡槽(11)以及第二卡槽(12)相互适配。

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