CN113192875A - 一种用于晶圆检测的移动载台机构 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于晶圆检测的移动载台机构，包括外壳，所述外壳的上表面中部固接有斗状套，所述斗状套的内部设有的吸风管，所述外壳的内部安装有用以带动吸风管升降的升降结构，所述外壳上设有用以从吸风管内部抽风的吸风结构，所述吸风结构包括：所述两个吸风管之间连接有连接管，所述外壳的上表面安装有负压风机，负压风机与连接管之间连接有连接软管，本发明中设置了吸风管和斗状套，吸风管能够在竖直方向上将晶圆定位住，斗状套能够在水平方向上将晶圆定位住，保证晶圆在被输送的过程中能够较为稳定，本发明晶圆在斗状套的内部上下移动时，为连续移动，所以斗状套可适应任何一种尺寸的晶圆。

Description

一种用于晶圆检测的移动载台机构
技术领域
本发明涉及晶圆检测技术领域，具体是一种用于晶圆检测的移动载台机构。
背景技术
在晶圆的生产过程中,需要对晶圆进行检测,这时需要对晶圆进行移动输送,输送过程中需要将晶圆放置在载台上,现有的载台一般只适用于一种尺寸规格的晶圆,适用性不足,同时晶圆的移动过程中,容易受到振动发生偏移；
为此申请号为202021304599.5的专利中提出了一种用于晶圆检测的移动载台机构，其能够适应较多种尺寸的晶圆，但是其尺寸变化为间断变化，并不能适应任意一种晶圆的尺寸，也不能在垂直方向上定位晶圆。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用于晶圆检测的移动载台机构，以解决现有技术中载台的尺寸变化为间断变化，并不能适应任意一种晶圆的尺寸，也不能在垂直方向上定位晶圆问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于晶圆检测的移动载台机构，包括外壳，所述外壳的上表面中部固接有斗状套，所述斗状套的内部设有的吸风管，所述外壳的内部安装有用以带动吸风管升降的升降结构，所述外壳上设有用以从吸风管内部抽风的吸风结构。
优选的，还包括左右驱动结构，所述左右驱动结构驱动外壳左右运动，所述左右驱动结构包括单向丝杆，单向丝杆上螺纹连接有第一螺母，所述外壳固接在第一螺母的上表面。
优选的，所述单向丝杆的下方设有第一导向杆，且第一导向杆穿过第一螺母，所述单向丝杆的一端设有用以驱动单向丝杆转动的第一电机。
优选的，所述吸风管的下端固接有托盘，所述升降结构包括转动安装在外壳内部的双向丝杆，双向丝杆上对称螺纹连接有第二螺母，第二螺母与托盘的对应侧之间铰接有调节杆。
优选的，所述外壳的外部一侧安装有第二电机，第二电机驱动双向丝杆转动。
优选的，所述外壳的内部下方安装有第二导向杆，且第二导向杆穿过第二螺母。
优选的，所述托盘的前后侧与双向丝杆的内部下底面之间连接有导向杆，且导向杆为管套式连接。
优选的，所述吸风结构包括：所述两个吸风管之间连接有连接管，所述外壳的上表面安装有负压风机，负压风机与连接管之间连接有连接软管。
优选的，所述斗状套的内壁上固接有橡胶垫。
优选的，所述吸风管的上端连通有吸盘。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1、本发明中设置了吸风管和斗状套，吸风管能够在竖直方向上将晶圆定位住，斗状套能够在水平方向上将晶圆定位住，保证晶圆在被输送的过程中能够较为稳定；
2、本发明晶圆在斗状套的内部上下移动时，为连续移动，所以斗状套可适应任何一种尺寸的晶圆。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明吸风管升高示意图；
图3为本发明吸风管下降示意图；
图4为本发明斗状套的结构示意图；
图5为本发明导向杆的结构示意图。
图中：1、第一电机；2、单向丝杆；3、第一导向杆；4、第一螺母；5、外壳；6、第二电机；7、负压风机；8、斗状套；9、连接管；10、吸盘；11、吸风管；12、连接软管；13、托盘；14、橡胶垫；15、双向丝杆；16、调节杆；17、第二螺母；18、导向杆。
具体实施方式
为使本发明实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1、图2、图3和图4所示，，本发明实施例中，一种用于晶圆检测的移动载台机构，包括外壳5，外壳5的上表面中部固接有斗状套8，斗状套8的内部设有的吸风管11，外壳5的内部安装有用以带动吸风管11升降的升降结构，外壳5上设有用以从吸风管11内部抽风的吸风结构，将晶圆置于吸风管11的上端，吸风结构从吸风管11的内部吸风时，可将晶圆在吸风管11上进行垂直方向上的定位，可避免晶圆在竖直方向上运动，并且升降结构可带动吸风管11上的晶圆的高度下降，直至到达斗状套8的直径与晶圆的直径相等的位置，此时晶圆水平方向的被斗状套8定位，并且由于晶圆在斗状套8的内部下降时，为连续的，所以可适应任何一种直径的晶圆；
如图2和图3，为了进一步的使得吸风管11能够吸住晶圆，这里的吸风管11的上端连通有吸盘10，吸盘10可增大吸风管11与晶圆之间的接触面积，以使得吸力更强；
结合图2和图4所示，为了减少晶圆与斗状套8之间的磨损，斗状套8的内壁上固接有橡胶垫14，橡胶垫14作为另外一个作用，还能够在水平方向上给予晶圆一个推力，进一步的保证晶圆的位置锁定，还能够给晶圆进行减振；
结合图2和图3所示，为了实现吸风管11的吸风，吸风结构包括：两个吸风管11之间连接有连接管9，外壳5的上表面安装有负压风机7，负压风机7与连接管9之间连接有连接软管12，负压风机7通过连接软管12与连接管9进行吸风，进而吸风管11的内部也2为负压状态，所以吸风管11顶部的吸盘10可吸住晶圆；
继续参照图2和图3所示，为了使得晶圆能够升降，吸风管11的下端固接有托盘13，升降结构包括转动安装在外壳5内部的双向丝杆15，双向丝杆15上对称螺纹连接有第二螺母17，第二螺母17与托盘13的对应侧之间铰接有调节杆16，在双向丝杆15转动时可带动第二螺母17发生水平运动，两个第二螺母17能够相互靠近或者是相互远离，在两个第二螺母17相互远离时，即从图2到图3的状态，吸风管11能够下降，反之两个第二螺母17能够相互靠近或者是相互靠近，则为图3到图2的状态；
继续参照图2和图3所示，外壳5的外部一侧安装有第二电机6，第二电机6驱动双向丝杆15转动，外壳5的内部下方安装有第二导向杆，且第二导向杆穿过第二螺母17，第二导向杆起到对第二螺母17进行导向的作用，避免第二螺母17发生转动；
结合图1和图5所示，托盘13的前后侧与双向丝杆15的内部下底面之间连接有导向杆18，且导向杆18为管套式连接，管套式的导向杆是为了适应空间狭小的外壳5；
如图1所示，还包括左右驱动结构，左右驱动结构驱动外壳5左右运动，左右驱动结构包括单向丝杆2，单向丝杆2上螺纹连接有第一螺母4，外壳5固接在第一螺母4的上表面，单向丝杆2在转动时可带动第一螺母4进行移动，第一螺母4移动时可带动外壳5进行移动，实现本载台的送料；
如图1，单向丝杆2的下方设有第一导向杆3，且第一导向杆3穿过第一螺母4，单向丝杆2的一端设有用以驱动单向丝杆2转动的第一电机1。
本发明的工作原理及使用流程：在使用本装置时，首先将晶圆置于吸盘10的上表面，负压风机7通过连接软管12与连接管9进行吸风，进而吸风管11的内部也2为负压状态，所以吸风管11顶部的吸盘10可吸住晶圆，第二电机6驱动双向丝杆15转动，在双向丝杆15转动时可带动第二螺母17发生水平运动，两个第二螺母17相互远离，即从图2到图3的状态，吸风管11能够下降，直至到达斗状套8的直径与晶圆的直径相等的位置，此时晶圆水平方向的被斗状套8定位，并且由于晶圆在斗状套8的内部下降时，为连续的，所以可适应任何一种直径的晶圆，为了减少晶圆与斗状套8之间的磨损，斗状套8的内壁上固接有橡胶垫14，橡胶垫14作为另外一个作用，还能够在水平方向上给予晶圆一个推力，进一步的保证晶圆的位置锁定；
晶圆定位完成后，第一电机1带动单向丝杆2转动，单向丝杆2带动第一螺母4进行移动，以便于带动晶圆进行送料。
最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：包括外壳(5)，所述外壳(5)的上表面中部固接有斗状套(8)，所述斗状套(8)的内部设有的吸风管(11)，所述外壳(5)的内部安装有用以带动吸风管(11)升降的升降结构，所述外壳(5)上设有用以从吸风管(11)内部抽风的吸风结构。
2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：还包括左右驱动结构，所述左右驱动结构驱动外壳(5)左右运动，所述左右驱动结构包括单向丝杆(2)，单向丝杆(2)上螺纹连接有第一螺母(4)，所述外壳(5)固接在第一螺母(4)的上表面。
3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：所述单向丝杆(2)的下方设有第一导向杆(3)，且第一导向杆(3)穿过第一螺母(4)，所述单向丝杆(2)的一端设有用以驱动单向丝杆(2)转动的第一电机(1)。
4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：所述吸风管(11)的下端固接有托盘(13)，所述升降结构包括转动安装在外壳(5)内部的双向丝杆(15)，双向丝杆(15)上对称螺纹连接有第二螺母(17)，第二螺母(17)与托盘(13)的对应侧之间铰接有调节杆(16)。
5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：所述外壳(5)的外部一侧安装有第二电机(6)，第二电机(6)驱动双向丝杆(15)转动。
6.根据权利要求5所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：所述外壳(5)的内部下方安装有第二导向杆，且第二导向杆穿过第二螺母(17)。
7.根据权利要求4所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：所述托盘(13)的前后侧与双向丝杆(15)的内部下底面之间连接有导向杆(18)，且导向杆(18)为管套式连接。
8.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：所述吸风结构包括：所述两个吸风管(11)之间连接有连接管(9)，所述外壳(5)的上表面安装有负压风机(7)，负压风机(7)与连接管(9)之间连接有连接软管(12)。
9.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：所述斗状套(8)的内壁上固接有橡胶垫(14)。
10.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：所述吸风管(11)的上端连通有吸盘(10)。
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