CN219226253U - 一种带寻边功能的晶圆取片装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于晶圆切割设备取片设备的技术领域，具体为一种带寻边功能的晶圆取片装置，机架固定连接有模组电机，机架上横向滑动连接有电动机固定板，电动机固定板上转动连接有托板连接块，托板连接板块由搬运动力装置驱动，托板连接块上固定连接有晶圆托板，晶圆托板上开设有凹槽，托板连接块上固定连接有气缸，所述的晶圆托板上滑动连接有与气缸输出端固定连接的晶圆卡板，机架上经升降装置连接有寻边支撑板，用于寻边支撑板的升降，所述的寻边支撑板上转动连接有与凹槽对应的晶圆吸盘本体，所述的晶圆吸盘本体由寻边动力装置驱动，所述的机架上固定连接有传感器固定板，所述的传感器固定板上固定连接有与晶圆配合的寻边传感器。
Description
技术领域
本实用新型属于晶圆切割设备取片装置的技术领域，具体为一种带寻边功能的晶圆取片装置。
背景技术
在芯片划切工艺之前，需要用薄膜将晶圆贴在钢环上。现有的晶圆贴膜机多为半自动贴膜，同时人工上料无法准确保证晶圆和钢环的同心度。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供了一种带寻边功能的晶圆取片装置，解决人工上料无法准确保证晶圆和钢环的同心度的技术问题。
本实用新型采取的方案为：一种带寻边功能的晶圆取片装置，包括机架，其特征在于，所述的机架固定连接有模组电机，所述的机架上横向滑动连接有电动机固定板，所述的电动机固定板上转动连接有托板连接块，所述的托板连接板块由搬运动力装置驱动，所述的托板连接块上固定连接有晶圆托板，所述的晶圆托板上开设有凹槽，所述的托板连接块上固定连接有气缸，所述的晶圆托板上滑动连接有与气缸输出端固定连接的晶圆卡板，所述的机架上经升降装置连接有寻边支撑板，用于寻边支撑板的升降，所述的寻边支撑板上转动连接有与凹槽对应的晶圆吸盘本体，所述的晶圆吸盘本体由寻边动力装置驱动，所述的机架上固定连接有传感器固定板，所述的传感器固定板上固定连接有与晶圆配合的寻边传感器。
优选的，所述的搬运动力装置包括电动机固定板上固定连接的旋转搬运电机，所述的电动机固定板上转动连接有旋转轴，所述的旋转轴与旋转搬运电机转动轴间经联轴器连接，所述的旋转轴与托板连接块间固定连接。
优选的，所述的升降装置包括机架上固定连接有与寻边支撑板配合的寻边升降气缸，所述的寻边支撑板上转动连接有与晶圆吸盘本体固定连接的吸盘连接轴，所述的吸盘连接轴一端固定连接有从动齿轮，所述的寻边支撑板上固定连接有寻边电机，所述的寻边电动机转动轴固定连接有与从动齿轮配合的主动齿轮。
本实用新型的有益效果：
一、通过驱动气缸，可以带动晶圆卡板动作，实现自动定心功能，提高了定心效率；
二、在寻边电机的作用下，驱动吸盘本体动作，在与寻边传感器的配合作用下，可以快速寻边，运输至下一道工序；
三、该装置结构简单，可完成晶圆从晶圆盒中取出，定中心，寻边功能，晶圆取片定心可由一个机械手完成，结构简单。
附图说明
图1是本实用新型的俯视图。
图2是本实用新型的晶圆寻边机构的局部视图。
图3是图2的A-A剖视图。
图4是本实用新型的晶圆取片定心机构的局部视图。
图5是图4的A-A剖视图。
图6是本实用新型的晶圆取片定心机构的立体图。
附图标记：1、机架；2、模组电机；3、电动机固定板；4、托板连接块；5、晶圆托板；6、凹槽；7、气缸；8、晶圆卡板；9、寻边支撑板；10、晶圆吸盘本体；11、传感器固定板；12、寻边传感器；13、旋转搬运电机；14、旋转轴；15、联轴器；16、吸盘连接轴；17、从动齿轮；18、寻边电机；19、主动齿轮；20、寻边升降气缸。
具体实施方式
有关本实用新型的前述及其他技术内容、特点与功效，在以下配合参考附图1-6实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。以下实施例中所提到的结构内容，均是以说明书附图为参考。
下面将参照附图描述本实用新型的各示例性的实施例。
实施例一，一种带寻边功能的晶圆取片装置，包括机架1，其特征在于，所述的机架1固定连接有模组电机2，所述的机架1上横向滑动连接有电动机固定板3，所述的电动机固定板3上转动连接有托板连接块4，所述的托板连接板块由搬运动力装置驱动，所述的托板连接块4上固定连接有晶圆托板5，所述的晶圆托板5上开设有凹槽6，所述的托板连接块4上固定连接有气缸7，所述的晶圆托板5上滑动连接有与气缸7输出端固定连接的晶圆卡板8，所述的机架1上经升降装置连接有寻边支撑板9，用于寻边支撑板9的升降，所述的寻边支撑板9上转动连接有与凹槽6对应的晶圆吸盘本体10，所述的晶圆吸盘本体10由寻边动力装置驱动，所述的机架1上固定连接有传感器固定板11，所述的传感器固定板11上固定连接有与晶圆配合的寻边传感器12。
实施例二，在实施例一的基础上，所述的搬运动力装置包括电动机固定板3上固定连接的旋转搬运电机13，所述的电动机固定板3上转动连接有旋转轴14，所述的旋转轴14与旋转搬运电机13转动轴间经联轴器15连接，所述的旋转轴14与托板连接块4间固定连接。
实施例三，在实施例二的基础上，所述的升降装置包括机架1上固定连接有与寻边支撑板9配合的寻边升降气缸20，所述的寻边支撑板9上转动连接有与晶圆吸盘本体10固定连接的吸盘连接轴16，所述的吸盘连接轴16一端固定连接有从动齿轮17，所述的寻边支撑板9上固定连接有寻边电机18，所述的寻边电动机转动轴固定连接有与从动齿轮17配合的主动齿轮19。
该实施例在使用的时候，由于，晶圆取片定心机构固定在机架1上，晶圆寻边机构固定在机架1上；晶圆取片模组固定在机架1上，模组电机2固定在晶圆取片模组上，模组电机2可驱动晶圆取片模组的移动块运动，电动机固定板3固定在晶圆取片模组的移动块上；旋转搬运电机13固定在电动机固定板3上，旋转轴14通过联轴器15和旋转搬运电机13的旋转轴14固定连接，轴承座固定在电动机固定板3上，轴承固定在轴承座内，且旋转轴14从轴承的内圈通过，旋转轴14的一端与托板连接块4固定连接，晶圆托板5固定在托板连接块4上，气缸7固定在托板连接块4上，气缸7的导杆与晶圆卡板8固定连接；寻边升降气缸7固定在机架1上，寻边支撑板9固定在寻边升降气缸7的导杆上，寻边电机18固定在寻边支撑板9上，主动齿轮19固定在寻边电机18的轴上，从动齿轮17与吸盘连接轴16固定在一起，轴承座固定在寻边支撑板9上，轴承固定在轴承座中，吸盘连接轴16与轴承内圈固定，吸盘连接轴16的一短与从动齿轮17固定，主动齿轮19与从动齿轮17啮合，晶圆吸盘与吸盘连接轴16固定连接。吸盘连接轴16与晶圆吸盘中间可通真空；因此，机械手从晶圆盒中取片时，模组电机2转动并带动晶圆取片模组的移动块移动至取片位置，晶圆托板5伸入晶圆盒中，晶圆盒下降，晶圆落在晶圆托板5的凹槽6中，模组电机2反向转动晶圆托板5将晶圆从晶圆盒中拉出，晶圆托板5移动至指定位置后，气缸7的导杆伸出，晶圆卡板8的会将晶圆卡在晶圆托板5的凹槽6中，此时晶圆的圆心与晶圆托板5的圆心重合。
晶圆取片、定心完成后，旋转搬运电机13启动，电机轴通过联轴器15、旋转轴14、托板连接块4、晶圆托板5转动，晶圆旋转至晶圆吸盘本体10的上方，此时，晶圆，晶圆托板5、晶圆吸盘本体10同心，旋转搬运电机13的电机轴停止转动，寻边升降气缸7的导杆伸出，固定在寻边升降气缸7导杆上的零件会随之上升，此时，圆吸盘本体10和晶圆贴合，晶圆寻边组件的真空阀门打开，晶圆吸盘本体10吸附晶圆，气缸7的导杆缩回，模组电机2的轴、旋转搬运电机13的轴依次转动，晶圆托板5离开晶圆寻边组件；
晶圆寻边组件的圆吸盘本体10吸附晶圆后，寻边升降气缸7的导杆缩回，固定在寻边升降气缸7导杆上的零件回到初始位置，此时，寻边电机18启动，电机轴转动，带动吸附晶圆的圆吸盘本体10转动，寻边传感器12可感应到晶圆的缺口或平边位置，寻边电机18停止转动，并将晶圆的缺口或者平边朝向指定方向。寻边完成后，晶圆自动贴膜机的机械手将晶圆取走进行下一步工序。
上面所述只是为了说明本实用新型，应该理解为本实用新型并不局限于以上实施例，符合本实用新型思想的各种变通形式均在本实用新型的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种带寻边功能的晶圆取片装置，包括机架(1)，其特征在于，所述的机架(1)固定连接有模组电机(2)，所述的机架(1)上横向滑动连接有电动机固定板(3)，所述的电动机固定板(3)上转动连接有托板连接块(4)，所述的托板连接板块由搬运动力装置驱动，所述的托板连接块(4)上固定连接有晶圆托板(5)，所述的晶圆托板(5)上开设有凹槽(6)，所述的托板连接块(4)上固定连接有气缸(7)，所述的晶圆托板(5)上滑动连接有与气缸(7)输出端固定连接的晶圆卡板(8)，所述的机架(1)上经升降装置连接有寻边支撑板(9)，用于寻边支撑板(9)的升降，所述的寻边支撑板(9)上转动连接有与凹槽(6)对应的晶圆吸盘本体(10)，所述的晶圆吸盘本体(10)由寻边动力装置驱动，所述的机架(1)上固定连接有传感器固定板(11)，所述的传感器固定板(11)上固定连接有与晶圆配合的寻边传感器(12)。
2.根据权利要求1所述的一种带寻边功能的晶圆取片装置，其特征在于，所述的搬运动力装置包括电动机固定板(3)上固定连接的旋转搬运电机(13)，所述的电动机固定板(3)上转动连接有旋转轴(14)，所述的旋转轴(14)与旋转搬运电机(13)转动轴间经联轴器(15)连接，所述的旋转轴(14)与托板连接块(4)间固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种带寻边功能的晶圆取片装置，其特征在于，所述的升降装置包括机架(1)上固定连接有与寻边支撑板(9)配合的寻边升降气缸(20)，所述的寻边支撑板(9)上转动连接有与晶圆吸盘本体(10)固定连接的吸盘连接轴(16)，所述的吸盘连接轴(16)一端固定连接有从动齿轮(17)，所述的寻边支撑板(9)上固定连接有寻边电机(18)，所述的寻边电机(18)转动轴固定连接有与从动齿轮(17)配合的主动齿轮(19)。
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| CN202222234214.8U CN219226253U (zh) | 2022-08-24 | 2022-08-24 | 一种带寻边功能的晶圆取片装置 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117497463A (zh) * | 2023-12-29 | 2024-02-02 | 深圳平晨半导体科技有限公司 | 一种固晶机用框架搬运设备 |
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2022
- 2022-08-24 CN CN202222234214.8U patent/CN219226253U/zh active Active
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| CN117497463A (zh) * | 2023-12-29 | 2024-02-02 | 深圳平晨半导体科技有限公司 | 一种固晶机用框架搬运设备 |
| CN117497463B (zh) * | 2023-12-29 | 2024-05-07 | 深圳平晨半导体科技有限公司 | 一种固晶机用框架搬运设备 |
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