JP2000228438A

JP2000228438A - 基板搬送装置

Info

Publication number: JP2000228438A
Application number: JP3041699A
Authority: JP
Inventors: Ichiro Mitsuyoshi; 一郎光▼吉▼
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1999-02-08
Filing date: 1999-02-08
Publication date: 2000-08-15
Anticipated expiration: 2019-02-08
Also published as: JP3905658B2

Abstract

(57)【要約】【課題】基板搬送装置の基板の保持部、保持部を移動さ
せる駆動部を有し駆動部の駆動力によって保持部を昇降
させたり回動させたりする。駆動部のモータにはブレー
キが設けられており、非常停止などでモータへの電力供
給が断たれた場合、保持部の位置を保持する。しかし、
保持部に作業者が挟まれて基板搬送装置を非常停止させ
た場合は上記のようにブレーキが作動して保持部はロッ
クされてしまい保持部を移動させることが困難となり、
作業者の救出が困難になる。また、ブレーキを解除する
と保持部が自由状態になって落下し、作業者に荷重がか
かり危険な場合がある。【解決手段】そこで本発明では、エアシリンダＡＳ１、
ＡＳ２で保持部を上方に付勢し、保持部の荷重とエアシ
リンダＡＳ１、ＡＳ２の伸長力とを均衡させる。こうす
ることで、モータのブレーキを解除しても保持部が落下
しない。また、容易に保持部を移動させることができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】基板の保持部が上下方向に変位す
る基板搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】基板搬送装置は基板を保持する保持部と
保持部を移動させる駆動部とを有し、駆動部の駆動力に
よって保持部を昇降させたり回動させたりする。駆動部
は例えば駆動源としてモータを有し、モータの駆動力を
ボールネジやタイミングベルトで保持部に伝達する。モ
ータにはブレーキが設けられており、モータへの電力供
給が断たれた場合、保持部の位置を保持する。こうする
ことによって、例えば事故等で基板搬送装置を非常停止
させた場合、モータへの電力供給が断たれても保持部は
自由状態にならず、不用意に落下したり回動したりする
ことが防止できる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで保持部に作業
者が挟まれて基板搬送装置を非常停止させた場合は上記
のようにブレーキが作動して保持部はロックされてしま
い保持部を移動させることが困難になる。すると作業者
の救出に困難を来す。また、ブレーキを解除すると保持
部が自由状態になり却って作業者に荷重がかかり危険な
場合がある。

【０００４】本発明の目的は基板搬送装置を非常停止さ
せても保持部を安全に移動させることである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
基板の保持部と、保持部を上下方向に変位させる駆動部
と、保持部を上方に付勢する付勢部とを備えた基板搬送
装置である。

【０００６】請求項２に係る発明は、請求項１に記載の
基板搬送装置において、前記付勢部は保持部の荷重と略
同じ力で保持部を上方に付勢する基板搬送装置である。

【０００７】請求項３に係る発明は、請求項１に記載の
基板搬送装置において、付勢部の付勢力を変化させる付
勢力可変手段を有する基板搬送装置である。

【０００８】請求項４に係る発明は、請求項３に記載の
基板搬送装置において、駆動部に作用する保持部の荷重
変化を検知する荷重検知手段と、荷重検知手段からの情
報に基づき、前記付勢力の可変手段を制御する制御手段
とを備えた基板搬送装置である。

【０００９】請求項５に係る発明は、請求項１に記載の
基板搬送装置において、付勢部は、固定部と可動部とを
有するエアシリンダを有し、前記固定部は保持部の上下
方向の変位の基準となる基準面に固定され、前記可動部
は保持部に固定され、さらに、付勢部は、可動部を上方
に付勢するエアをエアシリンダに供給するエア供給手段
と、エア供給手段からエアシリンダに供給されるエアの
圧力を所定圧力に保つ圧力調節手段とを有する基板搬送
装置である。

【００１０】請求項６に係る発明は、請求項５に記載の
基板搬送装置において、前記圧力調節手段が保つエアの
所定圧力は保持部の荷重と略同じ力で保持部を上方に付
勢する圧力である基板搬送装置である。

【００１１】請求項７に係る発明は、請求項５に記載の
基板搬送装置において、圧力可変手段が保つエアの圧力
の値を変化させる圧力可変手段を有する基板搬送装置で
ある。

【００１２】請求項８に係る発明は、請求項７に記載の
基板搬送装置において、前記保持部を略水平方向に配さ
れた軸を中心に回動自在に支持する回動支持部と、駆動
部に作用する保持部の荷重変化を検知する荷重検知手段
と、荷重検知手段からの情報に基づき前記圧力可変手段
を制御する制御手段とを備えた基板処理装置である。

【００１３】請求項９に係る発明は、請求項８に記載の
基板搬送装置において、前記制御手段は駆動部に作用す
る保持部の荷重が小さくなったときには付勢力を小さく
し、駆動部に作用する保持部の荷重が大きくなったとき
には付勢力を大きくする基板搬送装置である。

【００１４】請求項１０に係る発明は、請求項５に記載
の基板搬送装置において、前記エアシリンダはシリンダ
とシリンダ内を往復するピストンとピストンと一体的に
移動するピストンロッドとを有し、前記ピストンロッド
を固定部として基準面に固定し、前記シリンダを可動部
として保持部に固定した基板搬送装置である。

【００１５】請求項１１に係る発明は、前記エアシリン
ダに供給されるエアの圧力を所定圧力に保つ圧力調節手
段はリリーフ弁付き減圧弁である基板搬送装置である。

【００１６】

【発明の実施の形態】＜１、基板処理システムの概要＞

【００１７】図1に本発明に係る基板搬送装置を適用し
た基板処理システム１を示す。なお、便宜上、以下の各
図にはＸＹＺ軸を設定する。

【００１８】基板処理システム１は基板処理装置２、基
板搬送装置３とを有する。

【００１９】基板搬送装置３は水平移載ロボット４０、
姿勢変換機構５０、昇降走行機構６０とを有する。水平
移載ロボット４０はキャリアＣ内に収容された基板Ｗを
取り出して姿勢変換機構５０に渡す。

【００２０】姿勢変換機構５０は水平移載ロボット４０
から主面が水平状態で渡された基板Ｗを垂直状態にす
る。

【００２１】昇降走行機構６０は姿勢変換機構５０で垂
直状態になっている基板Ｗを突き上げて保持し、基板処
理装置２の方向へ走行する。

【００２２】基板処理装置２は昇降走行機構６０から基
板Ｗを受け取る搬送ロボット２１、搬送ロボット２１、
から基板Ｗを受け取るリフタ２２、薬液や純水を貯留
し、前記リフタ２２に支持されて昇降する基板Ｗに薬液
や純水を接触させて処理を行う処理部２３、処理部２３
で処理が完了した基板Ｗを乾燥させる乾燥部２４を有す
る。また、搬送ロボット２１のチャック２５の基板支持
棒２９を洗浄するチャック洗浄部も有する。

【００２３】＜２、基板搬送装置＞

【００２４】次に基板搬送装置３に含まれる水平移載ロ
ボット４０、姿勢変換機構５０、昇降走行機構６０につ
いて説明する。

【００２５】＜２−１水平移載ロボット＞

【００２６】水平移載ロボット４０はアーム基台４１上
に設けられたアーム４２、アーム４２の先端に設けられ
たハンド４３を有する。アーム４２は軸ＡＸ１、ＡＸ
２、ＡＸ３を中心に回動することによってハンド４３を
水平面内において移動可能とする。

【００２７】このような水平移載ロボット４０ではハン
ド４３をキャリアＣ内に進入させて基板Ｗをハンド４３
に載置して取り出し、さらにハンド４３を平面視で軸Ａ
Ｘ１を中心に反時計回りに約９０度回動させてＹ軸正方
向に移動させることにより、姿勢変換機構５０に基板Ｗ
を渡すことができる。なお、図1の姿勢変換機構５０は
水平移載ロボット４０から基板Ｗ（二点鎖線）が渡され
た状態が示してある。

【００２８】＜２−２姿勢変換機構＞

【００２９】姿勢変換機構５０は基台５１を有し、基台
５１上には垂直方向に起立状態の支持板５２を有する。
図2のように基台５１上にはモータＭ１が設けられ、モ
ータＭ１の駆動軸ＤＳ１（図4参照）はシャフトＳ１に
接続されている。

【００３０】図２に戻ってシャフトＳ１にはリンクＬ
１、Ｌ２、Ｌ３が接続されており、リンクＬ３にはシャ
フトＳ２が固定されている。さらにシャフトＳ２は回動
台５３にも固定されている。これにより、モータＭ１の
駆動力によって回動台５３をシャフトＳ２を軸として回
動させることができる。

【００３１】回動台５３には４本の基板ガイド５４が設
けられている。基板ガイド５４は長手方向と直交する方
向に溝が刻まれており、該溝で基板Ｗを支持する。

【００３２】このような姿勢変換機構５０では図2のよ
うに水平移載ロボット４０から渡された基板Ｗを基板ガ
イド５４で受け取り、回動台５３を回動させることによ
って図3のように基板Ｗの姿勢を水平状態から垂直状態
に変換する。

【００３３】なお、このとき基板ガイド５４はシャフト
Ｓ２を中心に回動する。この回動による運動を上下方
向、水平方向に分解すれば、基板ガイド５４は上下方向
および水平方向に変位するといえる。

【００３４】回動台５３にはエアシリンダＡＳ１が固定
されているがエアシリンダＡＳ１については後述する。

【００３５】＜２−３昇降走行機構＞

【００３６】図1のように昇降走行機構６０はＹ軸方向
に延設された２本のレールＲ、Ｒの上を走行する走行台
６１、走行台６１上に設けられた昇降部６２、昇降部６
２によって昇降する昇降台６３、昇降台６３上に固定さ
れたプッシャポスト６４、プッシャポスト６４の頂部に
固定されたプッシャガイド６５を有する。

【００３７】図2のように昇降部６２はカバー７９内に
直動ガイド６６、６６を有し、直動ガイド６６、６６に
よって、昇降台６３が上下方向に移動可能に支持されて
いる。また、昇降台６３はボールネジ６７と螺合してお
り、ボールネジ６７の回転によって昇降する。ボールネ
ジ６７はベルト６８を介してモータＭ２の駆動軸ＤＳ２
（図４参照）に接続されており、該モータＭ２の駆動力
によって回転する。

【００３８】以上のような構成により、昇降走行機構６
０では走行台６１を移動させて図3のように姿勢変換機
構５０で垂直状態に姿勢が変換された基板Ｗの下方にプ
ッシャガイド６５を配する。そして、昇降部６２を駆動
させてプッシャガイド６５を上昇させることにより、プ
ッシャガイド６５上に基板Ｗ支持する。さらに、走行台
６１をＹ軸正方向に移動させて搬送ロボット２１に基板
Wを渡す。

【００３９】なお、昇降走行機構６０にはエアシリンダ
ＡＳ２が設けられているが、これについては後述する。

【００４０】＜３、付勢部＞

【００４１】次に姿勢変換機構５０、昇降走行機構６０
に設けられた付勢部について説明する。

【００４２】＜３−１姿勢変換機構の付勢部＞

【００４３】図２のように姿勢変換機構５０にはエアシ
リンダＡＳ１が設けられている。エアシリンダＡＳ１は
筒状のシリンダ５５内でピストン５６が往復する形式の
もので、ピストン５６にはピストンロッド５７が固定さ
れている。また、シリンダ５５内と連通しており、エア
が通過する上部ポート５８と下部ポート５９とを有す
る。

【００４４】そして、シリンダ５５は回動台５３の下面
にＸ軸と平行な軸ＡＸ５中心に回動自在な状態で固定さ
れ、ピストンロッド５７は基板処理システム１のフレー
ム１０にＸ軸と平行な軸ＡＸ６中心に回動自在な状態で
固定されている。このため、エアシリンダＡＳ１は図
2、図３に示すように回動台５３の回動に伴って伸縮す
る。

【００４５】次にエアシリンダＡＳ１の制御に関する構
造について説明する。

【００４６】図４のようにエアシリンダＡＳ１の上部ポ
ート５８にはポンプＰのエアがレギュレータＲ１を介し
て供給されている。一方、下部ポート５９は開放されて
いる。

【００４７】レギュレータＲ１はポンプＰからのエアが
供給される入力側、上部ポート５８にエアを供給する出
力側の２つのポートを有し、出力側のエア圧を設定され
た所定圧力にするリリーフ付レギュレータである。な
お、リリーフ付なので出力側のエア圧が前記所定圧力以
上になったときはエアを逃がして出力側のエア圧を所定
圧力に一定化する構造となっている。

【００４８】また、レギュレータＲ１において設定され
る所定圧力は制御手段９０からの電気信号によって制御
される。

【００４９】制御手段９０には入力手段９１が接続さ
れ、該入力手段９１から各種情報が制御手段９０に入力
される。例えば、レギュレータＲ１の所定圧力値が入力
される。また、制御手段は図示せぬ他の制御装置とも接
続されており、姿勢変換機構５０が基板を保持している
か否か、また、保持している場合は何枚の基板が基板ガ
イド５４のどの位置に保持されているかなどの情報を得
ている。

【００５０】さらに制御手段９０にはモータＭ１のブレ
ーキ９２、モータＭ１の回転角に関する情報を出力する
エンコーダ９３も接続されている。

【００５１】ブレーキ９２はモータＭ１が稼動している
ときは解除状態になっており、モータＭ１への電力供給
が遮断された場合に作動し、駆動軸ＤＳ１の位置を保持
する。そして、制御手段９０からの解除指令で再び解除
状態になる。

【００５２】なお、以上の構成は姿勢変換機構５０の緊
急停止に関係する構成とは独立して構成されているので
姿勢変換機構５０が緊急停止状態になっても動作を行う
ことができる。

【００５３】次にエアシリンダＡＳ１の制御について説
明する。

【００５４】姿勢変更機構５０が稼働中は制御手段９０
はエンコーダ９３からの情報に基づいて回動台５３の姿
勢を認識する。回動台５３はシャフトＳ２を軸に回動す
るのでエアシリンダＡＳ１に作用する回動台５３の荷重
は変化する。具体的には図２のように回動台５３が水平
状態にあるとき、前記荷重は最大で、図３のように垂直
状態にあるときは前記荷重は最小である。制御手段９０
は回動台５３の姿勢および、他の制御装置から得た回動
台５３上の基板Ｗの有無、基板ガイド５４のどこに基板
Ｗが存在するかについての情報を基にエアシリンダＡＳ
１に作用する荷重の変化を演算する。そして、演算結果
に伴ってレギュレータＲ１に設定する所定圧力を連続的
に変化させる。

【００５５】具体的にはエアシリンダＡＳ１に作用する
荷重と常に同じ力でエアシリンダＡＳ１が伸長するよう
に所定圧力を変化させる。このため、エアシリンダＡＳ
１に作用する荷重とエアシリンダＡＳ１が伸長する力と
は常に均衡状態にある。

【００５６】よって、図２のように回動台５３が水平状
態にあるとき所定圧力は最大で、回動台５３が垂直状態
にあるとき所定圧力は最小である。

【００５７】このため、モータＭ１が回動台５３を回動
させるために発生させなければならない力は常に一定で
よいので、モータＭ１にかかる負荷の変化に伴ってモー
タＭ１が発生させる力を連続的に変化させる必要はなく
モータＭ１の制御が容易になる。

【００５８】また、エアシリンダＡＳ１に作用する荷重
とエアシリンダＡＳ１が伸長する力とを常に均衡状態に
しているので、僅かの力で回動台５３を回動させること
ができる。このため、モータＭ１についても小さなトル
クを発生させるもので十分である。従って、後述のよう
に安全を確保できるとともに装置コストを下げることが
できる。

【００５９】次にモータＭ１への電力供給が遮断された
場合について説明する。

【００６０】事故等で姿勢変換機構５０が緊急停止状態
になったとき、モータＭ１への電力供給が遮断される。
この場合、ブレーキ９２が作動して回動台５３はその位
置を保持される。そして、回動台５３を移動させたいと
きは入力手段９１からブレーキ解除命令を入力し、制御
手段９０によって、ブレーキ９２を解除する。このと
き、エアシリンダＡＳ１は回動台５３がエアシリンダＡ
Ｓ１に課している荷重と同じ力で回動台５３を上方に付
勢しているので回動台５３がブレーキ９２に保持されて
いた位置から自重で落下することは防止される。このた
め、仮に、回動台５３の下方に作業者が挟まれていても
回動台５３の荷重が作業者にかかることは無いので作業
者の安全が確保される。

【００６１】次に、回動台５３を回動させたいときは手
動で回動台５３を適宜回動させる。このとき、回動台５
３がエアシリンダＡＳ１に課している荷重とエアシリン
ダＡＳ１が伸長する力とは均衡しているので容易に回動
台５３を回動させることができる。

【００６２】また、入力手段９１を操作してレギュレー
タＲ１の所定圧力値を変化させればエアシリンダＡＳ１
が伸長または収縮するので必ずしも手動で回動台５３を
回動させる必要はない。具体的には所定圧力を大きくす
ればエアシリンダＡＳ１が伸長して回動台５３は図２に
おいてシャフトＳ２を軸に反時計回りに回動し、逆に所
定圧力を小さくすればエアシリンダＡＳ１が収縮して回
動台５３は同図２においてシャフトＳ２を軸に時計回り
に回動する。

【００６３】＜３−３昇降走行機構の付勢部＞

【００６４】図２のように昇降走行機構６０にはエアシ
リンダＡＳ２が設けられている。エアシリンダＡＳ２は
シリンダ７０内で往復するピストン７１と該ピストン７
１と磁気的に結合されピストン７１と一体となって往復
するスライダ７２とが設けられている。また、エアが通
過する上部ポート７３と下部ポート７４とを有する。

【００６５】そして、シリンダ７０は走行台６１の上面
に固定され、スライダ７２は昇降台６３に固定されてい
る。このため、スライダ７２は昇降台６３の昇降にとも
なって上下する。

【００６６】次にエアシリンダＡＳ２の制御に関する構
造について説明する。

【００６７】図４のようにエアシリンダＡＳ２の下部ポ
ート７４にはポンプＰのエアがレギュレータＲ２を介し
て供給されている。なお、上部ポート７３は開放されて
いる。レギュレータＲ２はレギュレータＲ１と同様、リ
リーフ付レギュレータである。ただし、設定される出力
側の所定圧力は手動でハンドル９５を回転させて設定す
る。ここでは一例としてプッシャガイド６５が最大枚数
の基板Ｗが支持した状態で昇降台６３がエアシリンダＡ
Ｓ２にかける荷重と等しい力でスライダ７２が上方に移
動するように所定圧力を設定している。なお、エアシリ
ンダＡＳ２に作用する荷重はプッシャガイド６５に支持
されている基板Ｗの枚数によって多少変化するが、エア
シリンダＡＳ１に作用する荷重ほどは変化しないので制
御手段９０による所定圧力の制御は行っていない。

【００６８】一方、制御手段９０にはモータＭ２のブレ
ーキ９４が接続されている。

【００６９】ブレーキ９４はモータＭ２が稼動している
ときは解除状態になっており、モータＭ２への電力供給
が遮断された場合に作動し、駆動軸ＤＳ２の位置を保持
する。そして、制御手段９０からの解除指令で再び解除
状態になる。

【００７０】なお、以上の構成は昇降走行機構６０の緊
急停止に関係する構成とは独立して構成されているので
昇降走行機構６０が緊急停止状態になっても動作を行う
ことができる。

【００７１】次にエアシリンダＡＳ２の制御について説
明する。

【００７２】事故等で昇降走行機構６０が緊急停止状態
になったとき、モータＭ２への電力供給は遮断さる。こ
の場合はブレーキ９４が作動して昇降台６３は位置を保
持される。そして、昇降台６３を移動させたいときは入
力手段９１からブレーキ解除命令を入力し、制御手段９
０によって、ブレーキ９４を解除する。このとき、エア
シリンダＡＳ２は昇降台６３がエアシリンダＡＳ２に課
している荷重と略同じ力で昇降台６３を上方に付勢して
いるので昇降台６３がブレーキ９４で保持されていた位
置から自重で落下することは防止される。このため、仮
に、昇降台６３の下方に作業者が挟まれていても昇降台
６３の荷重が作業者にかかることは無いので作業者の安
全が確保される。

【００７３】次に、昇降台６３を昇降させたいときは手
動で昇降台６３を適宜昇降させる。前記のように、昇降
台６３がエアシリンダＡＳ２に課している荷重とエアシ
リンダＡＳ２が伸長する力とはほぼ均衡しているので容
易に昇降台６３を昇降させることができる。

【００７４】また、手動でハンドル９５を回転させてレ
ギュレータＲ２の出力側の所定圧力を変化させればスラ
イダ７２が上昇または降下するので必ずしも手動で昇降
台６３を昇降させる必要はない。具体的には所定圧力を
大きくすればスライダ７２が上昇して昇降台６３は上昇
し、逆に所定圧力を小さくすればスライダ７２が降下し
て昇降台６３も降下する。

【００７５】以上説明した実施形態の効果について述べ
る。

【００７６】上下方向に変位する回動台５３や昇降台６
３をエアシリンダＡＳ１やＡＳ２が上方に付勢するので
モータＭ１やＭ２の駆動力が０になっても回動台５３や
昇降台６３が自由状態にならず、回動台５３や昇降台６
３が不用意に落下することを防止でき、安全に回動台５
３や昇降台６３を移動させることができる。

【００７７】また、エアシリンダＡＳ１やＡＳ２の回動
台５３や昇降台６３への付勢力を回動台５３や昇降台６
３の荷重と略同じにしているのでモータＭ１、Ｍ２から
回動台５３や昇降台６３に伝達される駆動力が０になっ
た場合でも回動台５３や昇降台６３を容易に移動させる
ことができる。

【００７８】また、レギュレータＲ１、Ｒ２で付勢力を
変化させることができるのでモータＭ１、Ｍ２から回動
台５３や昇降台６３に伝達される駆動力が０になった場
合でも付勢力を変化させることによって回動台５３や昇
降台６３を容易に移動させることができる。

【００７９】またモータＭ１に作用する回動台５３の荷
重の変化に応じて回動台５３への付勢力を変化させるの
でモータＭ１に作用する回動台５３の荷重を制御でき、
モータＭ１の制御を容易にすることができる。

【００８０】また、エアシリンダＡＳ１やＡＳ２で回動
台５３や昇降台６３を付勢するので汚染物質の発生を抑
制できる。例えば、回動台５３や昇降台６３の上方に滑
車を設けてロープ状部材を掛けまわし、回動台５３や昇
降台６３の荷重に応じた重りで回動台５３や昇降台６３
を上方に付勢する場合は滑車の回転や滑車とロープ状部
材との摺動によって発生する汚染物質が広範囲に拡散
し、基板Ｗに付着する恐れがある。また、エアシリンダ
は流体を封入したダンパーに比べて伸縮速度を速く設定
できるので回動台５３や昇降台６３の変位の速度を確保
できる。

【００８１】また制御手段９０が、モータＭ１に作用す
る回動台５３の荷重が小さくなったときにはエアシリン
ダＡＳ１の付勢力を小さくし、モータＭ１に作用する回
動台５３の荷重が大きくなったときにはエアシリンダＡ
Ｓ１の付勢力を大きくするのでモータＭ１に作用する回
動台５３や昇降台６３の荷重を一定にでき、モータＭ１
の制御を容易にすることができる。

【００８２】また、エアシリンダＡＳ１のピストンロッ
ド５７がフレーム１０に固定され、シリンダ５５が回動
台５３に固定されているのでピストンロッド５７の方が
シリンダ５５よりも下方に位置する。このためシリンダ
５５とピストン５６との摺動でピストンロッド５７に汚
染物質が付着していてもピストンロッド５７の方が下方
に位置しているので汚染物質が拡散することを抑制でき
る。また、エアを排出する下部ポート５９も下方に配す
ることができるので汚染物質が拡散することを抑制でき
る。

【００８３】また、リリーフ弁付きレギュレータでエア
シリンダＡＳ１、ＡＳ２に供給されるエアの圧力を所定
圧力に保つので容易に前記所定圧力に保つことができ
る。

【００８４】

【発明の効果】請求項１に記載の基板搬送装置によれ
ば、上下方向に変位する保持部を付勢部が上方に付勢す
るので駆動部から保持部に伝達される駆動力が０になっ
ても保持部が自由状態にならず、保持部が不用意に落下
することを防止でき、安全に保持部を移動させることが
できる。

【００８５】請求項２に記載の基板搬送装置によれば、
保持部への付勢力を保持部の荷重と略同じにしているの
で駆動部から保持部に伝達される駆動力が０になった場
合でも保持部を容易に移動させることができる。

【００８６】請求項３に記載の基板搬送装置によれば付
勢力可変手段で付勢力を変化させることができるので駆
動部から保持部に伝達される駆動力が０になった場合で
も付勢力を変化させることによって保持部を容易に移動
させることができる。

【００８７】請求項４に記載の基板搬送装置によれば駆
動部に作用する保持部の荷重の変化に応じて保持部への
付勢力を変化させるので駆動部に作用する保持部の荷重
を制御でき、駆動部の制御を容易にすることができる。

【００８８】請求項５に記載の基板搬送装置によればエ
アシリンダで保持部を付勢するので汚染物質の発生を抑
制し、保持部の変位の速度を確保できる。

【００８９】請求項６に記載の基板搬送装置によれば、
保持部への付勢力を保持部の荷重と略同じにしているの
で駆動部から保持部に伝達される駆動力が０になった場
合でも保持部を容易に移動させることができる。

【００９０】請求項７に記載の基板搬送装置によれば圧
力可変手段でエアシリンダの付勢力を変化させることが
できるので駆動部から保持部に伝達される駆動力が０に
なった場合でも圧力可変手段で付勢力を変化させること
によって保持部を容易に移動させることができる。

【００９１】請求項８に記載の基板搬送装置によれば駆
動部に作用する保持部の荷重の変化に応じて保持部への
付勢力を変化させるので駆動部に作用する保持部の荷重
を制御でき、駆動部の制御を容易にすることができる。

【００９２】請求項９に記載の基板搬送装置によれば制
御手段が、駆動部に作用する保持部の荷重が小さくなっ
たときには付勢力を小さくし、駆動部に作用する保持部
の荷重が大きくなったときには付勢力を大きくするので
駆動部に作用する保持部の荷重を一定にでき、駆動部の
制御を容易にすることができる。

【００９３】請求項１０に記載の基板搬送装置によれば
ピストンロッドが基準面に固定されてシリンダが保持部
に固定されているのでピストンロッドの方がシリンダよ
りも下方に位置する。このためシリンダとピストンとの
摺動でピストンロッドに汚染物質が付着してもピストン
ロッドの方が下方に位置しているので汚染物質が散らば
ることを抑制できる。

【００９４】請求項１１に記載の基板搬送装置によれば
リリーフ弁付き減圧弁でエアシリンダに供給されるエア
の圧力を所定圧力に保つので容易に前記所定圧力に保つ
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の基板搬送装置を適用した基板処理シス
テムの構成を示す図である。

【図２】姿勢変換機構、昇降走行機構を示し、姿勢変換
機構の回動台上の基板が水平である状態を示す図であ
る。

【図３】姿勢変換機構、昇降走行機構を示し、姿勢変換
機構の回動台上の基板が垂直である状態を示す図であ
る。

【図４】制御構造に関する図である。

【符号の説明】

３基板搬送装置５０姿勢変換機構５３回動台５４基板ガイド５５シリンダ５６ピストン５７ピストンロッド６０昇降走行機構６３昇降台６５プッシャガイド９０制御手段ＡＳ１エアシリンダＡＳ２エアシリンダＭ１モータＭ２モータＲ１レギュレータＲ２レギュレータＳ１軸Ｓ２軸Ｗ基板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板の保持部と、保持部を上下方向に変位させる駆動部と、保持部を上方に付勢する付勢部とを備えた基板搬送装
置。
【請求項２】請求項１に記載の基板搬送装置において、前記付勢部は保持部の荷重と略同じ力で保持部を上方に
付勢する基板搬送装置。
【請求項３】請求項１に記載の基板搬送装置において、付勢部の付勢力を変化させる付勢力可変手段を有する基
板搬送装置。
【請求項４】請求項３に記載の基板搬送装置において、駆動部に作用する保持部の荷重変化を検知する荷重検知
手段と、荷重検知手段からの情報に基づき、前記付勢力の可変手
段を制御する制御手段とを備えた基板搬送装置。
【請求項５】請求項１に記載の基板搬送装置において、付勢部は、固定部と可動部とを有するエアシリンダを有し、前記固定部は保持部の上下方向の変位の基準となる基準
面に固定され、前記可動部は保持部に固定され、さらに、付勢部は、可動部を上方に付勢するエアをエアシリンダに供給する
エア供給手段と、エア供給手段からエアシリンダに供給されるエアの圧力
を所定圧力に保つ圧力調節手段とを有する基板搬送装
置。
【請求項６】請求項５に記載の基板搬送装置において、前記圧力調節手段が保つエアの所定圧力は保持部の荷重
と略同じ力で保持部を上方に付勢する圧力である基板搬
送装置。（効果）
【請求項７】請求項５に記載の基板搬送装置において、圧力可変手段が保つエアの圧力の値を変化させる圧力可
変手段を有する基板搬送装置。
【請求項８】請求項７に記載の基板搬送装置において、前記保持部を略水平方向に配された軸を中心に回動自在
に支持する回動支持部と、駆動部に作用する保持部の荷重変化を検知する荷重検知
手段と、荷重検知手段からの情報に基づき前記圧力可変手段を制
御する制御手段とを備えた基板処理装置。
【請求項９】請求項８に記載の基板搬送装置において、前記制御手段は駆動部に作用する保持部の荷重が小さく
なったときには付勢力を小さくし、駆動部に作用する保
持部の荷重が大きくなったときには付勢力を大きくする
基板搬送装置。
【請求項１０】請求項５に記載の基板搬送装置におい
て、前記エアシリンダはシリンダとシリンダ内を往復するピ
ストンとピストンと一体的に移動するピストンロッドと
を有し、前記ピストンロッドを固定部として基準面に固定し、前記シリンダを可動部として保持部に固定した基板搬送
装置。
【請求項１１】前記エアシリンダに供給されるエアの圧
力を所定圧力に保つ圧力調節手段はリリーフ弁付き減圧
弁である基板搬送装置。