JP3905658B2 - 基板搬送装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】
基板を支持する基板支持部が設けられた回動台が上下方向に変位する基板搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
基板搬送装置は基板を保持する保持部と保持部を移動させる駆動部とを有し、駆動部の駆動力によって保持部を昇降させたり回動させたりする。駆動部は例えば駆動源としてモータを有し、モータの駆動力をボールネジやタイミングベルトで保持部に伝達する。モータにはブレーキが設けられており、モータへの電力供給が断たれた場合、保持部の位置を保持する。こうすることによって、例えば事故等で基板搬送装置を非常停止させた場合、モータへの電力供給が断たれても保持部は自由状態にならず、不用意に落下したり回動したりすることが防止できる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで保持部に作業者が挟まれて基板搬送装置を非常停止させた場合は上記のようにブレーキが作動して保持部はロックされてしまい保持部を移動させることが困難になる。すると作業者の救出に困難を来す。また、ブレーキを解除すると保持部が自由状態になり却って作業者に荷重がかかり危険な場合がある。
【０００４】
本発明の目的は基板搬送装置を非常停止させても回動台を安全に移動させることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、基台と、前記基台に設けられたモータと、前記モータの駆動軸に接続された第１シャフトと、前記基台に対して回動可能な回動台と、前記回動台に固定されている第２シャフトと、前記第１シャフトと前記第２シャフトとに接続され、前記モータの駆動力を前記回動台に伝えるリンクと、前記回動台に設けられており、基板を支持しつつ、前記回動台の回動にともなって基板の姿勢を水平状態と垂直状態との間で変換する基板支持部と、基準面となるフレーム側および前記回動台側のそれぞれに回動自在に固定されており、前記回動台の回動にともなって伸縮することにより、前記回動台を付勢するエアシリンダと、前記回動台の姿勢の変換に基づいて前記エアシリンダに作用する荷重の変化を演算するとともに、演算結果にともなって前記エアシリンダを伸縮させる制御手段と、を備えた基板搬送装置である。
【０００６】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の基板搬送装置において、前記エアシリンダは、前記回動台の荷重と略同じ力で前記回動台を上方に付勢する基板搬送装置である。
【０００７】
請求項３に係る発明は、請求項１または請求項２に記載の基板搬送装置において、前記エアシリンダの付勢力を変化させる付勢力可変手段、を有する基板搬送装置である。
【０００８】
【０００９】
【００１０】
【００１１】
【００１２】
【００１３】
請求項４に係る発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板搬送装置において、前記制御手段は、前記モータに作用する前記回動台の荷重が小さくなったときには付勢力を小さくし、前記モータに作用する前記回動台の荷重が大きくなったときには付勢力を大きくする基板搬送装置である。
【００１４】
請求項５に係る発明は、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の基板搬送装置において、前記エアシリンダは、シリンダと、シリンダ内を往復するピストンと、ピストンと一体的に移動するピストンロッドと、を有し、前記ピストンロッドを固定部として前記基準面に固定し、前記シリンダを可動部として前記回動台に固定した基板搬送装置である。
【００１５】
【００１６】
【発明の実施の形態】
＜１、基板処理システムの概要＞
【００１７】
図1に本発明に係る基板搬送装置を適用した基板処理システム１を示す。なお、便宜上、以下の各図にはＸＹＺ軸を設定する。
【００１８】
基板処理システム１は基板処理装置２、基板搬送装置３とを有する。
【００１９】
基板搬送装置３は水平移載ロボット４０、姿勢変換機構５０、昇降走行機構６０とを有する。水平移載ロボット４０はキャリアＣ内に収容された基板Ｗを取り出して姿勢変換機構５０に渡す。
【００２０】
姿勢変換機構５０は水平移載ロボット４０から主面が水平状態で渡された基板Ｗを垂直状態にする。
【００２１】
昇降走行機構６０は姿勢変換機構５０で垂直状態になっている基板Ｗを突き上げて保持し、基板処理装置２の方向へ走行する。
【００２２】
基板処理装置２は昇降走行機構６０から基板Ｗを受け取る搬送ロボット２１、搬送ロボット２１、から基板Ｗを受け取るリフタ２２、薬液や純水を貯留し、前記リフタ２２に支持されて昇降する基板Ｗに薬液や純水を接触させて処理を行う処理部２３、処理部２３で処理が完了した基板Ｗを乾燥させる乾燥部２４を有する。また、搬送ロボット２１のチャック２５の基板支持棒２９を洗浄するチャック洗浄部も有する。
【００２３】
＜２、基板搬送装置＞
【００２４】
次に基板搬送装置３に含まれる水平移載ロボット４０、姿勢変換機構５０、昇降走行機構６０について説明する。
【００２５】
＜２−１水平移載ロボット＞
【００２６】
水平移載ロボット４０はアーム基台４１上に設けられたアーム４２、アーム４２の先端に設けられたハンド４３を有する。アーム４２は軸ＡＸ１、ＡＸ２、ＡＸ３を中心に回動することによってハンド４３を水平面内において移動可能とする。
【００２７】
このような水平移載ロボット４０ではハンド４３をキャリアＣ内に進入させて基板Ｗをハンド４３に載置して取り出し、さらにハンド４３を平面視で軸ＡＸ１を中心に反時計回りに約９０度回動させてＹ軸正方向に移動させることにより、姿勢変換機構５０に基板Ｗを渡すことができる。なお、図1の姿勢変換機構５０は水平移載ロボット４０から基板Ｗ（二点鎖線）が渡された状態が示してある。
【００２８】
＜２−２姿勢変換機構＞
【００２９】
姿勢変換機構５０は基台５１を有し、基台５１上には垂直方向に起立状態の支持板５２を有する。図2のように基台５１上にはモータＭ１が設けられ、モータＭ１の駆動軸ＤＳ１（図 4 参照）はシャフトＳ１に接続されている。
【００３０】
図２に戻ってシャフトＳ１にはリンクＬ１、Ｌ２、Ｌ３が接続されており、リンクＬ３にはシャフトＳ２が固定されている。さらにシャフトＳ２は回動台５３にも固定されている。これにより、モータＭ１の駆動力によって回動台５３をシャフトＳ２を軸として回動させることができる。
【００３１】
回動台５３には４本の基板ガイド５４が設けられている。基板ガイド５４は長手方向と直交する方向に溝が刻まれており、該溝で基板Ｗを支持する。
【００３２】
このような姿勢変換機構５０では図2のように水平移載ロボット４０から渡された基板Ｗを基板ガイド５４で受け取り、回動台５３を回動させることによって図3のように基板Ｗの姿勢を水平状態から垂直状態に変換する。
【００３３】
なお、このとき基板ガイド５４はシャフトＳ２を中心に回動する。この回動による運動を上下方向、水平方向に分解すれば、基板ガイド５４は上下方向および水平方向に変位するといえる。
【００３４】
回動台５３にはエアシリンダＡＳ１が固定されているがエアシリンダＡＳ１については後述する。
【００３５】
＜２−３昇降走行機構＞
【００３６】
図1のように昇降走行機構６０はＹ軸方向に延設された２本のレールＲ、Ｒの上を走行する走行台６１、走行台６１上に設けられた昇降部６２、昇降部６２によって昇降する昇降台６３、昇降台６３上に固定されたプッシャポスト６４、プッシャポスト６４の頂部に固定されたプッシャガイド６５を有する。
【００３７】
図2のように昇降部６２はカバー７９内に直動ガイド６６、６６を有し、直動ガイド６６、６６によって、昇降台６３が上下方向に移動可能に支持されている。また、昇降台６３はボールネジ６７と螺合しており、ボールネジ６７の回転によって昇降する。ボールネジ６７はベルト６８を介してモータＭ２の駆動軸ＤＳ２（図４参照）に接続されており、該モータＭ２の駆動力によって回転する。
【００３８】
以上のような構成により、昇降走行機構６０では走行台６１を移動させて図3のように姿勢変換機構５０で垂直状態に姿勢が変換された基板Ｗの下方にプッシャガイド６５を配する。そして、昇降部６２を駆動させてプッシャガイド６５を上昇させることにより、プッシャガイド６５上に基板Ｗ支持する。さらに、走行台６１をＹ軸正方向に移動させて搬送ロボット２１に基板Wを渡す。
【００３９】
なお、昇降走行機構６０にはエアシリンダＡＳ２が設けられているが、これについては後述する。
【００４０】
＜３、付勢部＞
【００４１】
次に姿勢変換機構５０、昇降走行機構６０に設けられた付勢部について説明する。
【００４２】
＜３−１姿勢変換機構の付勢部＞
【００４３】
図２のように姿勢変換機構５０にはエアシリンダＡＳ１が設けられている。エアシリンダＡＳ１は筒状のシリンダ５５内でピストン５６が往復する形式のもので、ピストン５６にはピストンロッド５７が固定されている。また、シリンダ５５内と連通しており、エアが通過する上部ポート５８と下部ポート５９とを有する。
【００４４】
そして、シリンダ５５は回動台５３の下面にＸ軸と平行な軸ＡＸ５中心に回動自在な状態で固定され、ピストンロッド５７は基板処理システム１のフレーム１０にＸ軸と平行な軸ＡＸ６中心に回動自在な状態で固定されている。このため、エアシリンダＡＳ１は図2、図３に示すように回動台５３の回動に伴って伸縮する。
【００４５】
次にエアシリンダＡＳ１の制御に関する構造について説明する。
【００４６】
図４のようにエアシリンダＡＳ１の上部ポート５８にはポンプＰのエアがレギュレータＲ１を介して供給されている。一方、下部ポート５９は開放されている。
【００４７】
レギュレータＲ１はポンプＰからのエアが供給される入力側、上部ポート５８にエアを供給する出力側の２つのポートを有し、出力側のエア圧を設定された所定圧力にするリリーフ付レギュレータである。なお、リリーフ付なので出力側のエア圧が前記所定圧力以上になったときはエアを逃がして出力側のエア圧を所定圧力に一定化する構造となっている。
【００４８】
また、レギュレータＲ１において設定される所定圧力は制御手段９０からの電気信号によって制御される。
【００４９】
制御手段９０には入力手段９１が接続され、該入力手段９１から各種情報が制御手段９０に入力される。例えば、レギュレータＲ１の所定圧力値が入力される。また、制御手段は図示せぬ他の制御装置とも接続されており、姿勢変換機構５０が基板を保持しているか否か、また、保持している場合は何枚の基板が基板ガイド５４のどの位置に保持されているかなどの情報を得ている。
【００５０】
さらに制御手段９０にはモータＭ１のブレーキ９２、モータＭ１の回転角に関する情報を出力するエンコーダ９３も接続されている。
【００５１】
ブレーキ９２はモータＭ１が稼動しているときは解除状態になっており、モータＭ１への電力供給が遮断された場合に作動し、駆動軸ＤＳ１の位置を保持する。そして、制御手段９０からの解除指令で再び解除状態になる。
【００５２】
なお、以上の構成は姿勢変換機構５０の緊急停止に関係する構成とは独立して構成されているので姿勢変換機構５０が緊急停止状態になっても動作を行うことができる。
【００５３】
次にエアシリンダＡＳ１の制御について説明する。
【００５４】
姿勢変更機構５０が稼働中は制御手段９０はエンコーダ９３からの情報に基づいて回動台５３の姿勢を認識する。回動台５３はシャフトＳ２を軸に回動するのでエアシリンダＡＳ１に作用する回動台５３の荷重は変化する。具体的には図２のように回動台５３が水平状態にあるとき、前記荷重は最大で、図３のように垂直状態にあるときは前記荷重は最小である。制御手段９０は回動台５３の姿勢および、他の制御装置から得た回動台５３上の基板Ｗの有無、基板ガイド５４のどこに基板Ｗが存在するかについての情報を基にエアシリンダＡＳ１に作用する荷重の変化を演算する。そして、演算結果に伴ってレギュレータＲ１に設定する所定圧力を連続的に変化させる。
【００５５】
具体的にはエアシリンダＡＳ１に作用する荷重と常に同じ力でエアシリンダＡＳ１が伸長するように所定圧力を変化させる。このため、エアシリンダＡＳ１に作用する荷重とエアシリンダＡＳ１が伸長する力とは常に均衡状態にある。
【００５６】
よって、図２のように回動台５３が水平状態にあるとき所定圧力は最大で、回動台５３が垂直状態にあるとき所定圧力は最小である。
【００５７】
このため、モータＭ１が回動台５３を回動させるために発生させなければならない力は常に一定でよいので、モータＭ１にかかる負荷の変化に伴ってモータＭ１が発生させる力を連続的に変化させる必要はなくモータＭ１の制御が容易になる。
【００５８】
また、エアシリンダＡＳ１に作用する荷重とエアシリンダＡＳ１が伸長する力とを常に均衡状態にしているので、僅かの力で回動台５３を回動させることができる。このため、モータＭ１についても小さなトルクを発生させるもので十分である。従って、後述のように安全を確保できるとともに装置コストを下げることができる。
【００５９】
次にモータＭ１への電力供給が遮断された場合について説明する。
【００６０】
事故等で姿勢変換機構５０が緊急停止状態になったとき、モータＭ１への電力供給が遮断される。この場合、ブレーキ９２が作動して回動台５３はその位置を保持される。そして、回動台５３を移動させたいときは入力手段９１からブレーキ解除命令を入力し、制御手段９０によって、ブレーキ９２を解除する。このとき、エアシリンダＡＳ１は回動台５３がエアシリンダＡＳ１に課している荷重と同じ力で回動台５３を上方に付勢しているので回動台５３がブレーキ９２に保持されていた位置から自重で落下することは防止される。このため、仮に、回動台５３の下方に作業者が挟まれていても回動台５３の荷重が作業者にかかることは無いので作業者の安全が確保される。
【００６１】
次に、回動台５３を回動させたいときは手動で回動台５３を適宜回動させる。このとき、回動台５３がエアシリンダＡＳ１に課している荷重とエアシリンダＡＳ１が伸長する力とは均衡しているので容易に回動台５３を回動させることができる。
【００６２】
また、入力手段９１を操作してレギュレータＲ１の所定圧力値を変化させればエアシリンダＡＳ１が伸長または収縮するので必ずしも手動で回動台５３を回動させる必要はない。具体的には所定圧力を大きくすればエアシリンダＡＳ１が伸長して回動台５３は図２においてシャフトＳ２を軸に反時計回りに回動し、逆に所定圧力を小さくすればエアシリンダＡＳ１が収縮して回動台５３は同図２においてシャフトＳ２を軸に時計回りに回動する。
【００６３】
＜３−３昇降走行機構の付勢部＞
【００６４】
図２のように昇降走行機構６０にはエアシリンダＡＳ２が設けられている。エアシリンダＡＳ２はシリンダ７０内で往復するピストン７１と該ピストン７１と磁気的に結合されピストン７１と一体となって往復するスライダ７２とが設けられている。また、エアが通過する上部ポート７３と下部ポート７４とを有する。
【００６５】
そして、シリンダ７０は走行台６１の上面に固定され、スライダ７２は昇降台６３に固定されている。このため、スライダ７２は昇降台６３の昇降にともなって上下する。
【００６６】
次にエアシリンダＡＳ２の制御に関する構造について説明する。
【００６７】
図４のようにエアシリンダＡＳ２の下部ポート７４にはポンプＰのエアがレギュレータＲ２を介して供給されている。なお、上部ポート７３は開放されている。レギュレータＲ２はレギュレータＲ１と同様、リリーフ付レギュレータである。ただし、設定される出力側の所定圧力は手動でハンドル９５を回転させて設定する。ここでは一例としてプッシャガイド６５が最大枚数の基板Ｗが支持した状態で昇降台６３がエアシリンダＡＳ２にかける荷重と等しい力でスライダ７２が上方に移動するように所定圧力を設定している。なお、エアシリンダＡＳ２に作用する荷重はプッシャガイド６５に支持されている基板Ｗの枚数によって多少変化するが、エアシリンダＡＳ１に作用する荷重ほどは変化しないので制御手段９０による所定圧力の制御は行っていない。
【００６８】
一方、制御手段９０にはモータＭ２のブレーキ９４が接続されている。
【００６９】
ブレーキ９４はモータＭ２が稼動しているときは解除状態になっており、モータＭ２への電力供給が遮断された場合に作動し、駆動軸ＤＳ２の位置を保持する。そして、制御手段９０からの解除指令で再び解除状態になる。
【００７０】
なお、以上の構成は昇降走行機構６０の緊急停止に関係する構成とは独立して構成されているので昇降走行機構６０が緊急停止状態になっても動作を行うことができる。
【００７１】
次にエアシリンダＡＳ２の制御について説明する。
【００７２】
事故等で昇降走行機構６０が緊急停止状態になったとき、モータＭ２への電力供給は遮断さる。この場合はブレーキ９４が作動して昇降台６３は位置を保持される。そして、昇降台６３を移動させたいときは入力手段９１からブレーキ解除命令を入力し、制御手段９０によって、ブレーキ９４を解除する。このとき、エアシリンダＡＳ２は昇降台６３がエアシリンダＡＳ２に課している荷重と略同じ力で昇降台６３を上方に付勢しているので昇降台６３がブレーキ９４で保持されていた位置から自重で落下することは防止される。このため、仮に、昇降台６３の下方に作業者が挟まれていても昇降台６３の荷重が作業者にかかることは無いので作業者の安全が確保される。
【００７３】
次に、昇降台６３を昇降させたいときは手動で昇降台６３を適宜昇降させる。前記のように、昇降台６３がエアシリンダＡＳ２に課している荷重とエアシリンダＡＳ２が伸長する力とはほぼ均衡しているので容易に昇降台６３を昇降させることができる。
【００７４】
また、手動でハンドル９５を回転させてレギュレータＲ２の出力側の所定圧力を変化させればスライダ７２が上昇または降下するので必ずしも手動で昇降台６３を昇降させる必要はない。具体的には所定圧力を大きくすればスライダ７２が上昇して昇降台６３は上昇し、逆に所定圧力を小さくすればスライダ７２が降下して昇降台６３も降下する。
【００７５】
以上説明した実施形態の効果について述べる。
【００７６】
上下方向に変位する回動台５３や昇降台６３をエアシリンダＡＳ１やＡＳ２が上方に付勢するのでモータＭ１やＭ２の駆動力が０になっても回動台５３や昇降台６３が自由状態にならず、回動台５３や昇降台６３が不用意に落下することを防止でき、安全に回動台５３や昇降台６３を移動させることができる。
【００７７】
また、エアシリンダＡＳ１やＡＳ２の回動台５３や昇降台６３への付勢力を回動台５３や昇降台６３の荷重と略同じにしているのでモータＭ１、Ｍ２から回動台５３や昇降台６３に伝達される駆動力が０になった場合でも回動台５３や昇降台６３を容易に移動させることができる。
【００７８】
また、レギュレータＲ１、Ｒ２で付勢力を変化させることができるのでモータＭ１、Ｍ２から回動台５３や昇降台６３に伝達される駆動力が０になった場合でも付勢力を変化させることによって回動台５３や昇降台６３を容易に移動させることができる。
【００７９】
またモータＭ１に作用する回動台５３の荷重の変化に応じて回動台５３への付勢力を変化させるのでモータＭ１に作用する回動台５３の荷重を制御でき、モータＭ１の制御を容易にすることができる。
【００８０】
また、エアシリンダＡＳ１やＡＳ２で回動台５３や昇降台６３を付勢するので汚染物質の発生を抑制できる。例えば、回動台５３や昇降台６３の上方に滑車を設けてロープ状部材を掛けまわし、回動台５３や昇降台６３の荷重に応じた重りで回動台５３や昇降台６３を上方に付勢する場合は滑車の回転や滑車とロープ状部材との摺動によって発生する汚染物質が広範囲に拡散し、基板Ｗに付着する恐れがある。また、エアシリンダは流体を封入したダンパーに比べて伸縮速度を速く設定できるので回動台５３や昇降台６３の変位の速度を確保できる。
【００８１】
また制御手段９０が、モータＭ１に作用する回動台５３の荷重が小さくなったときにはエアシリンダＡＳ１の付勢力を小さくし、モータＭ１に作用する回動台５３の荷重が大きくなったときにはエアシリンダＡＳ１の付勢力を大きくするのでモータＭ１に作用する回動台５３や昇降台６３の荷重を一定にでき、モータＭ１の制御を容易にすることができる。
【００８２】
また、エアシリンダＡＳ１のピストンロッド５７がフレーム１０に固定され、シリンダ５５が回動台５３に固定されているのでピストンロッド５７の方がシリンダ５５よりも下方に位置する。このためシリンダ５５とピストン５６との摺動でピストンロッド５７に汚染物質が付着していてもピストンロッド５７の方が下方に位置しているので汚染物質が拡散することを抑制できる。また、エアを排出する下部ポート５９も下方に配することができるので汚染物質が拡散することを抑制できる。
【００８３】
また、リリーフ弁付きレギュレータでエアシリンダＡＳ１、ＡＳ２に供給されるエアの圧力を所定圧力に保つので容易に前記所定圧力に保つことができる。
【００８４】
【発明の効果】
請求項１に記載の基板搬送装置によれば、上下方向に変位する回動台をエアシリンダが上方に付勢するのでモータから回動台に伝達される駆動力が０になっても回動台が自由状態にならず、回動台が不用意に落下することを防止でき、安全に回動台を移動させることができる。
【００８５】
請求項２に記載の基板搬送装置によれば、回動台への付勢力を回動台の荷重と略同じにしているのでモータから回動台に伝達される駆動力が０になった場合でも回動台を容易に移動させることができる。
【００８６】
請求項３に記載の基板搬送装置によれば付勢力可変手段で付勢力を変化させることができるのでモータから回動台に伝達される駆動力が０になった場合でも付勢力を変化させることによって回動台を容易に移動させることができる。
【００８７】
また、請求項１に記載の基板搬送装置によればモータに作用する回動台の荷重の変化に応じて回動台への付勢力を変化させるのでモータに作用する回動台の荷重を制御でき、モータの制御を容易にすることができる。
【００８８】
また、請求項１に記載の基板搬送装置によればエアシリンダで回動台を付勢するので汚染物質の発生を抑制し、回動台の変位の速度を確保できる。
【００８９】
【００９０】
【００９１】
【００９２】
請求項４に記載の基板搬送装置によれば制御手段が、モータに作用する回動台の荷重が小さくなったときには付勢力を小さくし、モータに作用する回動台の荷重が大きくなったときには付勢力を大きくするのでモータに作用する回動台の荷重を一定にでき、モータの制御を容易にすることができる。
【００９３】
請求項５に記載の基板搬送装置によればピストンロッドが基準面に固定されてシリンダが回動台に固定されているのでピストンロッドの方がシリンダよりも下方に位置する。このためシリンダとピストンとの摺動でピストンロッドに汚染物質が付着してもピストンロッドの方が下方に位置しているので汚染物質が散らばることを抑制できる。
【００９４】
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の基板搬送装置を適用した基板処理システムの構成を示す図である。
【図２】 姿勢変換機構、昇降走行機構を示し、姿勢変換機構の回動台上の基板が水平である状態を示す図である。
【図３】 姿勢変換機構、昇降走行機構を示し、姿勢変換機構の回動台上の基板が垂直である状態を示す図である。
【図４】 制御構造に関する図である。
【符号の説明】
３ 基板搬送装置
５０ 姿勢変換機構
５３ 回動台
５４ 基板ガイド
５５ シリンダ
５６ ピストン
５７ ピストンロッド
６０ 昇降走行機構
６３ 昇降台
６５ プッシャガイド
９０ 制御手段
ＡＳ１ エアシリンダ
ＡＳ２ エアシリンダ
Ｍ１ モータ
Ｍ２ モータ
Ｒ１ レギュレータ
Ｒ２ レギュレータ
Ｓ１ 軸
Ｓ２ 軸
Ｗ 基板
【産業上の利用分野】
基板を支持する基板支持部が設けられた回動台が上下方向に変位する基板搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
基板搬送装置は基板を保持する保持部と保持部を移動させる駆動部とを有し、駆動部の駆動力によって保持部を昇降させたり回動させたりする。駆動部は例えば駆動源としてモータを有し、モータの駆動力をボールネジやタイミングベルトで保持部に伝達する。モータにはブレーキが設けられており、モータへの電力供給が断たれた場合、保持部の位置を保持する。こうすることによって、例えば事故等で基板搬送装置を非常停止させた場合、モータへの電力供給が断たれても保持部は自由状態にならず、不用意に落下したり回動したりすることが防止できる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで保持部に作業者が挟まれて基板搬送装置を非常停止させた場合は上記のようにブレーキが作動して保持部はロックされてしまい保持部を移動させることが困難になる。すると作業者の救出に困難を来す。また、ブレーキを解除すると保持部が自由状態になり却って作業者に荷重がかかり危険な場合がある。
【０００４】
本発明の目的は基板搬送装置を非常停止させても回動台を安全に移動させることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、基台と、前記基台に設けられたモータと、前記モータの駆動軸に接続された第１シャフトと、前記基台に対して回動可能な回動台と、前記回動台に固定されている第２シャフトと、前記第１シャフトと前記第２シャフトとに接続され、前記モータの駆動力を前記回動台に伝えるリンクと、前記回動台に設けられており、基板を支持しつつ、前記回動台の回動にともなって基板の姿勢を水平状態と垂直状態との間で変換する基板支持部と、基準面となるフレーム側および前記回動台側のそれぞれに回動自在に固定されており、前記回動台の回動にともなって伸縮することにより、前記回動台を付勢するエアシリンダと、前記回動台の姿勢の変換に基づいて前記エアシリンダに作用する荷重の変化を演算するとともに、演算結果にともなって前記エアシリンダを伸縮させる制御手段と、を備えた基板搬送装置である。
【０００６】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の基板搬送装置において、前記エアシリンダは、前記回動台の荷重と略同じ力で前記回動台を上方に付勢する基板搬送装置である。
【０００７】
請求項３に係る発明は、請求項１または請求項２に記載の基板搬送装置において、前記エアシリンダの付勢力を変化させる付勢力可変手段、を有する基板搬送装置である。
【０００８】
【０００９】
【００１０】
【００１１】
【００１２】
【００１３】
請求項４に係る発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板搬送装置において、前記制御手段は、前記モータに作用する前記回動台の荷重が小さくなったときには付勢力を小さくし、前記モータに作用する前記回動台の荷重が大きくなったときには付勢力を大きくする基板搬送装置である。
【００１４】
請求項５に係る発明は、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の基板搬送装置において、前記エアシリンダは、シリンダと、シリンダ内を往復するピストンと、ピストンと一体的に移動するピストンロッドと、を有し、前記ピストンロッドを固定部として前記基準面に固定し、前記シリンダを可動部として前記回動台に固定した基板搬送装置である。
【００１５】
【００１６】
【発明の実施の形態】
＜１、基板処理システムの概要＞
【００１７】
図1に本発明に係る基板搬送装置を適用した基板処理システム１を示す。なお、便宜上、以下の各図にはＸＹＺ軸を設定する。
【００１８】
基板処理システム１は基板処理装置２、基板搬送装置３とを有する。
【００１９】
基板搬送装置３は水平移載ロボット４０、姿勢変換機構５０、昇降走行機構６０とを有する。水平移載ロボット４０はキャリアＣ内に収容された基板Ｗを取り出して姿勢変換機構５０に渡す。
【００２０】
姿勢変換機構５０は水平移載ロボット４０から主面が水平状態で渡された基板Ｗを垂直状態にする。
【００２１】
昇降走行機構６０は姿勢変換機構５０で垂直状態になっている基板Ｗを突き上げて保持し、基板処理装置２の方向へ走行する。
【００２２】
基板処理装置２は昇降走行機構６０から基板Ｗを受け取る搬送ロボット２１、搬送ロボット２１、から基板Ｗを受け取るリフタ２２、薬液や純水を貯留し、前記リフタ２２に支持されて昇降する基板Ｗに薬液や純水を接触させて処理を行う処理部２３、処理部２３で処理が完了した基板Ｗを乾燥させる乾燥部２４を有する。また、搬送ロボット２１のチャック２５の基板支持棒２９を洗浄するチャック洗浄部も有する。
【００２３】
＜２、基板搬送装置＞
【００２４】
次に基板搬送装置３に含まれる水平移載ロボット４０、姿勢変換機構５０、昇降走行機構６０について説明する。
【００２５】
＜２−１水平移載ロボット＞
【００２６】
水平移載ロボット４０はアーム基台４１上に設けられたアーム４２、アーム４２の先端に設けられたハンド４３を有する。アーム４２は軸ＡＸ１、ＡＸ２、ＡＸ３を中心に回動することによってハンド４３を水平面内において移動可能とする。
【００２７】
このような水平移載ロボット４０ではハンド４３をキャリアＣ内に進入させて基板Ｗをハンド４３に載置して取り出し、さらにハンド４３を平面視で軸ＡＸ１を中心に反時計回りに約９０度回動させてＹ軸正方向に移動させることにより、姿勢変換機構５０に基板Ｗを渡すことができる。なお、図1の姿勢変換機構５０は水平移載ロボット４０から基板Ｗ（二点鎖線）が渡された状態が示してある。
【００２８】
＜２−２姿勢変換機構＞
【００２９】
姿勢変換機構５０は基台５１を有し、基台５１上には垂直方向に起立状態の支持板５２を有する。図2のように基台５１上にはモータＭ１が設けられ、モータＭ１の駆動軸ＤＳ１（図 4 参照）はシャフトＳ１に接続されている。
【００３０】
図２に戻ってシャフトＳ１にはリンクＬ１、Ｌ２、Ｌ３が接続されており、リンクＬ３にはシャフトＳ２が固定されている。さらにシャフトＳ２は回動台５３にも固定されている。これにより、モータＭ１の駆動力によって回動台５３をシャフトＳ２を軸として回動させることができる。
【００３１】
回動台５３には４本の基板ガイド５４が設けられている。基板ガイド５４は長手方向と直交する方向に溝が刻まれており、該溝で基板Ｗを支持する。
【００３２】
このような姿勢変換機構５０では図2のように水平移載ロボット４０から渡された基板Ｗを基板ガイド５４で受け取り、回動台５３を回動させることによって図3のように基板Ｗの姿勢を水平状態から垂直状態に変換する。
【００３３】
なお、このとき基板ガイド５４はシャフトＳ２を中心に回動する。この回動による運動を上下方向、水平方向に分解すれば、基板ガイド５４は上下方向および水平方向に変位するといえる。
【００３４】
回動台５３にはエアシリンダＡＳ１が固定されているがエアシリンダＡＳ１については後述する。
【００３５】
＜２−３昇降走行機構＞
【００３６】
図1のように昇降走行機構６０はＹ軸方向に延設された２本のレールＲ、Ｒの上を走行する走行台６１、走行台６１上に設けられた昇降部６２、昇降部６２によって昇降する昇降台６３、昇降台６３上に固定されたプッシャポスト６４、プッシャポスト６４の頂部に固定されたプッシャガイド６５を有する。
【００３７】
図2のように昇降部６２はカバー７９内に直動ガイド６６、６６を有し、直動ガイド６６、６６によって、昇降台６３が上下方向に移動可能に支持されている。また、昇降台６３はボールネジ６７と螺合しており、ボールネジ６７の回転によって昇降する。ボールネジ６７はベルト６８を介してモータＭ２の駆動軸ＤＳ２（図４参照）に接続されており、該モータＭ２の駆動力によって回転する。
【００３８】
以上のような構成により、昇降走行機構６０では走行台６１を移動させて図3のように姿勢変換機構５０で垂直状態に姿勢が変換された基板Ｗの下方にプッシャガイド６５を配する。そして、昇降部６２を駆動させてプッシャガイド６５を上昇させることにより、プッシャガイド６５上に基板Ｗ支持する。さらに、走行台６１をＹ軸正方向に移動させて搬送ロボット２１に基板Wを渡す。
【００３９】
なお、昇降走行機構６０にはエアシリンダＡＳ２が設けられているが、これについては後述する。
【００４０】
＜３、付勢部＞
【００４１】
次に姿勢変換機構５０、昇降走行機構６０に設けられた付勢部について説明する。
【００４２】
＜３−１姿勢変換機構の付勢部＞
【００４３】
図２のように姿勢変換機構５０にはエアシリンダＡＳ１が設けられている。エアシリンダＡＳ１は筒状のシリンダ５５内でピストン５６が往復する形式のもので、ピストン５６にはピストンロッド５７が固定されている。また、シリンダ５５内と連通しており、エアが通過する上部ポート５８と下部ポート５９とを有する。
【００４４】
そして、シリンダ５５は回動台５３の下面にＸ軸と平行な軸ＡＸ５中心に回動自在な状態で固定され、ピストンロッド５７は基板処理システム１のフレーム１０にＸ軸と平行な軸ＡＸ６中心に回動自在な状態で固定されている。このため、エアシリンダＡＳ１は図2、図３に示すように回動台５３の回動に伴って伸縮する。
【００４５】
次にエアシリンダＡＳ１の制御に関する構造について説明する。
【００４６】
図４のようにエアシリンダＡＳ１の上部ポート５８にはポンプＰのエアがレギュレータＲ１を介して供給されている。一方、下部ポート５９は開放されている。
【００４７】
レギュレータＲ１はポンプＰからのエアが供給される入力側、上部ポート５８にエアを供給する出力側の２つのポートを有し、出力側のエア圧を設定された所定圧力にするリリーフ付レギュレータである。なお、リリーフ付なので出力側のエア圧が前記所定圧力以上になったときはエアを逃がして出力側のエア圧を所定圧力に一定化する構造となっている。
【００４８】
また、レギュレータＲ１において設定される所定圧力は制御手段９０からの電気信号によって制御される。
【００４９】
制御手段９０には入力手段９１が接続され、該入力手段９１から各種情報が制御手段９０に入力される。例えば、レギュレータＲ１の所定圧力値が入力される。また、制御手段は図示せぬ他の制御装置とも接続されており、姿勢変換機構５０が基板を保持しているか否か、また、保持している場合は何枚の基板が基板ガイド５４のどの位置に保持されているかなどの情報を得ている。
【００５０】
さらに制御手段９０にはモータＭ１のブレーキ９２、モータＭ１の回転角に関する情報を出力するエンコーダ９３も接続されている。
【００５１】
ブレーキ９２はモータＭ１が稼動しているときは解除状態になっており、モータＭ１への電力供給が遮断された場合に作動し、駆動軸ＤＳ１の位置を保持する。そして、制御手段９０からの解除指令で再び解除状態になる。
【００５２】
なお、以上の構成は姿勢変換機構５０の緊急停止に関係する構成とは独立して構成されているので姿勢変換機構５０が緊急停止状態になっても動作を行うことができる。
【００５３】
次にエアシリンダＡＳ１の制御について説明する。
【００５４】
姿勢変更機構５０が稼働中は制御手段９０はエンコーダ９３からの情報に基づいて回動台５３の姿勢を認識する。回動台５３はシャフトＳ２を軸に回動するのでエアシリンダＡＳ１に作用する回動台５３の荷重は変化する。具体的には図２のように回動台５３が水平状態にあるとき、前記荷重は最大で、図３のように垂直状態にあるときは前記荷重は最小である。制御手段９０は回動台５３の姿勢および、他の制御装置から得た回動台５３上の基板Ｗの有無、基板ガイド５４のどこに基板Ｗが存在するかについての情報を基にエアシリンダＡＳ１に作用する荷重の変化を演算する。そして、演算結果に伴ってレギュレータＲ１に設定する所定圧力を連続的に変化させる。
【００５５】
具体的にはエアシリンダＡＳ１に作用する荷重と常に同じ力でエアシリンダＡＳ１が伸長するように所定圧力を変化させる。このため、エアシリンダＡＳ１に作用する荷重とエアシリンダＡＳ１が伸長する力とは常に均衡状態にある。
【００５６】
よって、図２のように回動台５３が水平状態にあるとき所定圧力は最大で、回動台５３が垂直状態にあるとき所定圧力は最小である。
【００５７】
このため、モータＭ１が回動台５３を回動させるために発生させなければならない力は常に一定でよいので、モータＭ１にかかる負荷の変化に伴ってモータＭ１が発生させる力を連続的に変化させる必要はなくモータＭ１の制御が容易になる。
【００５８】
また、エアシリンダＡＳ１に作用する荷重とエアシリンダＡＳ１が伸長する力とを常に均衡状態にしているので、僅かの力で回動台５３を回動させることができる。このため、モータＭ１についても小さなトルクを発生させるもので十分である。従って、後述のように安全を確保できるとともに装置コストを下げることができる。
【００５９】
次にモータＭ１への電力供給が遮断された場合について説明する。
【００６０】
事故等で姿勢変換機構５０が緊急停止状態になったとき、モータＭ１への電力供給が遮断される。この場合、ブレーキ９２が作動して回動台５３はその位置を保持される。そして、回動台５３を移動させたいときは入力手段９１からブレーキ解除命令を入力し、制御手段９０によって、ブレーキ９２を解除する。このとき、エアシリンダＡＳ１は回動台５３がエアシリンダＡＳ１に課している荷重と同じ力で回動台５３を上方に付勢しているので回動台５３がブレーキ９２に保持されていた位置から自重で落下することは防止される。このため、仮に、回動台５３の下方に作業者が挟まれていても回動台５３の荷重が作業者にかかることは無いので作業者の安全が確保される。
【００６１】
次に、回動台５３を回動させたいときは手動で回動台５３を適宜回動させる。このとき、回動台５３がエアシリンダＡＳ１に課している荷重とエアシリンダＡＳ１が伸長する力とは均衡しているので容易に回動台５３を回動させることができる。
【００６２】
また、入力手段９１を操作してレギュレータＲ１の所定圧力値を変化させればエアシリンダＡＳ１が伸長または収縮するので必ずしも手動で回動台５３を回動させる必要はない。具体的には所定圧力を大きくすればエアシリンダＡＳ１が伸長して回動台５３は図２においてシャフトＳ２を軸に反時計回りに回動し、逆に所定圧力を小さくすればエアシリンダＡＳ１が収縮して回動台５３は同図２においてシャフトＳ２を軸に時計回りに回動する。
【００６３】
＜３−３昇降走行機構の付勢部＞
【００６４】
図２のように昇降走行機構６０にはエアシリンダＡＳ２が設けられている。エアシリンダＡＳ２はシリンダ７０内で往復するピストン７１と該ピストン７１と磁気的に結合されピストン７１と一体となって往復するスライダ７２とが設けられている。また、エアが通過する上部ポート７３と下部ポート７４とを有する。
【００６５】
そして、シリンダ７０は走行台６１の上面に固定され、スライダ７２は昇降台６３に固定されている。このため、スライダ７２は昇降台６３の昇降にともなって上下する。
【００６６】
次にエアシリンダＡＳ２の制御に関する構造について説明する。
【００６７】
図４のようにエアシリンダＡＳ２の下部ポート７４にはポンプＰのエアがレギュレータＲ２を介して供給されている。なお、上部ポート７３は開放されている。レギュレータＲ２はレギュレータＲ１と同様、リリーフ付レギュレータである。ただし、設定される出力側の所定圧力は手動でハンドル９５を回転させて設定する。ここでは一例としてプッシャガイド６５が最大枚数の基板Ｗが支持した状態で昇降台６３がエアシリンダＡＳ２にかける荷重と等しい力でスライダ７２が上方に移動するように所定圧力を設定している。なお、エアシリンダＡＳ２に作用する荷重はプッシャガイド６５に支持されている基板Ｗの枚数によって多少変化するが、エアシリンダＡＳ１に作用する荷重ほどは変化しないので制御手段９０による所定圧力の制御は行っていない。
【００６８】
一方、制御手段９０にはモータＭ２のブレーキ９４が接続されている。
【００６９】
ブレーキ９４はモータＭ２が稼動しているときは解除状態になっており、モータＭ２への電力供給が遮断された場合に作動し、駆動軸ＤＳ２の位置を保持する。そして、制御手段９０からの解除指令で再び解除状態になる。
【００７０】
なお、以上の構成は昇降走行機構６０の緊急停止に関係する構成とは独立して構成されているので昇降走行機構６０が緊急停止状態になっても動作を行うことができる。
【００７１】
次にエアシリンダＡＳ２の制御について説明する。
【００７２】
事故等で昇降走行機構６０が緊急停止状態になったとき、モータＭ２への電力供給は遮断さる。この場合はブレーキ９４が作動して昇降台６３は位置を保持される。そして、昇降台６３を移動させたいときは入力手段９１からブレーキ解除命令を入力し、制御手段９０によって、ブレーキ９４を解除する。このとき、エアシリンダＡＳ２は昇降台６３がエアシリンダＡＳ２に課している荷重と略同じ力で昇降台６３を上方に付勢しているので昇降台６３がブレーキ９４で保持されていた位置から自重で落下することは防止される。このため、仮に、昇降台６３の下方に作業者が挟まれていても昇降台６３の荷重が作業者にかかることは無いので作業者の安全が確保される。
【００７３】
次に、昇降台６３を昇降させたいときは手動で昇降台６３を適宜昇降させる。前記のように、昇降台６３がエアシリンダＡＳ２に課している荷重とエアシリンダＡＳ２が伸長する力とはほぼ均衡しているので容易に昇降台６３を昇降させることができる。
【００７４】
また、手動でハンドル９５を回転させてレギュレータＲ２の出力側の所定圧力を変化させればスライダ７２が上昇または降下するので必ずしも手動で昇降台６３を昇降させる必要はない。具体的には所定圧力を大きくすればスライダ７２が上昇して昇降台６３は上昇し、逆に所定圧力を小さくすればスライダ７２が降下して昇降台６３も降下する。
【００７５】
以上説明した実施形態の効果について述べる。
【００７６】
上下方向に変位する回動台５３や昇降台６３をエアシリンダＡＳ１やＡＳ２が上方に付勢するのでモータＭ１やＭ２の駆動力が０になっても回動台５３や昇降台６３が自由状態にならず、回動台５３や昇降台６３が不用意に落下することを防止でき、安全に回動台５３や昇降台６３を移動させることができる。
【００７７】
また、エアシリンダＡＳ１やＡＳ２の回動台５３や昇降台６３への付勢力を回動台５３や昇降台６３の荷重と略同じにしているのでモータＭ１、Ｍ２から回動台５３や昇降台６３に伝達される駆動力が０になった場合でも回動台５３や昇降台６３を容易に移動させることができる。
【００７８】
また、レギュレータＲ１、Ｒ２で付勢力を変化させることができるのでモータＭ１、Ｍ２から回動台５３や昇降台６３に伝達される駆動力が０になった場合でも付勢力を変化させることによって回動台５３や昇降台６３を容易に移動させることができる。
【００７９】
またモータＭ１に作用する回動台５３の荷重の変化に応じて回動台５３への付勢力を変化させるのでモータＭ１に作用する回動台５３の荷重を制御でき、モータＭ１の制御を容易にすることができる。
【００８０】
また、エアシリンダＡＳ１やＡＳ２で回動台５３や昇降台６３を付勢するので汚染物質の発生を抑制できる。例えば、回動台５３や昇降台６３の上方に滑車を設けてロープ状部材を掛けまわし、回動台５３や昇降台６３の荷重に応じた重りで回動台５３や昇降台６３を上方に付勢する場合は滑車の回転や滑車とロープ状部材との摺動によって発生する汚染物質が広範囲に拡散し、基板Ｗに付着する恐れがある。また、エアシリンダは流体を封入したダンパーに比べて伸縮速度を速く設定できるので回動台５３や昇降台６３の変位の速度を確保できる。
【００８１】
また制御手段９０が、モータＭ１に作用する回動台５３の荷重が小さくなったときにはエアシリンダＡＳ１の付勢力を小さくし、モータＭ１に作用する回動台５３の荷重が大きくなったときにはエアシリンダＡＳ１の付勢力を大きくするのでモータＭ１に作用する回動台５３や昇降台６３の荷重を一定にでき、モータＭ１の制御を容易にすることができる。
【００８２】
また、エアシリンダＡＳ１のピストンロッド５７がフレーム１０に固定され、シリンダ５５が回動台５３に固定されているのでピストンロッド５７の方がシリンダ５５よりも下方に位置する。このためシリンダ５５とピストン５６との摺動でピストンロッド５７に汚染物質が付着していてもピストンロッド５７の方が下方に位置しているので汚染物質が拡散することを抑制できる。また、エアを排出する下部ポート５９も下方に配することができるので汚染物質が拡散することを抑制できる。
【００８３】
また、リリーフ弁付きレギュレータでエアシリンダＡＳ１、ＡＳ２に供給されるエアの圧力を所定圧力に保つので容易に前記所定圧力に保つことができる。
【００８４】
【発明の効果】
請求項１に記載の基板搬送装置によれば、上下方向に変位する回動台をエアシリンダが上方に付勢するのでモータから回動台に伝達される駆動力が０になっても回動台が自由状態にならず、回動台が不用意に落下することを防止でき、安全に回動台を移動させることができる。
【００８５】
請求項２に記載の基板搬送装置によれば、回動台への付勢力を回動台の荷重と略同じにしているのでモータから回動台に伝達される駆動力が０になった場合でも回動台を容易に移動させることができる。
【００８６】
請求項３に記載の基板搬送装置によれば付勢力可変手段で付勢力を変化させることができるのでモータから回動台に伝達される駆動力が０になった場合でも付勢力を変化させることによって回動台を容易に移動させることができる。
【００８７】
また、請求項１に記載の基板搬送装置によればモータに作用する回動台の荷重の変化に応じて回動台への付勢力を変化させるのでモータに作用する回動台の荷重を制御でき、モータの制御を容易にすることができる。
【００８８】
また、請求項１に記載の基板搬送装置によればエアシリンダで回動台を付勢するので汚染物質の発生を抑制し、回動台の変位の速度を確保できる。
【００８９】
【００９０】
【００９１】
【００９２】
請求項４に記載の基板搬送装置によれば制御手段が、モータに作用する回動台の荷重が小さくなったときには付勢力を小さくし、モータに作用する回動台の荷重が大きくなったときには付勢力を大きくするのでモータに作用する回動台の荷重を一定にでき、モータの制御を容易にすることができる。
【００９３】
請求項５に記載の基板搬送装置によればピストンロッドが基準面に固定されてシリンダが回動台に固定されているのでピストンロッドの方がシリンダよりも下方に位置する。このためシリンダとピストンとの摺動でピストンロッドに汚染物質が付着してもピストンロッドの方が下方に位置しているので汚染物質が散らばることを抑制できる。
【００９４】
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の基板搬送装置を適用した基板処理システムの構成を示す図である。
【図２】 姿勢変換機構、昇降走行機構を示し、姿勢変換機構の回動台上の基板が水平である状態を示す図である。
【図３】 姿勢変換機構、昇降走行機構を示し、姿勢変換機構の回動台上の基板が垂直である状態を示す図である。
【図４】 制御構造に関する図である。
【符号の説明】
３ 基板搬送装置
５０ 姿勢変換機構
５３ 回動台
５４ 基板ガイド
５５ シリンダ
５６ ピストン
５７ ピストンロッド
６０ 昇降走行機構
６３ 昇降台
６５ プッシャガイド
９０ 制御手段
ＡＳ１ エアシリンダ
ＡＳ２ エアシリンダ
Ｍ１ モータ
Ｍ２ モータ
Ｒ１ レギュレータ
Ｒ２ レギュレータ
Ｓ１ 軸
Ｓ２ 軸
Ｗ 基板
Claims (5)
- 基台と、
前記基台に設けられたモータと、
前記モータの駆動軸に接続された第１シャフトと、
前記基台に対して回動可能な回動台と、
前記回動台に固定されている第２シャフトと、
前記第１シャフトと前記第２シャフトとに接続され、前記モータの駆動力を前記回動台に伝えるリンクと、
前記回動台に設けられており、基板を支持しつつ、前記回動台の回動にともなって基板の姿勢を水平状態と垂直状態との間で変換する基板支持部と、
基準面となるフレーム側および前記回動台側のそれぞれに回動自在に固定されており、前記回動台の回動にともなって伸縮することにより、前記回動台を付勢するエアシリンダと、
前記回動台の姿勢の変換に基づいて前記エアシリンダに作用する荷重の変化を演算するとともに、演算結果にともなって前記エアシリンダを伸縮させる制御手段と、
を備えた基板搬送装置。 - 請求項１に記載の基板搬送装置において、
前記エアシリンダは、前記回動台の荷重と略同じ力で前記回動台を上方に付勢する基板搬送装置。 - 請求項１または請求項２に記載の基板搬送装置において、
前記エアシリンダの付勢力を変化させる付勢力可変手段、
を有する基板搬送装置。 - 請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板搬送装置において、
前記制御手段は、前記モータに作用する前記回動台の荷重が小さくなったときには付勢力を小さくし、前記モータに作用する前記回動台の荷重が大きくなったときには付勢力を大きくする基板搬送装置。 - 請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の基板搬送装置において、
前記エアシリンダは、
シリンダと、
シリンダ内を往復するピストンと、
ピストンと一体的に移動するピストンロッドと、
を有し、
前記ピストンロッドを固定部として前記基準面に固定し、前記シリンダを可動部として前記回動台に固定した基板搬送装置。
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