JP2002368063A - ディスク状基板の搬送方法及びそれに用いるマニピュレータ - Google Patents

ディスク状基板の搬送方法及びそれに用いるマニピュレータ

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JP2002368063A JP2002103123A JP2002103123A JP2002368063A JP 2002368063 A JP2002368063 A JP 2002368063A JP 2002103123 A JP2002103123 A JP 2002103123A JP 2002103123 A JP2002103123 A JP 2002103123A JP 2002368063 A JP2002368063 A JP 2002368063A
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セサレ ロベール ディ
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CESARE ROBERT DI
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 この発明は、データ処理用の基板の搬送を、
効率よく早い速度で行えるようにした方法およびそれに
用いるマニュピュレータに関する。 【解決手段】 この発明は、供給ポストのバスケット
４，４’から順次に前記基板２を引き出して、第２マニ
ピュレータ１０へ移送する第１のマニュピュレータ８
と、前記基板２を収納したまま旋回して傾倒する第２の
マニピュレータ１０と、前記傾倒した第２のマニピュレ
ータ１０の枠体１２を通り抜ける第３のマニピュレータ
３０としての排出手段３０とを有しており、前記基板２
を把持して枠体１２の外に引き出す動作が、排出ポスト
６の方への排出部材３０の単一方向の操作によって同じ
連続運動で行なわれることができる方法およびこれに用
いられるマニュピュレータであることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は平らな基板などの
電子部材の製造過程でこれを操作する技術に関するもの
である。これらの部材は、例えば半導体ウエハやＬＣＤ
用ガラス基板、その他の半導体材料のデータ処理用基板
などで、特にディスク型に作られており、段状に積み重
ねられ、束にして一括して取扱われる。本発明はさら
に、供給ポストから排出ポストまで、１点で交わる、と
くに直交する二面間でこの種のデータ処理用基板を一括
して傾倒させるための方法を目的とする。本発明はま
た、この方法を実行する手段を含む装置、及びとくにこ
れらのデータ処理用基板を傾倒させることを可能にする
協働的な装置ないしマニピュレータをも目的とする。
【０００２】
【従来の技術】ディスク型のデータ処理用基板を有する
電子部材を製造する際、１つの作業ポストから他のポス
トへ、これらのデータ処理用基板の位置、つまり向きを
移すか、あるいは変えなければならないことはしばしば
ある。このような作業は通常、２つの作業ポスト間に置
かれた搬送ポストで、マニピュレータにより自動的に行
われる。この基板は最初の処理ポストの出口で供給ポス
トに位置する枠体の中に中心を合わせて一括して段状に
積み重ねている。前記基板は最初の処理ポストの出口で
供給ポストに位置する枠体の中に段状に積み重ねて配置
されている。次に、上記基板はこの搬送ポストから排出
ポストの方へ動かされ、別の処理ポストの入口で回収さ
れる。
【０００３】この基板を一括して束にし、その平面に沿
って搬送するという第１マニピュレータによれば、これ
らのデータ処理用基板は個別に把持され、空間で平面的
に同時に移動される。そのため、それらを個別に把むた
めに各データ処理用基板に取り付けられ、重ねあわせて
配置されたアームのような複数個の把持部材を含んでい
るマニピュレータが用いられる。このタイプのマニピュ
レータのある種のものは、データ処理用基板をその平面
で束にして回転させ、立体的ばかりでなく、データ処理
用基板をその全面で角度を付けて向きを変えるようにし
て搬送することができるようになっている。この種のマ
ニピュレータを開示しているものには、とくにフランス
特許（ＦＲ）２７７８４９６号（ＲＥＣＩＦ）と米国特
許（ＵＳ）５９５４４７２号（ＨＯＦＭＥＩＳＴＥＲ）
が知られている。
【０００４】１点で交わる、とくに直交する２面でデー
タ処理用基板を一括して裏返すための第２マニピュレー
タによれば、データ処理用基板をまとめて保持する部材
が用いられており、この部材はそれ自体を軸として回転
するように作られている。
【０００５】米国特許（ＵＳ）６１５２６８０号（ＨＯ
ＷＥＬＬＳ）に開示されているこの種の第２マニピュレ
ータの実施例によれば、データ処理用基板は容器内に配
置されており、回転するシャーシを備えたケーソン内部
に着脱自在に収納されている。
【０００６】ドイツ特許（ＤＥ）１９９０６８０５号
（ＴＯＫＹＯ ＥＬＥＣＴＲＯＮ Ｌｔｄ・・特開平１
１−２３３５８４・特開平１１−２３３５９１）に開示
されているこの種の第２マニピュレータの別の実施例で
は、データ処理用基板はこれらを個別に把持する部材に
よって支えられており、この部材はクリップの形をして
いる。このクリップは把みフックを介して、それ自体を
軸に回転するシャーシに連結され、データ処理用基板を
一括して逆転させている。これらを裏返した後、クリッ
プは開いて、データ処理用基板を下方に置かれた別のマ
ニピュレータの方へ放し、排出ポストの方へデータ処理
用基板を搬送する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】この発明が解決する第
１の課題は、データ処理用などの基板の搬送を、効率よ
く早い速度で行えるようにすることにある。したがって
短くて数を限ったマニピュレータの機動性を目指すこと
が重要であろう。
【０００８】この発明が解決する他の課題は、データ処
理用などの基板を搬送する際に変質および／または破損
の危険への対処である。特に、使用するマニピュレータ
による前記基板の捕捉と保持が、前記基板を傷つけたり
引っ掛かったりすることを避けた上で、なお能動的な方
法で実行されなければならない。さらに前記基板は偶発
的な汚染の危険をすべて排除しながら搬送されなければ
ならない。
【０００９】この発明は、供給ポストと排出ポストとの
間で、データ処理用などの基板を傾倒変位させながら搬
送する方法を提案する。これに関連して、この発明では
この方法を実行するための様々な装置ないし協働的マニ
ピュレータを提案する。また同時にこの発明はこの設備
に含まれる個々の装置ないしマニピュレータの構造をも
カバーすることが理解されよう。
【００１０】この発明の方法は、さらに、破損および／
または特に汚染による変質の危険からデータ処理用など
の基板を可能な限り予防しながら、搬送のテンポを速め
ることにある。さらに、この発明は排出ポストに、デー
タ処理用などの基板に容易に接近できるようにしなが
ら、搬送のテンポの低下を引き起こすことがないように
基板を搬送することを課題としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明の提案する方法
は、データ処理用などの基板を段状に積み重ねて保持
し、一括して束ねて搬送するために１連のマニピュレー
タを利用する。この方法は、データ処理用などの基板を
供給ポストのバスケットから取出して、データ処理用な
どの基板をその同一平面に沿って搬送し第２マニピュレ
ータとなる枠体の方へ向かわせるために第１のタイプの
マニピュレータを利用する。この第２マニピュレータ
は、１点で交叉する２つの面に従って回転することによ
ってデータ処理用などの基板を搬送するというマニピュ
レータである。前記基板の回転後は、第２マニピュレー
タから排出ポストへ前記基板を搬送するために第３マニ
ピュレータが用いられる。
【００１２】ここで留意すべきことは、第１マニピュレ
ータは、好ましくは１対のアームからなっており、重ね
合わされた前記基板を把持するアームを含んでいる米国
特許第５９５４４７２号（ＨＯＦＭＥＩＳＴＥＲ）に記
載のタイプであることである。これらのアームは互いに
相次いで連接された操作アームによって段状に支えられ
たコラムによって支持されている。この発明の考案者が
このタイプのマニピュレータを選択したのは、前記基板
が汚染される危険を減らすために充分なテンポを獲得す
るためである。
【００１３】この発明の１つの重要な態様によれば、第
２マニピュレータは、データ処理用などの基板を回転し
た後で、第３マニピュレータとなる排出部材が内部を通
過しうるように構成されている。この構成は、第２マニ
ピュレータを、排出部材が横切って通過するのを許すた
めに、対向する面の少なくとも２つが開いた固い枠体の
形状をしている。
【００１４】上記排出部材の通過は、排出部材が、それ
に対峙した枠体の対向する窓を介して枠体の中央を貫通
して排出位置へと向かう動きによって行われる。この所
定の位置から他の所定の位置への移行は、排出部材が枠
体の第１の窓と向き合った第２の窓を通って枠体の外へ
出るという、排出部材が枠体を一方から他方へ通り抜け
る動きによって行われる。
【００１５】この排出部材の操作は、より好ましくは、
動作の開始位置と排出位置との２つの先端位置の間で単
一方向に行なわれ、排出部材が枠体を通過する際の前記
基板の把持と、枠体を出るときの前記基板の摘出と、排
出ポストへの前記基板の送りは、排出部材の同じ連続運
動のなかで行われるので、供給ポストと排出ポストの間
の前記基板の運搬のテンポの節約が得られる結果とな
る。
【００１６】この操作を容易にするために、排出部材に
よる枠体（コンテナ）の横断運動は、枠体から前記基板
を単純に支えるだけで把んで引き出すような方法による
上昇運動になっていることが分かるであろう。その結
果、前記基板は変質の危険をおかざずに速いテンポを可
能にしながら枠体の外に引き出されることになる。
【００１７】この発明の提案するより有利な配置法によ
れば、第３マニピュレータの排出部材がとりわけ主とし
て伸縮自在な柱かあるいはそれに類するもので作られて
おり、この柱は頂部に前記基板を受け取るための台架を
支えている。この台架には、前記基板を隙間を隔てて並
置した個別に掛止めや係止などでつかむ複数個の部材が
備えられており、この部材は枠体に備えられたものと同
じかまたは類似したもので、相互に関連するように配置
されている。
【００１８】枠体の第１の変形実施例によれば、第１の
窓は、より好ましくは、第１マニピュレータによって枠
体の内部にデータ処理用などの基板を導入するためにも
利用される。しかしながら別の変形例によれば、枠体は
第１マニピュレータによってその内部にデータ処理用な
どの基板を導入するために特別の窓を有している。
【００１９】この特別の窓は、排出部材が枠体を横切っ
て進退するために設けられた一対の向かい合う窓と１点
で交わる。この変形例は、枠体が傾動する前にデータ処
理用などの基板の軸線と同一の軸線を中心に旋回するこ
とによって、前記基板の自己平面内における角位置を修
正するために枠体を利用できるようにするためのもので
ある。
【００２０】従って第２マニピュレータの枠体の構造か
ら得られる補足的な利点が指摘されよう。この利点と
は、前記基板の導入窓と第３マニピュレータの排出部材
を通すための窓との間の向きの差に関連して前記基板自
体の角位置を修正する能力のことである。また、前記基
板の角位置修正は特別な手段によってこれらの前記基板
の周囲にスペースを必要とすることなく得られている。
【００２１】第２マニピュレータの好ましい実施例によ
れば、枠体はその案内軸にその底部で傾動回転式に取り
付けられている。枠体の傾動軸の延伸が枠体の内部に保
持された前記基板の軸線ととくに直交することが分かる
であろう。この傾動は、第２マニピュレータを備えた操
作手段によって引き起こされ、これらの手段はより有利
には案内軸と同軸的に配置されている。第２マニピュレ
ータの枠体の構造と、その傾動が、前記基板を汚染の危
険から保護しかつ排出部材が個々の基板に自由に接近で
きるようにするため、前記基板の周囲環境を空けること
を可能にしている。
【００２２】枠体が傾動する際、前記基板をすべての変
質、すなわち破損から保護するために、枠体は好ましく
は中に納められた前記基板を動かないようにする手段を
備えている。これらの手段は前記基板をブロックする部
材を含んでおり、これらの部材は前記基板のそれぞれ解
放位置と拘束または固定位置の２つの位置の間を移動す
ることができる。
【００２３】これらの固定または拘束手段の操作は、前
記基板の回転作業の際にそれらの固定（拘束）と解放専
用のステップの際に行われ、これらのステップは前記基
板の回転の前後にそれぞれ用いられることが理解されよ
う。
【００２４】第２マニピュレータのこのような構造は、
必要であれば何らかの位相差で対応する軸に沿った枠体
の傾動を可能にし、さらに、枠体は前記基板の１面から
もうひとつの面への１回の回転のためにおよそ１８０°
の角度で傾動するようにすることが好ましい。
【００２５】データ処理用などの前記基板の固定または
拘束手段に関与する部材の好ましい１実施例によれば、
固定または拘束手段は前記基板の個別的な把持部材を備
えたロッド形状をしている。これらのロッドからなる固
定（拘束）部材の数は２個で、枠体上で一方から他方へ
動くことができるように取り付けられており、前記基板
がその縁で一緒に把持されるように、前記基板の軸線と
それぞれ平行に回転する軸に沿って動く。ロッドが移動
できるようにするには、とくに枠体の傾動の際、ロッド
を押さえていることができるようなストッパー部材を構
成するようになっている。
【００２６】
【発明の実施の形態】以下にこの発明を被処理用の基板
の一例としてのデータ処理用基板の搬送に適用した実施
例について図面を参照しながら説明する。図１及び図２
には、供給ポストと排出ポストの２つの作業ポスト間
で、ディスク状のデータ処理用基板２を搬送するための
方法を示している。この搬送は、第１の作業ポストの出
口に位置する供給ポストからスタートするもので、各１
個のバスケット４、４’には、段状に積み重ねたデータ
処理用基板２が入っている。そして、この搬送は、別の
処理ポストの入口に位置する排出ポスト６に到着して完
了する。
【００２７】まず、データ処理用基板２は全体が保持さ
れて（図２（ａ））、段状に積み重ねられた状態で供給
バスケット４の中から外に引き出される（図２
（ｂ））。この作業は、データ処理用基板搬送用の第１
マニピュレータ８を用いて平面的な移動により実行され
る。この第１マニピュレータ８は、次に反転してデータ
処理用基板２を搬送する第２マニピュレータ１０まで操
作される（図２（ｃ））。次に、データ処理用基板２
は、第２マニピュレータ１０の枠体１２の内部に段状に
積み重ねられた状態で収納される（図２（ｄ））。第２
マニピュレータ１０は少なくとも１個の、データ処理用
基板２の導入窓１４と、段状に積み上げられたデータ処
理用基板２の把持部材２６を有している。
【００２８】第１マニピュレータ８によるデータ処理用
基板の搬送は、より好ましくは、データ処理用基板２を
それらの平面で軸Ａ１（図１参照）に沿って一束にし
て、図２ｃの矢印で示す方向に回転させるステップ（図
２（ｃ））を有している。この作業は枠体１２の導入窓
１４に対峙する位置にデータ処理用基板２を導くことを
目的としており、この窓１４は供給バスケット４に設け
られた同様の窓１６の向きに対して交差した方向に向い
ている。こういった配置法は、次々に交代して使用され
る複数個の供給バスケット４に対して、搬送の速さを向
上させることを可能にする。
【００２９】第１マニピュレータ８は、データ処理用基
板２を個別に保持する把持部材１８，１８’を有してい
る。これらの把持部材は、柱２０の前面に延びて固定さ
れており、柱２０自体は平面操作手段２２及び２４によ
って少なくとも平面上で２方向に回転可能に支持されて
いる。これらの操作手段が相互に重ねられて回転可能に
連結されたアーム２２，２４として構成されていること
は図から明らかである。
【００３０】つぎに、枠体１２は、その底部に設けら
れ、枠体１２を支持する回転軸Ａ２に沿って角運動して
前方へ傾倒し、同時にまたはそれと相前後して（図示例
では事前に）後述のように軸線Ａ３を中心にして旋回す
る（図２（ｄ）から図２（ｆ）参照）。データ処理用基
板２は、それぞれこの搬送の出発点となる最初の平面方
位Ｐ１と到達点となる排出方位Ｐ２との間で、一体に束
となって反転する。枠体１２の回転軸Ａ２は、本実施例
では、枠体１２に連結された台座３４を横断して固定さ
れた軸３２からなっている。
【００３１】この軸３２は、第２マニピュレータの枠体
１２を載置する支持フレーム３６間に軸受けされて回転
可能に取り付けられている。支持フレーム３６は、側面
に枠体１２の前記軸３２を回転駆動させるモータ手段３
８を支えている。枠体１２は、第３マニピュレータとな
るデータ処理用基板２の排出部材３０を通過させるた
め、反対側の窓と連通した別の第２の窓を有している。
図示の例では、反対側の窓は、枠体１２の内部のデータ
処理用基板２を導入する第１の窓１４からなる。データ
処理用基板２は、枠体１２の内側から排出ポスト６まで
媒体を送り出す連続した動きの中で、排出部材３０によ
って枠体１２（図２（ｇ））の外へ取出される。
【００３２】さらに図示例では、枠体１２は、データ処
理用基板２を収納するスペースをほぼそれらの間に形成
する支柱４４，４４’及び４６，４６’と、これらによ
って上下に離間する一対の台座４０及び４２から形成さ
れている。データ処理用基板の把持部材２６は、４４，
４４’のような少なくとも左右一対の支柱の内面に沿っ
て、そうでなければ、さらに好ましくは全部の支柱内面
に等間隔に形成される。これらの把持部材２６は、例え
ばデータ処理用基板２を個別的に掛止めることができる
溝ないしそれに類した構造などによって形成される。
【００３３】図示の枠体１２の実施例では、第３マニピ
ュレータである排出部材３０を通すための第２の窓２８
は、導入窓１４に面した一対の支柱４６、４６’の間で
規定されていることが注目されよう。
【００３４】データ処理用基板は枠体１２の反転の間、
固定されていることが好ましい。図３〜図５を参照すれ
ば、第２マニピュレータ１０はデータ処理用基板を反転
によって搬送する間、それらを支えておくために収納さ
れた媒体２を固定または拘束する手段を備えている。
【００３５】図示例では、これらの固定または拘束手段
は、データ処理用基板２をブロックするロッド４８，４
８’を有している。このロッド４８、４８’は、データ
処理用基板２の軸線Ａ３と平行に設けられた軸Ａ４及び
Ａ４’を支点として回転し、媒体２を固定（拘束）した
り解放したりする方向に動くことができるようになって
いる。
【００３６】これらのロッド４８，４８’の操作手段
は、枠体１２の上部の台座４２の内部に収納されてお
り、そこに隣り合って配置されている。この操作手段
は、モータ５０を有しており、作動板５２を進退動させ
て一対のアーム５２’と５２”を傾動変位させ、これを
介してロッド４８を傾動変位させている。ここで一例を
示せばロッド４８、４８’は台座４２に枢着されてお
り、該枢着点を支点として前記ロッドに枢着されたアー
ム５２’、５２”の変位でロッド４８、４８’が向きを
変えるようになっているが、その他の構成を用いても
い。
【００３７】図４で示すロッド４８，４８’は、作動板
５２が実線位置にある一方のロッド４８が解放位置を示
し、作動板５２が変位して仮想線位置にある他方のロッ
ド４８’が基板２の固定（拘束）位置をそれぞれ示して
いる。但し実際には、ロッド４８、４８’は、それぞれ
同時に解放位置、または固定（拘束）位置に操作が行わ
れることが理解されるであろう。
【００３８】次に、図１及び図２に示すように、第３マ
ニピュレータとなる排出部材３０は、枠体１２が有する
対向する窓１４，２８の最初の向きに対して直交する方
向に向けて配置されている。この場合、反転によるデー
タ処理用基板２の搬送作業は、データ処理用基板２の軸
線と同軸線上の軸線Ａ３に沿って枠体１２を旋回させる
ステップを含んでいる。
【００３９】このような配置方法は、特に枠体１２の窓
１４及び２８を横切って設けられた通路を排出部材３０
に面して配置することを目的としている。このため、図
示例によれば、枠体１２は前記軸線Ａ３と同軸線上に設
けられた第２の回転軸５４を介して前記台座３４に旋回
可能に連結されている。
【００４０】この第２の回転軸５４は、図３に示すよう
に、台座３４上に対して枠体１２を旋回可能に取り付け
られていればよく、様々な変形例を適用することができ
る。好ましくは第２の回転軸５４が台座３４に内蔵され
たモータ手段５６で回転して枠体１２を旋回させ、ある
いは支持フレーム３６上に配置されたモータ手段５６か
ら伝達手段を介して回転作動しうるように構成されてい
てもよい。
【００４１】図示の例では、排出部材３０は、頂部の台
架６０を伸縮自在な筒状の柱５８で支持する構成となっ
ている。この台架６０は複数個の溝の形状をした把持部
材６２を含んでおり、これらの把持部材は枠体１２の把
持部材２６の配置に対応して、隙間を隔てて等間隔に配
置されており、基板を個別に掛止めて保持しうるように
なっている。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の好ましい実施例のマニピュレータを
備えた搬送ポストの全体概略図である。
【図２】この発明の方法を好ましい作業展開に従って説
明する連続図（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ），
（ｅ），（ｆ），（ｇ）からなる概要図である。
【図３】この発明の提案する第２マニピュレータの反転
による搬送を行うマニピュレータの、反転中にデータ処
理用基板を固定（拘束）しておく手段を備えた好ましい
実施例に従う斜視図である。
【図４】先行の図に示したマニピュレータのバスケット
の平面図である。
【図５】先行の図に示したマニピュレータのバスケット
の断面図である。
【符号の説明】
２ データ処理用基板 ４，４’ バスケット ６ 排出ポスト ８ 第１マニピュレータ １０ 第２マニピュレータ １２ 枠体 １４，２８ 導入窓 １６ バスケットの窓 １８，１８’把持部材 ２０ 柱 ２２，２４ 操作アーム ２６ 枠体の把持部材 ３０ 排出部材 ３２ 軸 ３４ 台座 ３６ フレーム ３８ モータ手段 ４０，４２ 上下台座 ４４，４４’，４６，４６’側支柱 ４８，４８’ロッド部材 ５０ モータ部材 ５２，５２’５２”ロッド ５４ 第２回転軸 ５６ モータ手段 ５８ 伸縮自在の筒形柱 ６０ 台架 ６２ 把持部材 Ａ２ 回転軸 Ａ３ 軸線 Ａ４，Ａ４’軸線
フロントページの続き (72)発明者 ディ セサレ ロベール フランス国 Ｆ−34830 クラピエ， ザ ラ プレン， ジョルジュ ベス リュ ８ Ｆターム(参考） 3C007 AS01 AS24 BS09 DS01 ES17 EV05 JS02 LV02 MT02 NS09 NS12 5F031 CA02 DA01 FA01 FA09 FA11 FA14 FA15 FA18 FA21 GA03 GA45 GA50 PA02

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ディスク状基板２を、第１の作業ポスト
    の出口にある供給ポストに位置して前記基板２を段状に
    積み重ねて収納した少なくとも１個のバスケット４，
    ４’から取り出して、別の処理ポストの入口に位置する
    排出ポスト６まで搬送するための方法であって、 前記積み重ねられた基板２を一括して搬送するため一連
    のマニピュレータを用いており、 前記基板２を平面移動により搬送する第１マニピュレー
    タ８は、供給ポストのバスケット４，４’から順次に前
    記基板２を引き出して、第２マニピュレータ１０へ移送
    するためのものであり、 第２マニピュレータ１０は、１点で交わる２面に沿って
    回転して前記基板２を搬送するためのものであり、 第３マニピュレータ３０は、前記基板２を反転した後、
    第２マニピュレータ１０から排出ポスト６の方へデータ
    処理用基板を搬送するためのもので、前記第２マニピュ
    レータ１０の枠体１２を通り抜け可能となっており、 この枠体１２は、段状に積み重ねられた前記基板２を保
    持すると共に、対向する面の少なくとも２面の窓１４，
    ２８が開いており、枠体１２が回転し、上記２面１４、
    ２８から排出部材３０が通り抜け可能となっており、 前記基板２を把持して枠体１２の外に引き出す動作が、
    排出ポスト６の方への排出部材３０の単一方向の操作に
    よって同じ連続運動で行なわれることができることを特
    徴とするディスク状基板の搬送方法。
  2. 【請求項２】 第１マニピュレータ８による前記基板２
    の搬送作業が、前記基板２を枠体１２の導入用の窓１４
    に対向する位置に移動するため、前記基板２を一括して
    束にし、それらの平面で回転させるステップを有してお
    り、枠体１２は供給バスケット４に設けられた前記窓１
    ４と同様の窓１６に対して交差する方向に向けられてい
    ることを特徴とする請求項１に記載の方法。
  3. 【請求項３】 前記基板２を回転する作業が、底部で回
    転するように取り付けられた枠体１２を傾動させてなる
    ものであることを特徴とする請求項１または２に記載の
    方法。
  4. 【請求項４】 回転による前記基板２の搬送作業が、そ
    れらを回転するステップの前後にそれぞれ、前記基板２
    を拘束する特別なステップと拘束を解除する特別なステ
    ップを有していることを特徴とする請求項１から３に記
    載のいずれかの方法。
  5. 【請求項５】 請求項１から４に記載のいずれかの方法
    を実行するために段状に積み重ねられた前記基板２を平
    面移動によって一括してまとめて搬送するマニピュレー
    タ８であって、 相互に連接された操作アーム２２，２４が段状に押し当
    たる柱２０によって保持された前記基板２を個別に把持
    する部材１８，１８’を有していることを特徴とするマ
    ニピュレータ。
  6. 【請求項６】 請求項１から４に記載のいずれかの方法
    を実行するために、前記基板２を、１点で交わる２面に
    沿って回転して搬送するマニピュレータ１０であって、 排出部材３０を通過させるために相対する２個の窓１
    ４，２８を含んでいる固い枠体１２によって構成されて
    おり、 この枠体１２はその底部で傾動する枠体に軸線Ａ２を中
    心にして回転可能に取り付けられた案内軸３２を有して
    いることを特徴としたマニピュレータ。
  7. 【請求項７】 導入された前記基板２を拘束するロッド
    ４８，４８’を有する手段４８，４８’５０，５２，５
    ２’を備えており、これらは前記基板２の軸線Ａ３と平
    行にそれぞれ回転する軸Ａ４及びＡ４’に沿って、それ
    ぞれ前記基板２の解放位置と拘束位置の間を動くことが
    できるようになっていることを特徴とする請求項６に記
    載のマニピュレータ。
  8. 【請求項８】 枠体１２が、前記基板２を受け取るスペ
    ースをほぼそれらの間に限定する支柱４４，４４’４
    ６，４６’によって離間して配置された２個の台座４
    ０，４２を有しており、 前記基板２の把持部材２６が、少なくとも２個の横の支
    柱４４，４４’の内面に沿って等間隔に形成されてお
    り、 枠体１２が回転する軸線Ａ２が、枠体１２に形成された
    台座３４に設けた軸３２からなっており、この軸３２
    が、第２マニピュレータの支持フレーム３６に軸受けさ
    れて回転可能に取り付けられており、 前記支持フレーム３６が、枠体１２を傾動する前記軸３
    ２を回転駆動するモータ手段３８を側面に支えているこ
    とを特徴とする請求項６または７に記載のいずれかのマ
    ニピュレータ。
  9. 【請求項９】 隙間を隔てて並べられた前記基板２の把
    持台架６０を頂部に有する伸縮自在な柱５８で形成され
    た排出部材を有していることを特徴とする請求項１〜４
    までのいずれかに記載の方法を実施するためのマニピュ
    レータ。
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