KR101930626B1 - 웨이퍼 방향 전환 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼 방향 전환 장치에 관한 것으로서, 해당 장치에는 케이스 한 개, 방향 전환기 한 개, 그리고 웨이퍼 나르개 한 개가 포함된다. 케이스에는 케이스 내부 거치 공간 한 개와 케이스 외부 겉면 한 개가 있다. 방향 전환기는 케이스 외부 겉면에 연결되어 케이스를 회전시킨다. 웨이퍼 나르개는 케이스 내부 거치 공간에 탑재되어 최소한 한 장의 웨이퍼를 수용한다. 방향 전환기가 케이스를 회전시켜 최소한 한 장의 웨이퍼를 수용하는 웨이퍼 나르개를 뒤집을 때, 웨이퍼 나르개가 놓이는 방식도 이에 대응해 수평 또는 수직 방향 사이에서 전환하여 웨이퍼 나르개와 최소한 한 장의 웨이퍼를 같이 케이스 내부 거치 공간에서 꺼낼 수 있다.

Description

웨이퍼 방향 전환 장치{WAFER DIRECTION CHANGING DEVICE}
본 발명은 일종의 웨이퍼 방향 전환 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 웨이퍼가 놓이는 방식을 수평 또는 수직 방향 사이에서 변경하며, 웨이퍼를 다른 나르개 사이에서 전환하는 웨이퍼 방향 전환 장치에 관한 것이다.
반도체 제조 공정에서는 웨이퍼에 대해 여러 가지 가공 과정을 거쳐야 한다. 여러 다른 제조 과정에서는 웨이퍼를 탑재하는 나르개도 다르고 웨이퍼가 놓이는 방식도 다르다. 그리고 웨이퍼가 각각 다른 나르개와 다른 놓이는 방식 사이에서 전환할 때는 많은 장치를 사용하여 웨이퍼가 두 개의 다른 나르개 사이에서 안전하게 전환할 수 있도록 해왔다. 도 1에 표시된 바와 같이 평면판이나 단류선 기판 위에 평평하게 놓인 웨이퍼(300)를 수직 방향의 나르개에 넣어야 하는 경우, 우선 로봇 팔(400)을 사용하여 평평하게 놓인 웨이퍼(300)를 들어올린 다음 그 평평하게 놓인 웨이퍼(300)를 웨이퍼 임시 저장함(500)에 넣는다. 그리고 웨이퍼 임시 저장함(500)안에 웨이퍼(300)가 가득 찬 후에는 도 2에 표시된 바와 같이 웨이퍼 임시 저장함(500)을 회전시켜 웨이퍼 임시 저장함(500)의 바닥의 열린 틈(510)이 아래로 향하도록 하여 올림 장치(600)가 이동 방향 M을 따라 이동하고 바닥의 열린 틈(510)을 통과하여 웨이퍼 임시 저장함(500)안의 웨이퍼(300)를 들어 올린다. 그리고 나서 도 3에 표시된 바와 같이 웨이퍼 이동 탑재 장치(700)와 웨이퍼 임시 저장함(500)이 가지런해진 다음, 사용자는 올림 장치(600)를 상승시켜 해당 장치가 바닥의 열린 틈(510)을 통과하고 웨이퍼 임시 저장함(500) 안의 웨이퍼(300)를 들어 올려 웨이퍼(300)가 웨이퍼 이동 탑재 장치(700) 안으로 들어가게 하고 웨이퍼 이동 탑재 장치(700)의 집게(710)가 웨이퍼(300)를 잡을 수 있도록 한다. 마지막으로 도 4에 표시된 바와 같이, 집게(710)가 웨이퍼(300)를 잡은 다음, 집게(710)는 이동 방향 N을 따라 나르개(800)의 위쪽으로 이동하여 수직 방향의 웨이퍼(300)를 나르개(800) 위에 배치할 수 있다. 이렇게 하여 나르개 사이에서의 전환을 순조롭게 완성할 수 있으며, 웨이퍼(300)를 수평에서 수직 방향으로 배치할 수 있다.
하지만 위에서 설명한 전환 나르개 및 놓인 방식을 바꾸는 작업 공정에서는 웨이퍼를 옮기고 임시 저장하기 위해 많은 기계 설비를 사용해야 할 필요가 있다. 따라서 이러한 기계 설비들은 비교적 큰 공간을 차지하게 되며, 작업 공정의 시간도 비교적 길다. 그러므로 제조 공정에 필요한 공간이 더욱 작고 공정 시간도 더 짧게 요구되는 상황에서, 상기 작업 공정은 이러한 요구를 충족시킬 수 없다.
이에 따라 웨이퍼가 놓이는 방식을 수평 또는 수직 방향 사이에서 바꾸고 웨이퍼를 다른 나르개 사이에서 전환하며, 너무 많은 공간을 차지하지 않고 시간도 오래 걸리지 않는 새로운 기판을 제공할 필요가 있다.
본 발명의 주요 목적은 웨이퍼가 놓이는 방식을 수평 또는 수직 방향 사이에서 바꾸고 웨이퍼를 다른 나르개 사이에서 전환할 수 있는 웨이퍼 방향 전환 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 웨이퍼 방향 전환 장치에는케이스 한 개, 방향 전환기 한 개, 그리고 웨이퍼 나르개 한 개가 포함된다. 케이스에는 케이스 내부 거치 공간 한 개와 케이스 외부 겉면 한 개가 있다. 방향 전환기는 케이스 외부 겉면에 연결되어 케이스를 회전시킨다. 웨이퍼 나르개는 케이스 내부 거치 공간에 탑재되어 최소한 한 장의 웨이퍼를 수용한다. 방향 전환기가 케이스를 회전시켜 최소한 한 장의 웨이퍼를 수용하는 웨이퍼 나르개를 뒤집을 때, 웨이퍼 나르개가 놓이는 방식도 이에 대응해 수평 또는 수직 방향 사이에서 전환하여 웨이퍼 나르개와 최소한 한 장의 웨이퍼를 같이 케이스 내부 거치 공간에서 꺼낼 수 있다.
본 발명의 한 실시예에 따르면, 해당 케이스에는 더 나아가서 받침판 한 개와 측판 세 개가 있으며, 받침판과 세 개의 측판은 서로 연결하여 케이스 내부 거치 공간을 형성한다. 그리고 웨이퍼 나르개가 케이스 내부 거치 공간에 탑재될 때, 웨이퍼 나르개의 측면의 일부분이 외부에 노출된다.
본 발명의 한 실시예에 따르면, 웨이퍼 나르개를 케이스 내부 거치 공간에 탑재하거나 해당 공간에서 꺼낼 때, 두 개의 다른 축 방향을 따라 케이스 내부 거치 공간에 들어가고 나오도록 선택할 수 있다.
본 발명의 한 실시예에 따르면, 해당 케이스에는 더 나아가서 받침판 한 개와 측판 네 개가 있으며, 받침판과 네 개의 측판은 서로 연결하여 케이스 내부 거치 공간을 형성하고, 네 개의 측판은 서로 에워싸여서 열린 틈을 형성한다. 그래서 웨이퍼 나르개를 케이스 내부 거치 공간에 탑재하거나 해당 공간에서 꺼낼 때에는 오직 해당 열린 틈을 통해서만 해당 내부 공간으로 들어가거나 나오게 된다.
본 발명의 한 실시예에 따르면, 웨이퍼 방향 전환 장치에는 더 나아가서 웨이퍼 위치 제한기가 한 개 있다. 해당 웨이퍼 위치 제한기는 케이스 안에 설치되어 웨이퍼가 상기 열린 틈을 통해 미끄러져 나오는 것을 방지한다.
본 발명의 한 실시예에 따르면, 웨이퍼 방향 전환 장치에는 더 나아가서 웨이퍼 홀더가 한 개 있다. 해당 웨이퍼 홀더는 케이스 안에 설치되며, 웨이퍼 홀더와 웨이퍼 나르개는 웨이퍼를 존치하는 데 사용된다.
본 발명의 한 실시예에 따르면, 웨이퍼 나르개는 반원형 구조이며, 웨이퍼 나르개는 웨이퍼의 한쪽 부분을 고정시키는 데 사용된다. 상기 웨이퍼 홀더는 웨이퍼 나르개 옆에 위치하며, 웨이퍼 홀더는 웨이퍼의 다른 쪽 부분을 존치하는 데 사용된다.
본 발명의 한 실시예에 따르면, 웨이퍼 방향 전환 장치에는 더 나아가서 나르개 고정기가 한 개 있다. 나르개 고정기는 케이스 안에 설치되며, 또한 웨이퍼 나르개 옆에 위치하여 웨이퍼 나르개를 고정시킨다.
본 발명의 한 실시예에 따르면, 웨이퍼 방향 전환 장치에는 더 나아가서 회전 베이스가 한 개 있다. 회전 베이스는 케이스 바닥에 연결된다. 회전 베이스가 베이스의 축 방향을 따라 회전할 때 케이스를 연동시켜 한 방향의 각도로 회전하도록 한다. 그리고 방향 전환기도 케이스를 회전시킬 수 있어 웨이퍼 나르개 또는 최소한 한 장의 웨이퍼가 놓이는 방식이 수평 또는 수직 방향 사이에서 변할 수 있다.
본 발명의 한 실시예에 따르면, 웨이퍼가 놓이는 방식은 케이스가 회전함에 따라 수평 배치에서 수직 배치로 변한다.
본 발명의 한 실시예에 따르면, 웨이퍼를 외부에서 수평 방식으로 케이스 내부의 웨이퍼 나르개에 넣은 후, 방향 전환기는 케이스를 회전시켜 케이스가 수직이 되게 하고, 웨이퍼가 웨이퍼 나르개에 탑재되도록 한다. 그리고 웨이퍼와 웨이퍼 나르개가 놓이는 방식이 수평에서 수직으로 변하게 한다.
본 발명의 한 실시예에 따르면, 웨이퍼를 외부에서 수평으로 케이스 내부의 웨이퍼 나르개에 넣기 전에, 웨이퍼 나르개를 케이스 내부 거치 공간에 탑재하고 방향 전환기가 케이스를 회전시켜 케이스가 수직에서 수평 방향으로 회전되게 한다. 이렇게 하여 웨이퍼가 외부에서 수평으로 케이스 내부에 넣어지게 된다.
본 명세서에 개시되어 있음.
도 1은 배경 기술에서 웨이퍼를 웨이퍼 임시 저장함에 넣는 것을 나타내는 도면이다.
도 2는 배경 기술의 올림 장치와 웨이퍼 임시 저장함을 나타내는 도면이다.
도 3은 배경 기술에서 올림 장치가 웨이퍼를 웨이퍼 이동 장치로 옮기는 것을 나타내는 도면이다.
도 4는 배경 기술에서 웨이퍼 이동 장치가 웨이퍼를 나르개로 옮기는 것을 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 한 실시예에서 열린 틈이 첫째 방향의 웨이퍼 방향 전환 장치로 향하는 것을 나타내는 도면이다.
도 5a는 본 발명의 한 실시예에서 다른 양식의 웨이퍼 방향 전환 장치를 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 한 실시예에서 나르개 고정기에 의해 웨이퍼 나르개가 고정된 웨이퍼 방향 전환 장치를 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 한 실시예에서 웨이퍼 홀더가 회전된 웨이퍼 방향 전환 장치를 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 한 실시예에서 웨이퍼 이동 장치가 웨이퍼를 열린 틈이 둘째 방향으로 향하는 웨이퍼 방향 전환 장치에 넣는 것을 나타내는 도면이다.
도 9는 본 발명의 한 실시예에서 웨이퍼가 웨이퍼 방향 전환 장치의 내부에 있는 것을 나타내는 도면이다.
도 10은 본 발명의 한 실시예에서 회전 후의 웨이퍼 위치 제한기를 표시한 웨이퍼 방향 전환 장치를 나타내는 도면이다.
도 11은 본 발명의 한 실시예에서 웨이퍼가 들어 있으며, 웨이퍼가 첫째 방향을 향해 회전한 웨이퍼 방향 전환 장치를 나타내는 도면이다.
본 발명의 기술 내용에 대해 충분히 이해할 수 있도록 돕기 위해, 아래의 구체적인 실시예를 제시하여 다음과 같이 설명한다.
도 5에서 도 11까지 참고하여 본 발명인 웨이퍼 방향 전환 장치의 실시예를 알아본다. 도 5는 본 발명의 한 실시예에서 열린 틈이 첫째 방향의 웨이퍼 방향 전환 장치로 향하는 것을 나타내는 도면이다. 도 5a는본 발명의 한 실시예에서 다른 양식의 웨이퍼 방향 전환 장치를 나타내는 도면이다. 도 6은 본 발명의 한 실시예에서 나르개 고정기에 의해 웨이퍼 나르개가 고정된 웨이퍼 방향 전환 장치를 나타내는 도면이다. 도 7은 본 발명의 한 실시예에서 웨이퍼 홀더가 회전된 웨이퍼 방향 전환 장치를 나타내는 도면이다. 도 8은 본 발명의 한 실시예에서 웨이퍼 이동 장치가 웨이퍼를 열린 틈이 둘째 방향을 향하는 웨이퍼 방향 전환 장치에 넣는 것을 나타내는 도면이다. 도 9는 본 발명의 한 실시예에서 웨이퍼가 웨이퍼 방향 전환 장치의 내부에 있는 것을 나타내는 도면이다. 도 10은 본 발명의 한 실시예에서 회전 후의 웨이퍼 위치 제한기를 표시한 웨이퍼 방향 전환 장치를 나타내는 도면이다. 도 11은 본 발명의 한 실시예에서 웨이퍼가 들어 있으며, 웨이퍼가 첫째 방향을 향해 회전한 웨이퍼 방향 전환 장치를 나타내는 도면이다.
도 5와 도 8에 표시된 바와 같이, 본 발명의 한 실시예에서, 웨이퍼 방향 전환 장치(1)는 웨이퍼(100)를 수용한 웨이퍼 나르개(30)가 놓이는 방식을 수평 또는 수직 방향 사이에서 바꾸는 데 사용되며, 원래 수평 방향으로 있는 웨이퍼(100)를 웨이퍼 나르개(30)에 넣는다. 웨이퍼 방향 전환 장치(1)에는 케이스(10) 한 개, 방향 전환기(20) 한 개, 웨이퍼 나르개(30) 한 개, 웨이퍼 홀더(40) 두 개, 웨이퍼 위치 제한기(50) 두 개, 나르개 고정기(60) 두 개, 그리고 모터(70) 한 개가 있다.
본 발명의 한 실시예에서, 케이스(10)에는 열린 틈(11) 한 개, 받침판(12) 한 개, 측판(13, 13a) 네 개, 케이스 내부 거치 공간(14) 한 개, 그리고 케이스 외부 겉면(15) 한 개가 있다. 네 개의 측판(13, 13a) 중에서, 두 개의 측판(13a)의 너비는 비교적 짧고, 다른 두 개의 측판(13)의 너비는 비교적 길다. 받침판(12)과 네 개의 측판(13, 13a)이 연결되어 케이스 내부 거치 공간(14)을 형성하고, 네 개의 측판(13, 13a)은 서로 에워싸여서 열린 틈(11)을 형성한다. 이 열린 틈(11)은 사용자가 웨이퍼(100)를 넣거나 꺼낼 수 있도록 한다. 케이스 외부 겉면(15)은 네 개의 측판(13, 13a)이 바깥쪽을 향하는 겉면이다. 웨이퍼 나르개(30)가 케이스 내부 거치 공간(14)에 탑재되거나 해당 공간에서 나올 때, 웨이퍼 나르개(30)는 오직 열린 틈(11)만을 통해서 해당 공간으로 들어가고 나온다. 케이스(10)는 회전할 수 있어 열린 틈(11)이 첫째 방향(A)을 향하거나 둘째 방향(B)을 향하도록 할 수 있다. 그러나 웨이퍼 방향 전환 장치(1)의 케이스(10)의 양식과 측판(13, 13a)의 개수는 상기 설명된 것에만 한정되지 않는다. 도 5a에 표시된 바와 같이, 웨이퍼 방향 전환 장치(1a)의 케이스(10a)의 측판(13, 13a) 개수는 세 개이다. 이 세 개의 측판(13, 13a) 중에서, 두 개의 측판(13a)의 너비가 비교적 짧으며, 나머지 한 개의 측판(13)의 너비가 비교적 길다. 받침판(12)과 세 개의 측판(13, 13a)이 연결되어 케이스 내부 거치 공간(14a)을 형성한다. 웨이퍼 나르개(30)가 케이스 내부 거치 공간(14a)에 탑재될 때, 웨이퍼 나르개(30)의 한쪽 측면이 밖으로 노출된다. 다시 말해서, 웨이퍼 나르개(30)를 케이스 내부 거치 공간(14a)에 탑재하거나 해당 공간에서 꺼낼 때, 두 개의 다른 축 방향 중에서 선택하여, 즉 첫째 방향(A) 또는 둘째 방향(B)을 따라서 케이스 내부 거치 공간(14a)으로 들어가고 나온다.
방향 전환기(20)는 케이스(10)의 케이스 외부 겉면(15)에 연결된다. 방향 전환기(20)는 케이스(10)를 회전시키는 데 사용된다. 그러면 열린 틈(11)이 회전하여 첫째 방향(A) 혹은 둘째 방향(B)을 향하게 되고, 웨이퍼(100)가 놓이는 방식도 케이스(10)의 회전에 따라 수평에서 수직으로, 또는 수직에서 수평으로 변한다. 모터(70)는 방향 전환기(20)에 연결된다. 모터(70)는 회전력을 제공하여 방향 전환기(20)가 케이스(10)의 회전을 연동시킬 수 있도록 방향 전환기(20)를 회전시킨다.
본 발명의 한 실시예에서, 웨이퍼 나르개(30)는 반원형 구조이며, 케이스(10)의 케이스 내부 거치 공간(14) 안에 설치된다. 웨이퍼 나르개(30)는 웨이퍼(100)를 수용하고, 웨이퍼(100)의 한쪽을 고정시키는 데 사용된다. 웨이퍼 나르개(30)에는 복수의 나르개 홈(31)이 있다. 해당 복수의 나르개 홈(31)은 웨이퍼(100)의 측면과 바닥에서 웨이퍼(100)를 고정시켜 웨이퍼(100)가 안정적으로 탑재되도록 하는 데 사용된다. 방향 전환기(20)가 케이스(10)를 회전시켜 웨이퍼(100)를 수용하는 웨이퍼 나르개(30)를 뒤집을 때, 웨이퍼 나르개(30)가 놓이는 방식도 이에 대응해 수평 또는 수직 방향 사이에서 변환하여 웨이퍼 나르개(30)와 웨이퍼(100)를 케이스 내부 거치 공간(14)에서 같이 꺼낼 수 있다.
도 5에서 도 8까지에 표시된 바와 같이, 본 발명의 한 실시예에서, 두 개의 웨이퍼 홀더(40)가 케이스(10) 안에 설치되고 웨이퍼 나르개(30) 옆에 위치한다. 웨이퍼 홀더(40)는 웨이퍼(100)의 다른 한쪽을 존치하는 데 사용된다. 각각의 웨이퍼 홀더(40)에는 복수의 홀더 홈(41)이 있다. 해당 복수의 홀더 홈(41)은 웨이퍼 나르개(30)와 더불어 웨이퍼(100)의 측면을 잡는 데 사용된다. 두 개의 웨이퍼 홀더(40)는 케이스(10)와 접속 연결한다. 두 개의 웨이퍼 홀더(40)가 각각 회전 방향 R3와 R4를 따라서 회전할 때, 각 웨이퍼 홀더(40)의 홀더 홈(41)은 열린 틈(11)을 향하는 것에서 맞은 편을 향하는 것으로 변한다. 이 때, 각 웨이퍼 홀더(40)의 홀더 홈(41)은 웨이퍼(100)의 측면을 안정적으로 존치할 수 있다. 하지만 웨이퍼 홀더(40)의 개수는 두 개로 한정되지 않으며, 설계 요구에 따라 다를 수 있다. 예를 들어 한 개로 바꿀 수 있다.
도 5, 도 9 및 도 10에 표시된 바와 같이, 본 발명의 한 실시예에서, 두 개의 웨이퍼 위치 제한기(50)가 케이스(10) 안에 설치되고 웨이퍼 나르개(30) 위쪽에 위치하여, 웨이퍼(100)가 열린 틈(11)에서 미끄러져 나오는 것을 방지한다. 두 개의 웨이퍼 위치 제한기(50)는 케이스(10)와 접속 연결한다. 웨이퍼(100)가 케이스(10) 안에 위치하고, 두 개의 웨이퍼 위치 제한기(50)가 각각 회전 방향 R6와 R7를 따라서 회전할 때, 해당 두 개의 웨이퍼 위치 제한기(50)는 웨이퍼(100)의 이동을 제한하여 웨이퍼(100)가 열린 틈(11)에서 미끄러져 나오는 것을 방지한다. 하지만 웨이퍼 위치 제한기(50)의 개수는 두 개로 한정되지 않으며, 설계 요구에 따라 다를 수 있다.
도 5와 도 6에 표시된 바와 같이, 본 발명의 한 실시예에서, 두 개의 나르개 고정기(60)는 케이스(10) 내부에 설치되며, 웨이퍼 나르개(30) 옆에 위치하여, 웨이퍼 나르개(30)를 끼워서 고정시킨다. 두 개의 나르개 고정기(60)는 각각 회전 방향 R1와 R2를 따라 회전하고 웨이퍼 나르개(30) 양측을 끼워서 고정시켜 웨이퍼 나르개(30)가 단단히 고정되는 효과를 발휘한다. 다만 나르개 고정기(60)의 개수는 두 개로 한정되지 않으며, 설계 요구에 따라 변할 수 있다. 예를 들어 한 개로 바꿀 수 있다.
도 10과 도 11에 표시된 바와 같이, 본 발명의 한 실시예에서, 웨이퍼 방향 전환 장치(1)에는 회전 베이스(80) 한 개가 있다. 해당 회전 베이스(80)는 웨이퍼 방향 전환 장치(1)의 케이스(10) 바닥에 연결된다. 회전 베이스(80)의 베이스가 축 방향으로 회전할 때는 케이스(10)의 회전을 연동시켜 필요한 방향의 각도로 회전하게끔 한다. 방향 전환기(20)도 케이스(10)를 회전시켜 웨이퍼 나르개(30) 또는 웨이퍼(100)가 놓이는 방식이 회전에 대응해 수평 또는 수직 방향 사이에서 변하게 하여 웨이퍼 방향 전환 처리 효율성이 제고된다. 그리고 웨이퍼 나르개(30)나 웨이퍼(100)가 적절한 방향 각도와 놓이는 방식으로 웨이퍼 방향 전환 장치(1)에 들어가거나 나오는 것을 편리하게 해 준다.
본 발명의 한 실시예에서, 웨이퍼 방향 전환 장치(1)는 외부 컴퓨터와 전기적으로 연결된다. 사용자는 컴퓨터를 조작하여 방향 전환기(20), 웨이퍼 홀더(40), 웨이퍼 위치 제한기(50), 나르개 고정기(60), 모터(70) 또는 회전 베이스(80) 등 웨이퍼 방향 전환 장치(1)의 움직일 수 있는 부품들을 원격 제어하여 웨이퍼 방향 전환 장치(1)가 다른 축 방향 사이에서 움직이도록 할 수 있다.
반도체 제조 공정에서는 자주 단류선 기판 위에 평평하게 놓인 웨이퍼(100)를 수직 방향으로 바꾸고 웨이퍼 나르개(30)로 옮길 필요가 있다. 그러므로 사용자는 본 발명의 웨이퍼 방향 전환 장치(1)를 사용하여 웨이퍼(100)를 옮길 수 있다. 우선 도 5에 표시된 바와 같이, 사용자는 먼저 수직으로 선 웨이퍼 나르개(30)를 첫째 방향(A)을 향하는 케이스(10) 안에 넣는다. 그런 다음 도 6에 표시된 바와 같이 사용자는 외부 컴퓨터를 조작하여 웨이퍼 방향 전환 장치(1)의 두 개의 나르개 고정기(60)가 각각 회전 방향 R1 과 R2를 따라 회전하도록 제어하여 웨이퍼 나르개(30)의 양측을 끼워 고정시켜 웨이퍼 나르개(30)가 안정적으로 고정되도록 한다. 그리고 나서 도 7에 표시된 바와 같이, 사용자는 외부 컴퓨터를 조작하여 웨이퍼 방향 전환 장치(1)의 두 개의 웨이퍼 홀더(40)가 각각 회전 방향 R3과 R4를 따라 회전하도록 제어하여 각각의 웨이퍼 홀더(40)의 홀더 홈(41)이 열린 틈(11)을 향하는 것에서 맞은 편을 향하는 것으로 변하게 한다. 이를 통해서 각각의 웨이퍼 홀더(40)의 홀더 홈(41)과 웨이퍼 나르개(30)의 나르개 홈(31)은 나중에 넣어지는 웨이퍼(100)의 가장자리를 안정적으로 끼워서 고정시킨다. 그런 다음 도 8과 도 9에 표시된 바와 같이, 사용자는 외부 컴퓨터를 조작하여 모터(70)를 제어해서 방향 전환기(20)가 회전 방향 R5를 따라서 회전되게끔 하여 방향 전환기(20)가 케이스(10)를 열린 틈(11)이 둘째 방향(B)을 향하도록 회전시켜 케이스(10)가 수직에서 수평으로 회전하도록 해서 웨이퍼(100)가 외부에서 평평하게 놓여진 상태에서 넣어지도록 한다. 이 때 사용자는 외부 컴퓨터를 조작해서 외부의 웨이퍼 이동 장치(200)를 제어할 수 있다. 이 때 웨이퍼 이동 장치(200)는 단류선 기판 위에 평평하게 놓인 웨이퍼(100)를 들어 올려서 평평하게 놓인 웨이퍼(100)를 열린 틈(11)을 통해서 케이스(10) 내부의 웨이퍼 나르개(30) 안으로 옮긴다. 그리고 웨이퍼(100)와 각각의 웨이퍼 홀더(40)의 홀더 홈(41) 및 웨이퍼 나르개(30)의 나르개 홈(31)이 서로 끼워져서 고정된다. 이로써 웨이퍼(100)는 케이스(10) 내부에 안정적으로 고정된다.
도 9와 도 10에 표시된 바와 같이, 본 발명에서 케이스(10) 내부의 웨이퍼 나르개(30)에 웨이퍼(100)가 가득 찬 다음, 사용자는 외부 컴퓨터를 조작해서 두 개의 웨이퍼 위치 제한기(50)가 각각 회전 방향 R6과 R7을 따라 회전하도록 제어할 수 있다. 이 때 회전한 두 개의 웨이퍼 위치 제한기(50)는 웨이퍼(100)의 이동을 제한하여 웨이퍼(100)가 케이스(10)에서 미끄러져 나오는 것을 방지한다. 마지막으로 도 5와 도 11에 표시된 바와 같이, 사용자는 외부 컴퓨터를 조작해서 모터(70)를 제어하여 방향 전환기(20)가 회전 방향 R8을 따라 회전하도록 연동시키고 방향 전환기(20)가 케이스(10)를 열린 틈(11)이 첫째 방향(A)을 향하도록 회전시킨다. 즉 케이스(10)가 수직 방향으로 서도록 회전시킨다. 이로써 웨이퍼(100)는 웨이퍼 나르개(30) 위에 탑재된다. 웨이퍼(100) 및 웨이퍼 나르개(30)가 놓이는 방식은 수평에서 수직으로 변하며, 웨이퍼(100)는 웨이퍼 나르개(30) 위에 탑재된다. 따라서 사용자는 외부 컴퓨터를 조작해서 두 개의 웨이퍼 위치 제한기(50)와 두 개의 웨이퍼 홀더(40)를 원상 복귀시켜 웨이퍼 제한기(50)가 더 이상 웨이퍼(100)의 이동을 제한하지 않고 웨이퍼 홀더(40)가 더 이상 웨이퍼(100)를 끼워서 고정시키지 않게 할 수 있다. 이로써 사용자는 웨이퍼 나르개(30)와 웨이퍼 나르개(30)에 있는 웨이퍼(100)를 케이스(10) 안에서 꺼낼 수 있어 웨이퍼 나르개(30)에 수직으로 놓인 웨이퍼(100)가 반도체 제조 공정의 기타 과정을 거치도록 할 수 있다.
본 발명의 웨이퍼 방향 전환 장치(1)의 설계를 통해서 웨이퍼(100)를 외부의 기판에서 웨이퍼 나르개(30)로 옮길 수 있다. 그리고 웨이퍼(100)가 놓이는 방식을 수평 혹은 수직 사이에서 바꿀 수 있으며, 회전 베이스(80)의 베이스 축 방향 회전을 통하여 필요한 방향의 각도로 회전할 수 있다. 따라서 웨이퍼 나르개(30)와 웨이퍼(100)가 웨이퍼 방향 전환 장치(1)로 들어가고 나오는 방향 선택이 늘어나서 웨이퍼 방향 전환 처리 효율성이 제고된다. 또한 본 발명의 웨이퍼 방향 전환 장치(1)는 웨이퍼(100)가 놓이는 방식을 바꾸고 웨이퍼(100)를 웨이퍼 나르개(30)에 넣는 효능이 있다. 그렇기 때문에 기존의 웨이퍼 임시 저장함, 올림 장치, 그리고 웨이퍼 이동 탑재 장치를 사용할 필요 없이 편리하게 평평하게 놓여진 웨이퍼(100)를 수직으로 배치하는 방식으로 웨이퍼 나르개(30)에 탑재할 수 있다. 이렇게 하면 기존의 웨이퍼 임시 저장함, 올림 장치, 그리고 웨이퍼 이동 탑재 장치가 차지하는 공간을 절약할 수 있을 뿐만 아니라 기존의 웨이퍼 임시 저장함, 올림 장치, 그리고 웨이퍼 이동 탑재 장치를 사용할 때의 작업 시간 또한 줄일 수 있다.
본 발명에서 상기 실시예들은 일부 예시일 뿐이며, 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 특허청구범위에 기재된 기술적 사상과 실직적으로 동일한 구성을 갖고 동일한 작용효과를 이루는 것은 어떠한 것이어도 본 발명의 기술적 범위에 포함된다. 따라서 해당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 형태의 치환, 변형, 변경이 가능할 것이며, 이러한 것들은 본 발명의 범위에 속한다고 할 것이다.
배경 기술:
300 웨이퍼
400 로봇 팔
500 웨이퍼 임시 저장함
510 바닥의 열린 틈
600 올림 장치
700 웨이퍼 이동 탑재 장치
710 집게
800 나르개
M, N 이동 방향
본 발명:
1, 1a 웨이퍼 방향 전환 장치
10, 10a 케이스
11 열린 틈
12 받침판
13, 13a 측판
14, 14a 케이스 내부 거치 공간
15 케이스 외부 겉면
20 방향 전환기
30 웨이퍼 나르개
31 나르개 홈
40 웨이퍼 홀더
41 홀더 홈
50 웨이퍼 위치 제한기
60 나르개 고정기
70 모터
80 회전 베이스
100 웨이퍼
200 웨이퍼 이동 장치
A 첫째 방향
B 둘째 방향
R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8 회전 방향
P 놓여진 방향

Claims (12)

  1. 케이스 내부 거치 공간 한 개와 케이스 외부 겉면 한 개가 있는 케이스 한 개,
    케이스 외부 겉면에 연결되며 케이스가 회전되도록 하는 데 사용되는 방향 전환기 한 개, 그리고
    케이스 내부 거치 공간에 탑재되며 최소한 한 장의 웨이퍼를 수용하는 데 사용되는 웨이퍼 나르개 한 개를 포함하고,
    상기 방향 전환기가 케이스를 회전시켜 최소한 웨이퍼 한 장을 수용하는 웨이퍼 나르개를 뒤집을 때, 상기 웨이퍼 나르개가 놓이는 방식도 이에 대응하여 수평 또는 수직 방향 사이에서 전환하여 웨이퍼 나르개와 최소한 한 장의 웨이퍼를 같이 케이스 내부 거치 공간에서 꺼낼 수 있고,
    더 나아가서 나르개 고정기가 한 개 있고, 상기 나르개 고정기는 케이스 안에 설치되고 웨이퍼 나르개 옆에 위치하여 웨이퍼 나르개를 끼워서 고정시키는, 웨이퍼 방향 전환 장치.
  2. 청구항 제1항에 있어서,
    상기 케이스에는 더 나아가서 받침판 한 개와 측판 세 개가 있으며, 상기 받침판과 세 개의 측판은 서로 연결하여 케이스 내부 거치 공간을 형성하고, 상기 웨이퍼 나르개가 케이스 내부 거치 공간에 탑재될 때, 웨이퍼 나르개의 측면의 일부분이 외부에 노출되는, 웨이퍼 방향 전환 장치.
  3. 청구항 제2항에 있어서,
    상기 웨이퍼 나르개를 케이스 내부 거치 공간에 탑재하거나 상기 공간에서 꺼낼 때, 두 개의 다른 축 방향을 따라 케이스 내부 거치 공간에 들어가고 나오도록 선택할 수 있는, 웨이퍼 방향 전환 장치.
  4. 청구항 제1항에 있어서,
    상기 케이스에는 더 나아가서 받침판 한 개와 측판 네 개가 있으며, 받침판과 네 개의 측판은 서로 연결하여 케이스 내부 거치 공간을 형성하고, 네 개의 측판은 서로 에워싸여서 열린 틈을 형성하고, 그래서 웨이퍼 나르개를 케이스 내부 거치 공간에 탑재하거나 상기 케이스 내부 거치 공간에서 꺼낼 때에는 오직 상기 열린 틈을 통해서만 상기 케이스 내부 거치 공간으로 들어가거나 나오게 되는, 웨이퍼 방향 전환 장치.
  5. 청구항 제4항에 있어서,
    장치에는 더 나아가서 웨이퍼 위치 제한기가 한 개 있으며, 상기 웨이퍼 위치 제한기는 케이스 내부에 설치되어 웨이퍼가 상기 열린 틈을 통해 미끄러져 나오는 것을 방지하는, 웨이퍼 방향 전환 장치.
  6. 청구항 제1항에 있어서,
    장치에는 더 나아가서 웨이퍼 홀더가 한 개 있으며, 상기 웨이퍼 홀더는 케이스 내부에 설치되고, 웨이퍼 홀더와 웨이퍼 나르개는 최소한 한 장의 웨이퍼를 유지하는 데 사용되는 웨이퍼 방향 전환 장치.
  7. 청구항 제6항에 있어서,
    상기 웨이퍼 나르개는 반원형 구조이며, 웨이퍼 나르개는 최소한 한 장의 웨이퍼의 한쪽 부분을 고정시키는 데 사용되고, 상기 웨이퍼 홀더는 웨이퍼 나르개 옆에 위치하며, 웨이퍼 홀더는 최소한 한 장의 웨이퍼의 다른 쪽 부분을 존치하는 데 사용되는, 웨이퍼 방향 전환 장치.
  8. 삭제
  9. 청구항 제1항에 있어서,
    상기 장치에는 더 나아가서 회전 베이스가 한 개 있으며, 상기 회전 베이스는 케이스 바닥에 연결되고, 회전 베이스가 베이스의 축 방향을 따라 회전할 때 케이스를 연동시켜 한 방향 각도로 회전하도록 하며, 방향 전환기도 케이스를 회전시킬 수 있어 웨이퍼 나르개 또는 최소한 한 개의 웨이퍼가 놓이는 방식이 수평 또는 수직 방향 사이에서 변할 수 있도록 하는, 웨이퍼 방향 전환 장치.
  10. 청구항 제1항에 있어서,
    최소한 한 장의 웨이퍼가 놓이는 방식은 케이스가 회전함에 따라 수평 배치에서 수직 배치로 변하게 되는, 웨이퍼 방향 전환 장치.
  11. 청구항 제10항에 있어서,
    최소한 한 장의 웨이퍼를 외부에서 수평으로 놓인 방식으로 케이스 안의 웨이퍼 나르개로 넣은 후, 방향 전환기는 케이스를 회전시켜 케이스가 수직이 되게 하여 최소한 한 장의 웨이퍼가 웨이퍼 나르개에 탑재되고, 상기 최소한 한 장의 웨이퍼와 웨이퍼 나르개가 놓이는 방식이 수평에서 수직으로 변하는, 웨이퍼 방향 전환 장치.
  12. 청구항 제11항에 있어서, 상기 최소한 한 장의 웨이퍼를 외부에서 수평으로 케이스 내부의 웨이퍼 나르개에 넣기 전에, 웨이퍼 나르개를 케이스 내부 거치 공간에 탑재하여 방향 전환기가 케이스를 회전시켜 케이스가 수직에서 수평 방향으로 회전되게 하며, 상기 최소한 한 장의 웨이퍼가 외부에서 수평으로 케이스 내부에 넣어지게 되는, 웨이퍼 방향 전환 장치.
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