JP6822801B2 - ワーク搬出入装置及び平面加工システム - Google Patents
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Description
例えば、特許文献1(特開2001−88022号公報)には、研磨加工部とこれに隣接して配置されたワーク載置部との間で、複数のワークが保持されたキャリアを搬送ロボットにより搬出入する研磨装置が記載されている。
この研磨装置では、ワーク載置部を未加工ワークと加工済みワークとの収容部として用いることで、研磨装置全体の小型化を図っている。
このワーク搬出入装置によれば、ラップ盤に対して複数のワークをキャリア単位で搬出入することができ、加工前後のワークの交換に要する時間を大幅に短縮することが可能である。
例えば、特許文献3(特開平2−144308号公報)には、回路基板を搬入する搬入側コンベアと、搬入された回路基板を上昇させる上昇循環エレベータと、搬送方向に沿って配置されて回路基板を下降させる下降循環エレベータと、下降した回路基板を搬出する搬出側コンベアと、を備えた回路基板のストック装置が記載されている。
このストック装置によれば、回路基板の先入れ先出し動作を基板の搬送状況に即応させて円滑に行うことができ、また、装置全体の設置スペースも比較的少ないという特徴がある。
この従来技術では、基板のバッファ処理を基板搬送路の上方空間にて行うことにより、バッファ装置の設置面積を基板搬送路の幅から大きくはみ出さない範囲に収めて装置全体の小型化を図っている。
また、特許文献2に係る従来技術では、ラップ盤との間でキャリアを搬出入するための通用口の開閉機構が複雑であり、その開閉制御に多くの時間を必要として生産性の向上が難しいという問題がある。
また、回収手段及び払い出し手段として、動作範囲が大きい二つの昇降装置が必要なため、設備費用が高くなり、これらの昇降装置は基板を保持したアームを所定の範囲で上下動させるため、消費電力も大きい。更に、基板を保管するカセットの大きさには制約があるので、基板の収容量や収容効率を高めることが困難であった。
ワークストッカーに貯蔵された複数の未加工ワークを、パレットに載置されたキャリアに装填するワーク装填部と、
前記ワーク装填部から未加工ワークを有するキャリアがパレットごと搬送され、当該パレットが順次下方から積層されて待機すると共に、待機状態のパレットがキャリア及び未加工ワークを保持しつつ順次上方へ搬送されるローディング部と、
前記ローディング部から順次取り出した最上段のパレットが載置される固定式置台を有し、当該パレットが前記平面加工装置の搬送台との間で搬出及び搬入されるキャリア搬出入部と、
前記平面加工装置により加工され、かつ前記キャリア搬出入部を介して順次搬出されたパレット上のキャリアから加工済みワークを分離して回収するワーク回収部と、
前記ワーク回収部から加工済みワーク回収後のキャリアを搭載したパレットが搬送され、当該パレットが順次上方から積層されて待機するアンローディング部と、
前記パレットを把持して所定位置に搬送するために鉛直方向に多段に配置された複数のハンド部と、
を少なくとも備え、
前記パレットは、
未加工ワークの厚さ以上の間隔をパレットの積層方向に確保可能なスペーサを備え、前記スペーサの各積層面にそれぞれ形成された凹部と凸部とを互いに係合させることで複数のパレットを積層可能であり、
前記ハンド部は、
未加工ワークを有するキャリアが載置された前記ワーク装填部のパレットを把持して前記ローディング部に搬送し、かつ、当該ローディング部から取り出したパレットを、前記キャリア搬出入部、前記ワーク回収部、前記アンローディング部、前記ワーク装填部の順に、把持しつつ循環搬送させることを特徴とする。
前記パレットは、キャリアとの間に配置される固定中間板及び可動中間板を備え、前記ワーク回収部は、前記可動中間板の移動によりキャリアを保持したままでワークを落下させて回収する構造を有することを特徴とする。
前記アンローディング部では、
積層された複数のパレットを開閉式置台により支持し、前記開閉式置台とその下層に配置されたリフタとの相互動作により、積層されたパレットの最下段のパレットを下段のハンド部により取り出して前記ワーク装填部に搬送すると共に、前記ワーク回収部のパレットを中段のハンド部により搬送して順次最上段から積層することを特徴とする。
前記ローディング部では、
積層された複数のパレットを開閉式置台により支持し、前記開閉式置台とその下層に配置されたリフタとの相互動作により、積層されたパレットの最上段のパレットを上段のハンド部により取り出して前記キャリア搬出入部へ搬送すると共に、前記ワーク装填部のパレットを下段のハンド部により搬送して順次最下段から積層することを特徴とする。
請求項1〜4の何れか1項に記載した前記ワーク搬出入装置と、
を備え、
加工前の工程においては、前記インターナルギア昇降部を下降させて、前記下定盤の表面、前記搬送台の表面及び前記固定式置台上の未加工ワークを搭載したパレットの前記固定中間板及び前記可動中間板の表面を連続平面として形成し、前記キャリア搬送ロボットは、前記固定中間板及び前記可動中間板の表面から前記下定盤の表面までの連続平面上で、前記未加工ワークを保持したキャリアを前記下定盤に搬入し、
加工後の工程においては、前記キャリア搬送ロボットは、前記下定盤の表面、前記搬送台の表面、及び、前記固定式置台上の加工済みワークを搭載したパレットの前記固定中間板及び前記可動中間板の表面までの連続平面上で、前記加工済みワークを保持したキャリアを前記下定盤から搬出することを特徴とする。
また、このワーク搬出入装置を平面加工装置に適用することにより、ワークの搬出入及び加工を効率良く実現可能で省スペースかつ低コストの平面加工システムを構築することができる。
まず、図1は、複数(例えば6個)のワークが装填されたキャリアをパレットに搭載した状態の説明図であり、図1(a)は平面図、図1(b)は図1(a)のA−A矢視図、図1(c)は正面図である。
すなわち、上部スペーサ11,12及び下部スペーサ18,19と一体化されたパレット10は、係合凸部11a,12aと係合凹部18a,19aとの係合によって上下方向に複数段、積層可能である。ここで、上部スペーサ11,12及び下部スペーサ18,19の高さは、キャリア20やワーク30の厚さに応じて決定されるものであり、詳しくは、係合凸部11a,12aと係合凹部18a,19aとを係合させて2個のパレット10を積層した状態で、未加工ワーク30の厚さ以上の間隔がパレット10の積層方向(上下方向)に確保されることが必要である。
なお、パレット10(上部スペーサ11,12及び下部スペーサ18,19)の積層面にそれぞれ形成される係合凸部や係合凹部の数、位置等は、図示例に何ら限定されるものではない。
可動中間板15の一端部には一対の嵌合孔15aが形成されており、後述するように、可動中間板駆動装置90の嵌合ピン94を嵌合孔15aに嵌合させた状態で可動中間板15を水平方向に引き出すことができる。
また、図1(a)に示すように、パレット10の左右両端部の後部近傍には、後述するハンド部40の把持凸部43a,44aよりやや大きい形状の把持凹部16,17がそれぞれ形成されている。
このハンド部40の構造は、図3に示す下段ハンド部40A、一対の上段ハンド部40B1,40B2、及び、一対の中段ハンド部40C1,40C2に共通している。
基辺部42及び側辺部43,44によって包囲される空間には、図1(a)に示したパレット10が収容される。前述したごとく、パレット10の把持凹部16,17の形状は把持凸部43a,44aよりやや大きくなっており、把持凸部43a,44aは把持凹部16,17を上下方向(図1(a),図2における紙面に直交する方向)に通り抜け可能である。図示されていないが、ハンド部40とパレット10との接触面には、前述した係合凸部11a,12a及び係合凹部18a,19aのような構造を設けてハンド部40とパレット10との位置決め、把持を一層確実に行うこともできる。
図3は、この平面加工システムの全体構成を示しており、図3(a)は平面加工システムの平面図、図3(b)は図3(a)に対応させたワーク搬出入装置の主要部の正面図である。
図4(a)において、107は前記支柱104を中心として旋回する上定盤支持旋回アーム、108は旋回アーム107の先端に設けられた上定盤昇降シリンダ、109は上定盤である。また、図4(b)において、110は加工装置本体、111はカバー、111aはカバー111に形成されて前記搬送台105を収容可能な切欠部である。
なお、搬送台105を介して、下定盤101との間でキャリア20を搬入または搬出する動作については、後述する。
まず、ワークストッカー50には、研磨するべき多数のワーク30が積層されて円周上に収容されている。これらのワーク30をワーク装填ロボット60による取り出し位置に移動させ、例えばリフトアップ方式によりワーク30を把持してワーク装填部P1のパレット10上のキャリア20に順次装填する。なお、ワーク装填部P1のパレット10は、下段ハンド部40Aにより把持されて後述のアンローディング部P5から移送される。
ワークストッカー50やワーク装填ロボット60、ワーク装填部P1等の構造、動作は、ワーク30の形状、重量、キャリア20への装填数などに応じて適宜選定すれば良く、図示例に何ら限定されるものではない。
ローディング部P2には開閉式置台81が配置されており、この開閉式置台81を外側へ開動作させてリフタ71及びパレット10を上昇させ、その後、開閉式置台81を内側に閉動作させることによりパレット10の下面両端部を開閉式置台81にて保持する。上記の動作を繰り返せば、キャリア20が載置されたパレット10を開閉式置台81の上に多段に積層することができる。ここで、積層されるパレット10の数は、同時に研磨加工されるワーク装填キャリアの1バッチ分(例えば5個)以上、理想的には2バッチ分(10個)程度とすることが望ましい。
図5(a)の上段ハンド部40B1の把持凸部43a,44aはパレット10側の把持凹部16,17を通り抜け可能であるから、上段ハンド部40B1を下降させて図5(b)に示すように最上段のパレット10の下方に上段ハンド部40B1を位置決めする。
その後、図5(b)における矢印Y方向に上段ハンド部40B1を若干、水平移動させ、図5(c)に示すごとく、パレット10の四隅を把持凸部43a,44a及び基辺部42の両端部に係止させる。この状態で上段ハンド部40B1を矢印Z方向に上昇させれば、最上段のパレット10のみを取り出すことができる。
ここで、図6(a)はキャリア搬出入部P3における搬送台105、パレット10、キャリア、固定式置台83等の位置関係を示す平面図、図6(b)はパレット10、固定式置台83等の位置関係を示す正面図である。
すなわち、インターナルギア103のピンギアが搬送台105の挿通孔から突出した状態(図7(a))から、インターナルギア昇降部112を下降させて搬送台105の表面と下定盤101の表面とをほぼ面一状にし(図7(b))、キャリア搬送ロボット106のロボットハンド106aを用いて、未加工のワーク30が装填されたキャリア20を搬送台105から下定盤101の上に搬入する(図7(c))。そして、インターナルギア昇降部112を上昇させ、キャリア20の外周の歯をピンギアに噛み合わせる(図7(d))。
なお、加工済みのワーク30をキャリア20ごと搬出する際には、上記と逆の動作を行えば良い。
また、開閉式置台82の下方にはリフタ72が配置されており、このリフタ72により、積層状態のパレット10を最下段から取り出すことができ、取り出したパレット10を下段ハンド部40Aにより把持してワーク装填部P1に搬送するようになっている。
以上の動作を4回繰り返すことにより、下定盤101には、ワーク30が装填された4個のキャリア20が配置される。
この状態のまま、平面研磨装置100により1バッチ分の全てのワーク30を研磨加工し、加工が終了するまで待機する。
このようにしてワーク回収部P4、キャリア搬出入部P3にそれぞれ移動した上段ハンド部40B2,40B1は、パレット10を置台84,83に載置した後に、元の位置、すなわちキャリア搬出入部P3、ローディング部P2にそれぞれ戻しておく。
従って、キャリア搬送ロボット106により、キャリア搬出入部P3に存在する未加工のワーク30が装填されたキャリア20を下定盤101の上記スペースに搬送することができる。
これにより、1個のキャリア20のアンロード及びロードが終了する。更に、平面研磨装置100では、下定盤101から次にアンロードする加工済みワーク30を有するキャリア20を、インターナルギア103の上昇及びサンギア102の回転による各キャリアの自公転動作を行うことにより、搬送台105側の搬出入位置に移送する。
以上の動作を繰り返し行うことで、1バッチ分のキャリア20の搬出入を行うものである。
この場合にも、予備収容部P6を用いれば、動作工程としては問題なく適用することができる。
前述したように、1バッチ分の加工が終了するまでに最大2バッチ分程度の未加工ワーク30をローディング部P2にストックしておくことは、パレット10の継続的な循環運用、自動加工運転が可能であることを意味する。
図8は、ワーク回収部P4の動作を示す図である。1バッチ分の加工済みワーク30は、ワーク回収部P4の昇降式置台84に載置されたパレット10の可動中間板15(図1を参照)を可動中間板駆動装置90により水平方向に摺動させ、キャリア20に装填された加工済みワーク30をパレット10の貫通孔10aから落とし込んで行う。
すなわち、可動中間板駆動装置90は、パレット10から引き出した可動中間板15を支持する中間板支持板91と、この中間板支持板91の上方に配置されたガイド部92と、可動中間板15の嵌合孔15aに嵌合する嵌合ピン94が下端部に形成されたピン嵌合部93とを備え、ピン嵌合部93はガイド部92に沿って図8の左右方向に移動可能である。
なお、加工済みワーク30は整列状態で回収しても良いし、バラの状態で回収しても良い。
まず、図8(a)に示すようにピン嵌合部93の嵌合ピン94を可動中間板15の嵌合孔15aに嵌合させ、ピン嵌合部93をガイド部92に沿って図の右側に移動させて可動中間板15を引き出し、図8(b)の状態とする。これにより、パレット10の貫通孔10aがキャリア20内の全てのワーク30の下方に位置するため、全てのワーク30が貫通孔10aを介して回収ボックス86内の置台85の上に落下する。なお、置台85の下方に図示しない昇降装置を配置することにより落下するワーク30を受け取る高さを一定かつ最小化し、ワーク同士が接触するときの衝撃を最小化してワーク30の損傷を防止することも有効である。
更に、図8(e)に示すように、中段ハンド部40C1をパレット10の上方へ移送し、前述の図5(b)と同様に把持凸部43a,44aを把持凹部16,17に通過させて図8(f)の如く中段ハンド部40C1をパレット10の下方に配置する。この状態で昇降式置台84及び回収ボックス86を下降させると共に、中段ハンド部40C1を前後に若干移動させて図5(c)と同様の状態とし、図8(g)に示すように、中段ハンド部40C1及びパレット10を昇降式置台84から分離する。
その後、キャリア20が載置されたパレット10を中段ハンド部40C1により把持してアンローディング部P5に移送すると共に、中段ハンド部40C1を図5(b)の状態にして上方へ移動させることにより、パレット10を積層状態のパレット群の最上段に載置する。
同時に、予備収容部P6に予め保管されている、キャリア30が保持されていない空のパレット10を中段ハンド部40C2により把持してワーク回収部P4の昇降式置台84に載置し、更に、このパレット10を上段ハンド部40B2により把持してアンローディング部P5の固定式置台83に載置する。
平面研磨装置100では、次に回収する加工済みワーク30が装填されたキャリア20を先に示した手順により位置決めし、固定式置台83上のパレット10に搬出する。
その後は上記の動作を繰り返すことにより、全ての加工済みワーク30を回収し、キャリア20のみが載置されたパレット10をアンローディング部P5に移送して積層すると共に、この状態で、予備収容部P6に保管されていた空のパレット10が全てなくなるようにする。
なお、図9に示すように、ドレッサ搭載パレット10Dは専用パレット10’にドレッサ25を搭載して構成されている。
この動作を繰り返して必要数のドレッサ25を順次、平面研磨装置100に搬入し、ドレッシングを行う。
ドレッサ25を回収する際には、アンローディング部P5に積層されている専用パレット10’を昇降式置台84及び固定式置台83を介して搬送台105の端部に移送して行い、ドレッサ回収後のドレッサ搭載パレット10Dは昇降式置台84を介して予備収容部P6に積層される。
基本的に、各ハンド部40A,40B1,40B2,40C1,40C2やリフタ71〜74は位置決め制御機能を有しており、シリンダ等の単動動作においても各動作の終端を検出するためのセンサを備えている。このため、各パレット10の初期の状態を認識していれば、各パレット10の動作状況をおおよそ把握することができ、この情報に基づいて全体の動作を制御することが可能である。
本実施形態では、積層されたパレット群の上方において、上段ハンド部40B1,40B2や中段ハンド部40C1,40C2とパレットとの位置関係が重要になるが、図10のように位置検出センサS1〜S5等を配置すれば各リフタ71,72,74によるパレットの上昇端位置を検出することができ、各部の機械的な干渉の未然防止に寄与することができる。これにより、パレットの積層段数に関係なく一連の搬出入動作を確実に行うことができ、必ずしも管理情報に頼る必要もない。
すなわち、図11(a)〜(f)に示すように、開閉式置台81及びリフタ71の動作によって最下段のパレット10を積層状態のパレット群から取り出し、続いて図11(g)〜(i)に示すように、取り出したパレット10を下段ハンド部40A及びリフタ71の動作によって水平方向に移動可能にすることもできる。なお、この動作を逆にたどれば、積層状態のパレット群の最下段にパレットを挿入可能であるのは言うまでもない。
10’:専用パレット
10D:ドレッサ搭載パレット
10a:貫通孔
11,12:上部スペーサ
11a,12a:係合凸部
13,14:固定中間板
14a:キャリア位置決め治具1
14b:キャリア位置決め治具2
15:可動中間板
15a:嵌合孔
16,17:把持凹部
18,19:下部スペーサ
18a,19a:係合凹部
20:キャリア
25:ドレッサ
30:ワーク
40:ハンド部
40A:下段ハンド部
40B1,40B2:上段ハンド部
40C1,40C2:中段ハンド部
41:ハンド基部
42:基辺部
43,44:側辺部
43a,44a:把持凸部
50:ワークストッカー
60:ワーク装填ロボット
71,72,73,74:リフタ
81,82:開閉式置台
83:固定式置台
84:昇降式置台
85:置台
86:回収ボックス
90:可動中間板駆動装置
91:中間板支持板
92:ガイド部
93:ピン嵌合部
94:嵌合ピン
100:平面研磨装置
101:下定盤
102:サンギア
103:インターナルギア
104:支柱
105:搬送台
106:キャリア搬送ロボット
106a:ロボットハンド
107:上定盤支持旋回アーム
108:上定盤昇降シリンダ
109:上定盤
110:加工装置本体
111:カバー
111a:切欠部
112:インターナルギア昇降部
P1:ワーク装填部
P2:ローディング部
P3:キャリア搬出入部
P4:ワーク回収部
P5:アンローディング部
P6:予備収容部
S1〜S8:位置検出センサ
Claims (5)
- キャリアに装填されたワークの平面加工装置としての平面研磨装置または平面研削装置に対して、前記ワークを搬出入するためのワーク搬出入装置において、
ワークストッカーに貯蔵された複数の未加工ワークを、パレットに載置されたキャリアに装填するワーク装填部と、
前記ワーク装填部から未加工ワークを有するキャリアがパレットごと搬送され、当該パレットが順次下方から積層されて待機すると共に、待機状態のパレットがキャリア及び未加工ワークを保持しつつ順次上方へ搬送されるローディング部と、
前記ローディング部から順次取り出した最上段のパレットが載置される固定式置台を有し、当該パレットが前記平面加工装置の搬送台との間で搬出及び搬入されるキャリア搬出入部と、
前記平面加工装置により加工され、かつ前記キャリア搬出入部を介して順次搬出されたパレット上のキャリアから加工済みワークを分離して回収するワーク回収部と、
前記ワーク回収部から加工済みワーク回収後のキャリアを搭載したパレットが搬送され、当該パレットが順次上方から積層されて待機するアンローディング部と、
前記パレットを把持して所定位置に搬送するために鉛直方向に多段に配置された複数のハンド部と、
を少なくとも備え、
前記パレットは、
未加工ワークの厚さ以上の間隔をパレットの積層方向に確保可能なスペーサを備え、前記スペーサの各積層面にそれぞれ形成された凹部と凸部とを互いに係合させることで複数のパレットを積層可能であり、
前記ハンド部は、
未加工ワークを有するキャリアが載置された前記ワーク装填部のパレットを把持して前記ローディング部に搬送し、かつ、当該ローディング部から取り出したパレットを、前記キャリア搬出入部、前記ワーク回収部、前記アンローディング部、前記ワーク装填部の順に、把持しつつ循環搬送させることを特徴とするワーク搬出入装置。 - 請求項1に記載したワーク搬出入装置において、
前記パレットは、キャリアとの間に配置される固定中間板及び可動中間板を備え、前記ワーク回収部は、前記可動中間板の移動によりキャリアを保持したままでワークを落下させて回収する構造を有することを特徴とするワーク搬出入装置。 - 請求項1または2に記載したワーク搬出入装置において、
前記アンローディング部では、
積層された複数のパレットを開閉式置台により支持し、前記開閉式置台とその下層に配置されたリフタとの相互動作により、積層されたパレットの最下段のパレットを下段のハンド部により取り出して前記ワーク装填部に搬送すると共に、前記ワーク回収部のパレットを中段のハンド部により搬送して順次最上段から積層することを特徴とするワーク搬出入装置。 - 請求項1〜3の何れか1項に記載したワーク搬出入装置において、
前記ローディング部では、
積層された複数のパレットを開閉式置台により支持し、前記開閉式置台とその下層に配置されたリフタとの相互動作により、積層されたパレットの最上段のパレットを上段のハンド部により取り出して前記キャリア搬出入部へ搬送すると共に、前記ワーク装填部のパレットを下段のハンド部により搬送して順次最下段から積層することを特徴とするワーク搬出入装置。 - 上下定盤と、ピンギアを備えた非回転のインターナルギアと、前記インターナルギアの一部を昇降させるインターナルギア昇降部と、前記下定盤に隣接して配置され、かつ前記ピンギアの挿通孔を有する前記搬送台を介してキャリアを搬出入するキャリア搬送ロボットと、を少なくとも有する、ワークの平面加工装置としての平面研磨装置または平面研削装置と、
請求項1〜4の何れか1項に記載した前記ワーク搬出入装置と、
を備え、
加工前の工程においては、前記インターナルギア昇降部を下降させて、前記下定盤の表面、前記搬送台の表面及び前記固定式置台上の未加工ワークを搭載したパレットの前記固定中間板及び前記可動中間板の表面を連続平面として形成し、前記キャリア搬送ロボットは、前記固定中間板及び前記可動中間板の表面から前記下定盤の表面までの連続平面上で、前記未加工ワークを保持したキャリアを前記下定盤に搬入し、
加工後の工程においては、前記キャリア搬送ロボットは、前記下定盤の表面、前記搬送台の表面、及び、前記固定式置台上の加工済みワークを搭載したパレットの前記固定中間板及び前記可動中間板の表面までの連続平面上で、前記加工済みワークを保持したキャリアを前記下定盤から搬出することを特徴とする平面加工システム。
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