JP4942359B2 - ワーク加工装置 - Google Patents

Description

本発明は、水晶、シリコン、ガラス、金属その他種々の材料のワークが複数収容されたカセットを搬送し、カセットから供給されたワークの表裏面を平行平面に研磨加工するワーク加工装置に関する。

多数のワーク表面を自動的に研磨加工する装置については各種の従来技術が存在する。例えば特許文献１，２，３，４記載の従来技術などが存在する。
特許文献１（特公昭６１−５０７４９号公報）に記載の「研磨装置」では、その第１図で示すように、回転軸２８や腕体３０（あるいはロボットハンド）を用いて、同時に複数ワークに対してハンドリングにより一括してローディング、アンローディングを行うものである。

また、特許文献２（実公平３−２９０８３号公報）に記載の「ウェーハ等の搬送装置」では、その第１図で示すように、多間接ロボット２を用いてハンドリングを行い、キャリアに搭載された複数ワークを一括してローディング、アンローディングするものである。

また、特許文献３（特公平４−５７４６９号公報）に記載の「平面自動研磨装置」では、その第１図で示すように、ロボットアーム１７を用いてハンドリングを行い、複数ワークが搭載されたキャリアを一括してローディング、アンローディングするものである。

また、特許文献４（特許第３５００２６０号公報）に記載の「研磨装置」では、その図１で示すように、ローディング部１００でロボットアーム１０３を用いてハンドリングによりカセット２からワークを搬入するローディング、また、アンローディング部６００でロボットアーム６０３を用いてハンドリングによりワークをカセット２へ搬出するアンローディング、を行うものである。
従来技術の平面研磨装置はこのようなものである。

特公昭６１−５０７４９号公報（第１図） 実公平３−２９０８３号公報（第１図） 特公平４−５７４６９号公報（第１図） 特許第３５００２６０号公報（図１）

上記のような特許文献１，２，３に記載された従来技術では、遊星歯車方式の平行平面研磨装置を採用するものであったが、カセット投入からワーク搬送まで考慮されたものではなかった。
また、特許文献４に記載された従来技術では、カセットを用いて自動化を図る点について開示されていたが、カセットについて自動的に搬送する機構などは開示されておらず、カセットについては人手を要するものであり、コスト削減の観点から更なる自動化が要請されていた。

そこで、本発明は上記問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、ワークを複数枚収容したカセットを効率的に投入できるようにして滞りなくワークを加工するようなワーク加工装置を提供することにある。

本発明の請求項１に係るワーク加工装置は、
未加工のワークを複数段に複数枚収納するカセットをワーク供給位置まで搬送してカセットから各段の未加工のワークを供給し、ワーク供給後の空のカセットを搬出するカセット搬送装置と、
ワーク供給位置のカセットから供給された複数枚の未加工のワークを平行平面に加工する平行平面加工装置と、
を備えるワーク加工装置であって、
前記カセット搬送装置は、
カセットを供給するカセット供給コンベヤと、
カセット供給コンベヤから搬出されたカセットを二以上の所定個数ストックし、常時カセットを供給するようになされるバッファコンベヤと、
バッファコンベヤから搬出されたカセットをワーク供給位置にて保持してカセットからワークを供給するワーク供給装置と、
ワーク供給装置から搬出された空のカセットを搬送する空カセット搬送コンベヤと、
ワーク供給装置のカセットの位置を検出する位置決めセンサと、
バッファコンベヤの先頭付近のカセットの有無を検出する先頭位置決めセンサと、
バッファコンベヤを駆動するバッファコンベヤのコンベヤ駆動部と、
カセット供給コンベヤを駆動するカセット供給コンベヤのコンベヤ駆動部と、
位置決めセンサ、先頭位置決めセンサ、バッファコンベヤのコンベヤ駆動部およびカセット供給コンベヤのコンベヤ駆動部と接続される制御装置と、
を備え、制御装置は、ワーク供給装置から空のカセットが搬出されたと判断し後にワーク供給装置、バッファコンベヤ、カセット供給コンベヤを駆動して、カセット供給コンベヤからバッファコンベヤへ、また、バッファコンベヤからワーク供給装置へとカセットを搬送していき、ワーク供給装置の位置決めセンサからの検出信号を受けてワーク供給装置の搬送を停止し、バッファコンベヤの先頭位置決めセンサからの検出信号を受けてバッファコンベヤ、カセット供給コンベヤの搬送を停止し、ワーク供給装置から空のカセットが搬出された後にバッファコンベヤから直ちにカセットが供給されることを特徴とする。

また、本発明の請求項２に係るワーク加工装置は、
請求項１に記載のワーク加工装置において、
前記カセット供給コンベヤは、バッファコンベヤの直前にカセット待機装置を備え、このカセット待機装置は、カセットを待機させるとともに、バッファコンベヤからカセットが搬出された後に直ちにバッファコンベヤへカセットを供給することを特徴とする。

また、本発明の請求項３に係るワーク加工装置は、
請求項１または請求項２に記載のワーク加工装置において、
前記平行平面加工装置は、
ワーク供給位置にあるカセットから供給された未加工のワークを搬送する未加工ワーク搬送装置と、
未加工ワーク搬送装置から搬出されたワークを複数の載置部にそれぞれ収容するワークローディングステージと、
ワークローディングステージ上の複数枚のワークを一括してキャリヤの保持孔へ搬送するワークハンドリング装置と、
ラップ板が上側と下側とにそれぞれ配置され、水平面内に組み込まれた太陽歯車と内歯車との間に配置された複数個のキャリヤにそれぞれ複数枚のワークを挿入した後、上側のラップ板を下降させて下側のラップ板とで挟み込んだ状態で、研磨剤を供給しつつキャリヤを自転及び公転させる遊星運動と上側および下側のラップ板の相対的な回転運動とを同時に行ってワークの上下面を研磨しつつ平行とする平行平面加工部と、
平行平面加工部からワークハンドリング装置により加工済みのワークが複数の載置部に一括して配置されるワークアンローディングステージと、
ワークアンローディングステージから加工済みのワークを一枚づつ搬出する加工済みワーク搬送装置と、
を備えることを特徴とする。

また、本発明の請求項４に係るワーク加工装置は、
請求項３に記載のワーク加工装置において、
多数のワークの搬出された順番を記憶する記憶装置と、
前記平行平面加工装置のワークローディングステージ、平行平面加工部およびワークアンローディングステージにおけるワークの配置およびワークの順番を視覚的に表示するタッチパネル型表示装置と、
を備え、
タッチパネル型表示装置に表示されたワークのうち特定のワークが選択されたとき、タッチパネル型表示装置はこの特定のワークを選択する選択信号を記憶装置へ出力し、
記憶装置は選択されたワークについての選択情報を記憶する、
ことを特徴とする。

本発明によれば、ワークを複数枚収容したカセットを効率的に投入できるようにして滞りなくワークを加工するようなワーク加工装置を提供することができる。

本発明のワーク加工装置を実施するための最良の形態について説明する。図１は本形態のワーク加工装置のシステム構成図、図２は平行平面加工部へのワーク搬入の動作説明図、図３は平行平面加工部からのワーク搬出の動作説明図である。このワーク加工装置は、図１で示すように、カセット搬送装置１０、平行平面加工装置２０、ワーク搬送装置３０、表示装置４０を備えている。カセット搬送装置１０に複数のカセット５０がストックされており、カセット５０から平行平面加工装置２０へワークが自動的に順次投入されてワークの加工が行われる。なお、表示装置４０は各所に点在する表示装置４１〜４４を総称するものである。

カセット搬送装置１０は、未加工のワークを複数段に複数枚収納するカセット５０をワーク供給位置まで搬送してカセット５０から各段の未加工のワークを供給し、ワーク供給後の空のカセット５０を搬出する。カセット搬送装置１０は、詳しくは、カセット供給コンベヤ１１、バッファコンベヤ１２、ワーク供給装置１３、空カセット搬送コンベヤ１４、カセット検出センサ１５を備えている。カセット供給コンベヤ１１、バッファコンベヤ１２、ワーク供給装置１３はコンベヤラインが同じであるが、それぞれ独立してコンベヤ駆動できるようになっている。

カセット供給コンベヤ１１は、順次投入されたカセット５０を下流側へ供給する。
バッファコンベヤ１２は、カセット供給コンベヤ１１から搬出されたカセット５０を所定個数（本形態では２個）ストックして、下流側へ常時カセット５０を供給できるようにしている。

ワーク供給装置１３は、バッファコンベヤ１２から搬出されたカセット５０をワーク供給位置にて保持し、このカセット５０からワークを供給する。なお、ワーク供給装置１３は、カセットを搬送するためのコンベヤも備えており、ワーク供給後の空のカセット５０をコンベヤが排出する。
空カセット搬送コンベヤ１４は、ワーク供給装置１３から搬出された空のカセット５０を搬送する。なお、図１中では並列に配置した構成として図示しているが、好ましくは空カセット搬送コンベヤ１４をカセット供給コンベヤ１１やバッファコンベヤ１２の下側に並べた構成を採用して、省スペース化を実現する。なお、配置空間に余裕がある場合は、図１のように並列に配置した構成を採用しても良い。
カセット検出センサ１５は、後述するが図４のピッチ送りセンサ１５１、先頭位置決めセンサ１５２，１５３、位置決めセンサ１５４であり、カセットの有無を検出して検出信号を図示しない制御装置に出力する。制御装置は検出信号を用いて駆動制御（後述）を行う。

このようなカセット搬送装置１０では、特にワーク供給装置１３から空のカセット５０が搬出された後にバッファコンベヤ１２から直ちにカセット５０が供給されるようになされており、ワークの供給に滞りがないようになされている。なお、この点は本発明の特徴的部分であり、後に詳述する。

続いて、平行平面加工装置２０について説明する。
平行平面加工装置２０は、ワーク供給位置のカセット５０から供給された複数枚の未加工のワークを平行平面に加工し、ワーク搬送装置３０へ搬出する。平行平面加工装置２０は、詳しくは、未加工ワーク搬送装置２１、ワークローディングステージ２２、ワーク搬送ロボット２３、平行平面加工部２４、ワークアンローディングステージ２５、加工済みワーク搬送装置２６、ワーク検出センサ２７を備えている。

未加工ワーク搬送装置２１はカセット５０から搬出されたワークをワークローディングステージ２２へ搬送する。ワークローディングステージ２２は適宜タイミングにより回転し、全ての載置孔にワークを配置する。
続いて、ワーク搬送ロボット２３は、図２の平行平面加工部へのワーク搬入の動作説明図で示すように、ワークローディングステージ２２の４枚一組のワークを真空吸着して保持し、平行平面加工部内２４のキャリヤ２４１へ配置する。ワークローディングステージ２２の保持孔の配置・個数と、キャリヤ２４１の配置・個数は一致している。また、ワーク搬送ロボット２３の略十字状のワーク吸着部２３１は回転可能になされている。これにより、平行平面加工部２４が回転により、キャリヤ２４１を適切位置に配置した後に、ワーク搬送ロボット２３のワーク吸着部２３１を回転させて位置調節して最適位置で吸着を解除することで、キャリヤ２４１の４個の保持孔に４個のワークが一括して配置される。なお、ワーク搬送ロボット２３のワーク吸着部２３１において、例えば一つのワークに割れが発生して吸着ができない場合でも、各吸着系統が独立に作動できるようにしており、割れが発生したワーク以外を吸着してハンドリングするためその後のハンドリング動作を速やかに再開できるので、全体の動作時間を最小化することができる。これはワークアンローディング時でも同様に機能する。

平行平面加工部２４は、特に図示しないが、研磨工具である下ラップ板と上ラップ板とを有し、これら下ラップ板と上ラップ板とは互いに反対方向に回転するようになされている。これら下ラップ板と上ラップ板との間には、キャリヤ２４１が配置されている。キャリヤ２４１は、外周部が歯車状に形成され、複数個（図では５枚）配置されるのが一般的である。このキャリヤ２４１は、複数個のワークを保持孔に挿通して保持する。
これらキャリヤ２４１は内側にある太陽歯車２４２と噛み合い、さらに外側にある内歯車２４３とも噛み合っている。太陽歯車２４２および内歯車２４３は、キャリヤ２４１の外周の歯車と噛合っており、自転しつつ公転するという遊星運動をキャリヤ２４１に行わせる。平行平面加工部２４の加工動作を行わせるときは、ワークを保持した状態のキャリヤ２４１を、下ラップ板の上に載置する。そして上側から上ラップ板を配置してワークを上ラップ板および下ラップ板により挟んだ状態とし、キャリヤ２４１に遊星運動をさせてワークの上下面は平行平面に加工される。

平行平面研磨加工されたワークは平行平面加工部２４から排出される。詳しくは、図３の平行平面加工部からのワーク搬出の動作説明図で示すように、ワーク搬送ロボット２３はキャリヤ２４１の４枚一組のワークを真空吸着して保持し、ワークアンローディングステージ２５へ取り出す。キャリヤ２４１の保持孔の配置・個数と、ワークアンローディングステージ２５の保持孔の配置・個数と、は一致し、また、ワーク搬送ロボット２３の十字状のワーク吸着部２３１は回転可能になされている。これにより、平行平面加工部２４が回転により、キャリヤ２４１を適切位置に配置した後に、ワーク搬送ロボット１３のワーク吸着部２３１を回転させて位置調節して最適位置で吸着し、ワークアンローディングステージ２５まで搬送して吸着を解除することで、ワークアンローディングステージ２５の載置孔に４個一組のワークが一括して載置される。

ワークアンローディングステージ２５は、図１で示すように、ワークアンローディングステージ２５の載置孔の下側に加工済みワーク搬送装置２６が入り込んでおり、ワークアンローディングステージ２５の載置孔からワークがワーク搬送装置３０へ搬出される。ワーク搬送装置３０は順次ワークを搬送していくため、ワークアンローディングステージ２５からワークが順次搬送される。そしてワークアンローディングステージ２５の載置孔が全て空になった後で、ワーク搬送ロボット２３が他のキャリヤ２４１の４枚一組のワークをワークアンローディングステージ２５へ搬送する。
以下、同様の動作を繰り返して、平行平面加工装置２０はワークを排出する。平行平面加工装置２０はこのようなものである。

続いてワーク搬送装置３０について説明する。ワーク搬送装置３０は、平行平面加工装置２０から搬出されたワークを搬送する装置であり、図１で示すようにワーク搬出コンベヤ３１、洗浄機３２を備えている。
ワーク搬出コンベヤ３１は、加工済みワーク搬送装置２６から搬送されたワークを、そのまま搬出する。
洗浄機３２は、加工済みワーク搬送装置２６から搬出されたワークを洗浄しつつ下流へ搬送する。
ワーク加工装置１はこのように構成される。

続いて本発明の特徴的部分であるカセット搬送装置１０の詳細について説明する。
カセット搬送装置１０は、特にカセット供給コンベヤ１１とワーク供給装置１３との間にカセット５０をストックするバッファコンベヤ１２を介在させたため、ワーク供給装置１３から空のカセット５０が搬出された後にバッファコンベヤ１２から直ちにカセット５０が供給されて、平行平面加工装置２０に滞りなくワークが供給される点を特徴としている。以下、図を参照しつつカセット搬送装置１０の動作について説明する。図４〜図６はカセット搬送装置の動作説明図である。

カセット搬送装置１０は、図４（ａ）で示すように、各種センサが設置されている。
カセット供給コンベヤ１１にはピッチ送りセンサ１５１、先頭位置決めセンサ１５２が設置されるとともに、これらはシーケンサなどの制御装置に接続される。さらにこのカセット供給コンベヤ１１の制御装置はカセット供給コンベヤ１１のコンベヤ駆動部と接続され、制御装置により駆動・停止が制御される。また、この制御装置は図示しない報知装置に接続されており、カセット供給コンベヤ１１へのカセット供給の督促やカセット供給の禁止を報知する。さらにこの制御装置には図示しないカセット送りスイッチ、 投入終了スイッチも接続されている。

バッファコンベヤ１２には先頭位置決めセンサ１５３が設置されるとともにこれらはシーケンサなどの制御装置に接続される。さらにこのバッファコンベヤ１２の制御装置はバッファコンベヤ１２のコンベヤ駆動部と接続され、制御装置により駆動・停止が制御される。
ワーク供給装置１３には位置決めセンサ１５４が設置されるとともにこれらはシーケンサなどの制御装置に接続される。ワーク供給装置１３はワーク押し出し部、コンベヤ、昇降部を備え持っており、ワーク供給装置１３の制御装置はワーク供給装置１３のワーク供給駆動部、コンベヤ駆動部、昇降駆動部と接続され、この制御装置により駆動・停止が制御される。

続いてカセット搬送装置１０の一連の動作について説明する。
図４（ａ）はカセット５０が投入されていない初期状態を示す。
ワーク供給装置１３の制御装置は、位置決めセンサ１５４の検出信号から、カセットがない状態でワーク供給装置準備中であると判定する。状態情報はワーク供給装置準備中となる。そして、ワーク供給装置１３の制御装置は、移送要求を下流側のバッファコンベヤ１２の制御装置へ出力する。
バッファコンベヤ１２の制御装置は、先頭位置決めセンサ１５３の検出信号から、カセットがない状態でバッファコンベヤ準備中であると判定する。状態情報はワーク供給装置準備中・バッファコンベヤ準備中となる。そして、バッファコンベヤ１２の制御装置は、移送要求を下流側のカセット供給コンベヤ１１の制御装置へ出力する。

カセット供給コンベヤ１１の制御装置は、先頭位置決めセンサ１５２の検出信号から、カセットがない状態でカセット供給コンベヤ準備中であると判定する。状態情報はワーク供給装置準備中・バッファコンベヤ準備中・カセット供給コンベヤ準備中となる。そして、カセット供給コンベヤ１１の制御装置は、カセット供給コンベヤ準備中であるため、報知装置にカセット供給コンベヤ１１へのカセットの供給を督促するような報知を行わせる。報知としてはカセット投入口で「カセット投入ＯＫ」という表示や、投入を督促するための「カセットを投入してください」という表示・音声出力などである。

図４（ｂ）はカセット供給コンベヤ１１に順次カセット５０を投入するカセット投入状態を示す。
作業員はカセット５０をカセット供給コンベヤ１１に投入する。投入したカセット５０の照合処理を行った後で、作業員がカセット送りスイッチをＯＮにすると、カセット供給コンベヤ１１は搬送を開始する。そして、カセット５０の先頭がピッチ送りセンサ１５１の検出ラインまで搬送されたときに、カセット供給コンベヤ１１の制御装置はピッチ送りセンサ１５１からの検出信号によりカセットが所定位置にあると判定して、カセット供給コンベヤ１１の搬送を一旦停止する。このような制御は、カセット５０を適正間隔でカセット供給コンベヤ１１上に配列させるために行われる。

このような投入を複数回（本形態では４回としている）繰り返した後に、投入終了スイッチをＯＮにすると、カセット供給コンベヤ１１の制御装置は最大個数（本形態では４個となる）のカセット５０がカセット供給コンベヤ１１に投入されたことを検出する。さらに先頭位置決めセンサ１５２の検出信号から、カセット供給コンベヤ１１の制御装置はカセット５０がバッファコンベヤ１２の直前まで到達したと判断してカセット供給コンベヤ１１の搬送を停止する。この場合、図４（ｂ）で示すような状態となっている。カセット供給コンベヤ１１の制御装置は報知装置に「カセット投入できません」という表示・音声出力を行い、以後の投入制御（スイッチ関係）を一旦無効とする。そして、管理装置のカセット保有情報を更新する。カセット保有情報は、「ワーク供給装置：なし、バッファコンベヤ：なし、カセット供給コンベヤ：ＮＯ１，２，３，４あり」というものである。状態情報はワーク供給装置準備中・バッファコンベヤ準備中・カセット供給コンベヤ準備ＯＫとなる。

図５（ａ）はバッファコンベヤ１２へのカセット移送を示す。
状態がバッファコンベヤ準備中・カセット供給準備ＯＫのときに、カセット供給コンベヤ１１からバッファコンベヤ１２へカセット５０を搬送する。カセット供給コンベヤ１１の制御装置がカセット供給コンベヤ１１を駆動するとともにバッファコンベヤ１２の制御装置がバッファコンベヤ１２を駆動して、カセット供給コンベヤ１１からバッファコンベヤ１２へカセット５０を搬送していく。そして、バッファコンベヤ１２の先頭位置決めセンサ１５３の検出ラインにカセット５０が到達して検出信号が出力されると、バッファコンベヤ１２の制御装置は、バッファコンベヤ１２の先頭にカセット５０が到達したと判断してバッファコンベヤ１２の搬送を停止するとともにバッファコンベヤ１２への移送停止要求をカセット供給コンベヤ１１の制御装置へ行う。移送停止要求を受けたカセット供給コンベヤ１１の制御装置は、先頭位置決めセンサ１５２からの検出信号が出力されたときにカセット５０が先頭に到達したと判断するとともにカセット供給コンベヤ１１の搬送を停止する。この場合、図５（ａ）で示すようにバッファコンベヤ１２にカセット５０がストックされた状態となる。状態情報はワーク供給装置準備中・バッファコンベヤ準備ＯＫ・カセット供給コンベヤ準備ＯＫとなる。そして、管理装置のカセット保有情報を更新する。カセット保有情報は、「ワーク供給装置：なし、バッファコンベヤ：ＮＯ１，２あり、カセット供給コンベヤ：ＮＯ３，４あり」というものである。

図５（ｂ）はワーク供給装置１３へのカセット移送を示す。
状態情報がワーク供給装置準備中・バッファコンベヤ準備ＯＫ・カセット供給コンベヤ準備ＯＫのときにカセット供給コンベヤ１１・バッファコンベヤ１２・ワーク供給装置１３の全てのコンベヤを駆動させてカセット５０を順次移送する。
ワーク供給装置１３の制御装置がワーク供給装置１３を駆動するとともにバッファコンベヤ１２の制御装置がバッファコンベヤ１２を駆動して、バッファコンベヤ１２からワーク供給装置１３へカセット５０を搬送し、同時にカセット供給コンベヤ１１の制御装置がカセット供給コンベヤ１１も駆動して、カセット供給コンベヤ１１からバッファコンベヤ１２へもカセット５０を搬送していく。ワーク供給装置１３では、位置決めセンサ１５４からの検出信号を受けてワーク供給装置１３の制御装置がワーク供給装置１３の搬送を停止する。バッファコンベヤ１２やカセット供給コンベヤ１１へも移送停止要求が順次送られて前述のような処理を行って同様に搬送を停止する。この場合、図５（ｂ）で示すようにカセット５０が一個送りされた状態となる。先頭位置決めセンサ１５２，１５３や位置決めセンサ１５４から検出信号が出力されているため、状態情報はワーク供給装置準備ＯＫ・バッファコンベヤ準備ＯＫ・カセット供給コンベヤ準備ＯＫとなる。そして、管理装置のカセット保有情報を更新する。カセット保有情報は、「ワーク供給装置：ＮＯ１あり、バッファコンベヤ：ＮＯ２，３あり、カセット供給コンベヤ：ＮＯ４あり」というものである。そして、ワーク供給装置１３のワーク供給駆動部がワーク押し出し部を駆動させて平行平面加工装置２０へワークを順次供給していく。

図６（ａ）はカセット５０の交換・移送を示す。
カセット５０から全てのワークを供給すると、ワーク供給装置１３ではカセット交換・移送が行われる。まず、ワーク供給装置１３の制御装置の制御により昇降部を駆動するとワーク供給装置１３全体が下降して下側の空カセット搬送コンベヤ１４と同じコンベヤラインで停止する。そしてワーク供給装置１３のコンベヤと空カセット搬送コンベヤ１４とが同時に駆動されてカセット５０を空カセット搬送コンベヤ１４へ排出する。そして、空になったワーク供給装置１３が元の位置まで上昇する。ワーク供給装置１３はカセット５０がない状態となっている。この時、状態情報はワーク供給装置準備中・バッファコンベヤ準備ＯＫ・カセット供給コンベヤ準備ＯＫであることから、続いてカセット供給コンベヤ１１やバッファコンベヤ１２によりカセット５０の搬送を行う。
上記のようにワーク供給装置１３、バッファコンベヤ１２、カセット供給コンベヤ１１が駆動して、カセット供給コンベヤ１１からバッファコンベヤ１２へ、また、バッファコンベヤ１２からワーク供給装置１３へとカセットを搬送していく。ワーク供給装置１３では、位置決めセンサ１５４からの検出信号を受けてワーク供給装置１３の制御装置がワーク供給装置１３の搬送を停止する。バッファコンベヤ１２やカセット供給コンベヤ１１へも移送停止要求が順次送られて前述のような処理を行って同様に搬送を停止する。この場合、図６（ａ）で示すようにカセット５０が一個送りされた状態となる。位置決めセンサ１５４や先頭位置決めセンサ１５３から検出信号が出力されているが先頭位置決めセンサ１５２検出信号からは出力されておらず、状態情報はワーク供給装置準備ＯＫ・バッファコンベヤ準備ＯＫ・カセット供給コンベヤ準備中となる。そして、管理装置のカセット保有情報を更新する。カセット保有情報は、「ワーク供給装置：ＮＯ２あり、バッファコンベヤ：ＮＯ３，４あり、カセット供給コンベヤ：なし」というものである。
カセット供給コンベヤ１１の制御装置は、カセット供給コンベヤ準備中であると判定して、報知装置にカセット供給コンベヤ１１へのカセットの供給を督促するような報知を行わせる。以後の投入制御（スイッチ関係）を再度有効とする。

図６（ｂ）は、カセット供給コンベヤ１１に順次カセット５０を投入するカセット再投入状態を示す。
図４（ｂ）を用いて説明したカセット投入と同様に４個のカセット投入作業を行うと、図６（ｂ）で示すようにカセット供給ライン１１、バッファライン１２、ワーク供給装置１３の全てにカセット５０が存在するような状態となる。カセット供給ライン１１の制御装置は、報知装置に「カセット投入できません」と表示・音声出力させ、以後の投入制御（スイッチ関係）を一旦無効とする。そして、管理装置のカセット保有情報を更新する。カセット保有情報は、「ワーク供給装置：ＮＯ２、バッファコンベヤ：ＮＯ３，４、カセット供給コンベヤ：ＮＯ５，６，７，８」というものである。

このように本発明の特徴をなすカセット搬送装置１０では、特にバッファコンベヤ１２にカセット５０が常時ストックされた状態が維持されるため、ワーク供給装置１３から空のカセット５０が搬出された後にバッファコンベヤ１２から直ちにカセット５０が供給されることとなり、ワーク供給は途絶えることがなく、ワーク加工を連続して行うことができるようになる。
また、バッファコンベヤ１２は、本形態のように２個以上複数個のカセット５０をストックできるようにすることで、バッファコンベヤ１２から連続して複数個のカセット５０をワーク供給装置１３へ投入できるため、カセット供給は途絶えることがなく、この点でもワーク加工を連続して行うことができる。

続いて、先に説明した形態をさらに改良した形態について説明する。まず、改良点について図を参照しつつ説明する。図７，図８カセット搬送装置の動作説明図、図９は先の形態との比較図である。先に説明した形態ではカセット供給コンベヤ１１やバッファコンベヤ１２の先頭にカセット５０があることがセンサにより検出されると、搬送は停止されるというものであった。このようなカセット搬送装置１０では、図６（ａ）のようにカセット供給コンベヤ１１にカセットがない状態のときを選んでカセットを投入すれば、図６（ｂ）のようにカセット供給装置１０の全ての箇所に投入できる。
しかしながら、図６（ａ）の状態で投入時期が遅れて図７（ａ）で示すようにバッファコンベヤ１２に一個のカセット５０がある状態となった場合、カセット供給コンベヤ１１へは投入できてもバッファコンベヤ１２まで投入できずに図７（ｂ）の状態、図８（ｂ）の状態へと移行し、最後に図６（ａ）の状態になって始めてカセット５０を４個まとめて投入できるというものであり、換言すればそれまではカセット５０の投入ができないということであり、作業員は投入時期が制約されており、投入時期が来るまで常時監視する必要があった。

また、図６（ａ）の状態で投入時期が遅れて図８（ａ）で示すようにバッファコンベヤ１２にカセット５０がない状態となった場合、カセットを投入すると、図８（ｂ）の状態を経てから、最後に図６（ａ）の状態になってカセットを４個まとめて投入できるというものであり、この場合も作業員は投入時期が制約されており、やはり投入時期が来るまで常時監視する必要があった。

そこで、先の形態では図９（ａ）で示すようにカセット供給コンベヤ１１の先頭にカセット５０がない場合しかカセット投入ができなかった点を改良し、本形態では図９（ｂ）で示すように、バッファコンベヤ１２の直前でカセット供給コンベヤ１１にカセット待機装置１２０を設け、少なくともこのカセット待機装置１２０へは何時でもカセット投入をできるようにして、カセット供給コンベヤ１１へカセット５０を投入できる期間を大幅に増やす。
また、カセット待機装置１２０は、カセット５０を常時待機させるとともに、バッファコンベヤ１２からカセット５０が搬出された後に直ちにバッファコンベヤ１２へカセット５０を供給するようにした。つまり、バッファコンベヤ１２が動くときにカセット待機装置１２０がカセット５０を必ず供給するため、バッファコンベヤ１２は２個のカセット５０を必ずストックする。これによりワーク供給装置１３へカセット５０が供給されないような事態の発生するおそれを低減する。

以下本形態について図を参照しつつ説明する。図１０は、本形態のワーク加工装置のうちカセット搬送装置の構成図、図１１はカセット投入装置の説明図、図１２はカセット待機装置の説明図、図１３はワーク供給装置の説明図であり、図１３（ａ）はカセット搬送時の説明図、図１３（ｂ）は第１昇降装置上昇時の説明図、図１３（ｃ）は第２昇降装置下降時の説明図である。

本形態でも図１で示した先の形態と同様に、カセット搬送装置１０、平行平面加工装置２０、ワーク搬送装置３０、表示装置４０を備えている。カセット搬送装置１０に複数のカセット５０がストックされており、カセット５０から平行平面加工装置２０へワークが自動的に順次投入されてワークの加工が行われる。表示装置４０は各所に点在する表示装置４１〜４４を総称するものである。なお、平行平面加工装置２０、ワーク搬送装置３０は先の形態と共通する構成であり、同じ符号を付すとともに重複する説明を省略する。

カセット搬送装置１０は、未加工のワークを複数段に複数枚収納するカセット５０をワーク供給位置まで搬送してカセットから各段の未加工のワークを供給し、ワーク供給後の空のカセット５０を搬出する。カセット搬送装置１０は、詳しくは、カセット供給コンベヤ１１、バッファコンベヤ１２、ワーク供給装置１３、空カセット搬送コンベヤ１４を備えているが、特に図１０で示すように、カセット供給装置１１にカセット投入装置１１０、カセット昇降装置１２０を配置した点、また、空カセット搬送コンベヤ１４を下側に配置した点、が明瞭となっている。先の形態と同様にカセット供給コンベヤ１１、バッファコンベヤ１２、ワーク供給装置１３はコンベヤラインが同じであるが、それぞれ独立して搬送できるようになっている。

まず、各装置について説明する。
カセット供給コンベヤ１１は、順次投入されたカセット５０を下流側のバッファコンベヤ１２へ供給するためのコンベヤである。カセット投入装置１１０からカセット待機装置１２０までは同じコンベヤによりカセット５０が搬送される。
カセット投入装置１１０は、未加工の複数ワークが多段に収容されたカセット５０をカセット搬送装置１０へ投入するための装置である。カセット投入装置１１０は、詳しくは図１１のカセット投入装置の説明図で示すように、カセット投入台１１１、投入防止板１１２、カセット挿入ガイド１１３、昇降装置１１４、昇降式カセット挿入ガイド１１５、ガイド直動機構１１６、カセット位置決めガイド１１７、搬送体１１８を備える。

作業員により未加工の複数ワークが搭載されたカセット５０がカセット投入台１１１へ載置される。「カセット投入ができません」の表示時にこのカセット投入台１１１にカセット５０を載置した時には、投入防止板１１２は物理的にカセット５０を投入できないように投入路を遮蔽し、「カセット投入ＯＫ」の表示時に投入防止板１１２が移動して投入可能となり、作業員がカセット５０を搬送路上へ押し込むと、カセット挿入ガイド１１３により投入に最適な位置に誘導・載置される。カセット５０は、カセット挿入ガイド１１３により矢印ａ方向へのみ移動するように誘導される。そして、昇降式カセット挿入ガイド１１５はカセット５０を上側へ上昇させるようなガイドであり、カセット５０も上側へ移動し、さらにカセット位置決めガイド１１７により搬送路上側で固定される。

そして、下流側が空いたときに、カセット送りスイッチを押して昇降装置１１４が昇降式カセット挿入ガイド１１５を下降させてカセット５０をベルトなどの搬送体１１８に載せるとともに、ガイド直動機構１１６がカセット位置決めガイド１１７を矢印ａ方向へ移動させてカセット５０の拘束を解き、搬送体１１８によりカセット５０が搬送路上を移動していき、カセット供給コンベヤ１１へカセット５０が供給される。カセット搬送装置１１０はこのように構成されている。

カセット待機装置１２０は、詳しくは図１２のカセット待機装置の説明図で示すように、昇降装置１２１、搬送体１２２を備えている。
搬送体１２２上をカセット５０が搬出されて、昇降装置１２１の上側にくると昇降装置１２１がカセット５０を上昇させて搬送体１２２と接しないようにする。搬送させるには昇降装置１２１がカセット５０を下降させて搬送体１２２と接するようにする。カセット５０は搬送体１２２の駆動力により下流へ搬送される。なお、昇降装置１２１は複数個（図９，図１０では２個）配置されている。

ワーク供給装置１３は、詳しくは図１３のワーク供給装置の説明図で示すように、搬送体１３１、保持部１３２、第１昇降装置１３３、第２昇降装置１３４を備えている。また、図示しないワーク押し出し部も形成されている。

図１３（ａ）で示すように、ワーク供給装置１３へカセット５０が搬入されると、続いて図１３（ｂ）で示すように、まず、第１昇降装置１３３により保持部１３２が上昇して、搬送体１３１から離れてカセット５０が保持される。この状態で、上下にわたる各段のワークの排出が開始される。まず、最下段にあるワークの押し出しを行った後で第２昇降装置１３４が下降して第１昇降装置１３３・保持部１３２とともにカセット５０を次段のワークを排出する位置まで下降させてワークを押し出す。そして、このような処理は、カセット５０内のワークがなくなるまで続けられ、カセット５０からワークが全て搬出された後、第２昇降装置１３４はさらにカセット５０を下降させて空カセット搬送コンベヤ１４とコンベヤラインが同じになるようにし（図１０（ｂ），図１３（ｃ）参照）、さらに第１昇降装置１３３が保持部１３２を下降させて空のカセット５０を搬送体１３１に接触させて空カセット搬送コンベヤ１４へ搬出する（図１０（ｂ）参照）。
空カセット搬送コンベヤ１４は、搬送体を備え、ワーク供給装置１３から搬出された空のカセット５０を搬送体の駆動により搬送する。
カセット搬送装置１０の各装置はこのように構成されている。

続いてカセット搬送装置１０の一連の動作について説明する。
図１４（ａ）はカセット５０が投入されていない初期状態を示す。
ワーク供給装置１３の制御装置は、位置決めセンサ１６６の検出信号から、カセットがない状態でワーク供給装置準備中であると判定する。状態情報はワーク供給装置準備中となる。そして、ワーク供給装置１３の制御装置は、移送要求を下流側のバッファコンベヤ１２の制御装置へ出力する。
バッファコンベヤ１２の制御装置は、先頭位置決めセンサ１６５の検出信号から、カセットがない状態でバッファコンベヤ準備中であると判定する。状態情報はワーク供給装置準備中・バッファコンベヤ準備中となる。そして、バッファコンベヤ１２の制御装置は、移送要求を下流側のカセット供給コンベヤ１１の制御装置へ出力する。

カセット供給コンベヤ１１の制御装置は、先頭位置決めセンサ１６４，１６３，１６２の検出信号から、カセット５０がない状態でカセット供給コンベヤ準備中であると判定する。状態情報はワーク供給装置準備中・バッファコンベヤ準備中・カセット供給コンベヤ準備中となる。そして、カセット供給コンベヤ１１の制御装置は、状態がカセット供給コンベヤ準備中であるため、報知装置にカセット供給コンベヤ１１へのカセットの供給を督促するような報知を行わせる。報知としてはカセット投入口で「カセット投入ＯＫ」という表示や、投入を督促するための「カセットを投入してください」という表示・音声出力などである。

図１４（ｂ）はカセット供給コンベヤ１１に順次カセット５０を投入するカセット投入状態を示す。
作業員はカセット投入装置１１０を用いてカセット５０をカセット供給コンベヤ１１に投入する。カセット投入装置１１０を用いることで、最適な搬送位置で効率的に投入することができる。投入したカセット５０の照合処理を行った後で、作業員がカセット送りスイッチをＯＮにすると、カセット供給コンベヤ１１は搬送を開始する。そして、カセット５０の先頭がピッチ送りセンサ１６１の検出ラインまで搬送されたときに、カセット供給コンベヤ１１の制御装置はピッチ送りセンサ１６１からの検出信号によりカセット５０が所定位置にあると判定して、カセット供給コンベヤ１１の搬送を一旦停止する。このような制御は、カセット５０を適正間隔でカセット供給コンベヤ１１上に配列させるために行われる。

このような投入を複数回（本形態では例示のため４回としている）繰り返した後に、投入終了スイッチをＯＮにすると、カセット供給コンベヤ１１の制御装置は最大個数（本形態では４個となる）のカセット５０がカセット供給コンベヤ１１に投入されたことを検出する。さらに先頭位置決めセンサ１６４の検出信号から、カセット供給コンベヤ１１の制御装置はカセット５０がバッファコンベヤ１２の直前まで到達したと判断してカセット供給コンベヤ１１の搬送を停止する。この場合、図１４（ｂ）で示すような状態となっている。なお、バッファコンベヤ準備中でただちに搬送されることとなるため、カセット待機装置１２０は利用されない。カセット供給コンベヤ１１の制御装置は報知装置に「カセット投入できません」という表示・音声出力を行い、以後の投入制御（スイッチ関係）を一旦無効とする。そして、管理装置のカセット保有情報を更新する。カセット保有情報は、「ワーク供給装置：なし、バッファコンベヤ：なし、カセット供給コンベヤ：ＮＯ１，２，３，４あり」というものである。状態情報はワーク供給装置準備中・バッファコンベヤ準備中・カセット供給コンベヤ準備ＯＫとなる。

図１５（ａ）はバッファコンベヤ１２へのカセット移送を示す。
状態がバッファコンベヤ準備中・カセット供給準備ＯＫのときに、カセット供給コンベヤ１１からバッファコンベヤ１２へのカセット移送動作を行う。上記のようにバッファコンベヤ１２、カセット供給コンベヤ１１が駆動して、カセット供給コンベヤ１１からバッファコンベヤ１２へとカセット５０を搬送していく。そして、バッファコンベヤ１２の先頭位置決めセンサ１６５の検出ラインにカセット５０が到達して検出信号が出力されると、バッファコンベヤ１２の制御装置は、バッファコンベヤ１２の先頭にカセット５０が到達したと判断してバッファコンベヤ１２の搬送を停止するとともにバッファコンベヤ１２への移送停止要求をカセット供給コンベヤ１１の制御装置へ行う。移送停止要求を受けたカセット供給コンベヤ１１の制御装置は、位置決めのため、先頭位置決めセンサ１６４からの検出信号が出力されたときにカセット５０が先頭に到達したとしてカセット供給コンベヤ１１の搬送を停止する。この場合、図１５（ａ）で示すようにバッファコンベヤ１２にカセット５０がストックされた状態となる。なお、ワーク供給装置準備中でただちに搬送されることとなるため、カセット待機装置１２０は利用されない。状態情報はワーク供給装置準備中・バッファコンベヤ準備ＯＫ・カセット供給コンベヤ準備ＯＫとなる。そして、管理装置のカセット保有情報を更新する。カセット保有情報は、「ワーク供給装置：なし、バッファコンベヤ：ＮＯ１，２あり、カセット供給コンベヤ：ＮＯ３，４あり」というものである。

図１５（ｂ）はワーク供給装置１３へのカセット移送を示す。
状態情報がワーク供給装置準備中・バッファコンベヤ準備ＯＫ・カセット供給コンベヤ準備ＯＫのときにカセット供給コンベヤ１１・バッファコンベヤ１２・ワーク供給装置１３の全てのコンベヤを駆動させてカセットを順次移送する。上記のようにワーク供給装置１３、バッファコンベヤ１２、カセット供給コンベヤ１１が駆動して、カセット供給コンベヤ１１からバッファコンベヤ１２へ、また、バッファコンベヤ１２からワーク供給装置１３へとカセット５０を搬送していく。ワーク供給装置１３では、位置決めセンサ１６６からの検出信号を受けてワーク供給装置１３の制御装置がワーク供給装置１３の搬送を停止する。バッファコンベヤ１２やカセット供給コンベヤ１１でも停止要求がなされて同様に搬送を停止する。この場合、図１５（ｂ）で示すようにカセット５０が一個送りされた状態となる。位置決めセンサ１６６や先頭位置決めセンサ１６５，１６４から検出信号が出力されているが先頭位置決めセンサ１６３，１６２からは検出信号が出力されていないため、状態情報はワーク供給装置準備ＯＫ・バッファコンベヤ準備ＯＫ・カセット供給コンベヤ準備中となる。そして、管理装置のカセット保有情報を更新する。カセット保有情報は、「ワーク供給装置：ＮＯ１あり、バッファコンベヤ：ＮＯ２，３あり、カセット供給コンベヤ：ＮＯ４あり」というものである。カセット供給コンベヤ１１の制御装置は、カセット供給コンベヤ準備中であるため、報知装置にカセット供給コンベヤ１１へのカセットの供給を督促するような報知を行わせる。また、以後の投入制御（スイッチ関係）を再度有効とする。この際に、カセット待機装置１２０のうち先頭位置決めセンサ１６４から検出信号が出力されている昇降装置１２１を上昇させる。これによりカセット待機装置１２０で待機させているカセット５０を搬送させることなくコンベヤ駆動を行うことができる。またこれと並行して、ワーク供給装置１３ではワーク供給駆動部がワーク押し出し部を駆動させて平行平面加工装置２０へワークを順次供給していく。

図１６（ａ）は、カセット供給コンベヤ１１に順次カセット５０を投入するカセット再投入状態を示す。図１４（ｂ）を用いて説明したカセット投入と同様の投入作業を行うが、カセット待機装置１２０の挙動が相違する。
作業員はカセット５０をカセット供給コンベヤ１１に投入する。投入したカセットの照合処理を行った後で、作業員がカセット送りスイッチをＯＮにすると、カセット供給コンベヤ１１は搬送を開始する。そして、カセットの先頭がピッチ送りセンサ１６１の検出ラインまで搬送されたときに、カセット供給コンベヤ１１の制御装置はピッチ送りセンサ１６１からの検出信号によりカセットが所定位置にあると判定して、カセット供給コンベヤ１１の搬送を一旦停止する。

このような投入を３回繰り返した後に、投入終了スイッチをＯＮにすると、カセット供給コンベヤ１１の制御装置は最大個数（本形態では４個となる）のカセット５０がカセット供給コンベヤ１１に投入されたことを検出する。さらに先頭位置決めセンサ１６３の検出信号から、カセット供給コンベヤ１１の制御装置は昇降装置１２１上のカセット５０の直後に、投入したカセット５０が到達したと判断してカセット供給コンベヤ１１の搬送を停止する。この場合、図１６（ａ）で示すようにカセット供給ライン１１、バッファライン１２、ワーク供給装置１３の全てにカセット５０があるような状態となる。そして、バッファコンベヤ準備ＯＫとなるため昇降装置１２１は下降して、通常状態のカセット供給装置１１に戻る。カセット供給コンベヤ１１の制御装置は報知装置に「カセット投入できません」という表示・音声出力を行い、以後の投入制御（スイッチ関係）を一旦無効とする。そして、管理装置のカセット保有情報を更新する。カセット保有情報は、「ワーク供給装置：ＮＯ１あり、バッファコンベヤ：ＮＯ２，３あり、カセット供給コンベヤ：ＮＯ４，５，６，７あり」というものである。状態情報はワーク供給装置準備ＯＫ・バッファコンベヤ準備ＯＫ・カセット供給コンベヤ準備ＯＫとなる。

図１６（ｂ）はカセット５０の交換・移送を示す。
カセット５０から全てのワークを供給すると、ワーク供給装置１３ではカセット交換・移送が行われる。まず、ワーク供給装置１３の制御装置の制御により第２昇降装置１３４を駆動するとワーク供給装置１３全体が下降して空カセット搬送コンベヤ１４と同じコンベヤラインとなって停止する。そしてワーク供給装置１３のコンベヤと空カセット搬送コンベヤ１４とが同時に駆動されてカセット５０を空カセット搬送コンベヤ１４へ排出する。そして、空になったワーク供給装置１３が元の位置まで上昇する。ワーク供給装置１３はカセット５０がない状態となっている。この時、状態情報はワーク供給装置準備中・バッファコンベヤ準備ＯＫ・カセット供給コンベヤ準備ＯＫであることから、カセット供給コンベヤ１１やバッファコンベヤ１２によりカセット５０の搬送を行う。上記のようにワーク供給装置１３、バッファコンベヤ１２、カセット供給コンベヤ１１が駆動して、カセット供給コンベヤ１１からバッファコンベヤ１２へ、また、バッファコンベヤ１２からワーク供給装置１３へとカセット５０を搬送していく。ワーク供給装置１３では、位置決めセンサ１６６からの検出信号を受けてワーク供給装置１３の制御装置がワーク供給装置１３の搬送を停止する。バッファコンベヤ１２やカセット供給コンベヤ１１でも前述のような処理を行って同様に搬送を停止する。この場合、図１６（ｂ）で示すようにカセット５０が一個送りされた状態となる。位置決めセンサ１６６や先頭位置決めセンサ１６５，１６４、１６３，１６２から検出信号が出力されているため、状態情報はワーク供給装置準備ＯＫ・バッファコンベヤ準備ＯＫ・カセット供給コンベヤ準備ＯＫとなる。そして、管理装置のカセット保有情報を更新する。カセット保有情報は、「ワーク供給装置：ＮＯ２あり、バッファコンベヤ：ＮＯ３，４あり、カセット供給コンベヤ：５，６，７あり」というものである。この状態ではＮＯ．７のカセット５０が昇降装置１２１に乗らないため、コンベヤを動かすことができず、カセット投入を行わない。

図１７（ａ）はカセット５０の交換・移送を示す。
ワーク供給装置１３でさらにカセット交換・移送が行われると、図１７（ａ）で示すように、カセット供給コンベヤ１１では２個のカセット５０が昇降装置に乗る位置にあってコンベヤを動かすことができるためカセット投入を行うことができる。位置決めセンサ１６２がカセットのないことを検出するため、状態情報はワーク供給装置準備ＯＫ・バッファコンベヤ準備ＯＫ・カセット供給コンベヤ準備中となる。カセット供給コンベヤ１１の制御装置は、カセット供給コンベヤ準備中であるため、報知装置にカセット供給コンベヤ１１へのカセットの供給を督促するような報知を行わせ、以後の投入制御（スイッチ関係）を有効とする。この際に、カセット待機装置１２０のうち先頭位置決めセンサ１６４，１６３から検出信号が出力されている両方の昇降装置１２１を上昇させる。これによりカセット待機装置１２０で待機させている両方のカセット５０を搬送させることなく、コンベヤ駆動をすることができる。またこれと並行して、ワーク供給装置１３ではワーク供給駆動部がワーク押し出し部を駆動させて平行平面加工装置２０へワークを順次供給していく。

作業員はカセット５０をカセット供給コンベヤ１１に投入する。投入したカセットの照合処理を行った後で、作業員がカセット送りスイッチをＯＮにすると、カセット供給コンベヤ１１は搬送を開始する。
このような投入を２回繰り返した後に、投入終了スイッチをＯＮにすると、カセット供給コンベヤ１１の制御装置は最大個数（本形態では４個となる）のカセット５０がカセット供給コンベヤ１１に投入されたことを検出する。さらに先頭位置決めセンサ１６２の検出信号から、カセット供給コンベヤ１１の制御装置は昇降装置１２１上のカセット５０の直後に、投入したカセット５０が到達したと判断してカセット供給コンベヤ１１の搬送を停止する。この場合、図１７（ｂ）で示すようにカセット供給ライン１１、バッファライン１２、ワーク供給装置１３の全てにカセット５０があるような状態となる。そして、バッファコンベヤ準備ＯＫとなるため昇降装置１２１は下降して、通常状態のカセット供給装置に戻る。カセット供給コンベヤ１１の制御装置は報知装置に「カセット投入できません」という表示・音声出力を行い、以後の投入制御（スイッチ関係）を一旦無効とする。そして、管理装置のカセット保有情報を更新する。カセット保有情報は、「ワーク供給装置：ＮＯ３あり、バッファコンベヤ：ＮＯ４，５あり、カセット供給コンベヤ：ＮＯ６，７，８，９あり」というものである。状態情報はワーク供給装置準備ＯＫ・バッファコンベヤ準備ＯＫ・カセット供給コンベヤ準備ＯＫとなる。

なお、図１５（ｂ）の状態でカセット投入が遅れて図１８（ａ）のようになったとしても、作業員はカセット５０をカセット供給コンベヤ１１への投入を４回繰り返した後に、投入終了スイッチをＯＮにすると、カセット供給コンベヤ１１の制御装置は最大個数（本形態では４個となる）のカセット５０がカセット供給コンベヤ１１に投入されたことを検出してカセット供給コンベヤ１１の搬送を停止する。この場合、図１８（ｂ）で示すようにカセット供給ライン１１、バッファライン１２、ワーク供給装置１３の全てにカセット５０があるような状態となる。なお、カセット待機装置１２０は使用されない。

このように本発明の特徴をなすカセット搬送装置１０では、特にカセット待機装置１２０によりバッファコンベヤ１２直前のカセット５０を昇降させて、カセット供給コンベヤ１１をコンベヤ駆動できるようにしたため、図１６（ｂ）の状態（カセット待機装置１２０の直後にカセット５０がある状態）では追加投入できないが、それ以外の図１５（ｂ）や図１７（ａ）の状態（カセット待機装置１２０によりカセット５０を待機できる状態）、図１８（ａ）の状態（カセット供給装置１１にカセット５０がない状態）では追加投入ができるため、例えば、作業員が他の作業の空き時間に２個、３個というようにカセットを投入することもできてカセット供給は途絶えることがなく、この点でワーク加工を連続して行うことができる。
また、バッファコンベヤ１２は、２個以上複数個のカセット５０をストックできるようにしているため、バッファコンベヤ１２から連続して複数個のカセット５０をワーク供給装置１３へ投入できるため、カセット供給は途絶えることがなく、この点でもワーク加工を連続して行うことができる。
さらにまた、バッファコンベヤ１２にカセット５０が常時ストックされた状態が維持されるため、ワーク供給装置１３から空のカセット５０が搬出された後にバッファコンベヤ１２から直ちにカセット５０が供給されることとなり、ワーク供給は途絶えることがなく、ワーク加工を連続して行うことができるようになる。

続いてワーク加工装置１の他の特徴について説明する。このようなワークは、カセットナンバ、スロットナンバ、ロットナンバを管理する必要があり、特にワークに異常が起きて除去するようなときに該当するワークの選択情報を管理する必要がある。そこで、容易に管理できるようにする。
ワーク加工装置１は、各所にワークの配置およびワークの順番を視覚的に表示するタッチパネル型表示装置を配置しており、詳しくは、カセット投入装置側表示装置４１、ワークローディングステージ側表示装置４２、平行平面加工装置側表示装置４３、ワークアンローディングステージ側表示装置４４を備える。これらはワーク加工装置１を統括して管理する管理装置（図示せず）に接続されており、管理装置は多数のワークの位置について管理する。まず、前提として管理装置は記憶装置を備え、この記憶装置には複数のカセット５０の各種情報と、カセット５０の中にあるワークの各種情報と、が予め登録されているものとする。

カセット投入装置側表示装置４１は、図１９で示すように、カセット投入装置１１で投入されたカセット５０についての情報を表示する。例えばカセット投入装置１１はバーコードリーダを備えており、カセット５０のバーコードを読み取ることで、管理装置は対応するカセット５０内のワークのデータを読み出し、カセット投入装置側表示装置４１に表示させる。本形態ではカセット５０内の各段にワークがあるか否かについての情報、投入済みカセットのバーコードデータが表示される。また、この時点で平面加工される多数のワークの搬出される順番が確定し、記憶装置に記憶されることとなる。

カセット投入装置側表示装置４１は、タッチパネルとなっており、カセット投入装置１１の側にいる作業員は、各種情報と実際のワークとを比べて、ワークの欠損やワークの異常（欠け、ひび、傷など）を発見したときは、該当する箇所に触れると、異常を表示するとともに異常であることを選択情報として登録することができ、登録の上で異常ワークを取り除く。これにより、管理が容易になる。

ワークローディングステージ側表示装置４２は、図２０で示すように、ワークローディングステージ２２に載置されているワークの情報（カセットのバーコードデータ＋ワーク番号データ；例１２３−１）が表示される。この際、平行平面加工装置２０のワークローディングステージ２２におけるワークの配置およびワークの順番を視覚的に理解し易い図面データとして表示する。ワークローディングステージ側表示装置４２もタッチパネル型表示装置となっており、作業員は、各種情報と実際のワークとを比べて、ワークの欠損やワークの異常を発見したときは、ワークローディングステージ側表示装置４２に表示されたワークのうち同じ位置のワークに触れて選択すると、ワークローディングステージ側表示装置４２はこのワークを選択する選択信号を記憶装置へ出力し、記憶装置は選択されたワークについての選択情報を記憶装置に登録することができ、登録の上で異常ワークを取り除く。これにより、管理が容易になる。

平行平面加工装置側表示装置４３は、図２１で示すように、平行平面加工部２４の各キャリヤ２４１に載置されているワークの情報（カセットのバーコードデータ＋ワーク番号データ；例１２３−１）が表示される。この際、平行平面加工装置２０の平行平面加工部２４におけるワークの配置およびワークの順番を視覚的に理解し易い図面データとして表示する。平行平面加工装置側表示装置４３もタッチパネル型表示装置となっており、作業員は、各種情報と実際のワークとを比べて、ワークの欠損やワークの異常を発見したときは、平行平面加工装置側表示装置４３に表示されたワークのうち同じ位置のワークに触れて選択すると、平行平面加工装置側表示装置４３はこの特定のワークを選択する選択信号を記憶装置へ出力し、記憶装置は選択されたワークについての選択情報を記憶装置に登録することができ、登録の上で異常ワークを取り除く。これにより、管理が容易になる。

ワークアンローディングステージ側表示装置４４は、図２２で示すように、ワークローディングステージ２２に載置されているワークの情報（カセットのバーコードデータ＋ワーク番号データ；例１２３−１）が表示される。この際、平行平面加工装置２０のワークアンローディングステージ２６におけるワークの配置およびワークの順番を視覚的に理解し易い図面データとして表示する。ワークアンローディングステージ側表示装置４４もタッチパネル型表示装置となっており、作業員は、各種情報と実際のワークとを比べて、ワークの欠損やワークの異常を発見したときは、ワークアンローディングステージ側表示装置４４に表示されたワークのうち同じ位置のワークに触れて選択すると、ワークアンローディングステージ側表示装置４４はこの特定のワークを選択する選択信号を記憶装置へ出力し、記憶装置は選択されたワークについての選択情報を記憶装置に登録することができ、登録の上で異常ワークを取り除く。これにより、管理が容易になる。

これらのような管理装置を採用することで、作業員は異常のあるワークの実際の配置と各表示装置上の絵による表示とを見比べて同じ位置にあるワークを選択すれば、選択情報を入力することができるため、選択情報の入力や異常ワークの処理が一時に行えるようになって、この点でもワーク加工を停滞させるこなく処理ができ、管理が容易になる。
ワーク加工装置はこのようなものである。

以上説明したワーク加工装置では、前工程から搬送してきた複数の未加工ワークを収納したカセットを定期的にまとめて投入することができるので、作業員が拘束される時間が大幅に少なくなり、効率化を図ることができる。
また、ローディング工程で空になったカセットを空カセット搬送装置で搬送することができるので、作業員が行っていた空カセットの処理やセッティング作業が不要となり、効率化を図ることができる。

また、平行平面加工装置２０の周りを囲むように各搬送装置や洗浄装置を配置できるため、省スペースで自動化装置を構成することができる。
また、カセット投入装置１１において、投入したカセット５０の履歴やワーク収納状態を各種表示装置により確認および認識できるので、本工程内でのワーク加工履歴を確実に管理できる。

また、ワークの先入れ、先出し管理を行うシステムと、各工程における作業員の操作情報（欠損品の処理、投入カセットの照合情報、搬出カセットの処理情報など）を簡易かつ確実に入力する管理システムにより、ウェーハ単位での完全な履歴管理を行うことができる。

本発明を実施するための最良の形態のワーク加工装置のシステム構成図である。 平行平面加工部へのワーク搬入の動作説明図である。 平行平面加工部からのワーク搬出の動作説明図である。 カセット搬送装置の動作説明図である。 カセット搬送装置の動作説明図である。 カセット搬送装置の動作説明図である。 カセット搬送装置の動作説明図である。 カセット搬送装置の動作説明図である。 先の形態との比較図である。 本発明を実施するための最良の形態のワーク加工装置のうちカセット搬送装置の構成図である。 カセット投入装置の説明図である。 カセット待機装置の説明図である。 ワーク供給装置の説明図であり、図１３（ａ）はカセット搬送時の説明図、図１３（ｂ）は第１昇降装置上昇時の説明図、図１３（ｃ）は第２昇降装置下降時の説明図である。 カセット搬送装置の動作説明図である。 カセット搬送装置の動作説明図である。 カセット搬送装置の動作説明図である。 カセット搬送装置の動作説明図である。 カセット搬送装置の動作説明図である。 カセット投入装置側表示装置の表示の説明図である。 ワークアンローディングステージ側表示装置の表示の説明図である。 平行平面加工装置側表示装置の表示の説明図である。 ワークアンローディングステージ側表示装置の表示の説明図である。

符号の説明

１０：カセット搬送装置
１１：カセット供給コンベヤ
１１０：カセット投入装置
１１１：カセット投入台
１１２：投入防止板
１１３：カセット挿入ガイド
１１４：昇降装置
１１５：昇降式カセット挿入ガイド
１１６：ガイド直動機構
１１７：カセット位置決めガイド
１１８：搬送体
１２０：カセット待機装置
１２１：昇降装置
１２２：搬送体
１２：バッファコンベヤ
１３：ワーク供給装置
１５：ワーク供給装置
１３１：搬送体
１３２：保持部
１３３：第１昇降装置
１３４：第２昇降装置
１４：空カセット搬送コンベヤ
１５：カセット検出センサ
１５１：ピッチ送りセンサ
１５２：先頭位置決めセンサ
１５３：先頭位置決めセンサ
１５４：位置決めセンサ
１６：カセット検出センサ
１６１：ピッチ送りセンサ
１６２：先頭位置決めセンサ
１６３：先頭位置決めセンサ
１６４：先頭位置決めセンサ
１６５：先頭位置決めセンサ
１６６：位置決めセンサ
２０：平行平面加工装置
２１：未加工ワーク搬送装置
２２：ワークローディングステージ
２３：ワーク搬送ロボット
２３１：ワーク吸着部
２４：平行平面加工部
２４１：キャリヤ
２４２：太陽歯車
２４３：内歯車
２５：ワークアンローディングステージ
２６：加工済みワーク搬送装置
２７：ワーク検出センサ
３０：ワーク搬送装置
３１：ワーク搬送装置
３２：洗浄機
４０：表示装置
４１：カセット投入装置側表示装置
４２：ワークローディングステージ側表示装置
４３：平行平面加工装置側表示装置
４４：ワークアンローディングステージ側表示装置
５０：カセット

Claims (4)

1. 未加工のワークを複数段に複数枚収納するカセットをワーク供給位置まで搬送してカセットから各段の未加工のワークを供給し、ワーク供給後の空のカセットを搬出するカセット搬送装置と、
   ワーク供給位置のカセットから供給された複数枚の未加工のワークを平行平面に加工する平行平面加工装置と、
   を備えるワーク加工装置であって、
   前記カセット搬送装置は、
   カセットを供給するカセット供給コンベヤと、
   カセット供給コンベヤから搬出されたカセットを二以上の所定個数ストックし、常時カセットを供給するようになされるバッファコンベヤと、
   バッファコンベヤから搬出されたカセットをワーク供給位置にて保持してカセットからワークを供給するワーク供給装置と、
   ワーク供給装置から搬出された空のカセットを搬送する空カセット搬送コンベヤと、
   ワーク供給装置のカセットの位置を検出する位置決めセンサと、
   バッファコンベヤの先頭付近のカセットの有無を検出する先頭位置決めセンサと、
   バッファコンベヤを駆動するバッファコンベヤのコンベヤ駆動部と、
   カセット供給コンベヤを駆動するカセット供給コンベヤのコンベヤ駆動部と、
   位置決めセンサ、先頭位置決めセンサ、バッファコンベヤのコンベヤ駆動部およびカセット供給コンベヤのコンベヤ駆動部と接続される制御装置と、
   を備え、制御装置は、ワーク供給装置から空のカセットが搬出されたと判断し後にワーク供給装置、バッファコンベヤ、カセット供給コンベヤを駆動して、カセット供給コンベヤからバッファコンベヤへ、また、バッファコンベヤからワーク供給装置へとカセットを搬送していき、ワーク供給装置の位置決めセンサからの検出信号を受けてワーク供給装置の搬送を停止し、バッファコンベヤの先頭位置決めセンサからの検出信号を受けてバッファコンベヤ、カセット供給コンベヤの搬送を停止し、ワーク供給装置から空のカセットが搬出された後にバッファコンベヤから直ちにカセットが供給されることを特徴とするワーク加工装置。
2. 請求項１に記載のワーク加工装置において、
   前記カセット供給コンベヤは、バッファコンベヤの直前にカセット待機装置を備え、このカセット待機装置は、カセットを待機させるとともに、バッファコンベヤからカセットが搬出された後に直ちにバッファコンベヤへカセットを供給することを特徴とするワーク加工装置。
3. 請求項１または請求項２に記載のワーク加工装置において、
   前記平行平面加工装置は、
   ワーク供給位置にあるカセットから供給された未加工のワークを搬送する未加工ワーク搬送装置と、
   未加工ワーク搬送装置から搬出されたワークを複数の載置部にそれぞれ収容するワークローディングステージと、
   ワークローディングステージ上の複数枚のワークを一括してキャリヤの保持孔へ搬送するワークハンドリング装置と、
   ラップ板が上側と下側とにそれぞれ配置され、水平面内に組み込まれた太陽歯車と内歯車との間に配置された複数個のキャリヤにそれぞれ複数枚のワークを挿入した後、上側のラップ板を下降させて下側のラップ板とで挟み込んだ状態で、研磨剤を供給しつつキャリヤを自転及び公転させる遊星運動と上側および下側のラップ板の相対的な回転運動とを同時に行ってワークの上下面を研磨しつつ平行とする平行平面加工部と、
   平行平面加工部からワークハンドリング装置により加工済みのワークが複数の載置部に一括して配置されるワークアンローディングステージと、
   ワークアンローディングステージから加工済みのワークを一枚づつ搬出する加工済みワーク搬送装置と、
   を備えることを特徴とするワーク加工装置。
4. 請求項３に記載のワーク加工装置において、
   多数のワークの搬出された順番を記憶する記憶装置と、
   前記平行平面加工装置のワークローディングステージ、平行平面加工部およびワークアンローディングステージにおけるワークの配置およびワークの順番を視覚的に表示するタッチパネル型表示装置と、
   を備え、
   タッチパネル型表示装置に表示されたワークのうち特定のワークが選択されたとき、タッチパネル型表示装置はこの特定のワークを選択する選択信号を記憶装置へ出力し、
   記憶装置は選択されたワークについての選択情報を記憶する、
   ことを特徴とするワーク加工装置。

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