JPH06177244A - ダイシングシステム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ダイシングシステムにおける一部の分岐線搬
送路が不具合になったとしてもその分岐線搬送路に対応
するダイシング装置はダイシングシステムから分離した
状態で単独使用が可能であり、且つダイシングシステム
自体の稼働も不能にならないようにした、ダイシングシ
ステムを提供する。 【構成】 ダイシング前のウェーハを載置したフレーム
を搬送経路に搬出する搬出手段と、前記搬送経路中に２
以上のダイシング装置が配設されており、各ダイシング
装置ごとに前記搬送経路中のウェーハを供給すると共
に、ダイシング済みのウェーハを前記搬送経路中に戻す
ウェーハ供給・戻し手段と、を少なくとも含む。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、複数のダイシング装置
とこれらを結ぶ搬送経路と、ＣＰＵとを組み合わせて構
成されたダイシングシステムであって、特に搬送経路と
各ダイシング装置との間に介在するウェーハ供給・戻し
手段を止めると、ダイシング装置がダイシングシステム
から実質的に分離して単独使用をも可能としたダイシン
グシステムに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、ダイシング装置は１台ごと各別に
独立させて稼働させており、このような独立体としての
ダイシング装置を複数台組み合わせて全体で１つの有機
体とし稼働するように構成したダイシングシステムのよ
うなものは存在していない。但し、ウェーハ装着装置と
２台のウェーハ切断装置とを搬送手段で結合し、半導体
ウェーハをフレームに装着し、次いでそのフレームに装
着されたウェーハを所要通りに切断するようにした装置
は、例えば特公昭６４−１２０９４号公報に開示されて
いる。しかし、搬送手段の具体的構成については開示さ
れていない。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】前記のようなダイシン
グシステムを構成するには、通常２以上所要台数のダイ
シング装置を並設すること、これらのダイシング装置を
結ぶ搬送経路を配設すること、各ダイシング装置と搬送
経路の駆動を制御するためのＣＰＵ（制御装置）を必要
とすること、等が少なくとも要求される。この場合、前
記搬送経路はウェーハ等の被加工物を搬送するための幹
線搬送路と、この幹線搬送路からウェーハを選択的にダ
イシング装置に供給すると共に、そのダイシング装置で
のダイシング後にウェーハを幹線搬送路に戻すための言
わば分岐線搬送路を、各ダイシング装置に対応させてそ
れぞれ設けなければならない。ところが、ダイシング装
置と分岐線搬送路とは有機的、一体的な結合関係になる
ため、何れかの分岐線搬送路が故障したような時にはそ
の分岐線搬送路に結合されたダイシング装置は使えなく
なり、或はダイシングシステム全体が使用不能になった
りすることが充分予想される。そこで、本発明は、搬送
手段を具体的にすると共に、ダイシングシステムにおけ
る一部の分岐線搬送路が不具合になったとしてもその分
岐線搬送路に対応するダイシング装置はダイシングシス
テムから分離した状態で単独使用が可能であり、且つダ
イシングシステム自体の稼働も不能にならないようにし
た、ダイシングシステムを提供することを課題としたも
のである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】この課題を技術的に解決
するための手段として、本発明は、ダイシング前のウェ
ーハを載置したフレームを搬送経路に搬出する搬出手段
と、前記搬送経路中に２以上のダイシング装置が配設さ
れており、各ダイシング装置ごとに前記搬送経路中のウ
ェーハを供給すると共に、ダイシング済みのウェーハを
前記搬送経路中に戻すウェーハ供給・戻し手段と、を少
なくとも含むダイシングシステムを要旨とするものであ
る。更に、前記搬送経路は複数のベルトコンベアーから
構成され、一方のベルトコンベアーで搬送されたウェー
ハを他方のベルトコンベアーに移し替える移し替え手段
と、搬送中のウェーハを所要のダイシング装置の前で停
止させるストッパー手段と、このストッパー手段で停止
しているウェーハを保持しベルトコンベアーから離別さ
せてダイシング装置の所要位置に位置付けると共に、ダ
イシング後のウェーハをベルトコンベアーに戻す移送ア
ームとから構成されるウェーハ供給・戻し手段とを更に
含むこと、モニターと、操作部とが配設されたＣＰＵで
個々のダイシング装置の状態を把握して、必要に応じて
ダイシング装置をダイシングシステムから切り離すこ
と、ダイシング装置のダイシング状態がＣＰＵに記憶さ
れ、個々のダイシング装置の管理ができること、切り離
されたダイシング装置は、ダイシングシステムから独立
したダイシング装置として使用できること、を要旨とす
るものである。

【０００５】

【作 用】被加工物であるウェーハを載置したフレーム
を搬出手段にて搬送経路に搬出し、所要のダイシング装
置のところまで搬送されたらそのフレームをウェーハ供
給・戻し手段によりピックアップしてスライドさせるこ
とによりダイシング装置に供給し、このダイシング装置
での所定の処理後に先のウェーハ供給・戻し手段の復動
によりフレームを搬送経路に戻し、この搬送経路によっ
てフレームを次の工程に搬送することができる。又、Ｃ
ＰＵを介して個々のダイシング装置の状態を把握し、必
要に応じてダイシング装置をダイシングシステムから切
り離すこと、及び切り離されたダイシング装置をダイシ
ングシステムから独立したダイシング装置として使用す
ることができる。

【０００６】

【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面に基づい
て詳説する。図１において、１、１ａは適宜の間隔をあ
けて並設された第１、第２のダイシング装置であり、図
示の例ではカセット領域１１と、待機領域１２と、チャ
ック領域１３と、洗浄領域１４の各領域を備え、カセッ
ト領域１１にセットされたカセット内からフレームを引
き出して待機領域１２に供給すると共に、洗浄後のフレ
ームを待機領域１２からカセット領域１１のカセット内
に戻す第１の搬送手段１５と、待機領域１２からチャッ
ク領域１３にフレームを搬送する水平回転式の第２の搬
送手段１６と、ダイシング後のフレームをチャック領域
１３から洗浄領域１４に搬送する第３の搬送手段１７と
を有し、更に先端に回転ブレード１８を有するスピンド
ルユニット１９を備えた構成になっている。

【０００７】２は搬送経路であり、搬送経路からフレー
ムが脱落しないように搬送ガイド２００と複数のベルト
コンベアーから構成され、図示の例ではベルトコンベア
ーは同速度で同方向に動く一対の無端ベルト２ａから形
成され、第１のベルトコンベアー２１と、その終端部付
近に直角方向に配設された第２のベルトコンベアー２２
と、この第２のベルトコンベアー２３の終端部に直角方
向に配設された第３のベルトコンベアー２３と、この第
３のベルトコンベアー２２の要所に直角方向に配設され
た第４のベルトコンベアー２４と、更にこの第４のベル
トコンベアー２４の終端部に直角方向に配設された第５
のベルトコンベアー２５とを備えている。

【０００８】３は移し替え手段であり、水平に往復動す
るプッシュアーム３１を有し、前記第１〜４の各ベルト
コンベアーの終端部又は要所にそれぞれ配設されてお
り、搬送されてきたフレームをプッシュアーム３１にて
横に押して次のベルトコンベアーに移し替える作用をな
すものである。

【０００９】４は一対の板材からなる昇降ガイドであ
り、前記移し替え手段３と共に主として各ベルトコンベ
アーの接続部付近であって前記一対の無端ベルト２ａ間
に直角方向に配設され、この昇降ガイド４を一定距離上
昇させるとフレームを一対の無端ベルト２ａから離し即
ちベルトコンベアーで搬送されない状態で保持すること
ができ、プッシュアーム３１での移し替えが円滑になさ
れるようにしてある。そして、一定距離下降させるとフ
レームを一対の無端ベルトに接触させつまりベルトコン
ベアーで搬送される状態にすることができるようにして
ある。

【００１０】５は被加工物であるウェーハＷを載置した
フレームＦを供給するための供給部であり、前記第１の
ベルトコンベアー２１の近傍に配設され、通常は複数枚
のフレームＦを収納したカセットを載置するようにして
あり、この供給部５からフレームＦを一枚ずつ引き出し
て第１のベルトコンベア２１に供給できる公知の搬出手
段６が配設され、更にその下方にはフレーム下を第１の
ベルトコンベアー２１に円滑に供給するための昇降ガイ
ド４ａが配設されている。

【００１１】７はダイシング処理後のフレームを受け取
るための受取部であり、前記供給部５と対称的に前記第
５のベルトコンベアー２５の近傍に設けられ、複数枚の
フレームを収納するカセットが載置され、搬送されてき
たフレームを昇降ガイド４ｂにより持ち上げると共に、
搬入手段８によりカセット内にフレームを収納できるよ
うにしてある。

【００１２】９は第１のウェーハ供給・戻し手段であ
り、前記第１のダイシング装置１と第３のベルトコンベ
アー２３と間にそれぞれ配設され、搬送されてきたフレ
ームを第１のダイシング装置１に供給し、且つダイシン
グ処理後のフレームを第１のダイシング装置１から第３
のベルトコンベアー２３に再び戻せるようにしてある。
これと同じ構成の第２のウェーハ供給・戻し手段９ａが
前記第２のダイシング装置１ａに関連して配設されてい
る。

【００１３】図２はこれらウェーハ供給・戻し手段の一
例を示すもので、第１のウェーハ供給・戻し手段９は前
記第１のダイシング装置１及び第３のベルトコンベアー
２３を跨ぐようにして上方に配設され、水平ガイド９１
に沿って往復動する移送アーム９２を備え、この移送ア
ーム９２はシリンダー９３により上下動可能に形成され
ると共に、先端に一対の開閉把持片９４を有し、この開
閉把持片９４にてフレームＦを把持した状態で移送アー
ム９２を水平ガイド９１に沿って動かすことで、前記第
１のダイシング装置１と第３のベルトコンベアー２３と
の間でやり取りできるようにしてある。

【００１４】図１に戻って、１００は前記第１のウェー
ハ供給・戻し手段９に関連させて第３のベルトコンベア
ー２３のベルト間に昇降可能に配設した第１のストッパ
ー手段であり、これを上昇させた時には第３のベルトコ
ンベアー２３で搬送されてきたフレームを受止して停止
させられるようにしてある。これと同じ構成の第２のス
トッパー手段１００ａが第２のウェーハ供給・戻し手段
９ａに関連させて配設してある。

【００１５】１１０は第１のウェーハ供給・戻し手段９
に関連させて第３のベルトコンベアー２３のベルト間に
配設した第１のバーコードリーダーであり、第３のベル
トコンベアー２３により搬送されてくる各フレームに付
着された識別用のバーコードを通過する際に読み取れる
ようにしてある。即ち、第１のダイシング装置１でダイ
シングすべきかどうかを読み取り、該当するものは前記
第１のストッパー手段１０で停止させて第１のウェーハ
供給・戻し手段９により第１のダイシング装置１に供給
し、そうでないものはそのまま通過させて搬送させるの
である。これと同じ構成の第２のバーコードリーダー１
１０ａが第２のウェーハ供給・戻し手段９ａに関連させ
て配設してある。

【００１６】１２０はＣＰＵであり、モニター１２１と
操作部１２２とを有し、必要な各構成部材とそれぞれ接
続され、これらの各構成部材の動きを制御すると共に、
第１、第２のダイシング装置１、１ａのダイシング状態
が記憶され、個々のダイシング装置の管理ができ、個々
のダイシング装置の状態（ブレードの使用時間、ダイシ
ング装置自体の稼働時間、モニターを通じてのアライメ
ント状態、ウェーハのダイシングの溝状態等）を把握し
て、必要に応じてダイシング装置をダイシングシステム
から切り離したり、ダイシング装置の操作をしたりする
ともできる。

【００１７】本発明に係るダイシングシステムは上記の
ように構成され、システム全体の動きとしてはＣＰＵ１
２０による制御の下に、先ず搬出手段６により供給部５
からフレームＦが一枚ずつ引き出されると共に第１のベ
ルトコンベアー２１に供給され、それらのフレームＦは
移し替え手段３により第２のベルトコンベアー２２を経
て第３のベルトコンベアー２３に引き続いて搬送され、
フレームＦに付けられたバーコードを第１のバーコード
リーダー１１で読み取って、第１のダイシング装置１で
ダイシングするものとそのまま通過させるものとを区別
する。

【００１８】次に、第１のダイシング装置１でダイシン
グ処理すべきフレームは、第１のストッパー手段１００
により停止させられ、第１のウェーハ供給・戻し手段９
により第１のダイシング装置１の待機領域１２に供給さ
れる。この場合、第１のダイシング装置１のカセット領
域１１及び第１の搬送手段１５は使用しない。これらを
使用するのは後で説明するダイシング装置の単独使用の
時である。但し、必要に応じてカセット領域１１にフレ
ームを供給し、第１の搬送手段１５を使用することは自
由である。

【００１９】前記待機領域１２に供給されたフレーム
は、第２の搬送手段１６によってチャック領域１３に転
送され、このチャック領域１３のチャックテーブルがア
ライメント領域１３ａを経てカッティング領域１３ｂ迄
動いて回転ブレード１８により所定の箇所がダイシング
処理され、この後フレームはチャックテーブルと共にチ
ャック領域１３まで戻され、第３の搬送手段１７により
洗浄領域１４に移され、スピン洗浄処理後に第２の搬送
手段１６により待機領域１２に戻される。

【００２０】この待機領域１２に戻された処理後のフレ
ームは、第１のウェーハ供給・戻し手段９により第３の
ベルトコンベアー２３上に戻され、第２のバーコードリ
ーダーはそのまま通過して移し替え手段３により第４の
ベルトコンベアー２４に移し替えられ、更にその先の移
し替え手段３により第５のベルトコンベアー２５に移し
替えられ、前記搬入手段８により受取部７のカセット内
の所定箇所に収納される。

【００２１】一方、第１のダイシング装置１で未処理の
フレームは、そのまま第３のベルトコンベアー２３で搬
送されて第２のバーコードリーダー１１０ａに至り、こ
れを通過する際に情報が読み取られて第２のストッパー
手段１００ａが作動して停止され、前記と同様に第２の
ウェーハ供給・戻し手段９ａによってそのフレームが第
２のダイシング装置１ａに供給されてダイシング処理さ
れると共に、処理後に第２のウェーハ供給・戻し手段９
ａによって第３のベルトコンベアー２３上に再び戻され
る。そのフレームは少し搬送て移し替え手段３により第
４のベルトコンベアー２４に移し替えられ、続いて第５
のベルトコンベアー２５に移し替えられて前記と同様に
搬入手段８を介して受取部７のカセット内に収納され
る。

【００２２】このようにして、搬送経路により一定の速
度で送られてくるフレームを、バーコードリーダーでそ
の情報を読み取ってダイシング処理すべきダイシング装
置に振り分け、ウェーハ供給・戻し手段によりダイシン
グ装置への供給とダイシング処理後の搬送経路への戻し
を行い、所定のウェーハ処理を流れ作業で能率良く且つ
円滑に遂行することができる。

【００２３】上記実施例はダイシング装置を２台並置し
た場合を説明したが、これに限定されずに必要に応じて
２台以上のダイシング装置を並置して実行することが可
能であり、又ダイシング装置での処理後に受取部で回収
しないで図１に矢印Ｘで示すようにそのまま次の工程に
直接搬送するように構成することも可能である。

【００２４】更に、ダイシングシステムに組み込まれた
ダイシング装置のうち任意のダイシング装置だけをダイ
シングシステムから切り離して単独使用することも可能
である。即ち、図１の例で例えば第２のダイシング装置
１ａを単独使用したい場合には、ＣＰＵ１２０から指令
を出して第２のバーコードリーダー１１０ａ、第２のス
トッパー手段１００ａ及び第２のウェーハ供給・戻し手
段９ａを停止させれば良い。この時、第２のストッパー
手段１００ａは第３のベルトコンベアー２３の下方に位
置しているためその搬送を阻害せず、第２のウェーハ供
給・戻し手段９ａは上方に配設されているため第３のベ
ルトコンベアー２３及び第２のダイシング装置１ａの邪
魔にならない。従って、第２のダイシング装置１ａをダ
イシングシステムから切り離すことができ、且つダイシ
ングシステムから独立したダイシング装置として使用す
ることができるのである。

【００２５】第２のダイシング装置１ａの単独使用に際
しては、ダイシングシステムの搬送経路２側からフレー
ムを供給できないのでカセット領域１１ａにフレームを
収納したカセットをセットし、第１の搬送手段１５ａに
てカセット内からフレームを引き出して待機領域１２ａ
に供給して行う。その後の動きは前記と同様であり、所
定の処理後に待機領域１２ａに戻されたフレームは第１
の搬送手段１５ａによりカセット領域１１ａのカセット
内に収納される。この場合、第２のダイシング装置１ａ
の単独使用と同時にダイシングシステム自体も使用する
ことが可能である。但し、当然のことながらダイシング
システムからは第２のダイシング装置１ａが除かれた状
態となり、第２のダイシング装置で処理すべきフレーム
も除外して行われる。

【００２６】このようにダイシングシステムに組み込ま
れた任意のダイシング装置を、そのダイシングシステム
から切り離して単独使用することが可能であるため、仮
にそのダイシング装置への供給機構部分が故障したよう
な場合には、そのダイシング装置をダイシングシステム
から切り離せばその単独使用が可能となるばかりか、ダ
イシングシステム自体も稼働させることができる。従っ
て、作業能率を著しく向上させることができ、しかもそ
の間に故障箇所の点検修理も可能となる。尚、供給部５
にはカセットを載置するようにしたが、これに限るもの
ではなく特公平２−１６５８３号公報に示されるような
ウェーハとフレームとを一体にする装置を装着しても良
い。

【００２７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ＣＰＵ制御の下に複数のダイシング装置と、幹線となる
搬送経路とその搬送経路と各ダイシング装置とを結ぶ分
岐線搬送路とを組み合わせることによりダイシングシス
テムを提供することができ、そのダイシングシステムに
おける一部の分岐線搬送路が不具合になったとしても、
その分岐線搬送路に対応するダイシング装置のみをダイ
シングシステムから分離した状態での単独使用を可能と
し、且つダイシングシステム自体の稼働も不能にならな
いようにした優れた特徴を有し、ウェーハ処理作業能率
を著しく向上させる効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例を示す概略平面図である。

【図２】 ウェーハ供給・戻し手段の一例を示す斜視図
である。

【符号の説明】

１…第１のダイシング装置 １ａ…第２のダイシング装置 １１…カセット領域
１２…待機領域 １３…チャック領域 １３ａ…アライメント領域
１３ｂ…カッティング領域 １４…洗浄領域 １５
…第１の搬送装置 １６…第２の搬送手段 １７…
第３の搬送手段 １８…回転ブレード １９…スピ
ンドルユニット ２…搬送経路 ２１…第１のベルトコンベアー ２２…第２のベルト
コンベアー ２３…第３のベルトコンベアー ２４…第４のベルト
コンベアー ２５…第５のベルトコンベアー ３…移し替え手段 ３１…プッシュアーム ４…昇降ガイド ４ａ、４ｂ…昇降ガイド ５…供給部 ６…搬出手段 ７…受取部 ８…搬入手段 ９…第１のウェーハ供給・戻し手段 ９ａ…第２のウェーハ供給・戻し手段 ９１…水平ガ
イド ９２…移送アーム ９３…シリンダー ９
４…開閉把持片 １００…第１のストッパー手段 １００ａ…第２のストッパー手段 １１０…第１のバーコードリーダー １１０ａ…第２のバーコードリーダー １２０…ＣＰＵ １２１…モニター １２２…操作部

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ダイシング前のウェーハを載置したフレ
   ームを搬送経路に搬出する搬出手段と、前記搬送経路中
   に２以上のダイシング装置が配設されており、各ダイシ
   ング装置ごとに前記搬送経路中のウェーハを供給すると
   共に、ダイシング済みのウェーハを前記搬送経路中に戻
   すウェーハ供給・戻し手段と、を少なくとも含むダイシ
   ングシステム。
2. 【請求項２】 前記搬送経路は複数のベルトコンベアー
   から構成され、一方のベルトコンベアーで搬送されたウ
   ェーハを他方のベルトコンベアーに移し替える移し替え
   手段と、搬送中のウェーハを所要のダイシング装置の前
   で停止させるストッパー手段と、このストッパー手段で
   停止しているウェーハを保持しベルトコンベアーから離
   別させてダイシング装置の所要位置に位置付けると共
   に、ダイシング後のウェーハをベルトコンベアーに戻す
   移送アームとから構成されるウェーハ供給・戻し手段
   と、を更に含む請求項１記載のダイシングシステム。
3. 【請求項３】 モニターと、操作部とが配設されたＣＰ
   Ｕで個々のダイシング装置の状態を把握して、必要に応
   じてダイシング装置をダイシングシステムから切り離す
   請求項１、２記載のダイシングシステム。
4. 【請求項４】 ダイシング装置のダイシング状態がＣＰ
   Ｕに記憶され、個々のダイシング装置の管理ができる請
   求項１乃至３記載のダイシングシステム。
5. 【請求項５】 切り離されたダイシング装置は、ダイシ
   ングシステムから独立したダイシング装置として使用で
   きる請求項３記載のダイシングシステム。