KR20210012909A - 반송 시스템 - Google Patents

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KR20210012909A
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transport vehicle
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가즈마 세키야
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

(과제) 복수의 가공 장치의 각각에 대해 피가공물을 반송할 수 있고, 구축도 용이한 반송 시스템을 제공한다.
(해결수단) 복수의 가공 장치의 각각에 대해 피가공물을 반송하는 반송 시스템으로서, 복수의 가공 장치에 걸쳐 가공 장치의 상부에 고정되는 선로와, 피가공물을 수용하는 수용 공간을 갖는 수용부, 수용부에 상방으로부터 연결되는 주행부, 주행부에 형성된 주행 기구, 주행부에 배치되고 수용부를 상방으로부터 매달아 승강시키는 승강 기구, 및 제어 신호를 수신하는 수신기를 구비하고, 선로를 주행하는 무인 반송차와, 피가공물이 수용된 피가공물 스토커로부터 무인 반송차의 수용부에 대해 피가공물을 전달할 때에 수용부를 유지하는 수용부 유지대, 및 제어 신호를 수신하는 수신기를 구비하는 스톡 유닛을 포함한다.

Description

반송 시스템{TRANSFER SYSTEM}
본 발명은 가공 장치에 대해 피가공물을 반송하는 반송 시스템에 관한 것이다.
전자 기기 등에 장착되는 디바이스 칩의 제조 공정에서는, 반도체 웨이퍼나 수지 패키지 기판으로 대표되는 판상의 피가공물이 다양한 가공 장치에 의해 가공된다. 이 가공 장치에 대해 피가공물을 반송할 때에는, 통상, 복수의 피가공물을 수용할 수 있는 반송용의 카세트가 사용된다.
그런데, 카세트에 복수의 피가공물을 수용하여 한번에 가공 장치에 반송하는 상기 서술한 방법에서는, 어떠한 원인에 의해 가공 장치가 정지하면, 카세트에 수용되어 있는 미가공의 피가공물을 일률적으로 대기시키게 된다. 요컨대, 미가공의 피가공물을 다른 가공 장치로 가공할 수도 없게 되기 때문에, 가공의 능률이 대폭적으로 저하된다.
이 문제를 해소하려면, 예를 들어, 가공 장치의 가동 상황에 맞추어 피가공물을 1 장씩 가공 장치에 반송하면 된다. 그래서, 복수의 가공 장치를 반송용의 경로로 연결하고, 각 가공 장치에 대해 임의의 타이밍에 피가공물을 반송할 수 있는 반송 시스템이 제안되어 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).
일본 공개특허공보 평6-177244호
그러나, 각 가공 장치의 측면에는, 배관이 접속되는 배관 접속부나 메인터넌스용의 문 등이 형성되어 있어, 상기 서술한 반송 시스템을 구축할 때에는, 이것들과 간섭하지 않도록 반송용의 경로를 설계할 필요가 있다. 그 때문에, 반송 시스템의 구축은 반드시 용이하지 않고, 또, 반송용의 경로도 길어지기 쉽상이었다.
본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 복수의 가공 장치의 각각에 대해 피가공물을 반송할 수 있고, 구축도 용이한 반송 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 양태에 의하면, 복수의 가공 장치의 각각에 대해 피가공물을 반송하는 반송 시스템으로서, 복수의 그 가공 장치에 걸쳐 그 가공 장치의 상부에 고정되는 선로와, 그 피가공물을 수용하는 수용 공간을 갖는 수용부, 그 수용부에 상방으로부터 연결되는 주행부, 그 주행부에 형성된 주행 기구, 그 주행부에 배치되고 그 수용부를 상방으로부터 매달아 승강시키는 승강 기구, 및 제어 신호를 수신하는 수신기를 구비하고, 그 선로를 주행하는 무인 반송차와, 그 피가공물이 수용된 피가공물 스토커로부터 그 무인 반송차의 그 수용부에 대해 그 피가공물을 전달할 때에 그 수용부를 유지하는 수용부 유지대, 및 제어 신호를 수신하는 수신기를 구비하는 스톡 유닛과, 그 가공 장치, 그 무인 반송차, 및 그 스톡 유닛에 제어 신호를 송신하는 송신기, 그 가공 장치로부터 송신되는 통지 신호를 수신하는 수신기, 및 그 송신기로부터 송신되는 제어 신호를 생성하는 제어 신호 생성부를 구비하는 제어 유닛을 포함하고, 그 제어 유닛의 그 제어 신호 생성부는, 그 제어 유닛의 그 수신기가 수신한 통지 신호에 기초하여 그 제어 유닛의 그 송신기로부터 송신되는 제어 신호를 생성하고, 그 제어 유닛의 그 송신기는, 그 제어 유닛의 그 제어 신호 생성부에서 생성된 제어 신호를, 그 가공 장치, 그 무인 반송차, 및 그 스톡 유닛에 송신하고, 그 무인 반송차는, 그 수신기로 수신한 제어 신호에 기초하여 그 선로를 주행하는 반송 시스템이 제공된다.
상기 서술한 반송 시스템에 있어서, 그 선로는, 복수의 레일을 연결하여 구성되고, 그 무인 반송차는, 그 레일의 하방에 그 수용부가 배치된 상태로 그 레일을 주행하는 경우가 있다.
또, 상기 서술한 반송 시스템에 있어서, 그 선로는, 그 가공 장치에 대해 흡착하는 흡착부를 갖는 레그부를 구비하고, 그 흡착부에 의해 그 가공 장치에 고정되는 경우가 있다.
본 발명의 일 양태에 관련된 반송 시스템은, 복수의 가공 장치에 걸쳐 가공 장치의 상부에 고정되는 선로와, 피가공물을 수용하는 수용 공간을 갖는 수용부를 상방으로부터 매달아 승강시키는 승강 기구를 구비하고, 수용부가 선로의 하방에 배치된 상태로 선로를 주행하는 무인 반송차와, 피가공물이 수용된 피가공물 스토커로부터 수용부에 대해 피가공물을 전달할 때에 수용부를 유지하는 수용부 유지대를 구비하는 스톡 유닛을 포함하고 있다.
그 때문에, 피가공물 스토커에 수용되어 있는 피가공물을 수용부 유지대에 유지된 상태의 수용부에 반송한 후에, 무인 반송차에게 선로를 주행시킴으로써, 복수의 가공 장치의 각각에 대해 피가공물을 반송할 수 있다. 또, 본 발명의 일 양태에 관련된 반송 시스템에서는, 가공 장치의 상부에 선로가 고정되어 있다. 그 때문에, 선로를 포함하는 반송 시스템을 설계할 때에, 각 가공 장치의 측면의 구조를 고려할 필요가 없다. 즉, 반송 시스템의 구축이 용이해진다.
도 1 은, 실시형태 1 에 관련된 반송 시스템의 구성예를 나타내는 평면도이다.
도 2 는, 실시형태 1 에 관련된 반송 시스템의 접속 관계의 예를 나타내는 기능 블록도이다.
도 3 은, 실시형태 1 에 관련된 스톡 유닛의 구성예를 모식적으로 나타내는 측면도이다.
도 4(A) 는, 실시형태 1 에 관련된 무인 피가공물 반송차의 구성예를 나타내는 사시도이고, 도 4(B) 는, 무인 피가공물 반송차의 수용부가 승강하는 모습을 나타내는 사시도이다.
도 5 는, 실시형태 1 에 관련된 절삭 장치나 선로 등의 외관을 나타내는 사시도이다.
도 6 은, 절삭 장치의 구성예를 나타내는 사시도이다.
도 7 은, 절삭 장치에 선로가 설치되는 모습을 나타내는 사시도이다.
도 8(A) 는, 선로에 사용되는 레일의 제 1 예를 나타내는 평면도이고, 도 8(B) 는, 레일의 제 2 예를 나타내는 평면도이며, 도 8(C) 는, 레일의 제 3 예를 나타내는 평면도이다.
도 9(A) 는, 절삭 장치의 상방의 영역을 무인 피가공물 반송차가 주행하는 모습을 Y 축 방향에서 본 일부 단면 측면도이고, 도 9(B) 는, 수용부를 하강시킬 때의 모습을 Y 축 방향에서 본 일부 단면 측면도이다.
도 10(A) 는, 도 9(A) 에 나타내는 상태를 X 축 방향에서 본 일부 단면 측면도이고, 도 10(B) 는, 도 9(B) 에 나타내는 상태를 X 축 방향에서 본 일부 단면 측면도이다.
도 11 은, 실시형태 1 에 관련된 반송 시스템의 제어 방법의 예를 설명하기 위한 기능 블록도이다.
도 12(A) 및 도 12(B) 는, 실시형태 2 에 관련된 무인 피가공물 반송차 등의 구성예를 나타내는 일부 단면 측면도이다.
도 13 은, 실시형태 3 에 관련된 스톡 유닛의 구성예를 모식적으로 나타내는 측면도이다.
도 14 는, 실시형태 3 에 관련된 스톡 유닛의 내부의 구조를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 15 는, 실시형태 3 에 관련된 스톡 유닛의 제 1 임시 재치대 (載置臺) 와 제 2 임시 재치대를 제 2 방향으로 이동시켜, 제 1 임시 재치대의 위치와 제 2 임시 재치대의 위치를 교체하는 모습을 모식적으로 나타내는 측면도이다.
도 16(A) 및 도 16(B) 는, 실시형태 3 에 관련된 스톡 유닛의 동작의 예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 17(A) 및 도 17(B) 는, 실시형태 3 에 관련된 스톡 유닛의 동작의 예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
첨부 도면을 참조하여, 본 발명의 실시형태에 대해 설명한다. 또한, 이하의 각 실시형태에서는, 복수의 절삭 장치에 대해 피가공물 등을 반송하는 반송 시스템에 대해 설명하지만, 본 발명의 반송 시스템은, 복수의 가공 장치에 대해 피가공물 등을 반송할 수 있도록 구성되어 있으면 된다. 즉, 피가공물 등의 반송처는, 절삭 장치 이외의 가공 장치여도 된다.
예를 들어, 본 발명의 반송 시스템은, 복수의 레이저 가공 장치에 대해 피가공물을 반송할 수 있도록 구성되는 경우가 있다. 또, 본 발명의 반송 시스템은, 예를 들어, 일련의 가공에 사용되는 복수 종류의 가공 장치에 대해 순서대로 피가공물을 반송할 수 있도록 구성되는 경우도 있다. 또한, 본 명세서에서는, 피가공물을 가공하기 위한 일련의 공정에서 사용될 수 있는 모든 장치를 가공 장치라고 표현한다. 요컨대, 본 발명의 가공 장치에는, 반드시 피가공물의 가공을 목적으로 하지 않는 테이프 첩부 장치, 자외선 조사 장치, 세정 장치 등이 포함된다.
(실시형태 1)
도 1 은, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템 (2) 의 구성예를 나타내는 평면도이고, 도 2 는, 반송 시스템 (2) 의 접속 관계의 예를 나타내는 기능 블록도이다. 도 1 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템 (2) 은, 절삭 장치 (가공 장치) (4) 에 의해 가공되는 판상의 피가공물 (11) (도 4(B) 등 참조) 을 반송할 때에 사용되는 선로 (6) 를 포함하고 있다.
피가공물 (11) 은, 예를 들어, 실리콘 등의 반도체 재료로 이루어지는 원반상의 웨이퍼이다. 이 피가공물 (11) 의 표면측은, 서로 교차하는 복수의 분할 예정 라인 (스트리트) 에 의해 복수의 소영역으로 구획되어 있고, 각 소영역에는, IC (Integrated Circuit), MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) 등의 디바이스가 형성되어 있다.
피가공물 (11) 의 이면측에는, 피가공물 (11) 보다 직경이 큰 테이프 (다이싱 테이프) (13) 가 첩부되어 있다. 테이프 (13) 의 외주 부분은, 피가공물 (11) 을 둘러싸는 환상의 프레임 (15) 에 고정되어 있다. 피가공물 (11) 은, 이 테이프 (13) 를 개재하여 프레임 (15) 에 지지된 상태로 절삭 장치 (4) 에 반송된다.
또한, 본 실시형태에서는, 실리콘 등의 반도체 재료로 이루어지는 원반상의 웨이퍼를 피가공물 (11) 로 하고 있지만, 피가공물 (11) 의 재질, 형상, 구조, 크기 등에 제한은 없다. 예를 들어, 다른 반도체, 세라믹스, 수지, 금속 등의 재료로 이루어지는 기판 등을 피가공물 (11) 로서 사용할 수도 있다.
마찬가지로, 디바이스의 종류, 수량, 형상, 구조, 크기, 배치 등에도 제한은 없다. 피가공물 (11) 에는, 디바이스가 형성되어 있지 않아도 된다. 또한, 본 실시형태에서는, 테이프 (13) 를 개재하여 프레임 (15) 에 지지된 상태의 피가공물 (11) 을 반송의 대상으로 하고 있지만, 테이프 (13) 가 첩부되어 있지 않은 피가공물 (11) 이나, 프레임 (15) 에 지지되어 있지 않은 피가공물 (11) 등이 반송의 대상이 되는 경우도 있다.
또, 이 피가공물 (11) 을 가공하는 절삭 장치 (4) 는, 피가공물 (11) 의 반송처로서 반송 시스템 (2) 에 접속되어 있지만, 반드시 반송 시스템 (2) 의 구성 요소는 아니다. 따라서, 절삭 장치 (4) 는, 상기 서술한 바와 같이, 반송 시스템 (2) 의 사용 양태에 맞추어 변경, 생략되어도 된다.
그리고, 도 1 에서는, 설명의 편의상 1 대의 절삭 장치 (4a) 만을 나타내고, 도 2 에서는, 2 대의 절삭 장치 (4a, 4b) 를 나타내고 있지만, 본 실시형태에서는, 피가공물 (11) 의 반송처로서 2 대 이상의 절삭 장치 (4) 가 필요하게 된다. 즉, 반송 시스템 (2) 에 접속되는 가공 장치의 대수는 2 대 이상이다.
선로 (6) 는, 각 절삭 장치 (4) 에 대해 피가공물 (11) 을 반송할 수 있도록, 복수의 절삭 장치 (4) 에 걸쳐 설치된다. 즉, 복수의 절삭 장치 (4) 는, 선로 (6) 를 개재하여 서로 연결되어 있다. 또, 선로 (6) 는, 절삭 장치 (4) 의 상부에 고정되어 있다. 그 때문에, 각 절삭 장치 (4) 의 측면에 접속되는 배관 (21) 등에 대해 선로 (6) 가 간섭하는 경우는 없다.
선로 (6) 의 하방에는, 절삭 장치 (4) 외에, 복수의 피가공물 (11) 을 수용할 수 있는 스톡 유닛 (8) 이 형성되어 있다. 스톡 유닛 (8) 에 수용되어 있는 피가공물 (11) 은, 임의의 타이밍에 무인 피가공물 반송차 (무인 반송차) (10) 에 반입된다. 무인 피가공물 반송차 (10) 는, 선로 (6) 를 주행하여 피가공물 (11) 을 각 절삭 장치 (4) 에 반송한다. 또한, 도 1 에서는, 3 대의 무인 피가공물 반송차 (10a, 10b, 10c) 를 나타내고, 도 2 에서는, 2 대의 무인 피가공물 반송차 (10a, 10b) 를 나타내고 있지만, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 대수에 제한은 없다.
도 2 에 나타내는 바와 같이, 절삭 장치 (4), 스톡 유닛 (8), 무인 피가공물 반송차 (10) 에는, 이것들의 동작을 제어하는 제어 유닛 (12) 이 무선으로 접속되어 있다. 단, 제어 유닛 (12) 은, 절삭 장치 (4), 스톡 유닛 (8), 무인 피가공물 반송차 (10) 의 동작을 제어할 수 있도록 구성되어 있으면 되고, 이것들에 대해 유선으로 접속되는 경우도 있다.
도 3 은, 스톡 유닛 (8) 의 구성예를 모식적으로 나타내는 측면도이다. 도 3 에 나타내는 바와 같이, 스톡 유닛 (8) 은, 각종 구성 요소를 수용하는 케이싱 (16) 을 포함한다. 또한, 이 도 3 에서는, 설명의 편의상 케이싱 (16) 의 윤곽만이 나타나 있다.
케이싱 (16) 내에는, 예를 들어, 볼 나사식의 제 1 승강 기구 (도시 생략) 에 의해 승강하는 카세트 유지대 (18) 가 형성되어 있다. 카세트 유지대 (18) 의 상면에는, 복수의 피가공물 (11) 을 수용할 수 있는 카세트 (피가공물 스토커) (20) 가 실린다. 또한, 이 카세트 (20) 는, 상기 서술한 바와 같이, 테이프 (13) 를 개재하여 프레임 (15) 에 지지된 상태의 피가공물 (11) 을 수용한다.
카세트 유지대 (18) 의 측방에는, 프레임 (15) 을 파지하여 이동할 수 있는 푸시 풀 아암 (22) 이 배치되어 있다. 예를 들어, 카세트 (20) 에 수용되어 있는 프레임 (15) 의 높이를 제 1 승강 기구에 의해 푸시 풀 아암 (22) 의 높이에 맞추고, 이 푸시 풀 아암 (22) 에 의해 카세트 (20) 내의 프레임 (15) 을 파지하면, 프레임 (15) 을 카세트 (20) 의 외부로 인출할 수 있다.
푸시 풀 아암 (22) 을 사이에 두는 위치에는, 서로 평행한 상태를 유지하면서 접근, 이격되는 1 쌍의 가이드 레일 (24) 이 형성되어 있다. 각 가이드 레일 (24) 은, 프레임 (15) 을 하방으로부터 지지하는 지지면과, 지지면에 대체로 수직인 측면을 구비하고, 푸시 풀 아암 (22) 에 의해 카세트 (20) 로부터 인출된 프레임 (15) 을 사이에 두고 소정의 위치에 맞춘다.
푸시 풀 아암 (22) 및 1 쌍의 가이드 레일 (24) 의 카세트 유지대 (18) 와는 반대측의 위치에는, 예를 들어, 볼 나사식의 제 2 승강 기구 (도시 생략) 에 의해 승강하는 수용부 유지대 (26) 가 형성되어 있다. 이 수용부 유지대 (26) 의 상면에는, 피가공물 (11) (프레임 (15)) 을 수용할 수 있는 무인 피가공물 반송차 (10) 의 수용부 (38) 가 실린다.
1 쌍의 가이드 레일 (24) 에 의해 소정의 위치에 맞춰진 프레임 (15) 은, 푸시 풀 아암 (22) 에 의해 다시 파지되고, 제 2 승강 기구에 의해 높이가 조정된 수용부 유지대 (26) 상의 수용부 (38) 에 측방으로부터 삽입된다. 요컨대, 수용부 유지대 (26) 에 의해 유지된 수용부 (38) 에 대해, 피가공물 (11) 이 전달된다.
또한, 수용부 유지대 (26) 의 상면에는, 수용부 (38) 의 위치를 규정하는 위치 규정부 (도시 생략) 가 형성되어 있다. 따라서, 피가공물 (11) 이 수용된 카세트 (20) 로부터 무인 피가공물 반송차 (10) 의 수용부 (38) 에 피가공물 (11) 을 전달할 때에는, 수용부 (38) 는, 수용부 유지대 (26) 상의 위치 규정부에 의해 정해지는 소정의 위치에 위치된다.
수용부 유지대 (26) 의 바로 위의 영역에는, 케이싱 (16) 의 천장 (16a) 을 상하로 관통하는 개구 (16b) 가 형성되어 있다. 이 개구 (16b) 는, 적어도, 수용부 유지대 (26) 에 실리는 무인 피가공물 반송차 (10) 의 수용부 (38) 를 통과시킬 수 있는 형상, 크기로 형성되어 있다. 수용부 (38) 는, 개구 (16b) 를 통해서 케이싱 (16) 의 외부에서 내부로 반송되거나, 또는, 개구 (16b) 를 통해서 케이싱 (16) 의 내부에서 외부로 반송된다.
제 1 승강 기구, 푸시 풀 아암 (22), 1 쌍의 가이드 레일 (24), 제 2 승강 기구 등의 구성 요소에는, 스톡 유닛 (8) 의 동작을 제어하기 위한 제어 장치 (32) 가 접속되어 있다. 제어 장치 (32) 는, 대표적으로는, CPU (Central Processing Unit) 등의 처리 장치나, 플래시 메모리 등의 기억 장치를 포함하는 컴퓨터에 의해 구성된다. 기억 장치에 기억되는 소프트웨어에 따라 처리 장치 등을 동작시킴으로써, 제어 장치 (32) 의 기능이 실현되고 있다.
제어 장치 (32) 에는, 또한, 반송 시스템 (2) 의 제어 유닛 (12) 으로부터 송신되는 제어용의 신호 (제어 신호) 를 수신하는 수신기 (34) 와, 제어 유닛 (12) 에 대해 통지용의 신호 (통지 신호) 를 송신하는 송신기 (36) 가 접속되어 있다. 제어 장치 (32) 는, 수신기 (34) 로 수신한 신호에 기초하여 스톡 유닛 (8) 의 동작을 제어한다. 또, 제어 장치 (32) 는, 송신기 (36) 를 통해서 필요한 신호를 제어 유닛 (12) 에 송신한다.
도 4(A) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 구성예를 나타내는 사시도이고, 도 4(B) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 수용부 (38) 가 승강하는 모습을 나타내는 사시도이다. 도 4(A) 및 도 4(B) 에 나타내는 바와 같이, 무인 피가공물 반송차 (10) 는, 예를 들어, 1 장의 피가공물 (11) (및 프레임 (15)) 을 수용할 수 있도록 구성된 직방체상의 수용부 (38) 를 포함한다.
수용부 (38) 의 내부에는, 피가공물 (11) (및 프레임 (15)) 을 수용하기 위한 공간 (수용 공간) (38a) 이 형성되어 있다. 수용부 (38) 의 1 쌍의 측면 (38b) 에는, 각각, 피가공물 (11) (및 프레임 (15)) 을 통과시킬 수 있는 크기의 개구 (38c) 가 형성되어 있고, 수용부 (38) 의 공간 (38a) 은, 이 개구 (38c) 를 개재하여 외부에 접속되어 있다. 따라서, 피가공물 (11) (및 프레임 (15)) 은, 개구 (38c) 를 통해서 수용부 (38) 의 공간 (38a) 에 반입되고, 또, 개구 (38c) 를 통해서 수용부 (38) 의 공간 (38a) 으로부터 반출된다.
수용부 (38) 의 상방에는, 주행부 (39) 가 배치되어 있다. 주행부 (39) 는, 평면에서 보아 수용부 (38) 와 동일한 정도의 크기로 형성된 평판상의 기부 (基部) (39a) 를 포함한다. 기부 (39a) 의 네 모퉁이에 상당하는 영역의 하면측에는, 승강 기구 (40) (도 4(B)) 가 배치되어 있다. 각 승강 기구 (40) 는, 수용부 (38) 의 상면측에 선단부가 접속된 와이어 (40a) 와, 기부 (39a) 의 하면측에 고정되고 와이어 (40a) 를 권취하는 윈치 (도시 생략) 를 포함하고 있고, 수용부 (38) 를 매달아 승강시킨다.
즉, 수용부 (38) 에는, 승강 기구 (40) 를 개재하여 상방으로부터 주행부 (39) 가 연결되어 있다. 예를 들어, 와이어 (40a) 를 풀어내도록 윈치를 동작시키면, 도 4(B) 에 나타내는 바와 같이, 주행부 (39) 에 대해 수용부 (38) 를 하강시킬 수 있다. 또, 이 와이어 (40a) 를 권취하도록 윈치를 동작시키면, 수용부 (38) 를 상승시킬 수 있다.
기부 (39a) 의 상면측에는, 직방체상의 돌출부 (39b) 가 배치되어 있고, 돌출부 (39b) 의 측면에는, 복수 (본 실시형태에서는, 4 개) 의 차륜 (주행 기구) (41) 이 형성되어 있다. 각 차륜 (41) 은, 모터 등의 회전 구동원에 연결되어 있고 회전한다. 또, 돌출부 (39b) 의 상면에는 단자 (39c) 가 형성되어 있다. 무인 피가공물 반송차 (10) 의 각 구성 요소에는, 이 단자 (39c) 를 통해서 외부로부터 전력이 공급된다.
기부 (39a) 의 내부에는, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 동작을 제어하는 제어 장치 (42) 가 형성되어 있다. 제어 장치 (42) 는, 대표적으로는, CPU 등의 처리 장치나, 플래시 메모리 등의 기억 장치를 포함하는 컴퓨터에 의해 구성된다. 기억 장치에 기억되는 소프트웨어에 따라 처리 장치 등을 동작시킴으로써, 제어 장치 (42) 의 기능이 실현되고 있다.
이 제어 장치 (42) 에는, 반송 시스템 (2) 의 제어 유닛 (12) 으로부터 송신되는 제어용의 신호 (제어 신호) 를 수신하는 수신기 (44) 와, 제어 유닛 (12) 에 대해 통지용의 신호 (통지 신호) 를 송신하는 송신기 (46) 가 접속되어 있다. 제어 장치 (42) 는, 수신기 (44) 로 수신한 신호에 기초하여 무인 피가공물 반송차 (10) 의 동작을 제어한다. 또, 제어 장치 (42) 는, 송신기 (46) 를 통해서 필요한 신호를 제어 유닛 (12) 에 송신한다.
또한, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 각 구성 요소에는, 예를 들어, 이차 전지가 접속되어 있어도 된다. 이 경우에는, 이차 전지로부터 공급되는 전력에 의해, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 각 구성 요소를 동작시킬 수 있다. 이차 전지에 대한 급전 (충전) 은, 예를 들어, 단자 (39c) 를 사용하는 접촉 방식으로 실시되지만, 이 단자 (39c) 등을 사용하지 않는 비접촉 (와이어리스, 무접점) 방식으로 실시되어도 된다.
도 5 는, 절삭 장치 (4) 나 선로 (6) 등의 외관을 나타내는 사시도이고, 도 6 은, 절삭 장치 (4) 의 구성예를 나타내는 사시도이다. 도 5 및 도 6 에 나타내는 바와 같이, 절삭 장치 (4) 는, 각 구성 요소를 지지하는 기대 (基臺) (48) 를 구비하고 있다. 기대 (48) 의 모서리부에는, 개구 (48a) 가 형성되어 있고, 이 개구 (48a) 에는, 승강 기구 (도시 생략) 에 의해 승강하는 수용부 유지대 (50) 가 형성되어 있다.
수용부 유지대 (50) 의 상면에는, 상기 서술한 무인 피가공물 반송차 (10) 의 수용부 (38) 가 실린다. 또한, 이 수용부 유지대 (50) 의 상면에는, 수용부 (38) 의 위치를 규정하는 위치 규정부 (도시 생략) 가 형성되어 있고, 수용부 유지대 (50) 상의 수용부 (38) 는, 위치 규정부에 의해 정해지는 소정의 위치에 위치된다.
도 6 에 나타내는 바와 같이, 개구 (48a) 의 측방에는, X 축 방향 (전후 방향, 가공 이송 방향) 으로 긴 개구 (48b) 가 형성되어 있다. 개구 (48b) 내에는, 볼 나사식의 X 축 이동 기구 (가공 이송 유닛) (52) 와, X 축 이동 기구 (52) 의 상부를 덮는 방진 방적 커버 (54) 가 배치되어 있다. X 축 이동 기구 (52) 는, X 축 이동 테이블 (52a) 을 구비하고 있고, 이 X 축 이동 테이블 (52a) 을 X 축 방향으로 이동시킨다.
X 축 이동 테이블 (52a) 상에는, 피가공물 (11) 을 흡인, 유지하는 척 테이블 (유지 테이블) (56) 이 형성되어 있다. 척 테이블 (56) 은, 모터 등의 회전 구동원 (도시 생략) 에 연결되어 있고, Z 축 방향 (연직 방향, 절입 (切入) 이송 방향) 에 대체로 평행한 회전축의 둘레로 회전한다. 또, 척 테이블 (56) 은, 상기 서술한 X 축 이동 기구 (52) 에 의해 X 축 방향으로 이동한다 (가공 이송).
척 테이블 (56) 의 상면은, 피가공물 (11) 을 유지하기 위한 유지면 (56a) 으로 되어 있다. 유지면 (56a) 은, 척 테이블 (56) 의 내부에 형성된 흡인로 (도시 생략) 등을 개재하여 흡인원 (도시 생략) 에 접속되어 있다. 또, 척 테이블 (56) 의 주위에는, 피가공물 (11) 을 지지하는 프레임 (15) 을 사방으로부터 고정시키기 위한 4 개의 클램프 (58) 가 형성되어 있다.
개구 (48b) 의 상방에는, Y 축 방향 (좌우 방향, 산출 이송 방향) 에 평행한 상태를 유지하면서 접근, 이격되는 1 쌍의 가이드 레일 (임시 재치 영역) (60) 이 형성되어 있다. 1 쌍의 가이드 레일 (60) 은, 각각, 프레임 (15) 을 하방으로부터 지지하는 지지면과, 지지면에 대체로 수직인 측면을 구비하고, 수용부 (38) 로부터 인출된 프레임 (15) 을 X 축 방향에 있어서 사이에 두고 소정의 위치에 맞춘다.
기대 (48) 의 상방에는, 문형의 제 1 지지 구조 (62) 가 개구 (48b) 에 걸치도록 배치되어 있다. 제 1 지지 구조 (62) 의 전면 (前面) (가이드 레일 (60) 측의 면) 에는, Y 축 방향을 따르는 제 1 레일 (64) 이 고정되어 있고, 이 제 1 레일 (64) 에는, 제 1 이동 기구 (66) 등을 개재하여 제 1 유지 유닛 (68) 이 연결되어 있다.
제 1 유지 유닛 (68) 은, 예를 들어, 프레임 (15) 의 상면에 접촉하여 이 프레임 (15) 을 흡착, 유지하고, 제 1 이동 기구 (66) 에 의해 승강함과 함께, 제 1 레일 (64) 을 따라 Y 축 방향으로 이동한다. 제 1 유지 유닛 (68) 의 개구 (48a) 측에는, 프레임 (15) 을 파지하기 위한 파지 기구 (68a) 가 형성되어 있다.
예를 들어, 파지 기구 (68a) 로 프레임 (15) 을 파지하여 제 1 유지 유닛 (68) 을 Y 축 방향으로 이동시키면, 수용부 (38) 내의 프레임 (15) 을 1 쌍의 가이드 레일 (60) 에 인출하거나, 또는, 1 쌍의 가이드 레일 (60) 상의 프레임 (15) 을 수용부 (38) 에 삽입할 수 있다. 또한, 1 쌍의 가이드 레일 (60) 에서 프레임 (15) 의 위치를 맞춘 후에는, 제 1 유지 유닛 (68) 으로 이 프레임 (15) (피가공물 (11)) 을 흡착, 유지하여 척 테이블 (56) 에 반입한다.
또, 제 1 지지 구조 (62) 의 전면에는, Y 축 방향을 따르는 제 2 레일 (70) 이 제 1 레일 (64) 의 상방에 고정되어 있다. 이 제 2 레일 (70) 에는, 제 2 이동 기구 (72) 등을 개재하여 제 2 유지 유닛 (74) 이 연결되어 있다. 제 2 유지 유닛 (74) 은, 예를 들어, 프레임 (15) 의 상면에 접촉하여 이 프레임 (15) 을 흡착, 유지하고, 제 2 이동 기구 (72) 에 의해 승강함과 함께, 제 2 레일 (70) 을 따라 Y 축 방향으로 이동한다.
제 1 지지 구조 (62) 의 후방에는, 문형의 제 2 지지 구조 (76) 가 배치되어 있다. 제 2 지지 구조 (76) 의 전면 (제 1 지지 구조 (62) 측의 면) 에는, 각각 Y 축 Z 축 이동 기구 (산출 이송 유닛, 절입 이송 유닛) (78) 를 개재하여 2 조 (組) 의 절삭 유닛 (가공 유닛) (80) 이 형성되어 있다. 각 절삭 유닛 (80) 은, 대응하는 Y 축 Z 축 이동 기구 (78) 에 의해 Y 축 방향으로 이동함 (산출 이송) 과 함께, Z 축 방향으로 이동한다 (절입 이송).
각 절삭 유닛 (80) 은, Y 축 방향에 대체로 평행한 회전축이 되는 스핀들 (도시 생략) 을 구비하고 있다. 각 스핀들의 일단측에는, 원환상의 절삭 블레이드 (82) 가 장착되어 있다. 각 스핀들의 타단측에는, 모터 등의 회전 구동원 (도시 생략) 이 연결되어 있다. 또, 절삭 블레이드 (82) 의 옆에는, 피가공물 (11) 이나 절삭 블레이드 (82) 에 순수 등의 절삭액을 공급하기 위한 노즐이 배치되어 있다.
이 노즐로부터 절삭액을 공급하면서, 회전시킨 절삭 블레이드 (82) 를 척 테이블 (56) 에 유지된 피가공물 (11) 에 절입시킴으로써, 피가공물 (11) 을 가공 (절삭) 할 수 있다. 절삭 유닛 (80) 에 인접하는 위치에는, 척 테이블 (56) 에 유지된 피가공물 (11) 등을 촬상하기 위한 촬상 유닛 (카메라) (84) 이 형성되어 있다. 이 촬상 유닛 (84) 도, Y 축 Z 축 이동 기구 (78) 에 의해 Y 축 방향으로 이동함과 함께, Z 축 방향으로 이동한다.
개구 (48b) 에 대해 개구 (48a) 와 반대측의 위치에는, 세정 유닛 (86) 이 배치되어 있다. 세정 유닛 (86) 은, 통 형상의 세정 공간 내에서 피가공물 (11) 을 흡인, 유지하는 스피너 테이블 (88) 을 구비하고 있다. 스피너 테이블 (88) 의 하부에는, 스피너 테이블 (88) 을 소정의 속도로 회전시키는 회전 구동원 (도시 생략) 이 연결되어 있다.
스피너 테이블 (88) 의 상방에는, 스피너 테이블 (88) 에 의해 유지된 피가공물 (11) 을 향해 세정용의 유체 (대표적으로는, 물과 에어를 혼합한 혼합 유체) 를 분사하는 분사 노즐 (90) 이 배치되어 있다. 피가공물 (11) 을 유지한 스피너 테이블 (88) 을 회전시켜, 분사 노즐 (90) 로부터 세정용의 유체를 분사함으로써, 피가공물 (11) 을 세정할 수 있다.
절삭 유닛 (80) 으로 피가공물 (11) 을 가공한 후에는, 예를 들어, 제 2 유지 유닛 (74) 으로 프레임 (15) 을 흡착, 유지하여 세정 유닛 (86) 에 반입한다. 세정 유닛 (86) 으로 피가공물 (11) 을 세정한 후에는, 예를 들어, 제 1 유지 유닛 (68) 으로 프레임 (15) 을 흡착, 유지하여 1 쌍의 가이드 레일 (60) 에 싣고, 그 후, 이 프레임 (15) 을 파지 기구 (68a) 로 파지하여 수용부 (38) 에 수용한다.
도 5 에 나타내는 바와 같이, 기대 (48) 의 상면측은, 커버 (92) 에 의해 덮여 있고, 상기 서술한 각 구성 요소는, 커버 (92) 의 내측에 수용된다. 개구 (48a) 의 바로 위의 영역에는, 커버 (92) 의 천장 (92a) 을 상하로 관통하는 개구 (92b) 가 형성되어 있다. 무인 피가공물 반송차 (10) 의 수용부 (38) 는, 개구 (92b) 를 통해서 커버 (92) 의 외부에서 내부로 반송되거나, 또는, 개구 (92b) 를 통해서 커버 (92) 의 내부에서 외부로 반송된다. 개구 (92b) 의 형상이나 크기에 특별한 제한은 없지만, 이 개구 (92b) 는, 적어도 수용부 (38) 를 통과시킬 수 있도록 구성될 필요가 있다.
상기 서술한 절삭 장치 (4) 의 각 구성 요소는, 제어 장치 (96) 에 접속되어 있다 (도 5). 제어 장치 (96) 는, 대표적으로는, CPU 등의 처리 장치나, 플래시 메모리 등의 기억 장치를 포함하는 컴퓨터에 의해 구성된다. 기억 장치에 기억되는 소프트웨어에 따라 처리 장치 등을 동작시킴으로써, 제어 장치 (96) 의 기능이 실현되고 있다.
제어 장치 (96) 에는, 반송 시스템 (2) 의 제어 유닛 (12) 으로부터 송신되는 제어용의 신호 (제어 신호) 를 수신하는 수신기 (98) 와, 제어 유닛 (12) 에 대해 통지용의 신호 (통지 신호) 를 송신하는 송신기 (100) 가 추가로 접속되어 있다. 제어 장치 (96) 는, 예를 들어, 수신기 (98) 로 수신한 신호 등에 기초하여, 상기 서술한 절삭 장치 (4) 의 각 구성 요소를 제어한다.
기대 (48) 의 측벽에는, 각종 배관 (21) 을 접속하는 배관 접속부 (48c) (도 5) 가 형성되어 있다. 또, 커버 (92) 의 측벽에는, 메인터넌스시 등에 개폐되는 문 (92c) (도 5) 이 형성되어 있다. 또한, 커버 (92) 의 측벽에는, 조작 패널 (도시 생략) 이나 디스플레이 (도시 생략) 등이 형성되어 있어도 된다.
도 7 은, 절삭 장치 (4) 에 반송 시스템 (2) 의 선로 (6) 가 설치되는 모습을 나타내는 사시도이다. 도 5 및 도 7 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템 (2) 의 선로 (6) 는, 절삭 장치 (4) 가 구비하는 커버 (92) 의 천장 (92a) 의 상면측에 장착된다. 즉, 선로 (6) 는, 절삭 장치 (4) 의 바로 위의 공간에 설치된다.
이로써, 절삭 장치 (4) 의 측면에 형성되어 있는 배관 접속부 (48c) 나 문 (92c) 등의 구조에 대해, 선로 (6) 가 간섭하는 일은 없어진다. 요컨대, 선로 (6) 를 설계할 때에, 절삭 장치 (4) 의 측면의 구조를 고려할 필요가 없다. 그 때문에, 반송 시스템 (2) 의 구축이 용이해진다.
선로 (6) 는, 금속 등의 재료로 구성되고 서로 연결되는 복수의 레일 (102) 을 포함한다. 각 레일 (102) 은, 대체로 평탄한 상면을 갖는 상판 (102a) 을 구비하고 있다. 상판 (102a) 의 1 쌍의 측단에는, 각각, 측판 (102b) 의 상단이 접속되어 있다. 2 조의 측판 (102b) 의 하단에는, 각각, 대체로 평탄한 상면을 갖는 하판 (102c) 의 측단이 접속되어 있다.
즉, 레일 (102) 은, 상판 (102a) 과, 2 조의 측판 (102b) 과, 2 조의 하판 (102c) 을 구비하고 있다. 2 조의 하판 (102c) 은, 서로 접촉하지 않도록 소정의 간극을 두고 배치되어 있고, 이 간극에는, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 돌출부 (39b) 가 삽입된다. 2 조의 하판 (102c) 의 간극에 돌출부 (39b) 가 삽입된 상태로, 각 하판 (102c) 의 상면에 차륜 (41) 이 접촉함으로써, 무인 피가공물 반송차 (10) 는, 수용부 (38) 가 레일 (102) 의 하방에 배치된 상태로 이 레일 (102) 을 주행한다.
또, 선로 (6) 는, 절삭 장치 (4) 의 상부에 고정되는 레일 유지 구조 (104) 를 포함한다. 레일 유지 구조 (104) 는, 복수의 레그부 (104a) 를 구비하고 있다. 각 레그부 (104a) 의 상단에는, 평판상의 유지부 (104b) 가 접속되어 있고, 각 레그부 (104a) 는, 유지부 (104b) 를 개재하여 서로 연결되어 있다. 각 레그부 (104a) 의 하단에는, 흡착부 (104c) 가 형성되어 있다. 흡착부 (104c) 는, 예를 들어, 절삭 장치 (4) 가 구비하는 커버 (92) 의 천장 (92a) 에 흡착하는 복수의 흡반 (吸盤) (도시 생략) 을 포함한다.
그 때문에, 이 흡착부 (104c) 의 흡반을 커버 (92) 의 천장 (92a) 에 흡착시키면, 절삭 장치 (4) 의 상부에 레일 유지 구조 (104) 를 고정시킬 수 있다. 레일 유지 구조 (104) 의 유지부 (104b) 의 하면측에는, 레일 (102) 의 상판 (102a) 이 고정되어 있고, 절삭 장치 (4) 의 상부에 레일 유지 구조 (104) 를 고정시키면, 레일 (102) 은, 2 조의 하판 (102c) 이 천장 (92a) 과 대면한 상태로 레일 유지 구조 (104) 에 유지된다. 또한, 레일 (102) 에는, 무인 피가공물 반송차 (10) 에 급전하는 급전 설비 (도시 생략) 가 접속되어 있다.
도 8(A) 는, 선로 (6) 에 사용되는 레일 (102) 의 제 1 예를 나타내는 평면도이고, 도 8(B) 는, 레일 (102) 의 제 2 예를 나타내는 평면도이며, 도 8(C) 는, 레일 (102) 의 제 3 예를 나타내는 평면도이다. 선로 (6) 는, 예를 들어, 도 8(A), 도 8(B), 및 도 8(C) 에 나타내는 복수의 레일 (106, 108, 110) 을 연결함으로써 구성된다.
도 8(A) 에 나타내는 레일 (106) 은, 제 1 경로 (106a) 와 제 2 경로 (106b) 를 포함하고 있고, 절삭 장치 (4) 등의 바로 위에 설치된다. 이 레일 (106) 을 사용함으로써, 예를 들어, 어느 무인 피가공물 반송차 (10) (1 대째) 와 절삭 장치 (4) 사이에서 피가공물 (11) 의 전달을 실시하는 동안에, 다른 무인 피가공물 반송차 (10) (2 대째) 가 이 무인 피가공물 반송차 (10) (1 대째) 를 추월할 수 있게 된다. 또한, 레일 (106) 의 제 1 경로 (106a) 는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 절삭 장치 (4) 의 개구 (92b) 의 바로 위를 지나도록 배치된다.
한편, 도 8(B) 에 나타내는 레일 (108) 은, 직선상으로 형성되어 있고, 도 8(C) 에 나타내는 레일 (110) 은, 모퉁이에 적합한 원호상 (곡선상) 으로 형성되어 있다. 레일 (108) 은, 예를 들어, 스톡 유닛 (8) 등의 바로 위에 설치된다. 레일 (110) 은, 예를 들어, 인접하는 2 개의 레일 (106, 108) 사이를 연결하기 위해 사용된다.
제 1 경로 (106a) 와 제 2 경로 (106b) 를 포함하는 레일 (106) 은, 큰 중량에도 견딜 수 있도록, 3 개의 레그부 (104a) 를 구비하는 대형의 레일 유지 구조 (104) (도 1 의 레일 유지 구조 (112)) 에 의해 유지된다. 이에 대해, 1 개의 경로만으로 구성되는 레일 (108) 은, 2 개의 레그부 (104a) 를 구비하는 소형의 레일 유지 구조 (104) (도 1 의 레일 유지 구조 (114)) 에 의해 유지되어 있다.
또, 절삭 장치 (4) 나 스톡 유닛 (8) 등의 바로 위에 배치되는 레일 (106, 108) 에는, 2 차원 코드로 대표되는 식별 코드나 무선 태그 등의 정보 제공부 (116) (도 1) 가 형성되어 있다. 이 정보 제공부 (116) 에 의해 제공되는 정보는, 예를 들어, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 위치의 확인 등에 사용된다.
또한, 선로 (6) 를 구성하는 레일이나 레일 유지 구조의 종류, 수량, 배치 (접속의 관계) 등에 제한은 없다. 예를 들어, 임의의 2 개의 레일 사이를, 레일 (106) 이나 레일 (108) 등으로 연결해도 된다. 또, 예를 들어, 원호상의 레일 (110) 대신에, 직각상의 레일 등을 사용할 수도 있다.
다음으로, 절삭 장치 (4) 의 상방의 영역과 절삭 장치 (4) 의 수용부 유지대 (50) 사이에서 무인 피가공물 반송차 (10) 의 수용부 (38) 를 이동시킬 때의 동작에 대해 상세히 서술한다. 도 9(A) 는, 절삭 장치 (4) 의 상방의 영역을 무인 피가공물 반송차 (10) 가 주행하는 모습을 Y 축 방향에서 본 일부 단면 측면도이고, 도 9(B) 는, 수용부 (38) 를 하강시킬 때의 모습을 Y 축 방향에서 본 일부 단면 측면도이다.
또, 도 10(A) 는, 도 9(A) 에 나타내는 상태를 X 축 방향에서 본 일부 단면 측면도이고, 도 10(B) 는, 도 9(B) 에 나타내는 상태를 X 축 방향에서 본 일부 단면 측면도이다. 도 9(A) 및 도 10(A) 에 나타내는 바와 같이, 예를 들어, 레일 (102) 을 따라 무인 피가공물 반송차 (10) 를 주행시킨 후에는, 개구 (92b) 의 바로 위에서 무인 피가공물 반송차 (10) 를 정차시킨다.
그리고, 도 9(B) 및 도 10(B) 에 나타내는 바와 같이, 승강 기구 (40) 의 윈치를 동작시켜, 와이어 (40a) 를 인출한다. 이로써, 개구 (92b) 를 통과하도록 수용부 (38) 를 하강시켜, 수용부 유지대 (50) 에 수용부 (38) 를 실을 수 있다. 요컨대, 수용부 유지대 (50) 에 의해 수용부 (38) 를 유지할 수 있다. 수용부 유지대 (50) 에 의해 수용부 (38) 를 유지한 후에는, 피가공물 (11) (프레임 (15)) 이 수용부 (38) 로부터 반출된다.
예를 들어, 절삭 장치 (4) 에 의한 피가공물 (11) 의 가공이 완료된 후에는, 피가공물 (11) (프레임 (15)) 이 수용부 (38) 에 반입된다. 그 후, 승강 기구 (40) 의 윈치를 동작시켜, 와이어 (40a) 를 권취한다. 이로써, 개구 (92b) 를 통과하도록 수용부 (38) 를 상승시켜, 절삭 장치 (4) 의 상방의 영역 (즉, 커버 (92) 의 외부) 에 수용부 (38) 를 반출할 수 있다. 절삭 장치 (4) 의 상방의 영역에 수용부 (38) 를 반출한 후에는, 차륜 (41) 을 회전시켜, 무인 피가공물 반송차 (10) 를 레일 (102) 을 따라 주행시키면 된다.
또한, 여기서는, 절삭 장치 (4) 의 상방의 영역과 절삭 장치 (4) 의 수용부 유지대 (50) 사이에서 수용부 (38) 를 반송할 때의 동작에 대해 설명했지만, 스톡 유닛 (8) 의 상방의 영역과 스톡 유닛 (8) 의 수용부 유지대 (26) 사이에서 수용부 (38) 를 반송할 때의 동작도 동일하다.
다음으로, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템 (2) 의 제어 방법의 예를 설명한다. 도 11 은, 반송 시스템 (2) 의 제어 방법의 예를 설명하기 위한 기능 블록도이다. 예를 들어, 절삭 장치 (4) 의 제어 장치 (96) 는, 새로운 피가공물 (11) (미가공의 피가공물 (11)) 이 필요한 상황이 되면, 그 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (피가공물 요구 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (96) 에서 생성된 통지 신호 (피가공물 요구 신호) 는, 송신기 (100) 로부터 제어 유닛 (12) 에 송신된다.
도 11 에 나타내는 바와 같이, 제어 유닛 (12) 은, 각종 제어를 실시하기 위한 제어 신호를 생성하는 제어부 (제어 신호 생성부) (122) 를 구비하고 있다. 이 제어부 (122) 는, 대표적으로는, CPU 등의 처리 장치나, 플래시 메모리 등의 기억 장치를 포함하는 컴퓨터에 의해 구성된다. 기억 장치에 기억되는 소프트웨어에 따라 처리 장치 등을 동작시킴으로써, 제어부 (122) 의 기능이 실현되고 있다.
이 제어부 (122) 에는, 절삭 장치 (4), 스톡 유닛 (8), 무인 피가공물 반송차 (10) 등으로부터 송신되는 통지 신호를 수신하는 수신기 (124) 와, 절삭 장치 (4), 스톡 유닛 (8), 무인 피가공물 반송차 (10) 등에 대해 제어 신호를 송신하는 송신기 (126) 가 접속되어 있다.
제어 유닛 (12) 의 수신기 (124) 는, 절삭 장치 (4) 의 송신기 (100) 로부터 송신된 통지 신호 (피가공물 요구 신호) 를 수신하면, 이것을 제어부 (122) 에 보낸다. 제어부 (122) 는, 절삭 장치 (4) 로부터의 통지 신호 (피가공물 요구 신호) 를 확인하면, 무인 피가공물 반송차 (10) 에 대해, 스톡 유닛 (8) 의 개구 (16b) 의 바로 위로 이동하여, 수용부 (38) 를 스톡 유닛 (8) 의 수용부 유지대 (26) 에 반송하도록 지시를 내린다. 구체적으로는, 제어부 (122) 는, 이 지시에 상당하는 제어 신호 (제 1 반송 지시 신호) 를 생성하고, 송신기 (126) 로부터 무인 피가공물 반송차 (10) 에 송신한다.
무인 피가공물 반송차 (10) 의 수신기 (44) 는, 제어 유닛 (12) 으로부터의 제어 신호 (제 1 반송 지시 신호) 를 수신하면, 이것을 제어 장치 (42) 에 보낸다. 제어 장치 (42) 는, 이 제어 신호 (제 1 반송 지시 신호) 에 기초하여 차륜 (주행 기구) (41) 등의 동작을 제어하고, 무인 피가공물 반송차 (10) 를 선로 (6) 를 따라 주행시킨다.
또한, 도 11 에 나타내는 바와 같이, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 제어 장치 (42) 에는, 선로 (6) 에 형성되어 있는 정보 제공부 (116) 의 정보를 판독하기 위한 판독기 (118) 가 접속되어 있다. 그 때문에, 판독기 (118) 에 의해 정보 제공부 (116) 의 정보를 판독함으로써, 제어 장치 (42) 는, 자신 (무인 피가공물 반송차 (10)) 의 위치를 확인할 수 있다.
제어 장치 (42) 는, 자신 (무인 피가공물 반송차 (10)) 이 스톡 유닛 (8) 의 개구 (16b) 의 바로 위로 이동한 것을 확인하면, 승강 기구 (40) 의 윈치를 동작시켜, 와이어 (40a) 를 인출한다. 이로써, 개구 (16b) 를 통과하도록 수용부 (38) 를 하강시켜, 수용부 유지대 (26) 에 수용부 (38) 를 실을 수 있다.
수용부 유지대 (26) 에 수용부 (38) 를 실은 후에는, 제어 장치 (42) 는, 스톡 유닛 (8) 에 대한 수용부 (38) 의 반송이 완료된 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (제 1 반송 완료 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (42) 에서 생성된 통지 신호 (제 1 반송 완료 신호) 는, 송신기 (46) 로부터 제어 유닛 (12) 에 송신된다.
제어 유닛 (12) 의 수신기 (124) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 송신기 (46) 로부터 송신된 통지 신호 (제 1 반송 완료 신호) 를 수신하면, 이것을 제어부 (122) 에 보낸다. 제어부 (122) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 로부터의 통지 신호 (제 1 반송 완료 신호) 를 확인하면, 스톡 유닛 (8) 에 대해, 수용부 유지대 (26) 상의 수용부 (38) 에 새로운 피가공물 (11) 을 반입하도록 지시를 내린다. 구체적으로는, 제어부 (122) 는, 이 지시에 상당하는 제어 신호 (제 1 반입 지시 신호) 를 생성하고, 송신기 (126) 로부터 스톡 유닛 (8) 에 송신한다.
스톡 유닛 (8) 의 수신기 (34) 는, 제어 유닛 (12) 으로부터의 제어 신호 (제 1 반입 지시 신호) 를 수신하면, 이것을 제어 장치 (32) 에 보낸다. 제어 장치 (32) 는, 이 제어 신호 (제 1 반입 지시 신호) 에 기초하여 제 1 승강 기구, 푸시 풀 아암 (22), 1 쌍의 가이드 레일 (24), 제 2 승강 기구 등의 동작을 제어하여, 새로운 피가공물 (11) 을 수용부 (38) 에 반입한다.
새로운 피가공물 (11) 이 수용부 (38) 에 반입되면, 제어 장치 (32) 는, 수용부 (38) 에 대한 피가공물 (11) 의 반입이 완료된 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (제 1 반입 완료 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (32) 에서 생성된 통지 신호 (제 1 반입 완료 신호) 는, 송신기 (36) 로부터 제어 유닛 (12) 에 송신된다.
제어 유닛 (12) 의 수신기 (124) 는, 스톡 유닛 (8) 의 송신기 (36) 로부터 송신된 통지 신호 (제 1 반입 완료 신호) 를 수신하면, 이것을 제어부 (122) 에 보낸다. 제어부 (122) 는, 스톡 유닛 (8) 으로부터의 통지 신호 (제 1 반입 완료 신호) 를 확인하면, 무인 피가공물 반송차 (10) 에 대해, 절삭 장치 (4) 의 개구 (92b) 의 바로 위로 이동하여, 수용부 (38) 를 절삭 장치 (4) 의 수용부 유지대 (50) 에 반송하도록 지시를 내린다. 구체적으로는, 제어부 (122) 는, 이 지시에 상당하는 제어 신호 (제 2 반송 지시 신호) 를 생성하고, 송신기 (126) 로부터 무인 피가공물 반송차 (10) 에 송신한다.
무인 피가공물 반송차 (10) 의 수신기 (44) 는, 제어 유닛 (12) 으로부터의 제어 신호 (제 2 반송 지시 신호) 를 수신하면, 이것을 제어 장치 (42) 에 보낸다. 제어 장치 (42) 는, 이 제어 신호 (제 2 반송 지시 신호) 에 기초하여 수용부 (38) 를 상승시켜, 수용부 (38) 를 스톡 유닛 (8) 으로부터 반출한다. 그 후, 차륜 (41) 등의 동작을 제어하여, 무인 피가공물 반송차 (10) 를 선로 (6) 를 따라 주행시킨다.
제어 장치 (42) 는, 자신 (무인 피가공물 반송차 (10)) 이 절삭 장치 (4) 의 개구 (92b) 의 바로 위로 이동한 것을 확인하면, 승강 기구 (40) 의 윈치를 동작시켜, 와이어 (40a) 를 인출한다. 이로써, 개구 (92b) 를 통과하도록 수용부 (38) 를 하강시켜, 수용부 유지대 (50) 에 수용부 (38) 를 실을 수 있다.
수용부 유지대 (50) 에 수용부 (38) 를 실은 후에는, 제어 장치 (42) 는, 절삭 장치 (4) 에 대한 수용부 (38) 의 반송이 완료된 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (제 2 반송 완료 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (42) 에서 생성된 통지 신호 (제 2 반송 완료 신호) 는, 송신기 (46) 로부터 제어 유닛 (12) 에 송신된다.
제어 유닛 (12) 의 수신기 (124) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 송신기 (46) 로부터 송신된 통지 신호 (제 2 반송 완료 신호) 를 수신하면, 이것을 제어부 (122) 에 보낸다. 제어부 (122) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 로부터의 통지 신호 (제 2 반송 완료 신호) 를 확인하면, 절삭 장치 (4) 에 대해, 수용부 유지대 (50) 상의 수용부 (38) 로부터 새로운 피가공물 (11) 을 반출하도록 지시를 내린다. 구체적으로는, 제어부 (122) 는, 이 지시에 상당하는 제어 신호 (제 1 반출 지시 신호) 를 생성하고, 송신기 (126) 로부터 절삭 장치 (4) 에 송신한다.
절삭 장치 (4) 의 수신기 (98) 는, 제어 유닛 (12) 으로부터의 제어 신호 (제 1 반출 지시 신호) 를 수신하면, 이것을 제어 장치 (96) 에 보낸다. 제어 장치 (96) 는, 이 제어 신호 (제 1 반출 지시 신호) 에 기초하여 각 구성 요소의 동작을 제어하여, 새로운 피가공물 (11) 을 수용부 (38) 로부터 반출한다.
새로운 피가공물 (11) 이 수용부 (38) 로부터 반출되면, 예를 들어, 제어 장치 (96) 는, 수용부 (38) 로부터의 피가공물 (11) 의 반출이 완료된 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (제 1 반출 완료 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (96) 에서 생성된 통지 신호 (제 1 반출 완료 신호) 는, 송신기 (100) 로부터 제어 유닛 (12) 에 송신된다.
이와 같은 순서에 의해, 스톡 유닛 (8) 에 수용되어 있는 피가공물 (11) 을 임의의 절삭 장치 (4) 에 대해 반송할 수 있다. 또한, 여기서는, 스톡 유닛 (8) 으로부터 절삭 장치 (4) 에 대해 피가공물 (11) 을 반송할 때의 순서에 대해 주로 설명했지만, 절삭 장치 (4) 로부터 스톡 유닛 (8) 에 대해 피가공물 (11) 을 반송할 때의 순서 등도 동일하다.
구체적으로는, 예를 들어, 절삭 장치 (4) 의 제어 장치 (96) 는, 피가공물 (11) 의 가공이 완료되면, 그 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (가공 완료 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (96) 에서 생성된 통지 신호 (가공 완료 신호) 는, 송신기 (100) 로부터 제어 유닛 (12) 에 송신된다. 제어 유닛 (12) 의 수신기 (124) 는, 절삭 장치 (4) 의 송신기 (100) 로부터 송신된 통지 신호 (가공 완료 신호) 를 수신하면, 이것을 제어부 (122) 에 보낸다.
제어부 (122) 는, 절삭 장치 (4) 로부터의 통지 신호 (가공 완료 신호) 를 확인하면, 무인 피가공물 반송차 (10) 에 대해, 절삭 장치 (4) 의 개구 (92b) 의 바로 위로 이동하여, 수용부 (38) 를 절삭 장치 (4) 의 수용부 유지대 (50) 에 반송하도록 지시를 내린다. 구체적으로는, 제어부 (122) 는, 이 지시에 상당하는 제어 신호 (제 3 반송 지시 신호) 를 생성하고, 송신기 (126) 로부터 무인 피가공물 반송차 (10) 에 송신한다.
무인 피가공물 반송차 (10) 의 수신기 (44) 는, 제어 유닛 (12) 으로부터의 제어 신호 (제 3 반송 지시 신호) 를 수신하면, 이것을 제어 장치 (42) 에 보낸다. 제어 장치 (42) 는, 이 제어 신호 (제 3 반송 지시 신호) 에 기초하여 차륜 (주행 기구) (41) 등의 동작을 제어하여, 무인 피가공물 반송차 (10) 를 선로 (6) 를 따라 주행시킨다.
제어 장치 (42) 는, 자신 (무인 피가공물 반송차 (10)) 이 절삭 장치 (4) 의 개구 (92b) 의 바로 위로 이동한 것을 확인하면, 승강 기구 (40) 의 윈치를 동작시켜, 와이어 (40a) 를 인출한다. 이로써, 개구 (92b) 를 통과하도록 수용부 (38) 를 하강시켜, 수용부 유지대 (50) 에 수용부 (38) 를 실을 수 있다.
수용부 유지대 (50) 에 수용부 (38) 를 실은 후에는, 제어 장치 (42) 는, 절삭 장치 (4) 에 대한 수용부 (38) 의 반송이 완료된 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (제 3 반송 완료 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (42) 에서 생성된 통지 신호 (제 3 반송 완료 신호) 는, 송신기 (46) 로부터 제어 유닛 (12) 에 송신된다.
제어 유닛 (12) 의 수신기 (124) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 송신기 (46) 로부터 송신된 통지 신호 (제 3 반송 완료 신호) 를 수신하면, 이것을 제어부 (122) 에 보낸다. 제어부 (122) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 로부터의 통지 신호 (제 3 반송 완료 신호) 를 확인하면, 절삭 장치 (4) 에 대해, 수용부 유지대 (50) 상의 수용부 (38) 에 가공 후의 피가공물 (11) 을 반입하도록 지시를 내린다. 구체적으로는, 제어부 (122) 는, 이 지시에 상당하는 제어 신호 (제 2 반입 지시 신호) 를 생성하고, 송신기 (126) 로부터 절삭 장치 (4) 에 송신한다.
절삭 장치 (4) 의 수신기 (98) 는, 제어 유닛 (12) 으로부터의 제어 신호 (제 2 반입 지시 신호) 를 수신하면, 이것을 제어 장치 (96) 에 보낸다. 제어 장치 (96) 는, 이 제어 신호 (제 2 반입 지시 신호) 에 기초하여 각 구성 요소의 동작을 제어하여, 가공 후의 피가공물 (11) 을 수용부 (38) 에 반입한다.
가공 후의 피가공물 (11) 이 수용부 (38) 에 반입되면, 제어 장치 (96) 는, 수용부 (38) 에 대한 피가공물 (11) 의 반입이 완료된 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (제 2 반입 완료 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (96) 에서 생성된 통지 신호 (제 2 반입 완료 신호) 는, 송신기 (100) 로부터 제어 유닛 (12) 에 송신된다.
제어 유닛 (12) 의 수신기 (124) 는, 절삭 장치 (4) 의 송신기 (100) 로부터 송신된 통지 신호 (제 2 반입 완료 신호) 를 수신하면, 이것을 제어부 (122) 에 보낸다. 제어부 (122) 는, 절삭 장치 (4) 로부터의 통지 신호 (제 2 반입 완료 신호) 를 확인하면, 무인 피가공물 반송차 (10) 에 대해, 스톡 유닛 (8) 의 개구 (16b) 의 바로 위로 이동하여, 수용부 (38) 를 스톡 유닛 (8) 의 수용부 유지대 (26) 로 반송하도록 지시를 내린다. 구체적으로는, 제어부 (122) 는, 이 지시에 상당하는 제어 신호 (제 4 반송 지시 신호) 를 생성하고, 송신기 (126) 로부터 무인 피가공물 반송차 (10) 에 송신한다.
무인 피가공물 반송차 (10) 의 수신기 (44) 는, 제어 유닛 (12) 으로부터의 제어 신호 (제 4 반송 지시 신호) 를 수신하면, 이것을 제어 장치 (42) 에 보낸다. 제어 장치 (42) 는, 이 제어 신호 (제 4 반송 지시 신호) 에 기초하여 수용부 (38) 를 상승시켜, 수용부 (38) 를 절삭 장치 (4) 로부터 반출한다. 그 후, 차륜 (41) 등의 동작을 제어하여, 무인 피가공물 반송차 (10) 를 선로 (6) 를 따라 주행시킨다.
제어 장치 (42) 는, 자신 (무인 피가공물 반송차 (10)) 이 스톡 유닛 (8) 의 개구 (16b) 의 바로 위로 이동한 것을 확인하면, 승강 기구 (40) 의 윈치를 동작시켜, 와이어 (40a) 를 인출한다. 이로써, 개구 (16b) 를 통과하도록 수용부 (38) 를 하강시켜, 수용부 유지대 (26) 에 수용부 (38) 를 실을 수 있다.
수용부 유지대 (26) 에 수용부 (38) 를 실은 후에는, 제어 장치 (42) 는, 스톡 유닛 (8) 에 대한 수용부 (38) 의 반송이 완료된 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (제 4 반송 완료 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (42) 에서 생성된 통지 신호 (제 4 반송 완료 신호) 는, 송신기 (46) 로부터 제어 유닛 (12) 에 송신된다.
제어 유닛 (12) 의 수신기 (124) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 송신기 (46) 로부터 송신된 통지 신호 (제 4 반송 완료 신호) 를 수신하면, 이것을 제어부 (122) 에 보낸다. 제어부 (122) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 로부터의 통지 신호 (제 4 반송 완료 신호) 를 확인하면, 스톡 유닛 (8) 에 대해, 수용부 유지대 (26) 상의 수용부 (38) 로부터 가공 후의 피가공물 (11) 을 반출하도록 지시를 내린다. 구체적으로는, 제어부 (122) 는, 이 지시에 상당하는 제어 신호 (제 2 반출 지시 신호) 를 생성하고, 송신기 (126) 로부터 스톡 유닛 (8) 에 송신한다.
스톡 유닛 (8) 의 수신기 (34) 는, 제어 유닛 (12) 으로부터의 제어 신호 (제 2 반출 지시 신호) 를 수신하면, 이것을 제어 장치 (32) 에 보낸다. 제어 장치 (32) 는, 이 제어 신호 (제 2 반출 지시 신호) 에 기초하여 제 1 승강 기구, 푸시 풀 아암 (22), 1 쌍의 가이드 레일 (24), 제 2 승강 기구 등의 동작을 제어하여, 가공 후의 피가공물 (11) 을 수용부 (38) 로부터 반출한다.
가공 후의 피가공물 (11) 이 수용부 (38) 로부터 반출되면, 예를 들어, 제어 장치 (32) 는, 수용부 (38) 로부터의 피가공물 (11) 의 반출이 완료된 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (제 2 반출 완료 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (32) 에서 생성된 통지 신호 (제 2 반출 완료 신호) 는, 송신기 (36) 로부터 제어 유닛 (12) 에 송신된다. 이와 같은 순서에 의해, 절삭 장치 (4) 로 가공된 후의 피가공물 (11) 을 스톡 유닛 (8) 에 대해 반송할 수 있다.
또, 상기 서술한 순서는, 피가공물 (11) 을 적절히 반송할 수 있는 범위 내에서 임의로 변경할 수 있다. 예를 들어, 상기 서술한 순서에 포함되어 있는 복수의 스텝을 동시에 실시해도 되고, 피가공물 (11) 의 반송에 지장이 생기지 않는 범위 내에서 스텝의 순서를 교체해도 된다. 마찬가지로, 피가공물 (11) 의 반송에 지장이 생기지 않는 범위 내에서 임의의 스텝을 추가, 변경, 생략해도 된다.
이상과 같이, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템 (2) 은, 복수의 절삭 장치 (가공 장치) (4) 에 걸쳐 절삭 장치 (4) 의 상부에 고정되는 선로 (6) 와, 피가공물 (11) 을 수용하는 공간 (수용 공간) (38a) 을 갖는 수용부 (38) 를 상방으로부터 매달아 승강시키는 승강 기구 (40) 를 구비하고, 수용부 (38) 가 선로 (6) 의 하방에 배치된 상태로 선로 (6) 를 주행하는 무인 피가공물 반송차 (무인 반송차) (10) 와, 피가공물 (11) 이 수용된 카세트 (피가공물 스토커) (20) 로부터 수용부 (38) 에 대해 피가공물 (11) 을 전달할 때에 수용부 (38) 를 유지하는 수용부 유지대 (26) 를 구비하는 스톡 유닛 (8) 을 포함하고 있다.
그 때문에, 카세트 (20) 에 수용되어 있는 피가공물 (11) 을 수용부 유지대 (26) 에 유지된 상태의 수용부 (38) 에 반송한 후에, 무인 피가공물 반송차 (10) 에게 선로 (6) 를 주행시킴으로써, 복수의 절삭 장치 (4) 의 각각에 대해 피가공물 (11) 을 반송할 수 있다.
또, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템 (2) 에서는, 절삭 장치 (4) 의 상부에 선로 (6) 가 고정되어 있다. 그 때문에, 선로 (6) 를 포함하는 반송 시스템 (2) 을 설계할 때에, 각 절삭 장치 (4) 의 측면의 구조를 고려할 필요가 없다. 즉, 반송 시스템의 구축이 용이해진다.
(실시형태 2)
본 실시형태에서는, 실시형태 1 의 선로 (6) 및 무인 피가공물 반송차 (무인 반송차) (10) 와는 상이한 구조의 선로 및 무인 피가공물 반송차 (무인 반송차) 에 대해 설명한다. 또한, 본 실시형태의 선로 및 무인 피가공물 반송차가 장착되는 반송 시스템 등의 기본적인 구성은, 실시형태 1 에 관련된 반송 시스템 (2) 등과 동일하다. 따라서, 공통되는 구성 요소에는 동일한 부호를 붙여 상세한 설명을 생략한다.
도 12(A) 및 도 12(B) 는, 본 실시형태에 관련된 무인 피가공물 반송차 (130) 등의 구성예를 나타내는 일부 단면 측면도이다. 도 12(A) 및 도 12(B) 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 관련된 무인 피가공물 반송차 (130) 는, 예를 들어, 1 장의 피가공물 (11) (및 프레임 (15)) 을 수용할 수 있도록 구성된 직방체상의 수용부 (138) 를 포함한다. 이 수용부 (138) 의 구조는, 실시형태 1 의 수용부 (38) 와 동일해도 된다.
수용부 (138) 의 상방에는, 주행부 (139) 가 배치되어 있다. 주행부 (139) 는, 평면에서 보아 수용부 (138) 와 동일한 정도의 크기로 형성된 평판상의 기부 (139a) 를 포함한다. 기부 (139a) 의 네 모퉁이에 상당하는 영역의 하면측에는, 승강 기구 (140) (도 12(B)) 가 배치되어 있다. 각 승강 기구 (140) 는, 수용부 (138) 의 상면측에 선단부가 접속된 와이어 (140a) 와, 기부 (139a) 의 하면측에 고정되고 와이어 (140a) 를 권취하는 윈치 (도시 생략) 를 포함하고 있고, 수용부 (138) 를 매달아 승강시킨다.
즉, 수용부 (138) 에는, 승강 기구 (140) 를 개재하여 상방으로부터 주행부 (139) 가 연결되어 있다. 예를 들어, 와이어 (140a) 를 풀어내도록 윈치를 동작시키면, 도 4(B) 에 나타내는 바와 같이, 주행부 (139) 에 대해 수용부 (138) 를 하강시킬 수 있다. 또, 이 와이어 (140a) 를 권취하도록 윈치를 동작시키면, 수용부 (138) 를 상승시킬 수 있다.
기부 (139a) 의 상면측에는, 직방체상의 돌출부 (139b) 가 배치되어 있고, 돌출부 (139b) 의 측면에는, 복수의 차륜 (주행 기구) (141) 이 형성되어 있다. 각 차륜 (141) 은, 모터 등의 회전 구동원에 연결되어 있고 회전한다. 또, 돌출부 (139b) 의 차륜 (141) 에 인접하는 위치에는, 단자 (도시 생략) 가 형성되어 있다. 무인 피가공물 반송차 (130) 의 각 구성 요소에는, 이 단자를 통해서 외부로부터 전력이 공급된다. 또한, 본 실시형태에서는, 돌출부 (139b) 의 Y 축 방향의 일방측에만 차륜 (141) 이 형성되어 있다.
기부 (139a) 의 내부에는, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 동작을 제어하는 제어 장치 (도시 생략) 가 형성되어 있다. 제어 장치는, 대표적으로는, CPU 등의 처리 장치나, 플래시 메모리 등의 기억 장치를 포함하는 컴퓨터에 의해 구성된다. 기억 장치에 기억되는 소프트웨어에 따라 처리 장치 등을 동작시킴으로써, 제어 장치의 기능이 실현되고 있다.
이 제어 장치에는, 반송 시스템의 제어 유닛 (12) 으로부터 송신되는 제어용의 신호 (제어 신호) 를 수신하는 수신기 (도시 생략) 와, 제어 유닛 (12) 에 대해 통지용의 신호 (통지 신호) 를 송신하는 송신기 (도시 생략) 가 접속되어 있다. 제어 장치는, 수신기로 수신한 신호에 기초하여 무인 피가공물 반송차 (130) 의 동작을 제어한다. 또, 제어 장치는, 송신기를 통해서 필요한 신호를 제어 유닛 (12) 에 송신한다.
또한, 무인 피가공물 반송차 (130) 의 각 구성 요소에는, 예를 들어, 이차 전지가 접속되어 있어도 된다. 이 경우에는, 이차 전지로부터 공급되는 전력에 의해, 무인 피가공물 반송차 (130) 의 각 구성 요소를 동작시킬 수 있다. 이차 전지에 대한 급전 (충전) 은, 예를 들어, 단자를 사용하는 접촉 방식으로 실시되지만, 단자 등을 사용하지 않는 비접촉 (와이어리스, 무접점) 방식으로 실시되어도 된다.
한편, 본 실시형태에 관련된 선로 (156) 는, 금속 등의 재료로 구성되고 서로 연결되는 복수의 레일 (162) 을 포함한다. 각 레일 (162) 은, 대체로 평탄한 상면을 갖는 상판 (162a) 을 구비하고 있다. 상판 (162a) 의 일방의 측단에는, 제 1 측판 (162b) 의 상단이 접속되어 있다. 제 1 측판 (162b) 의 하단에는, 대체로 평탄한 상면을 갖는 하판 (162c) 의 일방의 측단이 접속되어 있다. 상판 (162a) 의 타방의 측단에는, 제 2 측판 (162d) 의 상단이 접속되어 있고, 하판 (162c) 의 타방의 측단에는, 제 3 측판 (162e) 의 하단이 접속되어 있다.
즉, 레일 (162) 은, 상판 (162a) 과, 제 1 측판 (162b) 과, 하판 (162c) 과, 제 2 측판 (162d) 과, 제 3 측판 (162e) 을 구비하고 있다. 제 2 측판 (162d) 과 제 3 측판 (162e) 은, 서로 접촉하지 않도록 소정의 간극을 두고 배치되어 있고, 이 간극에, 차륜 (141) 의 회전축이 삽입된다. 하판 (162c) 의 상면에 차륜 (141) 이 접촉함으로써, 무인 피가공물 반송차 (130) 는, 수용부 (138) 가 레일 (162) 의 하방에 배치된 상태로 이 레일 (162) 을 주행한다.
또, 선로 (156) 는, 절삭 장치 (4) 의 상부에 고정되는 레일 유지 구조 (164) 를 포함한다. 레일 유지 구조 (164) 는, 복수의 레그부 (164a) 를 구비하고 있다. 각 레그부 (164a) 의 상단에는, 평판상의 유지부 (164b) 가 접속되어 있고, 각 레그부 (164a) 는, 유지부 (164b) 를 개재하여 서로 연결되어 있다. 각 레그부 (164a) 의 하단에는, 흡착부 (164c) 가 형성되어 있다. 흡착부 (164c) 는, 예를 들어, 절삭 장치 (4) 가 구비하는 커버 (92) 의 천장 (92a) 에 흡착하는 복수의 흡반 (도시 생략) 을 포함한다.
그 때문에, 이 흡착부 (164c) 의 흡반을 커버 (92) 의 천장 (92a) 에 흡착시키면, 절삭 장치 (4) 의 상부에 레일 유지 구조 (164) 를 고정시킬 수 있다. 레일 유지 구조 (164) 의 유지부 (164b) 의 하면측에는, 레일 (102) 의 상판 (162a) 이 고정되어 있고, 절삭 장치 (4) 의 상부에 레일 유지 구조 (164) 를 고정시키면, 레일 (162) 은, 하판 (162c) 이 천장 (92a) 과 대면한 상태로 레일 유지 구조 (164) 에 유지된다. 또한, 레일 (162) 에는, 무인 피가공물 반송차 (10) 에 급전하는 급전 설비 (도시 생략) 가 접속되어 있다.
(실시형태 3)
본 실시형태에서는, 스톡 유닛 (8) 과는 상이한 구조의 스톡 유닛에 대해 설명한다. 또한, 본 실시형태의 스톡 유닛이 장착되는 반송 시스템 등의 기본적인 구성은, 실시형태 1 에 관련된 반송 시스템 (2) 등과 동일하다. 따라서, 공통되는 구성 요소에는 동일한 부호를 붙여 상세한 설명을 생략한다.
도 13 은, 본 실시형태에 관련된 스톡 유닛 (308) 의 구성예를 모식적으로 나타내는 측면도이고, 도 14 는, 스톡 유닛 (308) 의 내부의 구조를 모식적으로 나타내는 평면도이다. 도 13 에 나타내는 바와 같이, 스톡 유닛 (308) 은, 각종 구성 요소를 수용하는 케이싱 (316) 을 포함한다. 또한, 도 13 에서는, 설명의 편의상 케이싱 (316) 의 윤곽만이 나타나 있다.
케이싱 (316) 내에는, 예를 들어, 볼 나사식의 제 1 승강 기구 (도시 생략) 에 의해 승강하는 카세트 유지대 (318) 가 형성되어 있다. 카세트 유지대 (318) 의 상면에는, 복수의 피가공물 (11) 을 수용할 수 있는 카세트 (피가공물 스토커) (20) 가 실린다. 또한, 이 카세트 (20) 는, 예를 들어, 상기 서술한 바와 같이, 테이프 (13) 를 개재하여 프레임 (15) 에 지지된 상태의 피가공물 (11) 을 수용한다.
도 14 에 나타내는 바와 같이, 카세트 유지대 (318) (카세트 (20)) 에 대면하는 제 1 위치에는, 프레임 (15) 을 파지하여 이동시키는 제 1 피가공물 이동 유닛 (320) 이 배치되어 있다. 제 1 피가공물 이동 유닛 (320) 은, 프레임 (15) 을 상하로 파지하는 파지부 (322) 와, 파지부 (322) 를 대체로 수평인 방향으로 이동시키는 구동부 (324) 를 포함한다.
구동부 (324) 의 상면에는, 카세트 유지대 (318) 를 향해 대체로 수평으로 신장되는 슬릿상의 개구 (324a) 가 형성되어 있고, 구동부 (324) 는, 이 개구 (324a) 를 따르는 제 1 방향으로 파지부 (322) 를 이동시킨다. 요컨대, 파지부 (322) 는, 카세트 유지대 (318) 에 대해 접근하거나, 또는 카세트 유지대 (318) 로부터 이격되도록 이동한다.
그 때문에, 예를 들어, 카세트 (20) 에 수용되어 있는 프레임 (15) 의 높이를 제 1 승강 기구에 의해 파지부 (322) 의 높이에 맞추고, 파지부 (322) 를 카세트 유지대 (318) 에 접근시키면, 파지부 (322) 에 의해 카세트 (20) 내의 프레임 (15) 을 파지할 수 있다. 또, 파지부 (322) 에 의해 카세트 (20) 내의 프레임 (15) 을 파지한 후에, 파지부 (322) 를 카세트 유지대 (318) 로부터 이격시키면, 프레임 (15) 을 카세트 (20) 의 외부로 인출할 수 있다.
제 1 피가공물 이동 유닛 (320) 의 주위에는, 카세트 (20) 로부터 반출된 프레임 (15) 이 임시 재치되는 제 1 임시 재치대 (326) 가 배치되어 있다. 제 1 임시 재치대 (326) 는, 각각 제 1 방향으로 긴 1 쌍의 가이드부 (326a) 와, 제 1 방향에 수직 또한 수평인 제 2 방향으로 긴 기부 (326b) 를 포함한다. 1 쌍의 가이드부 (326a) 는, 서로의 길이 방향이 평행이 되도록 기부 (326b) 를 개재하여 연결되어 있다. 제 1 피가공물 이동 유닛 (320) 에 의해 카세트 (20) 로부터 인출된 프레임 (15) 은, 1 쌍의 가이드부 (326a) 에 실린다.
제 1 임시 재치대 (326) 는, 이 제 1 임시 재치대 (326) 를 제 2 방향으로 이동시키는 제 1 임시 재치대 이동부 (328) 에 의해 지지되어 있다. 제 1 임시 재치대 이동부 (328) 는, 제 2 방향으로 긴 가이드 레일 (330) 을 구비하고 있다. 가이드 레일 (330) 에는, 이동 부재 (332) 가 슬라이드 가능하게 장착되어 있다.
이동 부재 (332) 에는, 너트부 (도시 생략) 가 형성되어 있고, 이 너트부에는, 가이드 레일 (330) 에 대체로 평행한 볼 나사 (도시 생략) 가 나사 결합되어 있다. 볼 나사의 일단에는, 펄스 모터 (334) 가 연결되어 있다. 펄스 모터 (334) 로 볼 나사를 회전시키면, 이동 부재 (332) 는, 가이드 레일 (330) 을 따라 제 2 방향으로 이동한다.
이동 부재 (332) 의 상부에는, 제 1 임시 재치대 (326) 의 기부 (326b) 가 고정되어 있다. 그 때문에, 제 1 임시 재치대 (326) 는, 이동 부재 (332) 와 함께 제 2 방향으로 이동한다. 또한, 제 1 임시 재치대 이동부 (328) 는, 제 1 위치와, 이 제 1 위치 옆의 제 2 위치 사이에서 제 1 임시 재치대 (326) 를 이동시킬 수 있도록 구성되어 있다.
제 2 위치에는, 프레임 (15) 을 파지하여 이동시키는 제 2 피가공물 이동 유닛 (336) 이 배치되어 있다. 요컨대, 제 2 피가공물 이동 유닛 (336) 은, 제 1 피가공물 이동 유닛 (320) 의 옆에 배치되어 있다. 제 2 피가공물 이동 유닛 (336) 의 구조는, 제 1 피가공물 이동 유닛 (320) 의 구조와 동일하다.
구체적으로는, 제 2 피가공물 이동 유닛 (336) 은, 프레임 (15) 을 상하로 파지하는 파지부 (338) 와, 파지부 (338) 를 대체로 수평인 방향으로 이동시키는 구동부 (340) 를 포함한다. 구동부 (340) 의 상면에는, 제 1 방향으로 긴 슬릿상의 개구 (340a) 가 형성되어 있고, 구동부 (340) 는, 이 개구 (340a) 를 따라 파지부 (338) 를 이동시킨다.
제 2 피가공물 이동 유닛 (336) 의 주위에는, 제 1 임시 재치대 (326) 와 동일한 구조를 갖는 제 2 임시 재치대 (342) 가 배치되어 있다. 요컨대, 제 2 임시 재치대 (342) 는, 각각 제 1 방향으로 긴 1 쌍의 가이드부 (342a) 와, 제 1 방향에 수직 또한 수평인 제 2 방향으로 긴 기부 (342b) 를 포함한다. 1 쌍의 가이드부 (342a) 는, 서로의 길이 방향이 평행이 되도록 기부 (342b) 를 개재하여 연결되어 있다.
제 2 임시 재치대 (342) 는, 이 제 2 임시 재치대 (342) 를 제 2 방향 및 연직 방향으로 이동시키는 제 2 임시 재치대 이동부 (344) 에 의해 지지되어 있다. 제 2 임시 재치대 이동부 (344) 는, 제 2 방향으로 긴 가이드 레일 (346) 을 구비하고 있다. 가이드 레일 (346) 에는, 이동 부재 (348) 가 슬라이드 가능하게 장착되어 있다.
이동 부재 (348) 에는, 너트부 (도시 생략) 가 형성되어 있고, 이 너트부에는, 가이드 레일 (346) 에 대체로 평행한 볼 나사 (도시 생략) 가 나사 결합되어 있다. 볼 나사의 일단에는, 펄스 모터 (350) 가 연결되어 있다. 펄스 모터 (350) 로 볼 나사를 회전시키면, 이동 부재 (348) 는, 가이드 레일 (346) 을 따라 제 2 방향으로 이동한다.
이동 부재 (348) 의 상부에는, 에어 실린더 등으로 구성되는 승강 기구 (352) 를 개재하여 제 2 임시 재치대 (342) 의 기부 (342b) 가 고정되어 있다. 그 때문에, 제 2 임시 재치대 (342) 는, 이동 부재 (348) 및 승강 기구 (352) 와 함께 제 2 방향으로 이동하고, 승강 기구 (352) 에 의해 승강한다. 또한, 제 2 임시 재치대 이동부 (344) 는, 제 2 위치와, 이 제 2 위치 옆의 제 1 위치 사이에서 제 2 임시 재치대 (342) 를 이동시킬 수 있도록 구성되어 있다.
도 15 는, 제 1 임시 재치대 (326) 와 제 2 임시 재치대 (342) 를 제 2 방향으로 이동시켜, 제 1 임시 재치대 (326) 의 위치와 제 2 임시 재치대 (342) 의 위치를 교체하는 모습을 모식적으로 나타내는 측면도이다. 제 1 임시 재치대 (326) 의 위치와 제 2 임시 재치대 (342) 의 위치를 교체할 때에는, 먼저, 제 2 임시 재치대 (342) 를 승강 기구 (352) 에 의해 상승시킨다. 구체적으로는, 제 2 임시 재치대 (342) 의 하단의 높이가 제 1 임시 재치대 (326) 의 상단의 높이보다 높아지는 상승 위치에 제 2 임시 재치대 (342) 를 위치시킨다.
그 후, 제 2 임시 재치대 (342) 를 상승 위치에 위치시킨 상태로, 제 2 임시 재치대 (342) 를 제 2 임시 재치대 이동부 (344) 에 의해 제 1 위치측으로 이동시킨다. 또, 동일한 타이밍에, 제 1 임시 재치대 (326) 를 제 1 임시 재치대 이동부 (328) 에 의해 제 2 위치측으로 이동시킨다. 또한, 도 15 에서는, 제 1 임시 재치대 (326) 를 제 1 위치로부터 제 2 위치까지 이동시키고, 제 2 임시 재치대 (342) 를 제 2 위치로부터 제 1 위치까지 이동시키는 모습을 나타내고 있다.
제 1 임시 재치대 (326) 및 제 2 임시 재치대 (342) 의 이동이 완료된 후에는, 제 2 임시 재치대 (342) 를 승강 기구 (352) 에 의해 하강시켜, 제 2 임시 재치대 (342) 의 하단의 높이가 제 1 임시 재치대 (326) 의 하단의 높이와 대체로 동등해지는 기준 위치에 제 2 임시 재치대 (342) 를 위치시킨다. 이와 같이, 스톡 유닛 (308) 에서는, 제 1 임시 재치대 이동부 (328) 와 제 2 임시 재치대 이동부 (344) 에 의해, 제 1 위치와 제 2 위치 사이에서 제 1 임시 재치대 (326) 와 제 2 임시 재치대 (342) 를 교체하도록 이동시킬 수 있다.
제 2 피가공물 이동 유닛 (336) 이 배치되어 있는 제 2 위치와 대면하는 위치에는, 볼 나사식의 제 2 승강 기구 (도시 생략) 에 의해 승강하는 수용부 유지대 (354) 가 형성되어 있다. 이 수용부 유지대 (354) 의 상면에는, 무인 피가공물 반송차 (10) 나 무인 피가공물 반송차 (130) (이하, 무인 피가공물 반송차 (10) 등) 의 수용부 (38) 나 수용부 (138) (이하, 수용부 (38) 등) 가 실린다. 도 13 에 나타내는 바와 같이, 수용부 유지대 (354) 의 바로 위의 영역에는, 케이싱 (316) 의 천장 (316a) 을 상하로 관통하는 개구 (316b) 가 형성되어 있다. 이 개구 (316b) 는, 수용부 유지대 (354) 에 실리는 수용부 (38) 등을 통과시킬 수 있는 형상, 크기로 형성되어 있다.
카세트 유지대 (318) 를 승강하는 제 1 승강 기구, 제 1 피가공물 이동 유닛 (320), 제 1 임시 재치대 이동부 (328), 제 2 피가공물 이동 유닛 (336), 제 2 임시 재치대 이동부 (344), 승강 기구 (352), 수용부 유지대 (354) 를 승강하는 제 2 승강 기구 등의 구성 요소에는, 스톡 유닛 (308) 의 동작을 제어하기 위한 제어 장치 (362) 가 접속되어 있다. 제어 장치 (362) 는, 대표적으로는, CPU 등의 처리 장치나, 플래시 메모리 등의 기억 장치를 포함하는 컴퓨터에 의해 구성되고, 기억 장치에 기억되는 소프트웨어에 따라 처리 장치 등을 동작시킴으로써, 제어 장치 (362) 의 기능이 실현된다.
제어 장치 (362) 에는, 또한, 반송 시스템의 제어 유닛 (12) 으로부터 송신되는 제어용의 신호 (제어 신호) 를 수신하는 수신기 (364) 와, 제어 유닛 (12) 에 대해 통지용의 신호 (통지 신호) 를 송신하는 송신기 (366) 가 접속되어 있다. 제어 장치 (362) 는, 수신기 (364) 로 수신한 신호에 기초하여 스톡 유닛 (308) 의 동작을 제어한다. 또, 제어 장치 (362) 는, 송신기 (366) 를 통해서 필요한 신호를 제어 유닛 (12) 에 송신한다.
다음으로, 본 실시형태에 관련된 스톡 유닛 (308) 의 동작을 설명한다. 도 16(A), 도 16(B), 도 17(A), 및 도 17(B) 는, 스톡 유닛 (308) 의 동작의 예를 모식적으로 나타내는 평면도이다. 또한, 본 실시형태에서는, 제 1 임시 재치대 (326) 가 제 1 위치에 위치되고, 제 2 임시 재치대 (342) 가 제 2 위치에 위치되어 있는 경우의 동작에 대해 설명하지만, 제 1 임시 재치대 (326) 가 제 2 위치에 위치되고, 제 2 임시 재치대 (342) 가 제 1 위치에 위치되어 있는 경우의 동작도 동일하다.
예를 들어, 무인 피가공물 반송차 (10) 등은, 가공 후의 피가공물 (11) (프레임 (15)) 이 수용되어 있는 수용부 (38) 등을 수용부 유지대 (354) 에 싣는다. 또한, 카세트 유지대 (318) 에는, 가공 전의 피가공물 (11) (프레임 (15)) 이 수용되어 있는 카세트 (20) 를 미리 실어 둔다.
그 후, 도 16(A) 에 나타내는 바와 같이, 카세트 유지대 (318) 상의 카세트 (20) 에 대해 파지부 (322) 를 접근시키고, 카세트 (20) 에 수용되어 있는 프레임 (15) 을 파지부 (322) 로 파지한다. 동일한 타이밍에, 수용부 유지대 (354) 상의 수용부 (38) 등에 대해 파지부 (338) 를 접근시키고, 수용부 (38) 등에 수용되어 있는 프레임 (15) 을 파지부 (338) 로 파지한다.
카세트 (20) 의 내부의 프레임 (15) 을 파지부 (322) 로 파지한 후에는, 도 16(B) 에 나타내는 바와 같이, 파지부 (322) 를 카세트 유지대 (318) 로부터 이격시킨다. 마찬가지로, 수용부 (38) 등의 내부의 프레임 (15) 을 파지부 (338) 로 파지한 후에는, 도 16(B) 에 나타내는 바와 같이, 파지부 (338) 를 수용부 유지대 (354) 로부터 이격시킨다. 이로써, 가공 전의 피가공물 (11) 이 카세트 (20) 로부터 제 1 임시 재치대 (326) 에 인출되고, 가공 후의 피가공물 (11) 이 수용부 (38) 등으로부터 제 2 임시 재치대 (342) 에 인출된다.
다음으로, 도 17(A) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 위치와 제 2 위치 사이에서 제 1 임시 재치대 (326) 와 제 2 임시 재치대 (342) 를 교체하도록 이동시킨다. 즉, 제 2 임시 재치대 (342) 를 승강 기구 (352) 에 의해 상승시켜, 상승 위치에 위치시킨다. 그리고, 제 2 임시 재치대 (342) 를 제 2 방향을 따라 제 1 위치측으로 이동시킨다.
또, 동일한 타이밍에, 제 1 임시 재치대 (326) 를 제 2 방향을 따라 제 2 위치측으로 이동시킨다. 제 1 임시 재치대 (326) 및 제 2 임시 재치대 (342) 의 이동이 완료된 후에는, 제 2 임시 재치대 (342) 를 승강 기구 (352) 에 의해 하강시켜, 기준 위치에 위치시킨다. 그 결과, 제 1 임시 재치대 (326) 가 수용부 유지대 (354) 와 대면하는 제 2 위치에 위치되고, 제 2 임시 재치대 (342) 가 카세트 유지대 (318) 와 대면하는 제 1 위치에 위치된다.
그 후, 도 17(B) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 임시 재치대 (326) 상의 프레임 (15) 을 파지부 (338) 로 파지하고, 수용부 유지대 (354) 상의 수용부 (38) 등에 대해 파지부 (338) 를 접근시킨다. 이로써, 가공 전의 피가공물 (11) 을 지지하는 제 1 임시 재치대 (326) 상의 프레임 (15) 이 수용부 유지대 (354) 상의 수용부 (38) 등에 수용된다.
동일한 타이밍에, 제 2 임시 재치대 (342) 상의 프레임 (15) 을 파지부 (322) 로 파지하고, 카세트 유지대 (318) 상의 카세트 (20) 에 대해 파지부 (338) 를 접근시킨다. 이로써, 가공 후의 피가공물 (11) 을 지지하는 제 2 임시 재치대 (342) 상의 프레임 (15) 이 카세트 유지대 (318) 상의 카세트 (20) 에 수용된다.
무인 피가공물 반송차 (10) 등은, 제 1 임시 재치대 (326) 상의 프레임 (15) 이 수용부 유지대 (354) 상의 수용부 (38) 등에 수용된 후에, 이 수용부 (38) 등을 수용부 유지대 (354) 로부터 반송한다. 이상에 의해, 무인 피가공물 반송차 (10) 등으로부터 스톡 유닛 (308) 에 가공 후의 피가공물 (11) 을 반송하고, 스톡 유닛 (308) 으로부터 무인 피가공물 반송차 (10) 등에 가공 전의 피가공물 (11) 을 반송할 수 있다.
또한, 제 1 임시 재치대 (326) 와 제 2 임시 재치대 (342) 는 동일한 기능을 구비하고 있고, 카세트 (20) 로부터 반출되는 프레임 (15) 은, 제 1 임시 재치대 (326) 와 제 2 임시 재치대 (342) 중 어느 것에 대해서도 임시 재치될 수 있다. 예를 들어, 제 2 임시 재치대 (342) 가 제 1 위치에 위치되어 있는 경우에는, 카세트 (20) 로부터 반출되는 프레임 (15) 은, 제 2 임시 재치대 (342) 에 임시 재치되게 된다.
또, 상기 서술한 제 1 피가공물 이동 유닛 (320) 은, 제 1 위치에 위치된 제 1 임시 재치대 (326) 또는 제 2 임시 재치대 (342) 와 카세트 유지대 (318) (카세트 (20)) 사이에서 피가공물 (11) 을 이동시킨다. 마찬가지로, 제 2 피가공물 이동 유닛 (336) 은, 제 2 위치에 위치된 제 2 임시 재치대 (342) 또는 제 1 임시 재치대 (326) 와 수용부 유지대 (354) (수용부 (38) 등) 사이에서 피가공물 (11) 을 이동시킨다.
또한, 본 발명은, 상기 서술한 실시형태의 기재에 제한되지 않고 다양하게 변경하여 실시 가능하다. 예를 들어, 무인 피가공물 반송차 (10) 등의 선로 (6) 의 일방향으로의 주행만이 허용되어도 되고 (이른바 일방 통행), 무인 피가공물 반송차 (10) 등의 선로 (6) 의 쌍방향으로의 주행이 허용되어도 된다. 일방향으로의 주행만이 허용되는 경우에는, 절삭 장치 (가공 장치) (4) 상에, 왕로용의 선로 (6) 와 복로용의 선로 (6) 를 형성해도 된다.
그 외에, 상기 서술한 실시형태나 변형예 등에 관련된 구조, 방법 등은, 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한 적절히 변경하여 실시할 수 있다.
2 : 반송 시스템
4 : 절삭 장치 (가공 장치)
6 : 선로
8 : 스톡 유닛
10 : 무인 피가공물 반송차 (무인 반송차)
12 : 제어 유닛
16 : 케이싱
16a : 천장
16b : 개구
18 : 카세트 유지대
20 : 카세트 (피가공물 스토커)
21 : 배관
22 : 푸시 풀 아암
24 : 가이드 레일
26 : 수용부 유지대
32 : 제어 장치
34 : 수신기
36 : 송신기
38 : 수용부
38a : 공간 (수용 공간)
38b : 측면
38c : 개구
39 : 주행부
39a : 기부
39b : 돌출부
39c : 단자
40 : 승강 기구
40a : 와이어
41 : 차륜 (주행 기구)
42 : 제어 장치
44 : 수신기
46 : 송신기
102 : 레일
102a : 상판
102b : 측판
102c : 하판
104 : 레일 유지 구조
104a : 레그부
104b : 유지부
104c : 흡착부
106 : 레일
106a : 제 1 경로
106b : 제 2 경로
108 : 레일
110 : 레일
112 : 레일 유지 구조
114 : 레일 유지 구조
116 : 정보 제공부
118 : 판독기
122 : 제어부
124 : 수신기
126 : 송신기

Claims (3)

  1. 복수의 가공 장치의 각각에 대해 피가공물을 반송하는 반송 시스템으로서,
    복수의 그 가공 장치에 걸쳐 그 가공 장치의 상부에 고정되는 선로와,
    그 피가공물을 수용하는 수용 공간을 갖는 수용부, 그 수용부에 상방으로부터 연결되는 주행부, 그 주행부에 형성된 주행 기구, 그 주행부에 배치되고 그 수용부를 상방으로부터 매달아 승강시키는 승강 기구, 및 제어 신호를 수신하는 수신기를 구비하고, 그 선로를 주행하는 무인 반송차와,
    그 피가공물이 수용된 피가공물 스토커로부터 그 무인 반송차의 그 수용부에 대해 그 피가공물을 전달할 때에 그 수용부를 유지하는 수용부 유지대, 및 제어 신호를 수신하는 수신기를 구비하는 스톡 유닛과,
    그 가공 장치, 그 무인 반송차, 및 그 스톡 유닛에 제어 신호를 송신하는 송신기, 그 가공 장치로부터 송신되는 통지 신호를 수신하는 수신기, 및 그 송신기로부터 송신되는 제어 신호를 생성하는 제어 신호 생성부를 구비하는 제어 유닛을 포함하고,
    그 제어 유닛의 그 제어 신호 생성부는, 그 제어 유닛의 그 수신기가 수신한 통지 신호에 기초하여 그 제어 유닛의 그 송신기로부터 송신되는 제어 신호를 생성하고,
    그 제어 유닛의 그 송신기는, 그 제어 유닛의 그 제어 신호 생성부에서 생성된 제어 신호를, 그 가공 장치, 그 무인 반송차, 및 그 스톡 유닛에 송신하고,
    그 무인 반송차는, 그 수신기로 수신한 제어 신호에 기초하여 그 선로를 주행하는 반송 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    그 선로는, 복수의 레일을 연결하여 구성되고,
    그 무인 반송차는, 그 레일의 하방에 그 수용부가 배치된 상태로 그 레일을 주행하는 반송 시스템.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    그 선로는, 그 가공 장치에 대해 흡착하는 흡착부를 갖는 레그부를 구비하고, 그 흡착부에 의해 그 가공 장치에 고정되는 반송 시스템.
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