JP2021022632A - 搬送システム - Google Patents

Abstract

【課題】複数の加工装置のそれぞれに対して被加工物を搬送でき、構築も容易な搬送システムを提供する。【解決手段】複数の加工装置のそれぞれに対して被加工物を搬送する搬送システムであって、複数の加工装置に渡って加工装置の上部に固定される線路と、被加工物を収容する収容空間を有する収容部、収容部に上方から連結される走行部、走行部に設けられた走行機構、走行部に配置され収容部を上方から吊り下げて昇降させる昇降機構、及び制御信号を受信する受信機を備え、線路を走行する無人搬送車と、被加工物が収容された被加工物ストッカーから無人搬送車の収容部に対して被加工物を受け渡す際に収容部を保持する収容部保持台、及び制御信号を受信する受信機を備えるストックユニットと、を含む。【選択図】図１

Description

本発明は、加工装置に対して被加工物を搬送する搬送システムに関する。

電子機器等に組み込まれるデバイスチップの製造工程では、半導体ウェーハや樹脂パッケージ基板に代表される板状の被加工物が様々な加工装置によって加工される。この加工装置に対して被加工物を搬送する際には、通常、複数の被加工物を収容できる搬送用のカセットが用いられる。

ところで、カセットに複数の被加工物を収容して一度に加工装置へと搬送する上述の方法では、何らかの原因で加工装置が停止すると、カセットに収容されている未加工の被加工物を一律に待機させることになる。つまり、未加工の被加工物を他の加工装置で加工することもできなくなるので、加工の能率が大幅に低下する。

この問題を解消するには、例えば、加工装置の稼働状況に合わせて被加工物を１枚ずつ加工装置へと搬送すれば良い。そこで、複数の加工装置を搬送用の経路で繋ぎ、各加工装置に対して任意のタイミングで被加工物を搬送できる搬送システムが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開平６−１７７２４４号公報

しかしながら、各加工装置の側面には、配管が接続される配管接続部やメンテナンス用の扉等が設けられており、上述した搬送システムを構築する際には、これらと干渉しないように搬送用の経路を設計する必要がある。そのため、搬送システムの構築は必ずしも容易でなく、また、搬送用の経路も長くなりがちであった。

本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、複数の加工装置のそれぞれに対して被加工物を搬送でき、構築も容易な搬送システムを提供することである。

本発明の一態様によれば、複数の加工装置のそれぞれに対して被加工物を搬送する搬送システムであって、複数の該加工装置に渡って該加工装置の上部に固定される線路と、該被加工物を収容する収容空間を有する収容部、該収容部に上方から連結される走行部、該走行部に設けられた走行機構、該走行部に配置され該収容部を上方から吊り下げて昇降させる昇降機構、及び制御信号を受信する受信機を備え、該線路を走行する無人搬送車と、該被加工物が収容された被加工物ストッカーから該無人搬送車の該収容部に対して該被加工物を受け渡す際に該収容部を保持する収容部保持台、及び制御信号を受信する受信機を備えるストックユニットと、該加工装置、該無人搬送車、及び該ストックユニットに制御信号を送信する送信機、該加工装置から送信される通知信号を受信する受信機、及び該送信機から送信される制御信号を生成する制御信号生成部を備える制御ユニットと、を含み、該制御ユニットの該制御信号生成部は、該制御ユニットの該受信機が受信した通知信号に基づき該制御ユニットの該送信機から送信される制御信号を生成し、該制御ユニットの該送信機は、該制御ユニットの該制御信号生成部で生成された制御信号を、該加工装置、該無人搬送車、及び該ストックユニットに送信し、該無人搬送車は、該受信機で受信した制御信号に基づき該線路を走行することを特徴とする搬送システムが提供される。

上述した搬送システムにおいて、該線路は、複数のレールを連結して構成され、該無人搬送車は、該レールの下方に該収容部が配置された状態で該レールを走行することがある。

また、上述した搬送システムにおいて、該線路は、該加工装置に対して吸着する吸着部を有する脚部を備え、該吸着部によって該加工装置に固定されることがある。

本発明の一態様に係る搬送システムは、複数の加工装置に渡って加工装置の上部に固定される線路と、被加工物を収容する収容空間を有する収容部を上方から吊り下げて昇降させる昇降機構を備え、収容部が線路の下方に配置された状態で線路を走行する無人搬送車と、被加工物が収容された被加工物ストッカーから収容部に対して被加工物を受け渡す際に収容部を保持する収容部保持台を備えるストックユニットと、を含んでいる。

そのため、被加工物ストッカーに収容されている被加工物を収容部保持台に保持された状態の収容部へと搬送した後に、無人搬送車に線路を走行させることで、複数の加工装置のそれぞれに対して被加工物を搬送できる。また、本発明の一態様に係る搬送システムでは、加工装置の上部に線路が固定されている。そのため、線路を含む搬送システムを設計する際に、各加工装置の側面の構造を考慮する必要がない。すなわち、搬送システムの構築が容易になる。

実施形態１に係る搬送システムの構成例を示す平面図である。 実施形態１に係る搬送システムの接続関係の例を示す機能ブロック図である。 実施形態１に係るストックユニットの構成例を模式的に示す側面図である。 図４（Ａ）は、実施形態１に係る無人被加工物搬送車の構成例を示す斜視図であり、図４（Ｂ）は、無人被加工物搬送車の収容部が昇降する様子を示す斜視図である。 実施形態１に係る切削装置や線路等の外観を示す斜視図である。 切削装置の構成例を示す斜視図である。 切削装置に線路が設置される様子を示す斜視図である。 図８（Ａ）は、線路に使用されるレールの第１の例を示す平面図であり、図８（Ｂ）は、レールの第２の例を示す平面図であり、図８（Ｃ）は、レールの第３の例を示す平面図である。 図９（Ａ）は、切削装置の上方の領域を無人被加工物搬送車が走行する様子をＹ軸方向から見た一部断面側面図であり、図９（Ｂ）は、収容部を下降させる際の様子をＹ軸方向から見た一部断面側面図である。 図１０（Ａ）は、図９（Ａ）に示す状態をＸ軸方向から見た一部断面側面図であり、図１０（Ｂ）は、図９（Ｂ）に示す状態をＸ軸方向から見た一部断面側面図である。 実施形態１に係る搬送システムの制御方法の例を説明するための機能ブロック図である。 図１２（Ａ）及び図１２（Ｂ）は、実施形態２に係る無人被加工物搬送車等の構成例を示す一部断面側面図である。 実施形態３に係るストックユニットの構成例を模式的に示す側面図である。 実施形態３に係るストックユニットの内部の構造を模式的に示す平面図である。 実施形態３に係るストックユニットの第１仮置き台と第２仮置き台とを第２方向に移動させて、第１仮置き台の位置と第２仮置き台の位置とを入れ替える様子を模式的に示す側面図である。 図１６（Ａ）及び図１６（Ｂ）は、実施形態３に係るストックユニットの動作の例を示す模式的に示す平面図である。 図１７（Ａ）及び図１７（Ｂ）は、実施形態３に係るストックユニットの動作の例を示す模式的に示す平面図である。

添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。なお、以下の各実施形態では、複数の切削装置に対して被加工物等を搬送する搬送システムについて説明するが、本発明の搬送システムは、複数の加工装置に対して被加工物等を搬送できるように構成されていれば良い。すなわち、被加工物等の搬送先は、切削装置以外の加工装置でも良い。

例えば、本発明の搬送システムは、複数のレーザー加工装置に対して被加工物を搬送できるように構成されることがある。また、本発明の搬送システムは、例えば、一連の加工に使用される複数の種類の加工装置に対して順に被加工物を搬送できるように構成されることもある。なお、本明細書では、被加工物を加工するための一連の工程で用いられ得る全ての装置を加工装置と表現する。つまり、本発明の加工装置には、必ずしも被加工物の加工を目的としないテープ貼付装置、紫外線照射装置、洗浄装置等が含まれる。

（実施形態１）
図１は、本実施形態に係る搬送システム２の構成例を示す平面図であり、図２は、搬送システム２の接続関係の例を示す機能ブロック図である。図１に示すように、本実施形態に係る搬送システム２は、切削装置（加工装置）４によって加工される板状の被加工物１１（図４（Ｂ）等参照）を搬送する際に使用される線路６を含んでいる。

被加工物１１は、例えば、シリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハである。この被加工物１１の表面側は、互いに交差する複数の分割予定ライン（ストリート）によって複数の小領域に区画されており、各小領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）等のデバイスが形成されている。

被加工物１１の裏面側には、被加工物１１よりも径の大きいテープ（ダイシングテープ）１３が貼付されている。テープ１３の外周部分は、被加工物１１を囲む環状のフレーム１５に固定されている。被加工物１１は、このテープ１３を介してフレーム１５に支持された状態で切削装置４へと搬送される。

なお、本実施形態では、シリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハを被加工物１１としているが、被加工物１１の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば、他の半導体、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる基板等を被加工物１１として用いることもできる。

同様に、デバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はない。被加工物１１には、デバイスが形成されていなくても良い。更に、本実施形態では、テープ１３を介してフレーム１５に支持された状態の被加工物１１を搬送の対象としているが、テープ１３が貼付されていない被加工物１１や、フレーム１５に支持されていない被加工物１１等が搬送の対象となることもある。

また、この被加工物１１を加工する切削装置４は、被加工物１１の搬送先として搬送システム２に接続されているが、必ずしも搬送システム２の構成要素ではない。よって、切削装置４は、上述のように、搬送システム２の使用の態様に合わせて変更、省略されても良い。

そして、図１では、説明の便宜上、１台の切削装置４ａのみを示し、図２では、２台の切削装置４ａ，４ｂを示しているが、本実施形態では、被加工物１１の搬送先として、２台以上の切削装置４が必要になる。すなわち、搬送システム２に接続される加工装置の台数は、２台以上である。

線路６は、各切削装置４に対して被加工物１１を搬送できるように、複数の切削装置４に渡って設置される。すなわち、複数の切削装置４は、線路６を介して互いに連結されている。また、線路６は、切削装置４の上部に固定されている。そのため、各切削装置４の側面に接続される配管２１等に対して線路６が干渉することはない。

線路６の下方には、切削装置４の他に、複数の被加工物１１を収容できるストックユニット８が設けられている。ストックユニット８に収容されている被加工物１１は、任意のタイミングで無人被加工物搬送車（無人搬送車）１０へと搬入される。無人被加工物搬送車１０は、線路６を走行して被加工物１１を各切削装置４へと搬送する。なお、図１では、３台の無人被加工物搬送車１０ａ，１０ｂ，１０ｃを示し、図２では、２台の無人被加工物搬送車１０ａ，１０ｂを示しているが、無人被加工物搬送車１０の台数に制限はない。

図２に示すように、切削装置４、ストックユニット８、無人被加工物搬送車１０には、これらの動作を制御する制御ユニット１２が無線で接続されている。ただし、制御ユニット１２は、切削装置４、ストックユニット８、無人被加工物搬送車１０の動作を制御できるように構成されていれば良く、これらに対して有線で接続されることもある。

図３は、ストックユニット８の構成例を模式的に示す側面図である。図３に示すように、ストックユニット８は、各種の構成要素を収容する筐体１６を含む。なお、この図３では、説明の便宜上、筐体１６の輪郭のみが示されている。

筐体１６内には、例えば、ボールねじ式の第１昇降機構（不図示）によって昇降するカセット保持台１８が設けられている。カセット保持台１８の上面には、複数の被加工物１１を収容できるカセット（被加工物ストッカー）２０が載せられる。なお、このカセット２０は、上述のように、テープ１３を介してフレーム１５に支持された状態の被加工物１１を収容する。

カセット保持台１８の側方には、フレーム１５を把持して移動できるプッシュプルアーム２２が配置されている。例えば、カセット２０に収容されているフレーム１５の高さを第１昇降機構でプッシュプルアーム２２の高さに合わせ、このプッシュプルアーム２２によってカセット２０内のフレーム１５を把持すれば、フレーム１５をカセット２０の外部へと引き出せる。

プッシュプルアーム２２を挟む位置には、互いに平行な状態を維持しながら接近、離隔される一対のガイドレール２４が設けられている。各ガイドレール２４は、フレーム１５を下方から支持する支持面と、支持面に概ね垂直な側面とを備え、プッシュプルアーム２２によってカセット２０から引き出されたフレーム１５を挟み込んで所定の位置に合わせる。

プッシュプルアーム２２及び一対のガイドレール２４のカセット保持台１８とは反対側の位置には、例えば、ボールねじ式の第２昇降機構（不図示）によって昇降する収容部保持台２６が設けられている。この収容部保持台２６の上面には、被加工物１１（フレーム１５）を収容できる無人被加工物搬送車１０の収容部３８が載せられる。

一対のガイドレール２４によって所定の位置に合わせられたフレーム１５は、プッシュプルアーム２２によって再び把持され、第２昇降機構によって高さが調整された収容部保持台２６上の収容部３８に側方から挿入される。つまり、収容部保持台２６によって保持された収容部３８に対して、被加工物１１が受け渡される。

なお、収容部保持台２６の上面には、収容部３８の位置を規定する位置規定部（不図示）が設けられている。よって、被加工物１１が収容されたカセット２０から無人被加工物搬送車１０の収容部３８に被加工物１１を受け渡す際には、収容部３８は、収容部保持台２６上の位置規定部によって決まる所定の位置に位置付けられる。

収容部保持台２６の直上の領域には、筐体１６の天井１６ａを上下に貫通する開口１６ｂが設けられている。この開口１６ｂは、少なくとも、収容部保持台２６に載せられる無人被加工物搬送車１０の収容部３８を通過できる形状、大きさに形成されている。収容部３８は、開口１６ｂを通じて筐体１６の外部から内部へと搬送され、又は、開口１６ｂを通じて筐体１６の内部から外部へと搬送される。

第１昇降機構、プッシュプルアーム２２、一対のガイドレール２４、第２昇降機構等の構成要素には、ストックユニット８の動作を制御するための制御装置３２が接続されている。制御装置３２は、代表的には、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の処理装置や、フラッシュメモリ等の記憶装置を含むコンピュータによって構成される。記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御装置３２の機能が実現されている。

制御装置３２には、更に、搬送システム２の制御ユニット１２から送信される制御用の信号（制御信号）を受信する受信機３４と、制御ユニット１２に対して通知用の信号（通知信号）を送信する送信機３６とが接続されている。制御装置３２は、受信機３４で受信した信号に基づきストックユニット８の動作を制御する。また、制御装置３２は、送信機３６を通じて必要な信号を制御ユニット１２に送信する。

図４（Ａ）は、無人被加工物搬送車１０の構成例を示す斜視図であり、図４（Ｂ）は、無人被加工物搬送車１０の収容部３８が昇降する様子を示す斜視図である。図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示すように、無人被加工物搬送車１０は、例えば、１枚の被加工物１１（及びフレーム１５）を収容できるように構成された直方体状の収容部３８を含む。

収容部３８の内部には、被加工物１１（及びフレーム１５）を収容するための空間（収容空間）３８ａが形成されている。収容部３８の一対の側面３８ｂには、それぞれ、被加工物１１（及びフレーム１５）を通過させることのできる大きさの開口３８ｃが設けられており、収容部３８の空間３８ａは、この開口３８ｃを介して外部に接続されている。よって、被加工物１１（及びフレーム１５）は、開口３８ｃを通じて収容部３８の空間３８ａに搬入され、また、開口３８ｃを通じて収容部３８の空間３８ａから搬出される。

収容部３８の上方には、走行部３９が配置されている。走行部３９は、平面視で収容部３８と同程度の大きさに形成された平板状の基部３９ａを含む。基部３９ａの四隅に相当する領域の下面側には、昇降機構４０（図４（Ｂ））が配置されている。各昇降機構４０は、収容部３８の上面側に先端部が接続されたワイヤ４０ａと、基部３９ａの下面側に固定されワイヤ４０ａを巻き取るウインチ（不図示）と、を含んでおり、収容部３８を吊り下げて昇降させる。

すなわち、収容部３８には、昇降機構４０を介して上方から走行部３９が連結されている。例えば、ワイヤ４０ａを繰り出すようにウインチを動作させれば、図４（Ｂ）に示すように、走行部３９に対して収容部３８を下降させることができる。また、このワイヤ４０ａを巻き取るようにウインチを動作させれば、収容部３８を上昇させることができる。

基部３９ａの上面側には、直方体状の突出部３９ｂが配置されており、突出部３９ｂの側面には、複数（本実施形態では、４個）の車輪（走行機構）４１が設けられている。各車輪４１は、モータ等の回転駆動源に連結されており回転する。また、突出部３９ｂの上面には、端子３９ｃが設けられている。無人被加工物搬送車１０の各構成要素には、この端子３９ｃを通じて外部から電力が供給される。

基部３９ａの内部には、無人被加工物搬送車１０の動作を制御する制御装置４２が設けられている。制御装置４２は、代表的には、ＣＰＵ等の処理装置や、フラッシュメモリ等の記憶装置を含むコンピュータによって構成される。記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御装置４２の機能が実現されている。

この制御装置４２には、搬送システム２の制御ユニット１２から送信される制御用の信号（制御信号）を受信する受信機４４と、制御ユニット１２に対して通知用の信号（通知信号）を送信する送信機４６とが接続されている。制御装置４２は、受信機４４で受信した信号に基づき無人被加工物搬送車１０の動作を制御する。また、制御装置４２は、送信機４６を通じて必要な信号を制御ユニット１２に送信する。

なお、無人被加工物搬送車１０の各構成要素には、例えば、二次電池が接続されていても良い。この場合には、二次電池から供給される電力によって、無人被加工物搬送車１０の各構成要素を動作させることができる。二次電池への給電（充電）は、例えば、端子３９ｃを使用する接触方式で行われるが、この端子３９ｃ等を使用しない非接触（ワイヤレス、無接点）方式で行われても良い。

図５は、切削装置４や線路６等の外観を示す斜視図であり、図６は、切削装置４の構成例を示す斜視図である。図５及び図６に示すように、切削装置４は、各構成要素を支持する基台４８を備えている。基台４８の角部には、開口４８ａが形成されており、この開口４８ａには、昇降機構（不図示）によって昇降する収容部保持台５０が設けられている。

収容部保持台５０の上面には、上述した無人被加工物搬送車１０の収容部３８が載せられる。なお、この収容部保持台５０の上面には、収容部３８の位置を規定する位置規定部（不図示）が設けられており、収容部保持台５０上の収容部３８は、位置規定部によって決まる所定の位置に位置付けられる。

図６に示すように、開口４８ａの側方には、Ｘ軸方向（前後方向、加工送り方向）に長い開口４８ｂが形成されている。開口４８ｂ内には、ボールねじ式のＸ軸移動機構（加工送りユニット）５２と、Ｘ軸移動機構５２の上部を覆う防塵防滴カバー５４とが配置されている。Ｘ軸移動機構５２は、Ｘ軸移動テーブル５２ａを備えており、このＸ軸移動テーブル５２ａをＸ軸方向に移動させる。

Ｘ軸移動テーブル５２ａ上には、被加工物１１を吸引、保持するチャックテーブル（保持テーブル）５６が設けられている。チャックテーブル５６は、モータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、Ｚ軸方向（鉛直方向、切り込み送り方向）に概ね平行な回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル５６は、上述したＸ軸移動機構５２によってＸ軸方向に移動する（加工送り）。

チャックテーブル５６の上面は、被加工物１１を保持するための保持面５６ａになっている。保持面５６ａは、チャックテーブル５６の内部に形成された吸引路（不図示）等を介して吸引源（不図示）に接続されている。また、チャックテーブル５６の周囲には、被加工物１１を支持するフレーム１５を四方から固定するための４個のクランプ５８が設けられている。

開口４８ｂの上方には、Ｙ軸方向（左右方向、割り出し送り方向）に平行な状態を維持しながら接近、離隔される一対のガイドレール（仮置き領域）６０が設けられている。一対のガイドレール６０は、それぞれ、フレーム１５を下方から支持する支持面と、支持面に概ね垂直な側面とを備え、収容部３８から引き出されたフレーム１５をＸ軸方向において挟み込んで所定の位置に合わせる。

基台４８の上方には、門型の第１支持構造６２が開口４８ｂを跨ぐように配置されている。第１支持構造６２の前面（ガイドレール６０側の面）には、Ｙ軸方向に沿う第１レール６４が固定されており、この第１レール６４には、第１移動機構６６等を介して第１保持ユニット６８が連結されている。

第１保持ユニット６８は、例えば、フレーム１５の上面に接触してこのフレーム１５を吸着、保持し、第１移動機構６６によって昇降するとともに、第１レール６４に沿ってＹ軸方向に移動する。第１保持ユニット６８の開口４８ａ側には、フレーム１５を把持するための把持機構６８ａが設けられている。

例えば、把持機構６８ａでフレーム１５を把持して第１保持ユニット６８をＹ軸方向に移動させれば、収容部３８内のフレーム１５を一対のガイドレール６０に引き出し、又は、一対のガイドレール６０上のフレーム１５を収容部３８に挿入できる。なお、一対のガイドレール６０でフレーム１５の位置を合わせた後には、第１保持ユニット６８でこのフレーム１５（被加工物１１）を吸着、保持してチャックテーブル５６へと搬入する。

また、第１支持構造６２の前面には、Ｙ軸方向に沿う第２レール７０が第１レール６４の上方に固定されている。この第２レール７０には、第２移動機構７２等を介して第２保持ユニット７４が連結されている。第２保持ユニット７４は、例えば、フレーム１５の上面に接触してこのフレーム１５を吸着、保持し、第２移動機構７２によって昇降するとともに、第２レール７０に沿ってＹ軸方向に移動する。

第１支持構造６２の後方には、門型の第２支持構造７６が配置されている。第２支持構造７６の前面（第１支持構造６２側の面）には、それぞれＹ軸Ｚ軸移動機構（割り出し送りユニット、切り込み送りユニット）７８を介して２組の切削ユニット（加工ユニット）８０が設けられている。各切削ユニット８０は、対応するＹ軸Ｚ軸移動機構７８によってＹ軸方向に移動する（割り出し送り）とともに、Ｚ軸方向に移動する（切り込み送り）。

各切削ユニット８０は、Ｙ軸方向に概ね平行な回転軸となるスピンドル（不図示）を備えている。各スピンドルの一端側には、円環状の切削ブレード８２が装着されている。各スピンドルの他端側には、モータ等の回転駆動源（不図示）が連結されている。また、切削ブレード８２の傍には、被加工物１１や切削ブレード８２に純水等の切削液を供給するためのノズルが配置されている。

このノズルから切削液を供給しながら、回転させた切削ブレード８２をチャックテーブル５６に保持された被加工物１１に切り込ませることで、被加工物１１を加工（切削）できる。切削ユニット８０に隣接する位置には、チャックテーブル５６に保持された被加工物１１等を撮像するための撮像ユニット（カメラ）８４が設けられている。この撮像ユニット８４も、Ｙ軸Ｚ軸移動機構７８によってＹ軸方向に移動するとともに、Ｚ軸方向に移動する。

開口４８ｂに対して開口４８ａと反対側の位置には、洗浄ユニット８６が配置されている。洗浄ユニット８６は、筒状の洗浄空間内で被加工物１１を吸引、保持するスピンナテーブル８８を備えている。スピンナテーブル８８の下部には、スピンナテーブル８８を所定の速さで回転させる回転駆動源（不図示）が連結されている。

スピンナテーブル８８の上方には、スピンナテーブル８８により保持された被加工物１１に向けて洗浄用の流体（代表的には、水とエアーとを混合した混合流体）を噴射する噴射ノズル９０が配置されている。被加工物１１を保持したスピンナテーブル８８を回転させて、噴射ノズル９０から洗浄用の流体を噴射することで、被加工物１１を洗浄できる。

切削ユニット８０で被加工物１１を加工した後には、例えば、第２保持ユニット７４でフレーム１５を吸着、保持して洗浄ユニット８６へと搬入する。洗浄ユニット８６で被加工物１１を洗浄した後には、例えば、第１保持ユニット６８でフレーム１５を吸着、保持して一対のガイドレール６０に載せ、その後、このフレーム１５を把持機構６８ａで把持して収容部３８に収容する。

図５に示すように、基台４８の上面側は、カバー９２によって覆われており、上述した各構成要素は、カバー９２の内側に収容される。開口４８ａの直上の領域には、カバー９２の天井９２ａを上下に貫通する開口９２ｂが設けられている。無人被加工物搬送車１０の収容部３８は、開口９２ｂを通じてカバー９２の外部から内部へと搬送され、又は、開口９２ｂを通じてカバー９２の内部から外部へと搬送される。開口９２ｂの形状や大きさに特段の制限はないが、この開口９２ｂは、少なくとも収容部３８を通過できるように構成される必要がある。

上述した切削装置４の各構成要素は、制御装置９６に接続されている（図５）。制御装置９６は、代表的には、ＣＰＵ等の処理装置や、フラッシュメモリ等の記憶装置を含むコンピュータによって構成される。記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御装置９６の機能が実現されている。

制御装置９６には、搬送システム２の制御ユニット１２から送信される制御用の信号（制御信号）を受信する受信機９８と、制御ユニット１２に対して通知用の信号（通知信号）を送信する送信機１００と、が更に接続されている。制御装置９６は、例えば、受信機９８で受信した信号等に基づき、上述した切削装置４の各構成要素を制御する。

基台４８の側壁には、各種の配管２１を接続する配管接続部４８ｃ（図５）が設けられている。また、カバー９２の側壁には、メンテナンス等の際に開閉される扉９２ｃ（図５）が設けられている。更に、カバー９２の側壁には、操作パネル（不図示）やディスプレイ（不図示）等が設けられていても良い。

図７は、切削装置４に搬送システム２の線路６が設置される様子を示す斜視図である。図５及び図７に示すように、本実施形態に係る搬送システム２の線路６は、切削装置４が備えるカバー９２の天井９２ａの上面側に装着される。すなわち、線路６は、切削装置４の真上の空間に設置される。

これにより、切削装置４の側面に設けられている配管接続部４８ｃや扉９２ｃ等の構造に対して、線路６が干渉することはなくなる。つまり、線路６を設計する際に、切削装置４の側面の構造を考慮する必要がない。そのため、搬送システム２の構築が容易になる。

線路６は、金属等の材料で構成され互いに連結される複数のレール１０２を含む。各レール１０２は、概ね平坦な上面を持つ上板１０２ａを備えている。上板１０２ａの一対の側端には、それぞれ、側板１０２ｂの上端が接続されている。２組の側板１０２ｂの下端には、それぞれ、概ね平坦な上面を持つ下板１０２ｃの側端が接続されている。

すなわち、レール１０２は、上板１０２ａと、２組の側板１０２ｂと、２組の下板１０２ｃとを備えている。２組の下板１０２ｃは、互いに接触しないように所定の隙間を空けて配置されており、この隙間には、無人被加工物搬送車１０の突出部３９ｂが挿入される。２組の下板１０２ｃの隙間に突出部３９ｂが挿入された状態で、各下板１０２ｃの上面に車輪４１が接触することによって、無人被加工物搬送車１０は、収容部３８がレール１０２の下方に配置された状態でこのレール１０２を走行する。

また、線路６は、切削装置４の上部に固定されるレール保持構造１０４を含む。レール保持構造１０４は、複数の脚部１０４ａを備えている。各脚部１０４ａの上端には、平板状の保持部１０４ｂが接続されており、各脚部１０４ａは、保持部１０４ｂを介して互いに連結されている。各脚部１０４ａの下端には、吸着部１０４ｃが設けられている。吸着部１０４ｃは、例えば、切削装置４が備えるカバー９２の天井９２ａに吸着する複数の吸盤（不図示）を含む。

そのため、この吸着部１０４ｃの吸盤をカバー９２の天井９２ａに吸着させれば、切削装置４の上部にレール保持構造１０４を固定できる。レール保持構造１０４の保持部１０４ｂの下面側には、レール１０２の上板１０２ａが固定されており、切削装置４の上部にレール保持構造１０４を固定すると、レール１０２は、２組の下板１０２ｃが天井９２ａと対面した状態でレール保持構造１０４に保持される。なお、レール１０２には、無人被加工物搬送車１０に給電する給電設備（不図示）が接続されている。

図８（Ａ）は、線路６に使用されるレール１０２の第１の例を示す平面図であり、図８（Ｂ）は、レール１０２の第２の例を示す平面図であり、図８（Ｃ）は、レール１０２の第３の例を示す平面図である。線路６は、例えば、図８（Ａ）、図８（Ｂ）、及び図８（Ｃ）に示す複数のレール１０６，１０８，１１０を連結することによって構成される。

図８（Ａ）に示されるレール１０６は、第１経路１０６ａと第２経路１０６ｂとを含んでおり、切削装置４等の直上に設置される。このレール１０６を用いることで、例えば、ある無人被加工物搬送車１０（１台目）と切削装置４との間で被加工物１１の受け渡しを行う間に、別の無人被加工物搬送車１０（２台目）がこの無人被加工物搬送車１０（１台目）を追い越せるようになる。なお、レール１０６の第１経路１０６ａは、図１に示すように、切削装置４の開口９２ｂの直上を通るように配置される。

一方で、図８（Ｂ）に示されるレール１０８は、直線状に形成されており、図８（Ｃ）に示されるレール１１０は、曲がり角に適した円弧状（曲線状）に形成されている。レール１０８は、例えば、ストックユニット８等の直上に設置される。レール１１０は、例えば、隣接する２つのレール１０６，１０８の間を繋ぐために用いられる。

第１経路１０６ａと第２経路１０６ｂとを含むレール１０６は、大きな重量にも耐えられるように、３つの脚部１０４ａを備える大型のレール保持構造１０４（図１のレール保持構造１１２）によって保持される。これに対して、一つの経路のみで構成されるレール１０８は、２つの脚部１０４ａを備える小型のレール保持構造１０４（図１のレール保持構造１１４）によって保持されている。

また、切削装置４やストックユニット８等の直上に配置されるレール１０６，１０８には、２次元コードに代表される識別コードや無線タグ等の情報提供部１１６（図１）が設けられている。この情報提供部１１６によって提供される情報は、例えば、無人被加工物搬送車１０の位置の確認等に使用される。

なお、線路６を構成するレールやレール保持構造の種類、数量、配置（接続の関係）等に制限はない。例えば、任意の２つのレールの間を、レール１０６やレール１０８等で繋いでも良い。また、例えば、円弧状のレール１１０の代わりに、直角状のレール等を用いることもできる。

次に、切削装置４の上方の領域と切削装置４の収容部保持台５０との間で無人被加工物搬送車１０の収容部３８を移動させる際の動作について詳述する。図９（Ａ）は、切削装置４の上方の領域を無人被加工物搬送車１０が走行する様子をＹ軸方向から見た一部断面側面図であり、図９（Ｂ）は、収容部３８を下降させる際の様子をＹ軸方向から見た一部断面側面図である。

また、図１０（Ａ）は、図９（Ａ）に示す状態をＸ軸方向から見た一部断面側面図であり、図１０（Ｂ）は、図９（Ｂ）に示す状態をＸ軸方向から見た一部断面側面図である。図９（Ａ）及び図１０（Ａ）に示すように、例えば、レール１０２に沿って無人被加工物搬送車１０を走行させた後には、開口９２ｂの直上で無人被加工物搬送車１０を停車させる。

そして、図９（Ｂ）及び図１０（Ｂ）に示すように、昇降機構４０のウインチを動作させて、ワイヤ４０ａを引き出す。これにより、開口９２ｂを通過するように収容部３８を下降させて、収容部保持台５０に収容部３８を載せることができる。つまり、収容部保持台５０によって収容部３８を保持できる。収容部保持台５０によって収容部３８を保持した後には、被加工物１１（フレーム１５）が収容部３８から搬出される。

例えば、切削装置４による被加工物１１の加工が完了した後には、被加工物１１（フレーム１５）が収容部３８に搬入される。その後、昇降機構４０のウインチを動作させて、ワイヤ４０ａを巻き取る。これにより、開口９２ｂを通過するように収容部３８を上昇させて、切削装置４の上方の領域（すなわち、カバー９２の外部）に収容部３８を搬出できる。切削装置４の上方の領域に収容部３８を搬出した後には、車輪４１を回転させて、無人被加工物搬送車１０をレール１０２に沿って走行させれば良い。

なお、ここでは、切削装置４の上方の領域と切削装置４の収容部保持台５０との間で収容部３８を搬送する際の動作について説明したが、ストックユニット８の上方の領域とストックユニット８の収容部保持台２６との間で収容部３８を搬送する際の動作も同様である。

次に、本実施形態に係る搬送システム２の制御方法の例を説明する。図１１は、搬送システム２の制御方法の例を説明するための機能ブロック図である。例えば、切削装置４の制御装置９６は、新たな被加工物１１（未加工の被加工物１１）が必要な状況になると、その旨を通知するための通知信号（被加工物要求信号）を生成する。制御装置９６で生成された通知信号（被加工物要求信号）は、送信機１００から制御ユニット１２へと送信される。

図１１に示すように、制御ユニット１２は、各種の制御を行うための制御信号を生成する制御部（制御信号生成部）１２２を備えている。この制御部１２２は、代表的には、ＣＰＵ等の処理装置や、フラッシュメモリ等の記憶装置を含むコンピュータによって構成される。記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御部１２２の機能が実現されている。

この制御部１２２には、切削装置４、ストックユニット８、無人被加工物搬送車１０等から送信される通知信号を受信する受信機１２４と、切削装置４、ストックユニット８、無人被加工物搬送車１０等に対して制御信号を送信する送信機１２６とが接続されている。

制御ユニット１２の受信機１２４は、切削装置４の送信機１００から送信された通知信号（被加工物要求信号）を受信すると、これを制御部１２２へと送る。制御部１２２は、切削装置４からの通知信号（被加工物要求信号）を確認すると、無人被加工物搬送車１０に対して、ストックユニット８の開口１６ｂの直上に移動し、収容部３８をストックユニット８の収容部保持台２６へと搬送するように指示を出す。具体的には、制御部１２２は、この指示に相当する制御信号（第１搬送指示信号）を生成し、送信機１２６から無人被加工物搬送車１０へと送信する。

無人被加工物搬送車１０の受信機４４は、制御ユニット１２からの制御信号（第１搬送指示信号）を受信すると、これを制御装置４２へと送る。制御装置４２は、この制御信号（第１搬送指示信号）に基づき車輪（走行機構）４１等の動作を制御し、無人被加工物搬送車１０を線路６に沿って走行させる。

なお、図１１に示すように、無人被加工物搬送車１０の制御装置４２には、線路６に設けられている情報提供部１１６の情報を読み取るための読み取り機１１８が接続されている。そのため、読み取り機１１８によって情報提供部１１６の情報を読み取ることで、制御装置４２は、自身（無人被加工物搬送車１０）の位置を確認できる。

制御装置４２は、自身（無人被加工物搬送車１０）がストックユニット８の開口１６ｂの直上に移動したことを確認すると、昇降機構４０のウインチを動作させて、ワイヤ４０ａを引き出す。これにより、開口１６ｂを通過するように収容部３８を下降させて、収容部保持台２６に収容部３８を載せることができる。

収容部保持台２６に収容部３８を載せた後には、制御装置４２は、ストックユニット８への収容部３８の搬送が完了した旨を通知するための通知信号（第１搬送完了信号）を生成する。制御装置４２で生成された通知信号（第１搬送完了信号）は、送信機４６から制御ユニット１２へと送信される。

制御ユニット１２の受信機１２４は、無人被加工物搬送車１０の送信機４６から送信された通知信号（第１搬送完了信号）を受信すると、これを制御部１２２へと送る。制御部１２２は、無人被加工物搬送車１０からの通知信号（第１搬送完了信号）を確認すると、ストックユニット８に対して、収容部保持台２６上の収容部３８に新たな被加工物１１を搬入するように指示を出す。具体的には、制御部１２２は、この指示に相当する制御信号（第１搬入指示信号）を生成し、送信機１２６からストックユニット８へと送信する。

ストックユニット８の受信機３４は、制御ユニット１２からの制御信号（第１搬入指示信号）を受信すると、これを制御装置３２へと送る。制御装置３２は、この制御信号（第１搬入指示信号）に基づき第１昇降機構、プッシュプルアーム２２、一対のガイドレール２４、第２昇降機構等の動作を制御して、新たな被加工物１１を収容部３８に搬入する。

新たな被加工物１１が収容部３８に搬入されると、制御装置３２は、収容部３８への被加工物１１の搬入が完了した旨を通知するための通知信号（第１搬入完了信号）を生成する。制御装置３２で生成された通知信号（第１搬入完了信号）は、送信機３６から制御ユニット１２へと送信される。

制御ユニット１２の受信機１２４は、ストックユニット８の送信機３６から送信された通知信号（第１搬入完了信号）を受信すると、これを制御部１２２へと送る。制御部１２２は、ストックユニット８からの通知信号（第１搬入完了信号）を確認すると、無人被加工物搬送車１０に対して、切削装置４の開口９２ｂの直上に移動し、収容部３８を切削装置４の収容部保持台５０へと搬送するように指示を出す。具体的には、制御部１２２は、この指示に相当する制御信号（第２搬送指示信号）を生成し、送信機１２６から無人被加工物搬送車１０へと送信する。

無人被加工物搬送車１０の受信機４４は、制御ユニット１２からの制御信号（第２搬送指示信号）を受信すると、これを制御装置４２へと送る。制御装置４２は、この制御信号（第２搬送指示信号）に基づき収容部３８を上昇させて、収容部３８をストックユニット８から搬出する。その後、車輪４１等の動作を制御して、無人被加工物搬送車１０を線路６に沿って走行させる。

制御装置４２は、自身（無人被加工物搬送車１０）が切削装置４の開口９２ｂの直上に移動したことを確認すると、昇降機構４０のウインチを動作させて、ワイヤ４０ａを引き出す。これにより、開口９２ｂを通過するように収容部３８を下降させて、収容部保持台５０に収容部３８を載せることができる。

収容部保持台５０に収容部３８を載せた後には、制御装置４２は、切削装置４への収容部３８の搬送が完了した旨を通知するための通知信号（第２搬送完了信号）を生成する。制御装置４２で生成された通知信号（第２搬送完了信号）は、送信機４６から制御ユニット１２へと送信される。

制御ユニット１２の受信機１２４は、無人被加工物搬送車１０の送信機４６から送信された通知信号（第２搬送完了信号）を受信すると、これを制御部１２２へと送る。制御部１２２は、無人被加工物搬送車１０からの通知信号（第２搬送完了信号）を確認すると、切削装置４に対して、収容部保持台５０上の収容部３８から新たな被加工物１１を搬出するように指示を出す。具体的には、制御部１２２は、この指示に相当する制御信号（第１搬出指示信号）を生成し、送信機１２６から切削装置４へと送信する。

切削装置４の受信機９８は、制御ユニット１２からの制御信号（第１搬出指示信号）を受信すると、これを制御装置９６へと送る。制御装置９６は、この制御信号（第１搬出指示信号）に基づき各構成要素の動作を制御して、新たな被加工物１１を収容部３８から搬出する。

新たな被加工物１１が収容部３８から搬出されると、例えば、制御装置９６は、収容部３８からの被加工物１１の搬出が完了した旨を通知するための通知信号（第１搬出完了信号）を生成する。制御装置９６で生成された通知信号（第１搬出完了信号）は、送信機１００から制御ユニット１２へと送信される。

このような手順により、ストックユニット８に収容されている被加工物１１を任意の切削装置４に対して搬送できる。なお、ここでは、ストックユニット８から切削装置４に対して被加工物１１を搬送する際の手順について主に説明したが、切削装置４からストックユニット８に対して被加工物１１を搬送する際の手順等も同様である。

具体的には、例えば、切削装置４の制御装置９６は、被加工物１１の加工が完了すると、その旨を通知するための通知信号（加工完了信号）を生成する。制御装置９６で生成された通知信号（加工完了信号）は、送信機１００から制御ユニット１２へと送信される。制御ユニット１２の受信機１２４は、切削装置４の送信機１００から送信された通知信号（加工完了信号）を受信すると、これを制御部１２２へと送る。

制御部１２２は、切削装置４からの通知信号（加工完了信号）を確認すると、無人被加工物搬送車１０に対して、切削装置４の開口９２ｂの直上に移動し、収容部３８を切削装置４の収容部保持台５０へと搬送するように指示を出す。具体的には、制御部１２２は、この指示に相当する制御信号（第３搬送指示信号）を生成し、送信機１２６から無人被加工物搬送車１０へと送信する。

無人被加工物搬送車１０の受信機４４は、制御ユニット１２からの制御信号（第３搬送指示信号）を受信すると、これを制御装置４２へと送る。制御装置４２は、この制御信号（第３搬送指示信号）に基づき車輪（走行機構）４１等の動作を制御し、無人被加工物搬送車１０を線路６に沿って走行させる。

制御装置４２は、自身（無人被加工物搬送車１０）が切削装置４の開口９２ｂの直上に移動したことを確認すると、昇降機構４０のウインチを動作させて、ワイヤ４０ａを引き出す。これにより、開口９２ｂを通過するように収容部３８を下降させて、収容部保持台５０に収容部３８を載せることができる。

収容部保持台５０に収容部３８を載せた後には、制御装置４２は、切削装置４への収容部３８の搬送が完了した旨を通知するための通知信号（第３搬送完了信号）を生成する。制御装置４２で生成された通知信号（第３搬送完了信号）は、送信機４６から制御ユニット１２へと送信される。

制御ユニット１２の受信機１２４は、無人被加工物搬送車１０の送信機４６から送信された通知信号（第３搬送完了信号）を受信すると、これを制御部１２２へと送る。制御部１２２は、無人被加工物搬送車１０からの通知信号（第３搬送完了信号）を確認すると、切削装置４に対して、収容部保持台５０上の収容部３８に加工後の被加工物１１を搬入するように指示を出す。具体的には、制御部１２２は、この指示に相当する制御信号（第２搬入指示信号）を生成し、送信機１２６から切削装置４へと送信する。

切削装置４の受信機９８は、制御ユニット１２からの制御信号（第２搬入指示信号）を受信すると、これを制御装置９６へと送る。制御装置９６は、この制御信号（第２搬入指示信号）に基づき各構成要素の動作を制御して、加工後の被加工物１１を収容部３８に搬入する。

加工後の被加工物１１が収容部３８に搬入されると、制御装置９６は、収容部３８への被加工物１１の搬入が完了した旨を通知するための通知信号（第２搬入完了信号）を生成する。制御装置９６で生成された通知信号（第２搬入完了信号）は、送信機１００から制御ユニット１２へと送信される。

制御ユニット１２の受信機１２４は、切削装置４の送信機１００から送信された通知信号（第２搬入完了信号）を受信すると、これを制御部１２２へと送る。制御部１２２は、切削装置４からの通知信号（第２搬入完了信号）を確認すると、無人被加工物搬送車１０に対して、ストックユニット８の開口１６ｂの直上に移動し、収容部３８をストックユニット８の収容部保持台２６へと搬送するように指示を出す。具体的には、制御部１２２は、この指示に相当する制御信号（第４搬送指示信号）を生成し、送信機１２６から無人被加工物搬送車１０へと送信する。

無人被加工物搬送車１０の受信機４４は、制御ユニット１２からの制御信号（第４搬送指示信号）を受信すると、これを制御装置４２へと送る。制御装置４２は、この制御信号（第４搬送指示信号）に基づき収容部３８を上昇させて、収容部３８を切削装置４から搬出する。その後、車輪４１等の動作を制御して、無人被加工物搬送車１０を線路６に沿って走行させる。

制御装置４２は、自身（無人被加工物搬送車１０）がストックユニット８の開口１６ｂの直上に移動したことを確認すると、昇降機構４０のウインチを動作させて、ワイヤ４０ａを引き出す。これにより、開口１６ｂを通過するように収容部３８を下降させて、収容部保持台２６に収容部３８を載せることができる。

収容部保持台２６に収容部３８を載せた後には、制御装置４２は、ストックユニット８への収容部３８の搬送が完了した旨を通知するための通知信号（第４搬送完了信号）を生成する。制御装置４２で生成された通知信号（第４搬送完了信号）は、送信機４６から制御ユニット１２へと送信される。

制御ユニット１２の受信機１２４は、無人被加工物搬送車１０の送信機４６から送信された通知信号（第４搬送完了信号）を受信すると、これを制御部１２２へと送る。制御部１２２は、無人被加工物搬送車１０からの通知信号（第４搬送完了信号）を確認すると、ストックユニット８に対して、収容部保持台２６上の収容部３８から加工後の被加工物１１を搬出するように指示を出す。具体的には、制御部１２２は、この指示に相当する制御信号（第２搬出指示信号）を生成し、送信機１２６からストックユニット８へと送信する。

ストックユニット８の受信機３４は、制御ユニット１２からの制御信号（第２搬出指示信号）を受信すると、これを制御装置３２へと送る。制御装置３２は、この制御信号（第２搬出指示信号）に基づき第１昇降機構、プッシュプルアーム２２、一対のガイドレール２４、第２昇降機構等の動作を制御して、加工後の被加工物１１を収容部３８から搬出する。

加工後の被加工物１１が収容部３８から搬出されると、例えば、制御装置３２は、収容部３８からの被加工物１１の搬出が完了した旨を通知するための通知信号（第２搬出完了信号）を生成する。制御装置３２で生成された通知信号（第２搬出完了信号）は、送信機３６から制御ユニット１２へと送信される。このような手順により、切削装置４で加工された後の被加工物１１をストックユニット８に対して搬送できる。

また、上述した手順は、被加工物１１を適切に搬送できる範囲内で任意に変更できる。例えば、上述した手順に含まれている複数のステップを同時に行っても良いし、被加工物１１の搬送に支障が出ない範囲内でステップの順序を入れ替えても良い。同様に、被加工物１１の搬送に支障が出ない範囲内で任意のステップを追加、変更、省略して良い。

以上のように、本実施形態に係る搬送システム２は、複数の切削装置（加工装置）４に渡って切削装置４の上部に固定される線路６と、被加工物１１を収容する空間（収容空間）３８ａを有する収容部３８を上方から吊り下げて昇降させる昇降機構４０を備え、収容部３８が線路６の下方に配置された状態で線路６を走行する無人被加工物搬送車（無人搬送車）１０と、被加工物１１が収容されたカセット（被加工物ストッカー）２０から収容部３８に対して被加工物１１を受け渡す際に収容部３８を保持する収容部保持台２６を備えるストックユニット８と、を含んでいる。

そのため、カセット２０に収容されている被加工物１１を収容部保持台２６に保持された状態の収容部３８へと搬送した後に、無人被加工物搬送車１０に線路６を走行させることで、複数の切削装置４のそれぞれに対して被加工物１１を搬送できる。

また、本実施形態に係る搬送システム２では、切削装置４の上部に線路６が固定されている。そのため、線路６を含む搬送システム２を設計する際に、各切削装置４の側面の構造を考慮する必要がない。すなわち、搬送システムの構築が容易になる。

（実施形態２）
本実施形態では、実施形態１の線路６及び無人被加工物搬送車（無人搬送車）１０とは異なる構造の線路及び無人被加工物搬送車（無人搬送車）について説明する。なお、本実施形態の線路及び無人被加工物搬送車が組み込まれる搬送システム等の基本的な構成は、実施形態１に係る搬送システム２等と同じである。よって、共通する構成要素には同じ符号を付して詳細な説明を省略する。

図１２（Ａ）及び図１２（Ｂ）は、本実施形態に係る無人被加工物搬送車１３０等の構成例を示す一部断面側面図である。図１２（Ａ）及び図１２（Ｂ）に示すように、本実施形態に係る無人被加工物搬送車１３０は、例えば、１枚の被加工物１１（及びフレーム１５）を収容できるように構成された直方体状の収容部１３８を含む。この収容部１３８の構造は、実施形態１の収容部３８と同じで良い。

収容部１３８の上方には、走行部１３９が配置されている。走行部１３９は、平面視で収容部１３８と同程度の大きさに形成された平板状の基部１３９ａを含む。基部１３９ａの四隅に相当する領域の下面側には、昇降機構１４０（図１２（Ｂ））が配置されている。各昇降機構１４０は、収容部１３８の上面側に先端部が接続されたワイヤ１４０ａと、基部１３９ａの下面側に固定されワイヤ１４０ａを巻き取るウインチ（不図示）と、を含んでおり、収容部１３８を吊り下げて昇降させる。

すなわち、収容部１３８には、昇降機構１４０を介して上方から走行部１３９が連結されている。例えば、ワイヤ１４０ａを繰り出すようにウインチを動作させれば、図４（Ｂ）に示すように、走行部１３９に対して収容部１３８を下降させることができる。また、このワイヤ１４０ａを巻き取るようにウインチを動作させれば、収容部１３８を上昇させることができる。

基部１３９ａの上面側には、直方体状の突出部１３９ｂが配置されており、突出部１３９ｂの側面には、複数の車輪（走行機構）１４１が設けられている。各車輪１４１は、モータ等の回転駆動源に連結されており回転する。また、突出部１３９ｂの車輪１４１に隣接する位置には、端子（不図示）が設けられている。無人被加工物搬送車１３０の各構成要素には、この端子を通じて外部から電力が供給される。なお、本実施形態では、突出部１３９ｂのＹ軸方向の一方側にのみ車輪１４１が設けられている。

基部１３９ａの内部には、無人被加工物搬送車１０の動作を制御する制御装置（不図示）が設けられている。制御装置は、代表的には、ＣＰＵ等の処理装置や、フラッシュメモリ等の記憶装置を含むコンピュータによって構成される。記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御装置の機能が実現されている。

この制御装置には、搬送システムの制御ユニット１２から送信される制御用の信号（制御信号）を受信する受信機（不図示）と、制御ユニット１２に対して通知用の信号（通知信号）を送信する送信機（不図示）とが接続されている。制御装置は、受信機で受信した信号に基づき無人被加工物搬送車１３０の動作を制御する。また、制御装置は、送信機を通じて必要な信号を制御ユニット１２に送信する。

なお、無人被加工物搬送車１３０の各構成要素には、例えば、二次電池が接続されていても良い。この場合には、二次電池から供給される電力によって、無人被加工物搬送車１３０の各構成要素を動作させることができる。二次電池への給電（充電）は、例えば、端子を使用する接触方式で行われるが、端子等を使用しない非接触（ワイヤレス、無接点）方式で行われても良い。

一方で、本実施形態に係る線路１５６は、金属等の材料で構成され互いに連結される複数のレール１６２を含む。各レール１６２は、概ね平坦な上面を持つ上板１６２ａを備えている。上板１６２ａの一方の側端には、第１側板１６２ｂの上端が接続されている。第１側板１６２ｂの下端には、概ね平坦な上面を持つ下板１６２ｃの一方の側端が接続されている。上板１６２ａの他方の側端には、第２側板１６２ｄの上端が接続されており、下板１６２ｃの他方の側端には、第３側板１６２ｅの下端が接続されている。

すなわち、レール１６２は、上板１６２ａと、第１側板１６２ｂと、下板１６２ｃと、第２側板１６２ｄと、第３側板１６２ｅとを備えている。第２側板１６２ｄと第３側板１６２ｅとは、互いに接触しないように所定の隙間を空けて配置されており、この隙間に、車輪１４１の回転軸が挿入される。下板１６２ｃの上面に車輪１４１が接触することによって、無人被加工物搬送車１３０は、収容部１３８がレール１６２の下方に配置された状態でこのレール１６２を走行する。

また、線路１５６は、切削装置４の上部に固定されるレール保持構造１６４を含む。レール保持構造１６４は、複数の脚部１６４ａを備えている。各脚部１６４ａの上端には、平板状の保持部１６４ｂが接続されており、各脚部１６４ａは、保持部１６４ｂを介して互いに連結されている。各脚部１６４ａの下端には、吸着部１６４ｃが設けられている。吸着部１６４ｃは、例えば、切削装置４が備えるカバー９２の天井９２ａに吸着する複数の吸盤（不図示）を含む。

そのため、この吸着部１６４ｃの吸盤をカバー９２の天井９２ａに吸着させれば、切削装置４の上部にレール保持構造１６４を固定できる。レール保持構造１６４の保持部１６４ｂの下面側には、レール１０２の上板１６２ａが固定されており、切削装置４の上部にレール保持構造１６４を固定すると、レール１６２は、下板１６２ｃが天井９２ａと対面した状態でレール保持構造１６４に保持される。なお、レール１６２には、無人被加工物搬送車１０に給電する給電設備（不図示）が接続されている。

（実施形態３）
本実施形態では、ストックユニット８とは異なる構造のストックユニットについて説明する。なお、本実施形態のストックユニットが組み込まれる搬送システム等の基本的な構成は、実施形態１に係る搬送システム２等と同じである。よって、共通する構成要素には同じ符号を付して詳細な説明を省略する。

図１３は、本実施形態に係るストックユニット３０８の構成例を模式的に示す側面図であり、図１４は、ストックユニット３０８の内部の構造を模式的に示す平面図である。図１３に示すように、ストックユニット３０８は、各種の構成要素を収容する筐体３１６を含む。なお、図１３では、説明の便宜上、筐体３１６の輪郭のみが示されている。

筐体３１６内には、例えば、ボールねじ式の第１昇降機構（不図示）によって昇降するカセット保持台３１８が設けられている。カセット保持台３１８の上面には、複数の被加工物１１を収容できるカセット（被加工物ストッカー）２０が載せられる。なお、このカセット２０は、例えば、上述のように、テープ１３を介してフレーム１５に支持された状態の被加工物１１を収容する。

図１４に示すように、カセット保持台３１８（カセット２０）に対面する第１位置には、フレーム１５を把持して移動させる第１被加工物移動ユニット３２０が配置されている。第１被加工物移動ユニット３２０は、フレーム１５を上下に把持する把持部３２２と、把持部３２２を概ね水平な方向に移動させる駆動部３２４とを含む。

駆動部３２４の上面には、カセット保持台３１８に向かって概ね水平に伸びるスリット状の開口３２４ａが形成されており、駆動部３２４は、この開口３２４ａに沿う第１方向に把持部３２２を移動させる。つまり、把持部３２２は、カセット保持台３１８に対して接近し、又はカセット保持台３１８から離隔するように移動する。

そのため、例えば、カセット２０に収容されているフレーム１５の高さを第１昇降機構によって把持部３２２の高さに合わせ、把持部３２２をカセット保持台３１８に接近させれば、把持部３２２によってカセット２０内のフレーム１５を把持できる。また、把持部３２２によってカセット２０内のフレーム１５を把持した後に、把持部３２２をカセット保持台３１８から離隔させれば、フレーム１５をカセット２０の外部に引き出せる。

第１被加工物移動ユニット３２０の周囲には、カセット２０から搬出されたフレーム１５が仮置きされる第１仮置き台３２６が配置されている。第１仮置き台３２６は、それぞれ第１方向に長い一対のガイド部３２６ａと、第１方向に垂直かつ水平な第２方向に長い基部３２６ｂと、を含む。一対のガイド部３２６ａは、互いの長手方向が平行になるように基部３２６ｂを介して連結されている。第１被加工物移動ユニット３２０でカセット２０から引き出されたフレーム１５は、一対のガイド部３２６ａに載せられる。

第１仮置き台３２６は、この第１仮置き台３２６を第２方向に移動させる第１仮置き台移動部３２８によって支持されている。第１仮置き台移動部３２８は、第２方向に長いガイドレール３３０を備えている。ガイドレール３３０には、移動部材３３２がスライド可能に取り付けられている。

移動部材３３２には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、ガイドレール３３０に概ね平行なボールねじ（不図示）が螺合されている。ボールねじの一端には、パルスモータ３３４が連結されている。パルスモータ３３４でボールねじを回転させると、移動部材３３２は、ガイドレール３３０に沿って第２方向に移動する。

移動部材３３２の上部には、第１仮置き台３２６の基部３２６ｂが固定されている。そのため、第１仮置き台３２６は、移動部材３３２とともに第２方向に移動する。なお、第１仮置き台移動部３２８は、第１位置と、この第１位置の隣の第２位置との間で第１仮置き台３２６を移動させることができるように構成されている。

第２位置には、フレーム１５を把持して移動させる第２被加工物移動ユニット３３６が配置されている。つまり、第２被加工物移動ユニット３３６は、第１被加工物移動ユニット３２０の隣に配置されている。第２被加工物移動ユニット３３６の構造は、第１被加工物移動ユニット３２０の構造と同様である。

具体的には、第２被加工物移動ユニット３３６は、フレーム１５を上下に把持する把持部３３８と、把持部３３８を概ね水平な方向に移動させる駆動部３４０とを含む。駆動部３４０の上面には、第１方向に長いスリット状の開口３４０ａが形成されており、駆動部３４０は、この開口３４０ａに沿って把持部３３８を移動させる。

第２被加工物移動ユニット３３６の周囲には、第１仮置き台３２６と同様の構造を持つ第２仮置き台３４２が配置されている。つまり、第２仮置き台３４２は、それぞれ第１方向に長い一対のガイド部３４２ａと、第１方向に垂直かつ水平な第２方向に長い基部３４２ｂとを含む。一対のガイド部３４２ａは、互いの長手方向が平行になるように基部３４２ｂを介して連結されている。

第２仮置き台３４２は、この第２仮置き台３４２を第２方向及び鉛直方向に移動させる第２仮置き台移動部３４４によって支持されている。第２仮置き台移動部３４４は、第２方向に長いガイドレール３４６を備えている。ガイドレール３４６には、移動部材３４８がスライド可能に取り付けられている。

移動部材３４８には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、ガイドレール３４６に概ね平行なボールねじ（不図示）が螺合されている。ボールねじの一端には、パルスモータ３５０が連結されている。パルスモータ３５０でボールねじを回転させると、移動部材３４８は、ガイドレール３４６に沿って第２方向に移動する。

移動部材３４８の上部には、エアシリンダ等で構成される昇降機構３５２を介して第２仮置き台３４２の基部３４２ｂが固定されている。そのため、第２仮置き台３４２は、移動部材３４８及び昇降機構３５２とともに第２方向に移動し、昇降機構３５２によって昇降する。なお、第２仮置き台移動部３４４は、第２位置と、この第２位置の隣の第１位置との間で第２仮置き台３４２を移動させることができるように構成されている。

図１５は、第１仮置き台３２６と第２仮置き台３４２とを第２方向に移動させて、第１仮置き台３２６の位置と第２仮置き台３４２の位置とを入れ替える様子を模式的に示す側面図である。第１仮置き台３２６の位置と第２仮置き台３４２の位置とを入れ替える際には、まず、第２仮置き台３４２を昇降機構３５２によって上昇させる。具体的には、第２仮置き台３４２の下端の高さが第１仮置き台３２６の上端の高さよりも高くなる上昇位置に第２仮置き台３４２を位置付ける。

その後、第２仮置き台３４２を上昇位置に位置付けた状態で、第２仮置き台３４２を第２仮置き台移動部３４４によって第１位置側に移動させる。また、同様のタイミングで、第１仮置き台３２６を第１仮置き台移動部３２８によって第２位置側に移動させる。なお、図１５では、第１仮置き台３２６を第１位置から第２位置まで移動させ、第２仮置き台３４２を第２位置から第１位置まで移動させる様子を示している。

第１仮置き台３２６及び第２仮置き台３４２の移動が完了した後には、第２仮置き台３４２を昇降機構３５２によって下降させ、第２仮置き台３４２の下端の高さが第１仮置き台３２６の下端の高さと概ね等しくなる基準位置に第２仮置き台３４２を位置付ける。このように、ストックユニット３０８では、第１仮置き台移動部３２８と第２仮置き台移動部３４４とによって、第１位置と第２位置との間で第１仮置き台３２６と第２仮置き台３４２とを入れ替えるように移動させることができる。

第２被加工物移動ユニット３３６が配置されている第２位置と対面する位置には、ボールねじ式の第２昇降機構（不図示）によって昇降する収容部保持台３５４が設けられている。この収容部保持台３５４の上面には、無人被加工物搬送車１０や無人被加工物搬送車１３０（以下、無人被加工物搬送車１０等）の収容部３８や収容部１３８（以下、収容部３８等）が載せられる。図１３に示すように、収容部保持台３５４の直上の領域には、筐体３１６の天井３１６ａを上下に貫通する開口３１６ｂが設けられている。この開口３１６ｂは、収容部保持台３５４に載せられる収容部３８等を通過できる形状、大きさに形成されている。

カセット保持台３１８を昇降する第１昇降機構、第１被加工物移動ユニット３２０、第１仮置き台移動部３２８、第２被加工物移動ユニット３３６、第２仮置き台移動部３４４、昇降機構３５２、収容部保持台３５４を昇降する第２昇降機構等の構成要素には、ストックユニット３０８の動作を制御するための制御装置３６２が接続されている。制御装置３６２は、代表的には、ＣＰＵ等の処理装置や、フラッシュメモリ等の記憶装置を含むコンピュータによって構成され、記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御装置３６２の機能が実現される。

制御装置３６２には、更に、搬送システムの制御ユニット１２から送信される制御用の信号（制御信号）を受信する受信機３６４と、制御ユニット１２に対して通知用の信号（通知信号）を送信する送信機３６６とが接続されている。制御装置３６２は、受信機３６４で受信した信号に基づきストックユニット３０８の動作を制御する。また、制御装置３６２は、送信機３６６を通じて必要な信号を制御ユニット１２に送信する。

次に、本実施形態に係るストックユニット３０８の動作を説明する。図１６（Ａ）、図１６（Ｂ）、図１７（Ａ）、及び図１７（Ｂ）は、ストックユニット３０８の動作の例を模式的に示す平面図である。なお、本実施形態では、第１仮置き台３２６が第１位置に位置付けられ、第２仮置き台３４２が第２位置に位置付けられている場合の動作について説明するが、第１仮置き台３２６が第２位置に位置付けられ、第２仮置き台３４２が第１位置に位置付けられている場合の動作も同様である。

例えば、無人被加工物搬送車１０等は、加工後の被加工物１１（フレーム１５）が収容されている収容部３８等を収容部保持台３５４に載せる。なお、カセット保持台３１８には、加工前の被加工物１１（フレーム１５）が収容されているカセット２０を予め載せておく。

その後、図１６（Ａ）に示すように、カセット保持台３１８上のカセット２０に対して把持部３２２を接近させ、カセット２０に収容されているフレーム１５を把持部３２２で把持する。同様のタイミングで、収容部保持台３５４上の収容部３８等に対して把持部３３８を接近させ、収容部３８等に収容されているフレーム１５を把持部３３８で把持する。

カセット２０の内部のフレーム１５を把持部３２２で把持した後には、図１６（Ｂ）に示すように、把持部３２２をカセット保持台３１８から離隔させる。同様に、収容部３８等の内部のフレーム１５を把持部３３８で把持した後には、図１６（Ｂ）に示すように、把持部３３８を収容部保持台３５４から離隔させる。これにより、加工前の被加工物１１がカセット２０から第１仮置き台３２６に引き出され、加工後の被加工物１１が収容部３８等から第２仮置き台３４２に引き出される。

次に、図１７（Ａ）に示すように、第１位置と第２位置との間で第１仮置き台３２６と第２仮置き台３４２とを入れ替えるように移動させる。すなわち、第２仮置き台３４２を昇降機構３５２によって上昇させ、上昇位置に位置付ける。そして、第２仮置き台３４２を第２方向に沿って第１位置側に移動させる。

また、同様のタイミングで、第１仮置き台３２６を第２方向に沿って第２位置側に移動させる。第１仮置き台３２６及び第２仮置き台３４２の移動が完了した後には、第２仮置き台３４２を昇降機構３５２によって下降させ、基準位置に位置付ける。その結果、第１仮置き台３２６が収容部保持台３５４と対面する第２位置に位置付けられ、第２仮置き台３４２がカセット保持台３１８と対面する第１位置に位置付けられる。

その後、図１７（Ｂ）に示すように、第１仮置き台３２６上のフレーム１５を把持部３３８で把持し、収容部保持台３５４上の収容部３８等に対して把持部３３８を接近させる。これにより、加工前の被加工物１１を支持する第１仮置き台３２６上のフレーム１５が収容部保持台３５４上の収容部３８等に収容される。

同様のタイミングで、第２仮置き台３４２上のフレーム１５を把持部３２２で把持し、カセット保持台３１８上のカセット２０に対して把持部３３８を接近させる。これにより、加工後の被加工物１１を支持する第２仮置き台３４２上のフレーム１５がカセット保持台３１８上のカセット２０に収容される。

無人被加工物搬送車１０等は、第１仮置き台３２６上のフレーム１５が収容部保持台３５４上の収容部３８等に収容された後に、この収容部３８等を収容部保持台３５４から搬送する。以上により、無人被加工物搬送車１０等からストックユニット３０８に加工後の被加工物１１を搬送し、ストックユニット３０８から無人被加工物搬送車１０等に加工前の被加工物１１を搬送できる。

なお、第１仮置き台３２６と第２仮置き台３４２とは同じ機能を備えており、カセット２０から搬出されるフレーム１５は、第１仮置き台３２６と第２仮置き台３４２とのいずれに対しても仮置きされ得る。例えば、第２仮置き台３４２が第１位置に位置付けられている場合には、カセット２０から搬出されるフレーム１５は、第２仮置き台３４２に仮置きされることになる。

また、上述した第１被加工物移動ユニット３２０は、第１位置に位置付けられた第１仮置き台３２６又は第２仮置き台３４２と、カセット保持台３１８（カセット２０）との間で被加工物１１を移動させる。同様に、第２被加工物移動ユニット３３６は、第２位置に位置付けられた第２仮置き台３４２又は第１仮置き台３２６と、収容部保持台３５４（収容部３８等）との間で被加工物１１を移動させる。

なお、本発明は、上述した実施形態の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、無人被加工物搬送車１０等の線路６の一方向への走行のみが許容されても良いし（いわゆる一方通行）、無人被加工物搬送車１０等の線路６の双方向への走行が許容されても良い。一方向への走行のみが許容される場合には、切削装置（加工装置）４の上に、往路用の線路６と、復路用の線路６とを設けても良い。

その他、上述した実施形態や変形例等に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

２ ：搬送システム
４ ：切削装置（加工装置）
６ ：線路
８ ：ストックユニット
１０ ：無人被加工物搬送車（無人搬送車）
１２ ：制御ユニット
１６ ：筐体
１６ａ ：天井
１６ｂ ：開口
１８ ：カセット保持台
２０ ：カセット（被加工物ストッカー）
２１ ：配管
２２ ：プッシュプルアーム
２４ ：ガイドレール
２６ ：収容部保持台
３２ ：制御装置
３４ ：受信機
３６ ：送信機
３８ ：収容部
３８ａ ：空間（収容空間）
３８ｂ ：側面
３８ｃ ：開口
３９ ：走行部
３９ａ ：基部
３９ｂ ：突出部
３９ｃ ：端子
４０ ：昇降機構
４０ａ ：ワイヤ
４１ ：車輪（走行機構）
４２ ：制御装置
４４ ：受信機
４６ ：送信機
１０２ ：レール
１０２ａ ：上板
１０２ｂ ：側板
１０２ｃ ：下板
１０４ ：レール保持構造
１０４ａ ：脚部
１０４ｂ ：保持部
１０４ｃ ：吸着部
１０６ ：レール
１０６ａ ：第１経路
１０６ｂ ：第２経路
１０８ ：レール
１１０ ：レール
１１２ ：レール保持構造
１１４ ：レール保持構造
１１６ ：情報提供部
１１８ ：読み取り機
１２２ ：制御部
１２４ ：受信機
１２６ ：送信機

Claims (3)

1. 複数の加工装置のそれぞれに対して被加工物を搬送する搬送システムであって、
   複数の該加工装置に渡って該加工装置の上部に固定される線路と、
   該被加工物を収容する収容空間を有する収容部、該収容部に上方から連結される走行部、該走行部に設けられた走行機構、該走行部に配置され該収容部を上方から吊り下げて昇降させる昇降機構、及び制御信号を受信する受信機を備え、該線路を走行する無人搬送車と、
   該被加工物が収容された被加工物ストッカーから該無人搬送車の該収容部に対して該被加工物を受け渡す際に該収容部を保持する収容部保持台、及び制御信号を受信する受信機を備えるストックユニットと、
   該加工装置、該無人搬送車、及び該ストックユニットに制御信号を送信する送信機、該加工装置から送信される通知信号を受信する受信機、及び該送信機から送信される制御信号を生成する制御信号生成部を備える制御ユニットと、を含み、
   該制御ユニットの該制御信号生成部は、該制御ユニットの該受信機が受信した通知信号に基づき該制御ユニットの該送信機から送信される制御信号を生成し、
   該制御ユニットの該送信機は、該制御ユニットの該制御信号生成部で生成された制御信号を、該加工装置、該無人搬送車、及び該ストックユニットに送信し、
   該無人搬送車は、該受信機で受信した制御信号に基づき該線路を走行することを特徴とする搬送システム。
2. 該線路は、複数のレールを連結して構成され、
   該無人搬送車は、該レールの下方に該収容部が配置された状態で該レールを走行することを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
3. 該線路は、該加工装置に対して吸着する吸着部を有する脚部を備え、該吸着部によって該加工装置に固定されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の搬送システム。