TWI845649B - 搬送系統 - Google Patents

Abstract

本發明的課題是在於提供一種可對於複數的加工裝置的各者搬送被加工物且建構也容易的搬送系統。 其解決手段為一種搬送系統，係對於複數的加工裝置的各者搬送被加工物的搬送系統，其特徵為包含： 搬送通路，其係跨越複數的該加工裝置來設置於該加工裝置的正上方的空間； 無人搬送車，其係具備：收容該被加工物的收容部、被設在該收容部的行駛機構、及接收控制訊號的收訊機，行駛於該搬送通路； 儲藏單元，其係具備：從收容有該被加工物的被加工物儲藏庫，對於該無人搬送車的該收容部交接該被加工物時，保持該收容部的收容部保持台、及接收控制訊號的收訊機；及 收容部搬送單元，其係在該搬送通路的相當於該儲藏單元的上方的區域與該儲藏單元的該收容部保持台之間，或在該搬送通路的相當於該加工裝置的上方的區域與該加工裝置的內部之間，搬送該收容部。

Description

搬送系統

本發明是有關對於加工裝置搬送被加工物的搬送系統。

在被裝入於電子機器等的裝置晶片的製造工程中，以半導體晶圓或樹脂封裝基板為代表的板狀的被加工物會藉由各種的加工裝置來加工。對於此加工裝置搬送被加工物時，通常使用可收容複數的被加工物的搬送用的盒子(cassette)。

可是在將複數的被加工物收容於盒子而一度往加工裝置搬送的上述的方法中，若基於某些的原因而加工裝置停止，則一律使被收容於盒子的未加工的被加工物待機。亦即，也無法在其他的加工裝置加工未加工的被加工物，因此加工的能率會大幅度降低。

為了解消此問題，例如，只要配合加工裝置的運轉狀況，將被加工物1片1片往加工裝置搬送即可。於是，在搬送用的路徑連接複數的加工裝置，對於各加工裝置，可在任意的時機搬送被加工物的搬送系統被提案(例如參照專利文獻1)。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1] 日本特開平6-177244號公報

(發明所欲解決的課題)

然而，在各加工裝置的側面是設有連接配管的配管連接部或維修用的門等，在建構上述的搬送系統時，需要以不與該等干擾的方式設計搬送用的路徑。為此，搬送系統的建構不一定容易，且搬送用的路徑也容易變長。

本發明是有鑑於如此的問題點而研發者，其目的是在於提供一種可對於複數的加工裝置的各者搬送被加工物，且建構也容易的搬送系統。 (用以解決課題的手段)

若根據本發明的一形態，則提供一種搬送系統，係對於複數的加工裝置的各者搬送被加工物的搬送系統，其特徵為包含： 搬送通路，其係跨越複數的該加工裝置來設置於該加工裝置的正上方的空間； 無人搬送車，其係具備：收容該被加工物的收容部、被設在該收容部的行駛機構、及接收控制訊號的收訊機，行駛於該搬送通路； 儲藏單元，其係具備：從收容有該被加工物的被加工物儲藏庫，對於該無人搬送車的該收容部交接該被加工物時，保持該收容部的收容部保持台、及接收控制訊號的收訊機； 收容部搬送單元，其係在該搬送通路的相當於該儲藏單元的上方的區域與該儲藏單元的該收容部保持台之間，或在該搬送通路的相當於該加工裝置的上方的區域與該加工裝置的內部之間，搬送該收容部；及 控制單元，其係具備：發送控制訊號至該加工裝置、該無人搬送車及該儲藏單元的送訊機、接收從該加工裝置發送的通知訊號的收訊機、及產生從該送訊機發送的控制訊號的控制訊號產生部， 該控制單元的該控制訊號產生部，係根據該控制單元的該收訊機所接收的通知訊號，產生從該控制單元的該送訊機發送的控制訊號， 該控制單元的該送訊機，係將在該控制單元的該控制訊號產生部產生的控制訊號發送至該加工裝置、該無人搬送車及該儲藏單元， 該無人搬送車，係根據在該收訊機接收的控制訊號，行駛於該搬送通路上， 該無人搬送車的該收容部，係與被收容於該收容部的該被加工物一起從該搬送通路的相當於該加工裝置的上方的該區域往該加工裝置的內部搬送。

在此搬送系統中，該搬送通路，係被設置於該加工裝置的上面為理想。

又，在此搬送系統中，該無人搬送車，係亦可具備該收容部搬送單元。 [發明的效果]

本發明之一形態的搬送系統，係包含： 搬送通路，其係跨越複數的加工裝置而設置； 無人搬送車，其係具備：收容被加工物的收容部，被設在被加工物收容部的行駛機構，及接收控制訊號的收訊機，行駛於搬送通路； 儲藏單元，其係具備：從收容有被加工物的被加工物儲藏庫，對於無人搬送車的被加工物收容部交接被加工物時，保持被加工物收容部的收容部保持台，及接收控制訊號的收訊機； 收容部搬送單元，其係在該搬送通路的相當於該儲藏單元的上方的區域與儲藏單元的收容部保持台之間，或在搬送通路的相當於加工裝置的上方的區域與加工裝置的內部之間，搬送被加工物收容部。

為此，例如，藉由收容部搬送單元來將在儲藏單元從被加工物儲藏庫接受被加工物的無人搬送車的被加工物收容部往搬送通路搬送，使此無人搬送車行駛於搬送通路上，藉此可對於複數的加工裝置的各者搬送被加工物。另外，此無人搬送車的被加工物收容部是例如在使無人搬送車行駛之後，藉由收容部搬送單元來朝加工裝置的內部搬送。

又，本發明之一形態的搬送系統是搬送通路會被設置於加工裝置的正上方的空間。因此，在設計此搬送通路時不需要考慮各加工裝置的側面的構造。亦即，搬送系統的建構變容易。

參照附圖來說明有關本發明的實施形態。另外，在以下的各實施形態中，說明有關對於複數的切削裝置搬送被加工物等的搬送系統，本發明的搬送系統是只要被構成為可對於複數的加工裝置搬送被加工物等即可。亦即，被加工物等的搬送去處是亦可為切削裝置以外的加工裝置。

例如，本發明的搬送系統是被構成為可對於複數的雷射加工裝置搬送被加工物。又，本發明的搬送系統是亦可被構成為例如可對於被使用在一連串的加工之複數的種類的加工裝置依序搬送被加工物。另外，在本說明書中，將可被用在用以加工被加工物的一連串的工程的全部的裝置表現成加工裝置。亦即，在本說明書的加工裝置是包含不一定要以被加工物的加工為目的的膠帶貼附裝置、紫外線照射裝置、洗淨裝置等。

(實施形態1) 圖1是表示本實施形態的搬送系統2的構成例的平面圖，圖2是表示搬送系統2的連接關係的例子的機能方塊圖。如圖1所示般，本實施形態的搬送系統2是包含用以搬送藉由切削裝置(加工裝置)4所加工的板狀的被加工物11 (參照圖4(B)等)的搬送通路6。

被加工物11是例如為矽等的半導體材料的圓盤狀的晶圓。此被加工物11的表面側是藉由彼此交叉的複數的分割預定線(割道)來區劃成複數的小區域，在各小區域是形成有IC(Integrated Circuit)、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)等的裝置。

在被加工物11的背面側是貼附有比被加工物11更大直徑的膠帶(切割膠帶)13。膠帶13的外周部分是被固定於包圍被加工物11的環狀的框15。被加工物11是在經由此膠帶13來被支撐於框15的狀態下往切削裝置4搬送。

另外，在本實施形態中，將以矽等的半導體材料所成的圓盤狀的晶圓設為被加工物11，但被加工物11的材質、形狀、構造、大小等是無限制。例如，亦可使用以其他的半導體、陶瓷、樹脂、金屬等的材料所成的基板等作為被加工物11。

同樣，裝置的種類、數量、形狀、構造、大小、配置等亦無限制。在被加工物11是亦可未形成裝置。而且，在本實施形態中，以經由膠帶13來被支撐於框15的狀態的被加工物11作為搬送的對象，但未貼附有膠帶13的被加工物11或未被支撐於框15的被加工物11等亦有成為搬送的對象的情形。

又，加工此被加工物11的切削裝置4是作為被加工物11的搬送去處被連接至搬送系統2，但並非一定是搬送系統2的構成要素。因此，切削裝置4是如上述般，亦可配合搬送系統2的使用的形態來變更、省略。

而且，在圖1中，基於說明的方便起見，只表示1台的切削裝置4a，在圖2中，表示2台的切削裝置4a，4b，但在本實施形態中，作為被加工物11的搬送去處，需要2台以上的切削裝置4。亦即，被連接至搬送系統2的加工裝置的台數是2台以上。

搬送通路6是以能對於各切削裝置4搬送被加工物11的方式，跨越複數的切削裝置4而設置。亦即，複數的切削裝置4是經由搬送通路6來互相地連結。又，搬送通路6是被設在切削裝置4的正上方的空間。因此，不會有搬送通路6對於被連接至各切削裝置4的側面的配管21等干擾的情形。

在搬送通路6的下方是除了切削裝置4以外，還設有可收容複數的被加工物11的儲藏單元8。被收容於儲藏單元8的被加工物11是在任意的時機被搬入至無人被加工物搬送車(無人搬送車)10。無人被加工物搬送車10是行駛於搬送通路6上而將被加工物11往各切削裝置4搬送。另外，在圖1中，顯示3台的無人被加工物搬送車10a，10b，10c，在圖2中，顯示2台的無人被加工物搬送車10a，10b，但無人被加工物搬送車10的台數是無限制。

如圖1所示般，在無人被加工物搬送車10的上部是設有搬送單元(收容部搬送單元)12。藉由此搬送單元12，在搬送通路6的相當於切削裝置4的上方的區域與切削裝置4的內部之間，或搬送通路6的相當於儲藏單元8的上方的區域與儲藏單元8的內部之間，搬送無人被加工物搬送車10。

另外，在本實施形態中，說明此搬送單元12被設在無人被加工物搬送車10的例子，但搬送單元12是亦可不一定要被設在無人被加工物搬送車10。同樣，搬送單元12是亦可不一定要藉由無人被加工物搬送車10來控制。例如，亦可在切削裝置4或搬送通路6、儲藏單元8等設置搬送單元12，予以藉由切削裝置4或搬送通路6、儲藏單元8等來控制。當然，亦可使搬送單元12從其他的構成要素獨立。

如圖2所示般，在切削裝置4、儲藏單元8、無人被加工物搬送車10(包含搬送單元12)是以無線來連接控制該等的動作的控制單元14。但，控制單元14是只要被構成為可控制切削裝置4、儲藏單元8、無人被加工物搬送車10(包含搬送單元12)的動作即可，亦可對於該等以有線來連接。

圖3是模式性地表示儲藏單元8的構成例的側面圖。如圖3所示般，儲藏單元8是包含收容各種的構成要素的框體16。另外，在此圖3中，基於說明的方便起見，只顯示框體16的輪廓。

在框體16內是例如設有藉由滾珠螺桿式的第1昇降機構(未圖示)來昇降的盒子保持台18。在盒子保持台18的上面是載有可收容複數的被加工物11的盒子(被加工物儲藏庫)20。另外，此盒子20是如上述般，收容經由膠帶13來被支撐於框15的狀態的被加工物11。

在盒子保持台18的側方是配置有可把持框15而移動的推挽(push-pull)臂22。例如，以第1昇降機構來將被收容於盒子20的框15的高度對準推挽臂22的高度，只要藉由此推挽臂22來把持盒子20內的框15，便可使框15往盒子20的外部拉出。

在夾著推挽臂22的位置是設有邊維持彼此平行的狀態，邊接近、隔離的一對的導軌24。各導軌24是具備：從下方支撐框15的支撐面，及大概垂直於支撐面的側面，將藉由推挽臂22來從盒子20拉出的框15夾入，而對準預定的位置。

在推挽臂22及一對的導軌24的更側方是例如設有藉由滾珠螺桿式的第2昇降機構(未圖示)來昇降的搬送車保持台(收容部保持台)26。在此搬送車保持台26的上面是載有可收容被加工物11(框15)的無人被加工物搬送車10。

藉由一對的導軌24來對準於預定的位置的框15是藉由推挽臂22來再度把持，從側方挿入至藉由第2昇降機構來調整高度的搬送車保持台26上的無人被加工物搬送車10。另外，在搬送車保持台26的上面是設有固定無人被加工物搬送車10的固定部(未圖示)。因此，從收容被加工物11的盒子20來將被加工物11交接至無人被加工物搬送車10時，無人被加工物搬送車10是被定位於藉由搬送車保持台26上的固定部所決定的預定的位置。

在搬送車保持台26的正上方的區域是設有將框體16的頂部16a貫通於上下的開口16b。此開口16b是被形成至少可通過被載於搬送車保持台26的無人被加工物搬送車10之形狀、大小。無人被加工物搬送車10是通過此開口16b來從框體16的外部往內部搬送，或通過此開口16b來從框體16的內部往外部搬送。

在儲藏單元8的框體16的上方是設有：在搬送通路6的相當於儲藏單元8的上方的區域與儲藏單元8的搬送車保持台26之間，搬送無人被加工物搬送車10時，支撐搬送單元12的搬送單元支撐構造28。第1昇降機構、推挽臂22、一對的導軌24、第2昇降機構等的構成要素是連接用以控制儲藏單元8的動作的控制裝置32。

控制裝置32是藉由代表性地包含CPU (Central Processing Unit)等的處理裝置、快閃記憶體等的記憶裝置的電腦所構成。按照被記憶於記憶裝置的軟體，使處理裝置等動作，藉此實現控制裝置32的機能。

在控制裝置32是更連接：接受從搬送系統2的控制單元14發送的控制用的訊號(控制訊號)的收訊機34，及對於控制單元14發送通知用的訊號(通知訊號)的送訊機36。控制裝置32是根據在收訊機34接收的訊號來控制儲藏單元8的動作。又，控制裝置32是透過送訊機36來將必要的訊號來發送至控制單元14。

圖4(A)是表示無人被加工物搬送車10及搬送單元12的構成例的立體圖，圖4(B)是表示無人被加工物搬送車10藉由搬送單元12來搬送的情況的立體圖。如圖4(A)所示般，無人被加工物搬送車10是例如包含被構成為可收容1片的被加工物11(及框15)的長方體狀的底盤(被加工物收容部)37。

在底盤37的內部是形成有用以收容被加工物11(及框15)的空間37a。在底盤37的一對的側面是設有可通過被加工物11(及框15)的大小的開口部37b，底盤37的空間37a是經由此開口部37b來連接至外部。亦即，被加工物11(及框15)是通過開口部37b來搬入至底盤37的空間37a，且通過開口部37b來從底盤37的空間37a搬出。

在底盤37的下面側是設有複數(在本實施形態是4個)的車輪(行駛機構)38。各車輪38是被連結至馬達等的旋轉驅動源而旋轉。使此車輪38藉由旋轉驅動源來旋轉下，無人被加工物搬送車10與搬送單元12一起行駛於搬送通路6上。另外，車輪38是可使用：傾斜的桶狀(筒狀)的複數的旋轉體被安裝於與搬送通路6接觸的外周面之所謂的麥克納姆輪(Mecanum Wheel)等。

在底盤37的上方是配置有構成搬送單元12的上部框體39。上部框體39是包含平面視被形成與底盤37同程度的大小的平板狀的基部39a。在相當於基部39a的四個角落的區域的下面側是配置有複數(在本實施形態是4根)的鋼索(wire)40。無人被加工物搬送車10與搬送單元12是經由此鋼索40來互相連結。並且，在基部39a的內部是設有用以捲繞鋼索40的捲揚機(winch)(未圖示)。

例如，在以使無人被加工物搬送車10的底盤37浮起來的方式支撐搬送單元12的基部39a的狀態下，只要使捲揚機動作成為能從基部39a拉出鋼索40，如圖4(B)所示般，便可使底盤37下降。又，只要使捲揚機動作成為捲繞此鋼索40來收納於基部39a，便可使底盤37上昇。

在基部39a的上面側是配置有長方體狀的突出部39b，在此突出部39b的側面是設有複數(在本實施形態是4個)的車輪(行駛機構)41。各車輪41是被連結至馬達等的旋轉驅動源而旋轉。例如，只要將此車輪41載於搬送單元支撐構造28等上而使旋轉，即使是無人被加工物搬送車10的車輪38未與搬送通路6接觸的狀況，也可使無人被加工物搬送車10及搬送單元12沿著搬送單元支撐構造28等而移動。

並且，在基部39a的內部是設有控制無人被加工物搬送車10及搬送單元12的動作的控制裝置42。控制裝置42是藉由代表性地包含CPU等的處理裝置、快閃記憶體等的記憶裝置的電腦所構成。按照被記憶於記憶裝置的軟體，使處理裝置等動作，藉此實現控制裝置42的機能。

在此控制裝置42是連接：接收從搬送系統2的控制單元14發送的控制用的訊號(控制訊號)的收訊機44，及對於控制單元14發送通知用的訊號(通知訊號)的送訊機46。控制裝置42是根據在收訊機44接收的訊號來控制無人被加工物搬送車10及搬送單元12的動作。並且，控制裝置42是透過送訊機46來將必要的訊號發送至控制單元14。

另外，在本實施形態中，基於說明的方便起見，將控制裝置42、收訊機44及送訊機46設為無人被加工物搬送車10的構成要素處理，但亦可將控制裝置42、收訊機44及送訊機46設為搬送單元12的構成要素處理。當然，亦可將控制裝置42、收訊機44及送訊機46設為無人被加工物搬送車10與搬送單元12的共通的構成要素處理。

上述的旋轉驅動源、捲揚機、控制裝置42、收訊機44、送訊機46等的構成要素是例如連接二次電池，無人被加工物搬送車10及搬送單元12的各構成要素會藉由從此二次電池供給的電力來動作。往二次電池的給電(充電)是以非接觸(無線、無接點)方式來進行為理想，但亦可以接觸方式進行。

另外，在突出部39b是設有可接觸於上述的搬送單元支撐構造28等的電極39c(參照圖12)，構成無人被加工物搬送車10及搬送單元12的一部分或全部的構成要素是亦可透過此電極39c來從外部供給電力。因此，例如，藉由從外部供給的電力來使有消耗大的電力傾向的搬送單元12的旋轉驅動源或捲揚機等動作，可抑制二次電池的放電，無人被加工物搬送車10等可長時間運轉。又，亦可藉由透過此電極39c所供給的電力來充電二次電池。

圖5是表示切削裝置4或搬送通路6等的外觀的立體圖，圖6是表示切削裝置4的構成例的立體圖。如圖5及圖6所示般，切削裝置4是具備支撐各構成要素的基台48。在基台48的角部是形成有開口48a，在此開口48a是設有藉由昇降機構(未圖示)來昇降的搬送車保持台(收容部保持台)50。

在此搬送車保持台50的上面是載置上述的無人被加工物搬送車10的底盤37。另外，在搬送車保持台50的上面是設有固定無人被加工物搬送車10的車輪38的車輪制動部50a，搬送車保持台50上的底盤37是被定位於藉由車輪制動部50a來決定的預定的位置。

如圖6所示般，在開口48a的側方是形成有在X軸方向(前後方向、加工進給方向)長的開口48b。在開口48b內是配置有滾珠螺桿式的X軸移動機構(加工進給單元)52，及覆蓋X軸移動機構52的上部的防塵防滴罩子54。X軸移動機構52是具備X軸移動台52a，使此X軸移動台52a移動於X軸方向。

在X軸移動台52a上是設有吸引、保持被加工物11的吸盤台(保持台)56。吸盤台56是被連結至馬達等的旋轉驅動源(未圖示)，繞著大概平行於Z軸方向(鉛直方向、切入進給方向)的旋轉軸旋轉。並且，吸盤台56是藉由上述的X軸移動機構52來移動於X軸方向(加工進給)。

吸盤台56的上面是形成用以保持被加工物11的保持面56a。保持面56a是經由被形成於吸盤台56的內部的吸引路(未圖示)等來連接至吸引源(未圖示)。並且，在吸盤台56的周圍是設有用以從四方來固定支撐被加工物11的框15之4個的夾緊裝置(clamp)58。

在開口48b的上方是設有邊在Y軸方向(左右方向、分度進給方向)維持平行的狀態，邊接近、隔離的一對的導軌(暫置區域)60。一對的導軌60是分別具備：從下方支撐框15的支撐面，及大概垂直於支撐面的側面，在X軸方向夾入從底盤37拉出的框15而對準預定的位置。

在基台48的上方是門型的第1支撐構造62會被配置為跨越開口48b。在第1支撐構造62的前面(導軌60側的面)是固定沿著Y軸方向的第1軌道64，在此第1軌道64是經由第1移動機構66等來連結第1保持單元68。

第1保持單元68是例如接觸於框15的上面而吸附、保持此框15，藉由第1移動機構66來昇降，且沿著 第1軌道64來移動於Y軸方向。在第1保持單元68的開口48a側是設有用以把持框15的把持機構68a。

例如，只要以把持機構68a來把持框15而使第1保持單元68移動於Y軸方向，便可將底盤37內的框15拉出至一對的導軌60，或將一對的導軌60上的框15插入至底盤37。另外，在一對的導軌60對準框15的位置之後，以第1保持單元68來吸附、保持此框15(被加工物11)而朝吸盤台56搬入。

並且，在第1支撐構造62的前面是沿著Y軸方向的第2軌道70會被固定於第1軌道64的上方。在此第2軌道70是經由第2移動機構72等來連結第2保持單元74。第2保持單元74是例如接觸於框15的上面而吸附、保持此框15，藉由第2移動機構72來昇降，且沿著第2軌道70來移動於Y軸方向。

在第1支撐構造62的後方是配置有門型的第2支撐構造76。在第2支撐構造76的前面(第1支撐構造62側的面)是分別經由Y軸Z軸移動機構(分度進給單元、切入進給單元)78來設有2組的切削單元(加工單元)80。各切削單元80是藉由對應的Y軸Z軸移動機構78來移動於Y軸方向(分度進給)，且移動於Z軸方向(切入進給)。

各切削單元80是具備成為大概平行於Y軸方向的旋轉軸的主軸(未圖示)。在各主軸的一端側是安裝有圓環狀的切削刀刃82。在各主軸的另一端側是連結馬達等的旋轉驅動源(未圖示)。並且，在切削刀刃82的旁邊是配置有用以將純水等的切削液供給至被加工物11或切削刀刃82的噴嘴。

一邊由此噴嘴供給切削液，一邊使旋轉的切削刀刃82切入被保持於吸盤台56的被加工物11，藉此可切削被加工物11。在鄰接於切削單元80的位置是設有用以攝取被保持於吸盤台56的被加工物11等的攝像單元(攝影機)84。此攝像單元84也藉由Y軸Z軸移動機構78來移動於Y軸方向，且移動於Z軸方向。

相對於開口48b，在與開口48a相反側的位置是配置有洗淨單元86。洗淨單元86是具備在筒狀的洗淨空間內吸引、保持被加工物11的旋轉器台88。在旋轉器台88的下部是連結使旋轉器台88以預定的速度旋轉的旋轉驅動源(未圖示)。

在旋轉器台88的上方是配置有朝向藉由旋轉器台88所保持的被加工物11噴射洗淨用的流體(代表性地混合水及空氣的混合流體)的噴射噴嘴90。使保持被加工物11的旋轉器台88旋轉，從噴射噴嘴90噴射洗淨用的流體，藉此可洗淨被加工物11。

在切削單元80切削被加工物11之後，例如，以第2保持單元74來吸附、保持框15而往洗淨單元86搬入。在洗淨單元86洗淨被加工物11之後，例如，以第1保持單元68來吸附、保持框15而載於一對的導軌60，然後，以把持機構68a來把持此框15而收容於底盤37。

如圖5所示般，基台48的上面側是藉由罩子92來覆蓋，上述的各構成要素是被收容於罩子92的內側。在開口48a的正上方的區域是設有將罩子92的頂部92a貫通於上下的開口92b。無人被加工物搬送車10的底盤37是通過此開口92b來從罩子92的外部往內部搬送，或通過此開口92b來從罩子92的內部往外部搬送。開口92b的形狀或大小是無特別的限制，但此開口92b是需要被構成為至少可通過底盤37。

在切削裝置4的罩子92的上方是設有搬送單元支撐構造28。此搬送單元支撐構造28是例如包含下端部被固定於搬送通路6(或切削裝置4)的支撐構造29。在支撐構造29的上端部是例如固定沿著X軸方向及Y軸方向的平板狀的支撐板30的一端部。在支撐板30的下面的另一端部側是設有沿著X軸方向的導軌31。但，搬送單元支撐構造28的構成或配置等是可按照切削裝置4的構成或搬送通路6的配置等來任意地變更。

在導軌31的下端部是設有在Y軸方向取間隙而配置的一對的平坦的支撐部31a(參照圖13(A)等)。一對的支撐部31a的間隙是按照搬送單元12的車輪41的間隔(突出部39b的厚度)而設定。因此，例如，只要以突出部39b會被挿入於此間隙的方式使無人被加工物搬送車10及搬送單元12移動於X軸方向，搬送單元12的車輪41便會載於一對的支撐部31a的上面。其結果，搬送單元12是成為藉由搬送單元支撐構造28來支撐的狀態。

一旦在藉由搬送單元支撐構造28來支撐搬送單元12的狀態下使車輪41旋轉，則搬送單元12沿著導軌31而移動。亦即，藉由將搬送單元12與此搬送單元支撐構造28組合使用，即使是無人被加工物搬送車10的車輪38未與搬送通路6接觸的狀況，也可使無人被加工物搬送車10及搬送單元12沿著導軌31而移動。

因此，例如，以搬送單元12來使無人被加工物搬送車10的底盤37移動至開口92b的正上方之後，只要從基部39a拉出鋼索40而使底盤37下降，便可將底盤37載於搬送車保持台50。並且，將鋼索40收納於基部39a而使底盤37從搬送車保持台50上昇之後，只要以搬送單元12來使底盤37移動而使車輪38接觸於搬送通路6，無人被加工物搬送車10便可藉由車輪38來自走。

如此，搬送單元支撐構造28是在搬送通路6的相當於切削裝置4的上方的區域與切削裝置4的搬送車保持台50之間搬送無人被加工物搬送車10的底盤37時，支撐搬送單元12。另外，儲藏單元8所具備的搬送單元支撐構造28的構成是可與切削裝置4所具備的搬送單元支撐構造28的構成相同。

上述的切削裝置4的各構成要素是被連接至控制裝置96(圖5)。控制裝置96是藉由代表性地包含CPU等的處理裝置、快閃記憶體等的記憶裝置的電腦所構成。按照被記憶於記憶裝置的軟體，使處理裝置等動作，藉此實現控制裝置96的機能。

控制裝置96是更連接：接收從搬送系統2的控制單元14發送的控制用的訊號(控制訊號)的收訊機98，及對於控制單元14發送通知用的訊號(通知訊號)的送訊機100。控制裝置96是例如根據在收訊機98接收的訊號等，控制上述的切削裝置4的各構成要素。

在基台48的側壁是設有連接各種的配管21的配管連接部48c(圖5)。並且，在罩子92的側壁是設有在維修等時被開閉的門92c(圖5)。而且，在罩子92的側壁是亦可設有操作面板(未圖示)或顯示器(未圖示)等。

圖7是表示在切削裝置4設置有搬送系統2的搬送通路6的情況的立體圖。如圖7等所示般，本實施形態的搬送系統2的搬送通路6是被安裝於切削裝置4所具備的罩子92的頂部92a的上面側。亦即，搬送通路6是被設置於切削裝置4的正上方的空間。

藉此，對於被設在切削裝置4的側面的配管連接部48c或門92c等的構造，不會有搬送通路6干擾的情形。亦即，在設計搬送通路6時，不需要考慮切削裝置4的側面的構造。因此，搬送系統2的建構容易。

圖8(A)是表示被使用在搬送通路6的通路模組6a的構成例的平面圖，圖8(B)是表示通路模組6b的構成例的平面圖，圖8(C)是表示通路模組6c的構成例的平面圖。搬送通路6是例如組合圖8(A)、圖8(B)及圖8(C)所示的複數的通路模組6a，6b，6c而構成。

各通路模組6a，6b，6c是分別包含： 適於無人被加工物搬送車10的行駛的持有平坦性高的上面的通路部102；及 被設在通路部102的寬度方向的端，沿著此通路部102的引導部104。 引導部104的上端的離通路部102的高度是例如比無人被加工物搬送車10的車輪38的高度更高。藉此，可防止行駛於通路部102的無人被加工物搬送車10從通路部102脫落。

圖8(A)的通路模組6a是更具有用以使無人被加工物搬送車10待機的待機部106，例如被設置在切削裝置4等的正上方。另外，在此待機部106等是可設置對於無人被加工物搬送車10的二次電池進行給電的給電設備(充電器)。另一方面，圖8(B)的通路模組6b是被形成直線狀，圖8(C)的通路模組6c是被形成適於彎角的直角狀。

通路模組6b，6c是例如為了連接鄰接的2個的通路模組6a之間而使用。但，構成搬送通路6的通路模組的種類、數量、配置(連接的關係)等是無限制。例如，亦可更以別的通路模組6a來連接2個的通路模組6a之間。又，例如，亦可取代直角狀的通路模組6c，而使用圓弧狀(曲線狀)的通路模組。

圖9是表示由通路模組6a及通路模組6b形成搬送通路6的情況的立體圖。圖10(A)及圖10(B)是表示連結通路模組6a及通路模組6b的情況的剖面圖。又，圖11是表示通路模組6b的構成例的底面圖。

如圖9所示般，在通路部102的下面的長度方向的端部(沿著搬送通路6的方向的端部)是設有剖面為L字狀的一對的角鋼(angle)(拖架(bracket))108。各角鋼108是具備：大概水平的支撐面108a，及對於支撐面108a大概垂直的側面108b，以各角鋼108的長度方向會沿著搬送通路6的方式，被固定於通路部102的下面。

在連結通路模組6a與通路模組6b時，首先，如圖10(A)所示般，將構成通路模組6a的通路部102的長度方向的端部與構成通路模組6b的通路部102的長度方向的端部充分地接近。然後，如圖10(B)所示般，將連結具110挿入至被設在構成通路模組6a的通路部102的角鋼108及被設在構成通路模組6b的通路部102的角鋼108。

連結具110是例如包含： 比將通路模組6a的角鋼108的長度與通路模組6b的角鋼108的長度加在一起的長度更長的桿部110a；及 被設在桿部110a的兩端，在中央具有開口的環部110b。 在角鋼108是插入此連結具110的桿部110a。

在角鋼108插入桿部110a之後，通過環部110b的開口來將螺栓112鎖入至通路部102的下面側的螺栓孔(未圖示)。藉此，可經由連結具110來連結通路模組6a與通路模組6b。另外，通路模組6c也以同樣的程序來被連結至其他的通路模組(通路模組6a或通路模組6b等)。

通路模組6a，6b，6c對於切削裝置4的安裝是例如經由圖9、圖11等所示的脚構件114來進行。 脚構件114是包含： 板狀的基部114a； 從基部114a的一方側的面的中央附近突出的柱狀的柱部114b；及 被安裝於柱部114b的前端的吸盤狀的吸附部114c(圖11)。

在基部114a的不與柱部114b重疊的區域是形成有將此基部114a貫通於厚度方向的4個的開口114d。並且，在構成通路模組6a，6b，6c的通路部102的下面是形成有對應於各開口114d的螺栓孔102a(圖11)。

因此，只要使基部114a的另一方側的面接觸於通路部102的下面，通過開口114d來將螺栓116鎖入至螺栓孔102a，便可將脚構件114固定於通路模組6a，6b，6c。另外，開口114d及螺栓孔102a的數量或配置等是無限制。

如圖11所示般，本實施形態的通路模組6b是在通路部102的下面的複數的區域的各者形成有對應於基部114a的4個的開口114d的4個的螺栓孔102a，可在任意的區域安裝脚構件114。有關其他的通路模組6a，6c也同樣。

亦即，脚構件114是被安裝於從通路部102的下面的複數的區域所選擇的任一的區域。另外，最好在各通路模組6a，6b，6c是安裝複數的脚構件114。藉此，搬送通路6對於切削裝置4的位置容易安定。

對於切削裝置4安裝通路模組6a，6b，6c時，例如，對於切削裝置4的罩子92對準通路模組6a，6b，6c的位置，如圖7所示般，將脚構件114的吸附部114c堆壓於罩子92的頂部92a的上面。藉此，使吸附部114c吸附於罩子92的頂部92a的上面，可將任意的通路模組6a，6b，6c安裝於罩子92。亦即，任意的通路模組6a，6b，6c會經由脚構件114來安裝於切削裝置4的罩子92。

另外，可不一定要對於切削裝置4安裝全部的通路模組6a，6b，6c。例如，位於2台的切削裝置4之間的通路模組是有只被支撐於經由連結具110來鄰接的通路模組的情形。並且，在對於切削裝置4或儲藏單元8等安裝的通路模組的通路部102是如圖1所示般設有以2次元碼為代表的識別碼或無線標籤等的資訊提供部102b。藉由此資訊提供部102b所提供的資訊是例如被使用在無人被加工物搬送車10的位置的確認等。

其次，詳細說明有關在搬送通路6的相當於切削裝置4的上方的區域與切削裝置4的搬送車保持台50之間搬送無人被加工物搬送車10的底盤37時的動作。圖12(A)是由Y軸方向來看使搬送單元12支撐於導軌31時的情況的一部分剖面側面圖，圖12(B)是由Y軸方向來看使底盤37下降於搬送單元12時的情況的一部分剖面側面圖。

又，圖13(A)是由X軸方向來看圖12(A)所示的狀態的一部分剖面側面圖，圖13(B)是由X軸方向來看圖12(B)所示的狀態的一部分剖面側面圖。在從搬送通路6的相當於切削裝置4的上方的區域往切削裝置4的搬送車保持台50搬送底盤37時，如圖12(A)及圖13(A)所示般，首先，以車輪41會被定位於導軌31的延長線上的開始點之方式，調整無人被加工物搬送車10的位置。

其次，使車輪38旋轉，而使無人被加工物搬送車10及搬送單元12朝向導軌31來移動。亦即，使無人被加工物搬送車10及搬送單元12移動於X軸方向。其結果，搬送單元12的突出部39b是被插入至導軌31的一對的支撐部31a的間隙，搬送單元12的車輪41會載於一對的支撐部31a的上面。

另外，在此時機，搬送單元12的電極39c會接觸於導軌31，開始往搬送單元12等的給電。搬送單元12的車輪41載於一對的支撐部31a的上面之後，使此車輪41旋轉，而使底盤37移動至切削裝置4的開口92b的正上方。

然後，如圖12(B)及圖13(B)所示般，使搬送單元12的捲揚機動作，從基部39a拉出鋼索40。藉此，以能通過開口92b的方式，使底盤37下降，可將底盤37載於搬送車保持台50。將底盤37載於搬送車保持台50之後，被加工物11(框15)會從底盤37搬出。並且，在被加工物11的切削完了之後，被加工物11(框15)被搬入至底盤37。

從切削裝置4的搬送車保持台50往搬送通路6的相當於切削裝置4的上方的區域搬送底盤37時，首先，使搬送單元12的捲揚機動作，捲繞鋼索40，收納於基部39a。藉此，以能通過開口92b的方式，使底盤37上昇，可將底盤37搬出至切削裝置4的罩子92的外部。

其次，使車輪41旋轉，而使無人被加工物搬送車10及搬送單元12朝向上述的開始點來移動。亦即，使無人被加工物搬送車10及搬送單元12移動於X軸方向。其結果，搬送單元12的車輪41是從一對的支撐部31a脫落。

另外，在此時機，搬送單元12的電極39c會離開導軌31，結束往搬送單元12等的給電。並且，無人被加工物搬送車10的車輪38會接觸於搬送通路6，無人被加工物搬送車10可藉由車輪38來自走。

其次，說明本實施形態的搬送系統2的控制方法的例子。圖14是用以說明搬送系統2的控制方法的例子的機能方塊圖。例如，切削裝置4的控制裝置96是若新的被加工物11(未加工的被加工物11)形成必要的狀況，則產生用以通知其意旨的通知訊號(被加工物要求訊號)。在控制裝置96產生的通知訊號(被加工物要求訊號)是從送訊機100往控制單元14發送。

如圖14所示般，控制單元14是具備產生用以進行各種的控制的控制訊號的控制部(控制訊號產生部) 132。此控制部132是藉由代表性地包含CPU等的處理裝置、快閃記憶體等的記憶裝置的電腦所構成。按照被記憶於記憶裝置的軟體來使處理裝置等動作，實現控制部132的機能。

此控制部132是連接：接收從切削裝置4、儲藏單元8、無人被加工物搬送車10等發送的通知訊號的收訊機134，及對於切削裝置4、儲藏單元8、無人被加工物搬送車10(包含搬送單元12)等發送控制訊號的送訊機136。

控制單元14的收訊機134是一旦接收從切削裝置4的送訊機100發送信的通知訊號(被加工物要求訊號)，則予以送往控制部132。控制部132是一旦確認來自切削裝置4的通知訊號(被加工物要求訊號)，則對於無人被加工物搬送車10(及搬送單元12)發出指示，使移動至儲藏單元8的旁邊，將底盤37往儲藏單元8的搬送車保持台26搬送。具體而言，控制部132是產生相當於此指示的控制訊號(第1搬送指示訊號)，從送訊機136往無人被加工物搬送車10發送。

無人被加工物搬送車10的收訊機44是一旦接收來自控制單元14的控制訊號(第1搬送指示訊號)，則予以送往控制裝置42。控制裝置42是根據此控制訊號(第1搬送指示訊號)來控制車輪(行駛機構)38等的動作，使無人被加工物搬送車10沿著搬送通路6而行駛。

另外，如圖14所示般，無人被加工物搬送車10的控制裝置42是連接用以讀取被設在搬送通路6的資訊提供部102b的資訊之讀取機138。因此，藉由讀取機138來讀取資訊提供部102b的資訊，控制裝置42可確認本身(無人被加工物搬送車10)的位置。

控制裝置42是一旦確認本身(無人被加工物搬送車10)移動至儲藏單元8的旁邊，則如上述般，以搬送單元12的突出部39b會被插入至在儲藏單元8的上方所配置的導軌31的一對的支撐部31a的間隙之方式，使無人被加工物搬送車10及搬送單元12移動。其結果，搬送單元12的車輪41是載於一對的支撐部31a的上面。

搬送單元12的車輪41載於一對的支撐部31a的上面之後，控制裝置42是使此車輪41旋轉，而使底盤37移動至儲藏單元8的開口16b的正上方。然後，以能通過開口16b的方式，使底盤37下降，將底盤37載於位在儲藏單元8的內部的搬送車保持台26。

將底盤37載於搬送車保持台26之後，控制裝置42產生用以通知往儲藏單元8的底盤37的搬送完了的意旨的通知訊號(第1搬送完了訊號)。在控制裝置42產生的通知訊號(第1搬送完了訊號)是從送訊機46往控制單元14發送。

控制單元14的收訊機134是一旦接收從無人被加工物搬送車10的送訊機46發送的通知訊號(第1搬送完了訊號)，則予以送往控制部132。控制部132是一旦確認來自無人被加工物搬送車10的通知訊號(第1搬送完了訊號)，則對於儲藏單元8發出指示，使新的被加工物11搬入至搬送車保持台26上的底盤37。具體而言，控制部132是產生相當於此指示的控制訊號(第1搬入指示訊號)，從送訊機136往儲藏單元8發送。

儲藏單元8的收訊機34是一旦接收來自控制單元14的控制訊號(第1搬入指示訊號)，則予以送往控制裝置32。控制裝置32是根據此控制訊號(第1搬入指示訊號)來控制第1昇降機構、推挽臂22、一對的導軌24、第2昇降機構等的動作，將新的被加工物11搬入至底盤37。

一旦新的被加工物11被搬入至底盤37，則控制裝置32產生用以通知往底盤37的被加工物11的搬入完了的意旨的通知訊號(第1搬入完了訊號)。在控制裝置32產生的通知訊號(第1搬入完了訊號)是從送訊機36往控制單元14發送。

控制單元14的收訊機134是一旦接收從儲藏單元8的送訊機36發送的通知訊號(第1搬入完了訊號)，則予以送往控制部132。控制部132是一旦確認來自儲藏單元8的通知訊號(第1搬入完了訊號)，則對於無人被加工物搬送車10(及搬送單元12)發出指示，使移動至切削裝置4的旁邊，將底盤37往切削裝置4的搬送車保持台50搬送。具體而言，控制部132是產生相當於此指示的控制訊號(第2搬送指示訊號)，從送訊機136往無人被加工物搬送車10發送。

無人被加工物搬送車10的收訊機44是一旦接收來自控制單元14的控制訊號(第2搬送指示訊號)，則予以送往控制裝置42。控制裝置42是根據此控制訊號(第2搬送指示訊號)來使底盤37上昇，將底盤37搬送至儲藏單元8的外部。然後，控制車輪41等的動作，使底盤37移動至搬送通路6的上方。然後，控制車輪38等的動作，使無人被加工物搬送車10沿著搬送通路6行駛。

控制裝置42是一旦確認本身(無人被加工物搬送車10)移動至切削裝置4的旁邊，則如上述般，以搬送單元12的突出部39b會被插入至在切削裝置4的上方所配置的導軌31的一對的支撐部31a的間隙之方式，使無人被加工物搬送車10及搬送單元12移動。其結果，在一對的支撐部31a的上面是載有搬送單元12的車輪41。

搬送單元12的車輪41被載於一對的支撐部31a的上面之後，控制裝置42是使此車輪41旋轉，而使底盤37移動至切削裝置4的開口92b的正上方。然後，以能通過開口92b的方式，使底盤37下降，將底盤37載於位在切削裝置4的內部的搬送車保持台50。

使底盤37載於搬送車保持台50之後，控制裝置42是產生用以通知往切削裝置4的底盤37的搬送完了的意旨的通知訊號(第2搬送完了訊號)。在控制裝置42產生的通知訊號(第2搬送完了訊號)是從送訊機46往控制單元14發送。

控制單元14的收訊機134是一旦接收從無人被加工物搬送車10的送訊機46發送的通知訊號(第2搬送完了訊號)，則予以送往控制部132。控制部132是一旦確認來自無人被加工物搬送車10的通知訊號(第2搬送完了訊號)，則對於切削裝置4發出指示，使從搬送車保持台50上的底盤37搬出新的被加工物11。具體而言，控制部132是產生相當於此指示的控制訊號(第1搬出指示訊號)，從送訊機136往切削裝置4發送。

切削裝置4的收訊機98是一旦接收來自控制單元14的控制訊號(第1搬出指示訊號)，則予以送往控制裝置96。控制裝置96是根據此控制訊號(第1搬出指示訊號)來控制各構成要素的動作，而從底盤37搬出新的被加工物11。

一旦新的被加工物11從底盤37搬出，則例如控制裝置96產生用以通知來自底盤37的被加工物11的搬出完了的意旨的通知訊號(第1搬出完了訊號)。在控制裝置96產生的通知訊號(第1搬出完了訊號)是從送訊機100往控制單元14發送。

藉由如此的程序，可對於任意的切削裝置4搬送被收容於儲藏單元8的被加工物11。另外，在此，主要說明有關從儲藏單元8對於切削裝置4搬送被加工物11時的程序，但從切削裝置4對於儲藏單元8搬送被加工物11時的程序等也同樣。

具體而言，例如，切削裝置4的控制裝置96是一旦被加工物11的加工完了，則產生用以通知其意旨的通知訊號(加工完了訊號)。在控制裝置96產生的通知訊號(加工完了訊號)是從送訊機100往控制單元14發送。控制單元14的收訊機134是一旦接收從切削裝置4的送訊機100發送的通知訊號(加工完了訊號)，則予以送往控制部132。

控制部132是一旦確認來自切削裝置4的通知訊號(加工完了訊號)，則對於無人被加工物搬送車10(及搬送單元12)發出指示，使移動至切削裝置4的旁邊，將底盤37往切削裝置4的搬送車保持台50搬送。具體而言，控制部132是產生相當於此指示的控制訊號(第3搬送指示訊號)，從送訊機136往無人被加工物搬送車10發送。

無人被加工物搬送車10的收訊機44是一旦接收來自控制單元14的控制訊號(第3搬送指示訊號)，則予以送往控制裝置42。控制裝置42是根據此控制訊號(第3搬送指示訊號)來控制車輪(行駛機構)38等的動作，使無人被加工物搬送車10沿著搬送通路6而行駛。

控制裝置42是一旦確認本身(無人被加工物搬送車10)移動至切削裝置4的旁邊，則如上述般，以搬送單元12的突出部39b會被插入至在切削裝置4的上方所配置的導軌31的一對的支撐部31a的間隙之方式，使無人被加工物搬送車10及搬送單元12移動。其結果，在一對的支撐部31a的上面是載有搬送單元12的車輪41。

搬送單元12的車輪41被載於一對的支撐部31a的上面之後，控制裝置42是使此車輪41旋轉，而使底盤37移動至切削裝置4的開口92b的正上方。然後，以能通過開口92b的方式，使底盤37下降，將底盤37載於位在切削裝置4的內部的搬送車保持台50。

將底盤37載於搬送車保持台50之後，控制裝置42產生用以通知往切削裝置4的底盤37的搬送完了的意旨的通知訊號(第3搬送完了訊號)。在控制裝置42產生的通知訊號(第3搬送完了訊號)是從送訊機46往控制單元14發送。

控制單元14的收訊機134是一旦接收從無人被加工物搬送車10的送訊機46發送的通知訊號(第3搬送完了訊號)，則予以送往控制部132。控制部132是一旦確認來自無人被加工物搬送車10的通知訊號(第3搬送完了訊號)，則對於切削裝置4發出指示，使加工後的被加工物11搬入至搬送車保持台50上的底盤37。具體而言，控制部132是產生相當於此指示的控制訊號(第2搬入指示訊號)，從送訊機136往切削裝置4發送。

切削裝置4的收訊機98是一旦接收來自控制單元14的控制訊號(第2搬入指示訊號)，則予以往控制裝置96發送。控制裝置96是根據此控制訊號(第2搬入指示訊號)來控制各構成要素的動作，而將加工後的被加工物11搬入至底盤37。

一旦加工後的被加工物11被搬入至底盤37、則控制裝置96是產生用以通知往底盤37的被加工物11的搬入完了的意旨的通知訊號(第2搬入完了訊號)。在控制裝置96產生的通知訊號(第2搬入完了訊號)是從送訊機100往控制單元14發送。

控制單元14的收訊機134是一旦接收從切削裝置4的送訊機100發送的通知訊號(第2搬入完了訊號)，則予以送往控制部132。控制部132是一旦確認來自切削裝置4的通知訊號(第2搬入完了訊號)，則對於無人被加工物搬送車10(及搬送單元12)發出指示，使移動至儲藏單元8的旁邊之後，將底盤37往儲藏單元8的搬送車保持台26搬送。具體而言，控制部132是產生相當於此指示的控制訊號(第4搬送指示訊號)，從送訊機136往無人被加工物搬送車10發送。

無人被加工物搬送車10的收訊機44是一旦接收來自控制單元14的控制訊號(第4搬送指示訊號)，則予以送往控制裝置42。控制裝置42是根據此控制訊號(第4搬送指示訊號)來使底盤37上昇，將底盤37搬送至切削裝置4的外部。然後，控制車輪41等的動作，使底盤37移動至搬送通路6的上方。而且，控制車輪38等的動作，使無人被加工物搬送車10沿著搬送通路6而行駛。

控制裝置42是一旦確認本身(無人被加工物搬送車10)移動至儲藏單元8的旁邊，則如上述般，以搬送單元12的突出部39b會被插入至在儲藏單元8的上方所配置的導軌31的一對的支撐部31a的間隙之方式，使無人被加工物搬送車10及搬送單元12移動。其結果，在一對的支撐部31a的上面是載有搬送單元12的車輪41。

搬送單元12的車輪41被載於一對的支撐部31a的上面之後，控制裝置42是使此車輪41旋轉，而使底盤37移動至儲藏單元8的開口16b的正上方。然後，以能通過開口16b的方式，使底盤37下降，將底盤37載於位在儲藏單元8的內部的搬送車保持台26。

將底盤37載於搬送車保持台26之後，控制裝置42產生用以通知往儲藏單元8的底盤37的搬送完了的意旨的通知訊號(第4搬送完了訊號)。在控制裝置42產生的通知訊號(第4搬送完了訊號)是從送訊機46往控制單元14發送。

控制單元14的收訊機134是一旦接收從無人被加工物搬送車10的送訊機46發送的通知訊號(第4搬送完了訊號)，則予以送往控制部132。控制部132是一旦確認來自無人被加工物搬送車10的通知訊號(第4搬送完了訊號)，則對於儲藏單元8發出指示，使從搬送車保持台26上的底盤37搬出加工後的被加工物11。具體而言，控制部132是產生相當於此指示的控制訊號(第2搬出指示訊號)，從送訊機136往儲藏單元8發送。

儲藏單元8的收訊機34是一旦接收來自控制單元14的控制訊號(第2搬出指示訊號)，則予以送往控制裝置32。控制裝置32是根據此控制訊號(第2搬出指示訊號)來控制第1昇降機構、推挽臂22、一對的導軌24、第2昇降機構等的動作，而從底盤37搬出加工後的被加工物11。

一旦加工後的被加工物11從底盤37搬出，則例如控制裝置32產生用以通知來自底盤37的被加工物11的搬出完了的意旨的通知訊號(第2搬出完了訊號)。在控制裝置32產生的通知訊號(第2搬出完了訊號)是從送訊機36往控制單元14發送。藉由如此的程序，可對於儲藏單元8搬送在切削裝置4被加工之後的被加工物11。

又，上述的程序是可在能適當地搬送被加工物11的範圍內任意地變更。例如，亦可同時地進行在上述的程序中所含的複數的步驟，或在不妨礙被加工物11的搬送的範圍內更換步驟的順序。同樣，亦可在不妨礙被加工物11的搬送的範圍內追加、變更、省略任意的步驟。

如以上般，本實施形態的搬送系統2包含： 搬送通路6，其係跨越複數的切削裝置(加工裝置)4而設置； 無人被加工物搬送車(無人搬送車)10，其係具備：收容被加工物11的底盤(被加工物收容部)37、被設在底盤37的車輪(行駛機構)38、及接收控制訊號的收訊機44，行駛於搬送通路6； 儲藏單元8，其係具備：在從收容被加工物的盒子(被加工物儲藏庫)20對於無人被加工物搬送車10的底盤37交接被加工物11時保持底盤37的搬送車保持台(收容部保持台)26、及接收控制訊號的收訊機34； 搬送單元(收容部搬送單元)12，其係在搬送通路6的相當於儲藏單元8的上方的區域與儲藏單元8的搬送車保持台26之間，或在搬送通路6的相當於切削裝置4的上方的區域與切削裝置4的內部之間，搬送底盤37。

因此，例如，藉由搬送單元12來將在儲藏單元8從盒子20接受被加工物11的無人被加工物搬送車10的底盤37往搬送通路6搬送，使此無人被加工物搬送車10行駛於搬送通路6上，藉此可對於複數的切削裝置4的各者搬送被加工物11。另外，此無人被加工物搬送車10的底盤37是例如使無人被加工物搬送車10行駛之後，藉由搬送單元12來往切削裝置4的內部搬送。

並且，在本實施形態的搬送系統2中，搬送通路6會被設置於切削裝置4的正上方的空間。因此，在設計此搬送通路6時不需要考慮各切削裝置4的側面的構造。亦即，搬送系統的建構變容易。

另外，在上述的實施形態中，顯示對應於具有預定的間隙的一對的支撐部31a之搬送單元(收容部搬送單元)12，但本發明的搬送單元及搬送單元支撐構造是無特別的限制。圖15(A)是由X軸方向來看變形例的搬送單元140及搬送單元支撐構造142的一部分剖面側面圖，圖15(B)是由X軸方向來看在變形例的搬送單元140使底盤37下降時的情況的一部分剖面側面圖。

另外，此變形例的搬送單元140的基本的構成是與上述的實施形態的搬送單元12的基本的構成相同。因此，在此是主要只說明有關相異點。如圖15(A)及圖15(B)所示般，變形例的搬送單元140是具備上部框體144。

此上部框體144是包含平面視被形成與底盤37同程度的大小的平板狀的基部144a。在相當於基部144a的四個角落的區域的下面側是配置有複數的鋼索40。並且，在基部144a的內部是設有用以捲繞鋼索40的捲揚機(未圖示)。

在基部144a的上面側是配置有長方體狀的突 出部144b，在此突出部144b的側面是設有複數的車輪(行駛機構)41。各車輪41是被連結至馬達等的旋轉驅動源而旋轉。另外，在本變形例的搬送單元140中，只在突出部144b的Y軸方向的一方側設有車輪(行駛機構)41。

在切削裝置4的罩子92的上方是設有搬送單元支撐構造142。此搬送單元支撐構造142是例如包含下端部被固定於搬送通路6(或切削裝置4)的支撐構造146。在支撐構造146的上端部是例如固定沿著X軸方向及Y軸方向的平板狀的支撐板148的一端部。在支撐板148的下面的另一端部側是設有沿著X軸方向的中空的導軌150。但，搬送單元支撐構造142的構成或配置等是可按照切削裝置4的構成或搬送通路6的配置等來任意地變更。

在導軌150的側方是以能夠將車輪41挿入至此導軌150的內部之方式形成預定的開口。例如，只要使無人被加工物搬送車10及搬送單元140移動於X軸方向而將車輪41插入至導軌150的內部，搬送單元12便成為藉由搬送單元支撐構造142來支撐的狀態。因此，使用此變形例的搬送單元140及搬送單元支撐構造142的情況，亦可使無人被加工物搬送車10及搬送單元140沿著導軌150而移動。

(實施形態2)

在本實施形態中，說明有關與被加工物11一起以切削刀刃82等作為搬送的對象的搬送系統。另外，本實施形態的搬送系統的基本的構成是與實施形態1的搬送系統2的基本的構成相同。因此，對於和實施形態1的搬送系統2共通的構成要素附上相同的符號而省略詳細的說明。

圖16是表示本實施形態的搬送系統202的連接關係的例子的機能方塊圖。如圖16所示般，本實施形態的搬送系統202的控制單元14是以無線來連接無人被加工物搬送車(無人搬送車)10、切削裝置204、無人刀刃搬送車206、儲藏單元208。

無人刀刃搬送車206是與無人被加工物搬送車10同樣地行駛於搬送通路6(參照圖16等)，對於各切削裝置204搬送切削刀刃82。儲藏單元208是被構成為除了複數的被加工物11以外，還可收容被供給至各切削裝置204的切削刀刃82。

另外，在圖16中，基於說明的方便起見，顯示2台的無人被加工物搬送車10a，10b、2台的切削裝置204a，204b及2台的無人刀刃搬送車206a，206b，但各個的台數是無限制。又，控制單元14是亦可對於無人被加工物搬送車10、切削裝置204、無人刀刃搬送車206、儲藏單元208等以有線來連接。

圖17是表示第2實施形態的儲藏單元208的構成例的側面圖。如圖17所示般，儲藏單元208的基本的構成是與實施形態1的儲藏單元8的基本的構成相同。但，在本實施形態的儲藏單元208是配置有用以收容複數的切削刀刃82的刀刃儲藏庫210。

刀刃儲藏庫210是例如被構成上面側被區劃成複數的區域的托盤狀。在各區域收容切削刀刃82。並且，在此刀刃儲藏庫210的旁邊是設有在刀刃儲藏庫210與無人刀刃搬送車206之間搬送切削刀刃82的刀刃搬送臂(刀刃搬送部)212。

圖18是表示無人刀刃搬送車206的構成例的立體圖。如圖18所示般，無人刀刃搬送車206是包含托盤狀的底盤(刀刃保持部)214。在底盤214的上面側是形成有對應於切削刀刃82的大小的複數的凹部214a，在各凹部214a是配置有可收容切削刀刃82的刀刃盒216。

以刀刃搬送臂212搬送的切削刀刃82是被載於在此底盤214的凹部214a所配置的刀刃盒216。另外，在底盤214的對應於各刀刃盒216(凹部214a)的位置是設有無線標籤或識別碼等的資訊提供部214b。因此，可根據藉由資訊提供部214b所提供的資訊來容易特定被收容於各刀刃盒216的切削刀刃82。

在底盤214的下面側是設有複數(在本實施形態是4個)的車輪(行駛機構)218。各車輪218是被連結至馬達等的旋轉驅動源而旋轉。使此車輪218藉由旋轉驅動源來旋轉下，無人刀刃搬送車206行駛於搬送通路6上。另外，車輪218是可使用：傾斜的桶狀(筒狀)的複數的旋轉體被安裝於與搬送通路6接觸的外周面之所謂的麥克納姆輪等。

在底盤214的內部是設有控制無人刀刃搬送車206的動作的控制裝置220。控制裝置220是藉由代表地包含CPU等的處理裝置、快閃記憶體等的記憶裝置的電腦所構成。按照被記憶於記憶裝置的軟體，使處理裝置等動作，藉此實現控制裝置220的機能。

在此控制裝置220是連接：接收從控制單元14發送的控制用的訊號(控制訊號)的收訊機222，及對於控制單元14發送通知用的訊號(通知訊號)的送訊機224。控制裝置220是根據在收訊機222接收的訊號，控制無人刀刃搬送車206的動作(行駛)。又，控制裝置220是經由送訊機224來將必要的訊號發送至控制單元14。

圖19是表示切削裝置204等的外觀的立體圖。如圖19所示般，切削裝置204的基本的構成是與實施形態1的切削裝置4的基本的構成相同。又，切削裝置204的周邊的構成也與實施形態1的切削裝置4的周邊的基本的構成相同。例如，在圖19中雖被省略，但在切削裝置204的上方是設有搬送單元支撐構造28等。

在此切削裝置204是更設有將罩子92的頂部92a貫通於上下的2個的開口92d。各開口92d是被形成可通過切削刀刃82的大小。並且，在各開口92d是配置有用以使切削刀刃82昇降的刀刃昇降機構226。

刀刃昇降機構226是具備保持切削刀刃82的刀刃保持部228，使此刀刃保持部228昇降。因此，只要使切削刀刃82保持於刀刃保持部228之後使此刀刃保持部228昇降，便可將切削刀刃82從罩子92的外部往內部搬送，或從罩子92的內部往外部搬送。

在罩子92的頂部92a是設有：在刀刃昇降機構226所具備的刀刃保持部228與在刀刃昇降機構226的旁邊待機的無人刀刃搬送車206之間搬送切削刀刃82的刀刃搬送臂230。刀刃搬送臂230是具備保持切削刀刃82的刀刃把持部230a，藉由使此刀刃把持部230a旋轉、昇降，在無人刀刃搬送車206與刀刃保持部228之間搬送切削刀刃82。

在切削裝置204的罩子92的內部是更設有自動控制更換切削單元80的切削刀刃82之刀刃轉換器232。刀刃轉換器232是與刀刃昇降機構226或刀刃搬送臂230一起連接至控制裝置96。

圖20是表示刀刃轉換器232的構成例的分解立體圖。此刀刃轉換器232是例如具備對於基台48或罩子92等固定位置的固定板234。在固定板234的下面側是設有在X軸方向長的一對的導軌236。在導軌236是移動板238會以能夠沿著X軸方向滑動的形態來被支撐。

在移動板238的Y軸方向的端部是設有對應於導軌236的形狀之拖架240，移動板238會經由此拖架240來被支撐於導軌236。在移動板238的上面是固定有螺帽部242。在螺帽部242的螺孔242a是大概平行於X軸方向的滾珠螺桿244會以能夠旋轉的形態來被挿入。

在滾珠螺桿244的一端是連結脈衝馬達246。只要以此脈衝馬達246來使滾珠螺桿244旋轉，移動板238便沿著導軌236來移動於X軸方向。在移動板238的下面側是固定有轉換器支撐構造248。

在轉換器支撐構造248是支撐有用以裝卸固定螺帽(未圖示)的一對的螺帽裝卸機構250，該固定螺帽是對於切削單元80固定切削刀刃82。各螺帽裝卸機構250是被構成為可沿著Y軸方向移動，且可繞著平行於Y軸方向的旋轉軸旋轉。藉由此螺帽裝卸機構250來把持固定螺帽而使旋轉，可將固定螺帽安裝於切削單元80，或從切削單元80卸下固定螺帽。

並且，在轉換器支撐構造248是支撐有用以更換切削刀刃82的一對的刀刃更換機構252。各刀刃更換機構252是包含分別可保持切削刀刃82的第1刀刃保持部252a及第2刀刃保持部252b。此刀刃更換機構252是被構成為可沿著Y軸方向來移動，且可在X軸方向更換第1刀刃保持部252a與第2刀刃保持部252b的位置。

在刀刃轉換器232更換切削刀刃82時，例如，在第1刀刃保持部252a接受藉由刀刃昇降機構226的刀刃保持部228所保持的更換用的切削刀刃82。而且，以螺帽裝卸機構250來從切削單元80卸下固定螺帽。並且，在第2刀刃保持部252b從切削單元80卸下被安裝於切削單元80的切削刀刃82。

然後，更換第1刀刃保持部252a與第2刀刃保持部252b的位置，以第1刀刃保持部252a來將更換用的切削刀刃82安裝於切削單元80。而且，最後以螺帽裝卸機構250來將固定螺帽安裝於切削單元80。另外，被安裝於切削單元80的切削刀刃82是例如從第2刀刃保持部252b交接至刀刃昇降機構226的刀刃保持部228。

其次，說明本實施形態的搬送系統202的控制方法的例子。圖21是用以說明搬送系統202的控制方法的例子的機能方塊圖。另外，被加工物11的搬送的控制是與實施形態1同樣，因此在本實施形態中，主要說明涉及切削刀刃82的搬送的控制的例子。

例如，切削裝置204的控制裝置96是一旦形成切削刀刃82的更換為必要的狀況，則產生用以通知其意旨的通知訊號(刀刃要求訊號)。在控制裝置96產生的通知訊號(刀刃要求訊號)是從送訊機100往控制單元14發送。

控制單元14的收訊機134是一旦接收從切削裝置204的送訊機100發送的通知訊號(刀刃要求訊號)，則予以送往控制部132。控制部132是一旦確認來自切削裝置204的通知訊號(刀刃要求訊號)，則對於無人刀刃搬送車206發出指示，使在儲藏單元208的旁邊(使交接切削刀刃82的位置)待機。具體而言，控制部132是產生相當於此指示的控制訊號(第1待機指示訊號)，從送訊機136往無人刀刃搬送車206發送。

無人刀刃搬送車206的收訊機222是一旦接收來自控制單元14的控制訊號(第1待機指示訊號)，則予以送往控制裝置220。控制裝置220是根據此控制訊號(第1待機指示訊號)來控制車輪(行駛機構)218等的動作，使無人刀刃搬送車206沿著搬送通路6而行駛。

另外，如圖21所示般，無人刀刃搬送車206的控制裝置220是連接用以讀取被設在搬送通路6的資訊提供部102b的資訊之讀取機254。因此，藉由讀取機254來讀取資訊提供部102b的資訊，控制裝置220可確認本身(無人刀刃搬送車206)的位置。

控制裝置220是一旦確認本身(無人刀刃搬送車206)移動至儲藏單元208的旁邊，則使車輪218等停止。並且，控制裝置220產生用以通知無人刀刃搬送車206在儲藏單元208的旁邊待機中的意旨的通知訊號(第1待機中訊號)。在控制裝置220產生的通知訊號(第1待機中訊號)是從送訊機224往控制單元14發送。

控制單元14的收訊機134是一旦接收從無人刀刃搬送車206的送訊機224發送的通知訊號(第1待機中訊號)，則予以送往控制部132。控制部132是一旦確認來自無人刀刃搬送車206的通知訊號(第1待機中訊號)，則對於儲藏單元208發出指示，使切削刀刃82往無人刀刃搬送車206搬送。具體而言，控制部132是產生相當於此指示的控制訊號(第1搬送指示訊號)，從送訊機136往儲藏單元208發送。

儲藏單元208的收訊機34是一旦接收來自控制單元14的控制訊號(第1搬送指示訊號)，則予以送往控制裝置32。控制裝置32是根據此控制訊號(第1搬送指示訊號)來控制刀刃搬送臂212等的動作，而從刀刃儲藏庫210搬出切削刀刃82，載於無人刀刃搬送車206的底盤214。具體而言，例如，將切削刀刃82載於透過控制訊號(第1搬送指示訊號)而由控制單元14指示的刀刃盒216。

一旦切削刀刃82被搬送至無人刀刃搬送車206，則控制裝置32是產生用以通知往無人刀刃搬送車206的切削刀刃82的搬送完了的意旨的通知訊號(第1搬送完了訊號)。在控制裝置32產生的通知訊號(第1搬送完了訊號)是從送訊機36往控制單元14發送。

控制單元14的收訊機134是一旦接收從儲藏單元208的送訊機36發送的通知訊號(第1搬送完了訊號)，則予以送往控制部132。控制部132是一旦確認來自儲藏單元208的通知訊號(第1搬送完了訊號)，則對於無人刀刃搬送車206發出指示，使移動至切削裝置204的旁邊(使交接切削刀刃82的位置)而待機。具體而言，控制部132是產生相當於此指示的控制訊號(第2待機指示訊號)，從送訊機136往無人刀刃搬送車206發送。

無人刀刃搬送車206的收訊機222是一旦接收來自控制單元14的控制訊號(第2待機指示訊號)，則予以送往控制裝置220。控制裝置220是根據此控制訊號(第2待機指示訊號)來控制車輪218等的動作，而使無人刀刃搬送車206沿著搬送通路6而行駛。

控制裝置220是一旦確認無人刀刃搬送車206移動至切削裝置204的旁邊，則使車輪218等停止。並且，控制裝置220產生用以通知無人刀刃搬送車206在切削裝置204的旁邊待機中的意旨的通知訊號(第2待機中訊號)。在控制裝置220產生的通知訊號(第2待機中訊號)是從送訊機224往控制單元14發送。

控制單元14的收訊機134是一旦接收從無人刀刃搬送車206的送訊機224發送的通知訊號(第2待機中訊號)，則予以送往控制部132。控制部132是一旦確認來自無人刀刃搬送車206的通知訊號(第2待機中訊號)，則對於切削裝置204發出指示，使切削刀刃82從無人刀刃搬送車206搬送。具體而言，控制部132是產生相當於此指示的控制訊號(第2搬送指示訊號)，從送訊機136往切削裝置204發送。

切削裝置204的收訊機98是一旦接收來自控制單元14的控制訊號(第2搬送指示訊號)，則予以送往控制裝置96。控制裝置96是根據此控制訊號(第2搬送指示訊號)來控制刀刃搬送臂230等的動作，從無人刀刃搬送車206的底盤214搬出切削刀刃82，交接至刀刃保持部228。具體而言，透過控制訊號(第2搬送指示訊號)而由控制單元14指示的刀刃盒216內的切削刀刃82會被搬出，往刀刃保持部228交接。

一旦切削刀刃82被交接至切削裝置204，則例如控制裝置96產生用以通知往切削裝置204的切削刀刃82的搬送完了的意旨的通知訊號(第2搬送完了訊號)。在控制裝置96產生的通知訊號(第2搬送完了訊號)是從送訊機100往控制單元14發送。藉由如此的程序，可因應所需，將被收容於儲藏單元208的切削刀刃82搬送至切削裝置204。

然後，切削裝置204是例如從上述的刀刃保持部228往刀刃轉換器232交接切削刀刃82。而且，藉由此刀刃轉換器232來更換從刀刃保持部228接受的切削刀刃82及已被安裝於切削單元80的使用完了的切削刀刃82。

從切削單元80卸下的使用完了的切削刀刃82是往刀刃保持部228交接。刀刃搬送臂230是將被保持於刀刃保持部228的使用完了的切削刀刃82載於待機中的無人刀刃搬送車206的底盤214。此時，使用完了的切削刀刃82是例如被載往藉由控制裝置96所指定的刀刃盒216。

一旦使用完了的切削刀刃82被搬送至無人刀刃搬送車206，則控制裝置96產生用以通知往無人刀刃搬送車206的使用完了的切削刀刃82的搬送完了的意旨的通知訊號(第3搬送完了訊號)。在控制裝置96產生的通知訊號(第3搬送完了訊號)是從送訊機100往控制單元14發送。另外，在此通知訊號(第3搬送完了訊號)是包含載有使用完了的切削刀刃82的刀刃盒216的資訊(對應於刀刃盒216的資訊提供部214b的資訊)。

控制單元14的收訊機134是一旦接收從切削裝置204的送訊機100發送的通知訊號(第3搬送完了訊號)，則予以送往控制部132。控制部132是一旦確認來自切削裝置204的通知訊號(第3搬送完了訊號)，則對於無人刀刃搬送車206發出指示，使移動至儲藏單元208的旁邊而待機。具體而言，控制部132是產生相當於此指示的控制訊號(第3待機指示訊號)，從送訊機136往無人刀刃搬送車206發送。

無人刀刃搬送車206的收訊機222是一旦接收來自控制單元14的控制訊號(第3待機指示訊號)，則予以送往控制裝置220。控制裝置220根據此控制訊號(第3待機指示訊號)來控制車輪218等的動作，而使無人刀刃搬送車206沿著搬送通路6行駛。

控制裝置220是一旦確認無人刀刃搬送車206移動至儲藏單元208的旁邊，則使車輪218等停止。並且，控制裝置220產生用以通知無人刀刃搬送車206在儲藏單元208的旁邊待機中的意旨的通知訊號(第3待機中訊號)。在控制裝置220產生的通知訊號(第3待機中訊號)是從送訊機224往控制單元14發送。

控制單元14的收訊機134是一旦接收從無人刀刃搬送車206的送訊機224發送的通知訊號(第3待機中訊號)，則予以送往控制部132。控制部132是一旦確認來自無人刀刃搬送車206的通知訊號(第3待機中訊號)，則對於儲藏單元208發出指示，使從無人刀刃搬送車206搬出使用完了的切削刀刃82。具體而言，控制部132是產生相當於此指示的控制訊號(第3搬送指示訊號)，從送訊機136往儲藏單元208發送。

儲藏單元208的收訊機34是一旦接收來自控制單元14的控制訊號(第3搬送指示訊號)，則予以送往控制裝置32。控制裝置32是根據此控制訊號(第3搬送指示訊號)來控制刀刃搬送臂212等的動作，而從無人刀刃搬送車206的底盤214搬出使用完了的切削刀刃82，收容於刀刃儲藏庫210。具體而言，透過控制訊號(第3搬送指示訊號)而由控制單元14指示的刀刃盒216內的切削刀刃82會被搬出，往刀刃儲藏庫210交接。

藉由如此的程序，因應所需，將被收容於儲藏單元208的切削刀刃82搬送至切削裝置204，且可回收從切削裝置204的切削單元80卸下的使用完了的切削刀刃82。另外，在此是在更換切削刀刃82的作業的期間使無人刀刃搬送車206當下待機，但亦可例如在更換此切削刀刃82的期間，對於其他的切削裝置204搬送切削刀刃82。

又，上述的程序是可在能適當地搬送切削刀刃82的範圍內變更。例如，亦可同時地進行在上述的程序中所含的複數的步驟，或在不妨礙切削刀刃82的搬送的範圍內更換步驟的順序。同樣，亦可在不妨礙切削刀刃82的搬送的範圍內追加、變更、省略任意的步驟。

如以上般，本實施形態的搬送系統202是包含： 跨越複數的切削裝置(加工裝置)204而設置的搬送通路6； 具備底盤(刀刃保持部)214、車輪(行駛機構)218及收訊機222的無人刀刃搬送車206；及 具備刀刃搬送臂(刀刃搬送部)212及收訊機34的儲藏單元208。

因此，以刀刃搬送臂212來將被收容於刀刃儲藏庫210的切削刀刃82往無人刀刃搬送車206的底盤214搬送，使此無人刀刃搬送車206行駛於搬送通路6上，藉此可對於複數的切削裝置204的各者搬送切削刀刃82。並且，在本實施形態的搬送系統202中，搬送通路6會被設置於切削裝置204的正上方的空間。因此，在設計此搬送通路6時不需要考慮各切削裝置204的側面的構造。亦即，搬送系統202的建構變容易。

(實施形態3) 在本實施形態中，說明有關與儲藏單元8及儲藏單元208不同的構造的儲藏單元。另外，裝入本實施形態的儲藏單元的搬送系統等的基本的構成是與實施形態1及實施形態2的搬送系統等相同。因此，對於共通的構成要素是附上相同的符號而省略詳細的說明。

圖22是模式性地表示本實施形態的儲藏單元308的構成例的側面圖，圖23是模式性地表示儲藏單元308的內部的構造的平面圖。如圖22所示般，儲藏單元308是包含收容各種的構成要素的框體316。另外，在圖22中，基於說明的方便起見，只顯示框體316的輪廓。

在框體316內是例如設有藉由滾珠螺桿式的第1昇降機構(未圖示)來昇降的盒子保持台318。在盒子保持台318的上面是載有可收容複數的被加工物11的盒子(被加工物儲藏庫)20。另外，此盒子20是例如上述般收容經由膠帶13來被支撐於框15的狀態的被加工物11。

如圖23所示般，在對面於盒子保持台318(盒子20)的第1位置是配置有把持框15而使移動的第1被加工物移動單元320。第1被加工物移動單元320是包含：上下地把持框15的把持部322，及使把持部322大概移動於水平的方向的驅動部324。

在驅動部324的上面是形成有朝向盒子保持台318大概平延伸的縫隙狀的開口324a，驅動部324是使把持部322移動於沿著此開口324a的第1方向。亦即，把持部322是以對於盒子保持台318接近或從盒子保持台318隔離的方式移動。

因此，例如，只要藉由第1昇降機構來將被收容於盒子20的框15的高度對準於把持部322的高度，使把持部322接近於盒子保持台318，便可藉由把持部322來把持盒子20內的框15。並且，藉由把持部322來把持盒子20內的框15之後，只要使把持部322從盒子保持台318隔離，便可使框15拉出至盒子20的外部。

在第1被加工物移動單元320的周圍是配置有暫置從盒子20搬出的框15之第1暫置台326。第1暫置台326是包含：分別在第1方向長的一對的引導部326a，及垂直於第1方向且在水平的第2方向長的基部326b。一對的引導部326a是以彼此的長度方向會形成平行的方式經由基部326b來連結。在第1被加工物移動單元320從盒子20拉出的框15是被載於一對的引導部326a。

第1暫置台326是藉由使此第1暫置台326移動於第2方向的第1暫置台移動部328所支撐。第1暫置台移動部328是具備在第2方向長的導軌330。在導軌330是可滑動地安裝移動構件332。

在移動構件332是設有螺帽部(未圖示)，在此螺帽部是螺合大概平行於導軌330的滾珠螺桿(未圖示)。在滾珠螺桿的一端是連結脈衝馬達334。一旦以脈衝馬達334來使滾珠螺桿旋轉，則移動構件332沿著導軌330來移動於第2方向。

在移動構件332的上部是固定第1暫置台326的基部326b。因此，第1暫置台326是與移動構件332一起移動於第2方向。另外，第1暫置台移動部328是被構成為可使第1暫置台326移動於第1位置與此第1位置的旁邊的第2位置之間。

在第2位置是配置有把持框15而使移動的第2被加工物移動單元336。亦即，第2被加工物移動單元336是被配置於第1被加工物移動單元320的旁邊。第2被加工物移動單元336的構造是與第1被加工物移動單元320的構造同樣。

具體而言，第2被加工物移動單元336是包含：上下地把持框15的把持部338，及使把持部338大概移動於水平的方向的驅動部340。在驅動部340的上面是形成有在第1方向長的縫隙狀的開口340a，驅動部340是沿著此開口340a來使把持部338移動。

在第2被加工物移動單元336的周圍是配置持有與第1暫置台326同樣的構造的第2暫置台342。亦即，第2暫置台342是包含：分別在第1方向長的一對的引導部342a，及垂直於第1方向且在水平的第2方向長的基部342b。一對的引導部342a是以彼此的長度方向會形成平行的方式經由基部342b來連結。

第2暫置台342是藉由使此第2暫置台342移動於第2方向及鉛直方向的第2暫置台移動部344來支撐。第2暫置台移動部344是具備在第2方向長的導軌346。在導軌346是可滑動地安裝移動構件348。

在移動構件348是設有螺帽部(未圖示)，在此螺帽部是螺合大概平行於導軌346的滾珠螺桿(未圖示)。在滾珠螺桿的一端是連結脈衝馬達350。一旦以脈衝馬達350來使滾珠螺桿旋轉，則移動構件348沿著導軌346來移動於第2方向。

在移動構件348的上部，經由以汽缸等所構成的昇降機構352來固定第2暫置台342的基部342b。因此，第2暫置台342是與移動構件348及昇降機構352一起移動於第2方向，藉由昇降機構352來昇降。另外，第2暫置台移動部344是被構成為可第2暫置台342移動於第2位置與此第2位置的旁邊的第1位置之間。

圖24是模式性地表示使第1暫置台326與第2暫置台342移動於第2方向，而更換第1暫置台326的位置與第2暫置台342的位置的情況的側面圖。在更換第1暫置台326的位置與第2暫置台342的位置時，首先，使第2暫置台342藉由昇降機構352來上昇。具體而言，將第2暫置台342定位於第2暫置台342的下端的高度會形成比第1暫置台326的上端的高度更高的上昇位置。

然後，在將第2暫置台342定位於上昇位置的狀態下，使第2暫置台342藉由第2暫置台移動部344來移動至第1位置側。並且，在同樣的時機，使第1暫置台326藉由第1暫置台移動部328來移動至第2位置側。另外，在圖24中，顯示使第1暫置台326從第1位置移送至第2位置為止，使第2暫置台342從第2位置移動至第1位置為止的情況。

第1暫置台326及第2暫置台342的移動完了之後，使第2暫置台342藉由昇降機構352來下降，將第2暫置台342定位於第2暫置台342的下端的高度會形成與第1暫置台326的下端的高度大概相等的基準位置。如此，在儲藏單元308中，可藉由第1暫置台移動部328與第2暫置台移動部344來使移動成為在第1位置與第2位置之間更換第1暫置台326與第2暫置台342。

在與配置第2被加工物移動單元336的第2位置對面的位置是設有藉由滾珠螺桿式的第2昇降機構(未圖示)來昇降的搬送車保持台(收容部保持台)354。在此搬送車保持台354的上面是載置無人被加工物搬送車10的底盤37。如圖22所示般，在搬送車保持台354的正上方的區域是設有將框體316的頂部316a貫通於上下的開口316b。此開口316b是被形成可通過被載於搬送車保持台354的底盤37之形狀、大小。

將盒子保持台318昇降的第1昇降機構、第1被加工物移動單元320、第1暫置台移動部328、第2被加工物移動單元336、第2暫置台移動部344、昇降機構352、將搬送車保持台354昇降的第2昇降機構等的構成要素是連接用以控制儲藏單元308的動作的控制裝置362。控制裝置362是藉由代表性地包含CPU等的處理裝置、快閃記憶體等的記憶裝置的電腦所構成，按照被記憶於記憶裝置的軟體，使處理裝置等動作，藉此實現控制裝置362的機能。

在控制裝置362是更連接：接收從搬送系統的控制單元14發送的控制用的訊號(控制訊號)的收訊機364，及對於控制單元14發送通知用的訊號(通知訊號)的送訊機366。控制裝置362是根據在收訊機364接收的訊號來控制儲藏單元308的動作。又，控制裝置362是經由送訊機366來將必要的訊號發送至控制單元14。

其次，說明本實施形態的儲藏單元308的動作。圖25(A)、圖25(B)、圖26(A)及圖26(B)是模式性地表示儲藏單元308的動作的例子的平面圖。另外，在本實施形態中，說明有關第1暫置台326被定位於第1位置，第2暫置台342被定位於第2位置的情況的動作，但第1暫置台326被定位於第2位置，第2暫置台342被定位於第1位置的情況的動作也同樣。

例如，搬送單元12是將收容加工後的被加工物11的無人被加工物搬送車10的底盤37載於搬送車保持台354。另外，在盒子保持台318是預先載置收容加工前的被加工物11(框15)的盒子20。

然後，如圖25(A)所示般，使把持部322對於盒子保持台318上的盒子20接近，以把持部322來把持被收容於盒子20的框15。在同樣的時機，使把持部338對於搬送車保持台354上的底盤37接近，以把持部338來把持被收容於底盤37的框15。

以把持部322來把持盒子20內的框15之後，如圖25(B)所示般，使把持部322從盒子保持台318隔離。同樣，以把持部338來把持底盤37內的框15之後，如圖25(B)所示般，使把持部338從搬送車保持台354隔離。藉此，加工前的被加工物11會從盒子20拉出至第1暫置台326，加工後的被加工物11會從底盤37拉出至第2暫置台342。

其次，如圖26(A)所示般，使移動成為在第1位置與第2位置之間更換第1暫置台326與第2暫置台342。亦即，使第2暫置台342藉由昇降機構352上昇，定位於上昇位置。然後，使第2暫置台342沿著第2方向來移動至第1位置側。

並且，在同樣的時機，使第1暫置台326沿著第2方向來移動至第2位置側。第1暫置台326及第2暫置台342的移動完了之後，使第2暫置台342藉由昇降機構352來下降，定位於基準位置。其結果，第1暫置台326會被定位於與搬送車保持台354對面的第2位置，第2暫置台342會被定位於與盒子保持台318對面的第1位置。

然後，如圖26(B)所示般，以把持部338來把持第1暫置台326上的框15，使把持部338對於搬送車保持台354上的底盤37接近。藉此，支撐加工前的被加工物11的第1暫置台326上的框15會被收容於搬送車保持台354上的底盤37。

在同樣的時機，以把持部322來把持第2暫置台342上的框15，使把持部338對於盒子保持台318上的盒子20接近。藉此，支撐加工後的被加工物11的第2暫置台342上的框15會被收容於盒子保持台318上的盒子20。

搬送單元12是第1暫置台326上的框15被收容於搬送車保持台354上的底盤37之後，從搬送車保持台354搬送此底盤37。藉由以上，可從無人被加工物搬送車10搬送加工後的被加工物11至儲藏單元308，從儲藏單元308搬送加工前的被加工物11至無人被加工物搬送車10。

另外，第1暫置台326與第2暫置台342是具備相同的機能，從盒子20搬出的框15是對於第1暫置台326與第2暫置台342的哪個皆可暫置。例如，當第2暫置台342被定位於第1位置時，從盒子20搬出的框15是形成被暫置於第2暫置台342。

又，上述的第1被加工物移動單元320是使被加工物11移動於被定位在第1位置的第1暫置台326或第2暫置台342與盒子保持台318(盒子20)之間。同樣，第2被加工物移動單元336是使被加工物11移動於被定位在第2位置的第2暫置台342或第1暫置台326與搬送車保持台354(底盤37)之間。

另外，本發明是不被限制於上述的實施形態的記載，可實施各種變更。例如，在上述的實施形態的切削裝置204設置用以使切削刀刃82昇降的刀刃昇降機構226，但亦可對於搬送通路6或無人刀刃搬送車206安裝刀刃昇降機構。此情況，相較於在切削裝置設置刀刃昇降機構的情況等，搬送系統的泛用性變高。

又，搬送通路6是亦可具有為了2台的無人被加工物搬送車10等相左的空間(待機區域)。而且，搬送通路6是亦可被設定成只容許無人被加工物搬送車10等往一方向行駛，所謂的一方通行。此情況，亦可在切削裝置(加工裝置)上設置往路用的搬送通路6及歸路用的搬送通路6。

又，上述的實施形態中，將識別碼或無線標籤等的資訊提供部102b設在通路部102，但亦可對於引導部104安裝資訊提供部。此情況，例如，可在引導部104的內側的壁面或上端部等安裝資訊提供部。

又，亦可對於儲藏單元308裝入儲藏單元208的刀刃儲藏庫210或刀刃搬送臂(刀刃搬送部)212等。

其他，上述的實施形態或變形例等的構造、方法等是可不脫離本發明的目的的範圍中適當變更實施。

2:搬送系統 4:切削裝置(加工裝置) 4a:切削裝置(加工裝置) 4b:切削裝置(加工裝置) 6:搬送通路 6a:通路模組 6b:通路模組 6c:通路模組 8:儲藏單元 10:無人被加工物搬送車(無人搬送車) 10a:無人被加工物搬送車(無人搬送車) 10b:無人被加工物搬送車(無人搬送車) 10c:無人被加工物搬送車(無人搬送車) 12:搬送單元(收容部搬送單元) 14:控制單元 16:框體 16a:頂部 16b:開口 18:盒子保持台 20:盒子(被加工物儲藏庫) 22:推挽臂 24:導軌 26:搬送車保持台(收容部保持台) 28:搬送單元支撐構造 29:支撐構造 30:支撐板 31:導軌 31a:支撐部 32:控制裝置 34:收訊機 36:送訊機 37:底盤(被加工物收容部) 37a:空間 37b:開口部 38:車輪(行駛機構) 39:上部框體 39a:基部 39b:突出部 39c:電極 40:鋼索 41:車輪(行駛機構) 42:控制裝置 44:收訊機 46:送訊機 50:搬送車保持台(收容部保持台) 50a:車輪制動部 92:罩子 92a:頂部 92b:開口 92c:門 92d:開口 96:控制裝置 98:收訊機 100:送訊機 132:控制部 134:收訊機 136:送訊機 138:讀取機 11:被加工物 13:膠帶 15:框 21:配管

[圖1]是表示第1實施形態的搬送系統的構成例的平面圖。 [圖2]是表示第1實施形態的搬送系統的連接關係的例子的機能方塊圖。 [圖3]是模式性地表示第1實施形態的儲藏單元的構成例的側面圖。 [圖4(A)]是表示無人被加工物搬送車及搬送單元的構成例的立體圖，[圖4(B)]是表示無人被加工物搬送車藉由搬送單元來搬送的情況的立體圖。 [圖5]是表示第1實施形態的切削裝置或搬送通路等的外觀的立體圖。 [圖6]是表示切削裝置的構成例的立體圖。 [圖7]是表示在切削裝置設置搬送通路的情況的立體圖。 [圖8(A)]、[圖8(B)]及[圖8(C)]是表示通路模組的構成例的平面圖。 [圖9]是表示從通路模組形成搬送通路的情況的立體圖。 [圖10(A)]及[圖10(B)]是表示連結通路模組的情況的剖面圖。 [圖11]是表示通路模組的構成例的底面圖。 [圖12(A)]是由Y軸方向來看使搬送單元支撐於導軌時的情況的一部分剖面側面圖，[圖12(B)]是由Y軸方向來看在搬送單元使底盤下降時的情況的一部分剖面側面圖。 [圖13(A)]是由X軸方向來看圖12(A)所示的狀態的一部分剖面側面圖，[圖13(B)]是由X軸方向來看圖12(B)所示的狀態的一部分剖面側面圖。 [圖14]是用以說明第1實施形態的搬送系統的控制方法的例子的機能方塊圖。 [圖15(A)]是由X軸方向來看使變形例的搬送單元支撐於導軌時的情況的一部分剖面側面圖，[圖15(B)]是由X軸方向來看在變形例的搬送單元使底盤下降時的情況的一部分剖面側面圖。 [圖16]是表示第2實施形態的搬送系統的連接關係的例子的機能方塊圖。 [圖17]是表示第2實施形態的儲藏單元的構成例的側面圖。 [圖18]是表示無人刀刃搬送車的構成例的立體圖。 [圖19]是表示第2實施形態的切削裝置等的外觀的立體圖。 [圖20]是表示刀刃轉換器的構成例的分解立體圖。 [圖21]是用以說明第2實施形態的搬送系統的控制方法的例子的機能方塊圖。 [圖22]是模式性地表示第3實施形態的儲藏單元的構成例的側面圖。 [圖23]是模式性地表示第3實施形態的儲藏單元的內部的構造的平面圖。 [圖24]是模式性地表示使第3實施形態的儲藏單元的第1暫置台及第2暫置台移動於第2方向，更換第1暫置台的位置及第2暫置台的位置的情況的側面圖。 [圖25(A)]及[圖25(B)]是模式性地表示第3實施形態的儲藏單元的動作的例子的平面圖。 [圖26(A)]及[圖26(B)]是模式性地表示第3實施形態的儲藏單元的動作的例子的平面圖。

2:搬送系統

4:切削裝置(加工裝置)

4a:切削裝置(加工裝置)

6:搬送通路

8:儲藏單元

10:無人被加工物搬送車(無人搬送車)

10a:無人被加工物搬送車(無人搬送車)

10b:無人被加工物搬送車(無人搬送車)

10c:無人被加工物搬送車(無人搬送車)

12:搬送單元(收容部搬送單元)

16:框體

21:配管

28:搬送單元支撐構造

48c:配管連接部

92:罩子

92a:頂部

92b:開口

92c:門

102:通路部

102b:資訊提供部

Claims (3)

1. 一種搬送系統，係對於複數的加工裝置的各者搬送被加工物的搬送系統，其特徵為包含： 搬送通路，其係跨越複數的該加工裝置來設置於該加工裝置的正上方的空間； 無人搬送車，其係具備：收容該被加工物的收容部、被設在該收容部的行駛機構、及接收控制訊號的收訊機，行駛於該搬送通路； 儲藏單元，其係具備：從收容有該被加工物的被加工物儲藏庫，對於該無人搬送車的該收容部交接該被加工物時，保持該收容部的收容部保持台、及接收控制訊號的收訊機； 收容部搬送單元，其係在該搬送通路的相當於該儲藏單元的上方的區域與該儲藏單元的該收容部保持台之間，或在該搬送通路的相當於該加工裝置的上方的區域與該加工裝置的內部之間，搬送該收容部；及 控制單元，其係具備：發送控制訊號至該加工裝置、該無人搬送車及該儲藏單元的送訊機、接收從該加工裝置發送的通知訊號的收訊機、及產生從該送訊機發送的控制訊號的控制訊號產生部， 該控制單元的該控制訊號產生部，係根據該控制單元的該收訊機所接收的通知訊號，產生從該控制單元的該送訊機發送的控制訊號， 該控制單元的該送訊機，係將在該控制單元的該控制訊號產生部產生的控制訊號發送至該加工裝置、該無人搬送車及該儲藏單元， 該無人搬送車，係根據在該收訊機接收的控制訊號，行駛於該搬送通路上， 該無人搬送車的該收容部，係與被收容於該收容部的該被加工物一起從該搬送通路的相當於該加工裝置的上方的該區域往該加工裝置的內部搬送。
2. 如請求項1之搬送系統，其中，該搬送通路，係被設置於該加工裝置的上面。
3. 如請求項1或2之搬送系統，其中，該無人搬送車，係具備該收容部搬送單元。

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