KR20210061924A - 반송차 - Google Patents

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KR20210061924A
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container
unit
workpiece
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transport vehicle
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코이치 나카
코지 타무라
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

(과제) 피가공물을 효율적이고 안전하게 반송할 수 있도록 하는 반송차를 제공한다.
(해결 수단) 가공 장치의 상방에 설치된 반송로 상을 주행하여 피가공물을 반송하는 반송차로서, 주행용의 차륜이 장착되는 프레임과, 상기 피가공물을 수용하는 용기와, 상기 프레임에 설치되고, 상기 용기를 매달아서 승강시키는 승강 유닛과, 상기 프레임에 설치되고, 상기 피가공물이 상기 반송로 상에서 반송될 때에 상기 용기의 상면 측에 접촉하는 접촉 부재와, 상기 승강 유닛을 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 승강 유닛은, 상기 용기에 일단 측이 접속되는 서스팬드 부재와, 상기 서스팬드 부재를 권취하는 동력을 생성하는 모터를 구비하고, 상기 제어부는, 상기 서스팬드 부재가 권취되어서 상기 용기가 상기 접촉 부재와 접촉했을 때의 상기 모터의 전류값의 변화에 기초하여, 상기 모터의 회전을 정지시킨다.

Description

반송차{TRANSPORT VEHICLE}
본 발명은, 피가공물의 반송에 이용되는 반송차에 관한 것이다.
전자기기 등에 내장되는 디바이스 칩의 제조 공정에서는, 반도체 웨이퍼나 수지 패키지 기판으로 대표되는 판형의 피가공물이 다양한 가공 장치에 의해서 가공된다. 이 가공 장치에 대해서 피가공물을 반송할 때에는, 통상, 복수의 피가공물을 수용할 수 있는 카세트가 이용된다. 가공 장치는, 복수의 피가공물을 수용한 상태의 카세트를 수취하면, 이 카세트로부터 피가공물을 차례로 꺼내서 가공한다.
피가공물의 가공에 관련된 효율을 높이기 위해서, 복수의 가공 장치가 병행하여 이용되기도 한다. 이 경우에는, 복수의 가공 장치의 각각 대해 적절한 타이밍에 피가공물을 반송하지 않으면 안 된다. 그래서 복수의 가공 장치를 반송용의 경로(반송로)에서 연결하여, 각 가공 장치로의 피가공물의 반송을 실현한 반송 시스템이 제안되어 있다(예컨대, 특허 문헌 1 참조).
일본 공개특허공보 평6-177244호 공보
그런데, 복수의 가공 장치가 가지는 능력을 최대한으로 발휘시키기 위해서는, 각 가공 장치에 대해서 피가공물을 효율적이고 안전하게 반송하는 것이 중요하다. 그러나, 피가공물의 반송에 관련된 각종 장치의 구조상의 이유 등으로, 피가공물의 원활한 반송을 실현할 수 없는 경우가 있었다.
본 발명은 이러한 문제점을 감안한 것으로서, 그 목적은, 피가공물을 효율적이고 안전하게 반송할 수 있도록 하는 반송차를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 양태에 의하면, 가공 장치의 상방에 설치된 반송로 상을 주행하여 피가공물을 반송하는 반송차로서, 주행용의 차륜이 장착되는 프레임과, 상기 피가공물을 수용하는 용기와, ,상기 프레임에 설치되고, 상기 용기를 매달아서 승강시키는 승강 유닛과, 상기 프레임에 설치되고, 상기 피가공물이 상기 반송로 상에서 반송될 때에 상기 용기의 상면 측에 접촉하는 접촉 부재와, 상기 승강 유닛을 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 승강 유닛은, 상기 용기에 일단 측이 접속되는 서스팬드 부재와, 상기 서스팬드 부재를 권취하는 동력을 생성하는 모터를 구비하고, 상기 제어부는, 상기 서스팬드 부재가 권취되어서 상기 용기가 상기 접촉 부재와 접촉했을 때의 상기 모터의 전류값의 변화에 기초하여, 상기 모터의 회전을 정지시키는 반송차가 제공된다.
본 발명의 일 양태에 있어서, 상기 접촉 부재는, 상기 용기의 상면 측에 3 점 이상에서 접촉하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 접촉 부재의 상기 용기와 접촉하는 영역은, 탄성 부재로 이루어지는 것이 바람직하다.
본 발명의 일 양태에 관련된 반송차를 이용하는 것에 의해, 피가공물을 효율적이고 안전하게 반송할 수 있게 된다.
도 1은, 반송 시스템의 구성예를 나타내는 평면도이다.
도 2는, 반송 시스템의 접속 관계의 예를 나타내는 기능 블럭도이다.
도 3은, 로더·언로더의 구성예를 모식적으로 나타내는 측면도이다.
도 4(A)는, 외측 문이 닫히고, 내측 문이 열린 상태를 나타내는 일부 단면 측면도이고, 도 4(B)는, 외측 문이 열리고, 내측 문이 닫힌 상태를 나타내는 일부 단면 측면도이다.
도 5(A)는, 카세트 재치대 등을 나타내는 일부 단면 측면도이고, 도 5(B)는, 카세트 재치대를 나타내는 바닥면 도면이다.
도 6(A)는, 카세트 재치대를 내부 수용 영역에서 외측으로 인출하는 모습을 나타내는 일부 단면 측면도이고, 도 6(B)는, 롤러가 지지대로부터 탈락한 모습을 나타내는 일부 단면 측면도이고, 도 6(C)는, 카세트 재치대를 내부 수용 영역으로 되돌리는 모습을 나타내는 일부 단면 측면도이다.
도 7(A)는, 2 개의 상단 가이드 레일에 피가공물 유닛을 임시 배치하는 모습을 나타내는 일부 단면 측면도이고, 도 7(B)는, 2 개의 하단 가이드 레일에 피가공물 유닛을 임시 배치하는 모습을 나타내는 일부 단면 측면도이다.
도 8(A)는, 2 개의 상단 가이드 레일 등을 나타내는 평면도이고, 도 8(B)는, 2 개의 상단 가이드 레일의 간격을 좁힌 모습을 나타내는 평면도이다.
도 9(A)는, 반송차의 상면 측을 나타내는 사시도이고, 도 9(B)는, 반송차(10)의 바닥면 측을 나타내는 사시도이다.
도 10은, 반송차의 전단부를 나타내는 확대 사시도이다.
도 11(A)는, 용기를 나타내는 사시도이고, 도 11(B)는, 용기를 나타내는 정면도이다.
도 12는, 용기가 재치 영역에 재치된 상태의 반송차를 나타내는 사시도이다.
도 13은, 용기가 탄성 부재(신축 부재)를 통해 서스펜드 부재에 접속된 반송차를 나타내는 사시도이다.
도 14(A)는, 승강 유닛의 구성예를 나타내는 평면도이고, 도 14(B)는, 승강 유닛의 구성예를 나타내는 측면도이다.
도 15(A)는, 승강 유닛의 다른 구성예를 나타내는 평면도이고, 도 15(B)는, 승강 유닛의 다른 구성예를 나타내는 측면도이다.
도 16(A)는 릴을 나타내는 평면도이고, 도 16(B)는 릴을 나타내는 측면도이다.
도 17은, 커버를 나타내는 확대 사시도이다.
도 18(A)는, 격납 영역에 용기가 격납되어 있지 않은 상태의 커버를 나타내는 측면도이고, 도 18(B)는, 격납 영역에 용기가 격납된 상태의 커버를 나타내는 측면도이다.
도 19(A)는, 격납 영역에 격납된 용기가 재치 영역에 재치될 때의 반송차를 나타내는 측면도이고, 도 19(B)는, 용기가 하강할 때의 모터의 전류값을 나타내는 그래프이다.
도 20(A)는, 재치 영역에 재치된 용기가 격납 영역에 격납될 때의 반송차를 나타내는 측면도이고, 도 20(B)는, 용기가 상승할 때의 모터의 전류값을 나타내는 그래프이다.
도 21은, 가공 장치나 반송로의 외관을 나타내는 사시도이다.
도 22는, 가공 장치의 내부의 구조를 나타내는 사시도이다.
도 23은, 가공 장치에 설치된 반송로의 일부를 나타내는 사시도이다.
도 24(A) 및 도 24(B)는, 하단 프레임을 구성하는 하단 프레임 유닛을 나타내는 사시도이다.
도 25는, 하단 프레임을 구성하는 하단 프레임 유닛의 배치를 나타내는 평면도이다.
도 26(A) 및 도 26(B)는, 상단 프레임을 구성하는 상단 프레임 유닛을 나타내는 사시도이다.
도 27은, 상단 프레임을 구성하는 상단 프레임 유닛의 배치를 나타내는 평면도이다.
도 28은, 복수의 노면 패널을 나열하여 구성되는 반송로를 나타내는 평면도이다.
도 29는, 반송차의 제어부를 나타내는 기능 블럭도이다.
도 30은, 반송 시스템의 제어 방법의 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 31은, 실시형태 2에 관련된 가공 장치의 내부의 구조를 나타내는 사시도이다.
첨부 도면을 참조하여, 본 발명의 실시형태에 관해서 설명한다. 또한, 이하의 각 실시형태에서는, 피가공물의 반송처가 되는 복수의 가공 장치가 모두 절삭 장치인 경우에 대해 설명하지만, 반송 시스템은, 임의의 종류의 가공 장치에 대해서 피가공물 등을 반송할 수 있도록 구성되어 있으면 좋다. 즉, 피가공물 등의 반송처는, 절삭 장치 이외의 가공 장치라도 좋다.
예컨대, 반송 시스템은, 복수의 레이저 가공 장치에 대해서 피가공물을 반송할 수 있도록 구성되는 경우가 있다. 또한, 반송 시스템은, 일련의 가공에 사용되는 복수의 종류의 가공 장치에 대해서 차례로 피가공물을 반송할 수 있도록 구성되기도 한다. 또한, 반송 시스템은, 피가공물의 가공에 부수되는 임의의 처리에서 사용되는 여러 가지 장치에 피가공물을 반송할 수 있도록 구성되어도 좋다. 즉, 피가공물 등의 반송처에는, 피가공물의 가공을 목적으로 하지 않는 테이프 부착 장치, 자외선 조사 장치, 세정 장치 등이 포함될 수 있다.
(실시형태 1)
도 1은, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템(2)의 구성예를 나타내는 평면도이고, 도 2는, 반송 시스템(2)의 접속 관계의 예를 나타내는 기능 블럭도이다. 도 1에 도시한 바와 같이, 본 실시형태에 관한 반송 시스템(2)은, 가공 장치(절삭 장치)(4)에 의해서 가공되는 판형의 피가공물(11)(도 8(A), 도 8(B) 등 참조)을 반송하기 위한 반송로(6)를 포함하고 있다.
피가공물(11)은, 예컨대, 실리콘 등의 반도체 재료로 이루어진 원반 형상의 웨이퍼이다. 이 피가공물(11)의 표면 측은, 서로 교차하는 복수의 분할 예정 라인(스트리트)에 의해서 복수의 소 영역으로 구획되어 있고, 각 소 영역에는, IC(Integrated Circuit), MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 등의 디바이스가 형성되어 있다.
피가공물(11)의 이면 측에는, 피가공물(11)보다 직경이 큰 테이프(다이싱 테이프)(13)가 부착되어 있다. 테이프(13)의 외주 부분은, 피가공물(11)을 둘러싸는 환형의 프레임(15)에 고정되어 있다. 이와 같이, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템(2)에서는, 테이프(13)를 통해 프레임(15)에 지지된 피가공물 유닛(17)의 상태로 피가공물(11)이 가공 장치(4)로 반송된다.
또한, 본 실시형태의 피가공물(11)은, 실리콘 등의 반도체 재료로 이루어진 원반 형상의 웨이퍼이지만, 피가공물(11)의 재질, 형상, 구조, 크기 등에 제한은 없다. 예컨대, 다른 반도체, 세라믹스, 수지, 금속 등의 재료로 이루어진 기판 등을 피가공물(11)로서 이용할 수도 있다.
마찬가지로, 디바이스의 종류, 수량, 형상, 구조, 크기, 배치 등에도 제한은 없다. 피가공물(11)에는, 디바이스가 형성되어 있지 않아도 좋다. 또한, 본 실시형태에서는, 피가공물(11)이 테이프(13)를 통해 프레임(15)에 지지된 피가공물 유닛(17)을 반송의 대상으로 하고 있지만, 테이프(13)가 부착되어 있지 않은 피가공물(11)이나, 프레임(15)에 지지되어 있지 않은 피가공물(11) 등이 반송의 대상이 되기도 한다.
상술한 프레임(15)의 크기는, 피가공물(11)의 크기(피가공물(11)의 직경 등)에 따라 설정된다. 예컨대, 약 300 mm 의 직경의 피가공물(11)을 지지하는 프레임(15)의 외경은, 약 200 mm 의 직경의 피가공물(11)을 지지하는 프레임(15)의 외경에 비해 크다. 즉, 큰 피가공물(11)이 사용되는 경우에는, 피가공물 유닛(17)의 외경도 커진다.
또한, 이 피가공물(11)을 가공하는 가공 장치(4)는, 피가공물(11)의 반송처로서 반송 시스템(2)에 접속되어 있지만, 반드시 반송 시스템(2)의 구성요소인 것은 아니다. 따라서, 가공 장치(4)는, 상술한 바와 같이, 반송 시스템(2)의 사용의 양태에 맞추어 변경, 생략되어도 좋다.
또한, 도 1에서는, 설명의 편의상, 1 대의 가공 장치(4a)만을 나타내고, 도 2에서는, 2 대의 가공 장치(4a, 4b)를 나타내고 있지만, 본 실시형태에서는, 피가공물(11)의 반송처로서, 2 대 이상의 가공 장치(4)가 필요하게 된다. 즉, 반송 시스템(2)에 접속되는 가공 장치(4)의 수는, 2 이상이다.
반송로(6)는, 복수의 가공 장치(4)를 연결하도록, 각 가공 장치(4)의 상부에 설치되어 있다. 이 반송로(6)를 통해서, 각 가공 장치(4)에 피가공물(11)이 반송된다. 또한, 반송로(6)는, 가공 장치(4)의 상방에 설치되어 있으므로, 각 가공 장치(4)의 측면에 접속되는 배관(21) 등에 대해서 반송로(6)가 간섭하는 경우는 없다.
반송로(6)의 하방에는, 가공 장치(4) 외에, 가공 전의 피가공물(11)이나 가공 후의 피가공물(11)이 수용되는 로더·언로더(반송 장치)(8)가 설치되어 있다. 로더·언로더(8)에 수용되어 있는 가공 전의 피가공물(11)은, 임의의 타이밍에 반송차(10)로 반입된다.
반송차(10)는, 반송로(6) 상을 주행하고, 로더·언로더(8)로부터 수취된 가공 전의 피가공물(11)을 각 가공 장치(4)로 반송한다. 또한, 반송차(10)는, 가공 장치(4)로부터 가공 후의 피가공물(11)을 수취하면, 반송로(6) 상을 주행하고, 가공 후의 피가공물(11)을 로더·언로더(8)로 반송한다.
다만, 복수의 종류의 장치(가공 장치(4) 등)가 반송 시스템(2)에 접속되어 있는 경우에는, 반송차(10)는, 어떤 가공 장치(4)로부터 가공 후의 피가공물(11)을 수취하면, 반송로(6) 상을 주행하고, 가공 후의 피가공물(11)을 다음의 공정에서 사용되는 장치로 반송하는 경우가 있다. 또한, 도 1 및 도 2에서는, 2 대의 반송차(10a, 10b)를 나타내고 있지만, 반송차(10)의 수에 제한은 없다.
도 2에 도시한 바와 같이, 가공 장치(4), 로더·언로더(8), 반송차(10)에는, 이러한 동작을 제어하는 제어 유닛(12)이 무선으로 접속되어 있다. 다만, 제어 유닛(12)은, 가공 장치(4), 로더·언로더(8), 반송차(10) 등의 동작을 제어할 수 있도록 구성되어 있으면 좋고, 이들에 대해서 유선으로 접속되기도 한다.
도 3은, 로더·언로더(8)의 구성예를 모식적으로 나타내는 측면도이다. 또한, 도 3에서는, 일부의 구성요소를 기능 블록으로 나타내고 있다. 도 3에 도시한 바와 같이, 로더·언로더(8)는, 각종의 구성요소를 수용하는 케이스(22)를 포함한다. 또한, 도 3에서는, 설명의 편의상, 케이스(22)를 윤곽만 나타내고 있다.
케이스(22) 내의 높이 방향(Z1 축 방향)을 따라서 상이한 2 개의 높이의 위치에는, 각각, 카세트 수용 기구(24)가 설치되어 있다. 즉, 본 실시형태의 로더·언로더(8)는, 제1 카세트 수용 기구(24a)와, 제1 카세트 수용 기구(24a)의 상방에 배치된 제2 카세트 수용 기구(24b)를 포함한다. 다만, 로더·언로더(8)가 구비하는 카세트 수용 기구(24)의 수에 제한은 없다. 로더·언로더(8)는, 1 이상의 카세트 수용 기구(24)를 구비하고 있으면 좋다.
각 카세트 수용 기구(24)는, 평판형의 지지대(26)를 가진다. 지지대(26)의 상면 측에는, 가이드 기구(도시하지 않음)가 설치되어 있고, 이 가이드 기구에는, 케이스(22)의 안쪽 방향(Y1축 방향)을 따라서 슬라이드할 수 있도록 평판형의 카세트 재치대(28)가 장착되어 있다.
카세트 재치대(28)의 상면에는, 복수(예컨대, 10 이상)의 피가공물(11)을 수용할 수 있는 카세트(30)가 재치된다. 카세트(30)는, 복수의 피가공물 유닛(17)을 모아서 반송할 때에 이용된다. 이러한 카세트(30)를 이용함으로써, 오퍼레이터는, 복수의 피가공물 유닛(17)을 모아서 로더·언로더(8)로 반입할 수 있다.
케이스(22)의 각 카세트 수용 기구(24)에 대응하는 위치에는, 카세트(30)가 재치된 카세트 재치대(28)를 통과시킬 수 있는 반입 출구(32)가 형성되어 있다. 카세트(30)의 반입출 시에는, 카세트(30)가 재치된 카세트 재치대(28)를 슬라이드 시킴으로써, 이 반입 출구(32)를 카세트(30)가 통과한다.
케이스(22)의 각 반입 출구(32)에 대응하는 위치에는, 각 반입 출구(32)를 닫을 수 있는 외측 문(제2 문)(34)이 배치되어 있다. 외측 문(34)의 하부는, 예컨대, 수평인 회전축을 가진 힌지 등의 회전 연결 부재(36)를 통해 지지대(26)의 외측의 단부에 연결되어 있고, 외측 문(34)은, 회전 연결 부재(36)의 회전축을 중심으로 회전하는 것에 의해서 개폐된다.
외측 문(34)이 열린 상태에서는, 반입 출구(32)보다 외측에 위치하는 외부 반입출 영역(외부 영역)(38a)(도 6(A) 등 참조)에 카세트 재치대(28)를 인출할 수 있다. 또한, 케이스(22)의 각 반입 출구(32)에 대응하는 위치에는, 닫혀진 상태의 외측 문(34)을 열지 않도록 고정하는 에어 구동형의 락 기구(도시하지 않음)가 설치되어 있다.
예컨대, 오퍼레이터는, 운반되어 온 카세트(30)를, 외부 반입출 영역(38a)에 인출된 카세트 재치대(28) 상에 재치한다. 그 후, 오퍼레이터가 카세트 재치대(28)를 케이스(22)의 내부에 밀어넣으면, 카세트 재치대(28) 및 카세트(30)는, 반입 출구(32)보다 내측에 위치하는 내부 수용 영역(내부 영역)(38b)(도 6(A) 등 참조)으로 이동한다.
또한, 본 명세서에서는, 이 내부 수용 영역(38b)을, 카세트(30)가 재치되는 제1 재치 영역이라고 부르는 경우가 있다. 카세트(30)를 카세트 수용 기구(24)로부터 반출할 때에는, 외측 문(34)을 연 후에, 카세트 재치대(28)를 내부 수용 영역(38b)으로부터 외부 반입출 영역(38a)에 인출하면 된다.
각 카세트 수용 기구(24)의 내부 수용 영역(38b)에 대해서 반입 출구(32)와 반대측의 위치에는, 높이 방향을 따라서 이동할 수 있는 양태의 내측 문(제1 문)(40)이 설치되어 있다. 제1 카세트 수용 기구(24a)의 내측 문(40)은, 제1 카세트 수용 기구(24a)의 내부 수용 영역(38b)에 인접하는 상방의 닫힘 위치와 하방의 열림 위치와의 사이에서 이동하고, 제2 카세트 수용 기구(24b) 측의 내측 문(40)은, 제2 카세트 수용 기구(24b)의 내부 수용 영역(38b)에 인접하는 상방의 열림 위치와 하방의 닫힘 위치와의 사이에서 이동한다. 따라서, 2 개의 내측 문(40)이 서로 간섭하는 경우는 없다.
도 4(A)는, 외측 문(34)이 닫히고, 내측 문(40)이 열린 상태의 제1 카세트 수용 기구(24a)를 나타내는 일부 단면 측면도이다. 또한, 도 4(A)에서는, 로더·언로더(8)의 일부의 구성요소를 기능 블록으로 나타내고 있다. 제2 카세트 수용 기구(24b)의 구조 및 동작은, 내측 문(40)의 이동 동작을 제외하고, 제1 카세트 수용 기구(24a)의 구조 및 동작과 같다.
도 4(A)에 도시한 바와 같이, 내측 문(40)에는, 승강 기구(42)가 연결되어 있다. 승강 기구(42)는, 예컨대, 공기압을 이용하여 대상을 이동시키는 에어 액추에이터(에어 실린더)이고, 실린더 튜브(42a)와, 실린더 튜브(42a)에 대해서 이동할 수 있는 피스톤 로드(42b)를 가진다.
실린더 튜브(42a)에 수용되는 피스톤 로드(42b)의 기단부에는, 피스톤(도시하지 않음)이 연결되어 있다. 또한, 실린더 튜브(42a)로부터 노출되는 피스톤 로드(42b)의 선단부에는, 내측 문(40)의 내부 수용 영역(38b)과는 반대측의 면에 고정된 연결 부재(42c)가 연결되어 있다.
실린더 튜브(42a)로의 흡기 및 배기를 제어하여 피스톤 및 피스톤 로드(42b)를 상방으로부터 하방으로 이동시키면, 제1 카세트 수용 기구(24a)의 내측 문(40)은 닫힘 위치에서 열림 위치로 이동한다. 또한, 피스톤 및 피스톤 로드(42b)를 하방으로부터 상방으로 이동시키면, 제1 카세트 수용 기구(24a)의 내측 문(40)은 열림 위치에서 닫힘 위치로 이동한다. 또한, 승강 기구(42)는, 로드리스(rodless) 에어 실린더 등의 다른 기구에 의해 실현되어도 좋다.
지지대(26) 내측 문(40)과 마주보는 위치에는, 내측 문(40)이 열려 있는지 여부를 검지하기 위해서 이용되는 제1 센서(44)가 설치되어 있다. 제1 센서(44)는, 예컨대, 마그넷 센서이고, 내측 문(40)의 미리 정해진 위치에 장착된 자석(44a)(도 4(B) 참조)에 의한 자장의 세기를 검지한다.
예컨대, 도 4(A)에 도시한 바와 같이, 내측 문(40)이 열리고, 자석(44a)이 제1 센서(44)로부터 멀어지면, 자석(44a)에 의한 자장의 세기는 제1 센서(44)의 위치에서 약해진다. 그 때문에, 제1 센서(44)가 검지하는 자장의 세기를 이용함으로써, 내측 문(40)이 열려 있는지 여부를 판단할 수 있다.
제1 센서(44)에는, 로더·언로더(8)의 각 구성요소를 제어하는 제어 장치(46)가 접속되어 있고, 제1 센서(44)는, 검지한 자장의 세기에 관한 정보를 제어 장치(46)에 보낸다. 제어 장치(46)는, 제1 센서(44)가 검지한 자장의 세기가 기준보다 약해지면, 내측 문(40)이 열렸다고 판단하고, 제1 센서(44)가 검지한 자장의 세기가 기준보다 강해지면, 내측 문(40)이 닫혔다고 판단한다. 또한, 제1 센서(44)는, 제어 장치(46)에 대해서 무선으로 접속되어도 좋다.
제어 장치(46)는, 예컨대, CPU(Central Processing Unit) 등의 처리 장치와, DRAM(Dynamic Random Access Memory) 등의 주 기억 장치와, 플래시 메모리 등의 보조 기억 장치를 포함하는 컴퓨터에 의해서 구성되어 있다. 보조 기억 장치에 기억되는 소프트웨어에 따라 처리 장치 등을 동작시키는 것에 의해서, 제어 장치(46)의 기능이 실현된다.
케이스(22)의 반입 출구(32)에 대응하는 위치에는, 외측 문(34)이 열려 있는지 여부를 검지하기 위해서 이용되는 제2 센서(48)가 설치되어 있다. 제2 센서(48)는, 예컨대, 마그넷 센서이고, 외측 문(34)의 미리 정해진 위치에 장착된 자석(48a)에 의한 자장의 세기를 검지한다. 제2 센서(48)는, 제어 장치(46)에 접속되어 있다. 또한, 제2 센서(48)는, 제어 장치(46)에 대해서 무선으로 접속되어도 좋다.
도 4(B)는, 외측 문(34)이 열리고, 내측 문(40)이 닫힌 상태를 나타내는 일부 단면 측면도이다. 또한, 도 4(B)에서는, 제어 장치(46)를 기능 블록으로 나타내고 있다. 도 4(B)에 도시한 바와 같이, 외측 문(34)이 열리고, 자석(48a)이 제2 센서(48)로부터 멀어지면, 자석(48a)에 의한 자장의 세기는 제2 센서(48)의 위치에서 약해진다.
그 때문에, 제2 센서(48)가 검지하는 자장의 세기를 이용함으로써, 외측 문(34)이 열려 있는지 여부를 판단할 수 있다. 구체적으로는, 제2 센서(48)는, 검지한 자장의 세기에 관한 정보를 제어 장치(46)에 보낸다. 제어 장치(46)는, 제2 센서(48)가 검지한 자장의 세기가 기준보다 약해지면, 외측 문(34)이 열렸다고 판단하고, 제2 센서(48)가 검지한 자장의 세기가 기준보다 강해지면, 외측 문(34)이 닫혔다고 판단한다.
제어 장치(46)는, 로더·언로더(8)의 외부에서 내부로의 액세스를 제한하기 위한 제1 안전 기구로서의 기능을 구비하고 있다. 제1 안전 기구는, 닫혀진 상태의 외측 문(34)을 열지 않도록 고정하는 에어 구동형의 락 기구를, 제어 장치(46)가 적절히 제어하는 것에 의해서 실현된다.
구체적으로는, 외측 문(34)이 닫혀 있다고 판단하고, 또한, 내측 문(40)이 열려 있다고 판단했을 경우에, 제어 장치(46)는, 외측 문(34)이 열리지 않도록 락 기구로 외측 문(34)을 고정한다. 이와 같이, 제어 장치(46)가 외측 문(34)의 개폐의 가부를 제어하는 것에 의해, 로더·언로더(8)의 내부에 위치하는 동작 중의 가동부 등에 오퍼레이터가 실수로 액세스하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 제어 장치(46)는, 로더·언로더(8)의 외부로부터 내부로의 액세스를 제한하기 위한 제2 안전 기구로서의 기능을 구비하고 있다. 제2 안전 기구는, 로더·언로더(8)의 전원을, 제어 장치(46)가 적절히 관리하는 것에 의해서 실현된다. 구체적으로는, 외측 문(34)이 열려 있다고 판단하고, 또한, 내측 문(40)이 닫혀 있다고 판단했을 경우에, 어떤 원인으로 내측 문(40)이 열리면, 제어 장치(46)는, 로더·언로더(8)의 전원을 내린다.
제2 안전 기구에 의해, 외측 문(34)과 내측 문(40)이 동시에 열리는 상황에서는, 로더·언로더(8)가 정지하게 된다. 이와 같이, 제어 장치(46)가 로더·언로더(8)의 전원을 적절히 관리하는 것에 의해, 로더·언로더(8)의 내부에 위치하는 동작 중의 가동부 등에 오퍼레이터가 실수로 액세스하는 것을 방지할 수 있다.
도 5(A)는, 카세트 재치대(28) 등을 나타내는 일부 단면 측면도이고, 도 5(B)는, 카세트 재치대(28)를 나타내는 바닥면도이다. 카세트 재치대(28)의 하면(28a) 측에는, 스토퍼 부재(50)가 배치되어 있다. 스토퍼 부재(50)는, 예컨대, 안쪽 방향으로 긴 각봉(角棒)(50a)을 가지고 있다. 다만, 이 각봉(50a)의 안쪽 방향의 길이는, 카세트 재치대(28)의 안쪽 방향의 길이보다 짧다. 또한, 각봉(50a)은, 예컨대, 스테인레스 강철 등의 금속에 의해서 형성되어 있다. 다만, 각봉(50a)의 재질이나 형상 등에 큰 제한은 없다.
안쪽 방향에서 내측에 위치하는 각봉(50a)의 일단부(즉, 내측 문(40) 측의 단부)에는, 높이 방향 및 안쪽 방향에 대해서 대략 수직인 폭 방향(X1축 방향)을 따르는 회전축(도시하지 않음)이 설치되어 있고, 이 회전축에는, 롤러(50b)가 회전할 수 있는 상태로 지지되어 있다. 롤러(50b)의 직경은, 카세트 재치대(28)의 하면(28a)과, 지지대(26)의 상면(26a)과의 거리보다 작다.
각봉(50a)의 내측의 일단과 외측의 타단과의 사이의 위치에는, 각봉(50a)을 회전시킬 수 있는 양태로 지지하는 축기구(52)가 설치되어 있다. 축기구(52)는, 폭 방향을 따르는 회전축(52a)을 가지고 있다. 회전축(52a)은, 각봉(50a)의 길이 방향(안쪽 방향)의 중앙보다 타단 측(외측)의 위치에 연결되어 있다.
회전축(52a)의 폭 방향의 양단부는, 카세트 재치대(28)의 하면(28a) 측에 고정된 한 쌍의 베어링(52b)의 베어링 구멍에 삽입된다. 이에 따라, 각봉(50a)은, 높이 방향 및 안쪽 방향에 대해서 평행한 면 내(폭 방향으로 수직인 면내)에서 회전축(52a)의 주위로 회전할 수 있도록, 베어링(52b)에 지지된다.
상술한 바와 같이, 회전축(52a)은, 각봉(50a)의 중앙보다 타단 측의 위치에 연결되어 있다. 따라서, 스토퍼 부재(50)에 작용하는 중력의 회전축(52a)의 주위의 모멘트의 방향은, 각봉(50a)의 일단을 하방으로 이동시키는 방향이 된다. 즉, 각봉(50a)에 대해서 충분한 힘을 부여하지 않는 한은, 각봉(50a)의 일단의 위치는, 중력의 작용으로 각봉(50a)의 타단의 위치보다 낮아진다.
그 때문에, 예컨대, 카세트 재치대(28)의 전체가 내부 수용 영역(38b)에 위치된 상태에서는, 롤러(50b)가 지지대(26)의 상면(26a)에 접촉한다. 또한, 지지대(26)의 상방으로 카세트 재치대(28)를 이동시키면, 롤러(50b)는, 지지대(26)의 상면(26a)을 구른다.
각봉(50a)의 타단부에는, 높이 방향으로 긴 핀(압박 부)(54)의 하단부가 연결되어 있다. 카세트 재치대(28)의 핀(54)에 대응하는 위치에는, 카세트 재치대(28)를 높이 방향으로 관통하는 관통 구멍(28c)이 형성되어 있고, 핀(54)은, 이 관통 구멍(28c)에 삽입되어 있다. 관통 구멍(28c)은, 삽입된 핀(54)의 높이 방향으로의 이동을 저해하지 않는 정도의 크기로 형성되어 있다.
핀(54)의 높이 방향의 길이는, 카세트 재치대(28)의 두께보다 길다. 그 때문에, 롤러(50b)가 지지대(26)의 상면(26a)에 접촉한 상태에서는, 핀(54)의 상부가 카세트 재치대(28)의 상면(28b) 측에 노출된다. 이 핀(54)의 노출 부분에는, 핀(54)의 직경보다 큰 외경을 가지는 원반 형상의 버튼(54b)이 고정되어 있다.
핀(54)에 고정된 버튼(54b)을 상방으로부터 내리누르면, 각봉(50a)의 타단이 하방으로 이동하고, 각봉(50a)의 일단이 상방으로 이동한다. 즉, 롤러(50b)가 상방으로 이동한다. 또한, 핀(54)의 하부의 근방에는, 관통 구멍(28c)의 직경보다 큰 외경을 가지는 링(54a)이 고정되어 있다.
도 6(A)는, 카세트 재치대(28)를 내부 수용 영역(38b)으로부터 외측에 인출하는 모습을 나타내는 일부 단면 측면도이다. 카세트 재치대(28)는, 상술한 가이드 기구(도시하지 않음)에 의해 지지대(26)에 대해서 슬라이드할 수 있도록 장착되어 있고, 반입 출구(32)의 외측을 향해서 인출된다.
카세트 재치대(28)가 외측으로 슬라이드하고, 롤러(50b)가 지지대(26)의 상면(26a)의 외측의 단부보다 밖으로 나오면, 스토퍼 부재(50)에 작용하는 중력의 회전축(52a)의 주위의 모멘트에 의해서, 각봉(50a)의 일단이 하방으로 이동한다. 즉, 롤러(50b)가 지지대(26)로부터 탈락한 상태가 된다.
도 6(B)는, 롤러(50b)가 지지대(26)로부터 탈락한 모습을 나타내는 일부 단면 측면도이다. 롤러(50b)가 지지대(26)로부터 탈락하면, 이 롤러(50b)는, 상면(26a)보다 낮은 위치에 위치된다. 그 결과, 카세트 재치대(28)의 내측으로의 이동은, 스토퍼 부재(50)가 지지대(26)의 외측면(26b)에 접촉하는 것에 의해 규제된다. 또한, 롤러(50b)의 탈락에 따라 핀(54)은 상승하고, 링(54a)이 카세트 재치대(28)의 하면(28a)에 접촉한다.
이와 같이, 스토퍼 부재(50) 및 축기구(52)는, 카세트 재치대(28)를 인출했을 때에, 내측으로의 카세트 재치대(28)의 이동을 규제하는 이동 규제 기구로서 기능한다. 이동 규제 기구를 마련함으로써, 예컨대, 비교적 무거운 카세트(30)의 반입출을 행하기 쉬워지므로, 카세트(30)에 수용된 피가공물(11)이 반입출에 따라 파손되는 리스크를 저감할 수 있다.
즉, 카세트(30)를 카세트 재치대(28)에 재치(반입)할 때에, 카세트 재치대(28)가 내측으로 이동하여 버리면, 오퍼레이터가 카세트(30)를 낙하시킬 리스크나, 오퍼레이터가 카세트(30)를 외측 문(34)에 충돌시킬 리스크가 높아지지만, 이동 규제 기구에 의해 카세트 재치대(28)의 내측으로의 이동을 규제함으로써, 이러한 리스크를 충분히 낮게 억제할 수 있다.
또한, 오퍼레이터가 카세트(30)를 카세트 재치대(28)로부터 반출할 때에, 카세트 재치대(28)가 내측으로 이동하여 버리면, 반출 예정의 카세트(30)가 반입 출구(32)의 상부에 위치하는 케이스(22)의 일부 등에 충돌할 리스크가 높아지지만, 이동 규제 기구에 의해 카세트 재치대(28)의 내측으로의 이동을 규제함으로써, 이러한 리스크도 충분히 낮게 억제할 수 있다.
본 실시형태의 이동 규제 기구는, 높이 방향 및 안쪽 방향으로 평행한 평면 내에서의 각봉(50a)의 회전에 의해 실현되므로, 예컨대, 카세트 재치대(28)의 폭 방향의 외측의 부분에 이동 규제 기구를 마련하는 경우와 같이, 카세트 수용 기구(24)가 폭 방향으로 커지는 경우는 없다. 그 때문에, 카세트 재치대(28)의 폭 방향의 외측의 부분에 이동 규제 기구를 마련하는 경우에 비해, 폭 방향으로 콤팩트한 카세트 수용 기구(24)를 실현하기 쉬워진다.
또한, 각봉(50a)의 길이, 축기구(52)의 위치 등의 조건은, 각봉(50a)이 지지대(26)로부터 탈락한 상태에서, 카세트 재치대(28) 상의 카세트(30)가 재치되는 영역이 케이스(22)로부터 완전하게 노출되도록 설정되어 있다. 그 때문에, 오퍼레이터는, 카세트(30)가 완전하게 케이스(22)로부터 노출된 상태로, 카세트 재치대(28)에 카세트(30)를 재치(반입)할 수 있다.
도 6(C)는, 카세트 재치대(28)를 내부 수용 영역(38b)으로 되돌리는 모습을 나타내는 일부 단면 측면도이다. 카세트 재치대(28)를 내부 수용 영역(38b)으로 되돌릴 때에는, 오퍼레이터가 버튼(54b)을 내리누른다. 오퍼레이터는, 예컨대, 버튼(54b)의 하부가 카세트 재치대(28)의 상면(28b)에 접촉할 때까지 버튼(54b)을 내리누른다. 이에 따라, 핀(54)이 하방으로 눌려 내려가고, 롤러(50b)는, 지지대(26)의 상면(26a)보다 상방으로 이동한다.
롤러(50b)는, 예컨대, 카세트 재치대(28)의 하면(28a)에 접촉할 때까지 상승한다. 그 결과, 카세트 재치대(28)의 내측으로의 이동의 규제가 해제되고, 카세트 재치대(28)를 내부 수용 영역(38b)으로 되돌릴 수 있게 된다. 오퍼레이터는, 버튼(54b)을 내리누른 상태로, 카세트 재치대(28)를 내부 수용 영역(38b)으로 밀어넣으면 좋다.
또한, 카세트 수용 기구(24)는, 상술한 예로 한정되지 않는다. 예컨대, 카세트 재치대(28)의 폭 방향으로 상이한 2 개의 위치에, 각각, 스토퍼 부재(50)가 설치되어도 좋다. 이 경우에는, 각각의 핀(54)에 대응하는 위치에, 관통 구멍(28c)이 형성된다. 또한, 이 경우에는, 2 개의 스토퍼 부재(50)를 구성하는 2 개의 각봉(50a)이, 임의의 위치에서 서로 연결되어도 좋다. 2 개의 각봉(50a)을 서로 연결하면, 한쪽의 핀(54)을 생략할 수도 있다.
또한, 관통 구멍(28c)은, 카세트 재치대(28)의 카세트(30)가 배치되는 영역에 형성되어도 좋다. 이 경우에는, 카세트 재치대(28)에 카세트(30)를 재치하면, 카세트(30)의 자체 무게로 핀(54)이 내리눌려진다. 즉, 오퍼레이터가 핀(54)을 내리눌러서, 스토퍼 부재(50)에 의한 규제를 해제할 필요는 없어진다.
도 3에 도시한 바와 같이, 로더·언로더(8)는, 내측 문(40)의 내부 수용 영역(38b)과는 반대측에 배치된 승강 기구(56)를 구비하고 있다. 승강 기구(56)는, 높이 방향으로 긴 지지 기둥(56a)을 가지고 있다. 지지 기둥(56a)의 내측 문(40) 측에는, 지지 기둥(56a)의 길이 방향(즉, 높이 방향)을 따르는 한 쌍의 가이드 레일(도시하지 않음)이 설치되어 있다.
승강 기구(56)의 한 쌍의 가이드 레일에는, 판형의 승강대(58)가 높이 방향으로 슬라이드할 수 있는 양태로 장착되어 있다. 승강대(58)의 상면은, 대략 평탄하게 형성되어 있다. 승강대(58)는, 그 상면을 높이 방향에 대해서 대략 수직인 상태로 유지하면서, 한 쌍의 가이드 레일을 따라서 높이 방향으로 슬라이드한다.
지지 기둥(56a)의 하부에는, 모터(도시하지 않음)와, 모터의 회전축에 연결된 구동 풀리(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 또한, 지지 기둥(56a)의 상부에는, 종동 풀리(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 구동 풀리와 종동 풀리에는, 1 개의 톱니 부착 무단 벨트(도시하지 않음)가 걸쳐져 있고, 이 톱니 부착 무단 벨트의 일부는, 승강대(58)에 고정되어 있다. 그 때문에, 모터의 회전축을 한 방향으로 회전시키면, 승강대(58)는 상승하고, 모터의 회전축을 다른 방향으로 회전시키면, 승강대(58)는 하강한다.
승강대(58)의 상면 측에는, 카세트 수용 기구(24) 내의 카세트(30)로부터 반출된 피가공물(11)이나, 카세트 수용 기구(24) 내의 카세트(30)에 반입되는 피가공물(11)이 임시 배치되는 임시 배치 유닛(60)이 설치되어 있다. 임시 배치 유닛(60)은, 카세트 수용 기구(24) 측에 개구가 형성된 각진 통형의 케이스(62)를 가진다. 케이스(62)의 내부에는, 피가공물(11)을 각각 파지하여 안쪽 방향으로 이동할 수 있는 복수의 반송 유닛(반송 기구)(64)이 배치되어 있다.
임시 배치 유닛(60)과 제1 카세트 수용 기구(24a)의 제1 카세트(30a)와의 사이에 피가공물 유닛(17)을 주고 받을 때에는, 임시 배치 유닛(60)의 높이를 제1 카세트 수용 기구(24a)의 높이에 맞춘다. 즉, 제1 카세트 수용 기구(24a)의 제1 재치 영역(A1a)에 대해서 안쪽 방향에서 내측 문(40) 측에 인접하는 제1 반송 영역(B1a)에, 임시 배치 유닛(60)을 배치한다.
임시 배치 유닛(60)이 제1 반송 영역(B1a)에 배치되고, 제1 카세트 수용 기구(24a)의 내측 문(40)이 열리면, 반송 유닛(64)은, 제1 재치 영역(A1a)의 제1 카세트(30a)에 액세스할 수 있게 된다. 예컨대, 반송 유닛(64)은, 제1 카세트(30a)에 수용된 피가공물 유닛(17)을 파지하여, 임시 배치 유닛(60)에 인출한다.
또한, 반송 유닛(64)은, 임시 배치 유닛(60)에 임시 배치되어 있는 피가공물 유닛(17)을 파지하여, 제1 카세트(30a)에 수용한다. 이와 같이, 반송 유닛(64)은, 제1 반송 영역(B1a)의 임시 배치 유닛(60)과, 제1 재치 영역(A1a)의 제1 카세트(30a)와의 사이에서, 피가공물(11)을 반송할 수 있다.
임시 배치 유닛(60)과 제2 카세트 수용 기구(24b)의 제2 카세트(30b)와의 사이에 피가공물 유닛(17)을 주고 받을 때에는, 임시 배치 유닛(60)의 높이를 제2 카세트 수용 기구(24b)의 높이에 맞춘다. 즉, 제2 카세트 수용 기구(24b)의 제1 재치 영역(A1b)에 대해서 안쪽 방향에서 내측 문(40) 측에 인접하는 제1 반송 영역(B1b)에, 임시 배치 유닛(60)을 배치한다.
임시 배치 유닛(60)이 제1 반송 영역(B1b)에 배치되고, 제2 카세트 수용 기구(24b) 내측 문(40)이 열리면, 반송 유닛(64)은, 제1 재치 영역(A1b)의 제2 카세트(30b)에 액세스할 수 있게 된다. 예컨대, 반송 유닛(64)은, 제2 카세트(30b)에 수용된 피가공물 유닛(17)을 파지하여, 임시 배치 유닛(60)에 인출한다.
또한, 반송 유닛(64)은, 임시 배치 유닛(60)에 임시 배치되어 있는 피가공물 유닛(17)을 파지하여, 제2 카세트(30b)에 수용한다. 이와 같이, 반송 유닛(64)은, 제1 반송 영역(B1b)의 임시 배치 유닛(60)과, 제1 재치 영역(A1b)의 제2 카세트(30b)와의 사이에서, 피가공물(11)을 반송할 수 있다.
제2 카세트 수용 기구(24b)의 더욱 상방에는, 재치대(66)가 설치되어 있다. 또한, 재치대(66)의 바로 위의 영역에는, 케이스(22)의 천정(22a)을 상하로 관통하는 개구(22b)가 설치되어 있다. 또한, 재치대(66) 및 개구(22b)의 바로 위의 영역에는, 반송로(6)를 상하로 관통하는 개구(6a)가 설치되어 있다.
반송차(10)와 임시 배치 유닛(60)과의 사이에서 피가공물 유닛(17)을 반송할 때에는, 우선, 피가공물 유닛(17)을 수용할 수 있는 용기(카세트)(102)를 구비한 반송차(10)를, 개구(6a)의 상방으로 이동시킨다. 그리고, 용기(102)를 서스펜드 부재(112)로 매달도록 강하시켜서, 재치대(66)의 상면(제2 재치 영역(A2))에 용기(102)를 재치한다.
또한, 임시 배치 유닛(60)의 높이를, 재치대(66)에 재치된 용기(102)의 높이에 맞춘다. 즉, 재치대(66)에 대해서 안쪽 방향으로 인접하는 제2 반송 영역(B2)에 임시 배치 유닛(60)을 배치한다. 이에 따라, 반송 유닛(64)은, 제2 재치 영역(A2)에 재치된 용기(102)에 액세스할 수 있게 된다. 예컨대, 반송 유닛(64)은, 용기(102)에 수용되어 있는 피가공물 유닛(17)을 파지하여, 임시 배치 유닛(60)에 인출한다.
또한, 반송 유닛(64)은, 임시 배치 유닛(60)에 임시 배치되어 있는 피가공물 유닛(17)을 파지하여, 용기(102)에 수용한다. 이와 같이, 반송 유닛(64)은, 제2 반송 영역(B2)의 임시 배치 유닛(60)과, 재치대(66)에 재치된 용기(102)와의 사이에서, 피가공물(11)을 반송할 수 있다. 또한, 임시 배치 유닛(60)을 승강시키는 승강 기구(56)나, 임시 배치 유닛(60) 내의 반송 유닛(64)은, 상술한 제어 장치(46)에 접속되어 있다. 승강 기구(56)이나 반송 유닛(64)의 동작은, 이 제어 장치(46)에 의해서 제어된다.
제어 장치(46)에는, 외부로부터의 신호(정보)를 수신하여 제어 장치(46)에 보내는 수신기(68)와, 제어 장치(46)로부터 받은 신호(정보)를 외부에 송신하는 송신기(70)가 더 접속되어 있다. 수신기(68)는, 예컨대, 반송 시스템(2)의 제어 유닛(12)으로부터 송신되는 신호를 수신하여 제어 장치(46)에 보낸다.
제어 장치(46)는, 예컨대, 수신기(68)로부터 받은 신호에 기초하여, 로더·언로더(8)의 각 구성요소의 동작을 제어한다. 또한, 제어 장치(46)는, 예컨대, 통지용의 신호를 생성하여 송신기(70)에 보낸다. 송신기(70)는, 예컨대, 제어 장치(46)로부터 받은 신호를 반송 시스템(2)의 제어 유닛(12)에 송신한다.
본 실시형태의 로더·언로더(8)는, 임시 배치 유닛(60)을 통해, 복수의 피가공물 유닛(17)이 수용되는 카세트(30)와, 반송차(10)의 용기(102)와의 사이에서 피가공물 유닛(17)을 반송할 수 있다. 따라서, 각 가공 장치(4)에 대해서 적시에 피가공물 유닛(17)을 반송할 수 있고, 또한, 각 가공 장치(4)에서 가공된 피가공물 유닛(17)을 적시에 회수할 수 있다.
도 7(A)는, 임시 배치 유닛(60)의 상단에 피가공물 유닛(17)을 임시 배치하는 모습을 나타내는 일부 단면 측면도이고, 도 7(B)는, 임시 배치 유닛(60)의 상단에 피가공물 유닛(17)을 임시 배치하는 모습을 나타내는 일부 단면 측면도이다. 임시 배치 유닛(60)의 케이스(62)는, 예컨대, 상부에 배치되는 상판(62a)과, 하부에 배치되는 하판(62b)을 포함한다.
상판(62a)의 폭 방향의 2 개의 단부에는, 각각, 기둥(도시하지 않음)의 상단부가 접속되어 있다. 또한, 하판(62b)의 폭 방향의 2 개의 단부에는, 각각, 기둥의 하단부가 접속되어 있다. 즉, 상판(62a)과 하판(62b)은, 2 조(組)의 기둥을 통해 서로 연결되어 있다. 상판(62a)과 하판(62b)과의 사이의 공간에는, 폭 방향으로 이격된 한 쌍의 측판(62c)이 배치되어 있다. 또한, 케이스(62)의 카세트 수용 기구(24) 측의 단부에는, 개구(62d)가 형성되어 있다.
한 쌍의 측판(62c)의 내측에 있어서 동일한 높이의 위치에는, 각각, 안쪽 방향을 따라서 긴 상단 가이드 레일(제1 임시 배치부)(72a)이 배치되어 있다. 각 상단 가이드 레일(72a)은, 피가공물 유닛(17)(프레임(15))을 하방으로부터 지지하는 지지면과, 피가공물 유닛(17)(프레임(15))의 폭 방향의 위치를 규정하는 측면을 가지고 있다.
한 쌍의 측판(62c)의 내측에 있어서 상단 가이드 레일(72a)보다 하방의 위치에는, 각각, 안쪽 방향을 따라서 긴 하단 가이드 레일(제2 임시 배치부)(72b)이 배치되어 있다. 각 하단 가이드 레일(72b)은, 피가공물 유닛(17)(프레임(15))을 하방으로부터 지지하는 지지면과, 피가공물 유닛(17)(프레임(15))의 폭 방향의 위치를 규정하는 측면을 구비하고 있다.
이와 같이, 케이스(62)의 내측의 상이한 높이의 위치에, 상단 가이드 레일(72a)과 하단 가이드 레일(72b)을 구비함으로써, 임시 배치 유닛(60)은, 2 개의 피가공물 유닛(17)을 동시에 수용할 수 있다. 그 때문에, 임시 배치 유닛이 1 개의 피가공물 유닛(17)만을 수용할 수 있는 경우에 비해, 반송차(10)의 용기(102) 또는 카세트(30)와, 임시 배치 유닛(60)과의 사이에서 피가공물 유닛(17)을 효율적으로 반송할 수 있다.
예컨대, 상단 가이드 레일(72a)이 가공 전의 피가공물 유닛(17)의 수용에 이용되고, 하단 가이드 레일(72b)이 가공 후의 피가공물 유닛(17)의 수용에 이용된다. 다만, 피가공물 유닛(17)의 수용의 양태에 제한은 없다. 상단 가이드 레일(72a)이 가공 후의 피가공물 유닛(17)의 수용에 이용되고, 하단 가이드 레일(72b)이 가공 전의 피가공물 유닛(17)의 수용에 이용되어도 좋다.
상단 가이드 레일(72a)에 대응하는 높이의 위치에는, 제1 반송 유닛(64a)이 설치되어 있고, 하단 가이드 레일(72b)에 대응하는 높이의 위치에는, 제2 반송 유닛(64b)이 설치되어 있다. 각 반송 유닛(64)은, 상하에 배치된 2 개의 판부재를 포함하는 파지부를 구비하고 있다. 2 개의 판부재는, 상측의 판부재의 하면과 하측의 판부재의 상면이 대략 평행이 되도록 배치되어 있다.
각 반송 유닛(64)의 파지부는, 2 개의 판부재의 간격을 조정하는 액추에이터(도시하지 않음)를 더 포함하고 있다. 이 액추에이터에 의해서 2 개의 판부재의 간격을 좁힘으로써, 피가공물 유닛(17)의 프레임(15)이 파지된다. 또한, 2 개의 판부재의 간격을 넓힘으로써, 피가공물 유닛(17)의 프레임(15)이 2 개의 판부재로부터 분리된다.
또한, 각 반송 유닛(64)은, 파지부를 안쪽 방향으로 이동시키는 수평 이동 기구(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 수평 이동 기구는, 안쪽 방향을 따라서 설치된 리니어 가이드(도시하지 않음)를 가진다. 이 리니어 가이드에는, 이송 유닛(64)을 슬라이드할 수 있는 양태로 연결되어 있다.
예컨대, 리니어 가이드의 일단 측에는, 폭 방향으로 대략 평행한 회전축을 가진 종동 풀리(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 또한, 리니어 가이드의 타단 측에는, 폭 방향으로 대략 평행한 회전축을 가진 구동 풀리(도시하지 않음)와, 이 구동 풀리에 회전축이 연결된 모터(도시하지 않음)가 설치되어 있다.
종동 풀리와 구동 풀리에는, 1 개의 톱니 부착 무단 벨트(도시하지 않음)가 걸쳐져 있고, 이 톱니 부착 무단 벨트의 일부는, 파지부에 고정되어 있다. 그 때문에, 모터의 회전축을 한 방향으로 회전시키면, 파지부는 안쪽 방향의 한쪽 측으로 이동하고, 모터의 회전축을 타 방향으로 회전시키면, 파지부는 안쪽 방향의 다른 쪽 측으로 이동한다.
상단 가이드 레일(72a)에 피가공물 유닛(17)을 임시 배치할 때에는, 도 7(A)에 도시한 바와 같이, 우선, 승강 기구(56)로 임시 배치 유닛(60)의 높이를 조정하고, 상단 가이드 레일(72a)의 높이를, 피가공물 유닛(17)이 수용된 용기(102) 또는 카세트(30)의 높이에 맞춘다.
다음에, 제1 반송 유닛(64a)의 파지부를 용기(102) 또는 카세트(30)의 내부에 이동시킨다. 그리고, 용기(102) 또는 카세트(30)에 수용되어 있는 피가공물 유닛(17)의 프레임(15)을 제1 반송 유닛(64a)의 파지부로 파지한다. 그 후, 제1 반송 유닛(64a)의 파지부를 용기(102) 또는 카세트(30)로부터 멀어지는 방향으로 이동시킨다. 이에 따라, 피가공물 유닛(17)이 상단 가이드 레일(72a)에 재치된다.
상단 가이드 레일(72a)에 임시 배치되어 있는 피가공물 유닛(17)을 용기(102) 또는 카세트(30)에 수용할 때의 동작도 마찬가지이다. 이 경우에는, 상단 가이드 레일(72a)에 임시 배치되어 있는 피가공물 유닛(17)을 제1 반송 유닛(64a)의 파지부로 파지한 후에, 이 제1 반송 유닛(64a)의 파지부를 용기(102) 또는 카세트(30)의 내부로 이동시키면 좋다.
하단 가이드 레일(72b)에 피가공물 유닛(17)을 임시 배치할 때에는, 도 7(B)에 도시한 바와 같이, 우선, 승강 기구(56)로 임시 배치 유닛(60)의 높이를 조정하고, 하단 가이드 레일(72b)의 높이를, 피가공물 유닛(17)이 수용된 용기(102) 또는 카세트(30)의 높이에 맞춘다.
다음에, 제2 반송 유닛(64b)의 파지부를 용기(102) 또는 카세트(30)의 내부로 이동시킨다. 그리고, 용기(102) 또는 카세트(30)에 수용된 피가공물 유닛(17)의 프레임(15)을 제2 반송 유닛(64b)의 파지부로 파지한다. 그 후, 제2 반송 유닛(64b)의 파지부를 용기(102) 또는 카세트(30)로부터 멀어지는 방향으로 이동시킨다. 이에 따라, 피가공물 유닛(17)이 하단 가이드 레일(72b)에 재치된다.
하단 가이드 레일(72b)에 임시 배치되어 있는 피가공물 유닛(17)을 용기(102) 또는 카세트(30)에 수용할 때의 동작도 마찬가지이다. 이 경우에는, 하단 가이드 레일(72b)에 임시 배치되어 있는 피가공물 유닛(17)을 제2 반송 유닛(64b)의 파지부로 파지한 후에, 이 제2 반송 유닛(64b)의 파지부를 용기(102) 또는 카세트(30)의 내부로 이동시키면 좋다.
카세트(30)와 용기(102)와의 사이의 피가공물 유닛(17)의 반송에 관련된 동작은, 예컨대, 다음과 같이 된다. 우선, 임시 배치 유닛(60)의 높이를 승강 기구(56)로 조정하고, 카세트(30)에 수용된 가공 전의 피가공물 유닛(17)을 상단 가이드 레일(72a)에 인출한다. 다음에, 임시 배치 유닛(60)을 승강 기구(56)로 상승시키고, 재치대(66) 상의 용기(102)에 수용된 가공 후의 피가공물 유닛(17)을 하단 가이드 레일(72b)에 인출한다.
그리고, 임시 배치 유닛(60)의 높이를 승강 기구(56)로 조정하고, 상단 가이드 레일(72a)에 임시 배치되어 있는 가공 전의 피가공물 유닛(17)을 재치대(66) 상의 용기(102)에 수용한다. 이 동작에 의해, 가공 후의 피가공물 유닛(17)의 용기(102)로부터의 반출(회수)과 가공 전의 피가공물 유닛(17)의 용기(102)에의 반입(배포)이 효율적으로 진행된다. 다만, 피가공물 유닛(17)의 반송에 관련된 동작은 이에 한정되지 않는다. 또한, 상단 가이드 레일(72a)과 하단 가이드 레일(72b)과의 관계를 필요에 따라서 전환해도 좋다.
도 8(A)는, 2 개의 상단 가이드 레일(72a) 등의 평면도이다. 폭 방향의 한쪽 측에 위치하는 상단 가이드 레일(72a)과 하단 가이드 레일(72b)은, 제1 측판(62c1)에 고정되어 있다. 또한, 폭 방향의 다른 쪽 측에 위치하는 상단 가이드 레일(72a)과 하단 가이드 레일(72b)은, 제2 측판(62c2)에 고정되어 있다.
하판(62b)의 안쪽 방향의 일단 측에는, 하판(62b)의 폭 방향의 한쪽 측의 부분을 상하로 관통하는 제1 개구(62e1)와, 하판(62b)의 폭 방향의 다른 쪽 측의 부분을 상하로 관통하는 제2 개구(62e2)가 형성되어 있다. 제1 개구(62e1)에는, 제1 측판(62c1)의 안쪽 방향의 일단 측의 일부가 삽입되어 있고, 제2 개구(62e2)에는, 제2 측판(62c2)의 안쪽 방향의 일단 측의 일부가 삽입되어 있다.
하판(62b)의 하면의 제1 개구(62e1)와 제2 개구(62e2)에 인접하는 영역에는, 제1 에어 액추에이터(74a)의 베이스부와 제2 에어 액추에이터(74b)의 베이스부가 고정되어 있다. 제1 에어 액추에이터(74a)의 가동부(예컨대, 피스톤 로드)는, 제1 개구(62e1)에 삽입된 제1 측판(62c1)의 일부에 접속되어 있다. 제2 에어 액추에이터(74b)의 가동부(예컨대, 피스톤 로드)는, 제2 개구(62e2)에 삽입된 제2 측판(62c2)의 일부에 접속되어 있다.
하판(62b)의 안쪽 방향의 타단 측에는, 제1 가이드 기구(76a)와 제2 가이드 기구(76b)가 설치되어 있다. 제1 가이드 기구(76a)는, 하판(62b)의 상면에 고정되어 폭 방향으로 긴 가이드 레일과, 제1 측판(62c1)의 하부 측에 고정되어 폭 방향으로 슬라이드할 수 있는 상태로 가이드 레일에 장착된 슬라이더를 포함한다. 또한, 제2 가이드 기구(76b)는, 하판(62b)의 상면에 고정된 가이드 레일과, 제2 측판(62c2)의 하부 측에 고정되어 폭 방향으로 슬라이드할 수 있는 상태로 가이드 레일에 장착된 슬라이더를 포함한다.
따라서, 제1 에어 액추에이터(74a)와 제2 에어 액추에이터(74b)와 제1 측판(62c1)과 제2 측판(62c2)과의 간격을 변경하면, 서로 평행한 상태를 유지하면서 2 개의 상단 가이드 레일(72a)의 간격을 변경하고, 서로 평행한 상태를 유지하면서 2 개의 하단 가이드레일(72b)의 간격을 변경할 수 있다.
즉, 제1 측판(62c1), 제1 에어 액추에이터(74a), 제1 가이드 기구(76a), 제2 측판(62c2), 제2 에어 액추에이터(74b), 제2 가이드 기구(76b)는, 2 개의 상단 가이드 레일(72a)의 간격과 2 개의 하단 가이드 레일(72b)의 간격을 조정하는 간격 조정 기구(78)로서 기능한다.
제1 에어 액추에이터(74a)와 제2 에어 액추에이터(74b)의 동작은, 상술한 제어 장치(46)에 의해 제어된다. 즉, 제어 장치(46)는, 피가공물 유닛(17)(피가공물(11))의 크기에 따라 제1 에어 액추에이터(74a)와 제2 에어 액추에이터(74b)의 동작을 제어하고, 2 개의 상단 가이드 레일(72a)의 간격과 2 개의 하단 가이드 레일(72b)의 간격을 조정한다.
예컨대, 피가공물(11)의 직경이 300 mm 의 경우에는, 약 400 mm 의 폭을 가지는 프레임(15)이 사용된다. 이 경우, 제어 장치(46)는, 2 개의 상단 가이드 레일(72a)의 측면의 간격(72c)(2 개의 하단 가이드 레일(72b)의 측면의 간격(72c))이 400 mm 보다 약간(예컨대, 수 mm) 커지도록, 제1 에어 액추에이터(74a)와 제2 에어 액추에이터(74b)를 동작시킨다.
또한, 예컨대, 피가공물(11)의 직경이 200 mm 의 경우에는, 약 300 mm 의 폭을 가지는 프레임(15)이 사용된다. 이 경우, 제어 장치(46)는, 2 개의 상단 가이드 레일(72a)의 측면의 간격(72c)(2 개의 하단 가이드 레일(72b)의 측면의 간격(72c))이 300 mm 보다 약간(예컨대, 수 mm) 커지도록, 제1 에어 액추에이터(74a)와 제2 에어 액추에이터(74b)를 동작시킨다.
도 8(B)는, 2 개의 상단 가이드 레일(72a)의 간격을 좁힌 모습을 나타내는 평면도이다. 또한, 2 개의 상단 가이드 레일(72a)의 간격을 좁히면, 2 개의 하단 가이드 레일(72b)의 간격도 좁아진다. 이와 같이, 2 개의 상단 가이드 레일(72a)의 간격과 2 개의 하단 가이드 레일(72b)의 간격을 피가공물(11)의 직경에 따라 조정함으로써, 상이한 크기의 피가공물(11)을 임시 배치 유닛(60)에 임시 배치할 수 있게 된다. 즉, 1 개의 임시 배치 유닛(60)으로, 복수의 종류의 크기의 피가공물 유닛(17)의 반송에 대응할 수 있다.
도 9(A)는, 반송로(6) 상을 주행하여서 피가공물 유닛(17)을 반송하는 반송차(10)의 상면 측을 나타내는 사시도이고, 도 9(B)는, 반송차(10)의 바닥면 측을 나타내는 사시도이다. 도 9(A) 및 도 9(B)에 도시한 바와 같이, 반송차(10)는, 각종의 구성요소가 탑재되는 판형의 프레임(82)을 구비한다. 프레임(82)의 전방 측의 양측 단부에는, 한 쌍의 차축(84)이 배치되어 있다. 차축(84)은, 일단 측이 프레임(82)의 측면에서 돌출하도록, 프레임(82)의 하면 측에 장착된다.
한 쌍의 차축(84)의 일단 측에는, 각각, 차륜(전륜)(86)이 고정되어 있다. 즉, 한 쌍의 차륜(86)이, 프레임(82)의 폭 방향(차폭 방향)으로 이격된 2 개의 위치에 배치되어 있다. 또한, 프레임(82)의 후단부의 폭 방향으로 이격된 2 개의 위치에는, 한 쌍의 차륜(후륜)(88)이 배치되어 있다. 차륜(88)은, 예컨대, 높이 방향을 따르는 회전축의 주위에 360° 회전할 수 있는 캐스터이고, 프레임(82)의 하면 측에 장착되어 있다. 차륜(86) 및 차륜(88)은, 반송차(10)가 반송로(6) 상을 주행할 때의 주행용의 차륜이다.
프레임(82)의 전단부에는, 한 쌍의 차륜(86)을 구동하는 구동 유닛(90)이 탑재되어 있다. 구동 유닛(90)은, 각각, 차축(84) 등을 통해 차륜(86)에 연결된 한 쌍의 모터(92)를 구비한다. 모터(92)는, 회전축(출력 샤프트)(92a)을 구비하고, 차륜(86)을 회전시키는 동력을 생성한다.
도 9(B)에 도시한 바와 같이, 차축(84)의 타단 측에는, 풀리(94)가 설치되어 있다. 모터(92)의 회전축(92a)과 풀리(94)에는, 벨트, 체인 등의 무단의 연결 부재(도시하지 않음)가 걸쳐져 있다. 모터(92)의 회전축(92a), 풀리(94), 및 연결 부재에 의해서 동력 전달 기구가 구성되고, 차축(84)과 모터(92)가 연결된다. 이에 따라, 모터(92)에 의해서 생성된 동력(회전력)이 차륜(86)에 전달되고, 차륜(86)이 회전한다.
구동 유닛(90)은, 한 쌍의 모터(92)에 의해서 한 쌍의 차륜(86)이 회전하는 방향을 독립적으로 제어한다. 한 쌍의 차륜(86)을 동일한 방향으로 회전시키는 것에 의해, 반송차(10)가 전진 또는 후퇴한다. 또한, 한 쌍의 차륜(86)을 서로 역방향으로 회전시키는 것에 의해, 높이 방향에 따른 회전축의 주위로 반송차(10)를 회전시키고, 반송차(10)가 진행하는 방향을 제어할 수 있다. 또한, 차륜(86) 및 차륜(88)의 구조에 제한은 없다. 예컨대, 차륜(86) 및 차륜(88)으로서, 경사진 통형의 복수의 회전체가 반송로(6)와 접촉하는 외주면에 장착된, 이른바, 매카넘 휠을 이용할 수도 있다.
구동 유닛(90)에는, 급전용의 배선(도시하지 않음)을 통해, 모터(92) 등에 전력을 공급하는 배터리(2차 전지)(96)가 접속된다. 배터리(96)는, 예컨대, 프레임(82)의 전단부에 장착되고, 차륜(86)을 회전시키기 위한 전력을 모터(92)에 공급한다. 배터리(96)로서는, 리튬 이온 배터리 등이 이용된다.
도 10은, 반송차(10)의 전단부를 나타내는 확대 사시도이다. 프레임(82)의 전단부의 하면 측에는, 충전용의 배선(충전 배선)(98)을 통해 배터리(96)에 접속되는 한 쌍의 단자(수전 단자, 受電端子)(100)가 설치되어 있다. 한 쌍의 단자(100)는, 예컨대, 반송차(10)의 외부에 설치된 급전용의 단자에 접속되고, 배터리(96)의 충전에 사용되는 전력의 공급을 받는다. 또한, 단자(100)를 이용하는 배터리(96)의 충전의 상세에 대하여는 후술한다.
도 9(A) 및 도 9(B)에 도시한 바와 같이, 프레임(82)의 하측에는, 피가공물 유닛(17)을 수용하는 용기(카세트)(102)가 격납되는 격납 영역(104)이 형성되어 있다. 격납 영역(104)은, 한 쌍의 차륜(86)과 한 쌍의 차륜(88)에 의해서 주위가 둘러싸여 있고, 또한, 차륜(86) 및 차륜(88)의 하단보다 상방에 위치한다. 이 격납 영역(104)에는, 1 또는 복수의 피가공물 유닛(17)을 수용할 수 있는 용기(102)가 배치된다.
도 11(A)는, 용기(102)를 나타내는 사시도이고, 도 11(B)는, 용기(102)를 나타내는 정면도이다. 용기(102)는, 예컨대, 평면시로 육각 기둥 모양으로 형성되고, 그 내부에 피가공물 유닛(17)을 수용 가능한 수용부(수용 공간)(102a)를 구비한다. 수용부(102a)는, 용기(102)의 일 측면 측에서 개구하는 슬릿형의 개구(102b)를 통해 용기(102)의 외부의 공간에 접속되어 있다. 피가공물 유닛(17)은, 개구(102b)를 통과하여 수용부(102a)에 반입되고, 개구(102b)를 통과하여 수용부(102a)로부터 반출된다.
도 11(B)에 도시한 바와 같이, 용기(102)는, 예컨대, 크기가 다른 2 종류의 피가공물 유닛(17a) 및 피가공물 유닛(17b)을 수용할 수 있도록 구성되어 있다. 용기(102)의 수용부(102a)에는, 피가공물 유닛(17a)을 유지할 수 있는 한 쌍의 제1 가이드 레일(106)과, 피가공물 유닛(17b)을 유지할 수 있는 한 쌍의 제2 가이드 레일(108)이 형성되어 있다.
한 쌍의 제1 가이드 레일(106)은, 미리 정해진 간격으로 수용부(102a) 상벽(102c)에 고정되어 있고, 피가공물 유닛(17a)의 하면 측을 하측에서 유지하는 유지면(106a)과, 피가공물 유닛(17a)의 수평 방향의 위치를 규정하는 측면(106b)을 구비한다. 또한, 한 쌍의 제2 가이드 레일(108)은, 미리 정해진 간격으로 수용부(102a)의 바닥벽(102d)에 고정되어 있고, 피가공물 유닛(17b)의 하면 측을 하측에서 유지하는 유지면(108a)을 구비한다. 또한, 피가공물 유닛(17b)의 수평 방향의 위치는, 용기(102)의 내측의 측면에 따라 규정된다.
한 쌍의 제1 가이드 레일(106)의 간격은, 한 쌍의 제2 가이드 레일(108)의 간격보다 좁다. 그 때문에, 한 쌍의 제1 가이드 레일(106)은, 제2 가이드 레일(108)에 의해서 유지되는 피가공물 유닛(17b)보다 작은 피가공물 유닛(17a)을 유지할 수 있다. 예컨대, 한 쌍의 제1 가이드 레일(106)에 의해서 약 200 mm(8 인치)의 직경의 피가공물(11)이 유지되고, 한 쌍의 제2 가이드 레일(108)에 의해서 약 300 mm(12 인치)의 직경의 피가공물(11)이 유지된다.
상술한 바와 같이, 용기(102)는, 동일한 종류(동일한 크기)의 복수의 피가공물 유닛(17)을 수용할 수 있도록 구성되어 있지는 않다. 이 점에서, 용기(102)의 기능 및 용도는, 동일한 종류의 복수의 피가공물 유닛(17)을 수용할 수 있는 카세트(30)의 기능 및 용도와는 크게 차이가 난다.
다만, 용기(102)나 수용부(102a)의 구조에 제한은 없다. 예컨대, 수용부(102a)는, 1 또는 3 이상의 피가공물 유닛(17)을 수용할 수 있도록 구성되는 경우가 있다. 또한, 수용부(102a)는, 동일한 종류의 복수의 피가공물 유닛(17)을 수용할 수 있도록 구성되어도 좋다.
피가공물 유닛(17)을 반송차(10)에 의해서 반송할 때에는, 도 9(A)에 도시한 바와 같이, 용기(102)가 격납 영역(104)에 격납된다. 이 때, 용기(102)의 하면은, 차륜(86)의 하단이나 차륜(88)의 하단보다 상방에 위치된다. 그 때문에, 반송차(10)의 주행 중에 용기(102)가 반송로(6)와 접촉하는 경우는 없다.
격납 영역(104)의 상방에 위치하는 프레임(82)의 상면 측의 영역에는, 용기(102)를 매달아서 승강시키는 승강 유닛(승강 기구)(110)이 설치되어 있다. 승강 유닛(110)은, 격납 영역(104)에 격납된 용기(102)를 강하시켜서, 미리 정해진 재치 영역에 재치한다. 또한, 승강 유닛(110)은, 미리 정해진 재치 영역에 재치된 용기(102)를 상승시켜서, 용기(102)를 격납 영역(104)에 격납한다.
도 12는, 용기(102)가 재치 영역(A)에 재치된 상태의 반송차(10)를 나타내는 사시도이다. 승강 유닛(110)은, 일단 측(하단측)이 용기(102)에 접속된 서스펜드 부재(112)와, 서스펜드 부재(112)의 권취(卷取) 및 송출을 실시하는 구동 기구(114)를 구비한다. 또한, 재치 영역(A)은, 예컨대, 로더·언로더(8)의 재치대(66)의 상면(제2 재치 영역(A2), 도 3 참조)이다.
도 12에 도시한 바와 같이, 승강 유닛(110)은, 4 개의 서스펜드 부재(112)를 구비한다. 서스펜드 부재(112)로서는, 예컨대, 미리 정해진 폭을 가지는 벨트가 이용된다. 4 개의 서스펜드 부재(112)의 선단부(하단부)는, 각각, 용기(102)의 상면 측의 4 개의 위치에 접속되어 있다.
용기(102)가 격납 영역(104)에 격납된 상태에서, 구동 기구(114)에 의해서 서스펜드 부재(112)가 송출되면, 용기(102)가 하강하여 재치 영역(A)에 재치된다. 또한, 용기(102)가 재치 영역(A)에 재치된 상태에서, 구동 기구(114)에 의해서 서스펜드 부재(112)가 감기면(권취되면), 용기(102)가 상승하여 격납 영역(104)에 격납된다.
서스펜드 부재(112)로서 벨트를 이용하는 경우에는, 도 12에 도시한 바와 같이, 수용부(102a)로부터 피가공물 유닛(17)이 반출될 때에 피가공물 유닛(17)이 개구(102b)를 통과하는 방향에 대해서, 벨트의 폭 방향이 따르도록, 용기(102)에 대한 벨트의 방향을 조정하여 두는 것이 바람직하다. 용기(102)는 벨트의 폭 방향으로 흔들리기 어렵기 때문에, 이 양태에서는, 용기(102)의 승강 중에 피가공물 유닛(17)이 개구(102b)로부터 튀어나올 가능성을 낮게 억제할 수 있다.
또한, 용기(102)에 대한 벨트의 방향은, 수용부(102a)에 대해서 피가공물 유닛(17)이 반입될 때에 피가공물 유닛(17)이 개구(102b)를 통과하는 방향에 대해서, 벨트의 폭 방향이 따르도록 조정되어도 좋다. 본 실시형태에서는, 벨트의 폭 방향이, 용기(102)의 개구(102b)를 포함하는 면에 대해서 수직인 방향을 따라서 배치되도록, 벨트와 용기(102)가 접속되어 있다. 또한, 서스펜드 부재(112)로서는, 권취 및 송출이 가능한 와이어 로프 등의 벨트 이외의 부재를 이용하여도 좋다.
도 9(B)에 도시한 바와 같이, 프레임(82)의 하면 측에는, 용기(102)의 상면 측에 접촉하는 복수의 접촉 부재(116)가 설치되어 있다. 복수의 접촉 부재(116)는, 각각, 대략 동일한 높이의 기둥 모양으로 형성되고, 프레임(82)의 하면으로부터 하방으로 돌출하도록 프레임(82)에 고정되어 있다. 용기(102)가 격납 영역(104)에 격납되면, 이 용기(102)의 상면 측이 복수의 접촉 부재(116)의 하단부에 접촉하여 각 접촉 부재(116)를 윗 방향으로 누른다.
접촉 부재(116)는, 예컨대, 용기(102)가 눌리면 탄성 변형을 일으키는 탄성 부재에 의해 형성된다. 즉, 접촉 부재(116)는, 격납 영역(104)에 격납된 용기(102)에 의해서 눌리면, 이 용기(102)의 상면 측의 형상을 따라서 변형하고, 용기(102)를 하방을 향해 누르는 복원력을 일으키는 탄성체에 의해서 구성된다.
접촉 부재(116)에 탄성 부재를 이용하면, 예컨대, 용기(102)가 접촉 부재(116)와 접촉했을 때의 충격이 완화되고, 용기(102)나 용기(102) 내의 피가공물 유닛(17)이 파손되기 어려워진다. 또한, 반송차(10)가 반송로(6)를 주행할 때에도, 접촉 부재(116)가 완충재가 되고, 프레임(82)의 진동이 용기(102)나 피가공물 유닛(17)에 전해지기 어려워진다.
접촉 부재(116)로서, 예컨대, 고무(우레탄고무, 실리콘 고무 등), 스펀지 등으로 이루어진 기둥 모양의 부재를 이용할 수 있다. 특히, 용기(102)와의 사이에 작용하는 마찰력이 큰 고무로 구성되는 접촉 부재(116)를 이용하는 것에 의해서, 반송 중의 용기(102)의 위치 어긋남을 억제할 수 있다. 또한, 접촉 부재(116)는, 반드시 그 전체가 탄성 부재로 구성될 필요는 없고, 적어도 접촉 부재(116)의 용기(102)와 접촉하는 영역(하단부)이 탄성 부재에 의해서 구성되어 있으면 좋다.
또한, 접촉 부재(116)는, 용기(102)의 상면 측에 대해 3 개 이상의 위치에서 접촉하는 것이 바람직하다. 본 실시형태에서는, 도 9(B)에 도시한 바와 같이, 3 개의 기둥 모양의 접촉 부재(116)가 프레임(82)에 설치된다. 이 경우에는, 용기(102)의 상면이 3 개의 접촉 부재(116)의 하단을 포함한 평면을 따라서 배치되므로, 용기(102)는 기울어지기 어려워진다. 다만, 접촉 부재(116)의 형상, 수, 배치 등의 조건은 임의로 변경될 수 있다. 예컨대, 서로 대략 평행으로 배치된 한 쌍의 선형(띠모양)의 접촉 부재(116)가 프레임(82)에 설치되어도 좋다.
또한, 프레임(82)의 진동이 용기(102)에 전달되기 어렵게 하기 위해서, 용기(102)는, 탄성 부재를 통해 서스펜드 부재(112)에 접속되어 있어도 좋다. 도 13은, 용기(102)가 탄성 부재(신축 부재)(118)를 통해 서스펜드 부재(112)에 접속된 반송차(10)를 나타내는 사시도이다. 또한, 이 경우에는, 접촉 부재(116)가 생략되어도 좋다.
서스펜드 부재(112)의 선단 측(하단 측)과 용기(102)와의 사이에는, 탄성 부재(118)가 설치되어 있다. 탄성 부재(118)는, 서스펜드 부재(112)에 흔들림이 생겼을 때에, 서스펜드 부재(112)가 길이 방향을 따라서 신축하는 부재이고, 예컨대, 고무, 용수철 등의 신축 가능한 탄성체로 이루어진다. 또한, 탄성 부재(118)로서, 신축 조인트(伸縮繼手) 등의 신축 가능한 부품을 이용할 수도 있다.
용기(102)가 격납 영역(104)에 격납되려면, 용기(102)의 상면 측이 프레임(82)이나 접촉 부재(116)와 접촉하지 않도록, 서스펜드 부재(112)의 권취량이 조정된다. 이에 따라, 예컨대, 프레임(82)이 진동해도, 그 진동은 용기(102)에 대해서 직접은 전달되지 않는다. 또한, 프레임(82)으로부터 승강 유닛(110) 및 서스펜드 부재(112)를 통해 전달되는 진동은, 탄성 부재(118)의 신축에 의해서 완화되므로, 용기(102)에 전달되기 어렵다. 이와 같이, 탄성 부재(118)는 방진재로서 기능한다.
다만, 프레임(82)의 하면 측에 접촉 부재(116)가 설치되어 있는 경우에는, 용기(102)가 접촉 부재(116)와 접촉한 상태로 격납 영역(104)에 격납되도록, 서스펜드 부재(112)의 권취량이 조정되어도 좋다. 이 경우에는, 프레임(82)으로부터 용기(102)로의 진동의 전달이 접촉 부재(116)에 의해서 완화되고, 서스펜드 부재(112)로부터 용기(102)로의 진동의 전달이 탄성 부재(118)에 의해서 완화된다.
프레임(82)의 후단부의 하측에는, 커버(120)가 설치되어 있다. 커버(120)는, 용기(102)가 격납 영역(104)에 격납될 때에, 용기(102)의 개구(102b)(도 11(A) 참조)를 덮는다. 개구(102b)가 커버(120)에 의해서 덮이면, 반송차(10)의 주행 중에 용기(102)의 수용부(102a)에 이물이 들어가는 것을 방지할 수 있고, 피가공물 유닛(17)으로의 이물의 부착이 방지된다.
또한, 반송차(10)의 주행 중에 용기(102)가 기울거나 진동해도, 피가공물 유닛(17)이 개구(102b)로부터 튀어나오는 것이 커버(120)에 의해서 방지된다. 또한, 커버(120)의 구조 및 동작의 상세한 것에 대하여는 후술한다(도 17, 도 18(A), 도 18(B) 참조).
프레임(82)의 전단부 및 후단부에는, 한 쌍의 제1 센서(122)가 설치되어 있다. 즉, 한 쌍의 제1 센서(122)는, 프레임(82)이 길이 방향(차 길이 방향)으로 이격된 2 개의 위치에 설치되어 있다. 또한, 프레임(82)의 양측 단부에는, 한 쌍의 제2 센서(124)가 설치되어 있다. 즉, 한 쌍의 제2 센서(124)는, 프레임(82)의 폭 방향(차폭 방향)으로 이격된 2 개의 위치에 배치되어 있다.
제1 센서(122)와 제2 센서(124)는, 각각, 반송차(10)가 주행하는 반송로(6)와 대향하도록 장착되고, 반송로(6)에 설치된 마크를 검출한다. 제1 센서(122) 및 제2 센서(124)에 의한 마크의 검출 결과에 기초하여, 반송차(10)의 주행, 선회, 정차 등이 제어된다. 제1 센서(122) 및 제2 센서(124)를 이용한 반송차(10)의 제어의 상세한 것에 대하여는 후술한다.
제1 센서(122) 및 제2 센서(124)가 설치되는 구체적인 위치는, 반송차(10)가 주행하는 반송로(6)의 사양 등에 따라 조정된다. 예컨대, 한 쌍의 제1 센서(122)는, 각각, 프레임(82)의 전단부와 후단부 중에서 프레임(82)의 폭 방향의 중앙 부근에 장착된다. 또한, 한 쌍의 제2 센서(124)는, 각각, 프레임(82)의 양측 단부 중에서 프레임(82)이 길이 방향의 중앙 부근에 장착된다.
또한, 한 쌍의 제2 센서(124)는, 한 쌍의 차륜(86)을 통과하는 직선 상에 나열되도록, 프레임(82)에 고정되어도 좋다. 예컨대, 한 쌍의 제2 센서(124)는, 프레임(82)의 폭 방향에 있어서 한 쌍의 차륜(86)을 사이에 두도록, 한 쌍의 차륜(86)의 외측에 설치된다. 또한, 한 쌍의 제2 센서(124)는, 프레임(82)의 폭 방향에 있어서 한 쌍의 차륜(86) 사이에 있도록, 한 쌍의 차륜(86)의 내측에 설치되어도 좋다.
이와 같이, 한 쌍의 차륜(86)을 통과하는 직선 상에 한 쌍의 제2 센서(124)를 배치함으로써, 한 쌍의 제2 센서(124)가 검출의 대상으로 하는 마크를 차륜(86)이 통과하는 것과 동시에, 이 마크를 한 쌍의 제2 센서(124)에 의해서 검출할 수 있다. 따라서, 이 마크가 검출되는 타이밍에 반송차(10)를 선회시키거나 정차시키면, 어떠한 보정도 실시하지 않고 반송차(10)의 주행을 적절히 제어할 수 있게 된다.
한편, 한 쌍의 제2 센서(124)가 한 쌍의 차륜(86)을 통과하는 직선으로부터 떨어져 있는 경우에는, 마크가 검출되는 타이밍과 함께, 한 쌍의 제2 센서(124)와 한 쌍의 차륜(86)(한 쌍의 차축(84))과의 사이의 거리나, 반송차(10)의 주행하는 속도 등을 이용하여, 반송차(10)의 선회나 정차의 타이밍을 제어하면 좋다.
또한, 도 10에 도시한 바와 같이, 프레임(82)의 전단부에는, 반송차(10)가 장애물에 충돌하는 것을 검지하는 제3 센서(126)가 설치되어 있다. 예컨대, 프레임(82)의 전단부의 양단 측에, 한 쌍의 제3 센서(126)가 장착된다. 제3 센서(126)로서는, 예컨대, 누름 버튼식의 스위치가 이용된다.
반송차(10)의 전단부가 장애물에 충돌하면, 제3 센서(126)가 작동하여 반송차(10)의 충돌이 검지된다. 그리고, 제3 센서(126)에 의해서 반송차(10)의 충돌이 검지되면, 반송차(10)는 동작을 정지한다. 또한, 반송차(10)의 충돌을 검지할 수 있다면, 제3 센서(126)의 구조나 종류에 제한은 없다.
반송차(10)는, 예컨대, 충돌 등에 기인하는 충격을 약하게 할 수 있는 유연한 외장 커버에 의해서 덮이는 경우가 있다. 이 경우에는, 반송차(10)의 전단 측을 덮는 외장 커버가 장애물에 충돌하면, 외장 커버가 변형하여 제3 센서(126)에 접촉하고, 반송차(10)의 충돌이 검지된다.
도 9(A) 및 도 9(B)에 도시한 바와 같이, 승강 유닛(110)의 상측에는, 프레임(82)에 고정된 판형의 지지대(128)가 설치되어 있다. 이 지지대(128)의 상면에는, 반송차(10)의 동작을 제어하는 제어부(제어 유닛)(130)가 고정되어 있다. 제어부(130)는, 반송차(10)의 각 구성요소(구동 유닛(90), 승강 유닛(110), 제1 센서(122), 제2 센서(124), 제3 센서(126) 등)에 접속되어 있고, 각 구성요소의 동작을 제어한다.
제어부(130)는, 예컨대, CPU(Central Processing Unit) 등의 처리 장치와, DRAM(Dynamic Random Access Memory) 등의 주 기억 장치와, 플래시 메모리 등의 보조 기억 장치를 포함하는 컴퓨터에 의해서 구성되어 있다. 보조 기억 장치에 기억되는 소프트웨어에 따라 처리 장치 등을 동작시키는 것에 의해서, 제어부(130)의 기능이 실현된다.
또한, 지지대(128) 상에는, 외부로부터의 신호(정보)를 수신하여 제어부(130)에 보내는 수신기(132)와, 제어부(130)로부터 받은 신호(정보)를 외부에 송신하는 송신기(134)가 고정되어 있다. 수신기(132)와 송신기(134)는, 각각, 제어부(130)에 접속되어 있다.
수신기(132)는, 예컨대, 반송 시스템(2)의 제어 유닛(12)으로부터 송신되는 신호를 수신하여 제어부(130)에 보낸다. 제어부(130)는, 예컨대, 수신기(132)로부터 받은 신호에 기초하여, 반송차(10)의 동작을 제어한다. 또한, 제어부(130)는, 예컨대, 통지용의 신호를 생성하여 송신기(134)에 보낸다. 송신기(134)는, 예컨대, 제어부(130)로부터 받은 신호를 반송 시스템(2)의 제어 유닛(12)(도 2 참조)에 송신한다.
또한, 반송차(10)의 각 구성요소(승강 유닛(110), 제1 센서(122), 제2 센서(124), 제3 센서(126), 제어부(130), 수신기(132), 송신기(134) 등)는, 급전용의 배선을 통해 배터리(96)에 접속되어 있고, 이 배터리(96)로부터 공급되는 전력에 의해서 동작한다.
도 14(A)는, 승강 유닛(110)의 구성예를 나타내는 평면도이고, 도 14(B)는, 승강 유닛(110)의 구성예를 나타내는 측면도이다. 상술한 바와 같이, 승강 유닛(110)은, 복수의 서스펜드 부재(112)의 권취 및 송출을 실시하는 구동 기구(114)를 구비한다. 구동 기구(114)는, 회전축(출력 샤프트)(142a)을 가지는 모터(142)를 포함한다.
모터(142)는, 회전축(142a)을 회전시키는 것에 의해, 서스펜드 부재(112)의 권취 및 송출에 이용되는 동력을 생성한다. 이 모터(142)를 사이에 두는 2 개의 위치에는, 서로 대략 평행하게 배치된 제1 회전축(제1 샤프트)(144a)과 제2 회전축(제2 샤프트)(144b)이 설치되어 있다.
제1 회전축(144a)의 일단 측에는, 풀리(146)가 설치되어 있다. 모터(142)의 회전축(142a)과 풀리(146)에는, 벨트, 체인 등의 무단의 연결 부재(148)가 걸려 있다. 모터(142)의 회전축(142a), 풀리(146), 및 연결 부재(148)에 의해서 동력 전달 기구가 구성되고, 모터(142)와 제1 회전축(144a)이 연결된다. 한편, 제2 회전축(144b)의 일단 측에는, 모터(142)와의 연결을 실현하는 풀리 등이 설치되어 있지 않다.
제1 회전축(144a)의 타단 측에는, 풀리(150a)가 설치되어 있고, 제2 회전축(144b)의 타단 측에는, 풀리(150a)와 같은 직경의 풀리(150b)가 설치되어 있다. 풀리(150a)와 풀리(150b)에는, 벨트, 체인 등의 무단의 연결 부재(152)가 걸려 있다. 풀리(150a), 풀리(150b), 및 연결 부재(152)에 의해서 동력 전달 기구가 구성되고, 제1 회전축(144a)과 제2 회전축(144b)이 연결된다.
제1 회전축(144a)의 양단부에는, 각각, 서스펜드 부재(112)가 감기는 원기둥 형상의 릴(154a)이 고정되어 있다. 또한, 각 릴(154a)보다 외측(모터(142)와는 반대측) 그리고 각 릴(154a)보다 하방의 2 개의 위치에는, 각각, 서스펜드 부재(112)를 지지하는 원기둥 형상의 롤러(156a)가 회전할 수 있도록 배치되어 있다. 각 롤러(156a)의 회전축은, 제1 회전축(144a)에 대해서 대략 평행이다.
한편, 제2 회전축(144b)의 양단부에는, 각각, 서스펜드 부재(112)가 감기는 원기둥 형상의 릴(154b)이 고정되어 있다. 또한, 각 릴(154b)보다 외측(모터(142)와는 반대측) 그리고 각 릴(154b)보다 하방의 2 개의 위치에는, 각각, 서스펜드 부재(112)를 지지하는 원기둥 형상의 롤러(156b)가 회전할 수 있도록 배치되어 있다. 각 롤러(156b)의 회전축은, 제2 회전축(144b)에 대해서 대략 평행이다.
릴(154a) 및 릴(154b)에는, 각각, 서스펜드 부재(112)의 기단 측이 고정되어 있다. 릴(154a)에 고정된 서스펜드 부재(112)는, 롤러(156a)의 외측의 부분에 접촉한 상태로, 하방으로 처진다. 또한, 릴(154b)에 고정된 서스펜드 부재(112)는, 롤러(156b)의 외측의 부분에 접촉한 상태로, 하방으로 처진다.
또한, 릴(154a)에 고정된 서스펜드 부재(112)는, 도 14(B)에 도시한 바와 같이, 릴(154a)의 상측을 지나서 롤러(156a)에 지지된다. 한편, 릴(154b)에 고정된 서스펜드 부재(112)는, 릴(154b)의 하측을 지나서 롤러(156b)에 지지된다.
모터(142)의 회전축(142a)을 제1 방향(도 14(B)에 화살표(C1)로 나타내는 방향)으로 회전시키면, 제1 회전축(144a)에 고정된 릴(154a)이 서스펜드 부재(112)를 송출하는 방향(도 14(B)에 화살표(C2)로 나타내는 방향)으로 회전한다. 이에 따라, 서스펜드 부재(112)가 릴(154a)로부터 롤러(156a)를 통해 송출된다.
또한, 제1 회전축(144a)의 토크가 연결 부재(152)에 의해서 제2 회전축(144b)에 전달되고, 제2 회전축(144b)에 고정된 릴(154b)이 서스펜드 부재(112)를 송출하는 방향(도 14(B)에 화살표(C3)로 나타내는 방향)으로 회전한다. 이에 따라, 서스펜드 부재(112)가 릴(154b)로부터 롤러(156b)를 통해 송출된다.
한편, 모터(142)의 회전축(142a)을 제1 방향과는 반대 방향의 제2 방향(도 14(B)에 화살표(D1)로 나타내는 방향)으로 회전시키면, 제1 회전축(144a)에 고정된 릴(154a)이 서스펜드 부재(112)를 권취하는 방향(도 14(B)에 화살표(D2)로 나타내는 방향)으로 회전한다. 이에 따라, 서스펜드 부재(112)가 롤러(156a)를 통해 릴(154a)에 감긴다.
또한, 제1 회전축(144a)의 토크가 연결 부재(152)에 의해서 제2 회전축(144b)에 전달되고, 제2 회전축(144b)에 고정된 릴(154b)이 서스펜드 부재(112)를 권취하는 방향(도 14(B)에 화살표(D3)로 나타내는 방향)으로 회전한다. 이에 따라, 서스펜드 부재(112)가 롤러(156b)를 통해 릴(154b)에 감긴다.
구동 기구(114)로부터 각 서스펜드 부재(112)가 송출되면, 서스펜드 부재(112)의 선단 측에 접속된 용기(102)가 하강한다. 이에 따라, 용기(102)를 재치 영역(A)에 재치할 수 있다(도 12 참조). 또한, 구동 기구(114)에 의해서 각 서스펜드 부재(112)가 감기면, 서스펜드 부재(112)의 선단 측에 접속된 용기(102)가 상승한다. 이에 따라, 용기(102)를 반송차(10)의 격납 영역(104)에 격납할 수 있다(도 9(A) 참조).
또한, 상술한 구동 기구(114)와는 구조가 상이한 다른 구동 기구가 탑재된 승강 유닛(110)을 이용할 수도 있다. 도 15(A)는, 승강 유닛(110)의 다른 구성예를 나타내는 평면도이고, 도 15(B)는, 승강 유닛(110)의 다른 구성예를 나타내는 측면도이다. 도 15(A) 및 도 15(B)에 나타내는 승강 유닛(110)에는, 상술한 구동 기구(114) 대신에, 구동 기구(162)가 탑재되어 있다.
구동 기구(162)는, 회전축(출력 샤프트)(164a)을 구비하는 모터(164)와, 서로 대략 평행하게 배치된 제1 회전축(제1 샤프트)(166a), 제2 회전축(제2 샤프트)(166b), 및 제3 회전축(제3 샤프트)(166c)을 포함한다. 제1 회전축(166a)은, 제2 회전축(166b)과 제3 회전축(166c)과의 사이에 배치된다.
모터(164)는, 예컨대, 제1 회전축(166a)과 제2 회전축(166b)의 사이에 배치되고, 회전축(164a)을 회전시키는 것에 의해, 서스펜드 부재(112)의 권취 및 송출에 이용되는 동력을 생성한다. 다만, 모터(164)는, 제1 회전축(166a)과 제3 회전축(166c)의 사이에 배치되어도 좋다.
제1 회전축(166a)의 일단 측에는, 풀리(168)가 설치되어 있다. 모터(164)의 회전축(164a)과 풀리(168)에는, 벨트, 체인 등의 무단의 연결 부재(170)가 걸쳐 있다. 모터(164)의 회전축(164a), 풀리(168), 및 연결 부재(170)에 의해서 동력 전달 기구가 구성되고, 모터(164)와 제1 회전축(166a)이 연결된다.
제1 회전축(166a)에는, 서스펜드 부재(112)가 감기는 복수의 원기둥 형상의 릴(172)이 고정되어 있다. 구체적으로는, 제1 회전축(166a)의 양 단부에, 한 쌍의 릴(172)이 고정되어 있다. 각 릴(172)에는, 2 개의 서스펜드 부재(112)가 고정되고, 동일한 방향으로 감긴다.
도 16(A)는, 릴(172)을 나타내는 평면도이고, 도 16(B)는, 릴(172)을 나타내는 측면도이다. 승강 유닛(110)은, 서스펜드 부재(112)를 릴(172)에 고정하기 위한 원기둥 형상의 고정 부재(174)를 구비하고 있고, 2 개의 서스펜드 부재(112)는, 이 고정 부재(174)에 의해서, 모아서 릴(172)에 고정된다.
도 16(B)에 도시한 바와 같이, 릴(172)의 외주부의 일부에는, 릴(172)의 회전축(즉, 제1 회전축(166a))을 따르는 홈(오목부)(172a)이 설치되어 있다. 홈(172a)의 내면은, 곡면 형상으로 형성되어 있다. 또한, 홈(172a)의 양단은, 릴(172)의 회전축 방향의 양단에 이르고 있다. 2 개의 서스펜드 부재(112)는, 이 홈(172a)에 대해서 기단부가 겹치도록, 동일한 방향으로 배치된다.
고정 부재(174)는, 홈(172a)의 내면의 형상에 대응하는 곡면 형상의 외주면을 가지고 있다. 고정 부재(174)는, 홈(172a)에 대해서 2 개의 서스펜드 부재(112)의 기단부가 겹치도록 배치된 상태로, 이 2 개의 서스펜드 부재(112)의 기단부를 홈(172a)의 내면을 향해 누르도록 홈(172a)에 감입된다. 이에 따라, 2 개의 서스펜드 부재(112)의 기단부는, 홈(172a)의 내면과 고정 부재(174)의 외주면으로 끼워지고, 릴(172)에 고정된다.
또한, 도 16(A)에 도시한 바와 같이, 릴(172)의 외주부에는, 릴(172)에 고정된 2 개의 서스펜드 부재(112)를, 그 폭 방향에서 사이에 두도록, 한 쌍의 돌기(볼록부)(172b)가 설치되어 있다. 한 쌍의 돌기(172b)는, 서스펜드 부재(112)의 폭 방향의 위치의 어긋남을 방지하는 가이드로서 기능한다. 이와 같이 구성된 릴(172)을 회전시킴으로써, 2 개의 서스펜드 부재(112)를 권취하거나, 또는, 2 개의 서스펜드 부재(112)를 송출할 수 있다.
도 15(A) 및 도 15(B)에 도시한 바와 같이, 릴(172)에 고정된 2 개의 서스펜드 부재(112)의 한쪽은, 제2 회전축(166b)에 접촉한 상태로 하방으로 처진다. 또한, 릴(172)에 고정된 2 개의 서스펜드 부재(112)의 다른 쪽은, 제3 회전축(166c)에 접촉한 상태로 하방으로 처진다.
제2 회전축(166b)과 제3 회전축(166c)은, 각각, 외부에서 부여되는 힘에 따라서 용이하게 회전할 수 있는 상태로 지지되어 있고, 외주면이 서스펜드 부재(112)에 접촉한다. 제2 회전축(166b)과 제3 회전축(166c)의 서스펜드 부재(112)가 접촉하는 영역의 양측에는, 서스펜드 부재(112)의 폭 방향의 위치의 어긋남을 방지하는 한 쌍의 가이드(176)가 설치되어 있다.
모터(164)의 회전축(164a)을 제1 방향(도 15(B)에 화살표(E1)로 나타내는 방향)으로 회전시키면, 릴(172)이 서스펜드 부재(112)를 송출하는 방향(도 15(B) 및 도 16(B)에 화살표(E2)로 나타내는 방향)으로 회전한다. 이에 따라, 2 개의 서스펜드 부재(112)가 릴(172)로부터 제2 회전축(166b)과 제3 회전축(166c)을 통하여 송출하고, 그 결과, 서스펜드 부재(112)에 접속된 용기(102)가 하강한다.
한편, 모터(164)의 회전축(164a)을 제1 방향과는 반대 방향의 제2 방향(도 15(B)에 화살표(F1)로 나타내는 방향)으로 회전시키면, 릴(172)이 서스펜드 부재(112)를 권취하는 방향(도 15(B) 및 도 16(B)에 화살표(F2)로 나타내는 방향)으로 회전한다. 이에 따라, 2 개의 서스펜드 부재(112)가 제2 회전축(166b)과 제3 회전축(166c)을 통하여 릴(172)에 감기고, 그 결과, 서스펜드 부재(112)에 접속된 용기(102)가 상승한다.
상기와 같이, 도 15(A)에 나타내는 구동 기구(162)는, 제1 회전축(166a)에 2 개의 릴(172)이 고정되고 있고, 2 개의 릴(172)의 각각 2 개의 서스펜드 부재(112)가 고정되어 있다. 그 때문에, 4 개의 서스펜드 부재(112)의 송출 및 권취는, 제1 회전축(166a)의 회전에 의해서 제어된다. 이에 따라, 구동 기구(114)를 구성하는 부품의 수를 줄이고, 반송차(10)의 경량화, 고장의 가능성의 저감, 코스트의 삭감을 도모할 수 있다.
상술한 바와 같은 승강 유닛(110)을 이용하는 것에 의해, 피가공물 유닛(17)이 수용되는 용기(102)를, 격납 영역(104)과, 이 격납 영역(104)보다 하방의 재치 영역(A)과의 사이에 승강시킬 수 있다. 승강 유닛(110)의 세부는, 용기(102)를 적절히 승강할 수 있는 범위 내에서 변경될 수 있다.
또한, 제2 회전축(166b) 및 제3 회전축(166c)은, 회전하지 않는 상태로 고정되어 있어도 좋다. 이 경우에는, 서스펜드 부재(112)는, 제2 회전축(166b) 또는 제3 회전축(166c)의 외주면을 미끄러지도록 이동하면서, 릴(172)로부터 송출되거나 또는 릴(172)에 감긴다.
도 17은, 커버(120)를 나타내는 확대 사시도이다. 커버(120)는, 격납 영역(104)에 격납된 용기(102)의 일 측면(후방부)에 대해서 대향하도록, 프레임(82)의 하면 측의 후단부에 배치되어 있다. 이 커버(120)는, 프레임(82)에 대해서 회전할 수 있도록 프레임(82)에 연결된 덮개부(182)를 포함한다. 덮개부(182)는, 용기(102)의 개구(102b)(도 18(B) 참조)를 덮을 수 있는 형상 및 크기로 형성되어 있다. 또한, 덮개부(182)의 상부에는, 용기(102)의 상면 측과 접촉하도록 복수의 접촉부(184)가 고정되어 있다.
격납 영역(104)을 향해 용기(102)가 상승하면, 용기(102)의 상면 측이 접촉부(184)의 하단부에 접촉하여 접촉부(184)를 밀어올린다. 이에 따라, 용기(102)에 대해서 가까워지는 방향으로 덮개부(182)가 이동(회전)하고, 용기(102)의 개구(102b)가 덮개부(182)에 의해서 덮인다.
도 18(A)는, 격납 영역(104)에 용기(102)가 격납되어 있지 않은 상태의 커버(120)를 나타내는 측면도이고, 도 18(B)는, 격납 영역(104)에 용기(102)가 격납된 상태의 커버(120)를 나타내는 측면도이다. 프레임(82)의 하면에는, 고정 블록(186)이 고정되어 있다. 고정 블록(186)에는, 프레임(82)의 폭 방향(차폭 방향)에서 본 형상이 L자형의 연결 블록(L자 블록)(188)을 회전할 수 있는 양태로 연결된다.
연결 블록(188)은, 상방(프레임(82) 측)의 연결부(188a)와, 연결부(188a)보다 하방의 고정부(188b)를 포함하고 있다. 연결부(188a)에는, 프레임(82)의 폭 방향으로 관통하는 관통 구멍이 설치되어 있고, 이 관통 구멍에는, 고정 블록(186)에 고정되는 연결축(190)이 삽입된다. 이에 따라, 연결 블록(188)은, 연결축(190)의 주위를 회전할 수 있는 상태로 고정 블록(186)에 연결된다.
고정부(188b)의 격납 영역(104) 측(전측, 前側)에는, 덮개부(182)가 고정된다. 또한, 관통 구멍에 삽입되는 연결축(190)은, 프레임(82)의 폭 방향에 대해서 대략 평행하므로, 덮개부(182)는, 연결 블록(188)과 함께 프레임(82)의 폭 방향에 대해서 대략 수직인 면을 따라서 회전하게 된다.
덮개부(182)는, 연결 블록(188)의 고정부(188b)에 고정된 판형 부재(182a)를 구비한다. 판형 부재(182a)의 격납 영역(104) 측(전측)의 면에는, 유연 부재(182b)가 설치되어 있다. 유연 부재(182b)는, 용기(102)의 개구(102b)의 전체를 덮을 수 있는 형상 및 크기로 형성되어 있다.
또한, 판형 부재(182a)의 격납 영역(104) 측(전측)에게는, 접촉부(184)가 배치되어 있다. 접촉부(184)는, 예컨대, 유연 부재(182b)보다 상방으로 판형 부재(182a)에 고정되는 고정 부재(184a)와, 고정 부재(184a)의 격납 영역(104) 측(전측)의 부분에 지지되는 롤러(184b)를 포함하고 있다.
롤러(184b)는, 예컨대, 고무 등의 탄성 부재에 의해서 형성되고, 프레임(82)의 폭 방향에 대해서 대략 평행한 회전축의 주위를 회전할 수 있도록 고정 부재(184a)에 지지되고 있다. 또한, 롤러(184b)의 하단은, 고정 부재(184a)의 하단보다 하방에 위치되어 있다. 그 때문에, 용기(102)의 상면 측이 롤러(184b)에 접촉한 상태에서는, 덮개부(182)의 회전에 맞추어 이 롤러(184b)도 회전한다.
예컨대, 격납 영역(104)을 향해 용기(102)가 상승하면, 용기(102)의 상면 측이 접촉부(184)의 롤러(184b)에 접촉하고, 이 접촉부(184)를 밀어올린다. 그러면, 커버(120)는, 연결축(190)을 중심으로, 그 하단측이 용기(102)에 대해서 가까워지는 방향(도 18(B)에 화살표(G)로 나타내는 방향)으로 회전하고, 판형 부재(182a)의 격납 영역(104) 측(전측)의 면이 프레임(82)의 하면에 대해서 대략 평행하게 된다. 그리고, 덮개부(182)의 유연 부재(182b)가 용기(102)의 일 측면(후방부)에 접촉하고, 개구(102b)를 막는다.
또한, 격납 영역(104)에 격납된 용기(102)의 개구(102b)가 노출된 채인 경우에는, 용기(102)의 수용부(102a)에 먼지 등의 이물이 들어갈 가능성이 있다. 특히, 반송차(10)의 주행 중에는, 반송로(6)와 차륜(88)의 마찰로 발생하는 정전기에 의해, 예컨대, 반송로(6)가 설치되는 클린룸 내에 매우 적게 존재하는 이물이 반송차(10)에 이끌려서, 수용부(102a)에 들어갈 가능성이 높다.
그래서 본 실시형태에서는, 격납 영역(104)에 용기(102)가 격납되면, 용기(102)의 개구(102b)가 커버(120)에 의해서 덮이도록 하고, 반송차(10)의 주행 중에 용기(102)의 수용부(102a)에 이물이 들어가지 않도록 하고 있다. 또한, 반송차(10)의 주행 중에 용기(102)가 기울거나 진동해도, 피가공물 유닛(17)이 용기(102)로부터 튀어나오지 않도록 하고 있다.
한편, 용기(102)를 승강 유닛(110)에 의해서 승강시키는 동안은, 반송로(6)와 차륜(88)의 마찰로 정전기가 발생하지 않고, 또한, 반송차(10)의 이동에 의해서 이물을 감아 올리는 일도 없다. 그 때문에, 용기(102)의 승강 중에 용기(102)의 개구(102b)가 덮이지 않아도, 수용부(102a)에 이물이 들어갈 가능성은 낮다.
또한, 커버(120)의 개구(102b)에 대응하는 영역에는, 유연 부재(182b)가 설치되어 있다. 유연 부재(182b)는, 예컨대, 용기(102)에 수용된 피가공물 유닛(17)이 충돌하면 변형하여, 이 피가공물 유닛(17)에 작용하는 충격을 완화한다. 즉, 유연 부재(182b)는, 완충재로서 기능한다. 이 유연 부재(182b)에 의해, 피가공물 유닛(17)에 포함되는 피가공물(11)이 파손되기 어려워진다.
유연 부재(182b)의 재질이나 구조 등에 제한은 없다. 예컨대, 피가공물 유닛(17)의 피가공물(11)이 파손하지 않을 정도로 충격을 완화할 수 있는 유연 부재(182b)를 이용하면 좋다. 보다 구체적으로는, 유연 부재(182b)로서, 스펀지, 고무, 면, 천 등으로 이루어진 부재나, 발포 스티롤, 기포 완충재 등을 이용할 수 있다.
특히, 스펀지는, 유연하고 변형하기 쉽기 때문에, 유연 부재(182b)로서 스펀지를 이용하면, 피가공물 유닛(17)에 작용하는 충격을 효과적으로 완화할 수 있다. 또한, 유연 부재(182b)로서 스펀지를 이용하면, 용기(102)에 측면의 형상을 따라서 유연 부재(182b)가 적절히 변형하고, 개구(102b)가 확실히 막힌다.
커버(120)의 각 부분의 중량은, 도 18(A)에 도시한 바와 같이, 격납 영역(104)으로부터 용기(102)를 하강시킬 때에, 커버(120)가 자체 무게에 의해서, 그 하단부가 격납 영역(104)으로부터 멀어지는 방향(도 18(B)에 화살표(G)로 나타내는 방향과는 반대의 방향)으로 회전하도록 조정되어 있다. 따라서, 격납 영역(104)에 용기(102)가 격납되어 있지 않은 상태에서는, 판형 부재(182a)의 격납 영역(104) 측(전측)의 면이 프레임(82)의 하면에 대해서 기운다.
또한, 커버(120)의 수 및 배치에 제한은 없다. 예컨대, 프레임(82)의 후단부에 더하여 프레임(82)의 전단부에도, 용기(102)의 측면에 접촉하는 커버(120)를 마련할 수 있다. 이 경우에는, 용기(102)가 격납 영역(104)에 격납되면, 용기(102)의 2 개의 측면(전방부 및 후방부)이 한 쌍의 커버(120)에 의해서 끼워진다. 이에 따라, 용기(102)의 흔들림(진동)이 억제된다. 또한, 이 경우에는, 프레임(82)이 길이 방향(전후 방향)에 있어서의 용기(102)의 흔들림(진동)을 특히 억제하기 용이하다.
또한, 프레임(82)의 전단부, 후단부, 및 양측 단부에, 각각 커버(120)가 설치되어도 좋다. 이 경우에는, 격납 영역(104)에 격납된 용기(102)의 4 개의 측면(전방부, 후방부, 양 측부)이, 각각 커버(120)와 접촉한다. 이에 따라, 용기(102)의 흔들림(진동)이 억제된다. 또한, 이 경우에는, 프레임(82)이 길이 방향(전후 방향) 및 폭 방향에 있어서의 용기(102)의 흔들림(진동)을 특히 억제하기 용이하다.
용기(102)의 승강 시에는, 승강 유닛(110)의 모터(142) 등의 회전이, 제어부(130)에 의해서 제어된다. 도 19(A)는, 격납 영역(104)에 격납된 용기(102)가 재치 영역(A)에 재치될 때의 반송차(10)를 나타내는 측면도이다. 용기(102)를 재치 영역(A)에 재치할 때에는, 구동 기구(114)로부터 서스펜드 부재(112)가 임의의 속도로 송출되도록, 모터(142)의 회전 방향 및 회전수가 제어된다. 예컨대, 제어부(130)는, 모터(142)의 회전수가 유지되도록, 모터(142)의 전류값을 제어한다.
도 19(B)는, 용기(102)가 하강할 때의 모터(142)의 전류값을 나타내는 그래프이다. 용기(102)가 하강하여 재치 영역(A)에 도달하면, 용기(102)가 재치 영역(A)에서 하측에서 지지된다. 그 결과, 모터(142)의 회전축(142a)에 작용하는 부하가 약해지고, 모터(142)의 전류값이 감소한다.
제어부(130)는, 용기(102)가 재치 영역(A)에 재치되었을 때의 모터(142)의 전류값의 변화에 기초하여, 모터(142)의 회전을 정지시킨다. 예컨대, 제어부(130)에는, 미리 정해진 임계값이 기억되어 있고, 제어부(130)는, 이 임계값과 모터(142)의 전류값을 비교한다. 그리고, 모터(142)의 전류값이 임계값 이하인 경우(또는 임계값 미만인 경우)에는, 제어부(130)는, 모터(142)의 회전을 정지시킨다. 이에 따라, 재치 영역(A)에의 용기(102)의 재치가 완료된다.
도 20(A)는, 재치 영역(A)에 재치된 용기(102)가 격납 영역(104)에 격납될 때의 반송차(10)를 나타내는 측면도이다. 용기(102)를 격납 영역(104)에 격납할 때에는, 서스펜드 부재(112)가 구동 기구(114)에 의해서 임의의 속도로 감기도록, 모터(142)의 회전 방향 및 회전수가 제어된다. 예컨대, 제어부(130)는, 모터(142)의 회전수가 유지되도록, 모터(142)의 전류값을 제어한다.
도 20(B)는, 용기(102)가 상승할 때의 모터(142)의 전류값을 나타내는 그래프이다. 용기(102)가 상승하여 격납 영역(104)에 도달하면, 프레임(82)의 하면 측에 설치된 복수의 접촉 부재(116)에 용기(102)가 눌러진다. 그 결과, 모터(142)의 회전축(142a)에 작용하는 부하가 강해지고, 모터(142)의 전류값이 증가한다.
제어부(130)는, 용기(102)가 접촉 부재(116)와 접촉했을 때의 모터(142)의 전류값의 변화에 기초하여, 모터(142)의 회전을 정지시킨다. 예컨대, 제어부(130)에는, 미리 정해진 임계값이 기억되어 있고, 제어부(130)는, 이 임계값과 모터(142)의 전류값을 비교한다. 그리고, 모터(142)의 전류값이 임계값 이상인 경우(또는 임계값을 넘는 경우)에는, 제어부(130)는, 모터(142)의 회전을 정지시킨다. 이에 따라, 격납 영역(104)로의 용기(102)의 격납이 완료된다.
상기와 같이, 용기(102)를 승강시킬 때의 모터(142)의 동작을, 모터(142)의 전류값에 기초하여 제어하는 경우에는, 용기(102)를 검지하기 위한 센서를 격납 영역(104)이나 재치 영역(A)에 마련할 필요가 없다. 이에 따라, 반송차(10)나 재치 영역(A) 등의 구조가 간략화된다. 또한, 반송차(10)의 중량도 저감된다.
다만, 모터(142)의 제어 방법에 제한은 없다. 예컨대, 프레임(82)의 하면 측이나 재치 영역(A)의 상면 측에는, 용기(102)가 배치된 것을 검지하는 센서(누름 버튼식의 스위치 등)가 설치되어도 좋다. 이 경우에는, 센서에 의해서 용기(102)가 검지되면, 제어부(130)는, 모터(142)의 회전을 정지시킨다. 또한, 센서에 의한 검지와, 모터(142)의 전류값에 의한 검지를 병용할 수도 있다.
또한, 재치 영역(A)에 용기(102)가 재치된 것을 재치 영역(A) 측(예컨대, 로더·언로더(8) 측)만으로 검지하는 경우에는, 반송 시스템(2)의 제어 유닛(12)(도 2 참조)은, 용기(102)가 재치 영역(A)에 재치된 것을 재치 영역(A) 측으로부터 통지된 후에, 모터(142)의 회전을 정지시키도록 반송차(10)에 지시를 내린다. 그리고, 반송차(10)의 제어부(130)가 모터(142)의 회전을 정지시킨다.
이에 대해서, 상술한 바와 같이, 재치 영역(A)에 용기(102)가 재치된 것을 반송차(10) 측에서 검지하는 경우에는, 반송차(10)의 제어부(130)는, 반송 시스템(2)의 제어 유닛(12)으로부터의 지시를 기다리지 않고, 스스로의 판단으로 모터(142)의 회전을 정지시킨다. 이에 따라, 용기(102)가 재치 영역(A)에 재치되고 나서 모터(142)의 회전을 정지시킬 때까지의 타임 래그를 작게 할 수 있다.
또한, 용기(102)의 승강 속도는, 반드시 일정하지 않아도 좋다. 예컨대, 용기(102)가 재치 영역(A)에 재치되기 직전이나 격납 영역(104)에 격납되기 직전에, 모터(142)의 회전수를 내려서 용기(102)를 감속시켜도 좋다. 이에 따라, 재치 영역(A)이나 접촉 부재(116)에 용기(102)가 접촉할 때의 충격을 완화할 수 있다. 또한, 이 경우에는, 제어부(130)는, 예컨대, 모터(142)의 회전량 등에 기초하여 용기(102)의 높이를 감시하면 좋다.
용기(102)가 재치 영역(A)에 재치되면, 제어부(130)는, 용기(102)의 재치가 완료된 취지를 통지하기 위한 신호를 생성하고, 송신기(134)로부터 반송 시스템(2)의 제어 유닛(12)에 송신한다. 또한, 용기(102)가 격납 영역(104)에 격납되면, 제어부(130)는, 용기(102)의 격납이 완료된 취지를 통지하기 위한 신호를 생성하고, 송신기(134)로부터 반송 시스템(2)의 제어 유닛(12)(도 2 참조)에 송신한다. 또한, 이러한 신호는, 가공 장치(4)에 보내져도 좋다.
도 21은, 가공 장치(4)나 반송로(6)의 외관을 나타내는 사시도이고, 도 22는, 가공 장치(4)의 내부의 구조를 나타내는 사시도이다. 또한, 도 21에서는, 일부의 구성요소를 기능 블록으로 나타내고 있다. 도 21 및 도 22에 도시한 바와 같이, 가공 장치(4)는, 각 구성요소를 지지하는 베이스(202)를 구비하고 있다.
베이스(202)의 모서리부에는, 오목부(202a)가 형성되어 있고, 이 오목부(202a)에는, 승강 기구(도시하지 않음)에 의해서 승강하는 승강대(204)가 배치되어 있다. 승강대(204)의 상면의 재치 영역(A)에는, 상술한 반송차(10)의 용기(102)가 실린다. 또한, 승강대(204)의 상면에는, 용기(102)의 수평 방향의 위치를 규정하는 복수의 위치 규정 부재(도시하지 않음)가 설치되어 있고, 반송차(10)로부터 강하한 용기(102)는, 복수의 위치 규정 부재에 의해서 정해지는 재치 영역(A)에 실린다.
각 위치 규정 부재는, 예컨대, 강하하는 용기(102)를 재치 영역(A)을 향해 가이드하는 곡면 형상의 가이드면을 구비하고, 승강대(204) 상의 용기(102)의 측면에 대응하는 위치에 고정되어 있다. 용기(102)를 승강대(204)를 향해서 하강시킬 때에는, 각 위치 규정 부재의 가이드면을 따라 용기(102)가 가이드된다. 그 때문에, 만일, 용기(102)가 수평 방향으로 요동했다고 해도, 용기(102)를 재치 영역(A)에 실을 수 있다.
예컨대, 승강대(204)의 재치 영역(A)보다 하방의 영역에는, 가공 후의 피가공물 유닛(17)을 일시적으로 수용할 수 있는 수용 영역이 형성되어 있다. 가공 장치(4)에서 가공된 후의 피가공물 유닛(17)은, 반송차(10)의 용기(102)에 대한 반송의 준비가 갖추어질 때까지의 사이에, 이 수용 영역에 수용된다. 또한, 승강대(204)의 재치 영역(A)보다 하방의 영역에는, 수용 영역 외에도, 자외선을 조사하는 조사 유닛, 노치의 위치를 검출하는 검출 유닛, 바코드 등을 판독하는 판독 유닛 등이 배치되는 경우가 있다.
오목부(202a)의 측방에는, X2축 방향(전후 방향, 가공 이송 방향)으로 긴 오목부(202b)가 형성되어 있다. 오목부(202b) 내에는, X축 이동 테이블(도시하지 않음)을 X2축 방향으로 이동시키는 볼 나사 식의 X축 이동 기구(가공 이송 유닛)(206)가 배치되어 있다. X축 이동 테이블의 상방에는, 테이블 커버(206a)가 배치되어 있다. 또한, 테이블 커버(206a)의 전후에는, 벨로우즈 형상의 방진방적 커버(206b)가 장착되어 있다.
X축 이동 테이블의 상부에는, 피가공물(11)을 유지하는 척 테이블(208)이 테이블 커버(206a)로부터 노출되는 양태로 배치되어 있다. 척 테이블(208)은, 모터 등의 회전 구동원(도시하지 않음)에 연결되어 있고, Z2축 방향(수직 방향, 절입 이송 방향)에 대략 평행한 회전축의 주위로 회전한다. 또한, 척 테이블(208)은, 상술한 X축 이동 기구(206)에 의해서 X2축 방향으로 이동한다(가공 이송).
척 테이블(208)의 상면은, 테이프(13)를 통해 피가공물(11)을 유지하기 위한 유지면(208a)으로 되어 있다. 유지면(208a)은, 척 테이블(208)의 내부에 형성된 흡인로(도시하지 않음) 등을 통해 흡인원(도시하지 않음)에 접속되어 있다. 또한, 척 테이블(208)의 주위에는, 피가공물(11)을 지지하는 프레임(15)을 사방에서 고정하기 위한 4 개의 클램프(210)가 설치되어 있다.
오목부(202b)의 상방에는, Y2축 방향(좌우 방향, 인덱싱 이송 방향)에 평행한 상태를 유지하면서 접근, 이격되는 한 쌍의 가이드 레일(212)이 설치되어 있다. 한 쌍의 가이드 레일(212)은, 각각, 프레임(15)을 하방으로부터 지지하는 지지면과, 지지면에 대략 수직인 측면을 구비하고, 재치 영역(A)의 용기(102)로부터 인출된 피가공물 유닛(17)(프레임(15))을 X2축 방향에서 사이에 두고 미리 정해진 위치에 맞춘다.
베이스(202)의 상방에는, 도어형의 제1 지지 구조(214)가 오목부(202b)를 넘도록 배치되어 있다. 제1 지지 구조(214)의 전면(가이드 레일(212) 측의 면)에는, Y2축 방향을 따르는 제1 레일(216)이 고정되어 있고, 이 제1 레일(216)에는, 제1 이동 기구(218) 등을 통해 제1 유지 유닛(220)이 연결되어 있다.
제1 유지 유닛(220)은, 예컨대, 프레임(15)의 상면에 접촉하여 이 프레임(15)을 흡착하고, 제1 이동 기구(218)에 의해서 승강하고, 제1 레일(216)을 따라서 Y2축 방향으로 이동한다. 제1 유지 유닛(220)의 승강대(204) 측에는, 프레임(15)을 파지하기 위한 파지 기구(220a)가 설치되어 있다.
예컨대, 파지 기구(220a)로 프레임(15)을 파지하여 제1 유지 유닛(220)을 Y2축 방향으로 이동시키면, 재치 영역(A)의 용기(102)로부터 피가공물 유닛(17)을 한 쌍의 가이드 레일(212)에 인출하거나, 또는, 한 쌍의 가이드 레일(212) 상의 피가공물 유닛(17)을 재치 영역(A)의 용기(102)에 삽입할 수 있다. 또한, 한 쌍의 가이드 레일(212)로 프레임(15)의 위치를 맞춘 후에는, 제1 유지 유닛(220)으로 이 프레임(15)을 흡착하여, 피가공물 유닛(17)을 척 테이블(208)로 반입한다.
또한, 제1 지지 구조(214)의 전면에는, Y2축 방향을 따르는 제2 레일(222)이 제1 레일(216)의 상방에 고정되어 있다. 이 제2 레일(222)에는, 제2 이동 기구(224) 등을 통해 제2 유지 유닛(226)이 연결되어 있다. 제2 유지 유닛(226)은, 예컨대, 프레임(15)의 상면에 접촉하여 이 프레임(15)을 흡착하고, 제2 이동 기구(224)에 의해서 승강하고, 제2 레일(222)을 따라서 Y2축 방향으로 이동한다.
제1 지지 구조(214)의 후방에는, 도어형의 제2 지지 구조(228)가 배치되어 있다. 제2 지지 구조(228)의 전면(제1 지지 구조(214) 측의 면)에는, 각각, Y축 Z축 이동 기구(인덱싱 이송 유닛, 절입 이송 유닛)(230)를 통해 2 조의 가공 유닛(절삭 유닛)(232)이 설치되어 있다. 각 가공 유닛(232)은, 대응하는 Y축 Z축 이동 기구(230)에 의해서 Y2축 방향으로 이동하고(인덱싱 이송), Z2축 방향으로 이동한다(절입 이송).
각 가공 유닛(232)은, Y2축 방향에 대략 평행한 회전축이 되는 스핀들(도시하지 않음)을 구비하고 있다. 각 스핀들의 일단 측에는, 원환 형상의 절삭 블레이드(234)가 장착되어 있다. 각 스핀들의 타단 측에는, 모터 등의 회전 구동원(도시하지 않음)이 연결되어 있다. 또한, 절삭 블레이드(234)의 부근에는, 피가공물(11)이나 절삭 블레이드(234)에 순수 등의 절삭액을 공급하기 위한 노즐이 배치되어 있다.
이 노즐로부터 절삭액을 공급하면서, 회전시킨 절삭 블레이드(234)를 척 테이블(208)에 유지된 피가공물(11)에 절입시킴으로써, 피가공물(11)을 가공(절삭)할 수 있다. 가공 유닛(232)에 인접하는 위치에는, 척 테이블(208)에 유지된 피가공물(11) 등을 촬상하기 위한 촬상 유닛(카메라)(236)이 설치되어 있다. 이 촬상 유닛(236)도, Y축 Z축 이동 기구(230)에 의해서 Y2축 방향으로 이동하고, Z2축 방향으로 이동한다.
오목부(202b)에 대해서 승강대(204)와 반대측의 위치에는, 세정 유닛(238)이 배치되어 있다. 세정 유닛(238)은, 통형의 세정 공간 내에서 피가공물(11)을 유지하는 스피너 테이블(240)을 구비하고 있다. 스피너 테이블(240)의 하부에는, 스피너 테이블(240)을 미리 정해진 속도로 회전시키는 회전 구동원(도시하지 않음)이 연결되어 있다.
스피너 테이블(240)의 상방에는, 스피너 테이블(240)에 의해 유지된 피가공물(11)을 향해서 세정용의 유체(대표적으로는, 물과 에어를 혼합한 혼합 유체)를 분사하는 분사 노즐(242)이 배치되어 있다. 피가공물(11)을 유지한 스피너 테이블(240)을 회전시켜서, 분사 노즐(242)로부터 세정용의 유체를 분사함으로써, 피가공물(11)을 세정할 수 있다.
가공 유닛(232)으로 피가공물(11)을 절삭한 후에는, 예컨대, 제2 유지 유닛(226)으로 프레임(15)을 흡착하여 피가공물 유닛(17)을 세정 유닛(238)에 반입한다. 세정 유닛(238)으로 피가공물(11)을 세정한 후에는, 예컨대, 제1 유지 유닛(220)으로 프레임(15)을 흡착하여 피가공물 유닛(17)을 한 쌍의 가이드 레일(212)에 싣고, 그 후, 이 프레임(15)을 파지 기구(220a)로 파지하여 피가공물 유닛(17)을 재치 영역(A)의 용기(102)에 수용한다.
도 21에 도시한 바와 같이, 베이스(202)의 상면 측은, 커버(244)에 의해서 덮여 있고, 상술한 각 구성요소는, 커버(244)의 내측에 수용된다. 오목부(202a)의 바로 위의 영역에는, 커버(244)의 천정(244a)을 상하로 관통하는 개구(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 반송차(10)의 용기(102)는, 이 개구를 통해서 커버(244)의 외부에서 내부로 이동하고, 이 개구를 통해서 커버(244)의 내부에서 외부로 이동한다. 개구의 형상이나 크기에 제한은 없지만, 이 개구는, 적어도 용기(102)를 통과할 수 있도록 구성될 필요가 있다.
상술한 가공 장치(4)의 각 구성요소는, 제어 장치(246)에 접속되어 있다. 제어 장치(246)는, 예컨대, CPU(Central Processing Unit) 등의 처리 장치와, DRAM(Dynamic Random Access Memory) 등의 주 기억 장치와, 플래시 메모리 등의 보조 기억 장치를 포함한 컴퓨터에 의해서 구성되어 있다. 보조 기억 장치에 기억되는 소프트웨어에 따라 처리 장치 등을 동작시키는 것에 의해서, 제어 장치(246)의 기능이 실현된다.
제어 장치(246)에는, 외부로부터의 신호(정보)를 수신하여 제어 장치(246)에 보내는 수신기(248)와, 제어 장치(246)로부터 받은 신호(정보)를 외부에 송신하는 송신기(250)가 더 접속되어 있다. 수신기(248)는, 예컨대, 반송 시스템(2)의 제어 유닛(12)으로부터 송신되는 신호(제어 신호)를 수신하여 제어 장치(246)에 보낸다.
제어 장치(246)는, 예컨대, 수신기(248)로부터 받은 신호에 기초하여, 가공 장치(4)의 각 구성요소의 동작을 제어한다. 또한, 제어 장치(246)는, 예컨대, 통지용의 신호를 생성하여 송신기(250)에 보낸다. 송신기(250)는, 예컨대, 제어 장치(246)로부터 받은 신호를 반송 시스템(2)의 제어 유닛(12)에 송신한다.
베이스(202)의 측벽에는, 각종의 배관(21)이 접속되는 배관 접속부(202c)가 설치되어 있다. 또한, 커버(244)의 측벽에는, 메인터넌스 시 등에 개폐되는 문(244b)이 설치되어 있다. 또한, 커버(244)의 측벽에는, 제어 장치(246)에 대한 지시 등이 입력되는 조작 패널(도시하지 않음)이나, 가공 장치(4)에 관한 각종의 정보가 표시되는 디스플레이(도시하지 않음) 등이 설치되어 있어도 좋다.
이 가공 장치(4)는, 본 실시형태의 반송 시스템(2)에 연동하여 동작한다. 예컨대, 반송차(10)는, 반송로(6) 상의 정차 영역에 정차하고, 피가공물 유닛(17)이 수용된 용기(102)를, 가공 장치(4)의 승강대(204)의 상면(재치 영역(A))에 재치한다. 승강대(204)에 용기(102)가 재치되면, 반송차(10)의 제어부(130)는, 그 취지를 통지하기 위한 신호를 생성하고, 송신기(134)에 발신시킨다. 이 신호는, 송신기(134)로부터 반송 시스템(2)의 제어 유닛(12)에 송신된다.
제어 유닛(12)은, 반송차(10)의 송신기(134)로부터 송신된 신호에 기초하여, 용기(102)로부터 가공 전의 피가공물 유닛(17)을 반출하고, 가공 후의 피가공물 유닛(17)을 용기(102)로 반입하는 취지를 가공 장치(4)에 지시하기 위한 신호를 생성한다. 제어 유닛(12)으로부터의 신호를 가공 장치(4)의 수신기(248)가 수신하고, 이 신호에 기초하는 지시를 제어 장치(246)가 받으면, 제어 장치(246)는, 승강대(204)의 상면(재치 영역(A))에 재치된 용기(102)로부터 가공 전의 피가공물 유닛(17)을 제1 유지 유닛(220)에 반출시킨다. 이에 따라, 피가공물 유닛(17)이 한 쌍의 가이드 레일(212)에 인출되고, 피가공물(11)의 가공이 개시된다.
예컨대, 피가공물(11)의 가공이 개시되면, 제어 장치(246)는, 승강대(204)의 높이를 조정하고, 재치 영역(A)의 하방에 설치되어 있는 수용 영역에서 가공 후의 피가공물 유닛(17)을 한 쌍의 가이드 레일(212)에 인출한다. 그리고, 한 쌍의 가이드 레일(212) 상의 가공 후의 피가공물 유닛(17)을 승강대(204) 상의 용기(102)에 수용한다.
가공 후의 피가공물 유닛(17)이 용기(102)에 수용되면, 가공 장치(4)의 제어 장치(246)는, 그 취지를 통지하기 위한 신호를 생성하고, 송신기(250)로부터 반송 시스템(2)의 제어 유닛(12)에 송신한다. 제어 유닛(12)은, 가공 장치(4)의 송신기(250)로부터 송신된 신호에 기초하여, 다음의 목적지로 향하는 취지를 반송차(10)에 지시하기 위한 신호를 생성한다.
제어 유닛(12)으로부터의 신호를 반송차(10)의 수신기(132)가 수신하고, 이 신호에 기초하는 지시를 제어부(130)가 받으면, 제어부(130)는, 다음의 목적지를 향해 반송차(10)를 주행시킨다. 이와 같이, 반송 시스템(2)을 이용함으로써, 가공 장치(4)는, 가공 전의 피가공물 유닛(17)을 적시에 수취하고, 가공 후의 피가공물 유닛(17)을 적시에 회수시킬 수 있다.
도 1나 도 21 등에 도시한 바와 같이, 반송 시스템(2)을 구성하는 반송로(6)는, 각 가공 장치(4)가 각각 구비하는 커버(244)의 천정(244a)의 상면 측이나, 로더·언로더(8)가 구비하는 케이스(22)의 천정(22a)의 상면 측 등에 설치된다. 즉, 반송로(6)는, 복수의 가공 장치(4)나 로더·언로더(8) 등의 사이를 접속하도록, 가공 장치(4)나 로더·언로더(8) 등의 바로 위에 배치되어 있다.
그 때문에, 가공 장치(4)의 측면에 설치되어 있는 배관 접속부(202c)나 문(244b) 등의 구조에 대해서, 반송로(6)가 간섭하는 일은 없다. 즉, 반송로(6)를 설계할 때에, 가공 장치(4)의 측면의 구조를 고려할 필요가 없어진다. 이에 따라, 반송 시스템(2)을 용이하게 구축할 수 있다. 또한, 공장의 천정 등에 비해 낮은 장소에 반송로(6)가 배치되므로, 반송로(6)의 설치에 걸리는 작업도 용이하게 된다.
그리고, 예컨대, 복수의 가공 장치(4) 등이 이미 설치된 환경에서 반송로(6)를 구축하는 경우에는, 공장의 천정 등에 반송로를 마련하는 경우와 같이, 가공 장치(4) 등을 이동시켜 작업 스페이스를 확보할 필요가 없다. 또한, 이미 설치된 가공 장치(4) 등이 반송로(6)의 토대가 되므로, 새롭게 토대를 마련하는 경우 등에 비해 작업의 공정수도 적어진다.
도 23은, 가공 장치(4)에 설치된 반송로(6)의 일부를 나타내는 사시도이다. 또한, 로더·언로더(8)의 상방에 설치되는 반송로(6)의 구조 등은, 가공 장치(4)의 상방에 설치되는 반송로(6)의 구조 등과 대략 동일하다. 복수의 가공 장치(4)의 천정(244a)이나 로더·언로더(8)의 천정(22a) 등에는, 나사나 볼트 등에 의해 하단 프레임(262)이 고정된다.
하단 프레임(262)은, 예컨대, 알루미늄 등의 금속을 포함한 재료로 형성된 봉 형상의 프레임 부재의 복합체이고, 예컨대, 인접하는 가공 장치(4)나 로더·언로더(8)와의 사이를 연결하는 형상으로 조립되어 있다. 이 하단 프레임(262)을, 각 가공 장치(4)의 천정(244a)이나 로더·언로더(8)의 천정(22a) 등에 대해서 고정함으로써, 반송로(6)의 토대가 형성된다.
또한, 각 가공 장치(4)나 로더·언로더(8) 등에 대해서 하단 프레임(262)을 고정할 때에는, 하단 프레임(262)의 상면이 대략 수평이 되고, 또한, 하단 프레임(262)의 상면의 높이가 대략 동일해지도록, 각 가공 장치(4)나 로더·언로더(8) 등에 대한 하단 프레임(262)의 높이가 조정된다.
이에 따라, 각 가공 장치(4)의 천정(244a)이나 로더·언로더(8)의 천정(22a) 등의 높이가 완전하게 동일하지 않은 경우라도, 수평으로, 그리고, 동일한 높이에 반송로(6)를 형성할 수 있게 된다. 가공 장치(4)나 로더·언로더(8) 등에 대해서 하단 프레임(262)의 높이를 조정하는 방법에 제한은 없지만, 예컨대, 각 가공 장치(4)의 천정(244a)이나 로더·언로더(8)의 천정(22a) 등과, 하단 프레임(262)의 하면과의 사이에 높이 조정용의 부재를 배치하는 방법을 이용하는 것이 가능하다.
물론, 가공 장치(4)나 로더·언로더(8)의 높이를 조정해도 좋다. 예컨대, 가공 장치(4)나 로더·언로더(8)의 하단부(각부)에는, 높이 조정용의 조정 기구가 설치되어 있다. 따라서, 이 조정 기구를 이용하여 가공 장치(4)나 로더·언로더(8)의 높이를 조정하고, 각 가공 장치(4)의 천정(244a)이나 로더·언로더(8)의 천정(22a) 등의 높이를 동일하게 하면, 반송로(6)의 토대에 적절한 하단 프레임(262)을 실현할 수 있다.
하단 프레임(262)의 상면 측에는, 나사나 볼트 등에 의해 상단 프레임(264)이 고정된다. 상단 프레임(264)은, 예컨대, 알루미늄 등의 금속을 포함한 재료로 구성된 봉 형상의 프레임 부재의 복합체이고, 반송로(6)를 적절히 고정할 수 있도록, 반송로(6)의 배치 등에 맞춘 형상으로 조립할 수 있다.
상단 프레임(264)의 상방에는, 반송로(6)가 설치된다. 반송로(6)는, 예컨대, 평판형의 복수의 노면 패널(266)을 수평인 방향으로 나열함으로써 형성된다. 이와 같이, 복수의 노면 패널(266)을 조합하여서 반송로(6)를 형성함으로써, 복수의 가공 장치(4)나 로더·언로더(8)의 배치 등에 따른 다양한 반송로(6)가 용이하게 실현된다.
노면 패널(266)은, 예컨대, 폴리아미드나 폴리카보네이트, CFRP(Carbon Fiber Reinforced Plastic: 탄소 섬유 강화 플라스틱) 등의 경량이고 강도가 높은 재료를 이용하여 평면시로 직사각형으로 형성되고, 반송차(10)의 주행에 적절한 평탄한 상면을 가지고 있다. 또한, 노면 패널(266)의 단부에는, 이 노면 패널(266)을 상하로 관통하는 관통 구멍이 형성되어 있다.
한편, 상단 프레임(264)의 상면 측에는, 나사(268)의 직경에 대응하는 직경을 가지는 나사 구멍(도시하지 않음)이, 노면 패널(266)의 관통 구멍에 대응하는 위치에 개구하고 있다. 따라서, 노면 패널(266)을 상단 프레임(264)의 상면 측에 배치한 다음, 그 관통 구멍(도시하지 않음)을 통해서 상단 프레임(264)의 나사 구멍에 나사(268)를 체결하면, 노면 패널(266)을 상단 프레임(264)에 고정할 수 있다.
하단 프레임(262)은, 예컨대, 각각이 복수의 봉 형상의 프레임 부재를 포함한 복수의 하단 프레임 유닛(270)을 조합하는 것에 의해 형성된다. 마찬가지로, 상단 프레임(264)은, 예컨대, 각각이 복수의 봉 형상의 프레임 부재를 포함한 복수의 상단 프레임 유닛(272)을 조합하는 것에 의해 형성된다.
이와 같이, 복수의 하단 프레임 유닛(270)을 이용하여 하단 프레임(262)을 형성하고, 복수의 상단 프레임 유닛(272)을 이용하여 상단 프레임(264)을 형성하는 경우에는, 가공 장치(4)가 설치되는 공장 등에 대해서, 하단 프레임 유닛(270) 및 상단 프레임 유닛(272)의 형태로 프레임 부재가 운반된다.
즉, 안정된 환경에서 생산되는 고품질인 하단 프레임 유닛(270) 및 상단 프레임 유닛(272)을 이용하여, 고품질인 하단 프레임(262) 및 상단 프레임(264)이 형성된다. 또한, 봉 형상의 프레임 부재를 가공 장치(4)의 상방에 연결하는 경우 같은 번잡한 작업도 발생하지 않는다. 따라서, 고품질인 반송로(6)를 단기간으로 형성할 수 있다.
도 24(A)는, 하단 프레임(262)을 구성하는 하단 프레임 유닛(270a)을 나타내는 사시도이고, 도 24(B)는, 하단 프레임(262)을 구성하는 하단 프레임 유닛(270b)을 나타내는 사시도이다. 하단 프레임 유닛(270a)과 하단 프레임 유닛(270b)은, 예컨대, 반송로(6)의 양태에 맞춰서 선택적으로 이용된다.
도 25는, 하단 프레임(262)을 구성하는 하단 프레임 유닛(270)의 배치를 나타내는 평면도이다. 도 25에서는, 총 8 대의 장치(가공 장치(4)나 로더·언로더(8) 등)의 사이에 피가공물 유닛(17)을 반송할 수 있는 반송로(6)를 형성하는 경우를 나타내고 있다. 예컨대, 반송로(6)의 모서리부를 제외한 부분에 대응하는 영역(반송로(6)의 직선형의 영역)에는, 하단 프레임 유닛(270a)이 사용되어 반송로(6)의 모서리부에 대응하는 영역에는, 하단 프레임 유닛(270b)이 사용된다.
또한, 도 25의 하단 프레임(262)에는, 하단 프레임 유닛(270a)을 반전시킨 구조의 하단 프레임 유닛(270c)과, 하단 프레임 유닛(270b)을 반전시킨 구조의 하단 프레임 유닛(270d)이 아울러 사용된다. 즉, 도 25의 하단 프레임(262)에는, 4 종류의 하단 프레임 유닛(270)이, 각각, 2 개씩 사용된다. 각 하단 프레임 유닛(270)은, 반송로(6)에 형성되는 개구(282)(도 28 참조, 도 3의 개구(6a)에 상당)에 대해서 봉 형상의 프레임 부재가 겹치지 않도록 구성되어 있다.
하단 프레임(262)을 형성할 때에는, 예컨대, 하단 프레임 유닛(270)을 가공 장치(4)나 로더·언로더(8) 등에 고정하고 나서, 인접하는 하단 프레임 유닛(270)을 서로 연결하면 좋다. 인접하는 하단 프레임 유닛(270)의 연결에는, 예컨대, 조인트(繼手)가 이용된다. 다만, 하단 프레임 유닛(270)을 연결한 다음, 가공 장치(4)나 로더·언로더(8) 등에 고정할 수도 있다.
도 26(A)는, 상단 프레임(264)을 구성하는 상단 프레임 유닛(272a)을 나타내는 사시도이고, 도 26(B)는, 상단 프레임(264)을 구성하는 상단 프레임 유닛(272b)을 나타내는 사시도이다. 상단 프레임 유닛(272a)과 상단 프레임 유닛(272b)은, 예컨대, 반송로(6)의 양태에 맞춰서 선택적으로 이용된다.
도 27은, 상단 프레임(264)을 구성하는 상단 프레임 유닛(272)의 배치를 나타내는 평면도이다. 도 27에서는, 도 25의 하단 프레임(262)을 이용하여 반송로(6)를 구성하는 경우를 나타내고 있다. 예컨대, 인접하는 가공 장치(4)나 로더·언로더(8) 등을 연결하는 영역의 일부에는, 상단 프레임 유닛(272a)이 사용되고, 가공 장치(4)나 로더·언로더(8)의 바로 위의 영역에는, 상단 프레임 유닛(272b)이 사용된다.
즉, 도 27의 상단 프레임(264)에는, 2 개의 상단 프레임 유닛(272a)과, 8 개의 상단 프레임 유닛(272b)이 사용된다. 각 상단 프레임 유닛(272)은, 반송로(6)에 형성되는 개구(282)(도 28 참조)에 대해서 봉 형상의 프레임 부재가 겹치지 않게 구성되어 있다.
상단 프레임(264)을 형성할 때에는, 예컨대, 하단 프레임(262)에 대해서, 상단 프레임 유닛(272)을 고정한다. 또한, 인접하는 2 개의 상단 프레임 유닛(272)은, 서로 연결되지 않고, 떨어져 있어도 좋다. 또한, 필요에 따라서, 상단 프레임 유닛(272a)을 반전시킨 구조의 상단 프레임 유닛(272)이나, 상단 프레임 유닛(272b)을 반전시킨 구조의 상단 프레임 유닛(272)을 사용할 수도 있다.
도 28은, 복수의 노면 패널(266)을 나열하여 구성되는 반송로(6)를 모식적으로 나타내는 평면도이다. 도 28에서는, 도 25의 하단 프레임(262) 및 도 27의 상단 프레임(264)을 이용하여 반송로(6)를 구성하는 경우를 나타내고 있다. 또한, 도 28에서는, 인접하는 노면 패널(266)의 경계를 파선으로 나타내고 있다.
반송로(6)를 형성할 때에는, 예컨대, 상단 프레임(264)에 대해서, 노면 패널(266)을 고정한다. 또한, 도 27의 상단 프레임(264)에서는, 예컨대, 인접하는 상단 프레임 유닛(272a)과 상단 프레임 유닛(272b)과의 사이에 작은 간극이 형성되고, 인접하는 2 개의 상단 프레임 유닛(272b)의 사이에 큰 간극이 형성된다. 따라서, 평면시로 직사각형 형상의 노면 패널(266)만으로는, 이 간극에 대응하는 부분에 반송로(6)를 형성할 수 없다. 즉, 반송로(6)에도, 간극이 형성되어 버린다.
그래서 이러한 간극을 덮도록, 평판형의 중개 패널(274a)과 평판형의 중개 패널(274b)이 사용된다. 인접하는 상단 프레임 유닛(272a)과 상단 프레임 유닛(272b)과의 사이의 작은 간극에는, 작은 중개 패널(274a)이 배치된다. 인접하는 2 개의 상단 프레임 유닛(272b)의 사이의 큰 간극에는, 큰 중개 패널(274b)이 배치된다.
중개 패널(274a)이나 중개 패널(274b)은, 예컨대, 반송로(6)에 형성되는 간극이나 단차를 충분히 작게 하도록, 상단 프레임(264)에 고정된다. 이에 따라, 주행 중의 반송차(10)에의 충격을 작게 억제하고, 피가공물(11) 등의 파손을 막을 수 있다. 또한, 반송로(6)에 작은 간극이 남는 경우에는, 예컨대, 반송차(10)가 진행하는 방향을 따르는 심재를 갖춘 테이프 등을 이용하여, 이 간극을 막으면 좋다.
또한, 중개 패널(274a)이나 중개 패널(274b) 대신에, 반송차(10)가 진행하는 방향의 양단부에 슬로프가 형성된 중개 패널을 이용하여도 좋다. 이 경우에는, 예컨대, 중개 패널을 노면 패널(266)의 상방으로 겹쳐서 사용할 수 있으므로, 중개 패널의 크기에 대한 요구가 완화된다. 이에 따라, 중개 패널의 범용성이 높아진다. 또한, 가요성을 가지는 얇은 판자형의 중개 패널을 이용하여 인접하는 노면 패널(266)을 연결할 수도 있다.
이와 같이 구성되는 반송로(6)를 반송차(10)가 주행하면, 예컨대, 반송차(10)의 차륜(86) 등으로 반송로(6)와의 마찰에 의해 정전기가 생기고, 반송차(10)의 용기(102)에 수용된 피가공물(11)에 악영향이 미치는 경우가 있다. 예컨대, 피가공물(11)에 반도체 디바이스가 형성된 경우에는, 이 반도체 디바이스가 정전기에 의해서 파괴될 우려가 있다.
그래서 반송로(6)가 되는 노면 패널(266)의 상면의 차륜(86) 등이 접촉하는 부분에는, 도전성 부재를 노출하게 하는 것이 바람직하다. 도전성 부재로서는, 예컨대, 알루미늄이나 동(銅) 등의 금속 외에, CFRP 등이 이용된다. 또한, 노면 패널(266)이 CFRP로 구성된 경우에는, 그 상면에도 CFRP가 노출된다. 즉, 노면 패널(266)의 상면에 도전성 부재가 노출된 상태가 실현된다.
이와 같이, 노면 패널(266)의 상면에 도전성 부재를 노출시켜 둠으로써, 마찰에 의한 정전기의 발생과, 그 축적을 억제하여, 피가공물(11)에 악영향이 미치는 것을 막을 수 있다. 또한, 노면 패널(266)의 상면에 노출된 도전성 부재는, 도선(도시하지 않음) 등을 통해 접지되어도 좋다. 이 경우에는, 차륜(86) 등과 노면 패널(266)과의 접촉에 의해 생긴 정전기가 도선을 통해서 방전하므로, 노면 패널(266)에 축적되지 않는다. 따라서, 피가공물(11)은, 반송차(10)에 의해서, 보다 안전하게 반송된다.
본 실시형태의 반송 시스템(2)에서는, 원칙적으로, 반송로(6)의 단부에 반송차(10)가 도달하지 않도록, 반송차(10)의 동작이 제어된다. 그러나, 반송차(10)나 제어 유닛(12) 등에 어떠한 트러블이 발생했을 경우에는, 반송로(6)의 단부에 반송차(10)가 도달하고, 이 반송로(6)의 단부로부터 반송차(10)가 낙하할 가능성도 있다.
그래서 반송로(6)의 단부에는, 도 23에 도시한 바와 같이, 반송로(6)로부터의 반송차(10)의 낙하를 방지하기 위한 장벽이 되는 가이드부(276)를 마련하는 것이 바람직하다. 이 가이드부(276)는, 예컨대, 알루미늄 등의 금속을 포함한 재료로 형성되고, 상단 프레임(264)이나 노면 패널(266)에 고정된다. 노면 패널(266)의 상면으로부터 가이드부(276)의 상단까지의 높이는, 예컨대, 반송차(10)의 차륜(86)의 반경보다 커지고 있다. 바람직하게는, 차륜(86)의 직경보다 커지고 있다.
또한, 이 가이드부(276)는, 반송차(10)의 제3 센서(126)나 외장 커버에 접촉하는 높이에 형성되어도 좋다. 이 경우에는, 반송차(10)의 제3 센서(126)나 외장 커버에 가이드부(276)가 접촉하면, 반송차(10)는 장애물과의 충돌을 검지하여 정차한다. 그 때문에, 보다 안전하게 반송차(10)를 주행시킬 수 있다.
도 28에 도시한 바와 같이, 반송로(6)는, 주로 반송차(10)의 주행에 사용되는 주행 영역(278)과, 주로 반송차(10)의 정차에 사용되는 정차 영역(280)과, 주로 반송차(10)의 대기에 사용되는 대기 영역(284)을 포함한다. 정차 영역(280)에 정차한 반송차(10)와, 정차 영역(280)의 하방에 위치하는 가공 장치(4)나 로더·언로더(8) 등과의 사이에 피가공물 유닛(17)이 반송된다.
주행 영역(278)은, 예컨대, 가공 장치(4)나 로더·언로더(8) 등의 배치에 따르는 환형으로 형성된다. 반송차(10)는, 예컨대, 이 환형의 주행 영역(278)을 따르는 한쪽 방향으로 주행하고, 다른 쪽의 방향으로는 주행하지 않는다(즉, 일방 통행). 이에 따라, 반송차(10)를 간단한 제어로 안전하게 주행시킬 수 있다.
다만, 주행 영역(278)의 형상, 반송차(10)의 주행의 양태 등에 제한은 없다. 예컨대, 주행 영역(278)은, 반송차(10)의 양쪽 방향으로의 주행을 허용하도록 구성되는 경우가 있다. 또한, 주행 영역(278)은, 종단이 없는 환형으로 형성되어 있을 필요는 없고, 예컨대, 종단을 가지는 직선형으로 형성되어도 좋다.
한편, 정차 영역(280)에는, 노면 패널(266)을 상하로 관통하는 개구(282)가 설치되어 있다. 개구(282)는, 예컨대, 용기(102)의 상면 및 하면보다 약간 크게 형성되어 있고, 용기(102)의 상하로의 통과를 허용한다. 한편, 반송차(10)가 정차 영역(280)에 진입할 때의 진입의 방향에 대해서 수직인 방향에서의 개구(282)의 폭은, 반송차(10)의 한 쌍의 차륜(86)의 간격보다 좁아지고 있다. 이에 따라, 반송차(10)가 정차 영역(280)에 진입할 때의 진입의 방향이 적절한 경우에는, 차륜(86)은 개구(282)에 탈락하지 않는다.
대기 영역(284)은, 예컨대, 반송차(10)를 대기시킬 가능성이 높은 영역에 배치된다. 대기 영역(284)에 반송차(10)를 대기시킴으로써, 다른 반송차(10)는, 대기 중의 반송차(10)를 추월할 수 있다. 또한, 반송차(10)의 양쪽 방향으로의 주행이 허용된 경우에는, 이 대기 영역(284)에서 일시적으로 반송차(10)를 대기시킴으로써, 2 대의 반송차(10)를 엇갈리게 할 수 있다. 또한, 반송로(6)는, 반드시 대기 영역(284)을 포함하지 않아도 좋다.
반송로(6)를 구성하는 노면 패널(266), 중개 패널(274a), 중개 패널(274b) 등의 상면에는, 반송차(10)가 구비하는 센서에 의해서 검출되는 복수의 종류의 유도용의 마크(286)(도 23 참조)가 설치되어 있다. 반송차(10)는, 센서에 의해서 검출되는 각종의 마크(286)에 기초하여, 주행, 선회, 정차 등의 제어를 실시한다.
도 23에 도시한 바와 같이, 마크(286)는, 예컨대, 노면 패널(266) 등의 상면의 다른 영역과는 상이한 색채를 가지는 직선형으로 구성된다. 본 실시형태에서는, 이 마크(286)로서, 도 28에 도시한 바와 같이, 제1 마크(286a), 제2 마크(286b), 제3 마크(286c), 및 제4 마크(286d)가 사용된다.
다만, 마크(286)의 양태에 제한은 없다. 마크(286)는, 예컨대, 곡선을 포함해도 좋고, 파선에 의해서 구성되어도 좋다. 또한, 마크(286)로서, 문자, 숫자, 도안 등을 이용할 수도 있다. 또한, 마크(286)의 색채 등에도 제한은 없다. 예컨대, 다른 색채의 복수의 마크(286)를 이용하고, 이 마크(286)의 색채에 기초하여 각종의 제어를 실시하도록 반송차(10)를 구성해도 좋다.
주행 영역(278)에는, 반송차(10)가 진행하는 방향을 따르는 제1 마크(286a)가 설치되어 있다. 제1 마크(286a)는, 예컨대, 주행 영역(278)을 주행하는 반송차(10)가 통과해야 할 영역에 형성된다. 보다 구체적으로는, 제1 마크(286a)는, 주행 영역(278)을 주행하는 반송차(10)의 한 쌍의 제1 센서(122)의 바로 아래에 설치된다.
도 29는, 반송차(10)의 제어부(130)를 나타내는 기능 블럭도이다. 도 29에 도시한 바와 같이, 반송차(10)의 제어부(130)는, 한 쌍의 제1 센서(122)의 각각 주행 영역(278) 등(반송로(6))의 상면을 감시시켜서 제1 마크(286a)를 검출시키는 제1 센서 제어부(130a)와, 제1 센서(122)에 의해서 검출된 제1 마크(286a)가 나타내는 방향을 특정하고, 그 방향을 따라서 반송차(10)를 주행시키는 주행 지시부(130b)를 포함한다.
한 쌍의 제1 센서(122)는 각각, 제1 센서 제어부(130a)로부터 입력되는 제어용의 신호에 따라, 제1 마크(286a)를 검출한다. 제1 센서(122)에 의해서 검출된 제1 마크(286a)에 관한 정보는, 제1 센서 제어부(130a)를 통해 주행 지시부(130b)로 보내진다.
주행 지시부(130b)는, 제1 센서 제어부(130a)로부터 보내진 제1 마크(286a)의 정보에 기초하여, 제1 마크(286a)가 나타내는 방향을 특정한다. 그리고, 주행 지시부(130b)는, 구동 유닛(90)을 제어하여, 특정된 방향을 따라서 반송차(10)를 주행시킨다. 즉, 반송차(10)는, 한 쌍의 제1 센서(122)로 제1 마크(286a)를 검출하고, 이 제1 마크(286a)를 따라서 반송로(6) 상을 주행할 수 있다.
도 28에 도시한 바와 같이, 주행 영역(278)의 미리 정해진 부분에서는, 2 개의 직선형의 제1 마크(286a)가 교차하고 있다. 반송차(10)는, 한쪽의 제1 마크(286a)를 따라서 진행하는 동안에, 이 한쪽의 제1 마크(286a)와 교차하는 다른 쪽의 제1 마크(286a)를 제2 센서(124)로 검출한다. 제2 센서(124)로 다른 쪽의 제1 마크(286a)가 검출되면, 반송차(10)는, 필요에 따라서 선회한다.
즉, 2 개의 직선형의 제1 마크(286a)가 교차하는 임의의 교차점에서 반송차(10)의 진행하는 방향이 변경된다. 이와 같이, 제2 센서(124)로 검출되는 상술한 다른 쪽의 제1 마크(286a)의 일부는, 반송차(10)가 선회하는 위치를 나타내는 제2 마크(286b)로서 기능한다. 또한, 반송로(6)에는, 2 개의 제1 마크(286a)가 교차하는 교차점의 수에 대응하는 수의 제2 마크(286b)가 존재한다. 즉, 도 28의 반송로(6)에는, 복수의 제2 마크(286b)가 존재하고 있다.
도 29에 도시한 바와 같이, 반송차(10)의 제어부(130)는, 제2 센서(124)에 주행 영역(278) 등(반송로(6))의 상면을 감시시켜서 제2 마크(286b)를 검출시키는 제2 센서 제어부(130c)와, 제2 센서(124)에 의해서 검출된 제2 마크(286b)의 수를 카운트하고, 카운트된 제2 마크(286b)의 수에 기초하여 반송차(10)를 선회시키는 선회 지시부(130d)를 포함한다.
제2 센서(124)는, 제2 센서 제어부(130c)로부터 입력되는 제어용의 신호에 따라, 제2 마크(286b)를 검출한다. 그리고, 제2 센서 제어부(130c)는, 예컨대, 제2 센서(124)가 제2 마크(286b)를 검출할 때마다, 그 취지를 제어부(130)의 선회 지시부(130d)에 통지한다.
선회 지시부(130d)는, 제2 센서 제어부(130c)로부터의 통지에 기초하여, 제2 센서(124)로 검출된 제2 마크(286b)의 수를 카운트하고, 예컨대, 반송 시스템(2)의 제어 유닛(12)으로부터의 지시에 대응하는 제2 마크(286b)의 수(미리 정해진 수)와 비교한다. 그리고, 제2 센서(124)에 의해 검출된 제2 마크(286b)의 수가 제어 유닛(12)으로부터의 지시에 대응하는 제2 마크(286b)의 수에 이르면, 선회 지시부(130d)는, 구동 유닛(90)을 제어하여, 반송차(10)를 선회시킨다.
즉, 선회 지시부(130d)는, 검출된 제2 마크(286b)의 수에 따라 반송차(10)의 방향을 변경한다. 이와 같이, 반송차(10)는, 제2 센서(124)로 제2 마크(286b)를 검출하고, 필요에 따라서 방향을 변경할 수 있다. 또한, 제2 마크(286b)는, 예컨대, 주행 영역(278)의 모서리 부분(반송로(6)의 모서리부)이나, 주행 영역(278)의 정차 영역(280)에 인접하는 부분, 주행 영역(278)의 대기 영역(284)에 인접하는 부분 등에 설치된다.
그런데, 한 쌍의 차륜(86)을 통과하는 직선 상에 한 쌍의 제2 센서(124)가 배치되어 있는 경우에는, 제2 마크(286b)를 차륜(86)이 통과하는 것과 동시에, 이 제2 마크(286b)를 한 쌍의 제2 센서(124)에 의해서 검출할 수 있다. 따라서, 제2 마크(286b)가 검출되는 타이밍에 반송차(10)를 선회시킴으로써, 선회 후에 검출해야 할 제1 마크(286a)로부터 한 쌍의 제1 센서(122)가 크게 어긋나 버리는 일은 없게 된다. 즉, 아무런 보정을 실시하지 않아도, 반송차(10)를 적절히 선회시킬 수 있게 된다.
도 28에 도시한 바와 같이, 정차 영역(280)에는, 반송차(10)가 진입하는 방향을 따르는 제3 마크(286c)가 설치되어 있다. 즉, 제3 마크(286c)는, 정차 영역(280)에 대해서 반송차(10)가 진입하는 방향을 나타내고 있다. 이 제3 마크(286c)는, 예컨대, 반송차(10)의 진입하는 방향에 대해서 수직인 방향으로 개구(282)를 사이에 두는 2 개의 위치에 형성되고, 반송차(10)의 제2 센서(124)에 의해 검출된다.
도 29에 도시한 바와 같이, 반송차(10)의 제어부(130)는, 제2 센서(124)에 의해서 검출된 제3 마크(286c)가 나타내는 방향을 따라서 반송차(10)를 정차 영역(280)에 진입시키는 진입 제어부(130e)를 포함한다. 진입 제어부(130e)는 제2 센서 제어부(130c)에 접속되어 있다.
제2 센서 제어부(130c)는, 제2 센서(124)에 정차 영역(280) 등(반송로(6))의 상면을 감시시켜서 제3 마크(286c)를 검출시킨다. 제2 센서(124)에 의해서 검출된 제3 마크(286c)에 관한 정보는, 제2 센서 제어부(130c)를 통해 진입 제어부(130e)로 보내진다.
진입 제어부(130e)는, 제2 센서 제어부(130c)로부터 입력된 제3 마크(286c)의 정보에 기초하여, 제3 마크(286c)가 나타내는 방향을 특정한다. 그리고, 진입 제어부(130e)는, 구동 유닛(90)을 제어하여, 특정된 방향을 따라서 반송차(10)를 정차 영역(280)에 진입시킨다. 제3 마크(286c)는, 대표적으로는, 반송차(10)의 차륜(86)이 통과해야 할 영역에 설치된다. 다만, 제3 마크(286c)의 배치 등에 제한은 없다.
도 28에 도시한 바와 같이, 정차 영역(280)(또는 대기 영역(284))에 대해서 반송차(10)가 진입하는 방향에 있어서 정차 영역(280)(또는 대기 영역(284))의 후측(전측)에는, 제1 마크(286a)나 제3 마크(286c)에 대해서 교차하는 제4 마크(286d)가 설치되어 있다. 이 제4 마크(286d)는, 정차 영역(280)(또는 대기 영역(284))의 위치를 나타낸다.
도 29에 도시한 바와 같이, 반송차(10)의 제어부(130)는, 반송차(10)의 진행하는 방향의 후측에 위치하는 제1 센서(122)(한 쌍의 제1 센서(122)의 한쪽)에 의해서 제4 마크(286d)가 검출되었을 때에 반송차(10)를 정차시키는 정차 제어부(130f)를 포함한다. 정차 제어부(130f)는, 제1 센서 제어부(130a)에 접속되어 있다.
제1 센서 제어부(130a)는, 제1 센서(122)에 주행 영역(278)이나 정차 영역(280) 등(반송로(6))의 상면을 감시시켜서 제1 센서(122)에 제4 마크(286d)를 검출시킨다. 제1 센서(122)에 의해서 제4 마크(286d)가 검출되면, 그 취지가 제1 센서 제어부(130a)를 통해 정차 제어부(130f)로 통지된다.
정차 제어부(130f)는, 제1 센서 제어부(130a)로부터 제4 마크(286d)가 검출된 취지가 통지되면, 구동 유닛(90)을 제어하여, 반송차(10)를 신속히 정지시킨다. 즉, 반송차(10)는, 예컨대, 후측의 제1 센서(122)로 제4 마크(286d)를 검출하면, 즉시 정차한다.
또한, 이 제4 마크(286d)는, 정차 영역(280)(또는 대기 영역(284))에 대해서 반송차(10)가 진입하는 방향에 있어서 정차 영역(280)(또는 대기 영역(284))의 전측(안쪽)에 설치되어도 좋다. 이 경우에는, 반송차(10)는, 전측의 제1 센서(122)로 제4 마크(286d)를 검출하면, 즉시 정차하게 된다.
또한, 제4 마크(286d)는, 제2 센서(124)에 의해서 검출할 수 있는 위치에 설치되어 있어도 좋다. 이 경우, 도 29에 나타내는 정차 제어부(130f)는, 제2 센서 제어부(130c)에 접속된다. 그리고, 정차 제어부(130f)는, 제2 센서 제어부(130c)에 의해서 제어된 제2 센서(124)가 제4 마크(286d)를 검출하면, 구동 유닛(90)을 제어하여, 반송차(10)를 정차시킨다.
또한, 정차 제어부(130f)는, 제1 센서(122) 또는 제2 센서(124)에 의해 제4 마크(286d)가 검출되고 나서 미리 정해진 시간이 경과한 후에, 반송차(10)를 정차시켜도 좋다. 제4 마크(286d)의 검출로부터 반송차(10)의 정차까지의 시간은, 예컨대, 제4 마크(286d)와 정차 영역(280)과의 거리나, 반송차(10)가 주행하는 속도 등에 기초하여 조정된다.
도 28에 도시한 바와 같이, 반송차(10)가 진입하는 방향에 있어서 정차 영역(280) 및 대기 영역(284)의 전측(내측)의 위치에는, 전원(도시하지 않음)에 접속된 급전용의 단자(급전 단자)(288)가 배치되어 있다. 예컨대, 정차 영역(280)이나 대기 영역(284)에 반송차(10)를 정차시키고, 반송차(10)의 단자(수전 단자)(100)를 단자(288)에 접촉시키면, 단자(100) 및 충전용의 배선(충전 배선)(98)을 통해, 배터리(2차 전지)(96)에 충전용의 전력이 공급된다. 즉, 배터리(96)를 충전할 수 있다.
도 23에 도시한 바와 같이, 단자(288)는, 노면 패널(266) 또는 상단 프레임(264)에 고정된 단자 지지부(290)에 의해서 지지되고 있고, 급전용의 배선(급전 배선)(292)에 접속되어 있다. 즉, 이 단자(288)는, 급전용의 배선(292)을 통해 전원에 접속되어 있다.
단자 지지부(290)는, 예컨대, 정차 영역(280) 또는 대기 영역(284)을 향해서 단자(288)를 압박하는 압박 부재(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 압박 부재에 의해서 단자(288)를 압박함으로써, 단자(100)에 대해서 단자(288)를 적절히 접속할 수 있다. 다만, 단자(288)나 단자 지지부(290)의 구조 등에 제한은 없다.
예컨대, 정차 영역(280)에서 반송차(10)가 정차한 후에는, 승강 유닛(110)에 의해서 용기(102)가 승강된다. 본 실시형태에서는, 정차 영역(280)에 급전용의 단자(288)가 배치되어 있으므로, 용기(102)를 승강시킬 때에도 배터리(96)가 충전된다. 따라서, 용기(102)를 승강시킬 때에 승강 유닛(110)에서 소비되는 대량의 전력을 충분히 조달할 수 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 대기 영역(284)에도 단자(288)가 배치되어 있다. 따라서, 예컨대, 반송차(10)를 대기 영역(284)에서 대기시킬 때에도, 배터리(96)가 충전된다. 이에 따라, 반송차(10)의 가동할 수 있는 시간을 연장시켜서, 피가공물(11)의 반송에 걸리는 효율을 높일 수 있다.
반송로(6) 상의 어떤 위치(출발지)에서 다른 위치(목적지)까지 반송차(10)를 이동시킬 때의 동작은, 예컨대, 다음과 같다. 우선, 반송 시스템(2)의 제어 유닛(12)은, 이동의 대상이 되는 반송차(10)에 대해서, 출발지에서 목적지로 이동하는 취지의 지시에 상당하는 신호를 보낸다.
제어 유닛(12)의 지시를 받은 반송차(10)의 제어부(130)는, 우선, 자신의 현재의 위치를 출발지로 하여 목적지까지의 경로를 결정하고, 이 경로를 따라서, 출발지에서 반송차(10)가 선회해야 할 각 위치까지의 사이에 존재하는 제2 마크(286b)의 수와, 선회해야 할 각 위치로의 선회의 방향을 구한다. 그리고, 반송차(10)의 제어부(130)는, 자신이 요구한 제2 마크(286b)의 수 및 선회의 방향에 기초하여, 구동 유닛(90) 등을 제어한다.
예컨대, 반송차(10)의 제어부(130)는, 제1 센서(122) 및 제2 센서(124)로 반송로(6)의 상면을 감시하면서, 반송차(10)를 주행시킨다. 즉, 제어부(130)는, 제1 센서(122)에 의해서 검출되는 제1 마크(286a)가 나타내는 방향을 따라서 반송차(10)를 주행시키면서, 제2 센서(124)가 통과하는 제2 마크(286b)를, 이 제2 센서(124)에 검출시킨다.
제어부(130)는, 제2 센서(124)가 통과한 제2 마크(286b)의 수가, 자신이 구한 제2 마크(286b)의 수에 이르면, 반송차(10)를 자신이 구한 선회의 방향으로 선회시킨다. 그 후, 제어부(130)는, 제1 마크(286a)가 나타내는 방향을 따라서 반송차(10)를 다시 주행시킨다. 반송차(10)가 목적지에 도착하면, 제어부(130)는, 그 취지를 통지하기 위한 신호를 제어 유닛(12)에 보낸다.
또한, 정차 영역(280)에 반송차(10)를 진입시키려면, 제어부(130)는, 제3 마크(286c)를 제2 센서(124)에 검출시켜서, 반송차(10)가 진행하는 방향을 미세하게 조정한다. 이에 따라, 반송차(10)의 차륜(86)이 개구(282)에 탈락하는 것을 방지할 수 있다. 이 때에는, 제1 마크(286a)가 나타내는 방향을 따라서 반송차(10)를 주행시킬 때에 비해, 주행에 걸리는 속도를 낮게 억제하면 좋다. 그 후, 제어부(130)는, 제4 마크(286d)를 제1 센서(122)에 검출시켜서, 반송차(10)를 정차 영역(280)에 정차시킨다.
반송차(10)는, 원칙적으로, 진행하는 방향의 전방에 차륜(86)이 위치하고, 진행하는 방향의 후방에 차륜(88)이 위치하도록 주행한다. 다만, 정차 영역(280)이나 대기 영역(284)으로부터 주행 영역(278)으로 이동할 때에는, 반송차(10)는, 진행하는 방향의 후방에 차륜(86)이 위치하고, 진행하는 방향의 전방에 차륜(88)이 위치하도록 주행하게 된다.
반송차(10)가 정차 영역(280)에 정차하면, 용기(102)가 개구(282)의 바로 위에 위치된다. 또한, 반송로(6) 측의 단자(288)에 대해서 반송차(10) 측의 단자(100)가 접촉한다. 이에 따라, 반송차(10)는, 배터리(96)를 충전하면서 용기(102)를 강하시켜서, 개구(282)의 하방에 위치하는 재치 영역(A)에 용기(102)를 실을 수 있다.
또한, 상술한 동작의 양태에서는, 제2 마크(286b)의 수나 선회의 방향을 제어부(130)가 구하고 있지만, 제어부(130)에 의한 판단을 최소한으로 한정하도록 해도 좋다. 이 경우에는, 예컨대, 출발지로부터 반송차(10)가 선회해야 할 각 위치까지의 사이에 존재하는 제2 마크(286b)의 수와, 선회해야 할 각 위치에서의 선회의 방향에 관한 정보를 포함한 신호가 제어 유닛(12)으로부터 보내진다. 이 동작에서는, 제2 마크(286b)의 수나 선회의 방향을 제어부(130)가 구하지 않아도 좋기 때문에, 제어부(130)를 간략화할 수 있다.
다음에, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템(2)의 제어 방법의 예를 설명한다. 도 30은, 반송 시스템(2)의 제어 방법의 예를 설명하기 위한 도면이다. 예컨대, 가공 장치(4)의 제어 장치(246)는, 가공 전의 피가공물(11)이 새로이 필요한 상황이 되면, 그 취지를 통지하기 위한 신호(피가공물 요구 신호)를 생성한다. 제어 장치(246)에서 생성된 신호(피가공물 요구 신호)는, 송신기(250)로부터 제어 유닛(12)으로 송신된다.
도 30에 도시한 바와 같이, 제어 유닛(12)은, 각종의 제어를 행하기 위한 신호를 생성하는 제어부(신호 생성부)(302)를 구비하고 있다. 이 제어부(302)는, 예컨대, CPU(Central Processing Unit) 등의 처리 장치와, DRAM(Dynamic Random Access Memory) 등의 주 기억 장치와, 플래시 메모리 등의 보조 기억 장치를 포함한 컴퓨터에 의해서 구성되어 있다. 보조 기억 장치에 기억되는 소프트웨어에 따라 처리 장치 등을 동작시키는 것에 의해서, 제어부(302)의 기능이 실현된다.
제어부(302)에는, 가공 장치(4), 로더·언로더(8), 반송차(10) 등으로부터 송신되는 신호를 수신하는 수신기(304)와, 가공 장치(4), 로더·언로더(8), 반송차(10) 등에 대해서 신호를 송신하는 송신기(306)가 접속되어 있다.
제어 유닛(12)의 수신기(304)는, 가공 장치(4)의 송신기(250)로부터 송신된 통지용의 신호(피가공물 요구 신호)를 수신하면, 이를 제어부(302)로 보낸다. 제어부(302)는, 가공 장치(4)로부터의 통지용의 신호(피가공물 요구 신호)를 확인하면, 임의의 반송차(10)에 대해서, 로더·언로더(8)의 바로 위의 정차 영역(280)으로 이동하고, 용기(102)를 로더·언로더(8)의 재치대(66)의 상면(제2 재치 영역(A2))에 싣도록 지시를 낸다. 구체적으로는, 제어부(302)는, 이 지시에 상당하는 제어용의 신호(제1 재치 지시 신호)를 생성하고, 송신기(306)로부터 반송차(10)로 송신한다.
반송차(10)의 수신기(132)는, 제어 유닛(12)으로부터의 신호(제1 재치 지시 신호)를 수신하면, 이를 제어부(130)로 보낸다. 제어부(130)는, 이 신호(제1 재치 지시 신호)에 기초하여 구동 유닛(90) 등을 제어하고, 반송로(6)를 따라서 반송차(10)를 주행시킨다. 반송차(10)가 로더·언로더(8)의 바로 위의 정차 영역(280)에서 정차하면, 용기(102)가 개구(282)의 바로 위에 위치된다.
반송차(10)를 정차 영역(280)에 정차시킨 상태로, 제어부(130)는, 승강 유닛(110)을 제어하여, 서스펜드 부재(112)를 송출한다. 이에 따라, 개구(282) 등을 통과하도록 용기(102)를 하강시켜서, 재치대(66)의 상면에 용기(102)를 실을 수 있다.
재치대(66)의 상면에 용기(102)를 실은 후에는, 제어부(130)는, 재치대(66)의 상면에의 용기(102)의 재치가 완료된 취지를 통지하기 위한 통지용의 신호(제1 재치 완료 신호)를 생성한다. 제어부(130)에서 생성된 신호(제1 재치 완료 신호)는, 송신기(134)로부터 제어 유닛(12)으로 송신된다.
제어 유닛(12)의 수신기(304)는, 반송차(10)의 송신기(134)로부터 송신된 신호(제1 재치 완료 신호)를 수신하면, 이를 제어부(302)로 보낸다. 제어부(302)는, 반송차(10)로부터의 신호(제1 재치 완료 신호)를 확인하면, 로더·언로더(8)에 대해서, 재치대(66)의 상면으로의 용기(102)의 재치가 완료된 취지를 통지한다. 구체적으로는, 제어부(302)는, 재치대(66)의 상면에의 용기(102)의 재치가 완료된 취지를 통지하기 위한 통지용의 신호(제2 재치 완료 신호)를 생성하고, 송신기(306)로부터 로더·언로더(8)로 송신한다.
로더·언로더(8)의 수신기(68)는, 제어 유닛(12)으로부터의 신호(제2 재치 완료 신호)를 수신하면, 이를 제어 장치(46)로 보낸다. 제어 장치(46)는, 이 신호(제2 재치 완료 신호)를 받으면, 각 구성요소의 동작을 제어하여 가공 전의 피가공물(11)을 용기(102)에 반입한다. 또한, 용기(102)에 가공 후의 피가공물(11)이 수용된 경우에는, 가공 후의 피가공물(11)을 용기(102)로부터 반출한 후에, 가공 전의 피가공물(11)을 용기(102)에 반입한다.
가공 전의 피가공물(11)이 용기(102)에 반입되면, 제어 장치(46)는, 용기(102)로의 피가공물(11)의 반입이 완료된 취지를 통지하기 위한 통지용의 신호(제1 반송 완료 신호)를 생성한다. 제어 장치(46)에서 생성된 신호(제1 반송 완료 신호)는, 송신기(70)로부터 제어 유닛(12)으로 송신된다.
제어 유닛(12)의 수신기(304)는, 로더·언로더(8)의 송신기(70)로부터 송신된 신호(제1 반송 완료 신호)를 수신하면, 이를 제어부(302)로 보낸다. 제어부(302)는, 로더·언로더(8)로부터의 신호(제1 반송 완료 신호)를 확인하면, 반송차(10)에 대해서, 가공 장치(4)의 바로 위의 정차 영역(280)으로 이동하고, 용기(102)를 가공 장치(4)의 승강대(204)의 상면(재치 영역(A))에 싣도록 지시를 내린다. 구체적으로는, 제어부(302)는, 이 지시에 상당하는 제어용의 신호(제2 재치 지시 신호)를 생성하고, 송신기(306)로부터 반송차(10)로 송신한다.
반송차(10)의 수신기(132)는, 제어 유닛(12)으로부터의 신호(제2 재치 지시 신호)를 수신하면, 이를 제어부(130)로 보낸다. 제어부(130)는, 이 신호(제2 재치 지시 신호)에 기초하여 승강 유닛(110)을 제어하고, 서스펜드 부재(112)를 감는다(권취한다). 이에 따라, 개구(282) 등을 통과하도록 용기(102)를 상승시키고, 격납 영역(104)에 격납할 수 있다. 그 후, 제어부(130)는, 구동 유닛(90) 등을 제어하여, 반송차(10)를 반송로(6)를 따라서 주행시킨다.
반송차(10)가 가공 장치(4)의 바로 위의 정차 영역(280)에서 정차하면, 용기(102)가 개구(282)의 바로 위에 위치된다. 반송차(10)를 정차 영역(280)에 정차시킨 상태로, 제어부(130)는, 승강 유닛(110)을 제어하여, 서스펜드 부재(112)를 송출한다. 이에 따라, 개구(282) 등을 통과하도록 용기(102)를 하강시켜서, 가공 장치(4)의 승강대(204)의 상면에 용기(102)를 실을 수 있다.
승강대(204)의 상면에 용기(102)를 실은 후에는, 제어부(130)는, 승강대(204)의 상면으로의 용기(102)의 재치가 완료된 취지를 통지하기 위한 통지용의 신호(제3 재치 완료 신호)를 생성한다. 제어부(130)에서 생성된 신호(제3 재치 완료 신호)는, 송신기(134)로부터 제어 유닛(12)으로 송신된다.
제어 유닛(12)의 수신기(304)는, 반송차(10)의 송신기(134)로부터 송신된 신호(제3 재치 완료 신호)를 수신하면, 이를 제어부(302)로 보낸다. 제어부(302)는, 반송차(10)로부터의 신호(제3 재치 완료 신호)를 확인하면, 가공 장치(4)에 대해서, 승강대(204)의 상면으로의 용기(102)의 재치가 완료된 취지를 통지한다. 구체적으로는, 제어부(302)는, 재치대(66)의 상면으로의 용기(102)의 재치가 완료된 취지를 통지하기 위한 통지용의 신호(제4 재치 완료 신호)를 생성하고, 송신기(306)로부터 가공 장치(4)로 송신한다.
가공 장치(4)의 수신기(248)는, 제어 유닛(12)으로부터의 신호(제4 재치 완료 신호)를 수신하면, 이를 제어 장치(246)로 보낸다. 제어 장치(246)는, 이 신호(제4 재치 완료 신호)를 받으면, 각 구성요소의 동작을 제어하여 가공 전의 피가공물(11)을 용기(102)로부터 반출한다. 또한, 가공 장치(4) 내에 가공 후의 피가공물(11)이 존재하는 경우에는, 가공 전의 피가공물(11)을 용기(102)로부터 반출한 후에, 가공 후의 피가공물(11)을 용기(102)에 반입한다.
가공 전의 피가공물(11)이 용기(102)로부터 반출되면, 예컨대, 제어 장치(246)는, 용기(102)로부터의 피가공물(11)의 반출이 완료된 취지를 통지하기 위한 통지용의 신호(제2 반송 완료 신호)를 생성한다. 제어 장치(246)로 생성된 신호(제2 반송 완료 신호)는, 송신기(250)로부터 제어 유닛(12)으로 송신된다.
이와 같은 순서에 의해, 로더·언로더(8)에 수용된 가공 전의 피가공물(11)을 임의의 가공 장치(4)에 대해서 반송할 수 있다. 또한, 여기에서는, 로더·언로더(8)로부터 가공 장치(4)에 대해서 피가공물(11)을 반송할 때의 순서에 대해 주로 설명했지만, 가공 장치(4)로부터 로더·언로더(8)에 대해서 피가공물(11)을 반송할 때의 순서 등도 마찬가지이다.
또한, 상술한 순서는, 피가공물(11)을 적절히 반송할 수 있는 범위 내에서 임의로 변경할 수 있다. 예컨대, 상술한 순서에 포함되어 있는 복수의 단계를 동시에 행해도 좋고, 피가공물(11)의 반송에 지장이 생기지 않는 범위 내에서 단계의 순서를 바꿔 넣어도 좋다. 마찬가지로, 피가공물(11)의 반송에 지장이 생기지 않는 범위 내에서 임의의 단계를 추가, 변경, 생략해도 좋다.
이상과 같이, 본 실시형태에 걸리는 반송로(6), 로더·언로더(반송 장치)(8), 반송차(10), 카세트 수용 기구(24), 및 승강 유닛(승강 기구)(110)은, 모두, 피가공물(11)을 효율적이고 안전하게 반송할 수 있도록 구성되어 있다. 그 때문에, 이들이 구성된 반송 시스템(2)을 이용함으로써, 피가공물(11)을 효율적이고 안전하게 반송할 수 있다.
(실시형태 2)
본 실시형태에서는, 상술한 실시형태와는 다른 양태의 가공 장치에 대해 설명한다. 도 31은, 본 실시형태에 관련된 가공 장치(절삭 장치)(402)의 내부의 구조를 나타내는 사시도이다. 또한, 이하의 설명에서는, 상술한 실시형태와 공통되는 구성요소에 동일한 부호를 교부하고, 그 상세한 설명을 생략한다.
가공 장치(402)의 승강대(404)에는, 반송차(10)의 용기(102)가 재치되지 않는다. 그 대신에, 가공 장치의 승강대(404)에는, 상술한 실시형태의 로더·언로더(8)의 2 단의 카세트 수용 기구(24)(즉, 제1 카세트 수용 기구(24a) 및 제2 카세트 수용 기구(24b))와 같은 2 단의 카세트 수용 기구(406)(제1 카세트 수용 기구(406a) 및 제2 카세트 수용 기구(406b)가 설치되어 있다.
즉, 본 실시형태의 가공 장치(402)에는, 카세트(30)가 반입된다. 그리고, 가공 장치(402)에도, 스토퍼 부재(50) 및 축기구(52)로 된 이동 규제 기구가 탑재되어 있다. 이에 따라, 비교적 무거운 카세트(30)의 반입출을 실시하기 쉬워지므로, 카세트(30)에 수용된 피가공물(11)이 반입출에 따른 파손되는 리스크를 저감할 수 있다. 또한, 폭 방향으로 콤팩트한 카세트 수용 기구(406)를 실현하기 쉬워진다.
또한, 본 실시형태의 가공 장치(402)에서도, 가공 장치(402)의 외부에서 내부로의 액세스를 제한하기 위한 제1 안전 기구와 제2 안전 기구가 실현되어 있다. 이에 따라, 가공 장치(402)의 내부에 위치하는 동작 중의 가동부 등에 오퍼레이터가 실수로 액세스하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 실시형태의 가공 장치(402)는, 상술한 반송 시스템(2)으로부터 독립되어 있어도 좋다. 즉, 본 실시형태에 관련된 가공 장치(402)는, 반드시 상술한 반송 시스템(2)에 접속되지 않아도 좋다.
본 실시형태에 관련된 카세트 수용 기구(406)는, 상술한 실시형태의 카세트 수용 기구(24)와 마찬가지로, 피가공물(11)을 효율적이고 안전하게 반송할 수 있도록 구성되어 있다. 그 때문에, 이것이 구성된 가공 장치(4)를 이용함으로써, 피가공물(11)을 효율적이고 안전하게 반송할 수 있다.
그 외, 상술한 실시형태나 변형예 등에 관한 구조, 방법 등은, 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한 적절하게 변경하여 실시할 수 있다.
2: 반송 시스템
4: 가공 장치(절삭 장치)
4a: 가공 장치
4b: 가공 장치
6: 반송로
6a: 개구
8: 로더·언로더(반송 장치)
10: 반송차
10a: 반송차
10b: 반송차
12: 제어 유닛
21: 배관
22: 케이스
22a: 천정
22b: 개구
24: 카세트 수용 기구
24a: 제1 카세트 수용 기구
24b: 제2 카세트 수용 기구
26: 지지대
26a: 상면
26b: 외측면
28: 카세트 재치대
28a: 하면
28b: 상면
28c: 관통 구멍
30: 카세트
30a: 제1 카세트
30b: 제2 카세트
32: 반입 출구
34: 외측 문(제2 문)
36: 회전 연결 부재
38a: 외부 반입출 영역(외부 영역)
38b: 내부 수용 영역(내부 영역)
40: 내측 문(제1 문)
42: 승강 기구
42a: 실린더 튜브
42b: 피스톤 로드
42c: 연결 부재
44: 제1 센서
44a: 자석
46: 제어장치
48: 제2 센서
48a: 자석
50: 스토퍼 부재
50a: 각봉
50b: 롤러
52: 축기구
52a: 회전축
52b: 베어링
54: 핀(압박부)
54a: 링
54b: 버튼
56: 승강 기구
56a: 지지 기둥
58: 승강대
60: 임시 배치 유닛
62: 케이스
62a: 상판
62b: 하판
62c: 측판
62c1: 제1 측판
62c2: 제2 측판
62d: 개구
62e1: 제1 개구
62e2: 제2 개구
64: 반송 유닛(반송 기구)
64a: 제1 반송 유닛
64b: 제2 반송 유닛
66: 재치대
68: 수신기
70: 송신기
72a: 상단 가이드 레일(제1 임시 배치부)
72b: 하단 가이드 레일(제2 임시 배치부)
72c: 간격
74a: 제1 에어 액추에이터
74b: 제2 에어 액추에이터
76a: 제1 가이드 기구
76b: 제2 가이드 기구
78: 간격 조정 기구
82: 프레임
84: 차축
86: 차륜(전륜)
88: 차륜(후륜)
90: 구동 유닛
92: 모터
92a: 회전축(출력 샤프트)
94: 풀리
96: 배터리(2차 전지)
98: 배선(충전 배선)
100: 단자(수전 단자)
102: 용기(카세트)
102a: 수용부(수용 공간)
102b: 개구
102c: 상벽
102d: 바닥벽
104: 격납 영역
106: 제1 가이드 레일
106a: 유지면
106b: 측면
108: 제2 가이드 레일
108a: 유지면
110: 승강 유닛(승강 기구)
112: 서스펜드 부재
114: 구동 기구
116: 접촉 부재
118: 탄성 부재(신축 부재)
120: 커버
122: 제1 센서
124: 제2 센서
126: 제3 센서
128: 지지대
130: 제어부(제어 유닛)
130a: 제1 센서 제어부
130b: 주행 지시부
130c: 제2 센서 제어부
130d: 선회 지시부
130e: 진입 제어부
130f: 정차 제어부
132: 수신기
134: 송신기
142: 모터
142a: 회전축(출력 샤프트)
144a: 제1 회전축(제1 샤프트)
144b: 제2 회전축(제2 샤프트)
146: 풀리
148: 연결 부재
150a: 풀리
150b: 풀리
152: 연결 부재
154a: 릴
154b: 릴
156a: 롤러
156b: 롤러
162: 구동 기구
164: 모터
164a: 회전축(출력 샤프트)
166a: 제1 회전축(제1 샤프트)
166b: 제2 회전축(제2 샤프트)
166c: 제3 회전축(제3 샤프트)
168: 풀리
170: 연결 부재
172: 릴
172a: 홈(오목부)
172b: 돌기(볼록부)
174: 고정 부재
176: 가이드
182: 덮개부
182a: 판형 부재
182b: 유연 부재
184: 접촉부
184a: 고정 부재
184b: 롤러
186: 고정 블록
188: 연결 블록(L자 블록)
188a: 연결부
188b: 고정부
190: 연결축
202: 베이스
202a: 오목부
202b: 오목부
202c: 배관 접속부
204: 승강대
206: X축 이동 기구(가공 이송 유닛)
206a: 테이블 커버
206b: 방진방적 커버
208: 척 테이블
208a: 유지면
210: 클램프
212: 가이드 레일
214: 제1 지지 구조
216: 제1 레일
218: 제1 이동 기구
220: 제1 유지 유닛
220a: 파지 기구
222: 제2 레일
224: 제2 이동 기구
226: 제2 유지 유닛
228: 제2 지지 구조
230: Y축 Z축 이동 기구(인덱싱 이송 유닛, 절입 이송 유닛)
232: 가공 유닛(절삭 유닛)
234: 절삭 블레이드
236: 촬상 유닛(카메라)
238: 세정 유닛
240: 스피너 테이블
242: 분사 노즐
244: 커버
244a: 천정
244b: 문
246: 제어 장치
248: 수신기
250: 송신기
262: 하단 프레임
264: 상단 프레임
266: 노면 패널
268: 나사
270: 하단 프레임 유닛
270a: 하단 프레임 유닛
270b: 하단 프레임 유닛
270c: 하단 프레임 유닛
270d: 하단 프레임 유닛
272: 상단 프레임 유닛
272a: 상단 프레임 유닛
272b: 상단 프레임 유닛
274a: 중개 패널
274b: 중개 패널
276: 가이드부
278: 주행 영역
280: 정차 영역
282: 통로
284: 대기 영역
286: 마크
286a: 제1 마크
286b: 제2 마크
286c: 제3 마크
286d: 제4 마크
288: 단자(급전 단자)
290: 단자 지지부
292: 배선(급전 배선)
302: 제어부
304: 수신기
306: 송신기
402: 가공 장치(절삭 장치)
404: 승강대
406: 카셋트 수용 기구
406a: 제1 카셋트 수용 기구
406b: 제2 카셋트 수용 기구
11: 피가공물
13: 테이프(다이싱 테이프)
15: 프레임
17: 피가공물 유닛
17a: 피가공물 유닛
17b: 피가공물 유닛
A: 재치 영역
A1a: 제1 재치 영역
A1b: 제1 재치 영역
A2: 제2 재치 영역
B1a: 제1 반송 영역
B1b: 제1 반송 영역
B2: 제2 반송 영역
C1: 화살표
C2: 화살표
C3: 화살표
D1: 화살표
D2: 화살표
D3: 화살표
E1: 화살표
E2: 화살표
F1: 화살표
F2: 화살표
G: 화살표

Claims (3)

  1. 가공 장치의 상방에 설치된 반송로 상을 주행하여 피가공물을 반송하는 반송차로서,
    주행용의 차륜이 장착되는 프레임과,
    상기 피가공물을 수용하는 용기와,
    상기 프레임에 설치되고, 상기 용기를 매달아서 승강시키는 승강 유닛과,
    상기 프레임에 설치되고, 상기 피가공물이 상기 반송로 상에서 반송될 때에 상기 용기의 상면 측에 접촉하는 접촉 부재와,
    상기 승강 유닛을 제어하는 제어부
    를 포함하고,
    상기 승강 유닛은, 상기 용기에 일단 측이 접속되는 서스팬드 부재와, 상기 서스팬드 부재를 권취하는 동력을 생성하는 모터를 구비하고,
    상기 제어부는, 상기 서스팬드 부재가 권취되어서 상기 용기가 상기 접촉 부재와 접촉했을 때의 상기 모터의 전류값의 변화에 기초하여, 상기 모터의 회전을 정지시키는 것을 특징으로 하는 반송차.
  2. 제1항에 있어서, 상기 접촉 부재는, 상기 용기의 상면 측에 3 점 이상에서 접촉하는 것을 특징으로 하는 반송차.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 접촉 부재의 상기 용기와 접촉하는 영역은, 탄성 부재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반송차.
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