JP7483311B2 - 搬送システム - Google Patents

Description

本発明は、被加工物等の物品の搬送に用いられる搬送システムに関する。

電子機器等に組み込まれるデバイスチップの製造工程では、半導体ウェーハや樹脂パッケージ基板に代表される板状の被加工物が様々な加工装置によって加工される。この加工装置に対して被加工物を搬送する際には、通常、複数の被加工物を収容できるカセットが用いられる。加工装置は、複数の被加工物を収容した状態のカセットを受け取ると、このカセットから被加工物を順に取り出して加工する。

被加工物の加工にかかる効率を高めるために、複数の加工装置が並行して用いられることもある。この場合には、複数の加工装置のそれぞれに対して適切なタイミングで被加工物を搬送しなくてはならない。そこで、複数の加工装置を搬送用の経路（搬送路）で繋いで、各加工装置への被加工物の搬送を実現した搬送システムが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開平６－１７７２４４号公報

ところで、複数の加工装置の持つ能力を最大限に発揮させるためには、各加工装置に対して被加工物等の物品を効率良く安全に搬送することが重要になる。しかしながら、被加工物の搬送にかかる各種の装置の構造上の理由等から、物品の円滑な搬送を実現できないことがあった。

また、搬送路を加工装置の横に設置する場合、該搬送路が広い面積にわたり工場の床面を占拠するため、他の設備の設置を妨げる上、作業員等の通行の妨げにもなる。搬送路として機能する搬送レールを工場等の天井に設けることも考えられるが、大掛かりな工事が必要となる。

そこで、このような問題を生じない搬送システムとして、各加工装置の筐体に載せるように設置された搬送路を含む搬送システムが考えられる。該搬送システムは、比較的容易に構築可能であり、工場の床面を占拠することもない。ただし、工場の床面に立つオペレーター等からは各加工装置の上に設けられた搬送路を走行する搬送車を視認しにくく、各搬送車の位置や状態を把握することは容易ではない。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、搬送路を走行する搬送車の位置等をオペレーター等が容易に把握できる搬送システムを提供することである。

本発明の一態様によれば、複数の加工装置のそれぞれに対して物品を搬送する搬送システムであって、それぞれの該加工装置の上方に、該加工装置の間に渡って設置される搬送路と、制御信号を受信する受信機を備え、該物品を支持して該搬送路を走行する搬送車と、該物品を収容する物品ストッカーと、該搬送車に該物品を搬送する物品搬送部と、制御信号を受信する受信機と、を備えるローダー・アンローダーと、表示ユニットと、制御ユニットと、を含み、該制御ユニットは、該加工装置、該搬送車及び該ローダー・アンローダーに制御信号を送信する送信機と、該加工装置及び該搬送車から送信される通知信号を受信する受信機と、該送信機から送信する該制御信号を生成する制御信号生成部と、該表示ユニットを制御する表示制御部と、を備え、該表示制御部は、該搬送路を表すマップ上に該搬送路上を目的地に向けて走行中の該搬送車から送信される該通知信号を利用して割り出される該搬送車の現在地が示された位置情報画面を該表示ユニットに表示させることを特徴とする搬送システムが提供される。

好ましくは、該加工装置で使用される工具を該物品として搬送可能であり、該表示制御部は、該工具の工具種別情報と、該工具が使用済みか否かを示す工具状態情報と、該位置情報画面において該マップ上に該工具の現在地を表示する工具位置表示と、のうち一つ以上を該表示ユニットに表示させる。

また、好ましくは、該加工装置で加工される被加工物を該物品として搬送可能であり、該表示制御部は、該被加工物に関する情報と、該搬送車で運搬されている該被加工物が加工済か否かを示す状態情報と、該位置情報画面において該マップ上に該被加工物の現在地を表示する被加工物位置表示と、のうち一つ以上を該表示ユニットに表示させる。

また、好ましくは、該表示制御部は、該加工装置から発信される加工装置警告情報と、該搬送車から発信される搬送車警告情報と、該搬送車が備えるバッテリーの状態を示すバッテリー残量情報と、のうち一つ以上を該表示ユニットに表示させる。

さらに、好ましくは、該位置情報画面では、該搬送車が該物品を搬送中であるか否かの作業状態に基づいて変化する搬送車図が該マップ上に表示されることで該搬送車の現在地及び該作業状態が表示される。

また、好ましくは、入力インターフェースをさらに備え、該制御ユニットは、該入力インターフェースで入力された指示に基づいて該送信機から該加工装置、該搬送車又は該ローダー・アンローダーへ該制御信号を送信する。

本発明の一態様にかかる搬送システムは、表示ユニットと、制御ユニットと、を含み、制御ユニットは、表示ユニットを制御する表示制御部を備える。表示制御部は、搬送路を表すマップ上に搬送車の現在地が示された位置情報画面を表示ユニットに表示させる。複数の加工装置が設置された工場で作業に従事するオペレーターは、表示ユニットに表示された位置情報画面を確認するだけで搬送車の現在地等の状態を把握できる。

したがって、本発明の一態様によると、搬送路を走行する搬送車の位置等をオペレーター等が容易に把握できる搬送システムが提供される。

図１は、搬送システムの構成例を示す平面図である。 図２は、搬送システムの接続関係の例を示す機能ブロック図である。 図３は、ローダー・アンローダーの構成例を模式的に示す側面図である。 図４（Ａ）は、搬送車の上面側を示す斜視図であり、図４（Ｂ）は、搬送車１０の底面側を示す斜視図である。 図５は、容器が載置領域に載置された状態の搬送車を示す斜視図である。 図６は、加工装置や搬送路の外観を示す斜視図である。 図７は、加工装置の内部の構造を示す斜視図である。 図８は、複数の路面パネルを並べて構成される搬送路を示す平面図である。 図９は、搬送システムの制御方法の例を説明するための図である。 図１０は、タブレットＰＣを模式的に示す斜視図である。 図１１は、表示ユニットに表示された位置情報画面を模式的に示す平面図である。 図１２（Ａ）は、容器に何も収容していない搬送車を表す搬送車図であり、図１２（Ｂ）は、容器に未加工の被加工物を収容する搬送車を表す搬送車図であり、図１２（Ｃ）は、下降している容器に未加工の被加工物を収容する搬送車を表す搬送車図であり、図１２（Ｄ）は、下降している容器に何も収容していない搬送車を表す搬送車図であり、図１２（Ｅ）は、下降している容器に加工済みの被加工物を収容する搬送車を表す搬送車図であり、図１２（Ｆ）は、容器に加工済みの被加工物を収容する搬送車を表す搬送車図である。 図１３（Ａ）は、容器に工具を収容する搬送車を表す搬送車図であり、図１３（Ｂ）は、容器にドレッサーボードを収容する搬送車を表す搬送車図であり、図１３（Ｃ）は、容器に小型の被加工物を収容する搬送車を表す搬送車図であり、図１３（Ｄ）は、エラーが生じた搬送車を表す搬送車図である。

添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。なお、以下の実施形態では、被加工物等の物品の搬送先となる複数の加工装置がいずれも切削装置である場合について説明するが、搬送システムは、任意の種類の加工装置に対して物品を搬送できるように構成されていれば良い。すなわち、被加工物等の搬送先は、切削装置以外の加工装置でも良い。

例えば、搬送システムは、複数のレーザー加工装置に対して被加工物等を搬送できるように構成されることがある。また、搬送システムは、一連の加工に使用される複数の種類の加工装置に対して順に被加工物等を搬送できるように構成されることもある。更に、搬送システムは、被加工物等の加工に付随する任意の処理で使用される様々な装置に被加工物を搬送できるように構成されても良い。つまり、被加工物等の搬送先には、被加工物の加工を目的としないテープ貼付装置、紫外線照射装置、洗浄装置等が含まれ得る。

図１は、本実施形態にかかる搬送システム２の構成例を示す平面図であり、図２は、搬送システム２の接続関係の例を示す機能ブロック図である。図１に示すように、本実施形態にかかる搬送システム２は、加工装置（切削装置）４によって加工される板状の被加工物１１（図７等参照）等の物品を搬送するための搬送路６を含んでいる。

被加工物１１は、例えば、シリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハである。この被加工物１１の表面側は、互いに交差する複数の分割予定ライン（ストリート）によって複数の小領域に区画されており、各小領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）等のデバイスが形成されている。

被加工物１１の裏面側には、被加工物１１よりも径の大きいテープ（ダイシングテープ）１３が貼付されている。テープ１３の外周部分は、被加工物１１を囲む環状のフレーム１５に固定されている。このように、本実施形態にかかる搬送システム２では、テープ１３を介してフレーム１５に支持された被加工物ユニット１７の状態で被加工物１１が加工装置４へと搬送される。

なお、本実施形態の被加工物１１は、シリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハであるが、被加工物１１の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば、他の半導体、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる基板等を被加工物１１として用いることもできる。

同様に、デバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はない。被加工物１１には、デバイスが形成されていなくても良い。更に、本実施形態では、被加工物１１がテープ１３を介してフレーム１５に支持された被加工物ユニット１７を搬送の対象としているが、テープ１３が貼付されていない被加工物１１や、フレーム１５に支持されていない被加工物１１等が搬送の対象となることもある。

上述したフレーム１５の大きさは、被加工物１１の大きさ（被加工物１１の径等）に応じて設定される。例えば、約３００ｍｍの径の被加工物１１を支持するフレーム１５の外径は、約２００ｍｍの径の被加工物１１を支持するフレーム１５の外径に比べて大きい。つまり、大きな被加工物１１が使用される場合には、被加工物ユニット１７の外径も大きくなる。

また、本実施形態に係る搬送システム２では、被加工物１１以外の物品が搬送されてもよい。例えば、加工装置（切削装置）４で被加工物１１を加工する際に使用される工具や、加工装置（切削装置）４で消費される消耗品等が搬送されてもよい。

例えば、被加工物１１を切削する切削装置では、円環状の砥石を含む切削ブレード２３４（図７参照）が工具として使用される。切削装置で被加工物１１の切削を次々に実施していると砥石が消耗するため、切削ブレード２３４は定期的に交換する必要がある。搬送システム２では、被加工物１１以外の物品として、切削ブレード２３４等の新品の工具を加工装置（切削装置）４に搬送してもよい。そして、使用されて取り外された工具を加工装置（切削装置）４から搬送してもよい。

また、例えば、被加工物１１を切削する切削装置では、被加工物１１の切削を実施している間に目詰まり等が生じて、切削ブレード２３４の切削能力が低下することがある。そこで、各切削装置は、切削ブレード２３４の再生に使用されるドレッサーボード（不図示）を備えている。そして、切削ブレード２３４の切削能力が低下したとき、該切削ブレード２３４にドレッサーボードを切削させて砥石を積極的に消耗させることで切削ブレード２３４の切削能力を回復させるドレッシングと呼ばれる作業が該切削装置で実施される。

また、例えば、切削装置で新品の切削ブレード２３４の使用を開始する際、切削装置に装着された円環状の切削ブレード２３４の外周縁の各所が回転軸に対して等距離となるように真円出しと呼ばれる作業が実施される。真円出しでは、切削ブレード２３４にドレッサーボードを切削させることで実施される。ドレッサーボードは消耗品であり、定期的に交換される。

さらに、搬送システム２では、物品として、切削ブレード２３４を使用して実施されるテスト加工に供されるシリコンボードを搬送してもよい。切削ブレード２３４で該シリコンボードに切削溝を形成し該切削溝を顕微鏡等で観察すると、切削ブレード２３４の状態や加工条件が適切であるか等の評価できる。また、回転する切削ブレード２３４を上方から所定の高さ位置まで下降させてシリコンボードに切り込ませて溝を形成し、顕微鏡等で該溝を観察して溝の長さを精密に測定する。すると、切削ブレード２３４の径と、切り込み量と、を導出でき、切削ブレード２３４の切り込み深さを極めて精密に調整できる。

搬送システム２では、物品としてドレッサーボードやシリコンボード等の消耗品が搬送されてもよい。以下、搬送システム２で搬送される物品が被加工物１１である場合を中心に本実施形態について説明するが、物品は被加工物１１に限定されない。

また、この被加工物１１を加工する加工装置４は、被加工物１１等の物品の搬送先として搬送システム２に接続されているが、必ずしも搬送システム２の構成要素ではない。よって、加工装置４は、上述のように、搬送システム２の使用の態様に合わせて変更、省略されても良い。本実施形態では、被加工物１１等の物品の搬送先として、２台以上の加工装置４が必要になる。すなわち、搬送システム２に接続される加工装置４の数は、２以上である。

搬送路６は、複数の加工装置４を連結するように、各加工装置４の上部に設置されている。この搬送路６を通じて、各加工装置４に物品が搬送される。なお、搬送路６は、加工装置４の上方に設置されているので、各加工装置４の側面に接続される配管２０等に対して搬送路６が干渉することはない。

搬送路６の下方には、加工装置４の他に、加工前の被加工物１１や加工後の被加工物１１が収容されるローダー・アンローダー（搬送装置）８が設けられている。ローダー・アンローダー８に収容されている加工前の被加工物１１は、任意のタイミングで搬送車１０へと搬入される。なお、ローダー・アンローダー８には、被加工物１１の他に切削ブレード２３４等の工具やドレッサーボード等の消耗品が収容されていてもよい。

搬送車１０は、搬送路６上を走行し、ローダー・アンローダー８から受け取った加工前の被加工物１１、使用前の工具や消耗品等の物品を各加工装置４へと搬送する。また、搬送車１０は、加工装置４から加工後の被加工物１１、使用済みの工具、消耗品等の物品を受け取ると、搬送路６上を走行し、加工後の被加工物１１をローダー・アンローダー８へと搬送する。

ただし、複数の種類の装置（加工装置４等）が搬送システム２に接続されている場合には、搬送車１０は、ある加工装置４から加工後の被加工物１１を受け取ると、搬送路６上を走行し、加工後の被加工物１１を次の工程で使用される装置へと搬送することがある。なお、図１及び図２では、２台の搬送車１０ａ，１０ｂを示しているが、搬送車１０の数に制限はない。

図２に示すように、加工装置４、ローダー・アンローダー８、搬送車１０には、これらの動作を制御する制御ユニット１２が無線で接続されている。ただし、制御ユニット１２は、加工装置４、ローダー・アンローダー８、搬送車１０等の動作を制御できるように構成されていれば良く、これらに対して有線で接続されることもある。

また、搬送システム２は、各種の情報を表示できる表示ユニット１４と、各種の指令の入力に使用できる入力インターフェース１６と、をさらに有する。表示ユニット１４及び入力インターフェース１６は、有線または無線により制御ユニット１２に接続される。さらに、搬送システム２は、表示ユニット１４として機能するディスプレイパネルと、該入力インターフェース１６として機能するタッチパネルと、が積層されたタッチパネル付きディスプレイを備えても良い。

図３は、ローダー・アンローダー８の構成例を模式的に示す側面図である。なお、図３では、一部の構成要素を機能ブロックで示している。図３に示すように、ローダー・アンローダー８は、各種の構成要素を収容する筐体２２を含む。なお、図３では、説明の便宜上、筐体２２を輪郭だけで示している。

筐体２２内の異なる２つの高さの位置には、それぞれ、カセット収容機構２４が設けられている。すなわち、ローダー・アンローダー８は、第１カセット収容機構２４ａと、第１カセット収容機構２４ａの上方に配置された第２カセット収容機構２４ｂと、を含む。ただし、ローダー・アンローダー８が備えるカセット収容機構２４の数に制限はない。ローダー・アンローダー８は、１以上のカセット収容機構２４を備えていれば良い。

各カセット収容機構２４は、平板状の支持台２６を有する。支持台２６の上面側には、ガイド機構（不図示）が設けられており、このガイド機構には、筐体２２の奥行方向（Ｙ_１軸方向）に沿ってスライドできるように平板状のカセット載置台２８が装着されている。

カセット載置台２８の上面には、複数（例えば、１０以上）の被加工物１１を収容できるカセット３０が載置される。また、カセット載置台２８の上面には、搬送の対象となる工具や消耗品等の被加工物１１以外の物品を収容するカセットが載置されてもよい。

筐体２２の各カセット収容機構２４に対応する位置には、搬入出口３２が形成されている。カセット３０の搬入出時には、カセット３０が載置されたカセット載置台２８をスライドさせることによって、この搬入出口３２をカセット３０が通過する。

筐体２２の各搬入出口３２に対応する位置には、各搬入出口３２を閉じることのできる外扉３４が配置されている。外扉３４の下部は、例えば、水平な回転軸を持つヒンジ等の回転連結部材３６を介して支持台２６の外側の端部に連結されており、外扉３４は、回転連結部材３６の回転軸を中心に回転することによって開閉される。外扉３４が開かれた状態では、搬入出口３２よりも外側にカセット載置台２８を引き出すことができる。

例えば、オペレーターは、運んできたカセット３０を、外部に引き出されたカセット載置台２８の上に載置する。その後、オペレーターがカセット載置台２８を筐体２２の内部へ押し込むと、カセット載置台２８及びカセット３０は、筐体２２の内部に移動する。

各カセット収容機構２４の搬入出口３２と反対側の位置には、高さ方向に沿って移動できる態様の内扉４０が設けられている。第１カセット収容機構２４ａの内扉４０は、上方の閉位置と下方の開位置との間で移動し、第２カセット収容機構２４ｂ側の内扉４０は、上方の開位置と下方の閉位置との間で移動する。よって、２つの内扉４０が互いに干渉することはない。

内扉４０を昇降させる昇降機構（不図示）は、例えば、空気圧を利用して対象を移動させるエアアクチュエーター（エアシリンダー）であり、シリンダーチューブと、該シリンダーチューブに対して移動できるピストンロッドと、を有する。なお、昇降機構は、ロッドレスエアシリンダー等の他の機構により実現されても良い。

ローダー・アンローダー８は、各構成要素を制御する制御装置４６を備える。制御装置４６には、外扉３４及び内扉４０の開閉状態を検知できるセンサーが接続されている。制御装置４６は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の処理装置と、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）等の主記憶装置と、フラッシュメモリ等の補助記憶装置と、を含むコンピュータによって構成されている。補助記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御装置４６の機能が実現される。

制御装置４６は、ローダー・アンローダー８の安全機構としての機能を備えている。外扉３４が閉じていると判断し、且つ、内扉４０が開いていると判断した場合に、制御装置４６は、外扉３４が開かないようにロック機構で外扉３４を固定する。すなわち、外扉３４と、内扉４０と、が同時開かないように制御することにより、動作中の可動部等にオペレーターが誤ってアクセスすることを防止できる。

図３に示すように、ローダー・アンローダー８は、内扉４０の支持台２６とは反対側に配置された昇降機構５６を備えている。昇降機構５６は、高さ方向に長い支持柱５６ａを有している。支持柱５６ａの内扉４０側には、支持柱５６ａの長手方向に沿う一対のガイドレール（不図示）が設けられている。一対のガイドレールには、板状の昇降台５８が高さ方向にスライドできる態様で取り付けられている。

支持柱５６ａの下部には、モーター（不図示）と、モーターの回転軸に連結された駆動プーリー（不図示）と、が設けられている。また、支持柱５６ａの上部には、従動プーリー（不図示）が設けられている。駆動プーリーと従動プーリーとには、１本の歯付無端ベルト（不図示）が架けられており、この歯付無端ベルトの一部は、昇降台５８に固定されている。そのため、モーターの回転軸を一方向に回転させると、昇降台５８は上昇し、モーターの回転軸を他方向に回転させると、昇降台５８は下降する。

昇降台５８の上面側には、被加工物１１等の物品が仮置きされる仮置きユニット６０が設けられている。仮置きユニット６０は、カセット収容機構２４側に開口が形成された角筒状の筐体６２を有する。筐体６２の内部には、物品をそれぞれ把持して奥行方向に移動できる複数の搬送ユニット（搬送機構）６４が配置されている。

仮置きユニット６０と第１カセット収容機構２４ａの第１カセット３０ａとの間で被加工物ユニット１７を受け渡す際には、仮置きユニット６０の高さを第１カセット収容機構２４ａの高さに合わせる。そして、第１カセット収容機構２４ａの内扉４０が開かれる。

例えば、搬送ユニット６４は、第１カセット３０ａに収容されている被加工物ユニット１７を把持して、仮置きユニット６０に引き出す。また、搬送ユニット６４は、仮置きユニット６０に仮置きされている被加工物ユニット１７を把持して、第１カセット３０ａに収容する。同様に、搬送ユニット６４は、仮置きユニット６０と、第２カセット３０ｂとの間で、被加工物１１を搬送できる。

第２カセット収容機構２４ｂの更に上方には、載置台６６が設けられている。また、載置台６６の直上の領域には、筐体２２の天井２２ａを上下に貫通する開口２２ｂが設けられている。更に、載置台６６及び開口２２ｂの直上の領域には、搬送路６を上下に貫通する開口６ａが設けられている。

搬送車１０と仮置きユニット６０との間で被加工物ユニット１７を搬送する際には、まず、被加工物ユニット１７を収容できる容器（カセット）１０２を備えた搬送車１０を、開口６ａの上方に移動させる。そして、容器１０２を吊り下げ部材１１２で吊り下げるように降下させて、載置台６６の上面に容器１０２を載置する。また、仮置きユニット６０の高さを、載置台６６に載置された容器１０２の高さに合わせる。

例えば、搬送ユニット６４は、容器１０２に収容されている被加工物ユニット１７を把持して、仮置きユニット６０に引き出す。また、搬送ユニット６４は、仮置きユニット６０に仮置きされている被加工物ユニット１７を把持して、容器１０２に収容する。このように、搬送ユニット６４は、仮置きユニット６０と、載置台６６に載置された容器１０２との間で、被加工物１１を搬送できる。

なお、仮置きユニット６０を昇降させる昇降機構５６や、仮置きユニット６０内の搬送ユニット６４は、上述の制御装置４６に接続されている。昇降機構５６や搬送ユニット６４の動作は、この制御装置４６によって制御される。

制御装置４６には、外部からの制御信号を受信して制御装置４６に送る受信機６８と、制御装置４６から受け取った通知信号を外部に送信する送信機７０と、が更に接続されている。受信機６８は、例えば、搬送システム２の制御ユニット１２から送信される制御信号を受信して制御装置４６に送る。

制御装置４６は、例えば、受信機６８から受け取った制御信号に基づき、ローダー・アンローダー８の各構成要素の動作を制御する。また、制御装置４６は、例えば、通知信号を生成して送信機７０に送る。送信機７０は、例えば、制御装置４６から受け取った通知信号を搬送システム２の制御ユニット１２に送信する。

ローダー・アンローダー８は、仮置きユニット６０を介して、カセット３０と、搬送車１０の容器１０２と、の間で被加工物ユニット１７を搬送できる。よって、各加工装置４に対して適時に被加工物ユニット１７を搬送でき、また、各加工装置４で加工された被加工物ユニット１７を適時に回収できる。

また、仮置きユニット６０の筐体６２は、例えば、２つの被加工物ユニット１７を同時に収容できても良い。この場合、搬送車１０の容器１０２又はカセット３０と、仮置きユニット６０と、の間で被加工物ユニット１７を効率良く搬送できる。各搬送ユニット６４は、上下に配置された２枚の板部材を含む把持部を備えている。２枚の板部材は、上側の板部材の下面と下側の板部材の上面とが概ね平行になるように配置されている。

各搬送ユニット６４の把持部は、２枚の板部材の間隔を調整するアクチュエーター（不図示）を更に含んでいる。このアクチュエーターによって２枚の板部材の間隔を狭めることにより、被加工物ユニット１７のフレーム１５が把持される。また、２枚の板部材の間隔を広げることにより、被加工物ユニット１７のフレーム１５が２枚の板部材から放される。

このように、ローダー・アンローダー８は、被加工物１１や工具、消耗品等の物品を収容する物品ストッカーとして機能する筐体２２と、搬送車１０に物品を搬送する物品搬送部として機能する搬送ユニット６４と、を備える。そして、ローダー・アンローダー８は、制御ユニット１２から送信される制御信号等を受信する受信機６８と、制御ユニット１２に情報を含む信号等を送信する送信機７０と、を含む。

図４（Ａ）は、搬送路６上を走行して被加工物ユニット１７等の物品を搬送する搬送車１０の上面側を示す斜視図であり、図４（Ｂ）は、搬送車１０の底面側を示す斜視図である。図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示すように、搬送車１０は、各種の構成要素が搭載される板状のフレーム８２を備える。

フレーム８２の前方側の両側端部には、一対の車軸８４が配置されている。車軸８４は、一端側がフレーム８２の側面から突出するように、フレーム８２の下面側に装着される。一対の車軸８４の一端側には、それぞれ、車輪（前輪）８６が固定されている。また、フレーム８２の後端部の幅方向に離れた２つの位置には、一対の車輪（後輪）８８が配置されている。車輪８８は、例えば、高さ方向に沿う回転軸の周りに３６０°回転できるキャスターであり、フレーム８２の下面側に装着されている。

フレーム８２の前端部には、一対の車輪８６を駆動する駆動ユニット９０が搭載されている。駆動ユニット９０は、それぞれ、車軸８４等を介して車輪８６に連結された一対のモーター９２を備える。モーター９２は、回転軸（出力シャフト）９２ａを備え、車輪８６を回転させる動力を生成する。

図４（Ｂ）に示すように、車軸８４の他端側には、プーリー９４が設けられている。モーター９２の回転軸９２ａとプーリー９４とには、ベルト、チェーン等の無端の連結部材（不図示）が架けられている。モーター９２の回転軸９２ａ、プーリー９４、及び連結部材によって動力伝達機構が構成され、車軸８４とモーター９２とが連結される。これにより、モーター９２によって生成された動力（回転力）が車輪８６に伝達され、車輪８６が回転する。

駆動ユニット９０は、一対のモーター９２によって一対の車輪８６の回転する方向を独立に制御する。一対の車輪８６を同方向に回転させることにより、搬送車１０が前進又は後退する。また、一対の車輪８６を互いに逆方向に回転させることにより、高さ方向に沿う回転軸の周りに搬送車１０を回転させて、搬送車１０の進行する方向を制御できる。なお、車輪８６及び車輪８８の構造に制限はない。例えば、車輪８６及び車輪８８として、傾斜した樽状（筒状）の複数の回転体が搬送路６と接触する外周面に取り付けられた、いわゆる、メカナムホイールを用いることもできる。

駆動ユニット９０には、モーター９２等に電力を供給するバッテリー（二次電池）９６が接続される。バッテリー９６は、例えば、フレーム８２の前端部に装着され、車輪８６を回転させるための電力をモーター９２に供給する。バッテリー９６としては、リチウムイオン電池等が用いられる。

図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示すように、フレーム８２の下側には、被加工物ユニット１７等の物品を収容する容器（カセット）１０２が格納される格納領域１０４が設けられている。格納領域１０４は、一対の車輪８６と一対の車輪８８とによって周りを囲まれており、且つ、車輪８６及び車輪８８の下端よりも上方に位置する。この格納領域１０４には、１又は複数の被加工物ユニット１７等の物品を収容できる容器１０２が配置される。

図５には、容器１０２を示す斜視図が含まれている。容器１０２は、例えば、平面視で六角柱状に形成され、その内部に物品を収容可能な収容部（収容空間）１０２ａを備える。容器１０２の一側面側には、開口１０２ｂが設けられている。物品は、開口１０２ｂを通過して収容部１０２ａに搬出入される。

容器１０２は、例えば、大きさの異なる２種類の被加工物ユニット１７を収容できるように構成されていても良い。容器１０２の収容部１０２ａには、一対の第１ガイドレール１０６と、一対の第２ガイドレール１０８とが設けられている。

一対の第１ガイドレール１０６は、所定の間隔で収容部１０２ａの上壁１０２ｃの下面に固定されており、被加工物ユニット１７の下面側を下側から保持する保持面と、被加工物ユニット１７の水平方向の位置を規定する側面と、を備える。また、一対の第２ガイドレール１０８は、所定の間隔で収容部１０２ａの底壁１０２ｄの上面に固定されており、被加工物ユニット１７の下面側を下側から保持する保持面を備える。なお、被加工物ユニット１７の水平方向の位置は、容器１０２の内側の側面によって規定される。

一対の第１ガイドレール１０６の間隔は、一対の第２ガイドレール１０８の間隔よりも狭い。そのため、一対の第１ガイドレール１０６は、第２ガイドレール１０８によって保持される被加工物ユニット１７よりも小さい被加工物ユニット１７を保持できる。例えば、一対の第１ガイドレール１０６によって約２００ｍｍ（８インチ）の径の被加工物１１が保持され、一対の第２ガイドレール１０８によって約３００ｍｍ（１２インチ）の径の被加工物１１が保持される。

ただし、容器１０２や収容部１０２ａの構造に制限はない。例えば、収容部１０２ａは、１又は３以上の被加工物ユニット１７を収容できるように構成されることがある。また、収容部１０２ａは、同じ種類の複数の被加工物ユニット１７を収容できるように構成されても良い。

また、容器１０２の収容部１０２ａは、切削ブレード等の工具や、ドレッサーボード等の消耗品等の物品を収容する場合においても、該物品の形状に対応した構造を有する支持機構が設けられるとよい。また、容器１０２には、複数の物品を載置可能で開口１０２ｂから外部に引き出し可能なトレー（不図示）を収容部１０２ａとして備えても良い。搬送車１０は、容器１０２で物品を支持して搬送路６を走行することで該物品を搬送する。

被加工物ユニット１７等の物品を搬送車１０によって搬送する際には、図４（Ａ）に示すように、容器１０２が格納領域１０４に格納される。このとき、容器１０２の下面は、車輪８６の下端や車輪８８の下端よりも上方に位置付けられる。そのため、搬送車１０の走行中に容器１０２が搬送路６と接触することはない。

格納領域１０４の上方に位置するフレーム８２の上面側の領域には、容器１０２を吊り下げて昇降させる昇降ユニット（昇降機構）１１０が設けられている。昇降ユニット１１０は、格納領域１０４に格納された容器１０２を降下させて、所定の載置領域に載置する。また、昇降ユニット１１０は、所定の載置領域に載置された容器１０２を上昇させて、容器１０２を格納領域１０４に格納する。

図５は、容器１０２が載置領域Ａに載置された状態の搬送車１０を示す斜視図である。昇降ユニット１１０は、一端側（下端側）が容器１０２に接続された吊り下げ部材１１２と、吊り下げ部材１１２の巻き取り及び送り出しを行う駆動機構１１４とを備える。なお、載置領域Ａは、例えば、ローダー・アンローダー８の載置台６６の上面（図３参照）、または、後述する加工装置４の昇降台２０４の上面（図６参照）である。

図５に示すように、昇降ユニット１１０は、４本の吊り下げ部材１１２を備える。吊り下げ部材１１２としては、例えば、所定の幅を有するベルトが用いられる。４本の吊り下げ部材１１２の先端部（下端部）は、それぞれ、容器１０２の上面側の４つの位置に接続されている。

容器１０２が格納領域１０４に格納された状態で、駆動機構１１４によって吊り下げ部材１１２が送り出されると、容器１０２が下降して載置領域Ａに載置される。また、容器１０２が載置領域Ａに載置された状態で、駆動機構１１４によって吊り下げ部材１１２が巻き取られると、容器１０２が上昇して格納領域１０４に格納される。

吊り下げ部材１１２としてベルトを用いる場合には、図５に示すように、収容部１０２ａから物品が搬出される際に該物品が開口１０２ｂを通過する向きに対して、ベルトの幅方向が沿うように、容器１０２に対するベルトの向きを調整しておくことが好ましい。容器１０２はベルトの幅方向に揺れ動き難いので、この態様では、容器１０２の昇降中に物品が開口１０２ｂから飛び出る可能性を低く抑えられる。なお、吊り下げ部材１１２としては、ワイヤロープ等のベルト以外の部材を用いても良い。

図４（Ｂ）に示すように、フレーム８２の下面側には、容器１０２の上面側に接触する複数の接触部材１１６が設けられている。複数の接触部材１１６は、それぞれ、概ね同じ高さの柱状に形成され、フレーム８２の下面から下方に突出するようにフレーム８２に固定されている。容器１０２が格納領域１０４に格納されると、この容器１０２の上面側が複数の接触部材１１６の下端部に接触して各接触部材１１６を上向きに押す。

接触部材１１６は、例えば、容器１０２が押し当てられると弾性変形を生じる弾性部材により形成される。接触部材１１６に弾性部材を用いると、例えば、容器１０２が接触部材１１６と接触した際の衝撃が緩和され、容器１０２や容器１０２内の物品が破損し難くなる。また、搬送車１０が搬送路６を走行する際にも、接触部材１１６が緩衝材となり、フレーム８２の振動が容器１０２や物品に伝わり難くなる。

接触部材１１６として、例えば、ゴム（ウレタンゴム、シリコーンゴム等）、スポンジ等でなる柱状の部材を用いることができる。特に、容器１０２との間に作用する摩擦力が大きいゴムで構成される接触部材１１６を用いることによって、搬送中の容器１０２の位置ずれを抑制できる。

また、接触部材１１６は、容器１０２の上面側に対して３以上の位置で接触することが好ましい。ただし、接触部材１１６の形状、数、配置等の条件は任意に変更され得る。例えば、互いに概ね平行に配置された一対の線状（帯状）の接触部材１１６がフレーム８２に設けられても良い。

フレーム８２の後端部の下側には、カバー１２０が設けられている。カバー１２０は、容器１０２が格納領域１０４に格納される際に、容器１０２の開口１０２ｂを覆う。開口１０２ｂがカバー１２０によって覆われると、搬送車１０の走行中に容器１０２の収容部１０２ａに異物が入り込むことを防止でき、搬送されている物品への異物の付着が防止される。また、搬送車１０の走行中に容器１０２が傾いたり振動したりしても、物品の開口１０２ｂからの飛び出しがカバー１２０によって防止される。

フレーム８２の前端部及び後端部には、一対の第１センサー１２２が設けられている。すなわち、一対の第１センサー１２２は、フレーム８２の長さ方向（車長方向）に離れた２つの位置に設けられている。また、フレーム８２の両側端部には、一対の第２センサー１２４が設けられている。すなわち、一対の第２センサー１２４は、フレーム８２の幅方向（車幅方向）に離れた２つの位置に配置されている。

第１センサー１２２と第２センサー１２４とは、それぞれ、搬送車１０が走行する搬送路６と対向するように装着され、搬送路６に設けられたマークを検出する。第１センサー１２２及び第２センサー１２４によるマークの検出結果に基づいて、搬送車１０の走行、旋回、停車等が制御される。第１センサー１２２及び第２センサー１２４を用いた搬送車１０の制御の詳細については後述する。

さらに、図４（Ａ）等に示すように、フレーム８２の前端部には、搬送車１０が障害物に衝突したことを検知する第３センサー１２６が設けられている。例えば、フレーム８２の前端部の両端側に、一対の第３センサー１２６が装着される。第３センサー１２６としては、例えば、押しボタン式のスイッチが用いられる。

搬送車１０の前端部が障害物に衝突すると、第３センサー１２６が作動して搬送車１０の衝突が検知される。そして、第３センサー１２６によって搬送車１０の衝突が検知されると、搬送車１０は動作を停止する。搬送車１０は、例えば、衝突等に起因する衝撃を弱めることのできる柔軟な外装カバーによって覆われることがある。この場合には、搬送車１０の前端側を覆う外装カバーが障害物に衝突すると、外装カバーが変形して第３センサー１２６に接触し、搬送車１０の衝突が検知される。

図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示すように、昇降ユニット１１０の上側には、フレーム８２に固定された板状の支持台１２８が設けられている。この支持台１２８の上面には、搬送車１０の動作を制御する制御部（制御ユニット）１３０が固定されている。制御部１３０は、搬送車１０の各構成要素（駆動ユニット９０、昇降ユニット１１０、第１センサー１２２、第２センサー１２４、第３センサー１２６等）に接続されており、各構成要素の動作を制御する。

制御部１３０は、例えば、ＣＰＵ等の処理装置と、ＤＲＡＭ等の主記憶装置と、フラッシュメモリ等の補助記憶装置と、を含むコンピュータによって構成されている。補助記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御部１３０の機能が実現される。

また、支持台１２８上には、外部からの制御信号（情報）を受信して制御部１３０に送る受信機１３２と、制御部１３０から受け取った通知信号（情報）を外部に送信する送信機１３４と、が固定されている。受信機１３２と送信機１３４とは、それぞれ、制御部１３０に接続されている。

受信機１３２は、例えば、搬送システム２の制御ユニット１２（図２参照）から送信される制御信号を受信して制御部１３０に送る。制御部１３０は、例えば、受信機１３２から受け取った制御信号に基づき、搬送車１０の動作を制御する。また、制御部１３０は、例えば、通知用の信号（通知信号）を生成して送信機１３４に送る。送信機１３４は、例えば、制御部１３０から受け取った通知信号を搬送システム２の制御ユニット１２に送信する。

なお、搬送車１０の各構成要素（昇降ユニット１１０、第１センサー１２２、第２センサー１２４、第３センサー１２６、制御部１３０、受信機１３２、送信機１３４等）は、給電用の配線を介してバッテリー９６に接続されており、このバッテリー９６から供給される電力によって動作する。

容器１０２の昇降時には、昇降ユニット１１０のモーター等の回転が、制御部１３０によって制御される。容器１０２を載置領域Ａに載置する際には、駆動機構１１４から吊り下げ部材１１２が任意の速度で送り出されるように、モーターの回転方向及び回転数が制御される。例えば、制御部１３０は、モーターの回転数が維持されるように、モーター１４２の電流値を制御する。

容器１０２が下降して載置領域Ａに到達すると、容器１０２が載置領域Ａで下側から支持される。その結果、モーターに作用する負荷が弱まり、モーターの電流値が減少する。制御部１３０は、容器１０２が載置領域Ａに載置された際のモーターの電流値の変化に基づいて、モーターの回転を停止させる。これにより、載置領域Ａへの容器１０２の載置が完了する。

容器１０２が上昇して格納領域１０４に到達すると、フレーム８２の下面側に設けられた複数の接触部材１１６に容器１０２が押し付けられる。その結果、モーターに作用する負荷が強まり、モーターの電流値が増加する。制御部１３０は、容器１０２が接触部材１１６と接触した際のモーターの電流値の変化に基づいて、モーターの回転を停止させる。これにより、格納領域１０４への容器１０２の格納が完了する。

ただし、モーターの制御方法に制限はない。例えば、フレーム８２の下面側や載置領域Ａの上面側には、容器１０２が配置されたことを検知するセンサー（押しボタン式のスイッチ等）が設けられても良い。この場合には、センサーによって容器１０２が検知されると、制御部１３０は、モーターの回転を停止させる。なお、センサーによる検知と、モーターの電流値による検知と、を併用することもできる。

図６は、加工装置４や搬送路６の外観を示す斜視図であり、図７は、加工装置４の内部の構造を示す斜視図である。なお、図６では、一部の構成要素を機能ブロックで示している。図６及び図７に示すように、加工装置４は、各構成要素を支持する基台２０２を備えている。

基台２０２の角部には、凹部２０２ａが形成されており、この凹部２０２ａには、昇降機構（不図示）によって昇降する昇降台２０４が配置されている。昇降台２０４の上面の載置領域Ａには、上述した搬送車１０の容器１０２が載せられる。なお、昇降台２０４の上面には、容器１０２の水平方向の位置を規定する複数の位置規定部材（不図示）が設けられており、搬送車１０から降下した容器１０２は、複数の位置規定部材によって決まる載置領域Ａに載せられる。

各位置規定部材は、例えば、降下する容器１０２を載置領域Ａに向かってガイドする曲面状のガイド面を備え、昇降台２０４上の容器１０２の側面に対応する位置に固定されている。容器１０２を昇降台２０４に向けて下降させる際には、各位置規定部材のガイド面によって容器１０２がガイドされる。そのため、仮に、容器１０２が水平方向に揺動したとしても、容器１０２を載置領域Ａに載せることができる。

なお、昇降台２０４の載置領域Ａより下方の領域には、収容領域の他にも、紫外線を照射する照射ユニット、ノッチの位置を検出する検出ユニット、バーコード等を読み取る読み取りユニット等が配置されることがある。

凹部２０２ａの側方には、Ｘ_２軸方向（前後方向、加工送り方向）に長い凹部２０２ｂが形成されている。凹部２０２ｂ内には、Ｘ軸移動テーブル（不図示）をＸ_２軸方向に移動させるボールねじ式のＸ軸移動機構（加工送りユニット）２０６が配置されている。Ｘ軸移動テーブルの上方には、テーブルカバー２０６ａが配置されている。また、テーブルカバー２０６ａの前後には、蛇腹状の防塵防滴カバー２０６ｂが取り付けられている。

Ｘ軸移動テーブルの上部には、被加工物１１を保持するチャックテーブル２０８がテーブルカバー２０６ａから露出する態様で配置されている。チャックテーブル２０８は、モーター等の回転駆動源（不図示）に連結されており、Ｚ_２軸方向（鉛直方向、切り込み送り方向）に概ね平行な回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル２０８は、上述したＸ軸移動機構２０６によってＸ_２軸方向に移動する（加工送り）。

チャックテーブル２０８の上面は、テープ１３を介して被加工物１１を保持するための保持面２０８ａになっている。保持面２０８ａは、チャックテーブル２０８の内部に形成された吸引路（不図示）等を介して吸引源（不図示）に接続されている。また、チャックテーブル２０８の周囲には、被加工物１１を支持するフレーム１５を四方から固定するための４個のクランプ２１０が設けられている。

凹部２０２ｂの上方には、Ｙ_２軸方向（左右方向、割り出し送り方向）に平行な状態を維持しながら接近、離隔される一対のガイドレール２１２が設けられている。一対のガイドレール２１２は、それぞれ、フレーム１５を下方から支持する支持面と、支持面に概ね垂直な側面とを備え、載置領域Ａの容器１０２から引き出された被加工物ユニット１７（フレーム１５）をＸ_２軸方向において挟み込んで所定の位置に合わせる。

基台２０２の上方には、門型の第１支持構造２１４が凹部２０２ｂを跨ぐように配置されている。第１支持構造２１４の前面（ガイドレール２１２側の面）には、Ｙ_２軸方向に沿う第１レール２１６が固定されており、この第１レール２１６には、第１移動機構２１８等を介して第１保持ユニット２２０が連結されている。

第１保持ユニット２２０は、例えば、フレーム１５の上面に接触してこのフレーム１５を吸着し、第１移動機構２１８によって昇降するとともに、第１レール２１６に沿ってＹ_２軸方向に移動する。第１保持ユニット２２０の昇降台２０４側には、フレーム１５を把持するための把持機構２２０ａが設けられている。

例えば、把持機構２２０ａでフレーム１５を把持して第１保持ユニット２２０をＹ_２軸方向に移動させれば、載置領域Ａの容器１０２から被加工物ユニット１７を一対のガイドレール２１２に引き出し、又は、一対のガイドレール２１２上の被加工物ユニット１７を載置領域Ａの容器１０２に挿入できる。なお、一対のガイドレール２１２でフレーム１５の位置を合わせた後には、第１保持ユニット２２０でこのフレーム１５を吸着して、被加工物ユニット１７をチャックテーブル２０８へと搬入する。

また、第１支持構造２１４の前面には、Ｙ_２軸方向に沿う第２レール２２２が第１レール２１６の上方に固定されている。この第２レール２２２には、第２移動機構２２４等を介して第２保持ユニット２２６が連結されている。第２保持ユニット２２６は、例えば、フレーム１５の上面に接触してこのフレーム１５を吸着し、第２移動機構２２４によって昇降するとともに、第２レール２２２に沿ってＹ_２軸方向に移動する。

第１支持構造２１４の後方には、門型の第２支持構造２２８が配置されている。第２支持構造２２８の前面（第１支持構造２１４側の面）には、それぞれ、Ｙ軸Ｚ軸移動機構（割り出し送りユニット、切り込み送りユニット）２３０を介して２組の加工ユニット（切削ユニット）２３２が設けられている。各加工ユニット２３２は、対応するＹ軸Ｚ軸移動機構２３０によってＹ_２軸方向に移動する（割り出し送り）とともに、Ｚ_２軸方向に移動する（切り込み送り）。

各加工ユニット２３２は、Ｙ_２軸方向に概ね平行な回転軸となるスピンドル（不図示）を備えている。各スピンドルの一端側には、円環状の切削ブレード２３４が装着されている。各スピンドルの他端側には、モーター等の回転駆動源（不図示）が連結されている。また、切削ブレード２３４の傍には、被加工物１１や切削ブレード２３４に純水等の切削液を供給するためのノズルが配置されている。

このノズルから切削液を供給しながら、回転させた切削ブレード２３４をチャックテーブル２０８に保持された被加工物１１に切り込ませることで、被加工物１１を加工（切削）できる。加工ユニット２３２に隣接する位置には、チャックテーブル２０８に保持された被加工物１１等を撮像するための撮像ユニット（カメラ）２３６が設けられている。この撮像ユニット２３６も、Ｙ軸Ｚ軸移動機構２３０によってＹ_２軸方向に移動するとともに、Ｚ_２軸方向に移動する。

凹部２０２ｂに対して昇降台２０４と反対側の位置には、洗浄ユニット２３８が配置されている。洗浄ユニット２３８は、筒状の洗浄空間内で被加工物１１を保持するスピンナテーブル２４０を備えている。スピンナテーブル２４０の下部には、スピンナテーブル２４０を所定の速さで回転させる回転駆動源（不図示）が連結されている。

スピンナテーブル２４０の上方には、スピンナテーブル２４０により保持された被加工物１１に向けて洗浄用の流体（代表的には、水とエアーとを混合した混合流体）を噴射する噴射ノズル２４２が配置されている。被加工物１１を保持したスピンナテーブル２４０を回転させて、噴射ノズル２４２から洗浄用の流体を噴射することで、被加工物１１を洗浄できる。

加工ユニット２３２で被加工物１１を切削した後には、例えば、第２保持ユニット２２６でフレーム１５を吸着して被加工物ユニット１７を洗浄ユニット２３８へと搬入する。洗浄ユニット２３８で被加工物１１を洗浄した後には、例えば、第１保持ユニット２２０でフレーム１５を吸着して被加工物ユニット１７を一対のガイドレール２１２に載せ、その後、このフレーム１５を把持機構２２０ａで把持して被加工物ユニット１７を載置領域Ａの容器１０２に収容する。

図６に示すように、基台２０２の上面側は、カバー２４４によって覆われており、上述した各構成要素は、カバー２４４の内側に収容される。凹部２０２ａの直上の領域には、カバー２４４の天井２４４ａを上下に貫通する開口（不図示）が設けられている。搬送車１０の容器１０２は、この開口を通じてカバー２４４の外部から内部へと移動し、この開口を通じてカバー２４４の内部から外部へと移動する。開口の形状や大きさに制限はないが、この開口は、少なくとも容器１０２を通過できるように構成される必要がある。

上述した加工装置４の各構成要素は、制御装置２４６に接続されている。制御装置２４６は、例えば、ＣＰＵ等の処理装置と、ＤＲＡＭ等の主記憶装置と、フラッシュメモリ等の補助記憶装置と、を含むコンピュータによって構成されている。補助記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御装置２４６の機能が実現される。

制御装置２４６には、外部からの制御信号（情報）を受信して制御装置２４６に送る受信機２４８と、制御装置２４６から受け取った通知信号（情報）を外部に送信する送信機２５０と、が更に接続されている。受信機２４８は、例えば、搬送システム２の制御ユニット１２から送信される制御信号を受信して制御装置２４６に送る。

制御装置２４６は、例えば、受信機２４８から受け取った制御信号に基づき、加工装置４の各構成要素の動作を制御する。また、制御装置２４６は、例えば、通知信号を生成して送信機２５０に送る。送信機２５０は、例えば、制御装置２４６から受け取った通知信号を搬送システム２の制御ユニット１２に送信する。

基台２０２の側壁には、各種の配管２０が接続される配管接続部２０２ｃが設けられている。また、カバー２４４の側壁には、メンテナンス等の際に開閉される扉２４４ｂが設けられている。なお、カバー２４４の側壁には、制御装置２４６に対する指示等が入力される操作パネル（不図示）等の入力インターフェースや、加工装置４に関する各種の情報が表示されるディスプレイ（不図示）等の表示ユニットが設けられていても良い。

この加工装置４は、本実施形態の搬送システム２に連動して動作する。例えば、搬送車１０は、搬送路６上の停車領域に停車して、被加工物ユニット１７が収容された容器１０２を、加工装置４の昇降台２０４の上面（載置領域Ａ）に載置する。昇降台２０４に容器１０２が載置されると、搬送車１０の制御部１３０は、その旨を通知するための通知信号を生成し、送信機１３４に発信させる。この信号は、送信機１３４から搬送システム２の制御ユニット１２に送信される。

制御ユニット１２は、搬送車１０の送信機１３４から送信された通知信号に基づいて、容器１０２から加工前の被加工物ユニット１７を搬出し、加工後の被加工物ユニット１７を容器１０２へと搬入する旨を加工装置４に指示するための制御信号を生成する。

該制御信号を加工装置４の受信機２４８が受信し、この制御信号に基づく指示を制御装置２４６が受けると、制御装置２４６は、昇降台２０４の上面（載置領域Ａ）に載置された容器１０２から加工前の被加工物ユニット１７を第１保持ユニット２２０に搬出させる。これにより、被加工物ユニット１７が一対のガイドレール２１２に引き出され、被加工物１１の加工が開始される。

例えば、被加工物１１の加工が開始されると、制御装置２４６は、昇降台２０４の高さを調整し、載置領域Ａの下方に設けられている収容領域から加工後の被加工物ユニット１７を一対のガイドレール２１２に引き出す。そして、一対のガイドレール２１２上の加工後の被加工物ユニット１７を昇降台２０４上の容器１０２に収容する。

加工後の被加工物ユニット１７が容器１０２に収容されると、加工装置４の制御装置２４６は、その旨を通知するための通知信号を生成し、送信機２５０から搬送システム２の制御ユニット１２に送信する。制御ユニット１２は、加工装置４の送信機２５０から送信された通知信号に基づいて、次の目的地へと向かう旨を搬送車１０に指示するための制御信号を生成する。

制御ユニット１２からの制御信号を搬送車１０の受信機１３２が受信し、この信号に基づく指示を制御部１３０が受けると、制御部１３０は、次の目的地へと向けて搬送車１０を走行させる。このように、搬送システム２を利用することで、加工装置４は、加工前の被加工物ユニット１７を適時に受け取り、加工後の被加工物ユニット１７を適時に回収させることができる。

加工装置（切削装置）４は、さらに、被加工物１１を加工する工具である切削ブレード２３４を加工ユニット（切削ユニット）２３２に着脱するオートブレードチェンジャー（不図示）と呼ばれる機構を備えても良い。オートブレードチェンジャーは、加工ユニット２３２に装着された古い切削ブレード２３４を取り外し、新しい切削ブレード２３４を加工ユニット２３２に装着する機能を有する。

加工装置（切削装置）４は、交換用の新しい切削ブレード２３４を保管するため複数のブレードホルダーを有してもよい。本実施形態に係る搬送システム２は、工具として切削ブレード２３４を搬送車１０で加工装置４に搬送してもよい。この場合、加工装置４は、新しい切削ブレード２３４を載置領域Ａに置かれた容器１０２から取り出してブレードホルダーに搬入し、古い切削ブレード２３４をブレードホルダーから取り出して容器１０２に搬送するブレード搬送機構をさらに備える。

さらに、加工装置４は、テーブルカバー２０６ａ上のチャックテーブル２０８に隣接する位置にサブチャックテーブル２５２を備えても良い。サブチャックテーブル２５２は、例えば、切削ブレード２３４の真円出しやドレッシングに使用されるドレッサーボードを保持する。本実施形態に係る搬送システム２は、消耗品としてドレッサーボードを加工装置４に搬送してもよい。この場合、加工装置４は、載置領域Ａに置かれた容器１０２からサブチャックテーブル２５２へドレッサーボードを搬送するためのドレッサーボード搬送機構をされに備える。

図１や図６等に示すように、搬送システム２を構成する搬送路６は、各加工装置４がそれぞれ備えるカバー２４４の天井２４４ａの上面側や、ローダー・アンローダー８が備える筐体２２の天井２２ａの上面側等に設置される。すなわち、搬送路６は、複数の加工装置４やローダー・アンローダー８等の間を接続するように、加工装置４やローダー・アンローダー８等の真上に配置されている。

そのため、加工装置４の側面に設けられている配管接続部２０２ｃや扉２４４ｂ等の構造に対して、搬送路６が干渉することはない。つまり、搬送路６を設計する際に、加工装置４の側面の構造を考慮する必要がなくなる。これにより、搬送システム２を容易に構築できる。また、工場の天井等に比べて低い場所に搬送路６が配置されるので、搬送路６の設置にかかる作業も容易になる。

そして、例えば、複数の加工装置４等が既に設置されている環境で搬送路６を構築する場合には、工場の天井等に搬送路を設ける場合のように、加工装置４等を移動させて作業スペースを確保する必要がない。更に、既に設置されている加工装置４等が搬送路６の土台になるので、新たに土台を設ける場合等に比べて作業の工数も少なくなる。

図８は、加工装置４及びローダー・アンローダー８の上方に設置された搬送路６を模式的に示す上面図である。なお、ローダー・アンローダー８の上方に設置される搬送路６の構造等は、加工装置４の上方に設置される搬送路６の構造等と概ね同じである。複数の加工装置４の天井２４４ａやローダー・アンローダー８の天井２２ａ等には、ねじやボルト、フレーム２６２（図６参照）等により搬送路６が固定される。

フレーム２６２は、例えば、アルミニウム等の金属を含む材料で形成された棒状のフレーム部材の複合体であり、例えば、隣接する加工装置４やローダー・アンローダー８との間を連結するような形状に組み上げられている。このフレーム２６２を、各加工装置４の天井２４４ａやローダー・アンローダー８の天井２２ａ等に対して固定することで、搬送路６の土台が形成される。

なお、各加工装置４やローダー・アンローダー８等に対してフレーム２６２を固定する際には、フレーム２６２の上面が概ね水平になり、また、フレーム２６２の上面の高さが概ね等しくなるように、各加工装置４やローダー・アンローダー８等に対するフレーム２６２の高さが調整される。

これにより、各加工装置４の天井２４４ａやローダー・アンローダー８の天井２２ａ等の高さが完全に等しくない場合でも、水平に、且つ、同じ高さに搬送路６を形成できるようになる。加工装置４やローダー・アンローダー８等に対してフレーム２６２の高さを調整する方法に制限はないが、例えば、各加工装置４の天井２４４ａやローダー・アンローダー８の天井２２ａ等と、フレーム２６２の下面と、の間に高さ調整用の部材を配置する方法を用いることができる。

もちろん、加工装置４やローダー・アンローダー８の高さを調整しても良い。例えば、加工装置４やローダー・アンローダー８の下端部（脚部）には、高さ調整用の調整機構が設けられている。よって、この調整機構を用いて加工装置４やローダー・アンローダー８の高さを調整し、各加工装置４の天井２４４ａやローダー・アンローダー８の天井２２ａ等の高さを等しくすれば、搬送路６の土台に適したフレーム２６２を実現できる。なお、フレーム２６２は、複数の階層を有する階層構造で構築されてもよい。

フレーム２６２の上面側には、搬送路６が設けられる。搬送路６は、例えば、平板状の複数の路面パネル２６６を水平な方向に並べることによって形成される。このように、複数の路面パネル２６６を組み合わせて搬送路６を形成することで、複数の加工装置４やローダー・アンローダー８の配置等に応じた様々な搬送路６が容易に実現される。

路面パネル２６６は、例えば、ポリアミドやポリカーボネート、ＣＦＲＰ（Carbon Fiber Reinforced Plastic：炭素繊維強化プラスチック）等の軽量で強度の高い材料を用いて平面視で矩形状に形成され、搬送車１０の走行に適した平坦な上面を有している。

フレーム２６２は、例えば、それぞれが複数の棒状のフレーム部材を含む複数のフレームユニットを組み合わせることにより形成される。複数のフレームユニットを用いてフレーム２６２を形成する場合には、加工装置４が設置される工場等に対して、フレームユニットの形態でフレーム部材が運び込まれる。

つまり、安定した環境で生産される高品質なフレームユニットを用いて、高品質なフレーム２６２が形成される。また、棒状のフレーム部材を加工装置４の上方で連結する場合のような煩雑な作業も発生しない。よって、高品質な搬送路６を短期間で形成することができる。

図８は、複数の路面パネル２６６を並べて構成される搬送路６を模式的に示す平面図である。図８では、隣接する路面パネル２６６の境界を破線で示している。搬送路６を形成する際には、例えば、フレーム２６２に対して、路面パネル２６６を固定する。また、路面パネル２６６間の隙間を埋めるように、平板状の橋渡しパネル２７４ａ，２７４ｂが使用される。

橋渡しパネル２７４ａ，２７４ｂは、例えば、搬送路６に形成される隙間や段差を十分に小さくするように、フレーム２６２に固定される。これにより、走行中の搬送車１０への衝撃を小さく抑えて、被加工物１１等の破損を防ぐことができる。なお、搬送路６に小さな隙間が残る場合には、例えば、搬送車１０が進行する方向に沿う心材を備えたテープ等を用いて、この隙間を塞ぐと良い。

このように構成される搬送路６を搬送車１０が走行すると、例えば、搬送車１０の車輪８６等と、搬送路６と、の摩擦により静電気が生じ、搬送車１０の容器１０２に収容された物品に悪影響が及ぶことがある。例えば、搬送される物品である被加工物１１に半導体デバイスが形成されている場合には、この半導体デバイスが静電気によって破壊されるおそれがある。

そこで、搬送路６となる路面パネル２６６の上面の車輪８６等が接触する部分には、導電性部材を露出させておくことが好ましい。導電性部材としては、例えば、アルミニウムや銅等の金属の他に、ＣＦＲＰ等が用いられる。なお、路面パネル２６６がＣＦＲＰで構成されている場合には、その上面にもＣＦＲＰが露出する。つまり、路面パネル２６６の上面に導電性部材が露出した状態が実現される。

このように、路面パネル２６６の上面に導電性部材を露出させておくことで、摩擦による静電気の発生と、その蓄積と、を抑制して、被加工物１１に悪影響が及ぶのを防ぐことができる。なお、路面パネル２６６の上面に露出した導電性部材は、導線（不図示）等を介して接地されても良い。この場合には、車輪８６等と路面パネル２６６との接触により生じた静電気が導線を通じて放電するので、路面パネル２６６に蓄積しない。よって、被加工物１１は、搬送車１０によって、より安全に搬送される。

本実施形態の搬送システム２では、原則として、搬送路６の端部に搬送車１０が到達しないように、搬送車１０の動作が制御される。しかしながら、搬送車１０や制御ユニット１２等に何らかのトラブルが発生した場合には、搬送路６の端部に搬送車１０が到達し、この搬送路６の端部から搬送車１０が落下する可能性もある。

そこで、搬送路６の端部には、図６に示すように、搬送路６からの搬送車１０の落下を防止するための障壁となるガード部２７６を設けることが望ましい。このガード部２７６は、例えば、アルミニウム等の金属を含む材料で形成され、フレーム２６２や路面パネル２６６に固定される。路面パネル２６６の上面からガード部２７６の上端までの高さは、例えば、搬送車１０の車輪８６の半径より大きくなっている。好ましくは、車輪８６の直径より大きくなっている。

なお、このガード部２７６は、搬送車１０の第３センサー１２６や外装カバーに接触する高さに形成されても良い。この場合には、搬送車１０の第３センサー１２６や外装カバーにガード部２７６が接触すると、搬送車１０は障害物との衝突を検知して停車する。そのため、より安全に搬送車１０を走行させることができる。

図８に示すように、搬送路６は、主に搬送車１０の走行に使用される走行領域２７８と、主に搬送車１０の停車に使用される停車領域２８０と、主に搬送車１０の待機に使用される待機領域２８４とを含む。停車領域２８０に停車した搬送車１０と、停車領域２８０の下方に位置する加工装置４やローダー・アンローダー８等と、の間で被加工物ユニット１７等の物品が搬送される。

走行領域２７８は、例えば、加工装置４やローダー・アンローダー８等の配置に沿う環状に形成される。搬送車１０は、例えば、この環状の走行領域２７８に沿う一方の向きに走行し、他方の向きには走行しない（つまり、一方通行）。これにより、搬送車１０を簡単な制御で安全に走行させることができる。

ただし、走行領域２７８の形状、搬送車１０の走行の態様等に制限はない。例えば、走行領域２７８は、搬送車１０の双方向への走行を許容するように構成されることがある。また、走行領域２７８は、終端のない環状に形成されている必要はなく、例えば、終端を持つ直線状に形成されても良い。

一方で、停車領域２８０には、路面パネル２６６を上下に貫通する開口２８２が設けられている。開口２８２は、例えば、容器１０２の上面及び下面より僅かに大きく形成されており、容器１０２の上下への通過を許容する。一方で、搬送車１０が停車領域２８０に進入する際の進入の方向に対して垂直な方向での開口２８２の幅は、搬送車１０の一対の車輪８６の間隔よりも狭くなっている。これにより、搬送車１０が停車領域２８０に進入する際の進入の方向が適切な場合には、車輪８６は開口２８２に脱落しない。

待機領域２８４は、例えば、搬送車１０を待機させる可能性の高い領域に配置される。待機領域２８４に搬送車１０を待機させることで、他の搬送車１０は、待機中の搬送車１０を追い越すことができる。また、搬送車１０の双方向への走行が許容されている場合には、この待機領域２８４で一時的に搬送車１０を待機させることで、２台の搬送車１０を行き違わせることができる。なお、搬送路６は、必ずしも待機領域２８４を含まなくて良い。

搬送路６を構成する路面パネル２６６、橋渡しパネル２７４ａ、橋渡しパネル２７４ｂ等の上面には、搬送車１０が備えるセンサーによって検出される複数の種類の誘導用のマーク２８６（図６参照）が設けられている。搬送車１０は、センサーによって検出される各種のマーク２８６に基づいて、走行、旋回、停車等の制御を行う。

マーク２８６は、例えば、路面パネル２６６等の上面の他の領域とは異なる色彩を持つ直線状に構成される。本実施形態では、このマーク２８６として、図８に示すように、第１マーク２８６ａ、第２マーク２８６ｂ、第３マーク２８６ｃ、及び第４マーク２８６ｄが使用される。

ただし、マーク２８６の態様に制限はない。マーク２８６は、例えば、曲線を含んでも良いし、破線によって構成されても良い。また、マーク２８６として、文字、数字、図柄等を用いることもできる。更に、マーク２８６の色彩等にも制限はない。例えば、異なる色彩の複数のマーク２８６を用いるとともに、このマーク２８６の色彩に基づき各種の制御を行うように搬送車１０を構成しても良い。

走行領域２７８には、搬送車１０が進行する方向に沿う第１マーク２８６ａが設けられている。第１マーク２８６ａは、例えば、走行領域２７８を走行する搬送車１０が通過すべき領域に形成される。より具体的には、第１マーク２８６ａは、走行領域２７８を走行する搬送車１０の一対の第１センサー１２２の直下に設けられる。搬送車１０は、一対の第１センサー１２２で第１マーク２８６ａを検出し、この第１マーク２８６ａに沿って搬送路６上を走行できる。

図８に示すように、走行領域２７８の所定の部分では、２つの直線状の第１マーク２８６ａが交差している。搬送車１０は、一方の第１マーク２８６ａに沿って進行する間に、この一方の第１マーク２８６ａと交差する他方の第１マーク２８６ａを第２センサー１２４で検出する。第２センサー１２４で他方の第１マーク２８６ａが検出されると、搬送車１０は、必要に応じて旋回する。

つまり、２つの直線状の第１マーク２８６ａが交差する任意の交差点で搬送車１０の進行する方向が変更される。このように、第２センサー１２４で検出される上述した他方の第１マーク２８６ａの一部は、搬送車１０が旋回する位置を示す第２マーク２８６ｂとして機能する。なお、搬送路６には、２つの第１マーク２８６ａが交差する交差点の数に対応する数の第２マーク２８６ｂが存在する。つまり、図８の搬送路６には、複数の第２マーク２８６ｂが存在している。

搬送車１０の制御部１３０は、第２センサー１２４に走行領域２７８等（搬送路６）の上面を監視させて、第２センサー１２４によって検出された第２マーク２８６ｂの数をカウントし、カウントされた第２マーク２８６ｂの数に基づいて搬送車１０を旋回させる。第２センサー制御部１３０ｃは、例えば、第２センサー１２４が第２マーク２８６ｂを検出する度に、その旨を制御部１３０に通知する。

例えば、搬送システム２の制御ユニット１２からの指示に対応する第２マーク２８６ｂの数（所定の数）と比較する。そして、第２センサー１２４により検出された第２マーク２８６ｂの数が制御ユニット１２からの指示に対応する第２マーク２８６ｂの数に達すると、制御部１３０は駆動ユニット９０を制御して、搬送車１０を旋回させる。

つまり、制御部１３０は、検出された第２マーク２８６ｂの数に応じて搬送車１０の向きを変更する。このように、搬送車１０は、第２センサー１２４で第２マーク２８６ｂを検出し、必要に応じて向きを変更できる。なお、第２マーク２８６ｂは、例えば、走行領域２７８の角の部分（搬送路６の角部）や、走行領域２７８の停車領域２８０に隣接する部分、走行領域２７８の待機領域２８４に隣接する部分等に設けられる。

ところで、一対の車輪８６を通る直線上に一対の第２センサー１２４が配置されている場合には、第２マーク２８６ｂを車輪８６が通過するのと同時に、この第２マーク２８６ｂを一対の第２センサー１２４によって検出できる。したがって、第２マーク２８６ｂが検出されるタイミングで搬送車１０を旋回させることで、旋回後に検出すべき第１マーク２８６ａから一対の第１センサー１２２が大きくずれてしまうことはなくなる。つまり、何らの補正を行わなくとも、搬送車１０を適切に旋回させることができるようになる。

図８に示すように、停車領域２８０には、搬送車１０が進入する方向に沿う第３マーク２８６ｃが設けられている。すなわち、第３マーク２８６ｃは、停車領域２８０に対して搬送車１０が進入する向きを示している。この第３マーク２８６ｃは、例えば、搬送車１０の進入する方向に対して垂直な方向で開口２８２を挟む２つの位置に形成され、搬送車１０の第２センサー１２４により検出される。

搬送車１０の制御部１３０は、第２センサー１２４によって検出された第３マーク２８６ｃが示す向きに沿って搬送車１０を停車領域２８０に進入させる。制御部１３０は、第２センサー１２４に停車領域２８０等（搬送路６）の上面を監視させて第３マーク２８６ｃを検出させる。

制御部１３０は、第３マーク２８６ｃの情報に基づいて、第３マーク２８６ｃが示す向きを特定し、駆動ユニット９０を制御して、特定された向きに沿って搬送車１０を停車領域２８０に進入させる。第３マーク２８６ｃは、代表的には、搬送車１０の車輪８６が通るべき領域に設けられる。ただし、第３マーク２８６ｃの配置等に制限はない。

図８に示すように、停車領域２８０（又は待機領域２８４）に対して搬送車１０が進入する方向において停車領域２８０（又は待機領域２８４）の後側（手前側）には、第１マーク２８６ａや第３マーク２８６ｃに対して交差する第４マーク２８６ｄが設けられている。この第４マーク２８６ｄは、停車領域２８０（又は待機領域２８４）の位置を示す。

制御部１３０は、搬送車１０の進行する方向の後側に位置する第１センサー１２２（一対の第１センサー１２２の一方）によって第４マーク２８６ｄが検出されたときに搬送車１０を停車させる。制御部１３０は、第１センサー１２２に走行領域２７８や停車領域２８０等（搬送路６）の上面を監視させて第１センサー１２２に第４マーク２８６ｄを検出させる。第１センサー１２２によって第４マーク２８６ｄが検出されると、駆動ユニット９０を制御して、搬送車１０を迅速に停止させる。

なお、この第４マーク２８６ｄは、停車領域２８０（又は待機領域２８４）に対して搬送車１０が進入する方向において停車領域２８０（又は待機領域２８４）の前側（奥側）に設けられても良い。この場合には、搬送車１０は、前側の第１センサー１２２で第４マーク２８６ｄを検出すると、直ちに停車することになる。

なお、第４マーク２８６ｄは、第２センサー１２４によって検出できる位置に設けられていても良い。この場合、制御部１３０は、第２センサー１２４が第４マーク２８６ｄを検出すると、駆動ユニット９０を制御して、搬送車１０を停車させる。

また、制御部１３０は、第１センサー１２２又は第２センサー１２４により第４マーク２８６ｄが検出されてから所定の時間が経過した後に、搬送車１０を停車させても良い。第４マーク２８６ｄの検出から搬送車１０の停車までの時間は、例えば、第４マーク２８６ｄと停車領域２８０との距離や、搬送車１０が走行する速度等に基づいて調整される。

図８に示すように、搬送車１０が進入する方向において停車領域２８０及び待機領域２８４の前側（奥側）の位置には、電源（不図示）に接続された給電用の端子（給電端子）２８８が配置されている。例えば、停車領域２８０や待機領域２８４に搬送車１０を停車させて、搬送車１０の端子（受電端子）１００を端子２８８に接触させれば、端子１００及び充電用の配線（充電配線）９８を介して、バッテリー（二次電池）９６に充電用の電力が供給される。つまり、バッテリー９６を充電できる。

例えば、停車領域２８０で搬送車１０が停車した後には、昇降ユニット１１０によって容器１０２が昇降される。停車領域２８０に給電用の端子２８８が配置されていると、容器１０２を昇降させる際にもバッテリー９６が充電される。よって、容器１０２を昇降させる際に昇降ユニット１１０で消費される大量の電力を十分に賄うことができる。

なお、待機領域２８４にも端子２８８が配置されている。よって、例えば、搬送車１０を待機領域２８４で待機させる際にも、バッテリー９６が充電される。これにより、搬送車１０の稼働できる時間を延ばして、被加工物１１の搬送にかかる効率を高めることができる。

また、路面パネル２６６、橋渡しパネル２７４ａ、橋渡しパネル２７４ｂ、及びフレーム２６２等は、搬送路６の一部分を構成し得る搬送路モジュールとして組まれても良い。そして、複数の種類の搬送路モジュールを準備し、搬送路モジュールの形態で路面パネル２６６等を加工装置４等が含まれる工場に搬入し、複数の搬送路モジュールを組み合わせて搬送路６を構築してもよい。この場合、搬送路６の設置や解体に要する時間を短縮化できる。

さらに、この場合、複数の種類の搬送路モジュールの組み合わせ方を決定するだけで搬送路６を設計できる。また、統一された規格の搬送路モジュールは、搬送路６の構築現場の外の安定した環境で製造可能であり、安価かつ高品質に作製できる。そのため、搬送路モジュールを組み合わせて搬送路６を構築すると、コストの低減や搬送路６の品質向上にも寄与する。搬送路６の一部に不具合を生じた場合においても、当該一部を含む搬送路モジュールを交換するだけで容易に修復作業を完了できる。

搬送路６上のある位置（出発地）から別の位置（目的地）まで搬送車１０を移動させる際の動作は、例えば、次の通りである。まず、搬送システム２の制御ユニット１２は、移動の対象となる搬送車１０に対して、出発地から目的地に移動する旨の指示に相当する制御信号を送る。

制御ユニット１２の指示を受けた搬送車１０の制御部１３０は、まず、自身の現在の位置を出発地として目的地までの経路を決定し、この経路に沿って、出発地から搬送車１０が旋回すべき各位置までの間に存在する第２マーク２８６ｂの数と、旋回すべき各位置での旋回の方向と、を求める。そして、搬送車１０の制御部１３０は、自身が求めた第２マーク２８６ｂの数及び旋回の方向に基づいて、駆動ユニット９０等を制御する。

例えば、搬送車１０の制御部１３０は、第１センサー１２２及び第２センサー１２４で搬送路６の上面を監視しながら、搬送車１０を走行させる。つまり、制御部１３０は、第１センサー１２２によって検出される第１マーク２８６ａの示す方向に沿って搬送車１０を走行させながら、第２センサー１２４が通過する第２マーク２８６ｂを、この第２センサー１２４に検出させる。

制御部１３０は、第２センサー１２４が通過した第２マーク２８６ｂの数が、自身の求めた第２マーク２８６ｂの数に達すると、搬送車１０を自身の求めた旋回の方向に旋回させる。その後、制御部１３０は、第１マーク２８６ａの示す方向に沿って搬送車１０を再び走行させる。搬送車１０が目的地に到着すると、制御部１３０は、その旨を通知するための通知信号を制御ユニット１２に送る。

なお、停車領域２８０に搬送車１０を進入させる際には、制御部１３０は、第３マーク２８６ｃを第２センサー１２４に検出させて、搬送車１０が進行する方向を細やかに調整する。これにより、搬送車１０の車輪８６が開口２８２に脱落することを防止できる。この際には、第１マーク２８６ａの示す方向に沿って搬送車１０を走行させる時に比べて、走行にかかる速度を低く抑えると良い。その後、制御部１３０は、第４マーク２８６ｄを第１センサー１２２に検出させて、搬送車１０を停車領域２８０に停車させる。

搬送車１０は、原則として、進行する方向の前方に車輪８６が位置し、進行する方向の後方に車輪８８が位置するように走行する。ただし、停車領域２８０や待機領域２８４から走行領域２７８へと移動する際には、搬送車１０は、進行する方向の後方に車輪８６が位置し、進行する方向の前方に車輪８８が位置するように走行することになる。

搬送車１０が停車領域２８０に停車すると、容器１０２が開口２８２の直上に位置付けられる。また、搬送路６側の端子２８８に対して搬送車１０側の端子１００が接触する。これにより、搬送車１０は、バッテリー９６を充電しながら容器１０２を降下させて、開口２８２の下方に位置する載置領域Ａに容器１０２を載せることができる。

なお、上述した動作の態様では、第２マーク２８６ｂの数や旋回の方向を制御部１３０が算出しているが、制御部１３０による判断を最小限に留めるようにしても良い。例えば、出発地から搬送車１０が旋回すべき各位置までの間に存在する第２マーク２８６ｂの数と、旋回すべき各位置での旋回の方向に関する情報と、を含む信号が制御ユニット１２から送られる。この動作では、第２マーク２８６ｂの数や旋回の方向を制御部１３０が算出しなくて良いので、制御部１３０を簡略化できる。

次に、本実施形態にかかる搬送システム２の制御方法の例を説明する。図９は、搬送システム２の制御方法の例を説明するための図である。例えば、加工装置４の制御装置２４６は、加工前の被加工物１１が新たに必要な状況になると、その旨を通知するための通知信号（被加工物要求信号）を生成する。制御装置２４６で生成された通知信号（被加工物要求信号）は、送信機２５０から制御ユニット１２へと送信される。

図９に示すように、制御ユニット１２は、各種の制御を行うための信号（制御信号）を生成する制御部（情報処理部・制御信号生成部）３０２を備えている。この制御部３０２は、例えば、ＣＰＵ等の処理装置と、ＤＲＡＭ等の主記憶装置と、フラッシュメモリ等の補助記憶装置と、を含むコンピュータによって構成されている。補助記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御部３０２の機能が実現される。

制御部３０２には、加工装置４、ローダー・アンローダー８、搬送車１０等から送信される通知信号を受信する受信機３０４と、加工装置４、ローダー・アンローダー８、搬送車１０等に対して制御信号を送信する送信機３０６とが接続されている。

制御ユニット１２の受信機３０４は、加工装置４の送信機２５０から送信された通知信号（被加工物要求信号）を受信すると、これを制御部３０２へと送る。制御部３０２は、加工装置４からの通知信号（被加工物要求信号）を確認すると、任意の搬送車１０に対して、ローダー・アンローダー８の直上の停車領域２８０に移動し、容器１０２をローダー・アンローダー８の載置台６６の上面に載せるように指示を出す。具体的には、制御部３０２は、この指示に相当する制御信号（第１載置指示信号）を生成し、送信機３０６から搬送車１０へと送信する。

搬送車１０の受信機１３２は、制御ユニット１２からの制御信号（第１載置指示信号）を受信すると、これを制御部１３０へと送る。制御部１３０は、この制御信号（第１載置指示信号）に基づき駆動ユニット９０等を制御し、搬送車１０を搬送路６に沿って走行させる。搬送車１０がローダー・アンローダー８の直上の停車領域２８０で停車すると、容器１０２が開口２８２の直上に位置付けられる。

搬送車１０を停車領域２８０に停車させた状態で、制御部１３０は、昇降ユニット１１０を制御して、吊り下げ部材１１２を送り出す。これにより、開口２８２等を通過するように容器１０２を下降させて、載置台６６の上面に容器１０２を載せることができる。

載置台６６の上面に容器１０２を載せた後には、制御部１３０は、載置台６６の上面への容器１０２の載置が完了した旨を通知するための通知信号（第１載置完了信号）を生成する。制御部１３０で生成された通知信号（第１載置完了信号）は、送信機１３４から制御ユニット１２へと送信される。

制御ユニット１２の受信機３０４は、搬送車１０の送信機１３４から送信された通知信号（第１載置完了信号）を受信すると、これを制御部３０２へと送る。制御部３０２は、搬送車１０からの通知信号（第１載置完了信号）を確認すると、ローダー・アンローダー８に対して、載置台６６の上面への容器１０２の載置が完了した旨を通知する。具体的には、制御部３０２は、載置台６６の上面への容器１０２の載置が完了した旨を通知するための制御信号（第２載置完了信号）を生成し、送信機３０６からローダー・アンローダー８へと送信する。

ローダー・アンローダー８の受信機６８は、制御ユニット１２からの制御信号（第２載置完了信号）を受信すると、これを制御装置４６へと送る。制御装置４６は、この制御信号（第２載置完了信号）を受け取ると、各構成要素の動作を制御して加工前の被加工物１１を容器１０２に搬入する。なお、容器１０２に加工後の被加工物１１が収容されている場合には、加工後の被加工物１１を容器１０２から搬出した後に、加工前の被加工物１１を容器１０２に搬入する。

加工前の被加工物１１が容器１０２に搬入されると、制御装置４６は、容器１０２への被加工物１１の搬入が完了した旨を通知するための通知信号（第１搬送完了信号）を生成する。制御装置４６で生成された通知信号（第１搬送完了信号）は、送信機７０から制御ユニット１２へと送信される。

制御ユニット１２の受信機３０４は、ローダー・アンローダー８の送信機７０から送信された通知信号（第１搬送完了信号）を受信すると、これを制御部３０２へと送る。制御部３０２は、ローダー・アンローダー８からの通知信号（第１搬送完了信号）を確認すると、搬送車１０に対して、加工装置４の直上の停車領域２８０に移動し、容器１０２を加工装置４の昇降台２０４の上面（載置領域Ａ）に載せるように指示を出す。具体的には、制御部３０２は、この指示に相当する制御信号（第２載置指示信号）を生成し、送信機３０６から搬送車１０へと送信する。

搬送車１０の受信機１３２は、制御ユニット１２からの制御信号（第２載置指示信号）を受信すると、これを制御部１３０へと送る。制御部１３０は、この制御信号（第２載置指示信号）に基づき昇降ユニット１１０を制御し、吊り下げ部材１１２を巻き取る。これにより、開口２８２等を通過するように容器１０２を上昇させて、格納領域１０４に格納できる。その後、制御部１３０は、駆動ユニット９０等を制御して、搬送車１０を搬送路６に沿って走行させる。

搬送車１０が加工装置４の直上の停車領域２８０で停車すると、容器１０２が開口２８２の直上に位置付けられる。搬送車１０を停車領域２８０に停車させた状態で、制御部１３０は、昇降ユニット１１０を制御して、吊り下げ部材１１２を送り出す。これにより、開口２８２等を通過するように容器１０２を下降させて、加工装置４の昇降台２０４の上面に容器１０２を載せることができる。

昇降台２０４の上面に容器１０２を載せた後には、制御部１３０は、昇降台２０４の上面への容器１０２の載置が完了した旨を通知するための通知信号（第３載置完了信号）を生成する。制御部１３０で生成された通知信号（第３載置完了信号）は、送信機１３４から制御ユニット１２へと送信される。

制御ユニット１２の受信機３０４は、搬送車１０の送信機１３４から送信された通知信号（第３載置完了信号）を受信すると、これを制御部３０２へと送る。制御部３０２は、搬送車１０からの通知信号（第３載置完了信号）を確認すると、加工装置４に対して、昇降台２０４の上面への容器１０２の載置が完了した旨を通知する。具体的には、制御部３０２は、載置台６６の上面への容器１０２の載置が完了した旨を通知するための制御信号（第４載置完了信号）を生成し、送信機３０６から加工装置４へと送信する。

加工装置４の受信機２４８は、制御ユニット１２からの制御信号（第４載置完了信号）を受信すると、これを制御装置２４６へと送る。制御装置２４６は、この制御信号（第４載置完了信号）を受け取ると、各構成要素の動作を制御して加工前の被加工物１１を容器１０２から搬出する。なお、加工装置４内に加工後の被加工物１１が存在する場合には、加工前の被加工物１１を容器１０２から搬出した後に、加工後の被加工物１１を容器１０２に搬入する。

加工前の被加工物１１が容器１０２から搬出されると、例えば、制御装置２４６は、容器１０２からの被加工物１１の搬出が完了した旨を通知するための通知信号（第２搬送完了信号）を生成する。制御装置２４６で生成された信号（第２搬送完了信号）は、送信機２５０から制御ユニット１２へと送信される。

このような手順により、ローダー・アンローダー８に収容されている加工前の被加工物１１を任意の加工装置４に対して搬送できる。なお、ここでは、ローダー・アンローダー８から加工装置４に対して被加工物１１を搬送する際の手順について主に説明したが、加工装置４からローダー・アンローダー８に対して被加工物１１を搬送する際の手順等も同様である。

なお、上述した手順は、被加工物１１を適切に搬送できる範囲内で任意に変更できる。例えば、上述した手順に含まれている複数のステップを同時に行っても良いし、被加工物１１の搬送に支障が出ない範囲内でステップの順序を入れ替えても良い。同様に、被加工物１１の搬送に支障が出ない範囲内で任意のステップを追加、変更、省略して良い。

以上のように、搬送路６、ローダー・アンローダー（搬送装置）８、搬送車１０、カセット収容機構２４、及び昇降ユニット（昇降機構）１１０は、いずれも、被加工物１１等の物品を効率良く安全に搬送することができるように構成されている。そのため、これらが組み込まれた搬送システム２を用いることで、被加工物１１等の物品を効率良く安全に搬送することができる。

ところで、各加工装置４の筐体に載せるように設置された搬送路６を含む搬送システム２では、工場の床面に立つオペレーター等からは搬送路６上を走行する搬送車１０を視認しにくく、各搬送車１０の位置や動作状態等を把握することは容易ではない。例えば、各搬送車１０がどのような物品を搬送しているのか、搬送先はどの加工装置４であるか、到着時刻はいつであるか等をオペレーター等が把握するのは容易ではない。

また、例えば、搬送車１０にエラーが生じ、何らかの対処が必要となる場合においても、エラーの発生に気付きにくい。さらに、搬送路６上を走行する複数の搬送車１０のうちエラーが生じている搬送車１０がいずれであるのか、エラーが生じた搬送車１０がどこに位置しているのか、等の状況把握も容易ではない。

そこで、本実施形態に係る搬送システム２では、搬送路６を走行する搬送車１０の位置等をオペレーター等が容易に把握できるように、搬送システム２を構成する表示ユニット１４（図２参照）が位置情報画面を表示する。次に、本実施形態に係る搬送システム２の制御ユニット１２の位置情報画面の表示に寄与する構成と、該位置情報画面と、等について説明する。

図２には、制御ユニット１２の構成を模式的に示すブロック図が含まれている。制御ユニット１２は、加工装置４、搬送車１０及びローダー・アンローダー８に制御信号を送信する送信機３０６と、加工装置４及び搬送車１０から送信される通知信号を受信する受信機３０４と、を備える。受信機３０４は、ローダー・アンローダー８から通知信号を受信してもよい。

制御ユニット１２は、さらに、受信機３０４で受信した通知信号等に基づいて搬送システム２の動作状況を分析するとともに、各構成要素が所定の動作計画通りに動作するように管理する情報処理部１２ａを備える。該動作状況や該動作計画に関連する具体的な情報としては、例えば、各ローダー・アンローダー８、各搬送車１０、各加工装置４、各カセット３０、及び各物品等に関する情報である。情報の詳細については後述する。

また、制御ユニット１２は、送信機３０６から送信する制御信号を生成する制御信号生成部１２ｂを備える。制御信号生成部１２ｂは、情報処理部１２ａによる搬送システム２の動作状況の分析結果と、各構成要素に計画された動作計画と、に基づいて、各構成要素が該動作計画の通りに動作するように制御するための制御信号を生成する。そして、送信機３０６に該制御信号を送り、送信機３０６を制御して各構成要素に該制御信号を送信させる。

さらに、制御ユニット１２は、表示ユニット１４を制御する表示制御部１２ｃを備える。表示制御部１２ｃは、表示ユニット１４に表示される画面の内容を決定し、送信機３０６を制御して表示ユニット１４に該画面に関する情報を含む制御信号を送信させる。表示制御部１２ｃは、例えば、搬送システム２の動作状況を説明する画面や、搬送システム２にエラーが生じたことを報知する警告画面を表示ユニット１４に表示させる。

ここで、制御ユニット１２は、例えば、いずれかのローダー・アンローダー８の制御装置４６や、いずれかの加工装置４の制御装置２４６により機能が実現されても良く、搬送路６が構築された工場の内外に設けられた情報端末により機能が実現されても良い。また、制御ユニット１２は単一の機器により実現されもよく、複数の機器を組み合わせることで実現されてもよい。その実施態様に特に限定はない。

具体的には、搬送システム２は制御ユニット１２として機能する独立したデスクトップＰＣ、ノートＰＣ、タブレット端末、若しくはスマートフォン等の情報端末を備えても良い。または、２以上の情報端末が組み合わされて制御ユニット１２の機能を実現してもよい。

さらに、これらの情報端末は、搬送システム２の制御ユニット１２として機能するだけでなく、各加工装置４及びローダー・アンローダー８を制御できてもよく、工場等で実施される被加工物１１の加工を統合的に管理する管理装置として機能してもよい。この場合、本実施形態に係る搬送システム２は、工場等で実施される物品の搬送と、各加工装置４で実施される加工と、を実施する加工システムの一機能として考えることもできる。

表示ユニット１４は、例えば、ローダー・アンローダー８、または、加工装置４の外表面に据え付けられたディスプレイパネル（不図示）でもよく、該情報端末のディスプレイパネルでもよい。入力インターフェース１６は、ローダー・アンローダー８、または、加工装置４の外表面に据え付けられた操作ボタン（不図示）でもよく、該情報端末のキーボードやマウス、タッチパネル等の入力機器でもよい。また、タッチパネル付きディスプレイにより両者の機能が実現されてもよい。

以下、表示ユニット１４及び入力インターフェース１６として機能するタッチパネル付きディスプレイを備えるタブレット端末が搬送システム２に含まれる場合を例に説明するが、表示ユニット１４及び入力インターフェース１６はこれに限定されない。図１０は、タッチパネル付きディスプレイ３１２を備えるタブレット端末３１０を模式的に示す斜視図である。

本実施形態に係る搬送システム２では、表示制御部１２ｃは、搬送路６を表すマップ上に搬送車１０の現在地が示された位置情報画面を該表示ユニット１４に表示させる。表示ユニット１４として機能するタッチパネル付きディスプレイ３１２には、位置情報画面が表示される。次に、位置情報画面について説明する。

図１１は、表示ユニット１４として機能するタッチパネル付きディスプレイ３１２に表示された位置情報画面３１４を模式的に示す平面図である。位置情報画面３１４は、搬送路６を表すマップ３１６を含む。マップ３１６には、搬送路６を構成する路面パネル２６６の配置が反映される。なお、マップ３１６には、各路面パネル２６６の形状が正確に表現されている必要はない。

さらに、図１１に示す通り、マップ３１６には、路面パネル２６６に設けられたマーク２８６の配置、開口２８２の配置、及び端子２８８の配置等が再現されていてもよい。マップ３１６上には、搬送車図３１８が配されている。搬送車図３１８は、搬送路６上を走行する搬送車１０の現在地に対応する位置でマップ３１６上に表示される。そのため、位置情報画面３１４が写る表示ユニット１４（タッチパネル付きディスプレイ３１２）を見たオペレーター等は、搬送路６における搬送車１０の位置を容易に把握できる。

さらに、位置情報画面３１４には、他の様々な情報が含まれていてもよい。例えば、位置情報画面３１４には、各路面パネル２６６の位置情報を示す位置番号（Point ID）３２０が示されても良い。また、位置情報画面３１４には、各加工装置４、ローダー・アンローダー８、及び搬送車１０のシリアルナンバー３２２が表示されてもよい。

さらに、位置情報画面３１４に含まれる搬送車図３１８は、搬送車１０の容器１０２に収容された物品の有無や、容器１０２が格納領域１０４に格納されているか否か、等の搬送車１０の状態次第で変化してもよい。容器１０２に物品として被加工物１１が収容されている場合は、該被加工物に関する情報と、被加工物１１が加工済みか否かを示す状態情報と、等を示すように搬送車図３１８が変化してもよい。

また、位置情報画面３１４には、加工装置４の内部に搬送された被加工物１１の数等の情報を示す被加工物の絵３２４が含まれてもよい。被加工物の絵３２４は、例えば、加工装置４に搬送された被加工物１１が加工済みか否かにより変化してもよい。

さらに、位置情報画面３１４のマップ３１６に隣接する位置には、表示される情報の種別を選択できる表示情報選択ボタン３２６が表示されてもよい。表示情報選択ボタン３２６は、例えば、表示のオンオフを切り替える対象となる情報を示す文字と、表示がオン状態かオフ状態かを示すチェックボックスと、を含む。例えば、入力インターフェース１６として機能するタッチパネルを使用して表示情報選択ボタン３２６のチェックボックスを選択すると、情報のオンオフを切り替えられる。

次に、位置情報画面３１４において、搬送車１０や物品の状態次第で変化する搬送車図３１８について説明する。搬送車図３１８を様々に変化させると多種多様な情報を表示できる。

図１２（Ａ）は、容器１０２に物品が収容されていない状態を示す搬送車図３１８を示す平面図である。搬送車図３１８には、容器１０２を模式的に示す図形３２８と、搬送車１０のフレーム８２を模式的に示す図形３３０と、搬送車１０の外装カバーを模式的に示す図形３３２と、が含まれている。ただし、搬送車図３１８は、これに限定されない。

図１２（Ｂ）は、容器１０２に物品として円盤状の被加工物１１が収容されている状態を示す搬送車図３１８である。図１２（Ｂ）に示す搬送車図３１８では、被加工物１１を円で表現した被加工物の絵３３４が容器１０２を示す図形３２８の内側に描かれることで、被加工物１１が容器１０２に収容されていることが示されている。

図１２（Ｃ）は、搬送路６の開口２８２上に位置する搬送車１０が容器１０２を載置領域Ａに下降している状態を示す搬送車図３１８である。図１２（Ｃ）に示す搬送車図３１８では、容器１０２を示す図形３２８と、被加工物の絵３３４と、が図１２（Ｃ）に示す搬送車図３１８と比較して縮小されて描かれている。これにより、被加工物１１を収容する容器１０２が下降していることが示されている。

なお、位置情報画面３１４においては、容器１０２が格納領域１０４から載置領域Ａに下降している間、容器１０２を示す図形３２８と、被加工物の絵３３４と、が徐々に小さくなるように搬送車図３１８が表示される。すなわち、位置情報画面３１４では、図１２（Ｂ）に示す搬送車図３１８から図１２（Ｃ）に示す搬送車図３１８に変化するアニメーションにより容器１０２の下降が表現される。

図１２（Ｄ）は、載置領域Ａに置かれた容器１０２から被加工物１１が取り出された状態を示す搬送車図３１８である。図１２（Ｄ）に示す搬送車図３１８では、縮小されて表示された容器１０２を表す図形３２８の内部に何も描かれないことで容器１０２が空であることが表現されている。なお、図１１に示す通り、位置情報画面３１４では、容器１０２から被加工物１１が取り出され加工装置４に被加工物１１が搬入されたとき、当該加工装置４に近接する位置に被加工物の絵３２４が加工装置４の収容物として表示される。

図１２（Ｅ）は、載置領域Ａに置かれた容器１０２に加工装置４で加工された被加工物１１が搬入されている状態を示す搬送車図３１８である。図１２（Ｅ）に示す搬送車図３１８では、容器１０２を表す図形３２８の内側に位置する被加工物の絵３３４に互いに交差する複数の線３３６が付されることにより、被加工物１１が加工済みであることが示されている。ここで、該複数の線３３６は、被加工物１１の加工状態を厳密に再現したものである必要はない。

また、搬送路６の下方に配置される複数の加工装置４により段階的に被加工物１１が加工される場合、被加工物１１に実施される加工の進行段階に応じて線３３６の形態が変化してもよい。これにより、被加工物１１の加工の進行段階を表現できる。

図１２（Ｆ）は、格納領域１０４に戻された容器１０２に加工済みの被加工物１１が収容されている状態を示す搬送車図３１８である。

なお、位置情報画面３１４においては、容器１０２が載置領域Ａから格納領域１０４に上昇している間、容器１０２を示す図形３２８と、被加工物の絵３３４と、が徐々に大きくなるように搬送車図３１８が表示される。すなわち、位置情報画面３１４では、図１２（Ｅ）に示す搬送車図３１８から図１２（Ｆ）に示す搬送車図３１８に変化するアニメーションにより容器１０２の上昇が表現される。

このように、本実施形態に係る搬送システム２では、表示制御部１２ｃは、表示ユニット１４として機能するタッチパネル付きディスプレイ３１２に表示される位置情報画面３１４において、搬送車１０の作業状態に基づいて搬送車図３１８を変化させる。そのため、オペレーターは、位置情報画面３１４に含まれる搬送車図３１８を視認することで搬送車１０が物品を搬送中であるか否か等の作業状態を容易に理解できる。

図１３（Ａ）は、搬送車１０が搬送する物品として工具が容器１０２に収容されている状態を示す搬送車図３１８である。図１３（Ａ）に示す搬送車図３１８では、切削ブレード２３４を模した工具の絵３３８が容器１０２を表す図形３２８の内側に描かれている。すなわち、図１３（Ａ）に示す搬送車図３１８は、切削ブレード２３４を搬送する搬送さ３１８を表現している。

表示制御部１２ｃは、このように、搬送車図３１８で搬送される工具の種別に対応した工具の絵３３８を搬送車図３１８に含ませて位置情報画面３１４に表示することで工具種別情報を表示ユニット１４に表示させる。また、表示制御部１２ｃは、工具が使用済みか否かの状態等によって工具の絵３３８を変化させることで工具状態情報を表示ユニット１４に表示できる。

また、表示制御部１２ｃは、位置情報画面３１４において、工具を搬送する搬送車１０の現在地に対応する位置で搬送路６を示すマップ３１６上に工具の絵３３８を含む搬送車図３１８を表示することで工具の現在地を表示できる。すなわち、表示制御部１２ｃは、表示ユニット１４に工具位置表示を表示させる。

図１３（Ｂ）は、搬送車１０が搬送する物品として消耗品が容器１０２に収容されている状態を示す搬送車図３１８である。図１３（Ｂ）に示す搬送車図３１８では、ドレッサーボードを模した消耗品の絵３４０が容器１０２を表す図形３２８の内側に描かれている。すなわち、図１３（Ｂ）に示す搬送車図３１８は、ドレッサーボードを搬送する搬送車１０を表現している。

図１３（Ｃ）は、搬送車１０が搬送する物品として比較的小径の被加工物１１が容器１０２に収容されている状態を示す搬送車図３１８である。図１３（Ｃ）に示す搬送車図３１８では、図１２（Ｂ）に示された搬送車図３１８と比較して被加工物の絵３４２が小径に描かれている。これにより、図１３（Ｃ）に示す搬送車図３１８は、搬送車１０が物品として小径の被加工物１１を運搬していることを表現している。

表示制御部１２ｃは、このように、搬送車図３１８で搬送される被加工物１１の種別に対応した被加工物の絵３４２を搬送車図３１８に含ませて位置情報画面３１４に表示することで被加工物に関する情報を表示ユニット１４に表示させる。また、表示制御部１２ｃは、搬送車１０で運搬されている被加工物１１が加工済みか否かの状態等によって被加工物の絵３４２を変化させることで状態情報を表示ユニット１４に表示できる。

また、表示制御部１２ｃは、位置情報画面３１４において、被加工物１１を搬送する搬送車１０の現在地に対応する位置で搬送路６を示すマップ３１６上に被加工物の絵３４２を含む搬送車図３１８を表示することで被加工物１１の現在地を表示できる。すなわち、表示制御部１２ｃは、表示ユニット１４に被加工物位置表示を表示させる。

なお、本実施形態に係る搬送システム２では、搬送車１０に何らかのエラーが生じたとき、表示ユニット１４を制御する表示制御部１２ｃは、表示ユニット１４に搬送車警告情報を表示させてもよい。例えば、表示ユニット１４に表示される位置情報画面３１４において、搬送車１０にエラー生じたことを表現する搬送車図３１８を表示するとよい。例えば、図１３（Ｄ）に示す搬送車図３１８では、線３３２及び線３３０の間の領域３４４が着色されており、領域３４４が着色されることで搬送車警告情報が表現される。

なお、領域３４４の色は、例えば、搬送車１０に生じたエラーの種別や緊急性等に応じて選択されてもよい。さらに、エラーの発生を少しでも確実にオペレーター等に報知するために、位置情報画面３１４において、搬送車図３１８の着色された領域３４４が点滅してもよい。この場合、搬送路６を走行する複数の搬送車１０のうちいずれの搬送車１０にエラーが生じているかを容易に把握できる上、該搬送車１０の現在地の把握も容易である。

同様に、本実施形態に係る搬送システム２では、加工装置４に何らかのエラーが生じたとき、表示ユニット１４を制御する表示制御部１２ｃは、表示ユニット１４に加工装置警告情報を表示させてもよい。例えば、表示ユニット１４に表示される位置情報画面３１４において、エラーが生じた加工装置４が存在する領域を着色することにより加工装置警告情報が表示ユニット１４に表示されてもよい。

さらに、表示制御部１２ｃは、その他の情報を表示ユニット１４に表示させてもよく、位置情報画面３１４において、該その他の情報を含ませても良い。例えば、搬送車１０のバッテリー９６（図４（Ａ）等参照）の状態を示すバッテリー残量情報が表示されてもよい。例えば、バッテリー９６の残量割合を示す数字が搬送車図３１８に重ねて表示されると良い。また、搬送車１０のメンテナンスが推奨される時期となるまでの残り稼働時間が搬送車図３１８に重ねて表示されても良い。このように、表現される情報に制限はない。

なお、位置情報画面３１４において入力インターフェース１６を利用してマップ３１６上に表示される搬送車図３１８を選択することで、搬送車１０に関する情報及び該搬送車１０で搬送される物品に関する情報の詳細が表示ユニット１４に表示されてもよい。また、マップ３１６上の加工装置４やローダー・アンローダー８の位置に対応する領域を選択することで、加工装置４に関する情報やローダー・アンローダー８に関する情報の詳細が表示ユニット１４に表示されてもよい。

次に、表示制御部１２ｃが表示ユニット１４に表示される位置情報画面３１４を生成する際に利用する各種の情報の形成過程について説明する。ここで、該各種の情報とは、搬送車１０の現在地に関する情報や、工具及び被加工物等の物品の現在地に関する情報等である。また、該各種の情報には、工具及び被加工物の種別情報や状態情報も含まれる。さらに、搬送車１０、加工装置４、及びローダー・アンローダー８に関する情報や、これらに関する警告情報も含まれる。

まず、搬送車１０の現在地に関する情報の形成過程について説明する。搬送車１０の現在地は、例えば、制御ユニット１２（図２参照）により割り出される。具体的には、受信機３０４を通じて制御ユニット１２の情報処理部１２ａに届く搬送車１０からの通知信号を利用して、情報処理部１２ａが搬送車１０の現在地を割り出す。

例えば、上述のように、搬送車１０が搬送路６上を目的地に向けて走行する際には、搬送システム２の制御ユニット１２は、移動の対象となる搬送車１０に対して、出発地から目的地に移動する指示に相当する制御信号を送る。搬送車１０は、第１センサー１２２及び第２センサー１２４により搬送路６に設けられたマーク２８６を検出し、検出されるマーク２８６を参照して移動する。

ここで、搬送車１０の制御部１３０は、特定のマーク２８６が検出された際に、該マーク２８６が検出されたことを通知する通知信号を送信機１３４から制御ユニット１２の受信機３０４に送信すると良い。この場合、情報処理部１２ａは、搬送車１０が検出したマーク２８６の数と、搬送車１０の出発地点と、から搬送車１０が搬送路６に設けられたいずれのマーク２８６が検出されたかを割り出し、該マーク２８６の位置を搬送車１０の現在地として割り出す。

さらに、搬送車１０の第１センサー１２２及び第２センサー１２４により一つのマーク２８６が検出された後、次のマーク２８６が検出されるまでの間、情報処理部１２ａは、搬送車１０の移動速度と、現在時刻と、から搬送車１０の詳細な現在地を算出する。例えば、統一された規格に従って製造された複数の搬送路モジュールを組み合わせて搬送路６が構築されている場合、各マーク２８６の位置関係が精密に決まるため、情報処理部１２ａは、すべての時刻において搬送車１０の現在地を高精度に割り出せる。

このように、情報処理部１２ａは、搬送車１０の制御部１３０が生成した通知信号に基づいて、搬送車１０の現在地に関する情報を形成できる。ただし、該搬送車１０の現在地に関する情報の形成過程はこれに限定されない。例えば、情報処理部１２ａは、搬送車１０の移動経路及び速度等の搬送車１０の移動計画と、搬送車１０の出発時刻と、等の情報から搬送車１０の現在地を割り出してもよい。すなわち、搬送車１０が通知信号を発信しない場合においても、搬送車１０の現在地に関する情報を形成できる。

制御ユニット１２の情報処理部１２ａは、搬送車１０の現在地に関する情報を表示制御部１２ｃに送り、該表示制御部１２ｃは、送信機３０６を通じてマップ３１６上に搬送車１０の現在地が示された位置情報画面３１４を含む制御信号を表示ユニット１４に送る。そして、表示ユニット１４は、図１１に示す通り、搬送車１０の現在地に相当するマップ３１６上の位置に搬送車図３１８が配された該位置情報画面３１４を表示する。

このとき、搬送車図３１８は、搬送車１０の移動履歴等により割り出された搬送車１０の向きに対応する向きでマップ３１６上に配される。また、表示制御部１２ｃは、搬送車１０の容器１０２の内容物や位置等の作業状態等に合う種別の搬送車図３１８を選択して位置情報画面３１４に該搬送車図３１８を表示させる。

なお、本実施形態に係る搬送システム２では、搬送車図３１８が搬送する物品の種別や状態等の物品情報が制御ユニット１２の情報処理部１２ａで判断され、蓄積されると良い。そして、表示される搬送車図３１８の種別が選択される際には、該物品情報が参照される。また、該物品情報には、搬送車図３１８の種別の選択に直接的に関連しない内容が含まれても良く、例えば、位置情報画面３１４に表示された特定の搬送車図３１８を入力インターフェース１６で選択すると、表示ユニット１４に該物品情報が表示されると良い。

次に、制御ユニット１２に蓄積される物品情報について説明する。該物品情報は、例えば、搬送システム２の外部で生成されて制御ユニット１２に送信されても良い。または、制御ユニット１２は、情報処理部１２ａが搬送車１０、ローダー・アンローダー８、及び加工装置４等で生成された各通知情報等に基づいて生成及び更新しても良い。

該物品情報には、該物品の種別、形式、状態等の情報が含まれる。例えば、物品を収容したカセット３０がローダー・アンローダー８に搬入された際、制御ユニット１２はそれぞれの物品にＩＤ番号を付与し、該ＩＤ番号に基づいて各物品を管理すると良い。該物品情報には、該ＩＤ番号も含まれる。さらに、該物品情報には、該物品を収容する搬送車１０や加工装置４、ローダー・アンローダー８の固有番号が含まれても良い。

物品が被加工物１１である場合、該物品情報には、該被加工物１１の材質や大きさ等の情報や、加工済みであるか否か等の加工の進行度等の情報が含まれる。また、ローダー・アンローダー８に搬入された際のカセット３０における被加工物１１の収容位置（段数）、該カセット３０が搬入されたローダー・アンローダー８の固有番号、カセット３０が置かれた支持台２６の番号等の収容状態の情報が含まれる。

例えば、表示ユニット１４に表示された位置情報画面３１４において、特定の搬送車１０等が選択されたとき、該搬送車１０で搬送されている物品の該物品情報の一部または全部が表示された物品情報表示画面（不図示）が表示ユニット１４に表示されると良い。

このように、本実施形態に係る搬送システム２では、制御ユニット１２に多種多様な情報が集められる。そして、制御ユニット１２は、各種の通知情報が蓄積されることにより搬送システム２の稼働履歴を形成できる。この稼働履歴を使用すると、例えば、過去の特定の時刻における各搬送車１０の位置が表示された位置情報画面３１４を再現できる。

さらに、制御ユニット１２には、本実施形態に係る搬送システム２で実施される物品の搬送や各加工装置４で実施される加工の計画に関する情報が予め登録される。そして、制御ユニット１２の情報処理部１２ａは、該計画に従って搬送車１０、ローダー・アンローダー８、及び加工装置４等が稼働するように、制御信号生成部１２ｂに制御信号を生成させ、送信機３０６に該制御信号を送信させる。

そして、制御ユニット１２に登録された該計画に関する情報を使用すると、情報処理部１２ａは、将来の特定の時刻における各搬送車１０の位置が表示された位置情報画面３１４をシミュレートして形成することもできる。そして、将来の各時刻における位置情報画面３１４を次々に生成し表示ユニット１４に表示させることで、各搬送車１０が互いに衝突する等の問題が生じることはないか確認できる。

この場合、制御ユニット１２に登録された該計画に関する情報の内容を変化させ、各計画において同様に位置情報画面３１４をシミュレートすることで、将来において搬送システム２で問題が生じるか否かを確認しながら該計画を改良できる。さらに、様々な条件でシミュレーションを実施することで最適な計画を導出できる。例えば、各被加工物１１がカセット３０から搬出され加工装置４で加工されてカセット３０に再び戻されるまでの所要時間を各計画で算出する。該所要時間が最も短くなる計画が最適な計画といえる。

さらに、本実施形態に係る搬送システム２では、搬送路６の設計時に使用されてもよい。例えば、搬送路モジュールの組み方を様々に変えて搬送路６を構築し、該所要時間を算出することで、最適な搬送路６の構成を導出してもよい。この場合、加工装置４等の配置及び搬送路６の構成を設計するオペレーターは、制御ユニット１２を利用することで設計作業を効率的に進行できる。

ここで、本実施形態に係る搬送システム２では、搬送路６の構成の検討を容易にするために、表示ユニット１４に表示させる搬送路設計画面（不図示）を表示制御部１２ｃが生成して表示ユニット１４に表示させてもよい。該搬送路設計画面は、例えば、設計中の搬送路６をマップ３１６として表示する設計領域を含む。

例えば、設計領域に表示された設計中の搬送路６を示すマップ３１６に新たな搬送モジュールを組み合わせる際には、搬送路モジュール選択パレットを表示ユニット１４に表示させる。搬送路モジュール選択パレットには、各種の搬送路モジュールが一覧表示されており、オペレーターは新たに組み合わせたい搬送路モジュールを該搬送路モジュール選択パレットから選択する。そして、マップ３１６の接続したい位置に該搬送路モジュールを表す絵を移動させ、搬送路モジュールの向きを決定してマップ３１６における配置を決定する。

この場合、搬送路６を容易かつ直感的に設計できる上、位置情報画面３１４に表示されるマップ３１６を容易に作成できる。すなわち、制御ユニット１２にマップ３１６を入力するために、専門の知識を有したオペレーターがマップ３１６に関する情報を含むプログラムコードを作成する必要はない。

以上に説明する通り、本実施形態に係る搬送システム２では、表示制御部１２ｃは搬送路６を表すマップ３１６上に搬送車１０の現在地が示された位置情報画面３１４を表示ユニット１４に表示させる。そのため、複数の加工装置４が設置された工場で作業に従事するオペレーターは、表示ユニット１４に表示された位置情報画面３１４を確認するだけで搬送車１０の現在地を把握できる。

なお、上記の実施形態では、表示ユニット１４に表示される位置情報画面３１４において、マップ３１６と、搬送車図３１８と、が平面的に表示される場合について説明したが、本発明の一態様に係る搬送システム２はこれに限定されない。すなわち、位置情報画面３１４では、マップ３１６及び搬送車図３１８等が３次元画像で表示されてもよい。この場合、各搬送車１０の現在地を把握しやすいように、位置情報画面３１４においてマップ３１６の向きを任意の方向に変更できると良い。

さらに、本発明の一態様に係る搬送システム２では、表示ユニット１４に表示される位置情報画面３１４を利用して、加工装置４、搬送車１０又はローダー・アンローダー８を操作してもよい。例えば、操作の対象となる要素を入力インターフェース１６で位置情報画面３１４から選択し、入力インターフェース１６により特定の指示を入力する。

オペレーターは、例えば、操作の対象となる搬送車１０を表す搬送車図３１８を選択し、該搬送車１０を搬送路６の特定の位置に移動させる指示を入力インターフェース１６で入力する。この場合、制御ユニット１２の制御信号生成部１２ｂが該指示を伝達する制御信号を生成し、該制御ユニット１２の送信機３０６から該搬送車１０に該制御信号を送信する。このように、表示ユニット１４に表示される位置情報画面３１４を操作画面として利用して各要素を操作すると、操作が直感的となり誤操作のおそれを低減できる。

その他、上述した実施形態や変形例等にかかる構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

１１ 被加工物
１３ テープ（ダイシングテープ）
１５ フレーム
１７ 被加工物ユニット
２ 搬送システム
４ 加工装置（切削装置）
６ 搬送路
６ａ 開口
８ ローダー・アンローダー（搬送装置）
１０，１０ａ，１０ｂ 搬送車
１２ 制御ユニット
１２ａ 情報処理部
１２ｂ 制御信号生成部
１２ｃ 表示制御部
１４ 表示ユニット
１６ 入力インターフェース
２０ 配管
２２ 筐体
２２ａ 天井
２２ｂ 開口
２４，２４ａ，２４ｂ カセット収容機構
２６ 支持台
２８ カセット載置台
３０，３０ａ，３０ｂ カセット
３２ 搬入出口
３４ 外扉
３６ 回転連結部材
４０ 内扉
４６ 制御装置
５６ 昇降機構
５６ａ 支持柱
５８ 昇降台
６０ 仮置きユニット
６２ 筐体
６４ 搬送ユニット（搬送機構）
６６ 載置台
６８ 受信機
７０ 送信機
８２ フレーム
８４ 車軸
８６ 車輪（前輪）
８８ 車輪（後輪）
９０ 駆動ユニット
９２ モーター
９２ａ 回転軸（出力シャフト）
９４ プーリー
９６ バッテリー（二次電池）
１００ 端子（受電端子）
１０２ 容器（カセット）
１０２ａ 収容部（収容空間）
１０２ｂ 開口
１０２ｃ 上壁
１０２ｄ 底壁
１０４ 格納領域
１０６，１０８ ガイドレール
１１０ 昇降ユニット（昇降機構）
１１２ 吊り下げ部材
１１４ 駆動機構
１１６ 接触部材
１２０ カバー
１２２，１２４，１２６ センサー
１２８ 支持台
１３０ 制御部（制御ユニット）
１３２ 受信機
１３４ 送信機
２０２ 基台
２０２ａ，２０２ｂ 凹部
２０２ｃ 配管接続部
２０４ 昇降台
２０６ Ｘ軸移動機構（加工送りユニット）
２０６ａ テーブルカバー
２０６ｂ 防塵防滴カバー
２０８ チャックテーブル
２０８ａ 保持面
２１０ クランプ
２１２ ガイドレール
２１４，２２８ 支持構造
２１６，２２２ レール
２１８，２２４ 移動機構
２２０，２２６ 保持ユニット
２２０ａ 把持機構
２３０ Ｙ軸Ｚ軸移動機構（割り出し送りユニット、切り込み送りユニット）
２３２ 加工ユニット（切削ユニット）
２３４ 切削ブレード
２３６ 撮像ユニット（カメラ）
２３８ 洗浄ユニット
２４０ スピンナテーブル
２４２ 噴射ノズル
２４４ カバー
２４４ａ 天井
２４４ｂ 扉
２４６ 制御装置
２４８ 受信機
２５０ 送信機
２５２ サブチャックテーブル
２６２ フレーム
２６６ 路面パネル
２７４ａ，２７４ｂ 橋渡しパネル
２７６ ガード部
２７８ 走行領域
２８０ 停車領域
２８２ 開口
２８４ 待機領域
２８６，２８６ａ，２８６ｂ，２８６ｃ，２８６ｄ マーク
２８８ 端子（給電端子）
３０２ 制御部（情報処理部・制御信号生成部）
３０４ 受信機
３０６ 送信機
３１０ タブレット端末
３１２ タッチパネル付きディスプレイ
３１４ 位置情報画面
３１６ マップ
３１８ 搬送車図
３２０ 位置番号（Point ID）
３２２ シリアルナンバー
３２４，３３４，３４２ 被加工物の絵
３２６ 表示情報選択ボタン
３２８，３３０，３３２ 図形
３３６ 線
３３８ 工具の絵
３４０ 消耗品の絵
３４４ 領域
Ａ 載置領域

Claims (8)

1. 複数の加工装置のそれぞれに対して物品を搬送する搬送システムであって、
   それぞれの該加工装置の上方に、該加工装置の間に渡って設置される搬送路と、
   制御信号を受信する受信機を備え、該物品を支持して該搬送路を走行する搬送車と、
   該物品を収容する物品ストッカーと、該搬送車に該物品を搬送する物品搬送部と、制御信号を受信する受信機と、を備えるローダー・アンローダーと、
   表示ユニットと、
   制御ユニットと、を含み、
   該制御ユニットは、該加工装置、該搬送車及び該ローダー・アンローダーに制御信号を送信する送信機と、該加工装置及び該搬送車から送信される通知信号を受信する受信機と、該送信機から送信する該制御信号を生成する制御信号生成部と、該表示ユニットを制御する表示制御部と、を備え、
   該表示制御部は、該搬送路を表すマップ上に該搬送路上を目的地に向けて走行中の該搬送車から送信される該通知信号を利用して割り出される該搬送車の現在地が示された位置情報画面を該表示ユニットに表示させることを特徴とする搬送システム。
2. 該加工装置で使用される工具を該物品として搬送可能であり、
   該表示制御部は、該工具の工具種別情報と、該工具が使用済みか否かを示す工具状態情報と、該位置情報画面において該マップ上に該工具の現在地を表示する工具位置表示と、のうち一つ以上を該表示ユニットに表示させることを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
3. 該加工装置で加工される被加工物を該物品として搬送可能であり、
   該表示制御部は、該被加工物に関する情報と、該搬送車で運搬されている該被加工物が加工済か否かを示す状態情報と、該位置情報画面において該マップ上に該被加工物の現在地を表示する被加工物位置表示と、のうち一つ以上を該表示ユニットに表示させることを特徴とする請求項１又は請求項２のいずれかに記載の搬送システム。
4. 該表示制御部は、該加工装置から発信される加工装置警告情報と、該搬送車から発信される搬送車警告情報と、該搬送車が備えるバッテリーの状態を示すバッテリー残量情報と、のうち一つ以上を該表示ユニットに表示させることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の搬送システム。
5. 該位置情報画面では、該搬送車が該物品を搬送中であるか否かの作業状態に基づいて変化する搬送車図が該マップ上に表示されることで該搬送車の現在地及び該作業状態が表示されることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の搬送システム。
6. 入力インターフェースをさらに備え、
   該制御ユニットは、該入力インターフェースで入力された指示に基づいて該送信機から該加工装置、該搬送車又は該ローダー・アンローダーへ該制御信号を送信することを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の搬送システム。
7. 該搬送車には障害物に衝突したことを検知するためのセンサーとなる押しボタン式のスイッチが設けられており、該スイッチが押されると該搬送車が動作を停止することを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の搬送システム。
8. 該制御ユニットは、該加工装置及び該ローダー・アンローダーから独立した情報端末であり、該表示ユニットは、該情報端末のディスプレイパネルであることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の搬送システム。

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