JPH06140496A - ウエハ処理システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウエハを収納したカセットを運搬する搬送台
車の走行通路に沿って複数のウエハ処理装置を並列配置
したウエハ処理システムにおいて、メンテナンス作業者
と搬送台車とが干渉し合うことをなくし、メンテナンス
作業および搬送台車によるカセット搬送を完全に独立し
て安全かつ能率良く行えるようにする。 【構成】 各ウエハ処理装置１，２のカセット受取り部
５，１５とカセット送り出し部６，１６とを、搬送台車
走行通路Ｌ側に面して配備するとともに、各ウエハ処理
装置１，２の処理機構７，１７を搬送台車走行通路Ｌに
対して横向きに配備し、かつ、ウエハ処理装置１，２群
の搬送台車走行通路と反対側に作業者エリアＡを設定す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハに各種の
処理を施す処理システムに係り、特に、前記処理システ
ムを構成する各処理装置に対してウエハを収納したカセ
ットを運搬するための搬送台車の通路と、各処理装置に
メンテナンス等を施す場合の作業者エリアとの配置構造
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のウエハ処理システムのレ
イアウトとしては、図３に示すように、各ウエハ処理装
置３１の前面が搬送台車３４の走行通路Ｌとなるように
設置され、各ウエハ処理装置３１の前部にカセット受取
り部３５とカセット送り出し部３６とを配備するととも
に、これらの略中間部位にウエハ移し替え機構３８が設
けられ、奥部位に処理機構３７が前向き（搬送台車走行
通路Ｌに面して）に設けられている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来のウエハ処理
システムによると、各ウエハ処理装置３１での全ての操
作（例えばカセットの搬入および搬出、装置各部のメン
テナンス、等）がその前面である搬送台車走行通路Ｌ側
から行うことになり、メンテナンス作業者に無人走行制
御によって走行する搬送台車３４が接触するような事態
が発生するおそれがある。

【０００４】もちろん、搬送台車３４に障害物センサー
を装備して、メンテナンス作業者と接触する前に搬送台
車３４を自動停止制御したり、作業者に対して警報を出
す、等の安全手段を採ることで接触事故を未然に回避す
ることはできるが、メンテナンス作業中に搬送台車３４
が接近すれば、作業者が作業を中断して搬送台車３４の
走行を妨げない位置に退避移動する必要があるととも
に、作業者が通路を開けるまで搬送台車３４が走行でき
なくなるものであり、いずれにせよ、この中断によって
メンテナンス作業能率や、処理能率が低下することは否
めないもであった。

【０００５】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、各ウエハ処理装置での各機構の配置を
搬送台車走行通路に対して合理的に改良することで、メ
ンテナンス作業者と搬送台車とが干渉し合うことを完全
になくし、メンテナンス作業および搬送台車によるカセ
ット搬送を完全に独立して安全かつ能率良く行えるよう
にすることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のウエハ処理システムは次のような構成を採
る。すなわち、本発明は、ウエハを収納したカセットを
運搬する搬送台車の走行通路に沿って複数台のウエハ処
理装置を並列配置し、各ウエハ処理装置には、未処理ウ
エハを収納したカセットを搬送台車から受取るカセット
受取り部と、処理済みウエハを収納したカセットを搬送
台車に送り出すカセット送り出し部と、カセット受取り
部のカセットからウエハを取り出して処理機構に供給す
るとともに処理機構からの処理済みウエハをカセット送
り出し部のカセットに格納するウエハ移し替え機構とを
装備してあるウエハ処理システムにおいて、各ウエハ処
理装置のカセット受取り部とカセット送り出し部とを、
搬送台車走行通路側に面して配備し、かつ、ウエハ処理
装置群の前記搬送台車走行通路と反対側に作業者エリア
を設定したものである。

【０００７】

【作用】上記構成によると、各ウエハ処理装置の前後両
側が開放されて、その一方が搬送台車走行通路に、ま
た、他方が作業者エリアになり、カセットの搬入および
搬出は搬送台車走行通路側でのみ行われ、メンテナンス
等を行う作業者は搬送台車走行通路に入る必要なく各部
のメンテナンス等の作業を行うことができる。

【０００８】

【実施例】図１は、本発明に係るウエハ処理システムの
一実施例の全体概略平面図である。図において、１はバ
ックグラインド処理を受ける前の半導体ウエハの表面に
粘着保護テープを貼付けるウエハ処理装置であり、ま
た、２はバックグラインド処理を受けた後の半導体ウエ
ハの表面から粘着保護テープを剥離するウエハ処理装置
であり、これらウエハ処理装置１，２を一組として、複
数組のウエハ処理装置が一列状に配置されている。そし
て、このウエハ処理装置１，２群の前面に沿って、ロボ
ットアーム３を装備した搬送台車４の走行通路Ｌが設け
られるとともに、ウエハ処理装置１，２群の背後に作業
者エリアＡが設定されている。

【０００９】図２に示すように、前記保護テープ貼付け
用のウエハ処理装置１には、未処理ウエハを収納したカ
セットＣを搬送台車４から受取るカセット受取り部５
と、処理済みウエハを収納したカセットＣを搬送台車４
に送り出すカセット送り出し部６と、カセット受取り部
５のカセットＣからウエハを取り出して処理機構７に供
給するとともに処理機構７からの処理済みウエハをカセ
ット送り出し部６のカセットＣに格納するウエハ移し替
え機構８とを備えている。カセット受取り部５とカセッ
ト送り出し部６とは、搬送台車走行通路Ｌ側に面して配
備されている。また、処理機構７は搬送台車走行通路Ｌ
に対して横向きに配備されている。なお、ここでは搬送
台車走行通路Ｌ側を装置前面としている。

【００１０】以下、各部の構成を詳細に説明する。前記
カセット受取り部５にはカセット台９が設けられてお
り、搬送台車４からのカセットＣを前後向きの一定姿勢
に載置するように構成されている。カセット送り出し部
６にはレール１０に沿って前後動する可動カセット台１
１が設けられており、回収用カセットＣを前後向きの一
定姿勢に載置して一定ストロークで前後に移動するよう
に構成されている。

【００１１】ウエハ移し替え機構８は、前記カセット受
取り部５の奥部に配備されており、水平に進退可能かつ
旋回可能な吸着アーム１２を備えている。この吸着アー
ム１２は、カセット台９上のカセットＣから１枚づつウ
エハを取り出して、アライメントステージ１３に供給す
る。アライメントステージ１３は、ウエハのオリエンテ
ーションフラットを光学的に検出することにより、ウエ
ハの位置決めを行う。位置決めされたウエハを再び吸着
アーム１２で保持して、処理機構７のテープ貼付けステ
ージ１４に供給する。さらに、保護テープ貼付けの終わ
ったウエハを吸着アーム１２で保持してテープ貼付けス
テージ１４から取り出し、後退位置に待機している前記
可動カセット台１１上の回収カセットＣに格納するよう
に構成されている。なお、可動カセット台１１は旋回可
能に構成され、後退位置では、回収カセットＣのウエハ
取り出し口が、ウエハ移し替え機構８に面するようにな
っている。そして、回収カセットＣに所定枚数の処理済
みウエハが格納されると、可動カセット台１１が前進位
置に移動し、回収カセットＣが搬送台車４に搬出されて
ゆくように構成されている。

【００１２】図２に示すように、前記保護テープ剥離用
のウエハ処理装置２には、未処理ウエハを収納したカセ
ットＣを搬送台車４から受取るカセット受取り部１５
と、処理済みウエハを収納したカセットＣを搬送台車４
に送り出すカセット送り出し部１６と、カセット受取り
部１５のカセットＣからウエハを取り出して処理機構１
７に供給するとともに処理機構１７からの処理済みウエ
ハをカセット送り出し部１６のカセットＣに格納するウ
エハ移し替え機構１８とを備えている。カセット受取り
部１５とカセット送り出し部１６とは、搬送台車走行通
路Ｌ側に面して配備されており、また、処理機構１７を
搬送台車走行通路Ｌに対して横向きに配備されている。

【００１３】保護テープ剥離用のウエハ処理装置２の各
部の構成は、処理機構１７を除いて、基本的に保護テー
プ貼付け用のウエハ処理装置１の構成と同じである。す
なわち、未処理ウエハを収納したカセットＣが搬送台車
４から受け取られ、カセット受取り部１５のカセット台
１９に一定姿勢で載置される。ウエハ移し替え機構１８
の吸着アーム２２が、カセット台１９上のカセットＣか
らウエハを一枚づつ取り出して、アライメントステージ
２３に供給する。アライメントステージ２３でウエハを
位置合わせした後、再び吸着アーム２２で保持して処理
機構１７の保護テープ剥離ステージ２４に供給する。処
理機構１７は、強粘着性の剥離テープをウエハ表面の保
護テープ上に貼り付けた後、前記剥離テープを介して保
護テープをウエハ表面からめくり取る。保護テープが剥
離されたウエハを再び吸着アーム２２で保持して、後退
位置に待機している可動カセット台２１上の回収カセッ
トＣに格納する。回収カセットＣに所定枚の処理済みウ
エハが格納されると、可動カセット台２１がレール２０
に沿って前進位置に移動し、回収カセットＣが搬送台車
４に受渡される。

【００１４】以上のように、本実施例に係るウエハ処理
システムは、ウエハ処理装置１，２群の前面（図１の右
側）に沿って搬送台車４の走行通路Ｌを設け、ウエハ処
理装置１，２群の背後（図１の左側）に作業者エリアＡ
を設けることによって、走行通路Ｌと作業者エリアＡを
分離しているので、搬送台車４と作業者とが干渉しあう
ことがなく、作業者の安全性が確保されるとともに、作
業の円滑化を図ることができる。

【００１５】なお、上述の実施例では、未処理のウエハ
をカセット受け取り部１５のカセットから取り出し、処
理済のウエハをカセット送り出し部１６のカセット内に
収納する、いわゆるカセットｔｏカセット方式を例に採
って説明したが、本発明は、未処理のウエハをカセット
から取り出し、処理済のウエハを元のカセットの元の位
置に戻す、いわゆるユニカセット方式に対しても適用す
ることができる。

【００１６】また、上述の実施例では、ウエハ表面に保
護テープを貼付ける処理装置１と、ウエハ表面から保護
テープを剥離する処理装置２とから構成されたウエハ処
理システムを例に採って説明したが、本発明はこれに限
らず、ウエハに対して任意の処理を施す処理システムに
適用することができる。

【００１７】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
は、各ウエハ処理装置での各機構の配置を搬送台車走行
通路に対して合理的に改良することで、メンテナンス作
業者と搬送台車とが干渉し合うことを完全になくし、メ
ンテナンス作業および搬送台車によるカセット搬送を完
全に独立して安全かつ能率良く行えるようになった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るウエハ処理システムの一実施例の
全体を示す概略平面図である。

【図２】処理装置の平面図である。

【図３】従来のウエハ処理システムを示す概略平面図で
ある。

【符号の説明】

１，２ ウエハ処理装置 ４ 搬送台車 ５，１５ カセット受取り部 ６，１６ カセット送り出し部 ７，１７ 処理機構 ８，１８ ウエハ移し替え機構 Ａ 作業者エリア Ｌ 搬送台車走行通路

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウエハを収納したカセットを運搬する搬
   送台車の走行通路に沿って複数台のウエハ処理装置を並
   列配置し、各ウエハ処理装置には、未処理ウエハを収納
   したカセットを搬送台車から受取るカセット受取り部
   と、処理済みウエハを収納したカセットを搬送台車に送
   り出すカセット送り出し部と、カセット受取り部のカセ
   ットからウエハを取り出して処理機構に供給するととも
   に処理機構からの処理済みウエハをカセット送り出し部
   のカセットに格納するウエハ移し替え機構とを装備して
   あるウエハ処理システムにおいて、 各ウエハ処理装置のカセット受取り部とカセット送り出
   し部とを、搬送台車走行通路側に面して配備し、かつ、
   ウエハ処理装置群の前記搬送台車走行通路と反対側に作
   業者エリアを設定してあることを特徴とするウエハ処理
   システム。