KR100693836B1

KR100693836B1 - 마스크 반송 장치, 마스크 반송 시스템 및 마스크 반송방법

Info

Publication number: KR100693836B1
Application number: KR1020020028563A
Authority: KR
Inventors: 김석현; 도꾸나가겐지
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2001-06-07
Filing date: 2002-05-23
Publication date: 2007-03-12
Also published as: JP3734432B2; JP2002362737A; KR20020095075A

Abstract

본 발명의 과제는 복수의 마스크 수납 용기를 마스크 저장 장치 및/또는 복수의 기판 처리 장치로 반송하여, 마스크 수납 용기를 적재하는 적재대의 방향에 맞추어 적재하는 것이다.

마스크 저장 장치 및/또는 복수의 기판 처리 장치 사이에 부설된 궤도 레일에 패턴 전사용 마스크를 수납하기 위한 마스크 수납 용기를 복수 파지한 한 대의 롤러를 접속하여 반송하는 마스크 반송 방법에 있어서, 롤러의 이동시에는 복수의 마스크 수납 용기의 배열이 상기 궤도 레일의 부설 방향에 따른 상태로 하여 롤러가 소정 위치에 왔을 때에 정지시키고, 복수의 마스크 수납 용기의 배열이 이 마스크 수납 용기의 적재대의 배치에 따른 상태에서 상기 롤러를 회전시켜 적재대에 마스크 수납 용기를 적재할 수 있도록 한다.

마스크 수납 용기, 궤도 레일, 롤러, 기판 처리 장치, 레티클 스토커, 적재대

Description

마스크 반송 장치, 마스크 반송 시스템 및 마스크 반송 방법{Mask Carrying Device, Mask Carrying System and Mask Carrying Method}

도1은 본 발명의 실시 형태에 있어서의 마스크 반송 시스템에 대해 설명하기 위한 도면.

도2는 본 발명의 실시 형태에 있어서의 마스크 반송 장치의 이동시의 상태를 설명하기 위한 도면.

도3은 본 발명의 실시 형태에 있어서의 마스크 반송 장치에 있어서, 마스크 수납 용기를 교환할 때의 상태를 도시한 도면.

도4는 본 발명의 실시 형태에 있어서의 마스크 반송 장치에 있어서, 롤러가 적재대의 배열 방향에 맞추어 회전한 상태를 도시한 도면.

도5는 반도체 제조 공장에 있어서, 반도체 기판을 자동 반송하기 위한 반송 시스템을 도시한 개념도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 롤러

2 : 파지구

3 : 승강 로프

4 : 접속부

13 : 궤도 레일

14 : 마스크 수납 용기

15, 55 : 적재대

16 : 마스크 저장 장치(레티클 스토커)

17 : 기판 처리 장치(축소 투영 노광 장치)

51 : OHT

52 : 호이스트 기구

53 : 궤도 레일

54 : 웨이퍼 캐리어

56 : 웨이퍼 저장 장치(스토커)

57 : 기판 처리 장치

100 : 마스크 반송 장치

200 : 마스크 반송 시스템

본 발명은 패턴 전사용 마스크의 마스크 반송 장치, 마스크 반송 시스템 및 마스크 반송 방법에 관한 것이다. 또한 구체적인 적용으로서는 반도체 제조 공장에 있어서 패턴 전사용 마스크를 마스크 저장 장치나 기판 처리 장치로 반송하는 것을 가능하게 하는 마스크 반송 장치, 마스크 반송 시스템의 구조, 사용에 관한 것이다.

도5는 반도체 제조 공장에 있어서 반도체 기판을 자동 반송하기 위한 반송 시스템을 도시한 개념도이다.

OHT(Overhead Hoist Transfer)(51)는 반도체 기판을 수납한 웨이퍼 캐리어(54)를 파지하고, 반도체 제조 공장 내에 부설된 궤도 레일(53)을 따라 소정의 스토커(56) 혹은 기판 처리 장치(57)로 웨이퍼 캐리어(54)를 이동한다.

OHT(51)에 구비된 호이스트 기구(52)는 OHT(51)에 파지되어 소정의 위치로 이동한 웨이퍼 캐리어(54)를 스토커(56) 혹은 기판 처리 장치(57)에 구비된 적재대(55)에 적재한다.

기판 처리 장치(57)에서는, 적재대(55)는 로드 포트 장치의 일부로 되어 있고, 이 로드 포트 장치에 의해 웨이퍼 캐리어(54) 내부에 수납된 반도체 기판은 취출되어 기판 처리 장치(57)의 내부에 수납된다.

또한, 상술한 웨이퍼 캐리어의 대표예로서, SEMI 규격으로 FOUP라 불리우고 있는 것이 있다. FOUP라 함은 프론트ㆍ오프닝ㆍ유니파이드ㆍ포드(Front Opening unified pod)의 줄임말이다. 상세한 치수 등의 정보는 SEMI 규격 E52, E1.9, E47.1 등에 기재되어 있다.

또한, 상술한 OHT(Overhead Hoist Transfer)(51)는 반도체 공장의 베이 내에서 반도체 기판을 수납한 웨이퍼 캐리어를 반송하는 대표적인 자동 반송 기기이다.

반도체 장치의 제조에 있어서, 미크론 단위를 취급하는 미세 가공의 현장에서는 온도나 습도에 의한 물질의 수축이나 팽창, 또한 먼지 등의 이물질의 침입은 큰 문제가 된다. 따라서 반도체 장치의 제조는 대부분의 공정이 공기 조절을 행하고, 공기 중의 먼지 등을 제거한 클린 룸 내에서 행해진다. 이와 같은 클린 룸 내로의 사람의 침입은 이물질의 침입 원인이 되므로 억제하는 것이 바람직하다. 따라서, 상술한 바와 같은 자동 반송 시스템은 반도체 제조에 있어서는 중요한 역할을 감당하는 것이다.

또한, 사람의 손에 의해 각 기판 처리 장치로 운반되는 경우의 살수를 억제하고, 또한 운반 시간을 단축함으로써 처리 효율을 향상시키기 위해서도 중요한 시스템이다.

이상과 같은 관점에서, 반도체 기판의 자동 운반 시스템에 대해서는 연구, 개발이 진행되고 있다.

한편, 반도체 기판을 처리하는 기판 처리 장치 내에서 사용되는 패턴 전사용 마스크, 구체적으로는, 예를 들어 축소 투영 노광 장치 내에서 사용되는 레티클은 현상에서는 마스크 수납 용기에 수납되고, 이 마스크 수납 용기마다 사람의 손에 의해 축소 투영 노광 장치에 설치된 마스크 수납 용기용의 적재대에 적재하고 있다. 그러나, 반도체 기판에 대해 자동 반송 시스템이 중요한 것과 마찬가지로 이물질의 침입 방지, 처리 효율 등을 고려하면, 패턴 전사용 마스크에 대해서도 자동 반송이 가능해지는 것이 바람직하다.

이상 설명한 바와 같이, 반도체 제조 공장 내에 있어서 패턴 전사용 마스크에 대해서도 반송 작업의 자동화가 요구되고 있다. 이 반송 작업의 자동화를 실현 하기 위해서는 상술한 반도체 기판의 자동 반송 시스템을 그대로 응용하는 것을 고려할 수 있다.

그러나, 각 기판 처리 장치에 설치된 마스크 수납 용기의 적재대의 높이는 다양하고, 이 적재대에 대해 정확한 위치에 마스크 수납 장치를 설치하기 위해서는 반도체 기판의 자동 반송 시스템에다가, 장착 위치를 대폭으로 조정할 수 있는 수단이 필요해진다.

또한, 기판 처리 장치에 설치된 적재대에는 복수개의 마스크 수납 용기를 적재하는 것이 가능하게 되어 있다. 따라서, 이것을 유효하게 이용하여 원활하고 또한 신속하게 마스크 수납 용기의 반송을 행하기 위해서는 복수개의 마스크 수납 용기를 한번에 반송할 수 있는 것이 바람직하다. 그러나, 기판 처리 장치에 설치된 적재대는, 일반적으로는 복수의 기판 처리 장치 사이를 잇는 방향, 즉 궤도 레일의 부설 방향에 대해 대략 수직인 방향으로 복수개 늘어서 있는 것이 많다.

이에 대해, 각 기판 처리 장치의 적재대에 맞추어 복수의 궤도 레일을 부설하여 반송하거나 혹은 복수의 궤도 레일에 수직인 상태로 복수개의 마스크 수납 용기를 나란히 한번에 반송하거나 하는 경우에는 반송을 위해 많은 공간이 필요해져 기존의 공장과, 설비 상에서는 문제이다. 또한, 궤도 레일의 부설 방향에 따라서 기판 처리 장치의 적재대의 배열 모두를 변경하는 기판 처리 장치에 대한 대규모적인 변경도, 비용면에서도 바람직하지 못하다.

또한, 패턴의 미세화, 집적화하는 오늘날에 있어서는, 사용되는 패턴 전사용 마스크의 종류도 다양하므로, 이것을 필요한 기판 처리 장치에 오류 없이 반송하기 위해서는, 반송 작업은 가능한 한 자동화한 상태에서 행해지는 것이 바람직하다.

따라서, 본 발명은 비용면을 고려하여 종래의 설비를 살리면서, 패턴 전사용 마스크를 자동적으로 반송하는 것을 가능하게 하는 것을 목적으로 한다.

구체적으로는, 본 발명은 기판 처리 장치에 구비된 적재대의 배열 상태에서, 대규모적인 변경을 하는 일 없이 패턴 전사용 마스크가 수납된 마스크 수납 용기를 복수개, 한꺼번에 자동적으로 반송하는 것을 가능하게 하는 마스크의 반송 수단을 제안하는 것이다.

본 발명의 마스크 반송 장치는 패턴 전사용 마스크를 마스크 저장 장치 및/또는 기판 처리 장치로 반송하기 위해 부설된 궤도 레일에 이동 가능하게 접속되어 상기 궤도 레일을 따라 움직일 수 있고, 또한 상기 궤도 레일에 접속되는 부분을 축으로 하여 대략 수평으로 회전할 수 있는 롤러와,

패턴 전사용 마스크를 수납할 수 있는 마스크 수납 용기를 복수 파지하기 위해 롤러에 구비된 파지구를 포함하는 것이다.

또한, 본 발명의 마스크 반송 장치는 상기 롤러가 상기 복수의 파지구의 배열 방향이 상기 궤도 레일의 부설 방향에 따른 제1 상태에서, 상기 레일을 따라가도록 한 것이다.

또한, 본 발명의 마스크 반송 장치는 상기 파지구가 상기 마스크 저장 장치 및/또는 상기 기판 처리 장치와, 상기 롤러 사이에서 상기 마스크 수납 용기를 교환하기 위한 교환 수단을 포함하는 것이다.

또한, 본 발명의 마스크 반송 장치는 상기 롤러를 상기 마스크 저장 장치 및/또는 상기 기판 처리 장치에 대한 소정의 위치에 정지시키고, 소정의 각도로 회전시킬 수 있는 제어 수단을 구비하는 것이다.

다음에, 본 발명의 마스크 반송 시스템은 복수의 패턴 전사용 마스크를 수납할 수 있는 마스크 수납 용기를 마스크 저장 장치 및/또는 복수의 기판 처리 장치 사이에서 반송하기 위한 궤도 레일과,

상기 궤도 레일에 이동 가능하게 접속되어 상기 궤도 레일을 따라 움직일 수 있고, 또한 상기 궤도 레일에 접속되는 부분을 축으로 하여 대략 수평으로 회전할 수 있는 롤러와,

복수의 마스크 수납 용기를 파지하기 위해 상기 롤러에 구비된 복수의 파지구와,

상기 마스크 저장 장치 및/또는 기판 처리 장치에 구비되어 상기 마스크 수납 용기를 적재하기 위한 적재대와,

상기 적재대와 상기 롤러 사이에서 상기 마스크 수납 용기를 상기 파지구에 의해 교환하는 교환 수단을 포함하는 것이다.

또한, 본 발명의 마스크 반송 시스템은 상기 복수의 파지구의 배열 방향이,

상기 궤도 레일을 따른 경우에는 상기 궤도 레일의 부설 방향에 따른 제1 상태가 되고,

상기 적재대에 적재되는 경우에는 상기 적재대에 따른 제2 상태가 되도록 상기 롤러의 회전을 제어하는 제어 수단을 구비한 것이다.

또한, 본 발명의 마스크 반송 시스템은, 상기 제어 수단은 상기 롤러를 상기 적재대에 대한 소정의 위치에 정지시키는 것이다.

또한, 본 발명의 마스크 반송 시스템은, 상기 제어 수단은 상기 롤러가 상기 적재대에 대한 소정의 위치로 온 것을 자동적으로 검출하여 상기 롤러를 정지시키고,

이 검출에 수반하여 상기 롤러를 상기 제2 상태가 되도록 자동적으로 회전시키는 것이다.

다음에, 본 발명의 마스크 반송 방법은 마스크 저장 장치 및/또는 복수의 기판 처리 장치 사이에 부설된 궤도 레일을 거쳐서 1대의 롤러에 의해 패턴 전사용 마스크를 수납하기 위한 마스크 수납 용기를 복수 파지하여 반송하고, 상기 마스크 저장 장치 및/또는 상기 복수의 기판 처리 장치에 대해 상기 마스크 수납 용기를 교환하는 마스크 반송 방법에 있어서,

상기 롤러의 이동시에는 상기 복수의 마스크 수납 용기의 배열이 상기 궤도 레일의 부설 방향에 따른 제1 상태로 하고,

상기 롤러가 상기 마스크 저장 장치 및/또는 상기 복수의 기판 처리 장치에 대한 소정 위치로 왔을 때에 정지시키고,

상기 복수의 마스크 수납 용기의 배열이 상기 마스크 저장 장치 및/또는 상기 복수의 기판 처리 장치에 구비된 적재대의 배치에 따른 제2 상태에서 상기 롤러를 회전시켜,

상기 마스크 수납 용기를 교환하도록 한 것이다.

또한, 본 발명의 마스크 반송 방법은 상기 롤러의 정지 및 회전은 자동적으로 행하는 것을 특징으로 하는 청구항 9에 기재된 마스크 반송 방법.

이하 도면을 참조하여, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명한다. 또한, 각 도면에 있어서 동일 또는 상당하는 부분에는 동일 부호를 붙여 그 설명을 생략 내지 간략화한다.

(실시 형태)

도1은 본 발명의 실시 형태에 있어서의 마스크 반송 시스템에 대해 설명하기 위한 도면으로, 도1의 (a)는 사시도, 도1의 (b)는 상면도이다.

도1에 있어서, 부호 20O은 마스크 반송 시스템, 부호 100은 마스크 반송 장치, 부호 14는 마스크 수납 용기를 나타낸다. 마스크 수납 용기(14)에는 패턴 전사용 마스크인 레티클이 수납되고, 마스크 수납 용기(14)는 마스크 반송 장치(10O)에 의해 반송된다.

이와 같이 레티클을 수납하는 마스크 수납 용기(14)에는 대표적인 것으로서, 레티클 SMIF 포드가 있다. 여기서, SMIF라 함은 Standard Mechanical Interface의 약자로, 상세한 치수 등의 정보는 SEMI 규격 E19에 기재되어 있다.

부호 16은 마스크 저장 장치인 레티클 스토커이다. 부호 17은 기판 처리 장치이며, 여기에서는, 운반되어 온 레티클을 사용하여 기판을 처리하는 축소 투영 노광 장치이다.

또한, 부호 15A는 마스크 저장 장치(16)에 구비된 적재대, 부호 15B는 축소 투영 노광 장치(17)에 구비된 적재대를 나타낸다.

부호 13은 마스크 수납 용기(14)에 수납된 레티클을 레티클 스토커(16)와 축소 투영 노광 장치(17) 사이에서 반송하기 위해 부설된 궤도 레일을 나타낸다.

또한, 부호 51은 반도체 기판의 자동 반송 기기인 OHT이고, 부호 53은 반도체 기판을 반송하기 위해 부설된 궤도 레일을 나타낸다. 또한, 부호 54는 반도체 기판을 수납한 웨이퍼 캐리어, 부호 57은 반도체 기판에 레지스트를 도포하기 위한 도포 장치, 부호 55는 도포 장치(57)에 구비된 적재대를 나타낸다.

도포 장치(57)는 축소 투영 노광 장치(17)와 연결되어 있고, 도포 장치(57)에 있어서 레지스트가 도포된 반도체 기판은 축소 투영 노광 장치(17)로 이송되도록 되어 있다.

도2는 본 발명의 실시 형태에 있어서의 마스크 반송 장치(100)의 이동시의 상태를 설명하기 위한 도면으로, 도2의 (a)는 정면도, 도2의 (b)는 측면도, 도2의 (c)는 상면도이다.

도2에 있어서, 부호 1은 롤러이고, 부호 2는 롤러(1)에 구비된 파지구, 부호 4는 접속부를 나타내며, 이것은 롤러(1)에 포함되는 부분이다. 파지구(2)는 1대의 롤러(1)에 2개 구비되고, 이 2개의 파지구(2)에 의해 2개의 마스크 수납 용기(14)가 파지되어 롤러(1)에 현수 지지된다. 또한, 롤러(1)는 접속부(4)에 의해 궤도 레일(13)에 이동 가능하게 접속되고, 이에 의해 롤러(1)는 궤도 레일(13)을 따라 이동할 수 있다. 또한, 롤러(1)는 접속부(4)를 축으로 하여 대략 수평으로 회전할 수 있도록 되어 있다.

도2에 도시되는 상태는 마스크 반송 장치(100)의 이동 중인 상태이고, 롤러(1)는 2개의 파지구(2) 및 이에 파지되는 마스크 수납 용기(14)의 배열이 궤도 레일(13)의 부설 방향에 따르는 방향으로 되어 있다. 이 롤러(1)의 상태를 본 명세서에 있어서 제1 상태라 한다.

또한, 여기서는 2개의 파지구(2)를 1대에 구비한 롤러(1)를 이용하지만, 이에 한정되는 것이 아니며, 2개의 마스크 수납 용기(14)를 파지할 수 있는 1개의 파지구를 구비한 롤러를 이용해도 좋다.

도3은 본 발명의 실시 형태에 있어서의 마스크 반송 장치(100)에 있어서, 마스크 수납 용기(14)를 교환할 때의 상태를 도시한 도면으로, 도3의 (a)는 정면도, 도3의 (b)는 측면도이다.

도3에 있어서, 부호 3은 롤러(1)와 적재대(15A 또는 15B) 사이에서 마스크 수납 용기(14)를 교환할 때에 이용되는 교환 수단으로서의 승강 로프를 나타낸다. 승강 로프(3)는 파지구(2)에 포함되고, 마스크 반송 장치(100)의 이동시의 제1 상태에서는 도2에 도시한 바와 같이, 파지구(2) 내부에 수납된 상태로 되어 있어 마스크 수납 용기(14)를 적재대(15)로 이재하는 경우에만 도3에 도시한 바와 같이 연신된 상태로 사용된다.

여기서, 마스크 반송 장치(100)의 정지 및 승강 로프(3)의 강하의 개시 및 정지는 마스크 반송 장치(100)에 구비된 제어 수단(도시하지 않음)에 의해 제어된다.

제어 수단은 레티클 스토커(16) 혹은 축소 투영 노광 장치(17)에 대응하여 궤도 레일에 구비된 바코드를 판독함으로써 정지하는 레티클 스토커(16) 혹은 축소 투영 노광 장치(17)의 위치와 적재대(15A 또는 15B)의 높이 등의 필요한 정보를 입수할 수 있다. 이 정보에 의해, 제어 수단은 마스크 반송 장치(100)를 레티클 스토커(16) 혹은 소정의 축소 투영 노광 장치(17)의 적절한 위치에 정지시키고, 또한 승강 로프(3)를 하강시켜 적재대(15A 또는 15B)의 높이에 맞추어 이 승강 로프(3)를 멈춘다.

이에 의해, 레티클 스토커(16) 혹은 각 축소 투영 노광 장치(17)에 구비된 높이가 다양하게 다른 적재대(15A 및 15B)에 대해서도 마스크 수납 용기의 자동 반송을 행할 수 있다.

도4는 롤러(1)가 적재대(15B)의 배열 방향에 맞추어 회전한 상태를 도시한 도면으로, 도4의 (a)는 회전전의 상태를 도시한 정면도, 도4의 (b)는 회전후의 상태를 도시한 측면도, 도4의 (c)는 회전후의 상태를 도시한 상면도이다.

도4의 (a)에 도시한 바와 같이, 회전 전은, 마스크 반송 장치(100)는 제1 상태에 있다. 본 실시 형태에서는, 적재대(15B)의 배열 방향은 궤도 레일(13)에 대해 수직으로 되어 있다. 따라서, 적재대(15B)의 부근으로 이동한 롤러(1)는 90도 회전하여 도4의 (b) 혹은 도4의 (c)에 도시한 바와 같은 상태가 된다.

이 상태에 있어서, 2개의 파지구(2) 및 마스크 수납 용기(14)의 배열은 적재대(15)의 배열 방향에 따른 상태이다. 또한, 이 명세서에 있어서 이 상태를 제2 상태라 한다.

여기서, 회전의 개시 및 정지, 또한 회전하는 각도의 제어는 상술한 제어 수단에 의해 행해진다.

상술한 바와 같이 제어 수단은 궤도 레일(13)에 구비된 바코드로부터 적재대(15A 또는 15B) 배열 방향 등의 정보를 입수한다. 이 정보는 제어 수단에 전달되고, 제어 수단은 승강 로프(3)의 강하의 정지에 이어서 롤러(1)의 회전을 개시하여 전달된 정보로부터 마스크 반송 장치(100)가 제2 상태가 되기 위해 필요한 각도, 롤러(1)를 회전시켜 그 후 회전을 정지한다.

또한, 본 실시 형태에 있어서 접속부(4)를 포함하는 롤러(1), 파지구(2), 승강 로프(3) 및 제어 수단을 포함하여 마스크 반송 장치(100)가 구성된다.

또한, 마스크 반송 장치(100), 궤도 레일(13) 및 적재대(15A, 15B)를 포함하여 마스크 반송 시스템(200)이 구성된다.

다음에, 본 실시 형태에 있어서의 레티클의 반송 방법을 나타낸다.

롤러(1)는 접속부(4)를 거쳐서 궤도 레일(3)에 이동 가능하게 접속된다.

레티클은 마스크 수납 용기(14) 속에 수납되고, 레티클이 수납된 마스크 수납 용기(14)가 레티클 스토커(16) 내부에 수납되어 있다. 이 레티클 스토커(16)로부터 소정의 레티클이 수납된 마스크 수납 용기(4)가 2개 선택되어 레티클 스토커(16)의 적재대(15A)에 적재된다.

혹은 레티클이 레티클 스토커(16)에 직접 수납되어 있는 경우가 있다. 이 경우, 필요한 레티클이 레티클 스토커(16)로부터 취출되어 로드 포트 시스템 등을 이용하여 적재대(15A)에 적재된 마스크 수납 용기(14)에 수납된다.

궤도 레일(13)에 구비된 바코드(도시하지 않음)로부터 제어 수단에 의해 레티클 스토커(16)의 위치 및 적재대(15A)의 높이, 배열 방향 등의 정보가 판독된다.

제어 수단은 이 판독한 정보에 의해 마스크 반송 장치(100)를 레티클 스토커(16)의 상부의 적절한 위치에 정지하고, 파지구(2)에 구비된 승강 로프(3)를 하강시키고 이 승강 로프(3)를 적절한 위치에서 정지시킨다.

또한, 여기서는 도1의 (b)에 도시한 바와 같이 적재대(15A)의 배치와, 롤러(1)에 구비된 파지구(2)의 배치는 동일한 방향이다. 따라서, 롤러(1)의 회전은 행해지지 않는다. 그러나, 바코드로부터 판독한 배열 방향의 정보로부터 판단하여 파지구(2)의 배열 방향이 적재대(15A)의 배열 방향에 따른 제2 상태가 되므로, 회전이 필요한 경우에는 제어 수단은 롤러(1)를 적절한 각도로 회전한다.

파지구(2)로부터 승강 로프(3)가 적절한 위치로 하강하게 되면, 2개의 마스크 수납 용기(14)는 각각 파지구(2)에 의해 파지되고, 그 후 승강 로프(3)는 인상된다. 승강 로프(3)는 파지구(2)의 내부에 수납된 상태가 되어 궤도 레일(13)의 부설 방향과 동일한 방향으로 2개의 파지구(2) 및 마스크 수납 용기(14)의 배열은 고정된다. 이와 같이 하여, 마스크 반송 장치(100)는 도2에 도시한 이동시의 상태, 즉 제1 상태가 된다.

다음에, 마스크 반송 장치(100)는 제1 상태를 유지하여 궤도 레일(13)을 따라 이동한다. 마스크 반송 장치(100)에 구비된 제어 수단은 소정의 축소 투영 노광 장치(17)에 대응하여 궤도 레일에 구비된 바코드로부터, 그 축소 투영 노광 장치(17)의 위치 및 적재대(15B)의 높이, 배열 방향 등의 정보를 판독한다.

여기서, 판독된 적재대(15B)의 위치 및 높이에 대한 정보에 의해 제어 수단은 마스크 반송 장치(100)를 적절한 위치에서 정지시킨 후, 승강 로프(3)의 강하를 개시하여 적재대(15B) 부근까지 하강시켜 적절한 높이에서 정지한다.

이 정지에 이어서, 제어 수단은 롤러(1)의 회전을 개시한다. 제어 수단은 배열 방향의 정보로부터 마스크 수납 용기(14)의 배열이 적재대(15B)의 배열에 따른 제2 상태가 되도록 롤러(1)를 회전시킨 후, 회전을 정지한다. 여기서는 궤도 레일(13)의 부설 방향에 대해 적재대(15)는 수직으로 되어 있으므로 롤러(1)는 90도 회전한다.

이 제2 상태에 있어서, 제어 수단은 다시 승강용 로프(3)를 하강시키고, 적재대(15B)의 높이에 맞추어 마스크 수납 용기(14)의 높이를 정확하게 조정한다. 그 후, 마스크 수납 용기(14)는 파지구(2)로부터 놓게 되고, 적재대(15B)의 적절한 위치에 적재된다.

적재대(15)에 적재된 마스크 수납 용기(14)는 필요에 따라서 축소 투영 노광 장치(17) 내부에 수납된다.

한편, 웨이퍼 캐리어(54)에 수납된 반도체 기판은 OHT(51)에 의해 궤도 레일(53)을 따라 도포 장치(57)에 구비된 적재대(55)에 적재된다. 이 적재대(55)로부터 로드 포트 장치(도시하지 않음)에 의해 도포 장치(57) 내부에 반도체 기판이 수납된다. 반도체 기판은 도포 장치(57)에 의해 레지스트가 도포되고, 이 반도체 기판은 도포 장치(57)로부터 축소 투영 노광 장치(17) 내부에 수납된다.

축소 투영 노광 장치(17)에 있어서, 자동 운반된 레티클을 이용하여 레지스트가 도포된 반도체 기판에 노광 처리를 행한다.

또한, 여기서는, 레티클 스토커(16)로부터 마스크 수납 용기(14)가 소정의 기판 처리 장치(17)로 반송되는 경우를 예로 들어 설명하였지만, 이에 한정되지 않고, 투영 노광 장치에 있어서, 사용되어 불필요해진 레티클을 수납한 마스크 수납 용기(14)를 투영 노광 장치(17)로부터 수취하여 레티클 스토커(16)로 반송하여 복귀시키는 경우도 사용할 수 있다.

또한, 2개의 파지구(2)를 구비하는 롤러(1)를 이용하여 마스크 수납 용기의 교환과, 수취의 교환 작업을 동시에 행해도 좋다. 즉, 한 쪽의 파지구(2)가 마스크 수납 용기(14)를 파지하여 반송하고, 이것을 축소 투영 노광 장치(17)에 적재한다. 이와 동시에, 다른 쪽 파지구(2)가 축소 투영 노광 장치(17)에 있어서, 불필요해진 레티클을 수납한 마스크 수납 용기(14)를 수취하고, 이것을 레티클 스토커(10)로 복귀시킴으로써 교환 작업을 동시에 행해도 좋다.

또한, 여기서는 레티클을 축소 투영 노광 장치(17) 혹은 레티클 스토커(16)로 반송하는 경우에 대해 설명하였지만, 축소 투영 노광 장치(17)에 대한 레티클의 반송에 한정되는 것이 아니고, 다른 장치에 그 장치에 있어서 사용하는 패턴 전사용 마스크를 반송하는 경우라도 좋다. 또한, 적재대의 배열 방향과 궤도 레일의 부설 방향이 일치하지 않는 장치에 기판을 반송하는 경우 등에도 이용할 수 있다.

또한, 여기서는 롤러에 2개의 파지구(2)를 구비한 경우를 설명하였지만, 적재대(15)에 적재할 수 있는 마스크 수납 용기의 갯수에 맞추어 1 또는 2 이상의 파지구를 구비하고 있는 것이라도 좋다. 3개 이상의 마스크 수납 용기(14)를 파지하여 반송하는 경우라도 상술한 제1 상태에서 반송한 후, 적재대의 상부에서 그 적재대의 배열에 맞추어 롤러를 회전하면, 반송을 위해 필요한 공간은 마스크 수납 용 기를 2개 파지했을 때와 크게 변하지 않으므로 문제가 없다.

또한, 여기서는 궤도 레일과 적재대(15B)의 배열이 90도인 경우, 즉 롤러(1)를 90도 회전시키는 경우에 대해 설명했지만, 이에 한정되는 것은 아니며, 롤러(1)는 적재대의 배열을 맞추어 0 내지 360도의 각도를 회전할 수 있다.

또한, 여기서는 마스크 반송 장치(100)가 제어 수단을 구비하는 경우에 대해 설명했지만, 제어 수단을 갖는 경우에 한정되는 것은 아니다.

또한, 제어 수단은 궤도 레일(13)에 구비된 바코드를 판독함으로써 적재대의 위치, 높이, 배열 등의 정보를 입수하여 롤러(1)를 자동적으로 정지하고, 또한 회전시켰다. 그러나, 이와 같은 제어 수단에 한정되는 것은 아니며, 미리 마스크 반송 장치(100)에 정지 위치, 정지 고도, 회전 각도 등을 기억시켜 두는 것이나, 또한 원격 조작에 의해 외부로부터 제어하는 것이라도 좋다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 각 기판 처리 장치에 의해 다른 높이 및 다른 배열로 되어 있는 적재대에 대응시켜 패턴 전사용 마스크를 자동 반송할 수 있다.

따라서, 패턴 전사용 마스크를 사람의 손에 의해 운반할 필요가 없어 이물질의 발생을 억제할 수 있다. 또한, 종래의 기판 처리 장치측의 대폭적인 변경을 필요로 하지 않으므로 비용을 억제하는 것이 가능하다.

또한, 본 발명에 따르면 롤러에 파지되는 마스크 수납 용기는, 반송시에는 궤도 레일의 부설 방향에 따른 상태를 유지하여 반송된다. 따라서, 마스크 수납 용기를 1개 반송하는 경우와 동일한 공간에서 복수의 마스크 수납 용기를 동시에 반송할 수 있어 단시간의 처리가 가능하다. 또한, 이와 같이 복수의 마스크 수납 용기를 적재대에 적재하는 경우에도 적재대의 배열에 맞추어 롤러를 회전하는 것만으로도 좋으므로 반송을 위한 시간을 단시간으로 억제할 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면 적재대의 위치, 높이, 배열은 자동적으로 판독되고, 롤러는 자동적으로 필요한 장소에 정지하고, 자동적으로 회전하여 마스크 수납 용기는 교환된다. 따라서, 사람의 손에 의한 작업의 경우에 비해 패턴 전사용 마스크를 실수로 반송하는 것을 방지하여 보다 정확하고 또한 효율적인 반송을 행하는 것이 가능하다.

Claims

패턴 전사용 마스크를 마스크 저장 장치 및/또는 기판 처리 장치로 반송하기 위해 부설된 궤도 레일에 이동 가능하게 접속되어 상기 궤도 레일을 따라 움직일 수 있고, 또한 상기 궤도 레일에 접속되는 부분을 축으로 하여 대략 수평으로 회전할 수 있는 롤러와,

패턴 전사용 마스크를 수납할 수 있는 마스크 수납 용기를 복수 파지하기 위해 상기 롤러에 구비된 파지구를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 반송 장치.
제1항에 있어서, 상기 롤러는 상기 복수의 파지구의 배열 방향이 상기 궤도 레일의 부설 방향에 따른 제1 상태에서, 상기 레일을 따라가도록 한 것을 특징으로 하는 마스크 반송 장치.
제1항에 있어서, 상기 파지구는 상기 마스크 저장 장치 및/또는 상기 기판 처리 장치와, 상기 롤러 사이에서 상기 마스크 수납 용기를 교환하기 위한 교환 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 반송 장치.
제1항에 있어서, 상기 롤러를 상기 마스크 저장 장치 및/또는 상기 기판 처리 장치에 대한 소정의 위치에 정지시키고, 소정의 각도로 회전시킬 수 있는 제어 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 반송 장치.
복수의 패턴 전사용 마스크를 수납할 수 있는 마스크 수납 용기를 마스크 저장 장치 및/또는 복수의 기판 처리 장치 사이에서 반송하기 위한 궤도 레일과,

상기 궤도 레일에 이동 가능하게 접속되어 상기 궤도 레일을 따라 움직일 수 있고, 또한 상기 궤도 레일에 접속되는 부분을 축으로 하여 대략 수평으로 회전할 수 있는 롤러와,

복수의 마스크 수납 용기를 파지하기 위해 상기 롤러에 구비된 복수의 파지구와,

상기 마스크 저장 장치 및/또는 기판 처리 장치에 구비되어 상기 마스크 수납 용기를 적재하기 위한 적재대와,

상기 적재대와 상기 롤러 사이에서 상기 마스크 수납 용기를 상기 파지구에 의해 교환하는 교환 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 반송 시스템.
제5항에 있어서, 상기 복수의 파지구의 배열 방향이

상기 궤도 레일을 따른 경우에는 상기 궤도 레일의 부설 방향에 따른 제1 상태가 되고,

상기 적재대에 적재되는 경우에는 상기 적재대에 따른 제2 상태가 되도록 상기 롤러의 회전을 제어하는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 마스크 반송 시스템.
제5항에 있어서, 상기 제어 수단은 상기 롤러를 상기 적재대에 대한 소정의 위치에 정지시키는 것을 특징으로 하는 마스크 반송 시스템.
제7항에 있어서, 상기 제어 수단은 상기 롤러가 상기 적재대에 대한 소정의 위치로 온 것을 자동적으로 검출하여 상기 롤러를 정지시키고,

이 검출에 수반하여 상기 롤러를 상기 제2 상태가 되도록 자동적으로 회전시키는 것을 특징으로 하는 마스크 반송 시스템.
마스크 저장 장치 및/또는 복수의 기판 처리 장치 사이에 부설된 궤도 레일을 거쳐서 롤러에 의해 패턴 전사용 마스크를 수납하기 위한 마스크 수납 용기를 복수 파지하여 반송하고, 상기 마스크 저장 장치 및/또는 상기 복수의 기판 처리 장치에 대해 상기 마스크 수납 용기를 교환하는 마스크 반송 방법에 있어서,

상기 롤러의 이동시에는 상기 복수의 마스크 수납 용기의 배열이 상기 궤도 레일의 부설 방향에 따른 제1 상태로 하고,

상기 롤러가 상기 마스크 저장 장치 및/또는 상기 복수의 기판 처리 장치에 대한 소정 위치에 왔을 때 정지시키고,

상기 복수의 마스크 수납 용기의 배열이 상기 마스크 저장 장치 및/또는 상기 복수의 기판 처리 장치에 구비된 적재대의 배치에 따른 제2 상태에서 상기 롤러를 회전시켜,

상기 마스크 수납 용기를 교환하도록 한 것을 특징으로 하는 마스크 반송 방 법.
제9항에 있어서, 상기 롤러의 정지 및 회전은 자동적으로 행하는 것을 특징으로 하는 마스크 반송 방법.