JP2501262Y2 - オ―バ―ヘッド型物品搬送装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この考案は、搬送物品を塵埃から
保護するようにしたオーバーヘッド型物品搬送装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種のオーバーヘッド型物品搬
送装置として以下の如きものは知られている。即ち、上
方に設けられたガイドレールと、このガイドレールに沿
って走行する走行車と、この走行車に昇降自在に設けら
れた昇降枠と、この昇降枠の下方の物品吊持空間におい
て物品を保持・吊持する物品保持装置とを有しているも
のは知られている。

【０００３】

【考案の目的】この考案は、前記装置において、塵埃を
嫌う物品、例えばウエハ等を搬送する際において、走行
車がクリーン度の低い塵埃の多い部分を通過しなければ
ならないことがあるが、そのような場合に、搬送物品を
塵埃から保護することが出来るようにすることを目的と
するものである。

【０００４】

【前記目的を達成するための手段】この考案は前記目的
を達成するために以下の如き手段を採用した。請求項１
の考案は、上下に開口する空気路を有する内部が空洞の
昇降枠内にハンド片のガイド機構及び駆動装置が収めら
れ、前記昇降枠の上部に下方に空気を噴出する空気噴出
機が設けられ、前記昇降枠の内部と空気噴出機の吸引口
とがダクトで接続されており、前記空気路内又は上方に
フィルターが設けられているものである。請求項３の考
案は、上方軌道に沿って走行自在な走行車に、上下に開
口する空気路を有する昇降枠が昇降自在に設けられ、こ
の昇降枠に、その下方の物品吊持空間において物品を保
持・吊持する物品保持装置が設けられ、前記昇降枠に、
側方に開口した物品出し入れ口を有する下面開放の囲い
壁体が物品吊持空間を囲うようにして設けられ、前記物
品出し入れ口の両側縁部に設けられたガイド部材に沿っ
て閉塞板が昇降自在となされ、前記昇降枠の上部に下方
に空気を噴出する空気噴出機が設けられ、前記閉塞板の
ガイド部材と空気噴出機の吸引口とが接続されており、
前記空気路の上方にフィルターが設けられているもので
ある。

【０００５】

【考案の作用】この考案は以下の如き作用をなすもので
ある。一対のハンド片等の物品保持装置によって保持さ
れた物品に向かって、クリーンな空気を吹き付けて物品
をクリーンに保持することが出来るので、走行車がクリ
ーン度の低い塵埃の多い部分を通過しなければならない
場合でも、搬送物品を塵埃から保護することが出来る。
請求項１の考案においては、ハンド片のガイド機構及び
駆動装置が収められた昇降枠の内部の空気を空気噴出機
によって吸引するので、ガイド機構及び駆動装置から発
生する塵埃が物品に落下することもない。請求項３の考
案においては、閉塞板とガイド部材との間の空気を空気
噴出機によって吸引して、閉塞板がガイド部材に摺接す
ることによって発生する塵埃を吸引するので、その塵埃
が物品吊持空間に飛散することもない。

【０００６】

【実施例】以下にこの考案を図面に示す２つの実施例に
基づいて説明する。なお、２つの実施例において同一の
部材は同一の符号で示す。

【０００７】実施例１（図１〜図４参照） なお、実施例１において、前とは図１右側を、後とは同
図左側をいい、左とは図１紙面裏側を、右とは同表側を
いう。天井１に吊持具２を介してガイドレール３が設け
られ、このガイドレール３に沿って走行車４が走行自在
に吊持され、この走行車４に、内部が空洞の昇降枠５が
昇降機６によって昇降自在に設けられ、この昇降機６
は、吊持ベルト７、その巻き取りドラム８等を有してい
る。

【０００８】前記昇降枠５には、上下に開口する空気路
１１が形成されている。なお、空気路１１の側周壁とな
る昇降枠５の部分には所要個の空気吸引孔１０が形成さ
れている。

【０００９】前記昇降枠５には一対のハンド片１２が相
互に近接離隔自在に設けられている。前記ハンド片１２
を水平動自在に案内するガイドロッド１４を有するガイ
ド機構１５及び正逆回転自在なモーター１６・ボールね
じ１７等を有する駆動装置１８が空洞の昇降枠５内に収
められている。前記ハンド片１２は、ガイドロッド１４
に摺動自在に嵌められた摺動部材２０と、これら摺動部
材２０に垂下状に設けられ、且つ、昇降枠５に形成され
たスリット２７を通じて下方に突出した垂下脚２１と、
これら垂下脚２１の下端に設けられた水平支承片２２と
を有している。水平支承片２２は、図示するごとく、物
品２４のフランジ２５を下から支承するものである。

【００１０】前記昇降枠５に、下面開放の囲い壁体２８
が、前記ハンド片１２を囲うようにして設けられてい
る。なお、囲い壁体２８は透明であっても、そうでなく
ても良い。また、囲い壁体２８に側方に向かって開口し
た物品出し入れ口を形成して、この物品出し入れ口を閉
塞板によって開閉自在としても良い。

【００１１】前記昇降枠５の上部に、下方に向けて空気
を噴出する空気噴出機３１が設けられている。空気噴出
機３１から噴出される空気は、ＨＥＰＡフィルター等の
フィルター３４及びパンチングメタル等の多孔板からな
る整流板３５を経て、昇降枠５に形成された前記空気路
１１より下方に向かって噴出する。このような構成によ
って、下面開放の囲い壁体２８によって囲まれた空間
に、上から下に向かうクリーン空気の流れを作り、物品
２４をクリーンに保持することが出来る。

【００１２】前記昇降枠５の内部と空気噴出機３１の吸
引口３２とがダクト３３で接続されている。このような
構成によって、ハンド片１２のガイド機構１５及び駆動
装置１８が収められた昇降枠５の内部の空気を空気噴出
機３１によって吸引するので、ガイド機構１５及び駆動
装置１８から発生する塵埃がスリット２７を通じて物品
２４に落下することがない。

【００１３】図４には実施例１の変形例が示されてい
る。この変形例においては、一対のハンド片１２に対し
て１つの駆動装置１８が設けられたものとなっている。
そのために、空気路１１は２つに区分されている。

【００１４】実施例２（図５〜図８参照） なお、実施例２において、前とは図５右側を、後とは同
図左側をいい、左とは図１紙面裏側を、右とは同表側を
いう。中央部に空気路１１を有する昇降枠４０に、その
下方に物品吊持空間４１を形成するようにして、物品吊
持かご４２が設けられている。この物品吊持かご４２
は、左右方向に所定間隔で配された側面から見て略Ｕ字
状の複数のかご構成体４３によって構成されている。

【００１５】前記ガイドレール３の真下に位置するよう
にして物品搬入ステーション４５が設けられている。こ
の物品搬入ステーション４５には、搬送方向を左右方向
に向けた駆動ローラーコンベア４６の先端部が位置する
ようになされている。そして、物品搬入ステーション４
５上方に走行車４が停止した際、駆動ローラーコンベア
４６のローラー４７間の上方にかご構成体４３が位置す
るようになされ、また、昇降枠４０が下降するとかご構
成体４３の、水平部４３ａを含む下部がローラー４７間
に沈み込み得るようになされている。

【００１６】前記昇降枠４０に、下面開放の囲い壁体４
９が、前記物品吊持空間４１を囲うようにして設けられ
ている。なお、囲い壁体４９は透明であっても、そうで
なくても良い。また、昇降枠４０の下降に伴ってかご構
成体４３の水平部４３ａがローラー４７間に沈み込み得
るように、囲い壁体４９の下端縁は、かご構成体４３の
水平部４３ａの上縁より上になるようになされている。
前記囲い壁体４９には左右方に向かって開口した物品出
し入れ口５０が形成され、この物品出し入れ口５０の前
後側縁部に設けられた、上下方向に長いダクト状のガイ
ド部材５１に沿って閉塞板５２が昇降自在に設けられて
いる。この閉塞板５２は流体圧シリンダ５３等によって
昇降させられるようになされている。

【００１７】前記昇降枠４０の上部に、物品吊持空間４
１に上から空気を噴出する空気噴出機３１が設けられて
いる。前記ガイド部材５１の上部開口と空気噴出機３１
の吸引口３２とがダクト５４で接続されている。空気噴
出機３１から噴出される空気は、ＨＥＰＡフィルター等
のフィルター３４及びパンチングメタル等の多孔板から
なる整流板３５を経て、昇降枠４０に形成された空気路
１１より物品吊持空間４１に向かって上から下に向けて
噴出する。また、ダクト状のガイド部材５１内の空気は
空気噴出機３１によって吸引される。従って、閉塞板５
２がガイド部材５１に摺接することによって発生する塵
埃が物品吊持空間４１に飛散することがない。

【００１８】次に実施例２の作用を説明する。物品吊持
かご４２が空である走行車４が、ローラー４７間の上方
にかご構成体４３を位置させるようにして、物品搬入ス
テーション４５で停止すると、今まで上昇していた昇降
枠４０が下降して、かご構成体４３の水平部４３ａをロ
ーラー４７間に沈み込ませて、停止する。然る後、今ま
で下降していた右側の閉塞板５２が上昇して物品出し入
れ口５０が開かれる。その後、駆動ローラーコンベア４
６の駆動によって多数のウエハが収納されたキャリア５
６が２個、駆動ローラーコンベア４６の先端部（かご構
成体４３の水平部４３ａの上方）まで、搬送される。そ
の後、駆動ローラーコンベア４６は停止する。然る後、
閉塞板５２が下降すると、昇降枠４０は最上位置まで上
昇して停止する。その後、走行車４は走行を開始して物
品搬出ステーション（図示略）に至ると停止し、前記と
逆の作動によって、キャリア５６を物品搬出ステーショ
ンの駆動ローラーコンベア上に降ろすことが出来る。そ
して、空気噴出機３１は常時作動状態にあって、物品吊
持空間４１内をクリーンに保持している。また、ダクト
状のガイド部材５１内の空気は空気噴出機３１によって
吸引される。従って、閉塞板５２がガイド部材５１に摺
接することによって発生する塵埃が物品吊持空間４１に
飛散することがない。

【００１９】

【考案の効果】この考案は、前記した如き構成によっ
て、以下の如き効果を奏するものである。 一対のハンド片等の物品保持装置によって保持された
物品に向かって、クリーンな空気を吹き付けて物品をク
リーンに保持することが出来るので、走行車がクリーン
度の低い塵埃の多い部分を通過しなければならない場合
でも、搬送物品を塵埃から保護することが出来る。 請求項１の考案においては、ハンド片のガイド機構及
び駆動装置が収められた昇降枠の内部の空気を空気噴出
機によって吸引するので、ガイド機構及び駆動装置から
発生する塵埃が物品に落下することもない。 請求項３の考案においては、閉塞板とガイド部材との
間の空気を空気噴出機によって吸引して、閉塞板がガイ
ド部材に摺接することによって発生する塵埃を吸引する
ので、その塵埃が物品吊持空間に飛散することもない。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の実施例１を示す一部破砕側面図であ
る。

【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線拡大断面図である。

【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線拡大断面図である。

【図４】実施例１の変形例を示す水平断面図である。

【図５】この考案の実施例２を示す一部破砕側面図であ
る。

【図６】図５のＶＩ−ＶＩ線断面図である。

【図７】図５のＶＩＩ−ＶＩＩ線断面図である。

【図８】図５のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線断面図である。

【符号の説明】

５ 昇降枠 １１ 空気路 １２ ハンド片 １５ ガイド機構 １８ 駆動装置 ３１ 空気噴出機 ３２ 吸引口 ３３ ダクト ３４ フィルター ４０ 昇降枠 ４１ 物品吊持空間 ４９ 囲い壁体 ５０ 物品出し入れ口 ５１ ガイド部材 ５２ 閉塞板

Claims (3)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 上下に開口する空気路を有する内部が空
   洞の昇降枠内にハンド片のガイド機構及び駆動装置が収
   められ、前記昇降枠の上部に下方に空気を噴出する空気
   噴出機が設けられ、前記昇降枠の内部と空気噴出機の吸
   引口とがダクトで接続されており、前記空気路内又は上
   方にフィルターが設けられているオーバーヘッド型物品
   搬送装置。
2. 【請求項２】 上方軌道に沿って走行自在な走行車に、
   上下に開口する空気路を有する内部が空洞の昇降枠が昇
   降自在に設けられ、この昇降枠内に相互に近接離隔自在
   な一対のハンド片のガイド機構及び駆動装置が収めら
   れ、前記昇降枠の上部に下方に空気を噴出する空気噴出
   機が設けられ、前記昇降枠の内部と空気噴出機の吸引口
   とがダクトで接続されており、前記空気路内又は上方に
   フィルターが設けられているオーバーヘッド型物品搬送
   装置。
3. 【請求項３】 上方軌道に沿って走行自在な走行車に、
   上下に開口する空気路を有する昇降枠が昇降自在に設け
   られ、この昇降枠に、その下方の物品吊持空間において
   物品を保持・吊持する物品保持装置が設けられ、前記昇
   降枠に、側方に開口した物品出し入れ口を有する下面開
   放の囲い壁体が物品吊持空間を囲うようにして設けら
   れ、前記物品出し入れ口の両側縁部に設けられたガイド
   部材に沿って閉塞板が昇降自在となされ、前記昇降枠の
   上部に下方に空気を噴出する空気噴出機が設けられ、前
   記閉塞板のガイド部材と空気噴出機の吸引口とが接続さ
   れており、前記空気路の上方にフィルターが設けられて
   いるオーバーヘッド型物品搬送装置。