JP2979846B2 - 無人搬送車 - Google Patents
無人搬送車Info
- Publication number
- JP2979846B2 JP2979846B2 JP16845692A JP16845692A JP2979846B2 JP 2979846 B2 JP2979846 B2 JP 2979846B2 JP 16845692 A JP16845692 A JP 16845692A JP 16845692 A JP16845692 A JP 16845692A JP 2979846 B2 JP2979846 B2 JP 2979846B2
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- Japan
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- Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、塵埃を嫌う物品、例
えば、半導体ウエハ等を搬送するのに好適な無人搬送車
に関する。
えば、半導体ウエハ等を搬送するのに好適な無人搬送車
に関する。
【０００２】
【発明の目的】この発明は、クリーンルームから別のク
リーンルームへと塵埃を嫌う物品を搬送する必要がある
ときにおいて、一旦クリーン度の低い場所を通らざるを
得ない場合があるが、そのような場合においてその塵埃
を嫌う物品を塵埃から保護して搬送することが出来る無
人搬送車を提供することを目的とするものである。
リーンルームへと塵埃を嫌う物品を搬送する必要がある
ときにおいて、一旦クリーン度の低い場所を通らざるを
得ない場合があるが、そのような場合においてその塵埃
を嫌う物品を塵埃から保護して搬送することが出来る無
人搬送車を提供することを目的とするものである。
【０００３】
【前記目的を達成するための手段】この発明は前記目的
を達成するために以下の如き手段を採用した。この発明
は、無人搬送車に、荷台の上方に物品収納空間を形成す
るようにして、側部に物品搬出入口を有し且つ上部にフ
ィルターが取り付けられた空気吸引口 を有する被いが設
けられ、この被いに空気吸引口からエアーを吸引してフ
ィルターによってクリーンとなされたエアーを物品収納
空間に送り出す送風機が設けられ、前記物品搬出入口が
閉塞板によって開閉自在となされている無人搬送車にお
いて、前記被いの下部と送風機の吸引側とがダクトによ
って接続されていて、空気吸引口から物品収納空間に送
り込まれたクリーンエアーを物品収納空間の下部におい
て吸引するようになされ、また、被いの下部に空気噴出
口が設けられ、この空気噴出口から物品収納空間のクリ
ーンエアーの一部を外部に排出するようになされたもの
である。
を達成するために以下の如き手段を採用した。この発明
は、無人搬送車に、荷台の上方に物品収納空間を形成す
るようにして、側部に物品搬出入口を有し且つ上部にフ
ィルターが取り付けられた空気吸引口 を有する被いが設
けられ、この被いに空気吸引口からエアーを吸引してフ
ィルターによってクリーンとなされたエアーを物品収納
空間に送り出す送風機が設けられ、前記物品搬出入口が
閉塞板によって開閉自在となされている無人搬送車にお
いて、前記被いの下部と送風機の吸引側とがダクトによ
って接続されていて、空気吸引口から物品収納空間に送
り込まれたクリーンエアーを物品収納空間の下部におい
て吸引するようになされ、また、被いの下部に空気噴出
口が設けられ、この空気噴出口から物品収納空間のクリ
ーンエアーの一部を外部に排出するようになされたもの
である。
【０００４】
【発明の作用】この発明は以下の如き作用をなすもので
ある。被いによって囲まれた物品収納空間をクリーンエ
アーによってクリーンに保持することが出来る。
ある。被いによって囲まれた物品収納空間をクリーンエ
アーによってクリーンに保持することが出来る。
【０００５】
【実施例】以下にこの発明を図面に示す実施例に基づい
て説明する。なお、この明細書において、前とは図１右
側を、後とは同図左側をいい、左とは図１紙面裏側を、
右とは同表側をいう。
て説明する。なお、この明細書において、前とは図１右
側を、後とは同図左側をいい、左とは図１紙面裏側を、
右とは同表側をいう。
【０００６】無人搬送車１の車体本体２の上壁に、荷台
３である駆動コンベア４が、車体本体２との間に所定の
間隔８をあけるようにして、設けられている。前記駆動
コンベア４は、前後の基枠５と、これら基枠５に回転自
在に渡された、軸心を前後方向に向けた多数のローラー
６とを有しており、前記ローラー６は正逆駆動自在なモ
ーター（図示略）によって回転させられるようになされ
ている。このような構成によって、駆動コンベア４によ
って、左右側方から物品の搬出入を行なうことが出来
る。
３である駆動コンベア４が、車体本体２との間に所定の
間隔８をあけるようにして、設けられている。前記駆動
コンベア４は、前後の基枠５と、これら基枠５に回転自
在に渡された、軸心を前後方向に向けた多数のローラー
６とを有しており、前記ローラー６は正逆駆動自在なモ
ーター（図示略）によって回転させられるようになされ
ている。このような構成によって、駆動コンベア４によ
って、左右側方から物品の搬出入を行なうことが出来
る。
【０００７】前記駆動コンベア４の上方に物品収納空間
９を形成するようにして被い１１が車体本体２に設けら
れている。この被い１１は、上面に空気吸引口１２を有
すると共に、下部左右側壁に駆動コンベア４の下方部と
外部とを連通させる空気噴出口１３を有している。前記
空気噴出口１３にはフィルター１４が取り付けられてい
る。このような構成によって一部のエアーは空気噴出口
１３から外部に排出される。
９を形成するようにして被い１１が車体本体２に設けら
れている。この被い１１は、上面に空気吸引口１２を有
すると共に、下部左右側壁に駆動コンベア４の下方部と
外部とを連通させる空気噴出口１３を有している。前記
空気噴出口１３にはフィルター１４が取り付けられてい
る。このような構成によって一部のエアーは空気噴出口
１３から外部に排出される。
【０００８】前記被い１１の上部に、空気吸引口を空気
吸引口１２に接続し、空気噴出口を物品収納空間９に臨
ませてなるクリーンエアー噴出装置１６が取り付けられ
ている。このクリーンエアー噴出装置１６は、エアーを
下（物品収納空間９）に向けて噴出する送風機１７と、
物品収納空間９に送り出されるエアーをクリーンにする
フィルター１８と、クリーンエアーの整流を行なう多孔
板・シルクスクリーン等からなる整流板１９とを有して
いる。また、駆動コンベア４の基枠５に形成された開口
２１と、クリーンエアー噴出装置１６の吸引側に位置す
る開口２２とがダクト２３によって接続されている。そ
して、ダクト２３内にはフィルター２４が収納されてい
る。このような構成によって一部のエアーはダクト２３
を通って循環するようになされている。
吸引口１２に接続し、空気噴出口を物品収納空間９に臨
ませてなるクリーンエアー噴出装置１６が取り付けられ
ている。このクリーンエアー噴出装置１６は、エアーを
下（物品収納空間９）に向けて噴出する送風機１７と、
物品収納空間９に送り出されるエアーをクリーンにする
フィルター１８と、クリーンエアーの整流を行なう多孔
板・シルクスクリーン等からなる整流板１９とを有して
いる。また、駆動コンベア４の基枠５に形成された開口
２１と、クリーンエアー噴出装置１６の吸引側に位置す
る開口２２とがダクト２３によって接続されている。そ
して、ダクト２３内にはフィルター２４が収納されてい
る。このような構成によって一部のエアーはダクト２３
を通って循環するようになされている。
【０００９】前記被い１１の左右側壁には物品搬出入口
２６が形成され、これら物品搬出入口２６は昇降自在な
閉塞板２７によって開閉自在となされている。これら閉
塞板２７は流体圧シリンダ等を含む開閉装置２８によっ
て昇降させられるようになされている。閉塞板２７は、
物品を駆動コンベア４へ搬入したり駆動コンベア４から
搬出したりする際にのみ開かれる。
２６が形成され、これら物品搬出入口２６は昇降自在な
閉塞板２７によって開閉自在となされている。これら閉
塞板２７は流体圧シリンダ等を含む開閉装置２８によっ
て昇降させられるようになされている。閉塞板２７は、
物品を駆動コンベア４へ搬入したり駆動コンベア４から
搬出したりする際にのみ開かれる。
【００１０】
【発明の効果】この発明は前記した如き構成によって以
下の如き効果を奏するものである。 被いによって囲ま
れた物品収納空間をクリーンエアーによってクリーンに
保持することが出来るので、塵埃を嫌う物品を塵埃から
保護して搬送することが出来る。被いの下部と送風機
の吸引側とがダクトによって接続されていて、空気吸引
口から物品収納空間に送り込まれたクリーンエアーを物
品収納空間の下部におい て吸引するようになされ、ま
た、被いの下部に空気噴出口が設けられ、この空気噴出
口から物品収納空間のクリーンエアーの一部を外部に排
出するようになされたものであるから、即ち、外気をク
リーンにして物品収納空間に導入すると同時にそのクリ
ーンエアーを物品収納空間の下部において吸引すると共
に一部のクリーンエアーを外部に排出するので、単にエ
アーを循環させるものにあっては送風機等が発する熱に
よってエアーの温度が上昇するおそれがあるが、そのよ
うなおそれをなくしつつ物品収納空間のエアーの流れを
円滑にして物品収納空間をクリーンに保つことが出来
る。
下の如き効果を奏するものである。 被いによって囲ま
れた物品収納空間をクリーンエアーによってクリーンに
保持することが出来るので、塵埃を嫌う物品を塵埃から
保護して搬送することが出来る。被いの下部と送風機
の吸引側とがダクトによって接続されていて、空気吸引
口から物品収納空間に送り込まれたクリーンエアーを物
品収納空間の下部におい て吸引するようになされ、ま
た、被いの下部に空気噴出口が設けられ、この空気噴出
口から物品収納空間のクリーンエアーの一部を外部に排
出するようになされたものであるから、即ち、外気をク
リーンにして物品収納空間に導入すると同時にそのクリ
ーンエアーを物品収納空間の下部において吸引すると共
に一部のクリーンエアーを外部に排出するので、単にエ
アーを循環させるものにあっては送風機等が発する熱に
よってエアーの温度が上昇するおそれがあるが、そのよ
うなおそれをなくしつつ物品収納空間のエアーの流れを
円滑にして物品収納空間をクリーンに保つことが出来
る。
【図１】この発明の実施例を示す一部破砕側面図であ
る。
る。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線拡大断面図である。
【図３】閉塞板付近の水平断面図である。
【図４】図２のＩＶ−ＩＶ線断面図である。
１ 無人搬送車 ３ 荷台 ４ 駆動コンベア ９ 物品収納空間 １１ 被い １６ クリーンエアー噴出装置１７ 送風機 １８ フィルター ２３ ダクト ２６ 物品搬出入口 ２７ 閉塞板
Claims (1)
- 【請求項１】 無人搬送車に、荷台の上方に物品収納空
間を形成するようにして、側部に物品搬出入口を有し且
つ上部にフィルターが取り付けられた空気吸引口を有す
る被いが設けられ、この被いに空気吸引口からエアーを
吸引してフィルターによってクリーンとなされたエアー
を物品収納空間に送り出す送風機が設けられ、前記物品
搬出入口が閉塞板によって開閉自在となされている無人
搬送車において、前記被いの下部と送風機の吸引側とが
ダクトによって接続されていて、空気吸引口から物品収
納空間に送り込まれたクリーンエアーを物品収納空間の
下部において吸引するようになされ、また、被いの下部
に空気噴出口が設けられ、この空気噴出口から物品収納
空間のクリーンエアーの一部を外部に排出するようにな
された無人搬送車。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16845692A JP2979846B2 (ja) | 1992-06-02 | 1992-06-02 | 無人搬送車 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16845692A JP2979846B2 (ja) | 1992-06-02 | 1992-06-02 | 無人搬送車 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05330423A JPH05330423A (ja) | 1993-12-14 |
| JP2979846B2 true JP2979846B2 (ja) | 1999-11-15 |
Family
ID=15868454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16845692A Expired - Fee Related JP2979846B2 (ja) | 1992-06-02 | 1992-06-02 | 無人搬送車 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2979846B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105004579A (zh) * | 2015-07-16 | 2015-10-28 | 苏州华达仪器设备有限公司 | 一种高效过滤式洁净取样车 |
| CN112692681A (zh) * | 2020-12-23 | 2021-04-23 | 武汉市弘巍利精密机械有限公司 | 一种探针固定块多功能打磨装置 |
-
1992
- 1992-06-02 JP JP16845692A patent/JP2979846B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05330423A (ja) | 1993-12-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |