JPH0217441B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、クリーンルーム内に設置され、例え
ば半導体のような塵埃を極端にきらう物品（荷）
の保管に使用されるクリーンルーム内の荷保管設
備に関するものである。

一般的に荷保管設備は、上下方向ならびに横方
向に複数の区画収納空間を有する棚と、この棚に
沿つた一定経路上を走行自在で且つ昇降ならびに
横方向出退自在な荷出入れ機構を有する搬入出装
置とから構成される。このような荷保管設備にお
いては、特に荷出入れ機構を昇降させる昇降案内
装置や昇降駆動装置の部分に摩損などにより多く
の塵埃が発生し、しかも発生箇所が棚の近くであ
ることから、発生した塵埃は床側に吸引除去され
ることなく棚に保管している荷側に移行すること
になる。これらのことから、クリーンルーム内で
の荷保管の機械化、自動化、すなわち荷保管設備
の採用は不可能であつた。

本発明の目的とするところは、荷出入れ機構を
昇降させる装置の部分で発生した塵埃を、棚側に
移行させることなく全て床側に吸引除去し得るク
リーンルーム内の荷保管設備を提供する点にあ
る。

上記目的を達成するために本発明におけるクリ
ーンルーム内の荷保管設備は、クリーンルーム内
に、上下方向ならびに横方向に複数の区画収納空
間を有する棚と、この棚に沿つた一定経路上を走
行自在で且つ昇降ならびに横方向出退自在な荷出
入れ機構を有する搬入出装置を設け、この搬入出
装置を、走行自在な本体と、この本体から立設し
た下部が開放の筒体と、この筒体の前面に形成し
た上下方向のスリツトと、このスリツトを通つて
筒体の内外に亘つて位置し且つ該筒体に沿つて昇
降自在なキヤレツジと、前記スリツトをシールす
るシール幕と、前記キヤレツジに設けた前記荷出
入れ機構と、前記筒体内に配設され且つ前記キヤ
レツジに連動した昇降駆動装置と、前記筒体内に
配設したキヤレツジの昇降案内装置と、前記筒体
の下部開放部に対向して配設した吸引装置とから
構成している。

かかる本発明の構成によると、筒体は基本的に
は下部のみ開放であることから、昇降駆動装置で
発生した塵埃は該筒体内にとどまつて棚側に移行
しないことになり、その際に作動されている吸引
装置によつて下部開放部に吸引力が作用している
ことから、前述したように筒体内にとどまつてい
る塵埃は吸引流に乗つて下部開放部から下送され
たのち床下に吸引除去されることになる。また、
このような作用中において筒体内が負圧化されよ
うとするが、これはスリツトを通つての空気流入
によつて解消し得ると共に、この外から内への空
気流入により筒体内の塵埃がスリツトを通つて外
へ流出することを防止し得る。その際にスリツト
を通つての空気流入はシート幕により規制された
状態に行なわれ、上下方向のどの位置で発生した
塵埃でも確実に除去し得る。これにより、荷出入
れ機構を昇降させる昇降駆動装置や昇降案内装置
の部分で発生した塵埃は、棚側に移行させること
なく、吸引装置により全て床側に吸引除去し得、
したがつてクリーンルーム内での荷保管の機械
化、自動化が可能となる。

以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説明
する。１はクリーンルームで、天井２側からフイ
ルター３を通してクリーンエアー４を下吹きし、
下降するエアーをメツシユ形式の床５を通して該
床下に吸引するように構成してある。６は棚で所
定の通路７を置いて並設してある。これら棚６
は、前面の中間部から上部に亘つた部分が開放す
る箱状の本体８と、開放部において横方向に多数
並設された縦仕切板９、ならびに上下方向に多数
並設された横仕切板１０とからなり、両仕切板
９，１０によつて上下方向ならびに横方向に夫々
複数の区画収納空間１１を形成する。各区画収納
空間１１には夫々左右一対の腕木１２が配設さ
れ、これら腕木１２によつて半導体などからなる
荷１３を支持する。１４は通路７内に配設した搬
入出装置で、前記棚６に沿つた一定経路１５上を
走行自在である。すなわち通路７の下部には機枠
１６を介して一対のレール１７が配設され、搬入
出装置１４の本体１８は複数個の車輪１９を介し
てレール１７上に載置してある。そして本体１８
には車輪１９に連動する走行駆動装置２０が設け
られ、この走行駆動装置２０は、衝撃の発生し難
いDCサーボモータなどから構成すると共に、最
下段の区画収納空間１１よりも下方に位置すべく
配設している。前記本体１８の中央部からは筒体
の一例である四角状の角筒体２１が立設され、こ
の角筒体２１の上端は天板２２により閉塞される
と共に、下部は開放部２３に形成され、また前面
の中央には上下方向のスリツト２４が形成されて
いる。前記本体１８には開放部２３に連通する上
下方向の貫通部２５が形成され、また貫通部２５
に下方から対向する吸気フアンなどの吸引装置２
６が配設されている。２７は前記スリツト２４を
通つて角筒体２１の内外に亘つて位置する可動体
で、この角筒体２１に沿つて昇降自在に配設して
ある。すなわち角筒体２１内にはLMガイド形式
の昇降案内装置２８が配設され、この昇降案内装
置２８は、角筒体２１の後部内面に上下方向に取
付けたガイドレール２９と、このガイドレール２
９に案内され且つ可動体２７の後部に取付けた被
ガイド体３０とから構成される。さらに角筒体２
０内には昇降駆動装置３１が配設される。すなわ
ち昇降駆動装置３１は、天板２２の近くに配設し
た上位輪体３２と、開放部２３の近くに配設した
下位輪体３３と、両輪体３２，３３間に掛張され
且つ可動体２７に固着された索体３４と、前記下
位輪体３３に連動し且つ本体１８上に搭載したイ
ンバータ制御モータ３５とから構成されている。
前記索体３４の後部側経路は角筒体２１の後外面
側に取付けた保護体３６内に位置し、この保護体
３６も下端のみ開放している。なおインバータ制
御モータ３５や走行駆動装置２０の上方には保護
カバー３７が設けられる。前記角筒体２１内の上
端と下端には、夫々ばねなどにより巻取り付勢さ
れたドラム３８，３９が配設してあり、これらド
ラム３８，３９に巻取られるシート幕（ナイロン
製など）４０，４１の下端ならびに上端が前記可
動体27に固着してある。前記可動体２７の前部に
は昇降台４２が一体化され、これら可動体２７と
昇降台４２とがキヤレツジの一例となる。そして
昇降台４２の上部には横方向出退自在な荷出入れ
機構の一例であるフオーク４３が配設される。な
お昇降台４２には、インバータ制御モータなどか
らなる荷出入れ機構駆動装置４４が設けられる。
前記棚６の本体８内において、全区画収納空間１
１の後面側にフイルター（ケミカルフイルター）
４５を配設し、そしてフイルター４５の後面側に
エアーを供給するフアンなどからなるエアー供給
装置４６を該本体８内の下部に配設している。４
７は漏電ブレーカーを示す。

以下に作用を説明する。搬入出装置１４を使用
しての、棚６の目的とする区画収納空間１１に対
する荷１３の出し入れは、この搬入出装置１４の
一定経路１５上での走行動作と、昇降台４２の昇
降動作と、フオーク４３の横方向出退動作との組
合わせ動作により行なえる。その際に腕木１２に
支持させた荷１３や、この荷１３の出し入れを行
なうフオーク４３などから塵埃が発生して落下し
たとき、この塵埃はその下方に位置している横仕
切板１０で受止められることになり、したがつて
下段区画収納空間１１で保管している荷１３上に
落下して堆積することは防止される。このような
作業中において、クリーンルーム１内では、フイ
ルター３を通つて下吹きされるクリーンエアー４
が下降し、そして下降するエアーを床５下に吸引
することから、そのクリーン度は確保されてい
る。またフオーク４３などを支持する可動体４２
の昇降時においては、シート幕４０，４１のうち
の一方が自動的に繰出され、また他方が巻取られ
ることから、この可動体２７が通るスリツト２４
は常に内側からシールされた状態にある。したが
つて角筒体２１内に配設した昇降案内装置２８や
昇降駆動装置３１から発生した塵埃は該角筒体２
０内にとどまつて棚６側に移行するのを防止し得
る。その際に作動されている吸引装置２６によつ
て開放部２３に吸引力が作用していることから、
前述したように角筒体２１内にとどまつている塵
埃は吸引流に乗つて開放部２３から貫通部２５を
通つて床５に向けて排出され、全て床５下に吸引
除去されることになる。また、このような作用中
において角筒体２１内が負圧力されようとする
が、これはスリツト２４を通つてのクリーンエア
ー４の流入によつて解消できる。さらに外から内
へのクリーンエアー４の流入により、角筒体２１
内の塵埃がスリツト２４を通つて外へ流出するこ
とを確実に防止し得る。その際にスリツト２４を
通つてのクリーンエアー１４の流入は、シート幕
４０，４１による規制でスリツト２４の長さ方向
においてほぼ均一に行なわれることから、角筒体
２１の上下方向のどの位置で発生した塵埃でも確
実に除去し得る。前記棚６においては、エアー供
給装置４６の作動によつて、クリーンルーム１内
の空気を本体８内に吸引すると共に、フイルター
４５に対して後面側から供給する。これにより空
気はフイルター４５を通つてクリーンエアー４８
となり、そして各区画収納空間１１において、そ
の後面側から搬入出装置１４に対向する前面側に
向けて流出させ得る。したがつてクリーンエアー
４８の流れにより、横仕切板１０上に堆積されよ
うとする塵埃を吹出し除去し得、さらに搬入出装
置１４側から入つてこようとする塵埃を阻止し得
る。

上記実施例においては、棚６としてクリーンエ
アー４８を吹出す形式を示したが、搬入出装置１
４が吸引装置２６を採用した塵埃除去形式である
ので、該棚６は通常形式のものを採用してもよ
い。また天井２側からクリーンエアー４を下吹き
する形式を示したが、これは側壁など他の箇所か
ら吹出す形式でもよい。さらに可動体２７を案内
する昇降案内装置２８は、角筒体２１の内面をガ
イド面とした形式でもよい。

上記実施例では、シート幕４０，４１がドラム
３８，３９によつて繰出し、巻取られる形式を示
したが、これはスリツト２４の後部に配設したシ
ート幕の上下端を角筒体２１側に固定しておき、
そして可動体２７の部分で複数のローラを介して
シート幕が可動体２７内を挿通する形式であつて
もよい。さらには、角筒体２１のスリツト形成縁
部に左右一対のシート幕を取付け、両シート幕を
かき分けて可動体２７が昇降する形式であつても
よい。

上記構成の本発明によると、次のような効果を
期待できる。すなわち、筒体は基本的には下部の
み開放であることから、昇降駆動装置で発生した
塵埃は該筒体内にとどまつて棚側に移行すること
を防止でき、その際に作動されている吸引装置に
よつて下部開放部に吸引力が作用していることか
ら、前述したように筒体内にとどまつている塵埃
は吸引流に乗つて下部開放部から下送されたのち
床下に吸引除去することができる。また、このよ
うな作用中において筒体内が負圧化されようとす
るが、これはスリツトを通つての空気流入によつ
て解消できると共に、この外から内への空気流入
により筒体内の塵埃がスリツトを通つて流出する
ことを確実に防止できる。その際にスリツトを通
つての空気流入はシート幕により規制された状態
で行なわれることから、上下方向のどの位置で発
生した塵埃でも確実に除去できる。これにより、
荷出入れ機構を昇降させる昇降駆動装置や昇降案
内装置の部分で発生した塵埃は、棚側に移行させ
ることなく、吸引装置により全て床側に吸引除去
することができ、したがつてクリーンルーム内で
の荷保管の機械化、自動化を可能にできる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示し、第１図は側面
図、第２図は平面図、第３図は一部切欠正面図、
第４図は搬入出装置の一部切欠側面図、第５図は
同一部切欠平面図、第６図は棚の側面図である。 １……クリーンルーム、２……天井、３……フ
イルター、４……クリーンエアー、５……床、６
……棚、１１……区画収納空間、１３……荷、１
４……搬入出装置、１５……一定経路、１８……
本体、２１……角筒体（筒体の一例）、２２……
天板、２３……下部開放部、２４……スリツト、
２５……貫通部、２６……吸引装置、２７……可
動体、２８……昇降案内装置、３１……昇降駆動
装置、３８，３９……ドラム、４０，４１……シ
ート幕、４２……昇降台、４３……フオーク（荷
出し入れ機構の一例）。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ クリーンルーム内に、上下方向ならびに横方
   向に複数の区画収納空間を有する棚と、この棚に
   沿つた一定経路上を走行自在で且つ昇降ならびに
   横方向出退自在な荷出入れ機構を有する搬入出装
   置を設け、この搬入出装置を、走行自在な本体
   と、この本体から立設した下部が開放の筒体と、
   この筒体の前面に形成した上下方向のスリツト
   と、このスリツトを通つて筒体の内外に亘つて位
   置し且つ該筒体に沿つて昇降自在なキヤレツジ
   と、前記スリツトをシールするシール幕と、前記
   キヤレツジに設けた前記荷出入れ機構と、前記筒
   体内に配設され且つ前記キヤレツジに連動した昇
   降駆動装置と、前記筒体内に配設したキヤレツジ
   の昇降案内装置と、前記筒体の下部開放部に対向
   して配設した吸引装置とから構成したことを特徴
   とするクリーンルーム内の荷保管設備。