JPS6044403A - クリ−ンル−ム内の荷保管設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、天井側からクリーンエアーを丁吹きし、Ｆ降
するエアーを床Ｆに吸引するクリーンル−ム内に設置さ
れ、例えば半導体のような曙°埃を極端にきらう物品（
荷）の保管に使用されるりＩＪ　−ンルーム内の荷保管
設備に関するものである。

一般的に佃１呆管設備は、上下方向ならびに横方向に複
数の区画収納空間を有する棚と、この棚に　′沿った一
定経路上を走行自在で月つ′？１−降ならびに横方向出
退自在なフォークを有する搬人出装置とから構成される
。このような荷保管設備においては、特にフォークを昇
（４させる昇降案内装置や昇降駆動装置の部分に摩損な
どにより多くのり、輝埃が発生し、しかも発生筒所が棚
の近くであることから、発生した塵埃は原画に１１引除
去されることなく棚に保管している前側に移行すること
になる。

これらのことから、クリーンルーム内での荷保管の機械
化、自動化、すなわち荷保−′ｉ！設備の採用は不可能
であった。

本発明の目的とするところは、フォークを昇降はせる装
置の部分で発生した塵埃を、棚側に移行きせることなく
全て原画に吸引除去し得るクリーンルーム内の荷保管設
備を提供する点にある。

上記目的を達成するために本発明におけるクリーンルー
ム内の荷保管設備は、天井側からりＩＪ　−ンエアーを
下吹きし、下降するエアーを床下に吸引するクリーンル
ーム内に、上下方向ならびに横方向に複数の区画収納空
間を有する棚と、この棚に沿った一定経路上を走行自在
で且つ昇降ならびに横方向出退自在なフォークを有する
搬入吊装置を設け、この搬人出装置を、走行自在な本体
と、この本体から立設した下端が開放の角筒体と、この
角筒体の前面に形成した上下方向のスリットと、このス
リットを通って角筒体の内外に亘って位置し且つ該角筒
体に沿って昇降自在なｉ：ｌＪ動体と、１１１記スリツ
トをシールするシート基と、前記可動体の前部側に設け
た＋４ｉＪ記フオークと、前記角筒体内に配設した昇降
案内装置ならびに昇降駆動装置と、前記角筒体の下端Ｉ
ＪＭ放部に対向して配設した吸引装置とから構成してい
る。

かかる本発明構成によると、次のような効果を期待でき
る。すなわち、角筒体は基本的には下一端のみ開放であ
ることから、昇降案内装置ｄや昇降駆動装置で発生した
塵埃は該角筒体内にとどまって棚側に移行することを防
止でき、その１祭に作動はれている１及引装置によって
下端開放部に吸引力が作用していることから、自ＩＪ述
したように角筒体内にとどまっている塵埃は吸引流に乗
って下端開放部から下送されたのち床下に１吸引除去す
ることができる。また、このような作用中において角筒
体内が負圧化づれようとするが、これ・）寸スリットを
通っての空気流入によって解消できると共に、外から内
への空気流入によりスリットｆ：通っての塵埃の流出を
確実に防止でき、その１祭に′！Ｐ、気流人気流−ト基
によって規制はれた伏悪で行なわれることから、上下方
向のどの位置で発生しだ係埃でも確実に除去できる。こ
れにより、フォークを昇降きせる装置の部分で発生した
塵埃は、棚側に移行させることなく全て原画に吸引除去
することができ、したがってクリーンルーム内での荷保
管の機械化、自動化を可能にできる。

以下に本つこ明の一実施例を図面に基づいて説明スル。

（υハクリーンルームで、天井（２）側からフィルター
（３）を通してクリーンエアー（４）を下吹きし、下降
するエアーをメツシュ形式の床（５）を通して該床下に
ｌｉ引するように構成しである。（６）は棚で所定の通
路（７）を置いて並設しである。これら棚（６）は、前
面の中間部から上部に亘った部分が開放する箱状の本体
（８）と、開放部において横方向に多数並設された縦仕
切板（９）、ならびに上下方向に多数並設された横仕切
板側とからなり、両仕切板（９）叫によって上下方向な
らびに横方向に夫々複数の区画収納空間０］）を形成す
る。各区画収納空間（ｉｎには夫々左右一対の腕木（２
）が配設され、これら腕木ｕ２によって半導体などから
なる荷ｕ４を支持する。ｕカは月１１路（７）内に配設
した撮入出装置で、＋４ｉＪ記棚（６）に沿った一定経
路Ｑυ上を走行自在である。すなわちｉｎ路（７）のＴ
部には機枠（１１を介して一対のレールｕ′７１が配設
烙れ、搬入吊装置ｕ４）の本体Ｕ→は複数個の車輪ｕ匂
を介してレール［１７）上に載置しである。でして本体
（至）には単輸面に連動する走イー１駆動装置（至）が
設けられ、この走行駆動装置翰は、衝撃の発生し難いＤ
Ｃサーボモータなどから構成すると共に、最下段の区画
収納空間Ｕよりも下方に位置すべく配設している。前記
本体（ト）の中央部〃）らは四角状の角筒体（２υが立
設され、この角筒体シＤの」二輪は天板（μにより閉塞
されると共に、下端は下端開放部（ハ）に形成はれ、ま
た前面の中央には上Ｆ方向のヌ’Ｊ７）（財）が形成さ
れている。前記本体（糟には下端開放部（優に連通ずる
上下方向の貫通部四が形成され、１だ貫通部（ハ）に下
方から対向する１反気ファンなどの１吸引装置翰が配設
されている。轍）はｆｌｉＪ記スリットｃ７Φ全通って
角筒体Ｇ２υの内外に亘って位置する可動体で、この角
筒体■υに沿って昇降自在に配設しである。すなわち角
筒体Ｃυ内には囮ガイド形式のケ１−降案内装置一が配
設され、この？Ｌ降案内装置（ハ）は、角筒体馨りの後
部内面に上Ｆ方向に収付けたガ・ｒトレール（ホ）と、
このガイトレール（４）に案内され且つ可動体（イ）の
後部に収付けだ被ガイド体…とから（１゛６”成ばれる
。さらに角筒体ｔｊｌ）内には昇降駆動装置Ｌ’３１１
が配設される。すなわち昇降駆動装置（３１１は、天板
（イ）の近くに配設した上位輪体（３２１と、下端開放
部脅の近くに配設したＦ位輪体（３３）と、両輪体）３
ａ　＋３３１間に掛張式れ且つ可動体（イ）に固着され
た索ｊ；ｋ　ｔ３４１と、前記下位輪体１叫に連動し且
つ本体（１８１上に搭載したインバータ制御モータの５
）とから構成をれている。１げ記索体（３４）の後部側
経路は角筒体（２］）の後外面側に収イ」けた保護体１
３６）内に位置し、この保護体（３Ｇ）も下端のみＩノ
目放している。なおインバータ制省叩モータ（３５）や
走行駆動装置（イ）の上方には保護カバー１３７）が設
けられる。「１１Ｊ記角筒体ｅυ内の上端と下端には、
夫々ばねなどにより巻収り付勢きれたドラム（３８）（
３９１力律己設してあり、これらドラム１３８）　［３
０）に巻収られるシート幕（ナイロン［、ｔど）　＋４
ｏ）（４１）の下端ならびに上端が＋ｉｉＪ記可動体＠
に固着しである。前記可動体１２カの前部には昇降台部
ｚが一体化され、この祥降台（４”Ａの上部には横方向
出退自在なフォーク（４３）が配設される。なお昇降台
１４２１　Ｋは、インバータ≠制御モータなどからなる
フォーク駆動装置（４舶が設けられる。

前記棚（６）の本体（８）内において、全区画収納空間
Ｕυの後面側にフィルター（ケミカルフィルター）　１
４５）を配設し、そしてフィルター１４５）の後＋Ｍ７
　側ｔｆこエアーを供給するファンなどからなるエアー
供給＆ｋ　ｕ′ｌＩ・１（；］を該本体（８）内のＦ部
に配設している。（４７）は１ｍ　Ｗグレーカーを示す
。

以下に作用を説明する。Ｊ般人出装置Ｃ１４１を使用し
ての、棚（６）の目的とする凶画収納空１１う］ｕｌ）
にカドするＭ　Ｏａの出し入れは、この搬入吊装置（１
４）の一定経路（１５）上での走行動作と、昇降台（４
２１の４−降動作と、フメーク（４３）の横方向出退動
作との組合わせ動作により行なえる。その際に腕木（１
２に支持をせた荷（Ｉａや、この荷饅の出し入れを行な
うフォーク（４３）などからり杢埃が発生して落下゛し
たとき、この塵埃はその下方に位置している横仕切）Ｊ
ｊｉ、（１０１て受止められることになり、し／ヒがっ
て下段区画収納空間（１］）で保管している荷ｔ１３１
上にｉ’ｉＴ堆積することは防１］−きれる。

このよりな１￥業中において、クリーンルーム（１）内
テハ、フィ＋Ｌ／　ター　ｔａ）を通って下吹きされる
クリーンエアー（４）が下降し、そ１ノＣ下降するエア
ー金床（５）下に吸引することから、そのクリーン度は
ａｌ保烙れている。まだフォーク（４３）などを支持す
る可動体（４力の昇降時においては、シート幕Ｊ　ｔ１
１］のうちの一方が自動的に操出され、また住方が巻収
られることから、この可動体（イ）が通るスリ・ノド（
ハ）は常に内側からシールされた状（Ωにある。しだが
って角筒体ρυ内に配設した昇降案内装置（至）や昇降
駆動装置ｔ３＋）から発生した嘔埃は該角筒体＆］）内
にとどまって棚（６）側に（多行するのを防止し得る。

−ｆ：の際に１′「動されている１汲引装置翰によって
下Ｉａ旧ｊ１・）敷部＠に吸引力が作用していることか
ら、１ｉｉＪ述したように角筒体ン１）内にとどまって
いる１硼埃は吸引流に乗って下端開放部（ハ）から貫通
部（ハ）を通って床（５）に向けて排出をれ、全て床（
５）下に］吸引除去されることになる。また、このよう
な作用中にＬ・いて角１１′η体φυ内が負王化−Ｊ−
１１ようとするが、これはスリ・ノドｅ功を通ってのク
リーンエアー（４）のｌｆｉ”ｂ人によって；イ消でさ
る。さらに外から内へのクリーンエアー（４）の流入に
より、スリット（ハ）を通っての喀俟の流出を確実に防
止し得る。そのｌ摩にりＩＪ　−ンエアーＣｌ４１の流
入は、シート幕：・１０）　ｆ４１）によるλ［１，制
でスリット（至）の長さ方向においてほぼ均一に行なわ
れることから、角筒体シｊ）内の上下方向での位置で冗
生じた・Ｊμ埃でも確実に除去し得る。ｔｉｉＪ記棚（
６）においては、エアー供給装置（４６）の作動によっ
て、クリーンルーム（１）内の空気を本体（８）内に吸
引すると」１ミに、フィルター（個に対して後面側から
供給する。これにより空気はフィルター（４５！を通っ
てクリーンエアー（１＆となり、そして各区画収納空間
（１１）において、その後面側から搬入出装置圓に対向
するｒ）１」面側に向けて７ｆｌ〔。

出をせ得る。し７たがってクリーンエアー１．１８）の
ｉ、ＩＩｉ、れにより、横仕＋ｊＪ板＋１＋’ｊ上に’
４ｊ　ｆ′Ｉ′ｆされようとする１夷埃を［火出し除去
し得、さら（ｌこ搬入吊装置ｉ’ｆ　ｔ１４１　ｆＪｌ
ｌｌから入ってこようとするＷ〉埃を阻止し１４）る。

ヒ記実施例においては、棚（６）としてクリ−ンエアー
（４８）を吹出す形式を示したが、４１人出歿装１／Ｉ
）　、が１友引装置（ハ）を採用したｂ′μ埃除去形式
であるので、該棚（６）はＪ１ｎ常形式のものを採用し
てもよい３．

【図面の簡単な説明】 図面は本発明の一実施例を示し、第１図（ｄ側面図、第
２図は平面図、第３図は一部切欠側面図、第４図は撮入
出装置の一部切欠側面図、第５図は同一部切欠平面図、
第６図は棚の側面図である。 （１）・・・クリーンルーム、（２）・・・天井、（３
）・・・フィルター、（４）・・・クリ、−ンエアー、
（５）・・・床、（６）・・・ＩＪＩ、（１１）・・・
区画収納空間、ｕ３・・・荷、ｕ４・・・搬入吊装置、
Ｕυ・・・一定径路、（凶・・一本体、シυ・・・角筒
体、（ハ）・・・天板、β０・・・スリット、四・・・
貫通部、翰・・・吸引装置、ンｈ・・可動体、嗜・・・
昇降案内装置、（３１）・・・昇降駆動装置、１３８］
　１３９）・・・ドラム、ｉ４αはト・・シート幕、（
４２）・・・昇１坏台、６１３１・・・フォーク 代理人　森　本　義　弘 手続補正書（町り 昭和５９年　３月−Ｌｌ、日 特許庁長官殿　、ｄパ １、事件の表示 昭和　５８　年特　許　願第　１５０６７２　号２、発
明の゛名称 クリーンルーム内の前体ｆ設備 ３補正をする者 事件との関係　特許出願人 名称　（３６４）大福機工株式会社 氏名　（６８０８）弁理出前　本　義　弘５　０日付（
発送日） 昭和　年　月　日 ６補正により増加する発明の数 ８、補正の内容 １明細員）の特許請求の範囲の１１１・ｉ別紙の３１＠
す ２明細書、の発明の詐ｎ■１なｉ！ｊ？、明の仙・１０
第２囃第１１行目、同頁第１３行目、第３貞第１行目、
同頁第１１行目、同）バ第１８付目、第４１第１８ｈ目 「フォーク」とあるｆ：ｌ”荷出入れ機１１４」と訂正
する。 Ｏｆｇ３頁第１３行目、同頁第１４行目、同ｔ」第１５
行目、同良第１６仁目、同頁第１８行目、同ば末行目、
第４頁第３ｈ目、同１耳第５行目、同頁第８行日、同頁
第１１行目 「角筒体」とあるを・「筒体１１と訂Ｉピする。 るを削除する。 Ｏ第４頁第１５打目から第１７行目 「その際に空気　−行なわれることから、」とある全削
除する。 Ｏ第３貞第３行目 １図面に」とあるを１”第１図〜ＹＸ５６図に」と訂正
する。 ０第６頁第６行目 「中央部からは四角状の」とあるを「中央部からは筒体
の一例である四μｍ状の」とｑ”ｉｌＥする。 Ｏ第７区第１８行目 「横方向出退自在なフォーク」とあるを「横方向出退自
在な荷出入れ（幾（１９の一例であるフォーク」と訂正
する。 Ｏ第１ｏｖｒ第１８行目 「採用してもよい。」の後に次の文を挿入する。ｒ前記
したシー）　Ｓ　ｗＩｌｎｎを除去して、第７図に示す
ように角筒体Ｑυ内のヌ’）　ノ）　Ｌ２＝Ｑ近くに上
下方向の１友引パイプＯＬ＃を配設してもよい。この１
及引パイプ−は、その下端が前記吸引装置（７）に連通
し、またスリット陶に向く側に吸引孔の全上下方向に複
数形成している。 これによるとスリット■から流入するエアーを、ｌｌ＆
引孔（７）を介して吸引パイプ０饋内に吸引し、そして
床（５）上１則にｌ蚕、動させ得る。なお第７図におい
ては吸引バイブ門ノを−４１１１１に１θ″けたが、こ
れは両側に大々配設してもよく、寸だ吸引孔９りはｆＭ
状であってもよい。１３、明細書の図面の簡単な説明の
（：ｌ′、１０第１０頁末行目 １図面は」とあるｒｒ第１図〜第６図は」と６ｒ正する
。 Ｑ第１１員第３行目 「側面図である。」とあるを「側面図、第７図は別の夾
’１ｉｉｉｉ例を示す一部υ）太平面図である。」と４
ｒ正する。 ０第１１頁第７行目 「シυ・・・フＪ＋　１ｙｌＩ体、」とあるを「■υ・
・ブず１筒体（筒体の一例）１，１と引゛正する。 ○第１１頁第１０付目から第】１イ丁目「（財）・・フ
ォーク」とあるｋ　ｒ（ト）・・・７詞−り（荷出入れ
機ｆ１″ｑの一例）　、＋ａ・・・１及引パイプ、１と
訂正する。 ４図面の一部 ０図面中に第７図を追加する。 ２、特許請求の範囲 １　天井側からクリーンエアーを下吹きし、１降するエ
アーを床下に１吸引するクリーンルーム内に、上下方向
ならびに４１６方向に？ＬＪ　Ｍの区画収納空間を有す
る４；＃１と、このｉｌｌに沿った一定経路上を走行自
在で月つ件１脅ならひに横方向？、Ｂ退自在な荷出入れ
機構を有する搬入吊装置を設け、この搬入吊装置を、走
行自在な本体と、この本体から立設した下端が開放坦体
と、こ９１Ｕ本の前面に形成した上下方向のスリットと
、このスリン）ｋ通って筒体の内外に亘って位置し月つ
Ａ五体に沿って昇降自在な＋ｊｆ動体と、６１１記ＩＩ
■動体の前部側に設けた前記前出入れ機にＩｔｊと、Ｈ
ｔｉ記筒体筒体内設した＋１降案内装置ならひに昇降駆
動装置と、０１記筒体の下端開放部に対向して配設した
吸引装置とからｊｉ＃　ｌ＋２　したことを・特徴とす
るクリーンルーム内の荷保管設備。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １２　天井側からクリ−ンエアーを下吹きし、下降する
   エアーを床下に１吸引するクリーンルーム内に、上下方
   向ならびに横方向に４Ｍ’ｌＫの区画収納空間を有する
   棚と、この棚に沿った一定経路上を走行自在で且つ昇降
   ならびに横方向出退自在なフォークを有する搬人出装置
   を設け、この搬入小装置を、走行自在な本体と、この本
   体から立設した下端が開放の角筒体と、この角筒体の＋
   ４ｉＪ面に形成した上下方向のスリットと、このスリッ
   トを通って角筒体の内外産亘って位置し且つ該角筒体に
   沿って昇降自在なｉｊＪ動体と、目ＩＪ記スリットをシ
   ールするシート幕と、自’＋Ｊ記可動体のｌ］ｉＪ部側
   に設けた前記フォークと、＋ｉｉＪ記角筒体内に配設し
   た昇降案内装置ならびに昇降駆動装置と、附記角筒体の
   Ｆ端開放部に対向して配設した吸引装置とから構成した
   ことを特徴とするクリーンルーム内のイ１打保管ｆｘ　
   備。