JPH023496Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案はクリーンルーム内に於て、被搬送物を
垂直方向に搬送させる装置に関するものである。

〔従来の技術とその問題点〕

従来垂直搬送装置として電動ダムウエータが実
用化されているが、この方式ではローラガイド、
バランスウエイトガイド、及び垂直搬送路の上部
に設けた巻上装置からの発塵が多く、クリーンル
ーム内に於ては精密電子回路部品等を載置した搬
送台の垂直搬送方法としては適用できない。

一般にクリーンルームは天井に設けたヘパフイ
ルタを経たクリーンエヤを室内に供給する。しか
しこのフイルタ部がかさむので工場の床面積の制
限から建物が高くなり、従つて立体的な搬送を要
する必要が増えつつあり、クリーンルーム内に於
ける簡易な垂直搬送装置の実用化が要望されてい
る。

〔問題点の解決手段〕

本考案はこれに鑑みてなしたもので、クリーン
ルーム内において被搬送物を載置した搬送台を垂
直方向に搬送させる装置であつて、所要長の周壁
で囲つた垂直搬送路内に、クリーンエアを流下供
給させるクリーンエア供給装置と、前記垂直搬送
路内の側壁に固設したガイドレールと、前記垂直
搬送路の少くとも一側内周壁で且つ前記垂直搬送
路の略全長に亘り固設したりターンダクトと、こ
のリターンダクトに設けた排気装置とを具備せし
めるとともに、一方、垂直搬送路内を昇降手段に
より搬送される搬送台には、この搬送台の一側面
に複数個の昇降ガイドを設け、この昇降ガイドと
前記ガイドレールとの間に圧縮クリーンエアを供
給する圧縮クリーンエア供給装置とを設け、この
圧縮クリーンエアの供給により前記昇降ガイドと
ガイドレールの間にエア膜を形成させるようにな
したことを特徴とする。

〔実施例〕

以下本考案を図面に示す実施例にもとづいて説
明する。図に於て１は垂直搬送路を示し、該路に
上端は天井に連結させると共にその下端は開口し
た床に固設し、周壁１１で囲んだ搬送路内に被搬
送物を載置した搬送台２を巻取装置４によつて垂
直方向に搬送させる。この搬送台２は台枠で形成
されたケージで、被搬送物の取込取出口ドアが一
側面に設けられている。前記搬送台は台枠に支持
体２１を立設し、その上端に吊金具２２を設け
る。この搬送台２の吊金具２２にその一端を係着
したワイヤＷを前記垂直搬送路１の天井に接する
梁に垂設したシーブ３を介して地下ピツト床面上
に設けた巻取装置４に張架し、この巻取装置４を
巻取巻戻しすることによつて搬送台２を垂直搬送
路内を上下させる。前記垂直搬送路１の一周壁１
１の内側には搬送台２の一側面に具備した昇降ガ
イド９を保持させるためのガイドレール７を立設
する。このガイドレール７は地上床面上から天井
に接する梁に至る高さとし、その断面形状はパイ
プ形とすることが望ましい。なおこの垂直搬送路
の所望箇所には被搬送物の取込口５、取出口（図
示省略）が設けられている。垂直搬送路１の少く
とも一側内周壁１１にはリターンダクト６を前記
周壁床面から天井に接する梁の間の略全長に設け
る。

このリターンダクト６は一側壁を前記周壁１１
と共用して併設し隔壁を構成させるとともに他側
壁は後述するクリーンエアの流れをよくするため
適宜勾配をつけることもできる。リターンダクト
６の下端には床面下方に排気口６１が設けられて
おり、地下ピツト内のエアを前記リターンダクト
により上方へ導き、図示しない排気フアンにより
排気されるようになつている。天井にはクリーン
エアを発生させるクリーンエア供給装置（図示省
略）を設け、これにより供給されたクリーンエア
が前記垂直搬送路内を下方に向つて矢印に示す如
く垂直に噴射するようになつている。前記により
垂直搬送路１内を流下したクリーンエアがリター
ンダクト６を経て外部へ排出するようにリターン
ダクトの上方に排気フアンを設ける。

一方前記搬送台２の台枠の一側壁部でかつ上下
方向に適宜間隔離隔して複数個のブラケツト８を
突設し、その端部に夫々昇降ガイド９を設け、垂
直搬送路内に立設したガイドレール７を貫通させ
る。

第４図は昇降ガイド９の要部断面図である。

前記昇降ガイド９は前記ブラケツト８に固設し
たブラケツト９１に、スリーブ状に形成されたハ
ウジング９２とインナースリーブ９３とを一体に
なしたもので、前記インナースリーブ９３は若干
の空隙を介して前記ガイドレール７を抱持するよ
うになされている。なお図示例に於てはハウジン
グ９２は上下を連設し一体化したものを示した
が、個別に夫々形成させたものであつてもよい。

又前記ハウジング９２のスリーブ状に形成され
た内側面と前記インナースリーブ９３の外側面は
所定の空隙９５を介して相対向するようになし、
且つ夫々の上下端面は圧着せしめ前記空隙９５を
気密状態となしている。さらに前記インナースリ
ーブ９３には複数個のノズル９４が設けられてい
る。

又搬送台２には、本装置の外部に設けた圧縮ク
リーンエア供給装置（図示省略）に連なるエアホ
ース２２の取入部（図示省略）を具備せしめ、前
記エアホース２２の取入部と前記昇降ガイド９の
空隙９５との間をエアパイプ２３で連結せしめ、
前記圧縮クリーンエア供給装置から供給された圧
縮クリーンエアが、前記空隙９５から前記ノズル
９４を介してガイドレール７に向け噴出せしめる
ことにより、前記ガイドレール７とインナスリー
ブ９３との間にエア膜を形成せしめ、無接触状態
で搬送台２の昇降に伴う横振れ、発塵を防止する
ようになされている。

〔作用〕

クリーンエアは垂直搬送路１内を下方に向つて
噴出し、リターンダクト６を経て排気フアンによ
り強制的にクリーンエア供給装置へ戻される。出
入口５まで他の装置又は人で搬送された被搬送物
は搬送台２に移載され、該台は巻取装置４のワイ
ヤ巻取りによつて上昇し、取出口で前記に準じ、
別の装置又は人により取り出される。

而してこの垂直搬送路１にはクリーンエアが垂
直に流下しており、前記取入口と取出口との間の
昇降装置によつて搬送台の昇降ガイド９とガイド
レール７との間は昇降ガイドに設けたノズル９４
から噴出する圧縮クリーンエアはガイドレールの
外周面に噴出され、昇降ガイドとガイドレールと
の間のエア膜を生じ、エアベアリングを形成し、
無接触状態となるので、搬送台の昇降移動により
発生する微塵もなく、かつ被搬送物周辺は常にク
リーン度が保たれ、搬送台に載置した被搬送物に
は微塵の付着がなく、クリーン度を保つたまま搬
送させることができる。

尚前記実施例に於ては巻取装置によつて搬送台
を昇降させるものとしたが、昇降手段はこれに限
らずリフター等によるものであつてもよい。

〔考案の効果〕

本考案はクリーンエアを流下させた垂直搬送路
内での発塵を皆無としたので、簡単な構成で被搬
送物の微塵の付着を防止することができ、特にク
リーンルーム内に於ける垂直搬送に好適である。

【図面の簡単な説明】

第１図は一実施例の正面図、第２図は第１図の
概要を示す正面図、第３図は異なる位置にみた正
面図、第４図は昇降ガイドを示し、ａは断面図、
ｂは平面図、第５図は斜視図、第６図は垂直搬送
路の断面図である。 １は垂直搬送路、２は搬送台、３はシーブ、４
は巻取装置、５は取込口、６はリターンダクト、
７はガイドレール、８はブラケツト、９は昇降ガ
イド、Ｗはワイヤー。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. クリーンルーム内において被搬送物を載置した
   搬送台を垂直方向に搬送させる装置であつて、所
   要長の周壁で囲つた垂直搬送路内の側壁に固設し
   たガイドレールと、垂直搬送路内を昇降する搬送
   台と、前記搬送台の一側面に設けた複数個の昇降
   ガイドとを備え、昇降ガイドをガイドレールに貫
   通させ、前記昇降ガイドはスリーブ状に形成され
   たハウジングとインナースリーブとを備え、イン
   ナースリーブは空隙を介してガイドレールを抱持
   させるようなし、インナースリーブには圧縮クリ
   ーンエアをガイドレールに向け噴出するノズルを
   設け、この圧縮クリーンエアの供給により前記昇
   降ガイドとガイドレールの間にエア膜を生じ、エ
   アベアリングを形成させるようになしたことを特
   徴とするクリーンルーム内における垂直搬送装
   置。