JPH09255260A - クリーンルーム用昇降装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 配置スペースを縮小し、製作コストの低減を
可能とするクリーンルーム用昇降装置を提供する。 【解決手段】 昇降路２内を上下動可能なカゴ１２の上
部には、ＦＦＵ９が設けられている。このＦＦＵ９から
下方に向かって清浄な空気が供給されることにより、カ
ゴ１２内部の清浄度が保たれている。このカゴ１２の下
方側部には通気口１３が設けられており、ＦＦＵ９から
下流する空気がカゴ１２の外部に排出されるようになっ
ている。この通気口１３から排出される空気は、昇降路
２内を通過して再度ＦＦＵ９に戻される。また、昇降路
２内の空気は排気ファン１４によって吸引され、ＨＥＰ
Ａフィルタを介して外部に排出される。この排気ファン
１４の作用により、昇降路２内の空気が負圧となってい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム内
の上下階の間で被搬送物を搬送するためのクリーンルー
ム用昇降装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体装置の生産設備は大型化し
ており、これに伴って生産ラインの長さも長くなってい
る。このため、クリーンルームの複数階のフロアに亘っ
て生産ラインを構築する場合が多くなり、この上下階の
間でウエハカセット等の被搬送物を搬送することができ
るクリーンルーム用昇降装置が開発されている。

【０００３】図２は、従来のクリーンルーム用昇降装置
の構成例を示す概略断面図である。同図において、１は
被搬送物が搭載されるカゴであり、昇降路２内を上下に
移動する。この昇降路２の途中に、作業用のクリーンル
ーム３が配置されている。

【０００４】カゴ１の上部には、ロープ４が取り付けら
れており、このロープ４によってカゴ１が上方に吊り上
げられるようになっている。また、ロープ４は、昇降路
２の上部に設けられた機械室５内のモータ６によって駆
動される。更に、ロープ４のカゴ１側と反対側の端部に
は、釣合用おもり７が取り付けられている。

【０００５】また、上記カゴ１の内部には、クリーンス
ペース８が形成されており、このクリーンスペース８内
に被搬送物が搭載される図示しない貨物台が配置されて
いる。このクリーンスペース８の上部に、ファンとフィ
ルタとからなるファンフィルタユニット（以下、ＦＦＵ
という）９が設けられている。このＦＦＵ９から、下方
のクリーンスペース８に向かって清浄な空気が供給され
るようになっており、それによって、クリーンスペース
８の清浄度がクリーンルーム３と同レベルに保たれてい
る。

【０００６】また、クリーンスペース８の下部には適宜
の床部８ａが形成されており、この床部８ａには通気口
１０が設けられている。そして、ＦＦＵ９から下流する
空気が、この通気口１０を通過するようになっている。
更に、クリーンスペース８の側部には適宜の隔壁８ｂが
形成されている。上記床部８ａの下部の空間、及び上記
隔壁８ｂとカゴ１の内壁との間の空間には、上記通気口
１０を通過する空気がＦＦＵ９へ送り返されるためのレ
ターンスペース１１が設けられている。すなわち、ＦＦ
Ｕ９から下流する清浄な空気は、通気口１０を通過して
レターンスペース１１へ流れ込み、ＦＦＵ９に戻されて
再度浄化され、再びクリーンスペース８に供給されるよ
うになっている。

【０００７】このような構成により、モータ６によって
ロープ４が駆動されると、カゴ１が上下に移動する。例
えば、図２に示すように、カゴ１が下方にある場合、ロ
ープ４によってカゴ１は上方に駆動され、昇降路２の途
中に配置されたクリーンルーム３まで移動する。そし
て、カゴ１の貨物台に搭載された被搬送物が、図示しな
い搬送装置等によってクリーンルーム３内に搬送され
る。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したク
リーンルーム用昇降装置においては、カゴ１内のクリー
ンスペース８内部は清浄度が保たれているが、昇降路２
内について清浄度は確保されていないという問題があっ
た。そのため、被搬送物をカゴ１内部からクリーンルー
ム３内に搬送する際、昇降路２内の清浄でない空気がク
リーンルーム３内に流れ込む危険性があった。

【０００９】また、カゴ１内部において、レターンスペ
ース１１を設けなければならず、その分カゴ１を大きく
しなければならなかった。そのため、昇降装置を配置す
るためのスペースを広く確保しなければならないという
問題があった。更に、装置を大きくするため、製作コス
トがかかるという問題があった。

【００１０】本発明は、上記のような従来技術の問題点
を解決するために提案されたものであり、その目的は、
製作コストの低減を実現するクリーンルーム用昇降装置
を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達するた
め、請求項１記載の発明によるクリーンルーム用昇降装
置は、クリーンルームの上下階に亙って配置された昇降
路と、前記昇降路内に上下動可能な状態で配置され、被
搬送物を内部に搭載する箱体の搭載手段と、前記搭載手
段を所定の階に配置するための垂直搬送機構とを具備
し、前記搭載手段には、空気を浄化して当該搭載手段の
内部に供給するフィルタユニットと、前記フィルタユニ
ットから供給された空気が当該搭載手段の内部を通過し
て排出されるための通気口とが設けられ、前記昇降路内
は、それが前記通気口から排出された空気が前記フィル
タユニットまで戻るためのレターンスペースを形成して
いることを特徴としている。

【００１２】請求項１の発明によれば、搭載手段に設け
られたフィルタユニットにより、搭載手段内部に清浄な
空気が供給される。この空気は、搭載手段の内部を通過
すると通気口から排出され、昇降路内のレターンスペー
スを通過してフィルタユニットまで戻される。そして、
フィルタユニットにおいて再度浄化され、再び搭載手段
に供給される。このように、搭載手段の外部、すなわち
昇降路内にレターンスペースを形成することにより、従
来のように搭載手段内に別途清浄な空間とレターンスペ
ースとを設ける構成とする必要がなくなる。そのため、
搭載手段を小型化することができ、装置全体の省スペー
ス化が可能となる。また、それによって、装置の製造コ
ストを低減することができる。

【００１３】請求項２記載の発明によるクリーンルーム
用昇降装置は、請求項１記載の発明において、前記昇降
路内の空気を排出する排気ファンを具備することを特徴
としている。

【００１４】請求項２記載の発明によれば、排気ファン
により昇降路内の空気が排出される。これにより、昇降
路内の空気が負圧となり、搭載手段に搭載された被搬送
物をクリーンルーム内に搬送する際、昇降路内の空気が
クリーンルーム内に流れ込むことがない。そのため、ク
リーンルーム内の清浄度を保つことができる。

【００１５】請求項３記載の発明によるクリーンルーム
用昇降装置は、請求項２記載の発明において、前記排気
ファンに、ＨＥＰＡフィルタを取り付けたことを特徴と
している。

【００１６】請求項３記載の発明によれば、昇降路内の
空気が排気ファンによって排出され、ＨＥＰＡフィルタ
によって浄化される。この浄化された空気は、再び昇降
路に供給されたり、クリーンルーム内に供給されたりす
る。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明によるクリーンルー
ム用昇降装置の実施の形態について、図面を参照して具
体的に説明する。なお、上述した従来技術で説明した部
材と同一の部材については、同一符号を付してその説明
を省略する。

【００１８】図１は、本実施の形態によるクリーンルー
ム用昇降装置の構成を示す概略断面図である。同図にお
いて、１２は被搬送物が搭載されるカゴである。カゴ１
２の上部にはＦＦＵ９が設けられており、このＦＦＵ９
から下方に向かって清浄な空気が供給されることによ
り、カゴ１２内部の清浄度が保たれている。このカゴ１
２の下方側部には通気口１３が設けられており、ＦＦＵ
９から下流する空気がカゴ１２の外部に排出されるよう
になっている。すなわち、上記ＦＦＵ９から供給される
空気は、通気口１３から排出されると昇降路２内を通過
して、再びＦＦＵ９に戻される。そして、再度ＦＦＵ９
において浄化されて、再びカゴ１２に供給される。

【００１９】また、機械室５の上部には、ＨＥＰＡ（Hi
gh Efficiency Particulate Air ）フィルタ付の排気フ
ァン１４が設けられている。この排気ファン１４によ
り、機械室５及び昇降路２内の空気が吸引され、ＨＥＰ
Ａフィルタを介して外部に排出されるようになってい
る。そして、機械室５及び昇降路２内の空気は、ＨＥＰ
Ａフィルタによって浄化されて、クリーンルーム３に供
給されるか、もしくは昇降路２等に再度供給される。

【００２０】以上のような構成により、ＦＦＵ９によっ
てカゴ１２の内部全体に清浄な空気を供給する構成とし
たため、カゴ１２の内部に図２に示すようなクリーンス
ペース８及びレターンスペース１１を設ける必要がな
い。そのため、従来のカゴ１に比べて、レターンスペー
ス分だけカゴ１２の大きさを小さくすることができる。
従って、昇降装置の配置スペースを縮小することが可能
となり、コストの低減を実現することができる。また、
昇降路２内部にレターンスペースを形成することによ
り、昇降路２内の清浄度を上げることができる。

【００２１】また、上記排気ファン１４の作用により、
昇降路２内部は負圧となる。そのため、カゴ１２に搭載
された被搬送物をクリーンルーム３内に搬送する際、ク
リーンルーム３内の空気が負圧の昇降路２内に排出され
る。すなわち、昇降路２内の空気がクリーンルーム３内
に流れ込んだり、被搬送物が清浄でない空気に接触する
ことがない。そのため、クリーンルーム３内の清浄度を
保つことができる。

【００２２】なお、本発明は上記実施の形態に限定され
るものではなく、実施態様の変更は自由であるから、次
に例示するような他の実施の形態をも包含するものであ
る。例えば、排気ファン１４を配置する位置は機械室５
の上部に限らず、昇降路２の側面、もしくは下部でもよ
い。

【００２３】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、クリー
ンルーム用の昇降装置について、配置スペースを縮小
し、製作コストの低減を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態によるクリーンルーム用昇
降装置の構成を示す概略断面図

【図２】従来のクリーンルーム用昇降装置の構成を示す
概略断面図

【符号の説明】

２…昇降路 ３…クリーンルーム ４…ロープ ５…機械室 ６…モータ ７…釣合用おもり ９…ＦＦＵ １２…カゴ １３…通気口 １４…排気ファン

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 クリーンルームの上下階に亙って配置さ
   れた昇降路と、 前記昇降路内に上下動可能な状態で配置され、被搬送物
   を内部に搭載する箱体の搭載手段と、 前記搭載手段を所定の階に配置するための垂直搬送機構
   とを具備し、 前記搭載手段には、空気を浄化して当該搭載手段の内部
   に供給するフィルタユニットと、前記フィルタユニット
   から供給された空気が当該搭載手段の内部を通過して排
   出されるための通気口とが設けられ、 前記昇降路内は、それが前記通気口から排出された空気
   が前記フィルタユニットまで戻るためのレターンスペー
   スを形成していることを特徴とするクリーンルーム用昇
   降装置。
2. 【請求項２】 前記昇降路内の空気を排出する排気ファ
   ンを具備することを特徴とする請求項１記載のクリーン
   ルーム用昇降装置。
3. 【請求項３】 前記排気ファンに、ＨＥＰＡフィルタを
   取り付けたことを特徴とする請求項２記載のクリーンル
   ーム用昇降装置。