JPH026048Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案はクリーンルーム内に於て、被搬送物を
垂直方向に搬送させる装置に関するものである。

従来の技術とその問題点 従来垂直搬送装置として電動ダムウエータが実
用化されているが、この方式ではローラガイド、
バランスウエイトガイド、及び垂直搬送路の上部
に設けた巻上装置からの発塵が多く、クリーンル
ーム内に於ては精密電子回路部品等を載置した搬
送台の垂直搬送方法としては適用できない。

一般にクリーンルームは天井に設けたヘバフイ
ルタを経たクリーンエヤを室内に供給する。しか
しこのフイルタ部がかさむので工場の床面積の制
限から建物が高くなり、従つて立体的な搬送を要
する必要が増えつつあり、クリーンルーム内に於
ける簡易で搬送台を常に安定良く搬送できる垂直
搬送装置の実用化が要望されている。

課題を解決するための手段 搬送台の側面にユニバーサルジヨイントを設
け、前記搬送台をユニバーサルジヨイントを介し
て搬送台の側面に配設した昇降ガイドで支持させ
るとともに、前記昇降ガイドと前記ガイドレール
との間に圧縮クリーンエアを供給する圧縮クリー
ンエア供給装置とを設け、前記昇降ガイドとガイ
ドレールの間にエア膜を形成させるようになす。

実施例 以下本考案を図面に示す実施例にもとづいて説
明する。

図に於て１は垂直搬送路を示し、該路の上端は
天井に連結させると共にその下端は開口した床に
固設し、周壁１１で囲んだ搬送路内に被搬送物を
載置した搬送台２を巻取装置４によつて垂直方向
に搬送させる。この搬送台２は台枠で形成された
ケージで、被搬送物の取込取出口ドアが一側面に
設けられている。前記搬送台は台枠の上端に吊金
具２２を設ける。２１は台枠を持する支持体であ
る。この搬送台２の吊金具２２にその一端を係着
したワイヤロープＷで搬送台２を支持するととも
に、ワイヤロープＷを前記垂直搬送路１の天井に
接する梁に垂設したシープ３を介して地下ピツト
床面上に設けた巻取装置４に張架し、この巻取装
置４を巻取巻戻しすることによつて搬送台２を垂
直搬送路内を上下させる。前記垂直搬送路１の一
周壁１１の内側には搬送台２の一側面に具備した
昇降ガイド９を保持させるためのガイドレール７
を立設する。このガイドレール７は地上床面上か
ら天井に接する梁に至る高さとし、その断面形状
はパイプ形とすることが望ましい。なおこの垂直
搬送路の所望箇所には被搬送物の取込口５、取出
口（図示省略）が設けられている。垂直搬送路１
の少くとも一側内周壁１１にはリターンダクト６
を前記周壁床面から天井に接する梁の間の略全長
に設ける。

このリターンダクト６は一側壁を前記周壁１１
と共用して併設し隔壁を構成させるとともに他側
壁は後述するクリーンエアの流れをよくするため
適宜勾配をつけることもできる。リターンダクト
６の下端には床面下方に排気口６１が設けられて
おり、地下ピツト内のエアを前記リターンダクト
により上方へ導き、図示しない排気フアンにより
排気されるようになつている。天井にはクリーン
エアを発生させるクリーンエア供給装置（図示省
略）を設け、これにより供給されたクリーンエア
が前記垂直搬送路内を下方に向つて矢印に示す如
く垂直に噴射するようになつている。前記により
垂直搬送路１内を流下したクリーンエアがリター
ンダクト６を経て外部へ排出するようにリターン
ダクトの上方に排気フアンを設ける。

一方前記搬送台２の台枠の一側壁部でかつ上下
方向にユニバーサルジヨイント８を突設し、その
端部に昇降ガイド９を設け、搬送台２をユニバー
サルジヨイント８を介して昇降ガイド９で支持さ
せるようになし、垂直搬送路内に立設したガイド
レール７を貫通させる。

第４図は昇降ガイド９及びユニバーサルジヨイ
ント８の要部断面図である。

前記昇降ガイド９はスリーブ状に形成されたハ
ウジング９２とインナースリーブ９３とを一体に
なしたもので、前記インナースリーブ９３は若干
の空隙を介して前記ガイドレール７を抱持するよ
うになされている。

又前記ハウジング９２のスリーブ状に形成され
た内側面と前記インナースリーブ９３の外側面は
所定の空隙９５を介し相対向するようになし、且
つ夫々の上下端面は圧着せしめ前記空隙９５を気
密状態となしている。さらに前記インナースリー
ブ９３には複数個のノズル９４が設けられてい
る。

又搬送台２には、本装置の外部に設けた圧縮ク
リーンエア供給装置（図示省略）に連なるエアホ
ース２２の取入部（図示省略）を具備せしめ、前
記エアホース２２の取入部と前記昇降ガイド９の
空隙９５との間をエアパイプ２３で連結せしめ、
前記圧縮クリーンエア供給装置から供給された圧
縮クリーンエアが、前記空隙９５から前記ノズル
９４を介してガイドレール７に向け噴出せしめる
ことにより、前記ガイドレール７とインナースリ
ーブ９３との間にエア膜を形成せしめ、無接触状
態で搬送台２の昇降に伴う発塵を防止するように
なされている。

ユニバーサルジヨイント８は、搬送台２の一側
面に固設した取付板８１と継ぎ板８２及び昇降ガ
イド９に固設した支持板８３とで構成され、夫々
ピン８４及び８５により軸支されている。この
為、搬送台２の昇降にともなう揺動、ワイヤロー
プの伸び及び偏荷重による搬送台２の姿勢の変動
は、ピン８４及び８５を中心として取付板８１、
継ぎ板８２及び支持板８３が回転することにより
ユニバーサルジヨイントとして作用し、吸収され
ることになり常に昇降ガイド９とガイドレール７
の同芯度は保たれエア膜を破壊することのないよ
うになされている。

作 用 クリーンエアは垂直搬送路１内を下方に向つて
噴出し、リターンダクト６を経て排気フアンによ
り強制的にクリーンエア供給装置へ戻される。出
入口５まで他の装置又は人で搬送された被搬送物
は搬送台２に移載され、該台は巻取装置４のワイ
ヤ巻取りによつて上昇し、取出口で前記に準じ、
別の装置又は人により取り出される。

而してこの垂直搬送路１にはクリーンエアが垂
直に流下しており、前記取入口と取出口との間の
昇降装置によつて搬送台の昇降ガイド９とガイド
レール７との間は昇降ガイドに設けたノズル９４
から噴出する圧縮クリーンエアはガイドレールの
外周面に噴出され、昇降ガイドとガイドレールと
の間にエア膜を生じ、エアベアリングを形成し、
無接触状態となる。

さらに、昇降ガイドはユニバーサルジヨイント
を介して搬送台を支持しているため搬送台の揺動
及び姿勢の変動によるエア膜の破壊が防止され、
搬送台の昇降移動により発生する微塵もなく、か
つ被搬送物周辺は常にクリーン度が保たれ、搬送
台に載置した被搬送物には微塵の付着がなく、ク
リーン度を保つたまま搬送させることができる。

尚前記実施例に於ては巻取装置によつて搬送台
を昇降させるものとしたが、昇降手段はこれに限
らずリフター等によるものであつてもよい。

又、ユニバーサルジヨイントの構成は、前記実
施例に限らず搬送品の揺動及び姿勢の変動を吸収
できるものであれば可能であることは勿論であ
る。

考案の効果 本考案はクリーンエアを流下させた垂直搬送路
内での発塵を皆無としたので、簡単な構成で被搬
送物の微塵の付着を防止することができ、又搬送
物を常に安定良く搬送できるので、特にクリーン
ルーム内に於ける垂直搬送に好適である。

【図面の簡単な説明】

第１図は一実施例の正面図、第２図は第１図の
概要を示す正面図、第３図は異なる位置をみた正
面図、第４図は昇降ガイド及びユニバーサルジヨ
イントを示し、ａは断面図、ｂは平面図、第５図
は斜視図、第６図は垂直搬送路の断面図である。 １は垂直搬送路、２は搬送台、３はシープ、４
は巻取装置、５は取込口、６はリターンダクト、
７はガイドレール、８はユニバーサルジヨイン
ト、９は昇降ガイド、Ｗはワイヤロープ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 被搬送物を載置した搬送台を垂直搬送路内に設
   けたガイドレールに沿つて垂直方向に移送させる
   装置であつて、前記搬送台の側面にユニバーサル
   ジヨイントを設け、前記搬送台をユニバーサルジ
   ヨイントを介して搬送台の側面に配設した昇降ガ
   イドで支持させるとともに、前記昇降ガイドと前
   記ガイドレールとの間に圧縮クリーンエアを供給
   する圧縮クリーンエア供給装置とを設け、前記昇
   降ガイドとガイドレールの間にエア膜を形成させ
   るようになしたことを特徴とする垂直搬送装置。