JPH0614144U - オーバーヘッド型物品搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 搬送物品を塵埃から保護する。 【構成】 下面開放の囲い壁体２８によって囲まれた空
間に、上から下に向かうクリーン空気の流れを作り、物
品２４をクリーンに保持する。ハンド片１２のガイド機
構１５及び駆動装置１８が収められた昇降枠５の内部の
空気を空気噴出機３１によって吸引するので、ガイド機
構１５及び駆動装置１８から発生する塵埃が物品２４に
落下することがない。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、搬送物品を塵埃から保護するようにしたオーバーヘッド型物品搬 送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来のこの種のオーバーヘッド型物品搬送装置として以下の如きものは知られ ている。即ち、上方に設けられたガイドレールと、このガイドレールに沿って走 行する走行車と、この走行車に昇降自在に設けられた昇降枠と、この昇降枠の下 方の物品吊持空間において物品を保持・吊持する物品保持装置とを有しているも のは知られている。

【０００３】

【考案の目的】

この考案は、前記装置において、塵埃を嫌う物品、例えばウエハ等を搬送する 際において、走行車がクリーン度の低い塵埃の多い部分を通過しなければならな いことがあるが、そのような場合に、搬送物品を塵埃から保護することが出来る ようにすることを目的とするものである。

【０００４】

【前記目的を達成するための手段】

この考案は前記目的を達成するために以下の如き手段を採用した。 請求項１の考案は、上下に開口する空気路を有する内部が空洞の昇降枠内にハ ンド片のガイド機構及び駆動装置が収められ、前記昇降枠の上部に下方に空気を 噴出する空気噴出機が設けられ、前記昇降枠の内部と空気噴出機の吸引口とがダ クトで接続されており、前記空気路内又は上方にフィルターが設けられているも のである。 請求項３の考案は、上方軌道に沿って走行自在な走行車に、上下に開口する空 気路を有する昇降枠が昇降自在に設けられ、この昇降枠に、その下方の物品吊持 空間において物品を保持・吊持する物品保持装置が設けられ、前記昇降枠に、側 方に開口した物品出し入れ口を有する下面開放の囲い壁体が物品吊持空間を囲う ようにして設けられ、前記物品出し入れ口の両側縁部に設けられたガイド部材に 沿って閉塞板が昇降自在となされ、前記昇降枠の上部に下方に空気を噴出する空 気噴出機が設けられ、前記閉塞板のガイド部材と空気噴出機の吸引口とが接続さ れており、前記空気路の上方にフィルターが設けられているものである。

【０００５】

【考案の作用】

この考案は以下の如き作用をなすものである。 一対のハンド片等の物品保持装置によって保持された物品に向かって、クリー ンな空気を吹き付けて物品をクリーンに保持することが出来るので、走行車がク リーン度の低い塵埃の多い部分を通過しなければならない場合でも、搬送物品を 塵埃から保護することが出来る。 請求項１の考案においては、ハンド片のガイド機構及び駆動装置が収められた 昇降枠の内部の空気を空気噴出機によって吸引するので、ガイド機構及び駆動装 置から発生する塵埃が物品に落下することもない。 請求項３の考案においては、閉塞板とガイド部材との間の空気を空気噴出機に よって吸引して、閉塞板がガイド部材に摺接することによって発生する塵埃を吸 引するので、その塵埃が物品吊持空間に飛散することもない。

【０００６】

【実施例】

以下にこの考案を図面に示す２つの実施例に基づいて説明する。なお、２つの 実施例において同一の部材は同一の符号で示す。

【０００７】 実施例１（図１〜図４参照） なお、実施例１において、前とは図１右側を、後とは同図左側をいい、左とは図 １紙面裏側を、右とは同表側をいう。 天井１に吊持具２を介してガイドレール３が設けられ、このガイドレール３に 沿って走行車４が走行自在に吊持され、この走行車４に、内部が空洞の昇降枠５ が昇降機６によって昇降自在に設けられ、この昇降機６は、吊持ベルト７、その 巻き取りドラム８等を有している。

【０００８】 前記昇降枠５には、上下に開口する空気路１１が形成されている。なお、空気 路１１の側周壁となる昇降枠５の部分には所要個の空気吸引孔１０が形成されて いる。

【０００９】 前記昇降枠５には一対のハンド片１２が相互に近接離隔自在に設けられている 。前記ハンド片１２を水平動自在に案内するガイドロッド１４を有するガイド機 構１５及び正逆回転自在なモーター１６・ボールねじ１７等を有する駆動装置１ ８が空洞の昇降枠５内に収められている。 前記ハンド片１２は、ガイドロッド１４に摺動自在に嵌められた摺動部材２０ と、これら摺動部材２０に垂下状に設けられ、且つ、昇降枠５に形成されたスリ ット２７を通じて下方に突出した垂下脚２１と、これら垂下脚２１の下端に設け られた水平支承片２２とを有している。水平支承片２２は、図示するごとく、物 品２４のフランジ２５を下から支承するものである。

【００１０】 前記昇降枠５に、下面開放の囲い壁体２８が、前記ハンド片１２を囲うように して設けられている。なお、囲い壁体２８は透明であっても、そうでなくても良 い。また、囲い壁体２８に側方に向かって開口した物品出し入れ口を形成して、 この物品出し入れ口を閉塞板によって開閉自在としても良い。

【００１１】 前記昇降枠５の上部に、下方に向けて空気を噴出する空気噴出機３１が設けら れている。 空気噴出機３１から噴出される空気は、ＨＥＰＡフィルター等のフィルター３ ４及びパンチングメタル等の多孔板からなる整流板３５を経て、昇降枠５に形成 された前記空気路１１より下方に向かって噴出する。 このような構成によって、下面開放の囲い壁体２８によって囲まれた空間に、 上から下に向かうクリーン空気の流れを作り、物品２４をクリーンに保持するこ とが出来る。

【００１２】 前記昇降枠５の内部と空気噴出機３１の吸引口３２とがダクト３３で接続され ている。このような構成によって、ハンド片１２のガイド機構１５及び駆動装置 １８が収められた昇降枠５の内部の空気を空気噴出機３１によって吸引するので 、ガイド機構１５及び駆動装置１８から発生する塵埃がスリット２７を通じて物 品２４に落下することがない。

【００１３】 図４には実施例１の変形例が示されている。この変形例においては、一対のハ ンド片１２に対して１つの駆動装置１８が設けられたものとなっている。そのた めに、空気路１１は２つに区分されている。

【００１４】 実施例２（図５〜図８参照） なお、実施例２において、前とは図５右側を、後とは同図左側をいい、左とは図 １紙面裏側を、右とは同表側をいう。 中央部に空気路１１を有する昇降枠４０に、その下方に物品吊持空間４１を形 成するようにして、物品吊持かご４２が設けられている。この物品吊持かご４２ は、左右方向に所定間隔で配された側面から見て略Ｕ字状の複数のかご構成体４ ３によって構成されている。

【００１５】 前記ガイドレール３の真下に位置するようにして物品搬入ステーション４５が 設けられている。この物品搬入ステーション４５には、搬送方向を左右方向に向 けた駆動ローラーコンベア４６の先端部が位置するようになされている。そして 、物品搬入ステーション４５上方に走行車４が停止した際、駆動ローラーコンベ ア４６のローラー４７間の上方にかご構成体４３が位置するようになされ、また 、昇降枠４０が下降するとかご構成体４３の、水平部４３ａを含む下部がローラ ー４７間に沈み込み得るようになされている。

【００１６】 前記昇降枠４０に、下面開放の囲い壁体４９が、前記物品吊持空間４１を囲う ようにして設けられている。なお、囲い壁体４９は透明であっても、そうでなく ても良い。また、昇降枠４０の下降に伴ってかご構成体４３の水平部４３ａがロ ーラー４７間に沈み込み得るように、囲い壁体４９の下端縁は、かご構成体４３ の水平部４３ａの上縁より上になるようになされている。 前記囲い壁体４９には左右方に向かって開口した物品出し入れ口５０が形成さ れ、この物品出し入れ口５０の前後側縁部に設けられた、上下方向に長いダクト 状のガイド部材５１に沿って閉塞板５２が昇降自在に設けられている。この閉塞 板５２は流体圧シリンダ５３等によって昇降させられるようになされている。

【００１７】 前記昇降枠４０の上部に、物品吊持空間４１に上から空気を噴出する空気噴出 機３１が設けられている。 前記ガイド部材５１の上部開口と空気噴出機３１の吸引口３２とがダクト５４ で接続されている。 空気噴出機３１から噴出される空気は、ＨＥＰＡフィルター等のフィルター３ ４及びパンチングメタル等の多孔板からなる整流板３５を経て、昇降枠４０に形 成された空気路１１より物品吊持空間４１に向かって上から下に向けて噴出する 。 また、ダクト状のガイド部材５１内の空気は空気噴出機３１によって吸引され る。従って、閉塞板５２がガイド部材５１に摺接することによって発生する塵埃 が物品吊持空間４１に飛散することがない。

【００１８】 次に実施例２の作用を説明する。 物品吊持かご４２が空である走行車４が、ローラー４７間の上方にかご構成体 ４３を位置させるようにして、物品搬入ステーション４５で停止すると、今まで 上昇していた昇降枠４０が下降して、かご構成体４３の水平部４３ａをローラー ４７間に沈み込ませて、停止する。然る後、今まで下降していた右側の閉塞板５ ２が上昇して物品出し入れ口５０が開かれる。その後、駆動ローラーコンベア４ ６の駆動によって多数のウエハが収納されたキャリア５６が２個、駆動ローラー コンベア４６の先端部（かご構成体４３の水平部４３ａの上方）まで、搬送され る。その後、駆動ローラーコンベア４６は停止する。然る後、閉塞板５２が下降 すると、昇降枠４０は最上位置まで上昇して停止する。その後、走行車４は走行 を開始して物品搬出ステーション（図示略）に至ると停止し、前記と逆の作動に よって、キャリア５６を物品搬出ステーションの駆動ローラーコンベア上に降ろ すことが出来る。 そして、空気噴出機３１は常時作動状態にあって、物品吊持空間４１内をクリ ーンに保持している。 また、ダクト状のガイド部材５１内の空気は空気噴出機３１によって吸引され る。従って、閉塞板５２がガイド部材５１に摺接することによって発生する塵埃 が物品吊持空間４１に飛散することがない。

【００１９】

【考案の効果】

この考案は、前記した如き構成によって、以下の如き効果を奏するものである 。 一対のハンド片等の物品保持装置によって保持された物品に向かって、クリ ーンな空気を吹き付けて物品をクリーンに保持することが出来るので、走行車が クリーン度の低い塵埃の多い部分を通過しなければならない場合でも、搬送物品 を塵埃から保護することが出来る。 請求項１の考案においては、ハンド片のガイド機構及び駆動装置が収められ た昇降枠の内部の空気を空気噴出機によって吸引するので、ガイド機構及び駆動 装置から発生する塵埃が物品に落下することもない。 請求項３の考案においては、閉塞板とガイド部材との間の空気を空気噴出機 によって吸引して、閉塞板がガイド部材に摺接することによって発生する塵埃を 吸引するので、その塵埃が物品吊持空間に飛散することもない。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の実施例１を示す一部破砕側面図であ
る。

【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線拡大断面図である。

【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線拡大断面図である。

【図４】実施例１の変形例を示す水平断面図である。

【図５】この考案の実施例２を示す一部破砕側面図であ
る。

【図６】図５のＶＩ−ＶＩ線断面図である。

【図７】図５のＶＩＩ−ＶＩＩ線断面図である。

【図８】図５のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線断面図である。

【符号の説明】

５ 昇降枠 １１ 空気路 １２ ハンド片 １５ ガイド機構 １８ 駆動装置 ３１ 空気噴出機 ３２ 吸引口 ３３ ダクト ３４ フィルター ４０ 昇降枠 ４１ 物品吊持空間 ４９ 囲い壁体 ５０ 物品出し入れ口 ５１ ガイド部材 ５２ 閉塞板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｂ６５Ｇ 47/61 Ｂ 8010−3Ｆ

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 上下に開口する空気路を有する内部が空
   洞の昇降枠内にハンド片のガイド機構及び駆動装置が収
   められ、前記昇降枠の上部に下方に空気を噴出する空気
   噴出機が設けられ、前記昇降枠の内部と空気噴出機の吸
   引口とがダクトで接続されており、前記空気路内又は上
   方にフィルターが設けられているオーバーヘッド型物品
   搬送装置。
2. 【請求項２】 上方軌道に沿って走行自在な走行車に、
   上下に開口する空気路を有する内部が空洞の昇降枠が昇
   降自在に設けられ、この昇降枠内に相互に近接離隔自在
   な一対のハンド片のガイド機構及び駆動装置が収めら
   れ、前記昇降枠の上部に下方に空気を噴出する空気噴出
   機が設けられ、前記昇降枠の内部と空気噴出機の吸引口
   とがダクトで接続されており、前記空気路内又は上方に
   フィルターが設けられているオーバーヘッド型物品搬送
   装置。
3. 【請求項３】 上方軌道に沿って走行自在な走行車に、
   上下に開口する空気路を有する昇降枠が昇降自在に設け
   られ、この昇降枠に、その下方の物品吊持空間において
   物品を保持・吊持する物品保持装置が設けられ、前記昇
   降枠に、側方に開口した物品出し入れ口を有する下面開
   放の囲い壁体が物品吊持空間を囲うようにして設けら
   れ、前記物品出し入れ口の両側縁部に設けられたガイド
   部材に沿って閉塞板が昇降自在となされ、前記昇降枠の
   上部に下方に空気を噴出する空気噴出機が設けられ、前
   記閉塞板のガイド部材と空気噴出機の吸引口とが接続さ
   れており、前記空気路の上方にフィルターが設けられて
   いるオーバーヘッド型物品搬送装置。