JPH08288358A - 半導体基板入りマガジンのクランプ搬送装置 - Google Patents
半導体基板入りマガジンのクランプ搬送装置Info
- Publication number
- JPH08288358A JPH08288358A JP7095467A JP9546795A JPH08288358A JP H08288358 A JPH08288358 A JP H08288358A JP 7095467 A JP7095467 A JP 7095467A JP 9546795 A JP9546795 A JP 9546795A JP H08288358 A JPH08288358 A JP H08288358A
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- JP
- Japan
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- clamp
- magazine
- cover
- carrier
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 シリコンウエハー２の多数枚を入れたマガジ
ン１を、クランプして搬送することが、前記シリコンウ
エハー２に塵埃が降りかかることなくできるようにす
る。 【構成】 搬送体５に軸支した鉛直軸６の下端に取付け
たクランプ支持板７の下面に、一対の開閉式クランプ体
８，９を支持部を介して装着すると共に、この両クラン
プ体の支持部及びその開閉作動機構を覆うカバー体１８
を設ける一方、前記搬送体の上面に、前記鉛直軸の回転
作動機構と、この回転作動機構を覆うカバー体１９を設
け、前記鉛直軸に、前記両カバー体内を連通する通路２
０を穿設し、且つ、前記搬送体又はそのカバー体に、ブ
ロワー等の空気吸引手段への吸引口２１を設ける。
ン１を、クランプして搬送することが、前記シリコンウ
エハー２に塵埃が降りかかることなくできるようにす
る。 【構成】 搬送体５に軸支した鉛直軸６の下端に取付け
たクランプ支持板７の下面に、一対の開閉式クランプ体
８，９を支持部を介して装着すると共に、この両クラン
プ体の支持部及びその開閉作動機構を覆うカバー体１８
を設ける一方、前記搬送体の上面に、前記鉛直軸の回転
作動機構と、この回転作動機構を覆うカバー体１９を設
け、前記鉛直軸に、前記両カバー体内を連通する通路２
０を穿設し、且つ、前記搬送体又はそのカバー体に、ブ
ロワー等の空気吸引手段への吸引口２１を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体部品の製造に際
して使用するシリコンウエハー等のような半導体基板の
複数枚を収納したマガジンを、クランプして搬送するた
めの装置に関するものである。
して使用するシリコンウエハー等のような半導体基板の
複数枚を収納したマガジンを、クランプして搬送するた
めの装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体部品の製造に際して使用
するシリコンウエハー等のような半導体基板は、その多
数枚をマガジン内に多段状に収納し、この状態でマガジ
ンごと各種の加工工程に順次搬送される。この半導体基
板入りマガジンを搬送するに際して、当該マガジンの上
部をその上方に配設したクランプ機構にてクランプして
持ち上げて搬送するように構成するように構成した場合
には、以下に述べるような問題があった。
するシリコンウエハー等のような半導体基板は、その多
数枚をマガジン内に多段状に収納し、この状態でマガジ
ンごと各種の加工工程に順次搬送される。この半導体基
板入りマガジンを搬送するに際して、当該マガジンの上
部をその上方に配設したクランプ機構にてクランプして
持ち上げて搬送するように構成するように構成した場合
には、以下に述べるような問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】すなわち、マガジンを
クランプするクランプ機構は、回動又は摺動するように
構成した少なくとも一対のクランプ体を備え、この両ク
ランプ体を開閉するものであり、しかも、クランプした
持ち上げたマガジンの方向を変えることのために鉛直線
の回りに旋回するものであることにより、当該クランプ
機構を、マガジンをクランプするために両クランプ体を
開閉作動したときには、当該両クランプ体の回動部又は
摺動部における磨滅等による塵埃が必然的に発生するこ
とになるし、しかも、クランプ機構を鉛直線の回りに旋
回するための機構からも、磨滅等による塵埃が必然的に
発生することになる。
クランプするクランプ機構は、回動又は摺動するように
構成した少なくとも一対のクランプ体を備え、この両ク
ランプ体を開閉するものであり、しかも、クランプした
持ち上げたマガジンの方向を変えることのために鉛直線
の回りに旋回するものであることにより、当該クランプ
機構を、マガジンをクランプするために両クランプ体を
開閉作動したときには、当該両クランプ体の回動部又は
摺動部における磨滅等による塵埃が必然的に発生するこ
とになるし、しかも、クランプ機構を鉛直線の回りに旋
回するための機構からも、磨滅等による塵埃が必然的に
発生することになる。
【０００４】従って、このクランプ機構を、半導体基板
を入れたマガジンの上方に配設した場合には、当該クラ
ンプ機構における両クランプ体を開閉作動するとき、及
び、クランプ機構を旋回するときに発生する塵埃が、そ
の下方におけるマガジンに降りかかり、ひいては、この
マガジン内に収納されている半導体基板の表面に降りか
かることになるから、半導体基板にて半導体部品を製造
する場合における歩留り率が低下するのである。
を入れたマガジンの上方に配設した場合には、当該クラ
ンプ機構における両クランプ体を開閉作動するとき、及
び、クランプ機構を旋回するときに発生する塵埃が、そ
の下方におけるマガジンに降りかかり、ひいては、この
マガジン内に収納されている半導体基板の表面に降りか
かることになるから、半導体基板にて半導体部品を製造
する場合における歩留り率が低下するのである。
【０００５】特に、半導体基板を使用して半導体部品を
製造するクリーンルームでは、塵埃を極度に除去した清
浄な空気を、当該クリーンルームにおける天井から床に
向かって噴き出すと言ういわゆるダウンブロー方式が採
用されていることから、前記クランプ機構における両ク
ランプ体を開閉作動するに伴って発生する塵埃が半導体
基板の表面に降りかかる現象は、一層、増大するのであ
った。
製造するクリーンルームでは、塵埃を極度に除去した清
浄な空気を、当該クリーンルームにおける天井から床に
向かって噴き出すと言ういわゆるダウンブロー方式が採
用されていることから、前記クランプ機構における両ク
ランプ体を開閉作動するに伴って発生する塵埃が半導体
基板の表面に降りかかる現象は、一層、増大するのであ
った。
【０００６】本発明は、半導体基板入りマガジンを、そ
の上方に配設したクランプ機構にてクランプして搬送す
る場合において、前記のような問題を生じることがない
ようにした搬送装置を提供することを技術的課題とする
ものである。
の上方に配設したクランプ機構にてクランプして搬送す
る場合において、前記のような問題を生じることがない
ようにした搬送装置を提供することを技術的課題とする
ものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】この技術的課題を達成
するため本発明は、「半導体基板の多数枚を収納するマ
ガジンの上方に、昇降動及び横移動するように構成した
搬送体を配設し、この搬送体に鉛直軸を、その下端が搬
送体の下面に突出するように回転自在に軸支して、この
鉛直軸の下端に取付けたクランプ支持板の下面に、左右
一対のクランプ体を支持部を介して開閉自在に装着する
と共に、この両クランプ体の開閉作動機構を設け、更
に、前記クランプ支持板に、前記両クランプ体の支持部
及び両クランプ体の開閉作動機構を覆うカバー体を設け
る一方、前記搬送体の上面に、前記鉛直軸の回転作動機
構を設けると共に、この回転作動機構を覆うカバー体を
設け、前記鉛直軸に、前記クランプ支持板のカバー体内
と、前記搬送体のカバー体内とを連通する通路を穿設
し、且つ、前記搬送体又はそのカバー体に、ブロワー等
の空気吸引手段への吸引口を設ける。」と言う構成にし
た。
するため本発明は、「半導体基板の多数枚を収納するマ
ガジンの上方に、昇降動及び横移動するように構成した
搬送体を配設し、この搬送体に鉛直軸を、その下端が搬
送体の下面に突出するように回転自在に軸支して、この
鉛直軸の下端に取付けたクランプ支持板の下面に、左右
一対のクランプ体を支持部を介して開閉自在に装着する
と共に、この両クランプ体の開閉作動機構を設け、更
に、前記クランプ支持板に、前記両クランプ体の支持部
及び両クランプ体の開閉作動機構を覆うカバー体を設け
る一方、前記搬送体の上面に、前記鉛直軸の回転作動機
構を設けると共に、この回転作動機構を覆うカバー体を
設け、前記鉛直軸に、前記クランプ支持板のカバー体内
と、前記搬送体のカバー体内とを連通する通路を穿設
し、且つ、前記搬送体又はそのカバー体に、ブロワー等
の空気吸引手段への吸引口を設ける。」と言う構成にし
た。
【０００８】
【作 用】この構成において、両クランプ体をその開
閉作動機構にて開いた状態にして、搬送体を、マガジン
の真上まで横移動して下降動したのち、前記両クランプ
体をその開閉作動機構にて閉じる作動することにより、
マガジンをクランプすることができるから、以後は、前
記搬送体を上昇動したのち横移動することにより、マガ
ジンを所定の箇所に搬送することができる。また、前記
搬送体の上昇動にてマガジンを持ち上げた状態で、鉛直
軸を、その回転作動機構にて適宜回動することにより、
マガジンを任意の方向に向けることができる。
閉作動機構にて開いた状態にして、搬送体を、マガジン
の真上まで横移動して下降動したのち、前記両クランプ
体をその開閉作動機構にて閉じる作動することにより、
マガジンをクランプすることができるから、以後は、前
記搬送体を上昇動したのち横移動することにより、マガ
ジンを所定の箇所に搬送することができる。また、前記
搬送体の上昇動にてマガジンを持ち上げた状態で、鉛直
軸を、その回転作動機構にて適宜回動することにより、
マガジンを任意の方向に向けることができる。
【０００９】この場合において、前記両クランプ体の支
持部及び開閉作動機構を覆うカバー体内は、鉛直軸に穿
設した通路を介して、搬送体の上面側における回転作動
機構を覆うカバー体内に連通する一方、前記搬送体又は
そのカバー体には、ブロワー等の空気吸引手段への吸引
口が設けられていることにより、前記両カバー体内の空
気は換気されているから、前記クランプ支持板における
カバー体内において前記両クランプ体の支持部及び開閉
作動機構から発生する塵埃、及び、前記搬送体における
カバー体内において回転作動機構から発生する塵埃は、
これらのカバー体の外に飛散することなく、全て、前記
換気空気に乗って排気されることになり、下部における
マガジンの降りかかることを確実に防止できるのであ
る。
持部及び開閉作動機構を覆うカバー体内は、鉛直軸に穿
設した通路を介して、搬送体の上面側における回転作動
機構を覆うカバー体内に連通する一方、前記搬送体又は
そのカバー体には、ブロワー等の空気吸引手段への吸引
口が設けられていることにより、前記両カバー体内の空
気は換気されているから、前記クランプ支持板における
カバー体内において前記両クランプ体の支持部及び開閉
作動機構から発生する塵埃、及び、前記搬送体における
カバー体内において回転作動機構から発生する塵埃は、
これらのカバー体の外に飛散することなく、全て、前記
換気空気に乗って排気されることになり、下部における
マガジンの降りかかることを確実に防止できるのであ
る。
【００１０】
【発明の効果】従って、本発明のクランプ搬送装置によ
ると、半導体基板の入ったマガジンを、その上方からク
ランプした状態で搬送することができるものでありなが
ら、前記マガジン内における半導体基板の表面にクラン
プ搬送装置で発生する塵埃が降りかかることを確実に防
止できるから、クランプ搬送装置のために半導体部品を
製造する場合における歩留り率が低下することを大幅に
低減できる効果を有する。
ると、半導体基板の入ったマガジンを、その上方からク
ランプした状態で搬送することができるものでありなが
ら、前記マガジン内における半導体基板の表面にクラン
プ搬送装置で発生する塵埃が降りかかることを確実に防
止できるから、クランプ搬送装置のために半導体部品を
製造する場合における歩留り率が低下することを大幅に
低減できる効果を有する。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図１及び図２の図
面について説明する。この図において符号１は、マガジ
ンを示し、このマガジン１の内部には、シリコンウエハ
ー２の多数枚を多段状に収納され、且つ、このマガジン
１における上部左右両側面には、クランプ溝３，４が設
けられている。
面について説明する。この図において符号１は、マガジ
ンを示し、このマガジン１の内部には、シリコンウエハ
ー２の多数枚を多段状に収納され、且つ、このマガジン
１における上部左右両側面には、クランプ溝３，４が設
けられている。
【００１２】符号５は、前記マガジン１の上方に配設し
た板状の搬送体を示し、この搬送体５は、これを支持す
る移動部材２５等により、昇降動及び横移動するように
構成されている。この搬送体５には、この搬送体５を貫
通する鉛直軸６が、当該鉛直軸６の下端が搬送体５の下
面に、上端が搬送体５の上面に各々突出するように回転
自在に軸支され、この鉛直軸６の下端に取付けられたク
ランプ支持板７の下面には、左右一対のクランプ体８，
９が、スライド式の支持部１０，１１にて左右方向に開
閉自在に取付けられ、この両クランプ体８，９は、その
各々に設けた空気圧シリンダ１２，１３にて開閉作動す
るように構成されている。
た板状の搬送体を示し、この搬送体５は、これを支持す
る移動部材２５等により、昇降動及び横移動するように
構成されている。この搬送体５には、この搬送体５を貫
通する鉛直軸６が、当該鉛直軸６の下端が搬送体５の下
面に、上端が搬送体５の上面に各々突出するように回転
自在に軸支され、この鉛直軸６の下端に取付けられたク
ランプ支持板７の下面には、左右一対のクランプ体８，
９が、スライド式の支持部１０，１１にて左右方向に開
閉自在に取付けられ、この両クランプ体８，９は、その
各々に設けた空気圧シリンダ１２，１３にて開閉作動す
るように構成されている。
【００１３】また、前記鉛直軸６の上端には、プーリ１
４が嵌着され、このプーリ１４と、前記搬送体５に取付
けてパルスモータ１５の出力軸上のプーリ１６との間に
タイミングベルト１７を巻掛けすることにより、前記パ
ルスモータ１５の回転で、前記鉛直軸６、ひいては、こ
の鉛直軸６の下端にクランプ支持板７を介して取付く両
クランプ体８，９を任意の方向に旋回するように構成さ
れている。
４が嵌着され、このプーリ１４と、前記搬送体５に取付
けてパルスモータ１５の出力軸上のプーリ１６との間に
タイミングベルト１７を巻掛けすることにより、前記パ
ルスモータ１５の回転で、前記鉛直軸６、ひいては、こ
の鉛直軸６の下端にクランプ支持板７を介して取付く両
クランプ体８，９を任意の方向に旋回するように構成さ
れている。
【００１４】そして、前記クランプ支持板７の下面に、
カバー体１８を、当該カバー体１８にて前記両クランプ
体８，９の支持部１０，１１及びその空気圧シリンダ１
２，１３を覆うように着脱自在に取付ける一方、前記搬
送体５の上面に、カバー体１９を、当該カバー体１８に
てタイミングベルト１７を覆うように着脱自在に取付け
る。
カバー体１８を、当該カバー体１８にて前記両クランプ
体８，９の支持部１０，１１及びその空気圧シリンダ１
２，１３を覆うように着脱自在に取付ける一方、前記搬
送体５の上面に、カバー体１９を、当該カバー体１８に
てタイミングベルト１７を覆うように着脱自在に取付け
る。
【００１５】更に、前記鉛直軸６に、前記クランプ支持
板７におけるカバー体１８内と、搬送体５におけるカバ
ー体１９内とを連通する通路２０を穿設する一方、前記
搬送体５又はそのカバー体１９に、図示しないブロワー
等の空気吸引手段への吸引口２１を設ける。なお、前記
搬送体５には、前記両空気圧シリンダ１２，１３への圧
縮空気の供給用ソケット２２が設けられ、このソケット
２２から前記カバー体１９内及び通路２０内に配設した
ホース２３，２４を介して前記両空気圧シリンダ１２，
１３に圧縮空気を供給するように構成されている。
板７におけるカバー体１８内と、搬送体５におけるカバ
ー体１９内とを連通する通路２０を穿設する一方、前記
搬送体５又はそのカバー体１９に、図示しないブロワー
等の空気吸引手段への吸引口２１を設ける。なお、前記
搬送体５には、前記両空気圧シリンダ１２，１３への圧
縮空気の供給用ソケット２２が設けられ、このソケット
２２から前記カバー体１９内及び通路２０内に配設した
ホース２３，２４を介して前記両空気圧シリンダ１２，
１３に圧縮空気を供給するように構成されている。
【００１６】この構成において、両クランプ体８，９を
その各々の空気圧シリンダ１２，１３にて開いた状態に
して、搬送体５を、マガジン１の真上まで横移動して下
降動したのち、前記両クランプ体８，９をその各々の空
気圧シリンダ１２，１３にて閉じる作動することによ
り、両クランプ体８，９の先端におけるクランプ片８
ａ，９ａがマガジン１における両クランプ溝３，４内に
嵌まるようにして、マガジン１をクランプすることがで
きるから、以後は、前記搬送体５を上昇動したのち横移
動することにより、マガジン１を所定の箇所に搬送する
ことができる。
その各々の空気圧シリンダ１２，１３にて開いた状態に
して、搬送体５を、マガジン１の真上まで横移動して下
降動したのち、前記両クランプ体８，９をその各々の空
気圧シリンダ１２，１３にて閉じる作動することによ
り、両クランプ体８，９の先端におけるクランプ片８
ａ，９ａがマガジン１における両クランプ溝３，４内に
嵌まるようにして、マガジン１をクランプすることがで
きるから、以後は、前記搬送体５を上昇動したのち横移
動することにより、マガジン１を所定の箇所に搬送する
ことができる。
【００１７】また、前記搬送体５の上昇動にてマガジン
１を持ち上げた状態で、鉛直軸６を、パルスモータ１５
にて適宜回動することにより、マガジン１を任意の方向
に向けることができる。この場合において、前記両クラ
ンプ体８，９の支持部１０，１１、及び両クランプ体
８，９の開閉作動機構である両空気圧シリンダ１２，１
３を覆うカバー体１８内は、鉛直軸６に穿設した通路２
０を介して、搬送体５の上面側におけるタイミングベル
ト１７（回転作動機構）を覆うカバー体１９内に連通す
る一方、前記搬送体５又はそのカバー体１９には、ブロ
ワー等の空気吸引手段への吸引口２１が設けられている
ことにより、前記両カバー体１８，１９内の空気は換気
されているから、前記クランプ支持板７におけるカバー
体１８内において前記両クランプ体８，９の支持部１
０，１１及び両空気圧シリンダ１２，１３から発生する
塵埃、及び、前記搬送体５におけるカバー体１９内にお
いて回転作動機構であるタイミングベルト１７から発生
する塵埃は、これらのカバー体１８，１９の外に飛散す
ることなく、全て、前記換気空気に乗って排気されるこ
とになり、下部におけるマガジン１の降りかかることを
確実に防止できるのである。
１を持ち上げた状態で、鉛直軸６を、パルスモータ１５
にて適宜回動することにより、マガジン１を任意の方向
に向けることができる。この場合において、前記両クラ
ンプ体８，９の支持部１０，１１、及び両クランプ体
８，９の開閉作動機構である両空気圧シリンダ１２，１
３を覆うカバー体１８内は、鉛直軸６に穿設した通路２
０を介して、搬送体５の上面側におけるタイミングベル
ト１７（回転作動機構）を覆うカバー体１９内に連通す
る一方、前記搬送体５又はそのカバー体１９には、ブロ
ワー等の空気吸引手段への吸引口２１が設けられている
ことにより、前記両カバー体１８，１９内の空気は換気
されているから、前記クランプ支持板７におけるカバー
体１８内において前記両クランプ体８，９の支持部１
０，１１及び両空気圧シリンダ１２，１３から発生する
塵埃、及び、前記搬送体５におけるカバー体１９内にお
いて回転作動機構であるタイミングベルト１７から発生
する塵埃は、これらのカバー体１８，１９の外に飛散す
ることなく、全て、前記換気空気に乗って排気されるこ
とになり、下部におけるマガジン１の降りかかることを
確実に防止できるのである。
【００１８】なお、前記実施例のように、搬送体５の上
面側に、鉛直軸６を回転するためのタイミングベルト１
７等の回転作動機構を設けると共に、これを覆うカバー
体１９を着脱自在に取付けた構成にすることにより、カ
バー体１９の着脱にて、タイミングベルト１７等の回転
作動機構のメンテナンスが容易にでき、これに加えて、
前記カバー体１９内及び通路２０内にホース２３，２４
を配設することにより、両クランプ体８，９の開閉作動
用の両空気圧シリンダ１２，１３への圧縮空気の供給
を、構造の複雑化を招来することなく容易に行うことが
できる。
面側に、鉛直軸６を回転するためのタイミングベルト１
７等の回転作動機構を設けると共に、これを覆うカバー
体１９を着脱自在に取付けた構成にすることにより、カ
バー体１９の着脱にて、タイミングベルト１７等の回転
作動機構のメンテナンスが容易にでき、これに加えて、
前記カバー体１９内及び通路２０内にホース２３，２４
を配設することにより、両クランプ体８，９の開閉作動
用の両空気圧シリンダ１２，１３への圧縮空気の供給
を、構造の複雑化を招来することなく容易に行うことが
できる。
【図１】本発明の実施例を示す縦断正面図である。
【図２】図１のII−II視拡大断面図である。
１ マガジン ２ シリコンウエハー ５ 搬送体 ６ 鉛直軸 ７ クランプ支持板 ８，９ クランプ体 １０，１１ 支持部 １２，１３ 開閉用空気圧シリンダ １５ パルスモータ １７ タイミングベルト １８，１９ カバー体 ２０ 通路 ２１ 吸引口
Claims (1)
- 【請求項１】半導体基板の多数枚を収納するマガジンの
上方に、昇降動及び横移動するように構成した搬送体を
配設し、この搬送体に鉛直軸を、その下端が搬送体の下
面に突出するように回転自在に軸支して、この鉛直軸の
下端に取付けたクランプ支持板の下面に、左右一対のク
ランプ体を支持部を介して開閉自在に装着すると共に、
この両クランプ体の開閉作動機構を設け、更に、前記ク
ランプ支持板に、前記両クランプ体の支持部及び両クラ
ンプ体の開閉作動機構を覆うカバー体を設ける一方、前
記搬送体の上面に、前記鉛直軸の回転作動機構を設ける
と共に、この回転作動機構を覆うカバー体を設け、前記
鉛直軸に、前記クランプ支持板のカバー体内と、前記搬
送体のカバー体内とを連通する通路を穿設し、且つ、前
記搬送体又はそのカバー体に、ブロワー等の空気吸引手
段への吸引口を設けたことを特徴とする半導体基板入り
マガジンのクランプ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9546795A JP3716008B2 (ja) | 1995-04-20 | 1995-04-20 | 半導体基板入りマガジンのクランプ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9546795A JP3716008B2 (ja) | 1995-04-20 | 1995-04-20 | 半導体基板入りマガジンのクランプ搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08288358A true JPH08288358A (ja) | 1996-11-01 |
| JP3716008B2 JP3716008B2 (ja) | 2005-11-16 |
Family
ID=14138462
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9546795A Expired - Fee Related JP3716008B2 (ja) | 1995-04-20 | 1995-04-20 | 半導体基板入りマガジンのクランプ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3716008B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107265119A (zh) * | 2017-08-08 | 2017-10-20 | 无锡先导智能装备股份有限公司 | 一种集成有盖板抓取机构的搬运机构及搬运方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6350693U (ja) * | 1986-09-22 | 1988-04-06 | ||
| JPH0247045U (ja) * | 1988-09-27 | 1990-03-30 | ||
| JPH0614144U (ja) * | 1992-01-28 | 1994-02-22 | 村田機械株式会社 | オーバーヘッド型物品搬送装置 |
| JPH06244265A (ja) * | 1993-02-22 | 1994-09-02 | O S Giken Kogyo:Yugen | 搬送ロボット |
-
1995
- 1995-04-20 JP JP9546795A patent/JP3716008B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
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