JP3466818B2 - 真空成膜プロセス装置及び該装置用の搬送キャリア兼マスキング部材 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、真空成膜プロセス
装置及び該装置用の搬送キャリア兼マスキング部材に係
り、特に真空室内で表面処理が施される真空処理装置に
おける搬送装置に関するものである。また、真空室内ハ
ンドであって、特に真空室内で表面処理が施される真空
処理装置に好適に使用される技術に関するものである。
また、基板を略水平方向に搬送する基板の搬送装置及び
搬送方法に関し、特に真空室内で基板に表面処理を施す
真空処理装置に使用される基板の搬送装置及び搬送方法
に関するものである。そして、基板を略水平方向に搬送
する基板の搬送装置に関し、特に真空室内で基板に表面
処理を施す真空処理装置に使用される基板の搬送装置に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、基板に対して成膜をおこなう
ためにＣＶＤ装置に対して連続搬送して処理を行う真空
処理装置が使用されている。添付の図面を参照して、述
べると、図３９〜図４２は、従来の真空処理装置の構成
例を示したものである。

【０００３】図４０と図４２において、基板１０に内周
マスキング板９がセットされ、外周をマスクするマスキ
ング板１０１１に保持されて搬送される。マスキング板
１０１１には、保持バー及び搬送バー１０３３と係合す
るピン１０１０ａ、１０１０ｂが設けられている。

【０００４】基板移載手段１５００にはマスク部材１０
１１を保持するためのフィンガー１０５４、１０５３を
備え、基板を上下方向にクランプして保持するようにな
っている。

【０００５】供給ストッカー部に収納されているマスク
板１０１１を基板移載手段１５００によりクランプし、
搬送バーの傾斜角度まで旋回して、マスク板１０１１を
アンクランプして搬送バー１０３３に載せる。搬送バー
に載せられたマスク板１０１１は搬送ピッチ分移送され
る。次に、再び供給ストッカー部に収納されているマス
ク板１０１１を基板移載手段１５００によりクランプ
し、マスク板１０１１を順次搬送バー１０３３に載せる
ように構成されている。

【０００６】次に、図４３に従来の真空処理装置の投入
チャンバーの構成例を示す。

【０００７】図４３において、真空室であるチャンバー
２０１０内には、表面処理が施されるべき基板１０を予
め保持したマスキング板１１を把持するための保持手段
２００６と、この保持手段６を図示のように対称位置に
おいて二つ備えた搬送手段２００７とが内蔵されてい
る。

【０００８】また、このチャンバー２０１０に設けられ
た開口部２０１１、２０１２に対して上記の保持手段２
００６を当接させるように移動するための直線駆動手段
２００３が搬送手段２００７に取り付けられている。

【０００９】直線駆動手段２００３は保持手段２００６
と直結しており、直線駆動部２００８をチャンバー２０
１０内の雰囲気と隔離するためのシール部材２００９で
覆われている。

【００１０】以上の構成において、保持手段２００６が
図示のように開口部２０１１に当接するように移動し
て、隔離された状態になった密閉空間は、開口部２０１
１に設けられたポンプ接続口２００２により所定の真空
圧になるまで不図示の真空ポンプにより引かれるように
構成されている。

【００１１】また、図４４は搬送手段の他の従来構成例
を示した要部断面図である。

【００１２】図４４において、直線駆動手段２００３の
駆動源２００８は、チャンバー２０１０の外に設けられ
ているが、直線駆動の案内は旋回中心と同心になるよう
に設けられている。

【００１３】また、例えば、特開平６−２６４２４１号
公報に開示されているように、物品の保持機構はチャン
バーの開口部の領域内において所定位置決めされたとき
に、機械的に開閉操作するように構成されている。

【００１４】そして、図４５は従来の真空成膜装置にお
いて、基板が略水平方向に搬送されている状態を示した
正面図である。

【００１５】図４５において、基板３１０１は、その内
周部に内周マスク３１０３がセットされており、更に外
周をマスキングするためのマスキング板３１０２に保持
された状態で矢印方向に搬送されるように構成されてお
り、互いに隣り合う板の縁部が当接するようにしてい
る。

【００１６】さらに、図４６は略水平方向に搬送される
マスキング板３１０２を垂直方向から見た平面図であ
る。

【００１７】図４６において、マスキング板３１０２の
鉛直方向における外形部は、基板面に対して直角もしく
は成型時に必要な抜き勾配Θを以って形成されることが
一般的である。そして、成膜のための空間内を通過する
際には、隣り合うマスキング板同士が互いに密着して搬
送されるように使用される。

【００１８】また、このようなマスキング板３１０２を
切削加工する場合には、所定厚さのアルミニウム板材や
ステンレス板材を削りだして製作するようにしていた。

【００１９】一方、従来より、真空成膜装置などにおけ
る基板の搬送は、図４７に示すような方法で行われてい
た。

【００２０】図４７において、基板４５１０は、その内
周部に内周マスク４５０３がセットされ、さらに基板の
外周をマスクするマスキング板４５０２に保持された状
態で紙面の表裏方向に搬送される。ガイド部材４５０４
は、マスキング板４５０２が倒れないようにガイドする
ものである。また、マスキング板４５０２は搬送用ロー
ラーチェーン４５０５上に載置されており、不図示の駆
動装置によりローラーチェーン４５０５が駆動される
と、ガイド部材４５０４によってガイドされながらロー
ラーチェーン４５０５の進行方向に搬送されるように構
成されている。

【００２１】また、マスキング板４５０２は、通常はア
ルミニウムやステンレス製の板素材から切削加工して製
作されていた。

【００２２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図３９
〜図４２に示したような従来例では、基板移載手段がマ
スク部材を直接搬送バーに載せるため、次のような問題
があった。

【００２３】基板移載手段がマスク部材をクランプし、
搬送バーにマスク部材を載せた後アンクランプする際、
先に載せたマスク部材との干渉を避けるため、マスク部
材にクランプするための爪は左右方向に取り付けること
ができず、上下方向に取り付けられていた。そのため、
マスク部材をクランプ、またはアンクランプする際に上
方向に配設された爪とマスク部材との間から生じた塵
が、基板表面に落下しやすいという問題があった。

【００２４】一方、図４３に示した従来構成によれば、
チャンバー２０１０内に配設される搬送手段において直
線駆動機構２００８が設けられているために、搬送手段
全体の重量が大きくなる。このために旋回駆動するため
の駆動源が大きくなるという欠点がある。

【００２５】また、直線駆動のための駆動源がチャンバ
ー２０１０内に配設されていることから、駆動源そのも
のや、電気、エアーなどの駆動力をシールするための機
構が非常に複雑化するという欠点があった。

【００２６】また、開口部２０１１において真空ポンプ
への接続口を設ける構成であるために、開口部２０１１
に通じるオリフィス径を小さくせざるを得なくなり、こ
の結果コンダクタンスを悪化させて使用するポンプ容量
を大きくしなければならないという欠点があった。ま
た、従来構成例によれば、物品である基板を保持したり
開放するためには、基板を保持している工作物収容部
を、チャンバーの開口部に対して当接させるための直線
的に移動する移送機構に加えて、別の手段である機械的
な把持動作を行うための機構が必要となる。

【００２７】この結果、別に駆動源を必要とする上に、
チャンバー外部にその駆動源を設ける場合は、さらにシ
ール機構が必要となり、装置が複雑化してしまうという
欠点があった。

【００２８】また、コンダクタンスを改善するためにオ
リフィス径を大きくすると、開口部の密閉空間の容積が
大きくなり、所定の真空圧にするのに時間がかかるとい
う欠点があった。

【００２９】また、直線駆動２００８の案内部材が旋回
中心と同心に設けられていると、二つの開口部２０１
１、２０１２内の圧力に差が生じた場合において、バラ
ンスが悪くなり旋回アーム２００４への偏荷重の作用に
よりアームが変形するなどの欠点があった。

【００３０】また、図４５に示した従来構成例によれ
ば、マスク板を製作する際のそりや平面度の狂い等によ
り、隣り合うマスク板が互いに密着せず隙間Ｓａが生じ
たり、バリ１１０により隙間Ｓｂが生じたりするという
問題があった。

【００３１】その結果、成膜空間において、生じた隙間
から搬送部の部品が露出するため膜が付着し、その膜が
剥がれて異物不良の原因となることがあった。そのた
め、定期的に装置を停止させて、付着した膜を除去する
メンテナンスを行う必要があった。

【００３２】また、マスク部材は金属を削り出しで製作
するため、コストがかかり、また複雑な形状にすること
は困難であった。

【００３３】また、金属製マスクは生産工程において大
量に必要であり、生産コストのアップになっていた。し
かもマスクに付着した膜が剥がれて異物不良の原因とな
るため、マスクのホーニング、洗浄を必要とし、ランニ
ングコストのアップにもなっていた。

【００３４】また、図４７に示した従来構成例によれ
ば、ガイド部材４５０４とマスキング板４５０２との間
のクリアランスを大きく設定すると、マスキング板４５
０２の姿勢が安定しないという問題があった。一方、ク
リアランスを小さく設定すると、マスキング板４５０２
がガイド部材４５０４に対して接触するようになり、引
っかかりやすくなることから、安定した搬送ができない
という問題があった。

【００３５】また、プロセスチャンバーの成膜空間にお
いて、搬送部の部品が直に露出するためにこれらの部品
に膜が付着して、その膜が分厚く形成され、やがて剥が
れるようになり、異物不良の原因となることがあった。

【００３６】また、マスキング板は金属板を切削機械加
工して製作するために、コストがかかり、また複雑な形
状にすることは困難であった。さらにまた、このように
製造されるマスキング板は重量が大きいために搬送部の
剛性を大きくしなければならず、そのため複雑でコスト
のかかる搬送装置となっていた。

【００３７】また、金属製マスキンング板は生産工程に
おいて大量に必要であり、生産コストのアップになって
いた。しかもマスキング板に付着した膜が剥がれて異物
不良の原因となるために、マスキング板のホーニング、
洗浄を必要とし、ランニングコストのアップにもなって
いた。

【００３８】したがって、本発明は上述した問題点に鑑
みてなされたものであり、その目的とするところは、マ
スキング板と保持手段から発生する塵を基板表面に落下
させることなく、基板に所望の膜を堆積させ、高品質の
膜を得るための真空処理装置における基板搬送装置を提
供することにある。

【００３９】また、本発明のさらなる目的は、余分な膜
が搬送部に付着するのを防ぎ、塵による品質低下を防止
すると共に、メンテナンスを不要にする事にある。

【００４０】また、本発明の目的は、複雑な形状を施し
ても安価に製作でき、大量に製作しても生産コストを低
く抑えることができるとともに、使い捨てにすることも
可能となりマスキング板のホーニング、洗浄を不要と
し、ランニングコストを低く抑えた基板搬送キャリア兼
マスキング部材を提供することにある。

【００４１】また、本発明の目的は、装置を複雑化させ
ることなく基板を装置外部から真空室、成膜処理室へと
送り込み、また短時間で所定の真空圧に到達できる真空
処理装置を提供することにある。

【００４２】また、本発明の目的は、基板の搬送姿勢を
安定にし、引っかかりをなくして安定した搬送が行える
とともに、構造を複雑化させることなく安価な搬送装置
を提供することにある。

【００４３】また、本発明の目的は、余分な膜が搬送部
に付着するのを防ぎ、塵による品質低下を防止すると共
に、メンテナンスを不要にするものである。

【００４４】また、本発明の目的は、基板のマスキング
が同時に行なえて、かつ安定した搬送が行える搬送装置
を提供することにある。

【００４５】また、本発明の目的は、安定した搬送を得
るために複雑な形状を施しても安価に製作できると共
に、保持部材の重量が軽くなることにより剛性を大きく
することなく安価な搬送装置を提供することにある。

【００４６】また、本発明の目的は、安価で安定した搬
送部に真空成膜装置を取り付けることにより、製造コス
トの低い膜を成膜することができるような、搬送装置を
提供することにある。

【００４７】

【００４８】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明によれば、基板をセット
したマスキング板を大気中から減圧投入チャンバー内に
連続供給し、前記減圧投入チャンバーに連通する搬送部
に対して前記マスキング板を受け渡してから、前記基板
の表面上に所定膜を成膜するプロセスチャンバー内を連
続搬送し、前記搬送部に連通する減圧排出チャンバーか
ら前記マスキング板を外部に取出すように構成された真
空成膜プロセス装置であって、一対の開口部を有する第
１の減圧投入チャンバーと、前記第１の減圧投入チャン
バーに対して前記開口部の一方を介して連通して設けら
れるとともに前記マスキング板を略起立状態の姿勢に保
ちつつ前記プロセスチャンバー内を搬送する搬送手段
と、前記搬送手段にに連通して設けられる第２の減圧投
入チャンバーと、前記第１の減圧投入チャンバーの前記
開口部の他方に対して前記マスキング板を供給するため
の第１の移載手段と、前記第１の減圧投入チャンバー内
に配設されてなり、前記一対の開口部の間で旋回駆動さ
れるとともに、前記開口部の他方に供給された前記マス
キング板の両側面部位を把持部により把持して他方の開
口部に移載する第２の移載手段と、一対の開口部を有す
る前記第２の減圧投入チャンバー内に配設されてなり、
前記開口部の他方と前記搬送部の上流側との間で旋回駆
動されるとともに、前記開口部の一方に供給された前記
マスキング板の両側面部位を把持部により把持して移載
する第３の移載手段とを具備することを特徴としてい
る。

【００４９】

【００５０】

【００５１】また、基板をセットしたマスキング板を大
気中から減圧投入チャンバー内に連続供給し、前記減圧
投入チャンバーに連通する搬送部に対して前記マスキン
グ板を受け渡してから、前記基板の表面上に所定膜を成
膜するプロセスチャンバー内を連続搬送し、前記搬送部
に連通する減圧排出チャンバーから前記マスキング板を
外部に取出すように構成された真空成膜プロセス装置用
の搬送キャリア兼マスキング部材において、前記基板を
縦方向の姿勢に保持するとともに、該基板の裏面側に突
出し、キャリア兼マスキング部材を搬送する搬送手段と
係合する係合部を有し、前記基板の外周縁部を被覆する
マスキング部を有する基板搬送キャリア兼マスキング部
材であって、互いに隣り合うマスキング部材と接する部
位における鉛直方向の外形部の、成膜面側で接する稜線
と背面側で接する稜線とが、搬送方向に対して、相対的
に所定距離だけずれるように形成することを特徴として
いる。

【００５２】また、基板をセットしたマスキング板を大
気中から減圧投入チャンバー内に連続供給し、前記減圧
投入チャンバーに連通する搬送部に対して前記マスキン
グ板を受け渡してから、前記基板の表面上に所定膜を成
膜するプロセスチャンバー内を連続搬送し、前記搬送部
に連通する減圧排出チャンバーから前記マスキング板を
外部に取出すように構成された真空成膜プロセス装置で
あって、前記搬送部を前記マスキング板を縦方向の姿勢
に保持するために、前記マスキング板の裏面側から突出
され、左右一対に離間して配置された係合部を有する基
板本体と、前記係合部を支持し、少なくとも一対以上の
ローラによって支持されたエンドレスワイヤーと、前記
エンドレスワイヤーを略鉛直方向に一対以上配置して連
続搬送するように構成することを特徴としている。

【００５３】

【発明の実施の形態】

［第一実施形態］以下に本発明の好適な各実施形態につ
いて、添付図面に基づき具体的に説明すると、図１は本
発明の第一の実施形態に係わる真空処理装置の概略的な
装置構成を示す平面図である。

【００５４】本図において真空処理装置１は中央の搬送
部２において成膜処理部であるＣＶＤ法によるプロセス
チャンバー５が取り付けられている。被成膜体として矢
印方向に順次搬送される基板１０は、図５の正面図に示
すように基板１０の外周領域をマスキングするためのマ
スキング板１１によって予め保持されるとともに、基板
１０の回転中心部となる内周孔部には内周マスキングプ
レート９が嵌合されており、この状態において矢印方向
に搬送されつつ成膜が行われる。

【００５５】再度、図１において、搬送部２および成膜
処理部であるプロセスチャンバー５は、成膜に必要な真
空度で真空空間を形成する密閉構造となっている。

【００５６】搬送部２の左側に配設された入り口部に
は、基板１０をセットした状態のマスキング板１１を複
数投入するための投入チャンバー３が取り付けられてい
る。また、搬送部２の右側の出口部には基板１０を排出
するための排出チャンバー４が取り付けられている。

【００５７】図２は図１のＸ‐Ｘ矢視断面図である。本
図において、投入チャンバー部３の下には、供給ストッ
カーチャンバー７が取り付けられており、ゲートバルブ
装置１２と扉６によって密閉する構造となっている。ゲ
ートバルブ装置１２が閉められた状態で、扉６を開き、
作業者又は不図示の投入手段によりストッカーチャンバ
ー５内に基板１０が投入される。扉６が閉められると、
所定の圧力に減圧される。ゲートバルブ装置１２はフラ
ンジ部１３ｆにＯリング１４が取り付けられており、こ
のＯリング１４が供給ストッカーチャンバー部の上面３
ａ−１と当接する状態になることにより、投入チャンバ
ー部３と供給ストッカーチャンバー部７の間を遮断す
る。

【００５８】このために、フランジ部１３ｆにはバルブ
シャフト１３が取り付けられており、その端部において
ジョイント１７を介して不図示の基部に固定されたシリ
ンダ１８に取り付けられている。以上の構成において、
このシリンダ１８が上下駆動することにより、ゲートバ
ルブ装置１２が開閉するようになっている。また、大気
中に突出しているバルブシャフト１３と、真空状態にな
るように密閉された投入チャンバー部３との間の密閉状
態を常に保つために、直動シール１６が取り付けられて
いる。この直動シール１６には、一般的によく使われる
ベルーズシールや、ウイルソンシールのような物が良
い。

【００５９】不図示の真空装置により所定の圧力に減圧
されると、ゲートバルブ装置１２が起動して、図示の状
態に移動する一方で、テーブル２８上に載置されたマス
キング板１１がテーブル上下駆動機構２０の作用によっ
て図示の位置まで上昇する状態に移行する。

【００６０】このテーブル２８は、テーブルシャフト２
１が取り付けられたスライド板２４に取り付けられてい
る。テーブル上下駆動機構２０はサーボモーター２９と
ボールネジ２６とで構成されている。以上の構成におい
て、サーボモーター２９への通電によりボールネジ２６
が回転されると、ボールネジナット２５が上下移動する
結果、ナット２５が取り付いているスライド板２４が上
下移動するので、マスキング板１１を上昇させる。

【００６１】また、大気中に突出しているテーブルシャ
フト２１と、真空に密閉された供給ストッカーチャンバ
ー部５との間の密閉状態を保つために、直動シール２３
が取り付けられている。この直動シール２３は、一般的
によく使われるベローズシールや、ウイルソンシールの
ような物であってもよい。

【００６２】上記のテーブル上下駆動機構２０によって
上昇させられたマスキング板１１は取り出しハンド５４
によって一枚ずつ取り出されて、受け渡しユニット８に
供給される。受け渡しユニット８は旋回して、受け取っ
たマスキング板１１を搬送バー３３に載せる。

【００６３】このようにして、基板１０を収容したマス
キング板１１は一枚ずつ搬送部２に移載され、搬送部２
によって順次間欠送りされる。そして、搬送部２の中央
部に取りつけられたプロセスチャンバー５を通過する際
に、所望の膜が堆積される。プロセスチャンバー５を通
過して、排出側受け渡しユニット８で基板１０が、搬送
部２から排出チャンバー４に移載される。排出チャンバ
ー部４は投入チャンバー部３と略同様の構造となってお
り、不図示の排出ハンドが排出側受け渡しユニット８よ
り基板１０１を受け取り、旋回してから収納ストッカー
チャンバー部５のテーブル上にマスキング板１１を積み
重ねる。

【００６４】図３は、図１に示す装置構成の搬送部２を
破断して示した正面図であり、下方にモータ４７ａ、ｂ
を設けた様子を示した図である。

【００６５】本図において、搬送部２のチャンバー３１
内には、保持バー３２、搬送バー３３がそれぞれ図中の
矢印方向に移動可能なように支持されている。搬送バー
３３の両端には、ガイドシャフト３５ａ、３５ｂが取り
付けられている。ガイドシャフト３５ａ、３５ｂは、リ
ニアガイド３４ａ、３４ｂによって、チャンバー３１に
対して直線移動可能に支持されている。

【００６６】大気中に突出しているガイドシャフト３５
ａ、３５ｂと、真空に密閉された搬送部チャンバー１１
間の密閉を保つために、直動シール３３ａ、３３ｂが取
り付けられている。この直動シール３３ａ、３３ｂに
は、一般的によく使われるベローズシールや、ウイルソ
ンシールが良い。

【００６７】一対となっているガイドシャフトの片側の
ガイドシャフト１４ａには、連結バー３８が回転可能な
ように軸支されている。この連結バー３８の他端には、
クランクレバー３７が回転可能なように取り付けられて
いる。このクランクレバー３７は、搬送レバー駆動モー
ター３６と不図示のキーとクランプボルトにて固着され
ており、モーター３６の回転駆動力がクランクレバー３
７に伝達されるようになっている。

【００６８】以上の構成において、搬送バー駆動モータ
ー３６が回転すると、このリンク機構により、搬送バー
３３が往復運動される。尚、ここでは一例としてリンク
機構を取りあげたが、ボールネジやラック＆ピニオンな
どのように、直線運動をするものならどのようなもので
あってもよい。

【００６９】続いて、上記のように搬送バー３３が横方
向に往復運動可能なように支持されていたのに対して、
保持バー３２は上下方向に移動可能なように支持されて
いる。このために保持バー３２の両端部側には、ガイド
シャフト４１ａ、４１ｂが取り付けられている。ガイド
シャフト４１ａ、４１ｂは、それぞれリニアガイド４０
ａ、４０ｂによって、チャンバー３１において直線移動
可能なように支持されている。

【００７０】また、大気中に突出しているガイドシャフ
ト４１ａ、４１ｂと、真空に密閉された搬送部チャンバ
ー３１間の密閉を保つために、直動シール３９ａ、３９
ｂが取り付けられている。この直動シールは、一般的に
よく使われるベローズシールや、ウイルソンシールが良
い。

【００７１】ガイドシャフト４１ａ、４１ｂの先端に
は、カムフォロアー４２ａ、４２ｂが回転可能なように
軸支されている。またガイドシャフト４１ａ、４１ｂ
は、バネ４２ａ、４２ｂによって下方に付勢されてい
る。このバネ４２ａ、４２ｂにより、カムフォロアー４
２ａ、４２ｂは保持バー駆動カム４５ａ、４５ｂに当接
されるようになっている。この保持バー駆動カム４５
は、キー４７ａ−１によって保持バー駆動モーター４７
ａ、４７ｂと連結されており、保持バー駆動モーターの
回転力が保持バー駆動カム４５ａ、４５ｂに伝達される
ようになっている。従って、保持バー駆動モーター４７
ａ、４７ｂへの通電により回転すると、保持バー３２が
上下動作することになる。

【００７２】尚、図３では一対のガイドシャフト４１
ａ、４１ｂに対して、それぞれ保持バー駆動モーター４
７ａ、４７ｂが取り付けられていたが、一対のガイドシ
ャフト４１ａ、４１ｂを連結バーなどで連結して、その
中央にカムフォロアーを設けて、一つのカムとモーター
で上下に駆動するように構成することも可能である。

【００７３】図４は、図３のＡ‐Ａ矢視断面図である。
既に説明済みの構成には同一符号を付して説明を割愛し
て相違する構成に限定して述べると、直動シールをベロ
ーズシールにしている。

【００７４】このために、リニアガイド４０ａはベロー
ズシールの内部に取り付けられているが、ベローズシー
ルの外部にあってもよい。また、保持バー３２は、シャ
フト連結ブロック５１によりガイドシャフト４１ａと連
結されている。保持バー３２はガイドシャフト４１ａに
対して、ある傾斜角Θをもって取り付けられている。保
持バー３２は図示のように略コの字形をしており、この
間に搬送バー３３が配置されている。また、搬送バー３
３も同じ傾斜角Θをもって取り付けられている。この傾
斜角Θは、マスキング板１１を安定に搬送できる角度で
あるとともに、成膜に影響を及ぼさない角度であること
が望ましい。

【００７５】次に、図５は基板１０とマスキング板１１
の構成を示す平面図である。また、図６は、図５のＸ‐
Ｘ矢視断面図である。両図において、円形状の基板１０
は外周の周辺領域を被覆するとともに、搬送の際に基板
１０を保持するためのマスキング板１１に取り付けた状
態で固定されている。

【００７６】また、基板１０は内周の周辺領域を被覆す
る、内周マスキング板９が中央部に取り付けられてい
る。マスキング板１１には、保持バー３２と係合するピ
ン１１ａ、搬送バー３３と係合するピン１１ｂが上下対
称位置に設けられている。これにより、マスキング板１
１が上下逆さまでも使えるようになっている。

【００７７】次に、図７は投入チャンバー部３の平面図
であり、図８は図７のＡ‐Ａ矢視断面図である。両図に
おいて、上記の排出チャンバー部４にも略同様に構成さ
れているので、説明は割愛して投入チャンバー部３で代
表して述べる。両図において、受け渡しユニット８は、
受け渡しブロック７８ａ及び旋回ブロック８４ａと駆動
部から構成される。このために、マスキング板１１を受
け渡しする受け渡しブロック８４ａの下部において旋回
ブロック８４ａが取り付いている。この旋回ブロック８
４ａには、旋回シャフト７９ａが固着されており、この
シャフトを矢印方向に回転させると固定されている受け
渡しブロック７８ａが旋回するようになっている。

【００７８】図７において、この旋回シャフト７９ａは
磁気シールユニット８０ａに固着されており、この磁気
シールユニット８０ａによって投入チャンバー部３の密
閉度が保たれるように構成されている。一方、この磁気
シールユニット８０ａの片端はカップリング８１ａを介
してサーボモーター８２ａに接続されている。

【００７９】次に、図９は、取り出しハンド機構の詳細
を示した平面図である。本図において、枠状のベース５
６には旋回軸５７が固定されており、図７に示す二重磁
気シールユニット７０の第一軸に対して固着されてい
る。また、二重磁気シールユニット７０の第二軸にはカ
ムシャフト５８が固着されている。このように構成され
る磁気シールユニット７０によって投入チャンバー部の
密閉度を保つように構成されている。

【００８０】カムシャフト５８は破線図示のベアリング
５９。６０によってベース５６に対して回動可能に支持
されており、また、カムシャフト５８の略中央部位にお
いてベルカム６１が固着されている。

【００８１】フィンガー５３、５４はベース５６に植設
された一対の回転軸６２とフィンガー５３、５４に埋設
された一対のベアリング６３によって、上記のベース５
６に対して回動可能に支持されている。また、フィンガ
ー５３、５４の端部には、一部破線で図示したカムフォ
ロア６９が夫々軸体６８廻りに回動自在に設けられてい
る。

【００８２】また、フィンガー５３、５４にはバネ掛け
６４においてバネ６５が張設されており、上記のカムフ
ォロア６９の夫々がベルカム６１の当接面と当接するよ
うにして従動するように構成されている。以上の構成に
より、ベルカム６１の回動に伴う当接面６１ｂのカムリ
フト量によりフィンガー５３、５４が図９に示すように
開閉するように構成されている。

【００８３】一方、図１０を参照して、フィンガー５
３、５４の先端部には、合計で４個分のフランジ付きベ
アリング６７の軸体６６廻りに回動自在に設けられてお
り、これらのフランジ付きベアリング６７により、マス
キング板１１の縁部を両側からクランプするように構成
されている。即ち、一方のフィンガー５３に取り付けら
れている２個のフランジ付きベアリング６７により、マ
スキング板１１の面取り部を把持する一方で、フィンガ
ー５４に取り付けられている２個のフランジ付きベアリ
ング６７により、マスキング板１１の側面部と当接する
ようにして両側から把持するように構成されている。以
上の作用により、マスキング板１１がフィンガー５３、
５４の把持作用によって上下、左右に自動位置決めされ
るように構成されている。

【００８４】また、図８は取り出しハンド８を受け渡し
ユニット部までマスキング板１１を移動させた状態を示
した図であって、取り出しハンド８のフィンガー５３、
５４は図示のようなＺ字状の横断面形状を有しており、
ストッカー部と受け渡しユニットの間を移動するのに都
合の良い形状となっている。

【００８５】一方、受け渡しブロック７８ａは概コの字
型をしており、上記のように横方向に反復往復駆動され
る搬送バー３３の傾斜角以上に矢印方向に旋回できるよ
うにするために、上記の保持バー３２より奥行きの深い
コの字型となっている。取り出しハンド８により上記の
ようにして把持されたマスキング板１１は、マスキング
板１１に取り付けられている保持バー係合ピン１１ｂの
下面部位と、受け渡しブロック７８ａの上面部位との間
において若干の隙間ができるような位置関係で保持され
ている。

【００８６】以上の構成において、取り出しハンド８の
フィンガー部がアンクランプ状態にされてマスキング板
１１を離す状態にすると、保持バー係合ピン１１ｂが受
け渡しブロック７８ａの上面部位上に自重で落下するの
で、マスキング板１１の受け渡しが行われる。

【００８７】図１１は、受け渡しブロック７８ａが搬送
バー３３の傾斜角と同じ角度まで旋回駆動されて、搬送
バー３３の位置にまで、マスキング板１１を移動させた
状態を示した図である。また、図１２は受け渡しユニッ
ト部と搬送部の外観斜視図である。

【００８８】両図において、マスキング板１１は重力に
より受け渡しブロック７８ａに保持されているが、この
時にマスキング板１１の搬送バー係合ピン１１ａと搬送
バー３３の上面との間には若干の隙間ができるような位
置関係で保持されている。また、受け渡しブロック７８
ａが、搬送バー３３の傾斜角以上にまで旋回駆動される
と、マスキング板１１は搬送バー３３の上面に落下する
ようにして受け渡されるようにしている。

【００８９】［第二実施形態］次に、図１３は本発明の
第二実施形態に係わる真空処理装置の概略的な装置構成
を示す平面図である。本図において、既に説明済みの構
成には同一符号を付して説明を割愛して相違する構成に
限定して述べる。

【００９０】先ず、第一の搬送手段９０は不図示の基板
ストッカーより基板１０を保持したマスキング板１１を
受け取り、真空処理装置のプロセスチャンバー５内へ送
り込むためのものであって、図示のように右側において
配設されている。

【００９１】また、第二の搬送手段１００はチャンバー
１５０に設けられた開口部１５１を介して第一の搬送手
段９０から基板１０を保持したマスキング板１１を受け
取ってから、旋回した後に、第三の搬送手段１５５にマ
スキング板１１を渡すためのものである。

【００９２】この第三の搬送手段１５５はチャンバー１
５０に設けられた開口部１５２を介して第二の搬送手段
１００からマスキング板１１を受け取り、旋回したのち
に成膜処理室５に移送する移送手段２にマスキング板１
１を渡すように構成されている。

【００９３】マスキング板１１は移送チャンバー内の搬
送部２の搬送作用によって、順次矢印方向の下流へと送
られて、プロセスチャンバー５を通過する際に所定の膜
が堆積生成された後に、図中の左側に配設された排出側
の搬送手段１６０、１６２、１６１、１６３とより装置
外へ排出されるように構成されている。

【００９４】チャンバー１５０の二つの開口部１５１、
１５２は、大気圧と成膜に必要な圧力（移送チャンバー
内の圧力）の差を解消するように、圧力勾配を発生させ
る、いわゆる差動排気をするための密閉空間となるもの
である。

【００９５】この密閉空間は、例えばチャンバー１５０
の一つの開口部１５１において、第一の搬送手段９０の
マスキング板１１を保持する保持手段と、第二の搬送手
段１００におけるマスキング板１１を保持する保持手段
がそれぞれ、開口部１５１に当接するように構成され
る。

【００９６】以上のように構成することにより、圧力差
に応じて、例えばより高真空が必要な場合は搬送手段の
数を増やすことで、同じサイクルタイムでより高い高真
空を得ることができるようになる。

【００９７】次に、図１４は図１３における第二の搬送
手段１００の構成を詳細に示した要部断面図である。両
図において、チャンバー１５０内には二つの保持手段１
０１ａ、１０１ｂが設けられており、夫々が旋回アーム
１１６によって支持されている。これらの保持手段１０
１ａ、１０１ｂはマスキング板１１を把持するフィンガ
ー１０４とフィンガーを固定するフランジ部とから構成
されている。マスキング板１１はフィンガー１０４に設
けられた爪１０５によって、クランプされる。フランジ
１０２は、旋回アーム１１６に対して矢印方向に直進移
動が可能に保持されており、旋回アーム１１６側に取り
付けられているブッシュ１０６により案内されている。

【００９８】また、フランジ１０２は、コイルバネ１０
７によって後退側（図中の上方に移動するよう）に付勢
されている。このフランジ１０２がチャンバー１５０の
内面と当接する部分において、フランジ１０２側に環状
のシール１０３が設けられている。

【００９９】このフランジ１０２の後面側には、直線駆
動装置１２０が、フランジ１０２の中心である開口部１
５１の中心と合致するように取り付けられている。

【０１００】また、このフランジ１０２の後面は、直線
駆動装置１２０の押し付けフランジ１０９に設けられた
シール１１０を介して、押し付けフランジ１０９と当接
している。この押し付けフランジ１０９がチャンバー１
５０から大気中に突出している部分は図示のような直動
シール１１１によって密閉状態が保たれている。この直
動シール１１１は、一般的によく使われるベローズシー
ルや、ウイルソンシールが良い。

【０１０１】さらに、この押し付けフランジ１０９の後
面には接続フランジ１１２が設けられており、ジョイン
ト１１４を介して不図示の取り付け板によってチャンバ
ー１５０の外に固定されているシリンダ１１５が取り付
けられている。このシリンダ１１５への所定圧力の供給
により前後駆動することで、押し付けフランジ１０９が
矢印方向に前後移動する。

【０１０２】一方、図１５の外観斜視図を参照して、フ
ランジ１０２の後端部には対称位置において一対の引掛
けブロック１０８が取り付けられている。これは、例え
ばチャンバー１５０の内圧とチャンバー外の圧力の間に
おいて圧力差が大分あって、チャンバー１５０の内圧の
方が高い場合は圧縮状態になっているバネ１０７の復元
力のみではフランジ１０２が戻らない場合に備えて設け
られるものである。

【０１０３】このために押し付けフランジ１０９が上記
のシリンダ１１５の作用により後退する前に、これらの
引掛けブロック１０８が矢印方向に旋回移動した時に図
示のようにフランジ１０９の鍔部１０９ｆの上に位置す
ることで、フランジ１０２を強制的に後退させることが
できるように構成されている。

【０１０４】また、フランジ１１２には、破線図示のポ
ンプ接続口１１３が取り付けられており、不図示のバル
ブを介して真空ポンプに接続されている。また、接続フ
ランジ１１２の内部には、破線で示すように、真空ポン
プにより吸引可能な孔が設けられている。

【０１０５】一方、押し付けフランジ１０９、およびフ
ランジ１０２も中空構造となっている。フィンガー１０
４の中心部においても、同様に破線で示す孔が貫通して
設けられている。

【０１０６】以上の構成において、直線駆動機構１２０
を駆動させて、押し付けフランジ１０９がフランジ１０
２と当接し、かつフランジ１０２がチャンバー１５０と
当接する状態にした後に、不図示のバルブを開くことに
より、開口部１５１中の空間を真空ポンプで引くことが
できるようになり所定圧に減圧することができるように
なる。

【０１０７】また、二つの保持手段１０１ａ、１０１ｂ
は旋回アーム１１６によって矢印方向に移動可能に支持
されている。さらに、この旋回アーム１１６は、旋回支
持部材１１７によってチャンバー１５０に対して回動可
能に支持されている。チャンバー１５０の外部には回転
シール１１８が取り付けられており、これによってチャ
ンバー１５０内部の気密が保たれている。さらに回転シ
ール１１８にはモーター１１９が取り付けられており、
このモーター１１９への通電によって旋回アーム１１６
が旋回するように構成されている。

【０１０８】図１６は直線駆動手段１２０の作用により
フランジが後退した状態を示した要部断面図である。本
図において、既に説明済みの構成には同一符号を付して
説明を割愛して、動作について述べると、バネ１０７に
よって後退側に付勢されているフランジ１０２は、旋回
アーム１１６と当接する状態になって、後退側の位置が
決められる。また、シリンダ１１５のストロークは、そ
の停止位置よりやや下がった位置に設定されているの
で、引掛けブロック１０８との当接面との間において寸
法δの隙間ができる。このように隙間を設けることによ
り、旋回アーム１１６が上記のように旋回しても、押し
付けフランジ１０９の鍔部１０９ｆに干渉して衝突する
ことがなくなるようにしている。

【０１０９】以上説明したように、マスキング板１１を
保持する保持手段を備え、マスキング板１１を送り込む
ためにチャンバーに設けられた一つ以上の開口部に対し
て平行に旋回するように支持され、保持手段を開口部に
当接させるために旋回平面に対し垂直方向に移動可能な
直線駆動手段が開口部の位置に設けられているので、二
つの開口部内に圧力差があってもバランス良くスムーズ
に移動させることができる。

【０１１０】また、直線駆動手段の駆動源は、チャンバ
ー外に設けられているので、搬送手段の重量を軽くする
ことができるし、また旋回のために必要な駆動力を小さ
くすることができる。

【０１１１】さらに、駆動源そのものにはシール機構が
不要となり、また駆動力伝達部のシール構造を簡単にす
ることができる。

【０１１２】また、直線駆動手段により保持手段が開口
部を密閉可能なように、直線駆動手段が保持手段と当接
する部分にシール機構を備え、保持手段が開口部と当接
する部分にシール機構を備えているので容易に密閉空間
をつくることができる。

【０１１３】また、直線駆動手段にポンプ接続口が設け
られているのでコンダクタンスを悪化させることがな
く、ポンプ容量を小さくすることができる。また、所定
の圧力に短時間で到達することができる。

【０１１４】［第三実施形態］添付図により本発明に係
わる真空室内ハンドの構成につき以下に具体的に説明す
る。

【０１１５】図１７は本発明の第一の実施例に係わる真
空処理装置の概略的な装置構成を示した保持手段である
ハンドの平面図である。

【０１１６】本図において、チャンバー１５０の二つの
開口部１５１、１５２は、大気圧と成膜に必要な圧力差
を解消するように、圧力勾配を発生させるための、いわ
ゆる差動排気をするための密閉空間となるものである。

【０１１７】このためにチャンバー１５０の密閉空間
は、例えば一つの開口部１５１において、第一の搬送手
段のマスキンギ板を保持する保持手段と、第二の搬送手
段であるマスキング板を保持する保持手段がそれぞれ、
開口部１５１において当接するように構成される。

【０１１８】したがって、圧力差に応じて、例えばより
高真空が必要となる場合には搬送手段の数を増やしてゆ
けば、同じサイクルタイムでより高真空を達成すること
ができるようになる。

【０１１９】続いて、図１８はハンドの平面図であり、
また図１９は図１８のＡ‐Ａ矢視断面図であってアンク
ランプの状態を示したものである。

【０１２０】両図において、フランジ２０２にはチャン
バー部１５０の開口部１５１、１５２の外周縁部と当接
する際に、密閉性を保つためのシール２０３が設けられ
ている。また、ブロック２０４には、左右一対の支持軸
２０７により夫々回動自在に軸支されているフィンガー
ブロック２０６が取り付けられている。

【０１２１】これらのフィンガーブロック２０６には、
ジョー２０５ａ、２０５ｂが取り付けられている。以上
の二つのフィンガーブロックの間には、一対のバネ掛け
２０９によりバネ２１０が張設されており、お互いのジ
ョー２０５ａ、２０５ｂを閉じる方向に付勢するように
構成されている。

【０１２２】次に、図２０は、図１９のＣ−Ｃ矢視断面
図である。また、図２１は、図１８のＢ−Ｂ矢視断面図
である。

【０１２３】両図において、ブロック２０４にはリニア
ガイドベアリング２１４が設けられており、またフラン
ジ２０２にはガイドシャフト２１３が取り付けられてお
り、ブロック２０４はフランジ２０２に対して移動可能
に構成されている。

【０１２４】このフランジ２０２には、バネ２１５が取
り付けられており、ブロック２０４を押し出す方向に付
勢している。また、リニアガイドベアリング２１４が取
り付けられている部分には、フタ２１６が取り付けられ
ており、ガイド部から発生する塵埃が外部に洩れること
を防いでいる。

【０１２５】図２２は、二つのハンドがチャンバー１５
０に対向して、それぞれ当接している状態と、フランジ
２０２がチャンバー１５０に当接する側の状態を中心線
を挟んで複合的に示した中心断面図である。

【０１２６】本図において、開口部１５１に設けられた
当接部１５１ａに対してブロック２０４が当接する状態
になるまでは、ジョー２０５はバネ２１０により閉じる
方向であるクランプ状態になっている。

【０１２７】一方、当接部１５１ａとブロック２０４と
が当接して、さらに距離ｄだけハンドが前進する状態に
移動されると、フランジ２０２の２０２ａ面がフィンガ
ーブロックに取り付けられているベアリング２０８を押
し上げることになり、フィンファーブロック２０６は支
持軸２０７を中心に回転して、ジョー２０５が開く状態
になり、アンクランプ状態となるように構成されてい
る。

【０１２８】続いて、図２３は、二つのハンドがチャン
バー１５０に対向して、それぞれ当接している状態を示
した中心断面図である。

【０１２９】本図において、二つのフランジ２０２が開
口部１５１を完全に密閉する状態になるように当接した
状態となっており、二つのハンドはマスキング板１１を
それぞれアンクランプする状態となっている。

【０１３０】しかし、マスキング板１１に植設されたピ
ン１１ａ、１１ｂによりマスキング板１１を支えるよう
にできるので、落下することはない。さらに、図２１に
示したバックアップピン２１７によりそれぞれのハンド
側からマスキング板１１を支える状態になっているので
落下防止することができる。

【０１３１】さらにこの状態から、図２２に示すように
どちらか一方のハンドが後退を始めると、そのハンドは
クランプを開始して、距離ｄだけ後退すると、完全にマ
スキング板１１をクランプする状態になる。しかし、こ
のときフランジ２０２のみが後退するので、マスキング
板１１は開口部１５１内において以前として保持された
状態になっている。この状態から、さらに後退して距離
ｄ以上後退すると、マスキング板１１をクランプしたま
まの状態で、一方のハンドが後退し、他方のハンドが把
持していたマスキング板１１を一方のハンドが受け取
り、受け渡しが完了する。 ［第四実施形態］以下に添付図により本発明に係わる基
板搬送キャリア兼マスキング部材について具体的に説明
する。

【０１３２】図２４（ａ）は基板搬送キャリア兼マスキ
ング部材の概略構成を示した正面図である。また、図２
４（ｂ）は、図２４（ａ）のＡ‐Ａ矢視断面図である。

【０１３３】本図において、円形状の基板１０はその外
周の周辺領域を被覆するとともに、搬送の際に基板１０
を保持するためのマスキング板１１に取り付けられてお
り不動状態になるように例えばパチン嵌合により固定さ
れている。

【０１３４】また、基板１０は、内周の周辺領域を被覆
する、内周マスキング板９が中央部において例えばパチ
ン嵌合により取り付けられている。

【０１３５】以上のように構成されるマスキング板１１
には、搬送部に対して係合するピン１１ａ、１１ｂが設
けられている。係合ピン１１ａは、図２４（ｂ）に示す
ように左右の一対分が搬送部によって支持される際に、
脱落しないようにするために一部が切り欠かれた突起部
１１ａ−１、１１ｂ−１が形成された形状となってい
る。また、マスキング板１１と係合ピン１１ａ、１１ｂ
は、高分子材料で一体的に成形されるものである。

【０１３６】次に、図２５は搬送部において、基板１０
を床面に対して略垂直になるように縦方向の姿勢に保ち
つつ、略水平方向に搬送される状態を示した正面図であ
る。また、図２６は、図２５に図示の状態になっている
保持バー３２と搬送バー３３の動作フローチャートを示
す。

【０１３７】両図において、係合ピン１１ａは、図中の
矢印方向に上下運動する保持バー３２に対して係合して
保持される。また、係合ピン１１ｂは、搬送バー３３と
係合するようにして搬送される。

【０１３８】このように搬送するために、係合ピン１１
ａは保持バー３２と係合し、保持されている状態から、
ステップＳ１において保持バー３２が下降すると、係合
ピン１１ｂは搬送バー３３に対して係合する状態にな
り、マスキング板１１が搬送バー３３に載る状態にな
る。

【０１３９】これに続いて、ステップＳ２に進み搬送バ
ー３３が一定ストローク分前進されて、マスキング板１
１をストローク分搬送する。このストロークは、マスキ
ング板１１の外形寸法と同一に設定されている。このよ
うにして、搬送バー３３が前進端にまで到達すると、搬
送バー３３は停止して、ステップＳ３において保持バー
３２が上昇する。このようにして保持バー３２が上昇端
に達すると、搬送バー３３からマスキング板１１が切り
離されて、次のマスキング板１１を搬送するためにステ
ップＳ４において搬送バー３３が後退端に戻る。以上の
動作が終了したかをステップＳ５に於いて判定して、以
降この動作を繰り返し実行してマスキング板１１を一枚
ずつ順次搬送する。

【０１４０】次に、図２７は、保持バー３２に加工形成
された位置決めミゾ２５０の形状の一例を示す図であ
る。図２７（ａ）に示された位置決めミゾ２５０ａは、
Ｖ字型の形状である。また、図２７（ｂ）に示された位
置決めミゾ２５０ｂは、一方が垂直の壁面で、他方は斜
めにカットされた斜面で形成されている。そして、図２
７（ｃ）に示された位置決めミゾ２５０ｃは、位置決め
ミゾ２５０ｂと左右対称の形状をなしているものであ
る。

【０１４１】ここで、搬送バー３３で搬送されたマスキ
ング板１１の位置と、保持バー３２でマスキング板１１
を位置決めする位置の間には当然幾分かのズレがある
が、上記のような形状の位置決めミゾ２５０にすること
で、そのズレ量を吸収できるようになる。また、溝の形
状は上記の形状に限定されず、少なくとも谷部において
ピン１１ａを不動状態で保持できるものであればどんな
形状であってもよい。

【０１４２】また、図２８は、搬送バー３３により搬送
されたマスキング板１１の停止位置と、保持バー３２に
設けられた位置決めミゾ２５０の位置関係を示した正面
図である。本図において、位置決めミゾ２５０の形状と
してＶ字型の形状のもので説明する。

【０１４３】搬送バー３３に搭載されている状態でのマ
スキング板１１の停止位置は、保持バー３２に設けられ
た位置決めミゾ２５０の位置決めセンター位置２５０ｋ
に対して、距離δだけ左側にずれた位置に設定されてい
る。したがって、搬送バー３３により搬送されたマスキ
ング板１１がこの位置で停止して、次に保持バー３２が
上昇してマスキング板１１が上に持ち上げられると、マ
スキング板１１は位置決めミゾ２５０の斜面をすべり、
距離δだけ右側にずれた位置で停止することになる。

【０１４４】図２９は、投入された直後のマスキング板
１１Ａと搬送後のマスキング板１１Ｂの位置関係を示す
図である。

【０１４５】先ず、図２９（ａ）において、移送手段に
より搬送部にマスキング板１１Ａが投入された直後の状
態を示す。また、図２９（ｂ）は、搬送バー３３により
マスキング板１１Ａ（二点鎖線図示）が、マスキング板
の外形寸法のピッチＰで搬送された状態を示しており、
実線図示のマスキング板１１Ｂは、搬送後のマスキング
板の位置を示すものである。この時、係合ピン１１ａの
センター位置は、保持バー３２に設けられている位置決
めミゾ２５０のセンター位置２５０ｋとは、距離δだけ
ズレている。この状態から、保持バー３２が上昇する
と、マスキング板１１Ｂは位置決めミゾ２５０の斜面を
滑り降り、距離δだけズレた位置のセンター位置に位置
決めされる。

【０１４６】図２９（ｃ）は、このようにして位置決め
されたマスキング板１１Ｃの状態を示すものである。以
上の一連の動作により、マスキング板１１Ｃはその左隣
に投入されてくるマスキング板１１Ａとの間において、
隙間δを持つことになる。

【０１４７】従って、次に搬送部に投入されるマスキン
グ板１１Ａは、その隣りに位置しているマスキング板１
１Ｃと干渉することなく投入することができるので、衝
突等が防止できるようになる。

【０１４８】以上の動作は、搬送部の下流側においてマ
スキング板を排出する場合も略同様である。つまり、マ
スキング板１１Ａを上流側から送られてくるマスキング
板とし、マスキング板１１Ｃを排出する位置にあるもの
とすると、前述したようにマスキング板１１Ｃは、上流
側にあるマスキング板１１Ａとは距離δだけズレた位置
において位置決めされることになるので、上流側に位置
するマスキング板１１Ａと干渉することなく排出するこ
とができるようになる。

【０１４９】図３０は、搬送部上流側におけるマスキン
グ板と保持バーの位置決めミゾの位置関係を示す図であ
る。

【０１５０】本図において、Ｗはマスキング板１１に設
けられた保持バー係合ピン１１ａと、保持バー３２に設
けられた一対の位置決めミゾ２５０の谷部の間のピッチ
距離である。またＰは、マスキング板の外形寸法と同寸
法の搬送ピッチである。

【０１５１】先ず、マスキング板１１Ａを位置決めする
ための一対の位置決めミゾ２５０ａと、マスキング板１
１Ｂを位置決めする一対の位置決めミゾ２５０ｂとの距
離は、Ｐ＋αだけ離れている。これにより保持バー３２
によって位置決めされたマスキング板１１Ａとマスキン
グ板１１Ｂは、距離αだけ離れることになる。

【０１５２】また同様に、マスキング板１１Ｂを位置決
めする一対の位置決めミゾ２５０ｂと、マスキング板１
１Ｃを位置決めするための一対のミゾ２５０ｃとの距離
は、Ｐ＋βだけ離れている。これにより保持バー３２に
よって位置決めされたマスキング板１１Ｂとマスキング
板１１Ｃの間は、距離βだけ離れることになる。

【０１５３】一方、マスキング板１１Ｃを位置決めする
一対の位置決めミゾ２５０ｃと、マスキング板１１Ｄを
位置決めする一対の位置決めミゾ２５０ｄとの間の距離
は、Ｐ−Δだけ近ずいている。この距離Δは、マスキン
グ板１１の外形寸法Ｐ±Δの寸法公差分に設定されてい
る。このように設定することにより、マスキング板１１
の外形寸法がＰ−Δであって、より寸法が小さいものが
投入された場合であっても、マスキング板１１Ｃとマス
キング板１１Ｄとの間には隙間が生じないようにしてい
る。一方、マスキング板１１の外形寸法がＰ＋Δと大き
いものが投入された場合には、どちらかのマスキング板
の係合ピン１１ａが位置決めミゾ２５０の斜面上に位置
することになるが、やはりマスキング板１１Ｃとマスキ
ング板１１Ｄとの間には、隙間が生じないようにでき
る。

【０１５４】以下同様に、マスキング板１１Ｄとマスキ
ング板１１Ｅとの間にも隙間が生じないようにできる。

【０１５５】上記の隙間αは、マスキング板１１Ａが投
入されるときに隣のマスキング板１１Ｂと干渉しない寸
法であって、かつ搬送ピッチＰで搬送されたときにマス
キング板１１の係合ピン１１ａが位置決めミゾ２５０の
ミゾ幅に入る距離であれば、如何なる値であってもよ
い。また隙間βは、互いに接し合うマスキング板１１Ｃ
〜１０２Ｅの外形寸法公差が全て最大寸法公差の場合で
あっても、その左側にあるマスキング板１１Ｃが隣のマ
スキング板１１Ｂと干渉しない距離であれば、如何なる
値でも良い。

【０１５６】図３１は、搬送部の全長にわたるマスキン
グ板１１Ａから１１Ｊの位置関係を示す正面図である。
図３０においては、搬送部の上流側について述べたが、
マスキング板を排出する下流側も上流側と同じように、
マスキング板と係合する一対の位置決めミゾのピッチを
変えることにより、隙間α・βを作り、マスキング板１
１Ｊを排出する際の隣り合うマスキング板１１Ｉと干渉
しないように構成されている。

【０１５７】また、中央部において搬送途中のマスキン
グ板１１Ｄ〜１１Ｇは、プロセスチャンバーに対向する
状態になっており、膜が堆積されるものであるが、上記
のようにそれぞれ隣り合うマスキング板１１Ｄ〜１１Ｇ
を密着するようにしているために、背面に位置する搬送
バー３３や保持バー３２には膜が堆積されないようにで
きるので、従来のように頻繁に行われていた清掃作業を
排除することができるようになる。

【０１５８】図３２は、隣り合うマスキング板１１の平
面図である。また、図３３は隣り合うマスキング板１１
の接触部の拡大図である。両図において、マスキング板
１１が搬送される方向に対して直角方向となる外形部
は、基板表面Ｆに対して角度Ａだけ傾斜する平行四辺形
となっている。

【０１５９】マスキング板１１の外形部においてバリ１
１ｋや成形時のひけ等に起因する変形などがあると、隣
り合うマスキング板１１は密着せずに隙間Ｓを持つこと
になる。このような隙間Ｓによる成膜面Ｆ側にできる開
口部Ｈ１と、背面側にできた開口部Ｈ２とは距離Ｌ１だ
けずれを生ずることになる。即ち、成膜面Ｆ側に開口部
Ｈ１が生じてもそこから付着する膜成分は背面側の搬送
部側には光学的に影となるため、搬送部材には不要な膜
が付着しにくくなる。

【０１６０】このように成膜空間部では、隣り合うマス
キング板１１の鉛直方向における外形部が、互いに重な
り合う形になるが、この重なり量の最大値Ｌ２は、図３
１で示されているαよりも小さい値に設定されている。
以上のように設定することにより、マスキング板１１の
投入部３、および排出部４において隣接するマスキング
板１１と互いに干渉する事なく投入、排出を行なうこと
ができるようになる。図３４に別の実施形態を示した正
面図を示す。

【０１６１】本図において、隣り合うマスキング板１１
の外形部は図示のように段状になっており、隣り合うマ
スキング板１１同士が互いに入れ子状となるように外形
部が形成されている。このようにする場合も、成膜面Ｆ
側にできた開口部Ｈ１と、背面側にできた開口部Ｈ２と
は距離Ｌ１だけずれを生ずる。すなわち、成膜面Ｆ側に
開口部Ｈ１が生じても、そこから付着する膜成分は背面
側の搬送部側には光学的に影となるため、搬送部材には
不要な膜が付着しにくくなるようにできる。

【０１６２】また、段状を形成する突出量Ｌ２は、図３
１で示されているαよりも小さい値に設定されている。
これにより、マスキング板１１の投入部、および排出部
では隣接するマスキング板と干渉することなく投入、排
出を行なうことができるようになる。 ［第五実施形態］図３５は真空処理装置の概略的な構成
を示した平面図である。また、図３６は図３５のＡ‐Ａ
矢視の正面図であって、搬送部の構成を示すために要部
を破断した図である。

【０１６３】両図において、既に説明済みの構成には同
一符号を付して説明を割愛して相違する構成について以
下に述べると、搬送部２の中央部には成膜処理部である
プロセスチャンバー５が取り付けられている。基板１０
は、基板１０の外周領域をマスキングするマスキング板
１１によって保持・搬送される。

【０１６４】搬送部２および成膜処理部であるプロセス
チャンバー５は、成膜に必要な真空度で真空空間を形成
するよう密閉構造となっている。

【０１６５】搬送部２の入口部は、マスキング板１１を
投入するための投入チャンバー３が取り付けられてい
る。投入チャンバー３の前後には、ゲートバルブ３０５
ａ、３０５ｂが取り付けられている。大気側ゲートバル
ブ３０５ａを開き、不図示の投入手段で投入チャンバー
３内にマスキング板１１が投入されて、ハンド３０８に
て保持される。

【０１６６】大気側ゲートバルブ３０５ａが閉じられる
と、投入チャンバー３は搬送部２と同真空度になるま
で、不図示の真空ポンプにて排気される。同真空度にな
ると、搬送側ゲートバルブ３０５ｂが開き、投入アーム
３０６によりマスキング板１１が搬送部２に移載され
る。

【０１６７】搬送部２は、一対の駆動プーリー３２２
ａ、３２２ｂと従動プーリー３２３ａ、３２３ｂとの間
に掛けられたエンドレスワイヤー３２１ａ、３２１ｂ及
び駆動側アイドルプーリー３２４ａ、３２４ｂ、３２５
ａ、３２５ｂ及び従動側アイドルプーリー３２６ａ、３
２６ｂ、３２７ａ、３２７ｂとで構成されている。

【０１６８】基板１０を保持しているマスキング板１１
は、この基板の裏面側に突出する係合部を持ち投入アー
ム３０６及びハンド３０８にてエンドレスワイヤー３２
１に掛けられる。

【０１６９】マスキング板１１が一枚ずつ搬送部２に移
載されると、搬送部２によって順次間欠送りされる。搬
送部２の中央部に取り付けられたプロセスチャンバー５
を通過する際に、所望の膜がマスキング板１１上に成膜
される。

【０１７０】プロセスチャンバー５を通過したマスキン
グ板１１は出口部まで搬送されるが、搬送部２の出口部
には、マスキング板１１を排出するための排出チャンバ
ー４が取り付けられている。

【０１７１】搬送側ゲートバルブ３０５ｂが開くと排出
アーム３０７が前進し、排出アーム３０７の先端に取り
付けられたハンド３０８によって、無端ベルト上のマス
キング板１１を保持し、排出アーム３０７が後退するこ
とによって、マスキング板１１が搬送部２から排出チャ
ンバー４に移載される。

【０１７２】次に、搬送側ゲートバルブ３０５ｂが閉じ
られ、排出チャンバー４内は大気圧に戻される。排出チ
ャンバー４内が大気圧に戻されると、大気側ゲートバル
ブ３０５ａが開き、不図示の移送手段によって移送され
る。

【０１７３】このようにして、マスキング板１１で保持
された基板１０は、１枚ずつ投入されて順次間欠送りさ
れ、プロセスチャンバー５を通過する際に所望の膜が成
膜された後に、１枚ずつ排出されるように構成されてい
る。

【０１７４】搬送部２はチャンバー１１により密閉構造
となっている。駆動プーリー３２２は、駆動源であるモ
ーター等の駆動力を伝達するために、軸端部がチャンバ
ー３１１から大気中に突出している。大気中に突出して
いる軸端部と、真空に密閉された搬送部チャンバー３１
１間の密閉を保つために、回転シール３２８が取り付け
られている。この回転シール３２８は、一般的に良く使
われる磁気シールや、ウイルソンシールのような物であ
ってもよい。さらに、回転シールの軸端部には、カップ
リング３２９を介してモーター３３０が接続されてい
る。エンドレスワイヤー３２１に掛けられたマスキング
板１１は、順次搬送されて、プロセスチャンバー５を通
過し、所望の膜が成膜される。

【０１７５】一対のエンドレスワイヤー３２１ａ、３２
１ｂは上下方向に距離ｄだけ離れて配置されている。上
方に位置しているワイヤー３２１ａは、マスキング板１
１の係合ピン１１ａと係合して、マスキング板１１を搬
送するためのワイヤーとして機能するものである。ま
た、下方に位置しているワイヤー３２１ｂは、マスキン
グ板１１の下部を支持して、マスキング板１１が搬送中
において回転するのを防止するものである。

【０１７６】エンドレスワイヤー３２１ａは、アイドル
プーリー３２４ａにて下方に導かれ、さらにアイドルプ
ーリー３２５ａにて従動側へと導かれる。従動側へ戻さ
れたワイヤー３２１ａは、アイドルプーリー３２５ａに
て上方に導かれ、更にアイドルプーリー３２７ａにて従
動プーリー３２３ａヘと導かれる。

【０１７７】エンドレスワイヤー３２１ｂは同様に、ア
イドルプーリー３２４ｂにて下方に導かれるが、エンド
レスワイヤー３２１ａとの干渉を避けるために、距離Ｌ
２だけ離れて従動側に導かれるようにしている。

【０１７８】このようにして、マスキング板１１がプロ
セスチャンバー５を通過する時、マスキング板１１は成
膜両側から見ると、エンドレスワイヤー３２１ａ、３２
１ｂがマスキング板１１の陰になっており、マスキング
板１１以外には存在しないようにできるようになる。ま
た、エンドレスワイヤー３２１ａ、３２１ｂはマスキン
グ板１１を搬送した後において、従動側に戻る際は、プ
ロセスチャンバー５の下部を通過するようにしている。

【０１７９】次に、図３７（ａ）は、基板１０とマスキ
ング板１１の構成を示す図であって、図３７（ｂ）は図
３７（ａ）のＡ‐Ａ矢視断面図である。

【０１８０】本図において、円形状のマスキング板１１
は、その外周の周辺領域を被覆するとともに、搬送の際
に基板１０を保持するためのマスキング板１１に取り付
け固定されている。

【０１８１】また、マスキング板１１は、内周の周辺領
域を被覆する、内周マスキング板９が中央部に取り付け
られている。このマスキング板１１には、エンドレスワ
イヤー３２１と係合するピン１１ａが設けられている。
左右一対の係合ピン１１ａは、エンドレスワイヤー３２
１によって支持される。また、係合ピン１１ａはエンド
レスワイヤー３２１から外れないように、ワイヤーとの
当接面が一部切り欠かれた突起状１１ａ−１を形成して
いる。マスキング板１１と係合ピン１１ａは、高分子材
料で一体的に成形される。

【０１８２】図３８はマスキング板１１と、エンドレス
ワイヤー３２１ａ、３２１ｂを搬送方向側から見た図で
ある。

【０１８３】本図において、マスキング板１１の係合ピ
ン１１ａは、エンドレスワイヤー３２１ａと係合してい
る。また、エンドレスワイヤー３２１ａは、搬送方向に
送られるワイヤーである。また、エンドレスワイヤー３
２１ｂはマスキング板１１の下部を支持して、マスキン
グ板１１が搬送中回転するのを防止するようにしてい
る。

【０１８４】以上のように構成することで、戻り側のワ
イヤーが成膜空間に存在することがないので、成膜余分
な膜が付着しないようにできる。また、マスキング板１
１をエンドレスワイヤー３２１に対して脱着するときの
干渉をなくすようにできる。

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
第１、第２、第３の移載手段と搬送手段を各チャンバー
に設けたことにより、基板の垂直方向での受け渡しが可
能となり、マスキング板を左右方向にクランプすること
が可能となったため、マスク部材と保持手段から発生す
る塵を基板表面に落下させることなく基板に所望の膜を
堆積させ、高品質の膜を得るための真空処理装置におけ
る基板搬送装置を得ることができる。

【０１８５】

【０１８６】また、前記基板は、中央及び周辺領域を被
覆するためのマスク手段に保持されているため、保持手
段により保持するための作用をマスク手段に加えること
ができるので、基板を汚染したり傷つけることなく保持
することができる。

【０１８７】また、本発明によれば、エンドレスワイヤ
ーを用いることにより、装置を複雑化させることなく、
安定した搬送が行えるとともに、成膜時搬送部の部材が
露出しないため、余分な膜が付着せず、クリーンな搬送
を行なうことができるとともに、メンテナンスを不要に
することができる。

【０１８８】また、ワイヤーを使用しているため、ワイ
ヤーの進行方向をアイドルプーリーにて自由にその進行
方向を変えることができる。そのため、アイドルプーリ
ーにて戻り側のワイヤーの位置を、成膜部の下部に配置
することにより、ワイヤーに余分な膜が付着せず、クリ
ーンな搬送を行なうことができるとともに、メンテナン
スを不要にすることができる。

【０１８９】

【０１９０】

【０１９１】

【０１９２】

【０１９３】また、本発明によれば、隣り合う基板搬送
キャリア兼マスキング部材と接する、その鉛直方向にお
ける外形部の、成膜面側で接する稜線と背面側で接する
稜線とが、搬送方向に対して、相対的にある距離だけず
れるよう形成されているため、搬送部材には不要な膜が
付着しなくなる。

【０１９４】その結果、不要な膜を取り除くためのメン
テナンスサイクルを大幅に減少させることができる。

【０１９５】

【０１９６】

【０１９７】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一の実施形態に係わる真空処理装置
の概略構成を示した平面図である。

【図２】図１のＸ‐Ｘ矢視断面図であって、投入チャン
バー部の構成を示した正面図である。

【図３】図１の搬送部２の要部を破断して示した断面平
面図である。

【図４】図３のＡ‐Ａ矢視断面図である。

【図５】基板１０とマスキング板１１の構成を示した平
面図である。

【図６】図５のＸ‐Ｘ矢視断面図である。

【図７】投入チャンバー部の要部を破断して示した平面
図である。

【図８】図７のＡ‐Ａ矢視断面図であって取り出しハン
ドの詳細図である。

【図９】取り出しハンドの平面図である。

【図１０】図９のＸ‐Ｘ矢視断面図であって、取り出し
ハンドにより受け渡しユニット部までマスキング板１１
を旋回させた様子を示した図である。

【図１１】受け渡しブロック７８ａが搬送バー３３の傾
斜角まで旋回して、搬送バー３３の位置にマスキング板
１１を移動させた様子を示した図である。

【図１２】受け渡しユニット部と搬送部の外観斜視図で
ある。

【図１３】本発明の第二の実施形態に係わる真空処理装
置の概略的な装置構成を示す図である。

【図１４】図１３における第二の搬送手段の詳細な図面
である。

【図１５】フランジ１０９の外観斜視図である。

【図１６】直線駆動手段１２０によりフランジ１０９が
後退した状態を示した要部破断図である。

【図１７】本発明の第三実施形態に係わる真空処理ハン
ドの概略的な装置構成を示す保持手段であるハンドの平
面図である。

【図１８】ハンドの底面図である。

【図１９】図１８のＡ‐Ａ矢視断面図である。

【図２０】図１９のＣ‐Ｃ矢視断面図である。

【図２１】図１８のＢ‐Ｂ矢視断面図である。

【図２２】二つのハンドがチャンバー１５０に対向し
て、それぞれ当接している状態と、フランジ２０２がチ
ャンバー１５０に当接する前の状態を複合的に示した断
面図である。

【図２３】二つのハンドがチャンバー１５０に対向し
て、それぞれ当接している状態を示す図である。

【図２４】（ａ）は第四の実施形態に係わるマスキング
板１１の平面図である。（ｂ）は（ａ）のＡ‐Ａ矢視断
面図である。

【図２５】搬送部により、略水平方向に搬送される状態
を示した正面図である。

【図２６】保持バー３２と搬送バー３３の動作フローチ
ャートである。

【図２７】保持バー３２に設けられた位置決めミゾ２５
０の形状例を示す図である。

【図２８】搬送されたマスキング板の停止位置と保持バ
ーに設けられた位置決めミゾの位置関係を示す正面図で
ある。

【図２９】投入されたマスキング板と搬送後のマスキン
グ板の位置関係を示す正面図である。

【図３０】搬送部上流側におけるマスキング板と保持バ
ーの位置決めミゾの位置関係を示す図である。

【図３１】搬送部全長にわたるマスキング板の位置関係
を示す図である。

【図３２】隣り合うマスキング板１１の平面図である。

【図３３】隣り合うマスキング板１１の接触部の拡大図
である。

【図３４】他の実施例を示す図である。

【図３５】第五実施形態に係わる真空処理装置の概略構
成を示す平面図である。

【図３６】図３５のＡ‐Ａ矢視断面図であって搬送部の
構成を示す背面図である。

【図３７】基板１０とマスキング板１１の平面図
（ａ）、（ａ）のＡ‐Ａ矢視断面図（ｂ）である。

【図３８】搬送部を正面から見た図である。

【図３９】投入チャンバー部の従来構成例を示した要部
断面図である。

【図４０】取り出しハンドの従来例を示した平面図であ
る。

【図４１】従来例の取り出しハンドの側面図である。

【図４２】従来例の取り出しハンドの側面の一部断面を
示す図である。

【図４３】従来構成例を示す要部破断図である。

【図４４】従来の他の搬送手段を示す図である。

【図４５】従来構成例を示す平面図である。

【図４６】図４５において、マスキング板の平面図であ
る。

【図４７】従来構成例を示す破断図である。

【符号の説明】

１ 真空処理装置 ２ 搬送部 ３ 投入チャンバー ４ 排出チャンバー ５ プロセスチャンバー ６ 扉体 ７ 蓋供給ストッカーチャンバー ９ 内周マスク板 １０ 基板 １１ マスキング板 ３２ 保持バー ３３ 搬送バー ３４ａ、３４ｂ 直動ガイド ３５ａ、３５ｂ 搬送バーガイドシャフト ３６ 搬送バー駆動モーター ３７ クランクレバー ３８ 連結バー ３９ａ、３９ｂ 直動シール ４０ａ、４０ｂ リニアガイド ４１ａ、４１ｂ 搬送バーガイドシャフト ４２ａ、４２ｂ カムフォロアー ４５ａ、４５ｂ 保持バー駆動カム ４６ａ、４６ｂ 駆動モーター取り付け板 ４７ａ、４７ｂ 保持バー駆動モーター ５０ａ、５０ｂ シール・ガイド取り付け間座 ５１ シャフト連結ブロック ９０ 供給側第一の搬送手段 ９１ａ、９１ｂ 保持手段 １００ 供給側第二の搬送手段 １０１ａ、１０１ｂ 保持手段 １０２ フランジ １０３ シール １０４ フィンガー １０５ 爪 １０６ ブッシュ １０７ バネ １０８ 引掛けブロック １０９ 押し付けフランジ １１０ シール １１１ 直動シール １１２ 接続フランジ １１３ ポンプ接続口 １１４ ジョイント １１５ シリンダ １１６ 旋回アーム １１７ 旋回支持部材 １１８ 回転シール １１９ モーター １２０ 直線駆動手段 １５０ チャンバー １５１ 開口部 １５２ 開口部 ２０２ フランジ ２０３ シール ２０４ ブロック ２０５ 爪 ２０６ フィンガーブロック ２０７ 支持軸 ２０８ ベアリング ２０９ バネ掛け ２１０ バネ ２１１ ピン ２１２ ピン ２１３ ガイドシャフト ２１４ リニアガイドベアリング ２１５ バネ ２１６ フタ ２１７ バックアップピン ２１８ バネ ３０５ａ 大気側ゲートバルブ ３０５ｂ 搬送側ゲートバルブ ３０６ 投入アーム ３０７ 排出アーム ３０８ ハンド ３１１ 搬送部チャンバー ３２１ エンドレスワイヤー ３２２ 駆動プーリー ３２３ 従動プーリー ３２４ アイドルローラー ３２５ アイドルローラー ３２６ アイドルローラー ３２７ アイドルローラー ３２８ 回転シール ３２９ カップリング ３３０ モーター

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) C23C 14/00 - 14/58 C23C 16/00 - 16/56

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板をセットしたマスキング板を大気中
   から減圧投入チャンバー内に連続供給し、前記減圧投入
   チャンバーに連通する搬送部に対して前記マスキング板
   を受け渡してから、前記基板の表面上に所定膜を成膜す
   るプロセスチャンバー内を連続搬送し、前記搬送部に連
   通する減圧排出チャンバーから前記マスキング板を外部
   に取出すように構成された真空成膜プロセス装置であっ
   て、 一対の開口部を有する第１の減圧投入チャンバーと、 前記第１の減圧投入チャンバーに対して前記開口部の一
   方を介して連通して設けられるとともに前記マスキング
   板を略起立状態の姿勢に保ちつつ前記プロセスチャンバ
   ー内を搬送する搬送手段と、前記搬送手段にに連通して
   設けられる第２の減圧投入チャンバーと、 前記第１の減圧投入チャンバーの前記開口部の他方に対
   して前記マスキング板を供給するための第１の移載手段
   と、 前記第１の減圧投入チャンバー内に配設されてなり、前
   記一対の開口部の間で旋回駆動されるとともに、前記開
   口部の他方に供給された前記マスキング板の両側面部位
   を把持部により把持して他方の開口部に移載する第２の
   移載手段と、一対の開口部を有する 前記第２の減圧投入チャンバー内
   に配設されてなり、前記開口部の他方と前記搬送部の上
   流側との間で旋回駆動されるとともに、前記開口部の一
   方に供給された前記マスキング板の両側面部位を把持部
   により把持して移載する第３の移載手段とを具備するこ
   とを特徴とする真空成膜プロセス装置。
2. 【請求項２】 基板をセットしたマスキング板を大気中
   から減圧投入チャンバー内に連続供給し、前記減圧投入
   チャンバーに連通する搬送部に対して前記マスキング板
   を受け渡してから、前記基板の表面上に所定膜を成膜す
   るプロセスチャンバー内を連続搬送し、前記搬送部に連
   通する減圧排出チャンバーから前記マスキング板を外部
   に取出すように構成された真空成膜プロセス装置用の搬
   送キャリア兼マスキング部材において、 前記基板を縦方向の姿勢に保持するとともに、該基板の
   裏面側に突出することで、マスキング部材を搬送する搬
   送手段と係合する係合部を有し、かつ前記基板の外周縁
   部を被覆するマスキング部を有し、互いに隣り合う前記
   マスキング部材と接する部位における鉛直方向の外形部
   の、成膜面側で接する稜線と背面側で接する稜線とが、
   搬送方向に対して、相対的に所定距離だけずれるように
   形成することを特徴とする真空成膜プロセス装置用の基
   板搬送キャリア兼マスキング部材。
3. 【請求項３】 前記マスキング部材は、前記係合部と本
   体部とが高分子材料で一体的に形成されることを特徴と
   する請求項２に記載の真空成膜プロセス装置用の基板搬
   送キャリア兼マスキング部材。
4. 【請求項４】 基板をセットしたマスキング板を大気中
   から減圧投入チャンバー内に連続供給し、前記減圧投入
   チャンバーに連通する搬送部に対して前記マスキング板
   を受け渡してから、前記基板の表面上に所定膜を成膜す
   るプロセスチャンバー内を連続搬送し、前記搬送部に連
   通する減圧排出チャンバーから前記マスキング板を外部
   に取出すように構成された真空成膜プロセス装置であっ
   て、 前記搬送部を前記マスキング板を縦方向の姿勢に保持す
   るために、前記マスキング板の裏面側から突出され、左
   右一対に離間して配置された係合部を有する基板本体
   と、 前記係合部を支持し、少なくとも一対以上のローラによ
   って支持されたエンドレスワイヤーと、 前記エンドレスワイヤーを略鉛直方向に一対以上配置し
   て連続搬送するように構成することを特徴とする真空成
   膜プロセス装置。
5. 【請求項５】前記エンドレスワイヤーは、少なくとも一
   対以上のアイドルローラにより、戻り方向側のワイヤー
   が送り方向側のワイヤーの下部に配置されることを特徴
   とする請求項４に記載の真空成膜プロセス装置。