JP7345229B2 - パレット搬送装置及びパレット搬送方法 - Google Patents

Description

本発明は、流体圧機器が搭載された複数のパレットを搬送レールに搭載して搬送するパレット搬送装置及びパレット搬送方法に関するものである。

従来、製造ラインにおいて、ワークをコンベアにて搬送し、搬送先の工作機がワークに対して所定の加工を行う搬送装置がある。しかしながら、このような従来の搬送装置にあっては、例えばステータ等の重量の大きいワークをコンベアに載せて搬送する場合、ワークを停止させた際にワークに働く慣性力が大きいため、搬送速度を高めることが難しく、ストッパーを介して正確に位置決めすることが難しいという不具合があった。

このような不具合を解消するために、本出願人は工作機に対してワークを載せる複数のパレットを四角形の軌道で搬送するパレット搬送装置を提案した（例えば、特許文献１参照。）。この搬送装置では、複数のパレットをレールに搭載し、その複数のパレットを左パレット送り機構と右パレット送り機構の間に挟持し、そのように挟持された複数のパレットをその状態で一つのパレット分移動させて搬送するようにしている。

特開２００７－２１６２９号公報

ここで、近年では、パレットに流体圧により稼動する流体圧機器を搭載し、その流体圧機器を稼動させた状態でパレットを搬送させようとする要望も高まってきている。

しかし、パレットに流体圧機器を搭載すると、流体を供給し又は流体を吸引して流体圧機器を稼動させる流体供給吸引手段をもパレットに搭載する必要が生じ、パレットの重量が増加するとともに、パレットにおけるワークの搭載エリアが減少して、ワークの効率的な搬送が困難になるという不具合があった。

また、複数のパレットを搬送レールに搭載して搬送する場合にあって、それら複数のパレットにそれぞれ流体圧機器を搭載すると、流体圧機器を稼動させる流体供給吸引手段をもそれら複数のパレットにそれぞれ搭載する必要が生じ、パレットの数と同数の流体供給吸引手段が必要となることから、パレット搬送装置の単価が押し上げられるという未だ解決すべき課題が残存していた。

本発明の目的は、流体圧機器を稼動させる流体供給吸引手段のパレットへの搭載を回避し得るパレット搬送装置及びパレット搬送方法を提供することにある。

本発明の別の目的は、複数のパレットを搬送する場合であっても、単一の流体供給吸引手段にて複数のパレットにそれぞれ搭載された流体圧機器を稼動し得るパレット搬送装置及びパレット搬送方法を提供することにある。

本発明のパレット搬送装置は、流体圧機器が搭載された複数のパレットを移動可能に搭載する搬送レールと、搬送レールに搭載されたパレットを搬送する搬送手段とを備えたパレット搬送装置の改良である。

その特徴ある構成は、内部に流体通路が形成された流体レールが搬送レールに沿って設けられ、流体通路に流体を供給し又は流体通路から流体を吸引する流体供給吸引手段が流体通路に連通して設けられ、流体通路を外部に連通させる通孔が流体レールに複数形成され、流体レールに対向して一又は二以上の通孔を覆う凹部が形成された対向部材が複数のパレットにそれぞれ設けられ、凹部と流体圧機器とを連通させる連通路が複数のパレットにそれぞれ設けられたところにある。

このパレット搬送装置では、流体レール上を転動して流体レールに対向部材を所定の隙間を空けて対向させるローラが対向部材に枢支されることが好ましく、その対向部材を流体レール上に押しつけるサスペンション装置がパレットに設けられることが更に好ましい。また、対向部材の流体レール方向の長さがパレットの流体レール方向の長さと同一又は長くすることもできる。

また、搬送レールに平行に設けられパレットを移動可能に搭載する戻りレールと、戻りレールに搭載されたパレットを搬送方向と逆方向に移動させる戻し手段と、搬送レールに搭載されたパレットを搬送レールの先端から戻りレールの先端に移載する戻りパレット移載機構と、戻りレールに搭載されたパレットを戻りレールの基端から搬送レールの基端に移載する搬送パレット移載機構とを更に備えることもできる。

この場合、搬送手段は、搬送レールに沿って無端で設けられて循環する搬送ベルトと、搬送ベルトを循環させる循環手段と、パレットに設けられパレットと共に搬送ベルトの幅方向に移動して搬送ベルトに係止可能に構成された係止部材とを備えたことが好ましく、戻し手段は、戻りレールに沿って無端で設けられて循環する戻しベルトと、戻しベルトを循環させる循環手段と、パレットに設けられパレットと共に戻しベルトの幅方向に移動して戻しベルトに係止可能に構成された係止部材とを備えたことが好ましい。

別の本発明は、流体圧機器が搭載された複数のパレットを搬送レールに搭載して搬送するパレット搬送方法の改良である。

その特徴有る点は、内部に流体通路が形成され流体通路を外部に連通させる通孔が複数形成された流体レールを搬送レールに沿って設け、流体通路に流体を供給し又は流体通路から流体を吸引し、一又は二以上の通孔を覆う凹部が形成された対向部材を流体レールに対向させ、凹部とパレットに搭載された流体圧機器を連通させて流体圧機器を稼動させつつ対向部材とともにパレットを搬送するところにある。

このパレット搬送方法では、流体レール上を転動するローラを対向部材に枢支して、流体レールに対向部材を所定の隙間を空けて対向させつつパレットを搬送することが好ましく、対向部材を流体レール上に押しつけつつパレットを搬送することもできる。そして、複数のパレットを搬送レールに連続して搭載して、複数のパレットの対向部材を互いに近接させ又は接触させつつパレットを搬送することが更に好ましい。

本発明のパレット搬送装置及びパレット搬送方法では、流体レールを搬送レールに沿って設け、その流体レールに流体供給吸引手段から流体を供給し又は吸引し、その流体レールにパレットに搭載された流体圧機器を連通させて流体圧機器を稼動させつつパレットを搬送するので、流体圧機器を稼動させる流体供給吸引手段のパレット毎への搭載を回避することができる。

また、複数のパレットを搬送レールに搭載して搬送する場合であっても、流体レールを搬送レールに沿って設けることにより、それら複数のパレットに搭載された流体圧機器を流体レールにそれぞれ連結することができる。この結果、単一の流体供給吸引手段であっても、その流体圧供給吸引手段によりその流体レールに流体を供給し又は吸引することにより、複数のパレットにそれぞれ搭載された流体圧機器を同時に稼動させることが可能となる。

本発明実施形態のパレット搬送装置を示す正面図である。 図１のＡ－Ａ線断面図である。 そのパレットの正面を示す図１のＥ部拡大図である。 その搬送レールに搭載されたパレットを上方から見た図である。 そのパレットと循環ベルトとの係合状態を示す図４のＢ－Ｂ線断面図である。 そのパレット移載機構を示す図９のＤ－Ｄ線拡大断面図である。 そのパレット移載機構を示す図１０のＣ－Ｃ線拡大断面図である。 そのパレットを搬送レールに沿って搬送する以前の状態を示す上面図である。 そのパレットを搬送レールに沿って搬送した後であってそのパレットを戻りレールに移動する以前の状態を示す上面図である。 そのパレットを戻りレールに移動した後であってそのパレットを戻りレールに沿って後退させる以前の状態を示す上面図である。 そのパレットを戻りレールに沿って後退させた後であってそのパレットを搬送レールに移動する以前の状態を示す上面図である。

次に本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。

図１ないし図８に、本発明におけるパレット搬送装置１０を示す。各図において、互いに直交するＸ，Ｙ，Ｚの３軸を設定し、Ｘ軸が略水平横方向、Ｙ軸が略水平前後方向、Ｚ軸が鉛直方向に延びるものとし、パレット搬送装置１０の構成について説明する。

図１及び図８に示すように、この実施の形態におけるパレット搬送装置１０は、比較的小さな製品を製造するラインに設けられるものを例示し、この製造ラインは３台の加工ステーション１１～１３がＸ軸方向に所定の間隔で一列に並ぶものを示す。各加工ステーション１１～１３は箱形形状を成し、内部には図示しない工作機が設置される。

そして、各加工ステーション１１～１３における工作機は、パレット搬送装置１０によって搬送されるワーク１４（図２）に対して穴開けやカシメ、溶接等の各種必要な加工を順に行い、図示しない製品を自動的に製造するものとする。このため、この３台の加工ステーション１１～１３を挟むように、その上流側にワーク供給機１６が設けられ、下流側にはワーク１４を回収するワーク回収機１７が設けられるものとする。

この実施の形態におけるパレット搬送装置１０は、図８～図１１に示すように、Ｘ方向に延びて設けられた搬送レール３１と、その搬送レール３１からＹ軸方向に離間してその搬送レール３１と平行に設けられた戻りレール４１と、搬送レール３１に搭載されたパレット２１を搬送させるパレット搬送手段５１と、戻りレール４１に搭載されたパレット２１を搬送方向と逆方向に移動させるパレット戻し手段６１と、搬送レール３１に搭載されたパレット２１を搬送レール３１の先端から戻りレール４１の先端に移載する戻りパレット移載機構７０と、戻りレール４１に搭載されたパレット２１を戻りレール４１の基端から搬送レール３１の基端に移載する搬送パレット移載機構８０とを備える。

図２に示すように、この実施の形態における搬送レール３１は、断面においてＺ軸方向に長い方形を成す支持板３２と、その支持板３２の上縁にねじ止めにより固定された市販の直線運動ガイドレール３３と、支持板３２の下端に溶接された取付板３４とを備える。

図８に示す様に、戻りレール４１にあっても、上記搬送レール３１と同一の構造であって、搬送レール３１における支持板３２と同一の断面形状を有する支持板４２と、その支持板４２の上縁にネジ止めされた市販の直線運動ガイドレール４３と、その支持板４２の下端に溶接された取付板４４とを備える。

この搬送レール３１及び戻りレール４１は、３台の加工ステーション１１～１３を挟んで互いに平行になるように、その両端が架台７１，８１に取付けられるものとする。この架台７１，８１は、３台の加工ステーション１１～１３及びその両側に設けられたワーク供給機１６とワーク回収機１７を挟むように、Ｘ軸方向に離間して設置される。

この架台７１，８１はＹ軸方向に長く形成され、搬送レール３１及び戻りレール４１におけるそれぞれの取付板３４，４４の長手方向の端部が、これらの架台７１，８１に直接ネジ止めされる。これにより、搬送レール３１は、ワーク供給機１６から３台の加工ステーション１１～１３を介してワーク回収機１７までを連結するように、その両端部が架台７１，８１に取付けられる（図１及び図８）。

搬送レール３１と戻りレール４１はそれぞれパレット２１を移動可能に搭載するものであって、その搬送レール３１や戻りレール４１に搭載されるパレット２１は、図２に示すように、搬送レール３１や戻りレール４１における直線運動ガイドレール３３，４３を跨いでそれらの直線運動ガイドレール３３，４３上を移動可能に構成された直線運動ブロック２２と、そのブロック２２にねじ止めされた台座２３とを有し、その台座２３の下側であって、搬送レール３１や戻りレール４１に沿う両側には係止部材２４がそれぞれ設けられる。

この直線運動ブロック２２は搬送レール３１や戻りレール４１における直線運動ガイドレール３３，４３と対に販売される市販のものであって、図４に示すように、台座２３に対して直線運動ブロック２２が２個、Ｘ軸方向に離間して設けられる。この直線運動ブロック２２を用いることにより、その幅方向（Ｙ軸方向）の移動を禁止しつつパレット２１が搬送レール３１や戻りレール４１上を移動する抵抗を軽減するものであり、これによりパレット２１は搬送レール３１や戻りレール４１に移動可能に搭載されることになる。

図２に示す様に、パレット２１における台座２３には流体圧機器２６が搭載される。図に示す流体圧機器２６は、ワーク１４を吸着するためのものであって、パレット２１における台座２３に取付治具２７を介して、その台座２３の上方に鉛直方向に延びて設けられるものを例示する。これによりパレット２１は、この流体圧機器２６を介してワーク１４を吸着して保持するように構成される。なお、図示しないワーク１４は、各加工ステーション１１～１３において加工されるものであって、図２では、流体圧機器２６において吸着可能な平板を例示するものとする。

図１及び図８に示す様に、搬送レール３１に搭載されたパレット２１を搬送するこの実施の形態におけるパレット搬送手段５１は、搬送レール３１に搭載されたパレット２１と係止可能に構成され、搬送レール３１に沿って無端で設けられて循環する搬送ベルト５２を備えるものを示す。

即ち、搬送レール３１の両端部を支持する架台７１，８１には、その搬送レール３１の延長上に第１及び第２支持台５３，５４が設けられ、それらの第１及び第２支持台５３，５４には同形同大の第一及び第二プーリ５５，５６が設けられる。搬送ベルト５２は、その第一及び第二プーリ５５，５６に掛け渡されて、その第一及び第二プーリ５５，５６の回転により搬送レール３１に沿って循環可能に設けられる。

このため、この搬送ベルト５２は、図１に示す様に、搬送レール３１に沿って、上下に第一及び第二プーリ５５，５６の外径に略等しい間隔を開けて設けられることに成り、図２に示す様に、搬送レール３１には、第一及び第二プーリ５５，５６に掛け回された搬送ベルト５２の下側における搬送ベルト５２ｃを支持してその下側の搬送ベルト５２ｃの弛みを抑制するベルトレール５７と、上側の搬送ベルト５２ｄが撓むことを防止する支持レール５８とが設けられる。

即ち、搬送レール３１における支持板３２には、ベルトレール５７を搬送レール３１に取付ける第一取付部材５７ａが、支持板３２の長手方向に所定の間隔を空けて複数設けられ、この複数の第一取付部材５７ａを介してベルトレール５７が搬送レール３１に取付けられる。また、この支持板３２には、支持レール５８を搬送レール３１に取付ける第二取付部材５８ａが、支持板３２の長手方向に所定の間隔を空けて複数設けられ、この複数の第二取付部材５８ａを介して支持レール５８が搬送レール３１に取付けられる。

一方、この実施の形態における搬送ベルト５２は、いわゆる歯付きベルトである。図５に示すように、歯付きベルトである搬送ベルト５２は、幅方向に延びる凹凸５２ａ，５２ｂが長手方向に交互に連続する搬送ベルト５２であって、その凹凸５２ａ，５２ｂに係合可能な被凹凸２４ａ，２４ｂがパレット２１における係止部材２４に形成される。

即ち、図２及び図５に示すように、搬送レール３１にパレット２１が搭載されると、支持レール５８に支持された上側の搬送ベルト５２ｄに係止部材２４が上側から重合する様に構成され、その重合状態で、搬送ベルト５２に形成された凹凸５２ａ，５２ｂが係止部材２４における被凹凸２４ａ，２４ｂに係合する様に構成される。そして、支持レール５８は、上側の搬送ベルト５２ｄが撓んで、凹凸５２ａ，５２ｂと被凹凸２４ａ，２４ｂとの係合が解除されることを防止するように、ワーク供給機１６とワーク回収機１７の間の搬送方向の全長に亘って設けられる。

図５に示す様に、パレット２１における係止部材２４は、長手方向に連続して形成された被凹凸２４ａ，２４ｂが搬送ベルト５２における凹凸５２ａ，５２ｂに係合可能であるので、パレット２１における被凹凸２４ａ，２４ｂがそれらの凹凸５２ａ，５２ｂに係合すると、搬送ベルト５２と独立したパレット２１の移動は禁止され、これによりパレット２１は搬送ベルト５２に係止される。

図１及び図８に示すように、パレット搬送手段５１は、その搬送ベルト５２を循環させる循環手段５９を備える。この実施の形態における循環手段は、第１プーリ５５を回転駆動する電気駆動式のサーボモータ５９である。そして、その回転軸５９ａに第１プーリ５５が取付けられたサーボモータ５９が架台７１に立設された支持台５３に取付けられるものとする。

このサーボモータ５９には図示しないコントローラからの制御出力が接続され、このコントローラからの指令によりそのサーボモータ５９が駆動すると、その回転軸５９ａとともに第１プーリ５５が回転し、第１プーリ５５と第２プーリ５６の間に掛け回された搬送ベルト５２を循環させ、そこに係止されたパレット２１を搬送レール３１に搭載した状態で搬送するように構成される。

図８～図１１に示すように、戻りレール４１に搭載されたパレット２１を搬送方向と逆方向に移動させて戻すパレット戻し手段６１にあっても、上記パレット搬送手段５１と同一構造で有り、戻りレール４１に搭載されたパレット２１と係止可能に構成されて、戻りレール４１に沿って無端で設けられて循環する戻しベルト６２を備える。

戻りレール４１の両端部を支持する架台７１，８１には、その戻りレール４１の延長上に第３及び第４支持台６３，６４が設けられ、その第３及び第４支持台６３，６４には第３及び第４プーリ６５，６６が設けられる。戻しベルト６２は、戻りレール４１の両端の延長上に設けられた第３及び第４プーリ６５，６６に掛け渡される。

その戻しベルト６２を循環させる循環手段にあっては、後退方向の基端における第４支持台６４に取付けられた第４プーリ６６を回転駆動するサーボモータ６９であって、パレット搬送手段５１と同様に、この戻りレール４１には、下側のベルトを支持する図示しないベルトレールと、上側の戻しベルト６２ｄが撓むことを防止する支持レール６８とが設けられる。

この戻しベルト６２は、パレット搬送手段５１における搬送ベルト５２と同様ないわゆる歯付きベルトであり、この戻しベルト６２は、幅方向に延びる凹凸６２ａ，６２ｂが長手方向に交互に連続して形成され、その凹凸６２ａ，６２ｂに係合可能な被凹凸２４ａ，２４ｂがパレット２１における他方の係止部材２４に形成される（図７）。

具体的に、図２に示すように、係止部材２４はパレット２１における台座２３の下側に直線運動ブロック２２を挟むように両側に設けられるけれども、図１０に示す様に、パレット２１が戻りレール４１に連続すると、図７に示す様に、その内の他方の係止部材２４が戻しベルト６２に対向するように設けられる。そして、この係止部材２４の被凹凸部２４ａ，２４ｂは、戻しベルト６２の幅方向に移動して、戻しベルト６２の凹凸６２ａ，６２ｂに上方から係合するように形成される。

図８～図１１に示す様に、搬送レール３１と戻りレール４１の先端側が取付けられた先端側の架台７１には、搬送レール３１に搭載されたパレット２１を搬送レール３１の先端から戻りレール４１の先端に移載する戻りパレット移載機構７０が設けられ、搬送レール３１と戻りレール４１の基端側が取付けられた基端側の架台８１には、戻りレール４１に搭載されたパレット２１を戻りレール４１の基端から搬送レール３１の基端に移載する搬送パレット移載機構８０が設けられる。

両者は同一構造で有り、Ｘ軸方向に離間して設けられたそれぞれの架台７１，８１はＹ軸方向に延びて設けられる。搬送レール３１及び戻りレール４１の端縁とその延長上に設けられた支持台５３，５４，６３，６４との間の間隔Ｌ（図８）は、パレット２１における台座２３の搬送方向における幅Ｗ１（図８）より広くなるように形成される。そして、戻りパレット移載機構７０と搬送パレット移載機構８０は、搬送レール３１及び戻りレール４１の端縁とその延長上に設けられた支持台５３，５４，６３，６４との間の間隔Ｌを塞ぐ可動体７２，８２をそれぞれ備える。

可動体７２，８２は、搬送レール３１及び戻りレール４１の端縁と支持台５３，５４，６３，６４との間に収容された状態で、その搬送レール３１や戻りレール４１における支持板３２，４２に連続する台板７２ａ，８２ａと、それらの台板７２ａ，８２ａの上縁に取付けられてガイドレール３３，４３に連続する短レール７２ｂ，８２ｂとをそれぞれ備える。

短レール７２ｂ，８２ｂはガイドレール３３，４３と同一の断面形状を有し、搬送レール３１及び戻りレール４１の端縁と支持台５３，５４，６３，６４との間を可動体７２，８２が塞いた状態で、ガイドレール３３，４３上を移動したパレット２１が短レール７２ｂ，８２ｂにまで移動可能に構成され、これにより、これらの可動体７２，８２はそのように移動したパレット２１を搭載可能に構成される。

戻りパレット移載機構７０と搬送パレット移載機構８０は同一構造であり、それぞれの架台７１，８１上にＹ軸方向に延びて可動体７２，８２を搭載可能に設けられた一対のレール７３，８３と、その一対のレール７３，８３に移動可能に設けられた台部材７４，８４と、その台部材７４，８４に螺合されてレール７３，８３に平行に設けられたボールネジ７５，８５と、そのボールネジ７５，８５を回転させるモータ７６，８６とをそれぞれ備える。そして、それぞれの台部材７４，８４に可動体７２，８２における台板７２ａ，８２ａが立設される。

このような構成の戻りパレット移載機構７０と搬送パレット移載機構８０では、モータ７６，８６を駆動させてボールネジ７５，８５を回転させることにより、一対のレール７３，８３に搭載された台部材７４，８４を可動体７２，８２とともに、そのレール７３，８３に沿って移動可能に構成されたものとなる。

このため、戻りパレット移載機構７０では、搬送レール３１の先端に連続する可動体７２を戻りレール４１の先端に連続する位置まで移動可能となり、図６及び図９に示す様に、搬送レール３１の先端から飛び出したパレット２１を可動体７２に移動して搭載し、図７及び図１０に示す様に、その可動体７２をＹ軸方向にパレット２１とともに搬送レール３１の先端から戻りレール４１の先端にまで移動させ、その可動体７２から戻りレール４１の先端にパレット２１を再び移動させることにより、パレット２１を、搬送レール３１の先端から戻りレール４１の先端に移載するように構成される。

一方、搬送パレット移載機構８０では、戻りレール４１の基端に連続する可動体７２を、搬送レール３１の基端に連続する位置まで移動となり、図１１に示す様に、戻りレール４１の基端から飛び出したパレット２１を可動体８２に移動して搭載し、図８に示す様に、その可動体８２をＹ軸方向にパレット２１とともに戻りレール４１の基端から搬送レール３１の基端にまで移動させ、その可動体８２から搬送レール３１の基端にパレット２１を再び移動させることにより、パレット２１を、戻りレール４１の基端から搬送レール３１の基端に移載するように構成される。

図８に示す様に、この実施の形態では、３台の加工ステーション１１～１３を挟むようにワーク供給機１６とワーク回収機１７とが設けられ、このワーク供給機１６とワーク回収機１７は加工ステーション１１～１３と同一のピッチＰで設けられるものとする。そして、搬送レール３１及び戻りレール４１の端縁に連続して設けられた可動体７２，８２にあっても、ワーク供給機１６やワーク回収機１７から同一のピッチＰで設けられるものとする。

図１～図４に示すように、このパレット搬送装置１０は、内部に流体通路９１ｄが形成された流体レール９１を備える。この流体レール９１は搬送レール３１に沿って設けられるものであって、長尺上の基材９１ａと、その基材９１ａ上に取付けられた蓋板９１ｂとを備える。

図２及び図３に詳しく示す様に、支持板３２には支持具９１ｃが設けられ、この支持具９１ｃを介して基材９１ａが搬送レール３１に平行に取付けられる。この基材９１ａの蓋板９１ｂにより覆われる上面には長手方向に延びる凹溝９１ｄが形成され、図１に示すように、基端側の架台８１には、この凹溝９１ｄに流体を供給し又はこの凹溝９１ｄから流体を吸引する流体供給吸引手段９２が設けられる。

この実施の形態における流体供給吸引手段９２は、流体であるエアを吐出又は吸引する流体ポンプ９２であり、この流体ポンプ９２の吐出吸引口には連通管９２ａの一端が取付けられ、この連通管９２ａの他端が凹溝９１ｄに開放するように基材９１ａに取付けられる。これにより流体供給吸引手段９２である流体ポンプは、蓋板９１ｂにより覆われる基材９１ａの流体通路を構成する凹溝９１ｄに流体を供給し又はその凹溝９１ｄから流体を吸引する様に構成される。

そして、図１の拡大図に示すように、蓋板９１ｂには、凹溝９１ｄに連通する通孔９１ｅが上下に貫通して形成される。この通孔９１ｅは流体レール９１の長手方向に所定の間隔Ｔを開けて連続して複数形成される。

一方、図２及び図３に詳しく示すように、流体レール９１に対向して一又は二以上の通孔９１ｅを覆う凹部９３ａが形成された対向部材９３が複数のパレット２１にそれぞれ設けられる。図３に示すように、この対向部材９３の長さＷ２は、パレット２１における台座２３の搬送レール３１方向の幅Ｗ１より長い棒状部材であって、その断面は方形を成して、流体レール９１に対向する側に、長手方向に延びて複数の通孔９１ｅの間隔Ｔより長い長さＭの凹部９３ａが形成される。

図における対向部材９３は、サスペンション装置９４を介してパレット２１における台座２３に設けられる。このサスペンション装置９４は、対向部材９３を流体レール９１に押しつけるように付勢するものであって、パレット２１における台座２３の係止部材２４が取付けられた外側には、鉛直方向に向けて支持軸９４ａが貫通して軸方向に移動可能に設けられる。

図３に示す様に、支持軸９４ａは、その下端に対向部材９３が取付けられるものであって、単一の対向部材９３は２本の支持軸９４ａにより支持されるものとする。単一の対向部材９３を支持する台座２３の側縁には、その搬送レール３１の長手方向に所定に間隔を開けて２本の支持軸９４ａが設けられ、この２本の支持軸９４ａの下端に単一の対向部材９３が取付けられるものとする。ここで、図の符号９４ｂは、台座２３に設けられて、支持軸９４ａを軸方向に移動可能に支持するスライドブッシュ９４ｂを示す。

対向部材９３と台座２３の間の支持軸９４ａには、付勢手段となるコイルスプリング９４ｃが圧縮された状態で介装され、このコイルスプリング９４ｃの伸長しようとする力は、パレット２１における台座２３から対向部材９３を離間させる方向に作用して、その対向部材９３が流体レール９１に対向していたのであれば、その対向部材９３を流体レール９１に押しつけるように構成される。

このため、図６及び図７に示すように、対向部材９３に流体レール９１が対向していないと、支持軸９４ａはコイルスプリング９４ｃの付勢力によりＺ軸方向下方に移動することになる。けれども、パレット２１における台座２３を貫通した支持軸９４ａの上部にはリング状物９４ｄが取付けられる。このリング状物９４ｄは、支持軸９４ａが対向部材９３と共に下昇して、このリング状物９４ｄがパレット２１における台座２３の上面に当接すると、支持軸９４ａのそれ以上の下昇を禁止するように構成される。よって、このリング状物９４ｄは、対向部材９３における可動範囲を制限するものとなる。

図３及び図４に示すように、対向部材９３の流体レール９１方向の長さＷ２は、パレット２１における台座２３の流体レール９１方向の長さＷ１より長く形成され、この実施の形態では、対向部材９３の長さＷ２は、加工ステーション１１～１３が設けられるピッチＰと同一又は僅かに小さくなるように形成される。

そして、この対向部材９３には、流体レール９１上を転動してその流体レール９１に対向部材９３を所定の隙間を空けて対向させるローラ９６が枢支され、図１の拡大図に示す様に、流体レール９１の基端側の上面には、このローラ９６が転動して、対向部材９３を流体レール９１の上面に案内する傾斜面９１ｆが形成される。そして、この実施の形態では、一対のローラ９６が支持軸９４ａ近傍の対向部材９３に枢支されるものとし、所定の隙間とは０～０．１ｍｍ程度とされるものとする。

対向部材９３には、その凹部９３ａに連通する連通部材９３ｂが設けられ、この連通部材９３ｂと流体圧機器２６とは連通管９３ｃにより連通される。即ち、連通管９３ｃは、その一端が連通部材９３ｂを介して凹部９３ａに開放するように取付けられ、その他端は流体圧機器である吸着ノズル２６に連結されるものとする。このようにして、パレット２１には、搬送レール３１に搭載された状態で流体レール９１と流体圧機器２６とを連通させる連通路が形成される。

従って、流体供給吸引手段であるポンプ９２（図１）を駆動させ、例えば、蓋板９１ｂにより覆われる凹溝９１ｄ内のエアを吸引して負圧にすると、図２に示す様に、その凹溝９１ｄに通孔９１ｅを介して対向する対向部材９３の凹部９３ａにおける流体は吸引されることになる。そして、凹部９３ａには連通管９３ｃを介して流体圧機器２６が連通しているので、凹部９３ａにおける流体が吸引されると、連通管９３ｃを介して連通する流体圧機器２６は、ワーク１４をその下端において吸着する様に構成される。

そして、歯付きベルトである搬送ベルト５２は、搬送レール３１に搭載されたパレット２１が係止可能に構成されているので、サーボモータ５９（図８）を駆動させてパレット２１が係止された搬送ベルト５２を循環させると、ワーク１４をその下端において吸着する流体圧機器２６が設けられたパレット２１を、搬送ベルト５２が沿う搬送レール３１に沿って搬送するように構成される。

次に、上記パレット搬送装置を用いた本発明におけるパレット搬送方法を説明する。

本発明におけるパレット搬送方法は、流体圧機器２６が搭載された複数のパレット２１を搬送レール３１に搭載して搬送するパレット搬送方法である。

上記パレット搬送装置１０では、図８に示す様に、戻りレール４１が搬送レール３１と平行に設けられているので、搬送レール３１に搭載されたパレット２１を搬送させた後には、その搬送レール３１の先端からパレット２１を戻りレール４１の先端に移載した後に戻りレール４１の基端側まで後退させ、その後に、そのパレット２１を搬送レール３１の基端側に戻すことにより、複数のパレット２１を循環するように搬送する方法となる。

また、上記パレット搬送装置１０では、図３に示すように、内部に形成された流体通路９１ｄを外部に連通させる通孔９１ｅが搬送レール３１方向に所定に間隔Ｔを開けて複数形成された流体レール９１を搬送レール３１に沿って設けているので、搬送レール３１に搭載したパレット２１の搬送にあっては、凹溝９１ｄからなる流体通路に流体を供給し又はその流体通路９１ｄから流体を吸引し、一又は二以上の通孔９１ｅを覆う凹部９３ａが形成された対向部材９３を流体レール９１に対向させ、凹部９３ａとパレット２１に搭載された流体圧機器２６を連通させて流体圧機器２６を稼動させつつパレット２１を対向部材９３とともに搬送することを特徴とする。

循環するように複数のパレット２１を搬送させることから説明すると、先ず、搬送レール３１に複数のパレット２１を搭載することから始められる。このパレット２１の搭載にあっては、先ずパレット２１を搬送レール３１の基端側、即ち基端側架台８１において搭載するけれども、パレット２１を搬送レール３１に搭載すると、パレット７１における係止部材２４が搬送ベルト５２に重合することになる。

このように搬送レール３１の基端側からパレット２１を搭載した後には、搬送ベルト５２を循環させて既に搭載されたパレット２１を所定のピッチＰだけ搬送する。そして、搬送レール３１の基端側から新たにパレット２１を搬送レール３１に搭載する。このようなことを繰り返して、図８に示す様に、複数のパレット２１（この実施の形態では６台）を搬送レール３１に加工ステーション１１～１３のピッチＰと同一のピッチＰで搭載する。

ここで、パレット２１に設けられた対向部材９３の長さが所定のピッチＰと同一又は僅かに小さいようなものであるならば、この対向部材９３を接触させるようにパレット２１を搬送レール３１に順次搭載することにより、比較的容易にパレット２１を所定のピッチＰで搭載することが可能となる。

次に、複数のパレット２１が循環するように搬送される状態を説明する。

図８に示す状態から搬送レール３１に沿う搬送ベルト５２を循環させると、所定のピッチＰを保った状態で複数のパレット２１は前進し、所定のピッチＰだけ前進すると、図９に示す様に、先頭のパレット２１は搬送レール３１の先端から飛び出す。このため、搬送レール３１の先端に可動体７２が連続していると、図６に示す様に、搬送レール３１におけるガイドレール３３上を移動したパレット２１は可動体７２の短レール７２ｂにまで移動して先頭のパレット２１は可動体７２に搭載される。

次に、戻りパレット移載機構７０により、図７及び図１０に示す様に、可動体７２に搭載されたパレット２１を戻りレール４１の先端にまで移動させる。具体的には、モータ７６を駆動させてボールネジ７５を回転させて、可動体７２をＹ軸方向に移動させ、その可動体７２を搬送レール３１の先端に連続する図６に示す状態から、図７に示す様に、戻りレール４１の先端に連続する位置まで移動させる。その後、その可動体７２から戻りレール４１の先端にパレット２１を再び移動させることにより、パレット２１を、搬送レール３１の先端から戻りレール４１の先端に移載する。

ここで、パレット２１が搭載された可動体７２をパレット２１と共に、搬送ベルト５２に直交するＹ軸方向に移動させると、パレット２１の係止部材２４における被凹凸２４ａ，２４ｂは搬送ベルト５２の幅方向に延びる凹凸５２ａ，５２ｂからその幅方向にずれて外れるので、パレット２１と搬送ベルト５２の係合は解消される。

そして、そのパレット２１を可動体７２と共にＹ軸方向に移動させて戻りレール４１に連続させ、その可動体７２，８２を戻りレール４１と一直線上にすると、戻しベルト６２の幅方向にパレット２１が移動することから、そのパレット２１における係止部材２４は戻りレール４１に沿って設けられた戻しベルト６２に新たに係止されることになる。

このため、いわゆる歯付きベルトからなる搬送ベルト５２や戻しベルト６２を用いることにより、そのパレット２１を可動体７２と共にＹ軸方向に移動させることに支障を生じさせずに、パレット２１の搬送ベルト５２や戻しベルト６２との新たな係合を容易にすることが可能となる。

次に、そのパレット２１を搬送方向と逆方向に移動させて戻りレール４１に搭載させる。そのために、パレット戻し機構６１におけるサーボモータ６９を駆動させて、戻しベルト６２を循環させると、可動体７２に搭載されたパレット２１は、戻りレール４１の先端縁からその先端部に移動するので、これにより、パレット２１は、搬送レール３１の先端から戻りレール４１の先端に移載されることになる。

このように、パレット２１が戻りレール４１の先端に移載された後にあっても、パレット戻し機構６１が戻しベルト６２の循環を継続させると、可動体７２から戻りレール４１上に移動したパレット２１は、その戻りレール４１上を更に後退することになり、このパレット２１の後退は、そのパレット２１が戻りレール４１の基端に達するまで行われる。

図１１に示す様に、戻りレール４１の基端側に搬送パレット移載機構８０における可動体８２を収容させてパレット２１を後退させると、戻りレール４１に搭載されて後退するパレット２１は搬送パレット移載機構８０における可動体８２にまで移動してそこに搭載されることになる。

次に、搬送パレット移載機構８０により、戻りレール４１から移動して可動体８２に搭載されたパレット２１を戻りレール４１の基端から搬送レール３１の基端に移動させる。具体的には、搬送パレット移載機構８０におけるモータ８６を駆動させてボールネジ８５を回転させて、可動体８２をＹ軸方向に移動させ、可動体８２を戻りレール４１の基端に連続する図１１に示す状態から、図８に示すように、搬送レール３１の基端に連続する位置まで移動させる。

その後、その可動体８２から搬送レール３１の基端にパレット２１を再び移動させることにより、パレット２１を、戻りレール４１の基端から搬送レール３１の基端に移載する。即ち、搬送レール３１に可動体８２が連続する状態で、その可動体８２は搬送レール３１と一直線上になり、そのパレット２１は搬送レール３１に沿って設けられた搬送ベルト５２に新たに係止することになる。従って、搬送レール３１に連続する可動体８２に搭載されたパレット２１は、搬送ベルト５２の循環により再び搬送可能となり、このパレット２１を搬送レール３１の基端に移載する。これにより、このパレット２１を含む複数のパレット２１は平面内で方形に循環することになる。

次に、流体圧機器を稼動させつつパレットを搬送させることを説明する。

即ち、図１に示す様に、搬送レール３１に搭載されたパレット２１の搬送にあっては、それに沿うように設けられた搬送ベルト５２を循環させつつ、流体レール９１の流体通路である凹溝９１ｄに流体を供給し又はその凹溝９１ｄから流体を吸引し、その凹溝９１ｄにパレット２１に搭載された流体圧機器２６を連通させて流体圧機器２６を稼動させつつパレット２１を搬送することになる。

具体的に、図１の拡大図に示す様に、ワーク供給機１６に対峙する流体レール９１には、流体通路である凹溝９１ｄが形成されており、その凹溝９１ｄを覆うように基材９１ａに載置された蓋板９１ｂには複数の通孔９１ｅが形成されているので、先ず、流体供給吸引手段９２である流体ポンプを駆動させて、蓋板９１ｂにより覆われる凹溝９１ｄの内部のエアを吸引して、その凹溝９１ｄの内部を負圧にさせておく。

この状態で、パレット２１をワーク供給機１６に対峙させると、パレット２１には、複数の通孔９１ｅを覆う凹部９３ａが形成された対向部材９３が設けられるので、流体レール９１における通孔９１ｅを介してその通孔９１ｅを覆う凹部９３ａのエアを吸引して、その凹部９３ａが負圧になる。そして、図２に示す様に、この凹部９３ａと流体圧機器２６は連通管９３ｃにより連結されているので、その連通管９３ｃを介して凹部９３ａに連通するパレット２１の流体圧機器２６からエアは吸引されることになる。このため、ワーク供給機１６により供給されるワーク１４を、その流体圧機器２６である吸引ノズルの下端に吸着させることが可能になるのである。

ワーク１４を吸着させた後に、搬送レール３１に沿う搬送ベルト５２を再び循環させて、パレット２１をワーク１４を吸着させた状態で前進させると、図１に示す様に、そのパレット２１は次に第３加工ステーション１３に対峙することになる。

すると、その段階でパレット２１の搬送は停止されて、この第３加工ステーション１３において、パレット２１における流体圧機器２６である吸引ノズルに吸着されたワーク１４に対して定められた加工が行われる。そして、その加工が終了した後には、再び、搬送ベルト５２を循環させてパレット２１を再び搬送する。このようなことを繰り返して、搬送されるパレット２１を順次各加工ステーション１１～１３に対峙させて、パレット２１における流体圧機器２６である吸引ノズルに吸着されたワーク１４に対して順次加工を施す。

ここで、搬送レール１３に沿って設けられた流体レール９１には、その長手方向に複数の通孔９１ｅが所定の間隔Ｔを開けて連続して形成されているので、搬送途中のパレット２１及び各加工ステーション１１～１３に対峙したパレット２１の対向部材９３における凹部９３ａは流体レール９１におけるいずれかの通孔９１ｅを覆うことに成る。

このため、流体供給吸引手段９２である流体ポンプが駆動していると、搬送途中であるか否かにかかわらず、パレット２１における対向部材９３における凹部９３ａに連通する流体圧機器２６から常にエアは吸引されることになり、流体圧機器２６である吸引ノズルの下端へのワーク１４の吸着状態は維持されることになる。

そして、全ての加工ステーション１１～１３による加工が終了した後に、更に搬送されたパレット２１はワーク回収機１７に対峙することになり、パレット２１が対峙したワーク回収機１７では、一連の加工が成されたワーク１４を、流体圧機器２６である吸引ノズルから取り外して回収することになる。

ワーク１４が回収された後に、更に搬送されたパレット２１は、図６及び図９に示す様に、搬送レール３１の先端から飛び出すので、そのパレット２１は戻りパレット移載機構７０における可動体７２に移動して搭載されることになる。

ここで、流体レール９１は、可動体７２において消滅しているために、流体供給吸引手段９２である流体ポンプを駆動させても、流体レール９１が消滅した段階でパレット２１の流体圧機器２６からのエアの吸引は無くなり、パレット２１の戻りレール４１への移載が可能となる。

また、搬送レール３１の先端側に連続する可動体７２は、Ｘ軸方向に並ぶ各加工ステーション１１～１３と同一のピッチＰにおいて、Ｙ軸方向に移動可能に設けられているので、搬送レール３１にこのピッチＰと同一のピッチＰで複数のパレット２１を搭載し、先頭のパレット２１が可動体７２に達すると、他のパレット２１も各加工ステーション１１～１３に対峙するので、各加工ステーション１１～１３においてワーク１４の加工のために、パレット２１の搬送は一旦停止することになる。

この加工のための停止中に、搬送レール３１の先端側における可動体７２に達した先頭のパレット２１を戻りレール４１の先端に移載し、その戻りレール４１を後退させてその基端から搬送レール３１の基端側に再び移載させることになる。

このように、搬送レール３１の先端からその基端にパレット２１を戻すようなことが１回行われると、搬送レール３１に搭載された複数のパレット２１をそれぞれ１個分づつ反時計回り方向に搬送することができる。

そして、このようなサイクルが１回行われる毎に、パレット搬送装置１０の動作を停止した状態で、各加工ステーション１１～１３を稼動させ、搬送レール３１に並ぶ各パレット２１の流体圧機器である吸引ノズル２６に吸着された各ワーク１４に対して各種の加工や、そのワーク１４の吸着や回収が並行して行われることになる。

このように、本発明におけるパレット搬送装置１０及びパレット搬送方法では、複数のパレット２１を循環させるようなかたちで搬送することが可能となり、搬送レール３１に平行に流体レール９１を用いることにより、単一の流体供給吸引手段９２であっても、その複数のパレット２１の流体圧機器２６をそれぞれ稼動させた状態で、その複数のパレット２１を同時に搬送することが可能となるのである。

そして、流体レール９１の流体通路を形成する凹溝９１ｄは流体レール９１の長手方向、即ち、パレット２１の搬送方向に延びて形成されているので、搬送レール３１に搭載されたパレット２１が搬送されても、対向部材９３が覆う流体レール９１のいずれかの通孔９１ｅは凹部９３ａに必ず連通することに成り、その対向部材９３とともにパレット２１が移動するので、いずれかの通孔９１ｅと対向部材９３の凹部９３ａとは必ず連通することになる。この結果、パレット２１が移動しても、その流体圧機器２６である吸引ノズルの下端におけるワーク１４の吸着（図２）も持続される。

よって、このパレット搬送装置１０では、流体圧機器２６を稼動させつつパレット２１を移動させることが可能となり、流体圧機器２６を稼動させる流体供給吸引手段９２のパレット２１への搭載を回避することが可能となるのである。

ここで、流体通路を構成する凹溝９１ｄのエアを流体供給吸引手段９２により吸引し、通孔９１ｅを介して対向部材９３における凹部９３ａのエアを吸引すると、その対向部材９３は流体レール９１の上面に吸着されて、パレット２１の搬送における抵抗となり得る。

けれども、この実施の形態における対向部材９３には、流体レール９１上を転動するローラ９６が枢支されており、対向部材９３が流体レール９１の上面に吸着されることは防止されるので、対向部材９３を流体レール９１の上面に対向させることが、パレット２１の搬送における抵抗となるようなことはない。

一方、対向部材９３を流体レール９１の上面から所定の隙間を空けて対向させると、その隙間から流体であるエアが凹部９３ａに流入し、凹部９３ａに連通する流体圧機器２６からのエアの吸引が困難になるとも考えられる。けれども、その隙間が０～０．１ｍｍであれば、流体圧機器２６からのエアの吸引が困難になるような量のエアが凹部９３ａに流入するようなことは少なく、そのような隙間からのエアの流入を考慮して、十分な凹溝９１ｄの断面積や通孔９１ｅの数や大きさを確保しておくことにより、流体圧機器２６からのエアの吸引を継続させることができる。

また、対向部材９３が覆うことのない通孔９１ｅが生じるようであれば、その通孔９１ｅから流体であるエアが凹溝９１ｄに流入し、対向部材９３に覆われた他の通孔９１ｅを介して凹溝９１ｄに連通する凹部９３ａのエアの吸引が困難になるとも考えられる。けれども、複数のパレット２１を搬送レール３１に連続して搭載して、それら複数のパレット２１の対向部材９３を互いに近接させ又は接触させつつ搬送することにより、対向部材９３が覆うことのない通孔９１ｅが生じるようなことを回避することができる。

そして、対向部材９３はパレット２１にサスペンション装置９４を介して取付けられているので、そのサスペンション装置９４により、対向部材９３は常に流体レール９１に押しつけられることになる。このため、搬送レール３１における長さが比較的長い場合には、それに平行に設けられる流体レール９１も長くなり、パレット２１が搭載して搬送される搬送レール３１に対して流体レール９１がゆがむ場合も考えられるけれども、そのようなゆがみはサスペンション装置９４により吸収されて、対向部材９３の流体レール９１の上面から所定の隙間を維持しつつパレット２１を搬送することが可能となる。

なお、上述した実施の形態では、対向部材９３の流体レール９１方向の長さＷ２がパレット２１の台座２３の流体レール９１方向の長さＷ１より長い場合を説明した。けれども、対向部材９３の流体レール９１方向の長さＷ２は、パレット２１の台座２３の流体レール９１方向の長さＷ１と同一であっても良い。この場合であっても、複数のパレット２１を搬送レール３１に連続して搭載して、それら複数のパレット２１の対向部材９３を互いに近接させ又は接触させつつ搬送することにより、対向部材９３が覆うことのない通孔９１ｅが生じるようなことを回避することができる。

また、上述した実施の形態では、電気駆動式のサーボモータ５９，６９によりプーリ５５，６６を回転させて循環ベルト５２や戻しベルト６２を循環させる場合を説明したが、プーリ５５，６６を回転可能である限り、サーボモータに代えて流体圧シリンダや流体圧モータを用いても良い。

また、上述した実施の形態では、戻りレール４１に流体レール９１を沿わせることはせずに、戻りレール４１に搭載されたパレット２１では、その流体圧機器２６を稼動させない場合を説明した。けれども、パレット２１を後退させる戻りレール４１にも流体レール９１を沿わせて形成するようにしても良い。この場合には、戻りレール４１に沿って設けられた流体レール９１に対向部材を対向させることにより、戻りレール４１に搭載されたパレット２１においても、流体圧機器２６を稼動させることが可能となる。

また、上述した実施の形態では、流体圧機器２６が流体であるエアの吸引によりワーク１４を吸着させる吸着ノズルである場合を説明した。けれども、流体圧機器２６は流体により稼動する限り、これに限られるものではなく、例えば、流体の吸引によりワーク１４を回転させるようなものやワーク１４を加工するようなものであっても良い。

また、上述した実施の形態では、流体レール９１の流体通路を構成する凹溝９１ｄのエアを流体供給吸引手段である流体ポンプ９２により吸引して負圧とし、これにより流体圧機器２６を稼動させるようにした。けれども、流体通路を構成する凹溝９１ｄに流体を供給して加圧し、その凹溝９１ｄから供給される流体により稼動する流体圧機器２６をパレット２１に設けるようにしても良い。

凹溝９１ｄに流体を供給して加圧すると、この凹溝９１ｄに連通する通孔９１ｅを覆う対向部材９３が浮き上がってその流体の漏洩が考えられる。けれども、対向部材９３を流体レール９１上に押しつけるサスペンション装置９４をパレット２１に設ければ、対向部材９３の流体レール９１からの浮き上がりを防止して、その流体の漏洩を抑制し、流体圧機器２６の稼動を確保することが可能となる。

１０ パレット搬送装置
２１ パレット
２４ 係止部材
２６ 流体圧機器
３１ 搬送レール
４１ 戻りレール
５１ パレット搬送手段
５２ 搬送ベルト
５９ サーボモータ（循環手段）
６１ パレット戻し手段
６２ 戻しベルト
６９ サーボモータ（循環手段）
７０ 戻りパレット移載機構
８０ 搬送パレット移載機構
９１ 流体レール
９１ｄ 凹溝（流体通路）
９１ｅ 通孔
９２ 流体ポンプ（流体供給吸引手段）
９３ 対向部材
９３ａ 凹部
９３ｃ 連通路
９４ サスペンション装置
９６ ローラ
Ｗ１ パレットの長さ
Ｗ２ 対向部材の長さ

Claims (8)

1. 流体圧機器(26)が搭載された複数のパレット(21)を移動可能に搭載する搬送レール(31)と、前記搬送レール(31)に搭載された前記パレット(21)を搬送するパレット搬送手段(51)とを備えたパレット搬送装置(10)であって、
   内部に流体通路(91d)が形成された流体レール(91)が前記搬送レール(31)に沿って設けられ、
   前記流体通路(91d)に流体を供給し又は前記流体通路(91d)から流体を吸引する流体供給吸引手段(92)が前記流体通路(91d)に連通して設けられ、
   前記流体通路(91d)を外部に連通させる通孔(91e)が前記流体レール(91)に複数形成され、
   前記流体レール(91)に対向して一又は二以上の前記通孔(91e)を覆う凹部(93a)が形成された対向部材(93)が複数の前記パレット(21)にそれぞれ設けられ、
   前記流体レール(91)上を転動して前記流体レール(91)に前記対向部材(93)を所定の隙間を空けて対向させるローラ(96)が前記対向部材(93)に枢支され、
   前記凹部(93a)と前記流体圧機器(26)とを連通させる連通路(93c)が複数の前記パレット(21)にそれぞれ設けられた
   ことを特徴とするパレット搬送装置。
2. 対向部材(93)を流体レール(91)上に押しつけるサスペンション装置(94)がパレット(21)に設けられた請求項１記載のパレット搬送装置。
3. 対向部材(93)の流体レール(91)方向の長さ(W2)がパレット(21)の前記流体レール(91)方向の長さ(W1)と同一又は長い請求項１又は２記載のパレット搬送装置。
4. 搬送レール(31)に平行に設けられパレット(21)を移動可能に搭載する戻りレール(41)と、
   前記戻りレール(41)に搭載された前記パレット(21)を搬送方向と逆方向に移動させるパレット戻し手段(61)と、
   前記搬送レール(31)に搭載された前記パレット(21)を前記搬送レール(31)の先端から前記戻りレール(41)の先端に移載する戻りパレット移載機構(70)と、
   前記戻りレール(41)に搭載された前記パレット(21)を前記戻りレール(41)の基端から前記搬送レール(31)の基端に移載する搬送パレット移載機構(80)と
   を更に備えた請求項１ないし３いずれか１項に記載のパレット搬送装置。
5. パレット搬送手段(51)が、搬送レール(31)に沿って無端で設けられて循環する搬送ベルト(52)と、前記搬送ベルト(52)を循環させる循環手段(59)と、パレット(21)に設けられ前記パレット(21)と共に前記搬送ベルト(52)の幅方向に移動して前記搬送ベルト(52)に係止可能に構成された係止部材(24)とを備え、
   パレット戻し手段(61)が、戻りレール(41)に沿って無端で設けられて循環する戻しベルト(62)と、前記戻しベルト(62)を循環させる循環手段(69)と、前記パレット(21)に設けられ前記パレット(21)と共に前記戻しベルト(62)の幅方向に移動して前記戻しベルト(62)に係止可能に構成された係止部材(24)とを備えた請求項４記載のパレット搬送装置。
6. 流体圧機器(26)が搭載された複数のパレット(21)を搬送レール(31)に搭載して搬送するパレット搬送方法において、
   内部に流体通路(91d)が形成され前記流体通路(91d)を外部に連通させる通孔(91e)が複数形成された流体レール(91)を前記搬送レール(31)に沿って設け、
   前記流体通路(91d)に流体を供給し又は前記流体通路(91d)から流体を吸引し、
   前記流体レール(91)上を転動するローラ(96)が枢支され一又は二以上の前記通孔(91e)を覆う凹部(93a)が形成された対向部材(93)を前記流体レール(91)に所定の隙間を空けて対向させ、
   前記凹部(93a)と前記パレット(21)に搭載された流体圧機器(26)を連通させて前記流体圧機器(26)を稼動させつつ前記対向部材(93)とともに前記パレット(21)を搬送する
   ことを特徴とするパレット搬送方法。
7. 対向部材(93)を流体レール(91)上に押しつけつつパレット(21)を搬送する請求項６記載のパレット搬送方法。
8. 複数のパレット(21)を搬送レール(31)に連続して搭載して、複数の前記パレット(21)の対向部材(93)を互いに近接させ又は接触させつつ前記パレット(21)を搬送する請求項６又は７記載のパレット搬送方法。

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