TWI849198B - 托盤搬運裝置及托盤搬運方法 - Google Patents

Abstract

一種托盤搬運裝置，具備：搬運軌，其將搭載有流體壓力設備的托盤搭載成能夠移動；托盤搬運單元，其對搭載於搬運軌的托盤進行搬運；流體軌，其沿著搬運軌設置，並在內部形成有流體通路；以及流體供給吸引單元，其設置為與流體通路連通，並朝向流體通路供給流體或者從流體通路吸引流體。在流體軌形成有使流體通路與外部連通的多個通孔，在托盤上設置有對置部件以及連通路，對置部件形成有對多個通孔的一部分進行覆蓋的凹部，並且對置部件與流體軌對置，連通路將凹部與流體壓力設備連通。

Description

托盤搬運裝置及托盤搬運方法

本發明涉及托盤搬運裝置以及托盤搬運方法。

以往，在生產線上存在搬運裝置，該搬運裝置用輸送帶搬運工件，搬運目的地的工具機對工件實施預定加工。然而，利用以往的搬運裝置，例如將定子等重量較大的工件搭載於輸送帶而搬運的情況下，在使工件的搬運停止時作用於工件的慣性力較大。因此，存在以下不良情況，即，很難提高搬運速度，很難通過阻擋件來進行準確定位的不良情況。

為了解決上述不良情況，例如在日本專利公開公報特開2007-21629號中提出了一種托盤搬運裝置，該托盤搬運裝置相對於工具機透過四角形的軌道而對搭載了工件的多個托盤進行搬運。在該托盤搬運裝置中，將多個托盤搭載於軌道，將多個托盤夾持在左托盤搬運機構以及右托盤搬運機構之間，並以被夾持的狀態將多個托盤移動一個托盤的距離進行搬運。

近年，在托盤上搭載透過流體壓力而運作的流體壓力設備，並透過使該流體壓力設備運作而搬運托盤的要求漸增。

然而，當在托盤上搭載流體壓力設備時，也需要在托盤上搭載供給流體或者吸引流體而使流體壓力設備運作的流體供給吸引單元。而且，還存在以下不良情況，即，托盤的重量增加，並且托盤上的工件搭載區域減少、工件的有效搬運變困難的不良情況。

此外，在將多個托盤搭載於搬運軌進行搬運的情況下，當在多個托盤上分別搭載流體壓力設備時，也需要將使流體壓力設備運作的流體供給吸引單元分別搭載在多個托盤上。並且，由於需要與托盤的數量相同的流體供給吸引單元，因此仍然存在托盤搬運裝置的單價過高的問題。

本發明的目的在於，提供能夠避免將驅使流體壓力設備運作的流體供給吸引單元搭載在托盤上的托盤搬運裝置以及托盤搬運方法。

根據本發明的一種實施方式，提供一種托盤搬運裝置，其具備：搬運軌，其將搭載有流體壓力設備的托盤搭載成能夠移動；托盤搬運單元，其對搭載於所述搬運軌的所述托盤進行搬運；流體軌，其沿著所述搬運軌設置，並在內部形成有流體通路；以及流體供給吸引單元，其設置為與所述流體通路連通，並朝向所述流體通路供給流體或者從所述流體通路吸引流體；在所述流體軌形成有使所述流體通路與外部連通的多個通孔，在所述托盤上設置有對置部件以及連通路，所述對置部件形成有對多個所述通孔的一部分進行覆蓋的凹部，並且與所述流體軌對置，所述連通路將所述凹部與所述流體壓力設備連通。

根據本發明的另一種實施方式，提供一種托盤搬運方法，其將搭載有流體壓力設備的托盤搭載於搬運軌進行搬運，其包含：將內部形成有流體通路、並且形成有使所述流體通路與外部連通的多個通孔的流體軌沿著所述搬運軌設置；朝向所述流體通路供給流體或者從所述流體通路吸引流體；使形成有對多個所述通孔的一部分進行覆蓋的凹部的對置部件與所述流體軌對置；使所述凹部與搭載於所述托盤的所述流體壓力設備連通，並一邊使所述流體壓力設備運作，一邊搬運所述托盤以及所述對置部件。

根據本發明所涉及的實施方式，能夠避免將驅使流體壓力設備運作的流體供給吸引單元搭載在托盤上。

10:托盤搬運裝置

21:托盤

24:卡止部件

26:流體壓力設備

31:搬運軌

41:返回軌

51:托盤搬運單元

52:搬運帶

59:伺服馬達(第一循環單元)

61:托盤返回單元

62:返回帶

69:伺服馬達(第二循環單元)

70:返回托盤移載機構

80:搬運托盤移載機構

91:流體軌

91d:凹槽(流體通路)

91e:通孔

92:流體泵(流體供給吸引單元)

93:對置部件

93a:凹部

93c:連通路

94:懸掛單元

96:輥

W1:托盤的長度

W2:對置部件的長度

圖1是表示本發明實施方式所涉及的托盤搬運裝置的正視圖。

圖2是沿著圖1的A-A線的剖視圖。

圖3是表示托盤的正面的圖1的E部分放大圖。

圖4是從上方對搭載於搬運軌的托盤進行觀察的俯視圖。

圖5是表示托盤與循環帶卡止狀態的沿著圖4的B-B線的剖視圖。

圖6是表示托盤移載機構的沿著圖9的D-D線的放大剖視圖。

圖7是表示托盤移載機構的沿著圖10的C-C線的放大剖視圖。

圖8是表示將托盤沿著搬運軌搬運之前的狀態的俯視圖。

圖9是表示將托盤沿著搬運軌搬運之後、並將該托盤移動至返回軌之前的狀態的俯視圖。

圖10是表示托盤移動至返回軌之後、該托盤沿著返回軌後退之前的狀態的俯視圖。

圖11是表示托盤沿著返回軌後退之後、該托盤移動至搬運軌之前的狀態的俯視圖。

下面，參照附圖，對本發明之較佳實施方式進行說明。

在圖1至圖8中表示本發明的托盤搬運裝置10。在各圖中，設定彼此正交的X軸、Y軸、Z軸，將X軸設為大致水平橫向，將Y軸設為大致水平前後方向，將Z軸設為大致鉛直方向，對托盤搬運裝置10的結構進行說明。

如圖1以及圖8所示，本實施方式的托盤搬運裝置10被設置在製造較小產品的生產線上。此外，托盤搬運裝置10將搭載有作為流體壓力設備的 吸嘴26的多個托盤21搭載於搬運軌31進行搬運。該生產線為，三台加工站11、12、13沿著X軸方向以預定間隔排列成一列的生產線。各加工站11、12、13形成為箱狀，內部設置有未圖示的工具機。

並且，各加工站11、12、13中的工具機對於被托盤搬運裝置10搬運的工件14(參照圖2)依序實施開孔、緊固、焊接等的各種必要加工，從而自動製造未圖示的產品。供給工件14的工件供給機16以及回收工件14的工件回收機17以隔著加工站11、12、13的方式分別設置在加工站11、12、13的上游側以及下游側。

如圖8至圖11所示，本實施方式的托盤搬運裝置10具備：搬運軌31，其設置為沿著X軸方向延伸；返回軌41，其設置為在Y軸方向上與搬運軌31分離，並與搬運軌31平行；托盤搬運單元51，其對搭載於搬運軌31的托盤21進行搬運；托盤返回單元61，其使搭載於返回軌41的托盤21朝向與搬運方向相反的方向進行移動；返回托盤移載機構70，其將搭載於搬運軌31的托盤21從搬運軌31的頂端移載至返回軌41的頂端；以及搬運托盤移載機構80，其將搭載於返回軌41的托盤21從返回軌41的基端移載至搬運軌31的基端。

如圖2所示，本實施方式的搬運軌31具有在截面中沿著Z軸方向形成長方形的支撐板32、通過螺紋固定而固定在支撐板32的上緣的市售的直線運動導軌33、以及焊接在支撐板32的下端的安裝板34。

如圖8所示，返回軌41與搬運軌31的結構相同，具有與搬運軌31的支撐板32相同的截面形狀的支撐板42、通過螺紋固定而固定在支撐板42的上緣的市售的直線運動導軌43、以及焊接在支撐板42的下端的安裝板44。

搬運軌31以及返回軌41以隔著三台加工站11、12、13且相互平行的方式，搬運軌31以及返回軌41的兩端被安裝在架台71、81上。架台71、81 以隔著三台加工站11、12、13、以及設置在該三台加工站11、12、13的兩端的工件供給機16和工件回收機17的方式，在X軸方向分離設置。

架台71、81形成為在Y軸方向較長。搬運軌31以及返回軌41上各自的安裝板34、44的長度方向的端部被螺紋固定在架台71、81上。由此，搬運軌31以從工件供給機16經由三台加工站11、12、13至工件回收機17連結的方式，搬運軌31的兩端部被安裝在架台71、81上(參照圖1以及圖8)。

搬運軌31以及返回軌41分別將托盤21搭載成能夠移動。如圖2所示，搭載於搬運軌31或返回軌41的托盤21具有：直線運動塊22，其構成為跨及搬運軌31或返回軌41的直線運動導軌33、43，並能夠在直線運動導軌33、43上移動；以及台座23，其被螺紋固定在直線運動塊22上。在台座23的下側、沿著搬運軌31以及返回軌41的兩側分別設置有卡止部件24。

直線運動塊22為與搬運軌31以及返回軌41上的直線運動導軌33、43成對販賣的市售品。如圖4所示，相對於台座23，直線運動塊22被設置為兩個，且在X軸方向上分離。透過使用直線運動塊22，能夠禁止直線運動塊22的寬度方向(Y軸方向)的移動，並且能夠減輕托盤21在搬運軌31或返回軌41上移動的阻力。因此，托盤21被搭載為能夠在搬運軌31或返回軌41上移動。

如圖2所示，在托盤21的台座23上搭載有吸嘴26。圖示的吸嘴26為吸附工件14的部件，吸嘴26經由安裝夾具27被設置在托盤21的台座23上，並在台座23的上方沿著鉛直方向延伸。由此，托盤21構成為經由吸嘴26吸附工件14進行保持。另外，未圖示的工件14為在各加工站11、12、13中被加工的工件，在圖2中為能夠被吸嘴26吸附的平板。

如圖1以及圖8所示，將搭載於搬運軌31的托盤21進行搬運的托盤搬運單元51具備搬運帶52，該搬運帶52構成為能夠與搭載於搬運軌31的托盤21進行卡止，並且以環狀的方式設置為能夠沿著搬運軌31循環。

在對搬運軌31的兩端部進行支撐的架台71、81上設置有第一支撐台53以及第二支撐台54，第一支撐台53以及第二支撐台54位於搬運軌31的延長線上。在第一支撐台53以及第二支撐台54上設置有同樣形狀以及同樣大小的第一滑輪55以及第二滑輪56。搬運帶52設置為掛於第一滑輪55以及第二滑輪56，並且透過第一滑輪55以及第二滑輪56的旋轉而能夠沿著搬運軌31循環。

因此，如圖1所示，搬運帶52沿著搬運軌31(具體為搬運軌31的延伸方向)設置，並與搬運軌31在上下方向上隔開間隔，該間隔與第一滑輪55以及第二滑輪56的外徑大致相等。如圖2所示，在搬運軌31上設置有帶軌57以及支撐軌58，帶軌57對掛於第一滑輪55以及第二滑輪56的搬運帶52的下側搬運帶52c進行支撐，從而抑制下側搬運帶52c的鬆弛。支撐軌58防止上側搬運帶52d垂下。

在搬運軌31的支撐板32上設置有將帶軌57安裝於搬運軌31的多個第一安裝部件57a，多個第一安裝部件57a設置為在支撐板32的長度方向上隔開預定間隔。帶軌57經由多個第一安裝部件57a安裝在搬運軌31上。此外，在支撐板32上設置有將支撐軌58安裝於搬運軌31的多個第二安裝部件58a，多個第二安裝部件58a設置為在支撐板32的長度方向上隔開預定間隔。支撐軌58經由多個第二安裝部件58a安裝在搬運軌31上。

另一方面，本實施方式的搬運帶52是所謂的帶齒帶(toothed belt)。如圖5所示，作為帶齒帶的搬運帶52為在寬度方向上延伸的凹凸52a、52b在長度方向交錯連續的搬運帶52。能夠與凹凸52a、52b卡止的反凹凸24a、24b形成在托盤21的卡止部件24上。

如圖2以及圖5所示，當在搬運軌31上搭載有托盤21時，在支撐於支撐軌58的上側搬運帶52d上從上側重合有卡止部件24。在重合狀態下，形成於搬運帶52的凹凸52a、52b與卡止部件24的反凹凸24a、24b卡止。並且，支 撐軌58跨及工件供給機16與工件回收機17之間的搬運方向上的全長設置，以防止上側搬運帶52d垂下、防止凹凸52a、52b與反凹凸24a、24b的卡止被解除。

如圖5所示，托盤21的卡止部件24設置為在長度方向上連續形成的反凹凸24a、24b能夠與搬運帶52的凹凸52a、52b卡止。因此，當托盤21的反凹凸24a、24b與凹凸52a、52b卡止時，禁止托盤21獨立於搬運帶52的移動。由此，托盤21被卡止在搬運帶52上。

如圖1以及圖8所示，托盤搬運單元51具備使搬運帶52循環的第一循環單元59。本實施方式的第一循環單元59為使第一滑輪55旋轉驅動的電氣驅動式的伺服馬達59。並且，在旋轉軸59a上安裝有第一滑輪55的伺服馬達59被安裝在直立設置於架台71的支撐台53上。

在伺服馬達59上連接有來自未圖示的控制器的控制輸出。並且，當透過來自控制器的控制輸出驅動伺服馬達59時，第一滑輪55與旋轉軸59a一起旋轉。由此，使掛於第一滑輪55與第二滑輪56之間的搬運帶52循環，從而在搭載於搬運軌31的狀態下搬運被卡止於搬運帶52的托盤21。

如圖8至圖11所示，使搭載於返回軌41的托盤21朝向與搬運方向相反的方向移動返回的托盤返回單元61，其具有與上述托盤搬運單元51相同的結構。此外，托盤返回單元61具備返回帶62，該返回帶62構成為能夠與搭載於返回軌41的托盤21進行卡止，並且以環狀的方式設置為能夠沿著返回軌41循環。

在對返回軌41的兩端部進行支撐的架台71、81上設置有第三支撐台63以及第四支撐台64，第三支撐台63以及第四支撐台64位於返回軌41的延長線上。在第三支撐台63以及第四支撐台64上設置有第三滑輪65以及第四滑輪66。返回帶62被掛在設置於返回軌41的兩端的延長線上的第三滑輪65以及第四滑輪66上。

使返回帶62循環的第二循環單元為對安裝於後退方向的基端上的第四支撐台64上的第四滑輪66進行旋轉驅動的伺服馬達69。與托盤搬運單元51相同，在返回軌41上設置有對下側返回帶進行支撐的未圖示的帶軌、以及防止上側返回帶62d垂下的支撐軌68。

返回帶62與托盤搬運單元51的搬運帶52同為所謂的帶齒帶。返回帶62形成為在寬度方向上延伸的凹凸62a、62b在長度方向交錯連續。能夠與凹凸62a、62b卡止的反凹凸24a、24b形成在托盤21的另一個的卡止部件24上(參照圖7)。

具體而言，如圖2所示，卡止部件24以隔著直線運動塊22的方式設置在托盤21上的台座23的下側的兩側。如圖10所示，當托盤21與返回軌41接續時，如圖7所示，另一個的卡止部件24設置為與返回帶62對置。並且，卡止部件24的反凹凸24a、24b形成為在返回帶62的寬度方向上移動、並從上方與返回帶62的凹凸62a、62b卡止。

如圖8至圖11所示，在安裝有搬運軌31和返回軌41的頂端側的頂端側的架台71上設置有返回托盤移載機構70，該返回托盤移載機構70將搭載於搬運軌31上的托盤21從搬運軌31的頂端朝向返回軌41的頂端移載。另一方面，在安裝有搬運軌31和返回軌41的基端側的基端側的架台81上設置有搬運托盤移載機構80，該搬運托盤移載機構80將搭載於返回軌41上的托盤21從返回軌41的基端朝向搬運軌31的基端移載。

返回托盤移載機構70和搬運托盤移載機構80的兩者具有同一結構。在X軸方向分離設置的架台71、81設置為分別在Y軸方向上延伸。設置於搬運軌31以及返回軌41的端緣、和搬運軌31以及返回軌41的延長線上的支撐台53、54、63、64之間的間隔L(參照圖8)形成為與托盤21的台座23的搬運方向的寬度W1(即，托盤21在後述的流體軌91的延伸方向上的長度，參照圖8)相 比較寬。並且，返回托盤移載機構70和搬運托盤移載機構80分別具備可動體72、82，可動體72、82將設置於搬運軌31以及返回軌41的端緣、和搬運軌31以及返回軌41的延長線上的支撐台53、54、63、64之間的間隔L堵塞。

可動體72、82分別具備台板72a、82a和短軌72b、82b，台板72a、82a在收納於搬運軌31以及返回軌41的端緣和支撐台53、54、63、64之間的狀態下，與搬運軌31以及返回軌41上的支撐板32、42接續，短軌72b、82b安裝於台板72a、82a的上緣並與直線運動導軌33、43接續。

短軌72b、82b具有與直線運動導軌33、43相同的截面形狀。在可動體72、82堵塞搬運軌31以及返回軌41的端緣和支撐台53、54、63、64之間的狀態下，在直線運動導軌33、43上移動的托盤21構成為能夠移動至短軌72b、82b。由此，可動體72、82構成為能夠搭載移動的托盤21。

返回托盤移載機構70和搬運托盤移載機構80具有同一結構。返回托盤移載機構70和搬運托盤移載機構80分別具備：一對軌道73、83，其以能夠搭載可動體72、82的方式分別在架台71、81上沿著Y軸方向延伸設置；台部件74、84，其以能夠移動的方式設置在一對軌道73、83上；滾珠螺桿75、85，其螺合於台部件74、84，並與軌道73、83平行設置；以及馬達76、86，其使滾珠螺桿75、85旋轉。並且，在各台部件74、84上分別直立設置有可動體72、82的台板72a、82a。

在由此構成的返回托盤移載機構70和搬運托盤移載機構80中，透過驅動馬達76、86，使滾珠螺桿75、85旋轉，從而能夠使搭載於一對軌道73、83的台部件74、84與可動體72、82一起沿著軌道73、83移動。

因此，在返回托盤移載機構70中，能夠使與搬運軌31的頂端接續的可動體72移動至與返回軌41的頂端接續的位置。如圖6以及圖9所示，將從搬運軌31的頂端離開的托盤21移動至可動體72進行搭載。如圖7以及圖10所 示，通過將可動體72與托盤21一起在Y軸方向上從搬運軌31的頂端移動至返回軌41的頂端，並再次使托盤21從可動體72朝向返回軌41的頂端移動，從而能夠將托盤21從搬運軌31的頂端移載返回軌41的頂端。

另一方面，在搬運托盤移載機構80中，將與返回軌41的基端接續的可動體72移動至與搬運軌31的基端接續的位置。如圖11所示，將從返回軌41的基端離開的托盤21移動至可動體82進行搭載。如圖8所示，通過將可動體82與托盤21一起在Y軸方向上從返回軌41的基端移動至搬運軌31的基端，並再次使托盤21從可動體82朝向搬運軌31的基端移動，從而能夠將托盤21從返回軌41的基端移載搬運軌31的基端。

如圖8所示，在本實施方式中，以隔著3台的加工站11、12、13的方式設置有工件供給機16和工件回收機17。工件供給機16和工件回收機17與加工站11、12、13以同一間距P進行設置。並且，與搬運軌31以及返回軌41的端緣接續設置的可動體72、82設置為與工件供給機16以及供給回收機17相距同一間距P。

如圖1至圖4所示，托盤搬運裝置10具備內部形成有作為流體通路的凹槽91d的流體軌91。流體軌91為沿著搬運軌31(具體而言，搬運軌31的延伸方向)設置的部件，並具備形成為長條狀的基材91a、和安裝在基材91a上的蓋板91b。

如圖2以及圖3所示，在支撐板32上設置有支撐件91c。基材91a藉由支撐件91c安裝為平行於搬運軌31。基材91a被蓋板91b覆蓋的上表面上形成有沿著長度方向延伸的凹槽91d。如圖1所示，在基端側的架台81上設置有作為朝向凹槽91d供給流體或者從凹槽91d吸引流體的流體供給吸引單元的流體泵92。

本實施方式中的流體泵92為，將作為流體的空氣噴出或者吸引的流體泵92。在流體泵92的噴出吸引口安裝有連通路92a的一端。連通路92a的 另一端以朝向凹槽91d開放的方式安裝在基材91a上。由此，流體泵92構成為朝向凹槽91d供給流體或者從凹槽91d吸引流體，凹槽91d構成被蓋板91b覆蓋的基材91a的流體通路。

並且，如圖1的放大圖所示，在蓋板91b上形成有在上下方向上貫穿並與凹槽91d連通的通孔91e。多個通孔91e形成為在流體軌91的長度方向(即，流體軌91的延伸方向)上隔開預定間隔T而連續。

另一方面，如圖2以及圖3所示，在多個托盤21上分別設置對置部件93，對置部件93與流體軌91對置，並形成有對一個或兩個以上的通孔91e進行覆蓋的凹部93a。如圖3所示，對置部件93為，其長度W2(即，對置部件93在流體軌91延伸方向的長度W2)與托盤21上的台座23的搬運軌31方向的寬度W1相比較長的棒狀部件。對置部件93其截面形成為方形，在與流體軌91對置的一側形成有在長度方向上延伸、並且與多個通孔91e的間隔T相比較長的長度為M的凹部93a。

對置部件93經由懸掛單元94而設置在托盤21的台座23上。懸掛單元94為將對置部件93以朝向流體軌91按壓的方式而施力的部件。托盤21上的台座23安裝有卡止部件24的外側設置有朝向鉛直方向貫穿的支撐軸94a，該支撐軸94a能夠在軸向上移動。

如圖3所示，支撐軸94a為其下端安裝有對置部件93的部件。單一的對置部件93被兩根支撐軸94a支撐。對單一的對置部件93支撐的台座23的側緣以在搬運軌31的長度方向隔開預定間隔的方式設置有兩根支撐軸94a。在兩根支撐軸94a的下端安裝有單一的對置部件93。在此，圖的元件符號94b表示設置在台座23上，並支撐支撐軸94a使其能夠在軸向上移動的滑套94b。

在對置部件93與台座23之間的支撐軸94a上，以被壓縮的狀態安裝有作為施力部件的螺旋彈簧94c。螺旋彈簧94c欲延伸的力作用於使對置部件 93從托盤21的台座23分離的方向上。在對置部件93與流體軌91對置的情況下，能夠朝向流體軌91按壓對置部件93。

如圖6以及圖7所示，在對置部件93未與流體軌91對置的情況下，支撐軸94a由於螺旋彈簧94c的施力而朝向Z軸方向下方移動。在貫穿托盤21上的台座23的支撐軸94a的上部處安裝有環狀物94d。環狀物94d構成為，當支撐軸94a與對置部件93一起下降，且環狀物94d與托盤21上的台座23的上表面抵接時，禁止支撐軸94a繼續下降。因此，環狀物94d為對對置部件93上的可動範圍進行限制的部件。

如圖3以及圖4所示，對置部件93在流體軌91方向的長度W2形成為，與托盤21上的台座23在流體軌91方向的長度W1相比較長。即，托盤21形成為，在流體軌91的延伸方向上的端部未從對置部件93的端部突出。由此，能夠防止由於相鄰的托盤21彼此的端部抵接而引起的相鄰對置部件93彼此的端部之間產生間隔。另外，在本實施方式中，對置部件93的長度W2形成為，與設置加工站11、12、13的間距P相同或者略小。

並且，在對置部件93上，樞軸支撐有輥96，該輥96在流體軌91上滾動，並以隔開預定間隙的方式使對置部件93與流體軌91對置。另外，預定間隔為0-0.1mm。如圖1的放大圖所示，流體軌91的基端側的上表面形成有傾斜面91f，輥96進行滾動，傾斜面91f將對置部件93引導朝向流體軌91的上表面。並且，在本實施方式中，一對輥96被樞軸支撐在支撐軸94a附近的對置部件93上。

在對置部件93上設置有與凹部93a連通的連通部件93b。連通部件93b與吸嘴26由連通路93c連通。即，連通路93c的一端以藉由連通部件93b而朝向凹部93a開放的方式安裝，連通路93c的另一端與作為流體壓力設備的吸嘴 26相連結。以此，在托盤21上形成連通路93c，該連通路93c在托盤21被搭載於搬運軌31的狀態下連通流體軌91與吸嘴26。

因此，當驅動作為流體供給吸引單元的流體泵92(參照圖1)時，例如，將被蓋板91b覆蓋的凹槽91d內的空氣吸引而變為負壓時，如圖2所示，藉由通孔91e與凹槽91d對置的對置部件93的凹部93a中的流體被吸引。並且，由於在凹部93a上經由連通路93c而連通吸嘴26，因此當凹部93a中的流體被吸引時，藉由連通路93c連通的吸嘴26構成為將工件14吸附在吸嘴26的下端。

並且，作為帶齒帶的搬運帶52構成為，能夠卡止搭載於搬運軌31的托盤21。由此，當驅動伺服馬達59(參照圖8)，使卡止有托盤21的搬運帶52循環時，沿著搬運帶52所沿續的搬運軌31而搬運設置有吸嘴26的托盤21，且吸嘴26在其下端吸附有工件14。

接下來，對使用了托盤搬運裝置10的本發明的托盤搬運方法進行說明。

本發明的托盤搬運方法為將搭載有吸嘴26的多個托盤21搭載於搬運軌31而搬運的托盤搬運方法。

如圖8所示，在上述托盤搬運裝置10中，返回軌41與搬運軌31平行設置。由此，在搬運了搭載於搬運軌31的托盤21之後，在將托盤21從搬運軌31的頂端移載至返回軌41的頂端之後，使托盤21後退至返回軌41的基端側。之後，透過使托盤21返回至搬運軌31的基端側，從而實現多個托盤21的循環搬運。

此外，如圖3所示，在上述托盤搬運裝置10中，流體軌91沿著搬運軌31(即，搬運軌31的延伸方向)設置，流體軌91在搬運軌31的延伸方向上形成有隔開預定間隔T的多個通孔91e，多個通孔91e將形成於內部的凹槽91d與外部連通。由此，在搬運搭載於搬運軌31的托盤21時，透過朝向作為流體通路 的凹槽91d供給流體或者從凹槽91d吸引流體，並使形成有對一個或兩個以上的通孔91e進行覆蓋的凹部93a的對置部件93與流體軌91對置，從而能夠連通凹部93a與搭載於托盤21的吸嘴26，並一邊使吸嘴26運作一邊搬運托盤21以及對置部件93。

從循環搬運多個托盤21開始說明。首先，從朝向搬運軌31搭載多個托盤21開始。在托盤21的搭載中，首先將托盤21搭載於搬運軌31的基端側，即搭載於基端側的架台81。並且，當將托盤21搭載於搬運軌31時，托盤21的卡止部件24與搬運帶52重合。

藉此將托盤21搭載於搬運軌31的基端側之後，使搬運帶52循環從而將已搭載的托盤21僅搬運預定間距P。並且，從搬運軌31的基端側重新將托盤21搭載於搬運軌31。重複這樣的操作，如圖8所示，以與加工站11、12、13的間距P相同的間距P而將多個托盤21(本實施方式為6台)搭載於搬運軌31上。

在此，設置於托盤21的對置部件93的長度在略小於預定間距P或與預定間距P相同時，即可通過將托盤21依次搭載於搬運軌31使對置部件93彼此接觸(抵接)，從而能夠較容易地以預定間距P搭載托盤21。

接下來，對使多個托盤21循環搬運的狀態進行說明。

當從圖8所示的狀態使沿著搬運軌31的搬運帶52循環時，在保持預定間隔P的狀態下使多個托盤21前進。並且，當多個托盤21僅前進預定間隔P時，如圖9所示，一開始的托盤21從搬運軌31的頂端分離。並且，由於可動體72與搬運軌31的頂端接續，因此如圖6所示，能夠透過將在搬運軌31上的直線運動導軌33上移動的托盤21移動至可動體72的短軌72b，從而將一開始的托盤21搭載於可動體72上。

接下來，如圖7以及圖10所示，利用返回托盤移載機構70，使搭載於可動體72的托盤21移動至返回軌41的頂端。具體而言，透過驅動馬達76，使滾珠螺桿75旋轉，並使可動體72在Y軸方向上移動，從而能夠使可動體72從與搬運軌31的頂端接續的圖6所示的狀態移動至如圖7所示的與返回軌41的頂端接續的位置。之後，透過使托盤21再次從可動體72移動至返回軌41的頂端，從而將托盤21從搬運軌31的頂端移載至返回軌41的頂端。

在此，當使搭載有托盤21的可動體72與托盤21一起在與搬運帶52正交的Y軸方向上移動時，由於托盤21的卡止部件24上的反凹凸24a、24b從在搬運帶52的寬度方向上延伸的凹凸52a、52b沿著其寬度方向錯開並脫離，因此托盤21與搬運帶52的卡止被解除。

並且，能夠透過使托盤21與可動體72一起在Y軸方向上移動，使托盤21與返回軌41接續，從而使可動體72、82與返回軌41在同一直線上。並且，當托盤21在返回帶62的寬度方向上移動時，托盤21的卡止部件24被重新卡止在沿著返回軌41設置的返回帶62。

因此，透過使用由所謂帶齒帶構成的搬運帶52以及返回帶62，能夠使托盤21與可動體72一起在Y軸方向上移動不產生障礙，從而使托盤21容易與搬運帶52以及返回帶62重新卡合。

接下來，使托盤21在與搬運方向相反的方向上移動，使托盤21搭載於返回軌41。因此，當驅動托盤返回單元61的伺服馬達69，使返回帶62循環時，搭載於可動體72的托盤21從返回軌41的頂端緣移動至其頂端部。由此，托盤21從搬運軌31的頂端移載至返回軌41的頂端。

藉此，在托盤21移載至返回軌41的頂端後，當托盤返回單元61使返回帶62繼續循環時，從可動體72移動至返回軌41上的托盤21進一步在返回軌41上後退。並且，托盤21的後退進行到托盤21到達返回軌41的基端為止。

如圖11所示，當以將搬運托盤移載機構80的可動體82收納在返回軌41的基端側的方式使托盤21後退時，搭載於返回軌41上而後退的托盤21移動至搬運托盤移載機構80上的可動體82，從而托盤21被搭載於可動體82。

接下來，利用搬運托盤移載機構80將從返回軌41移動並搭載於可動體82上的托盤21從返回軌41的基端移動至搬運軌31的基端。具體而言，透過驅動搬運托盤移載機構80上的馬達86，並使滾珠螺桿85旋轉，使可動體82在Y軸方向上移動，從而使可動體82從與返回軌41的基端接續的圖11所示的狀態移動至圖8所示的與搬運軌31的基端接續的位置。

之後，透過再次使托盤21從可動體82移動至搬運軌31的基端，從而使托盤21從返回軌41的基端移載至搬運軌31的基端。即，在可動體82與搬運軌31接續的狀態下，可動體82與搬運軌31在同一直線上，從而托盤21重新卡止於與沿著搬運軌31設置的搬運帶52。因此，搭載於與搬運軌31接續的可動體82上的托盤21由於搬運帶52的循環能夠再次搬運，被移載至搬運軌31的基端。由此，包括了托盤21的多個托盤21能夠在平面內以方形進行循環。

接下來，對使作為流體壓力設備的吸嘴26運作且同時搬運托盤21進行說明。

即，如圖1所示，在搬運搭載於搬運軌31的托盤21時，使沿著搬運軌31設置的搬運帶52循環，同時朝向流體軌91的作為流體通路的凹槽91d供給流體或者從凹槽91d吸引流體，並且，使搭載於托盤21的吸嘴26與凹槽91d連通，一邊使吸嘴26運作一邊搬運托盤21。

具體而言，如圖1的放大圖所示，在與工件供給機16對置的流體軌91上形成有作為流體通路的凹槽91d。以覆蓋凹槽91d的方式在搭載於基材91a上的蓋板91b上形成有多個通孔91e。因此，首先驅動作為流體供給吸引單元 的流體泵92，對被蓋板91b覆蓋的凹槽91d的內部的空氣進行吸引，從而使凹槽91d的內部變為負壓。

在此狀態下，當使托盤21與工件供給機16對置時，在托盤21上設置有對置部件93，該對置部件93形成有對多個通孔91e進行覆蓋的凹部93a。由此，藉由流體軌91的通孔91e，吸引對通孔91e進行覆蓋的凹部93a的空氣，使凹部93a變為負壓。並且，如圖2所示，由於凹部93a與吸嘴26被連通路93c連結，從經由連通路93c而與凹部93a連通的托盤21的吸嘴26吸引空氣。因此，能夠將由工件供給機16所供給的工件14吸附在吸嘴26的下端。

在將工件14吸附後，當使沿著搬運軌31的搬運帶52再次循環，使托盤21以吸附工件14的狀態前進時，如圖1所示，托盤21接著與第三加工站13對置。

並且，在托盤21與第三加工站13對置的階段，托盤21的搬運被停止。並且，在第三加工站13中，對於被吸附於托盤21的吸嘴26上的工件14進行預定加工。並且，在預定加工結束後，再次使搬運帶52循環而再次搬運托盤21。重複這樣的作業，使搬運的托盤21依次與各加工站11、12、13對置，從而對吸附於托盤21的吸嘴26上的工件14依次進行加工。

在此，在沿著搬運軌31設置的流體軌91上形成有多個通孔91e，多個通孔91e在長度方向上隔開預定間隔T而接續。由此，搬運途中的托盤21以及與各加工站11、12、13對置的托盤21的對置部件93的凹部93a覆蓋流體軌91上的任意的通孔91e。

因此，當驅動作為流體供給吸引單元的流體泵92時，無論是否是搬運途中，從與托盤21上的對置部件93的凹部93a連通的吸嘴26能夠一直吸引空氣，從而維持工件14吸附於吸嘴26下端的吸附狀態。

並且，由全部的加工站11、12、13進行的加工結束之後，被搬運的托盤21進一步與工件回收機17對置。並且，在托盤21所對置的工件回收機17中，將完成一系列加工的工件14從吸嘴26拆卸而回收。

在工件14被回收後，如圖6以及圖9所示，被搬運的托盤21進一步從搬運軌31的頂端分離，托盤21移動至返回托盤移載機構70的可動體72，並搭載於可動體72。

在此，流體軌91在可動體72處消失。即，在可動體72上未設置有流體軌91。因此，即使驅動作為流體供給吸引單元的流體泵92，在流體軌91消失的可動體72上，來自托盤21的吸嘴26的空氣的吸引變無，從而也能夠使托盤21移載至返回軌41。

此外，與搬運軌31的頂端側接續的可動體72設置為，能夠與在X軸方向上排列的各加工站11、12、13以相同的間距P排列在Y軸方向上移動。由此，當以與間距P相同的間距P將多個托盤21搭載在搬運軌31上，並且一開始的托盤21到達可動體72時，其他的托盤21也與各加工站11、12、13對置。因此，在各加工站11、12、13中，為了工件14的加工，托盤21的搬運被一時停止。

為了工件14的加工，在托盤21的搬運被停止的期間，將到達搬運軌31的頂端側的可動體72的一開始的托盤21移載至返回軌41的頂端。並且，使托盤21沿著返回軌41後退，再次將托盤21從返回軌41的基端移載至搬運軌31的基端側。

藉此，當進行一次將托盤21從搬運軌31的頂端返回至搬運軌31的基端的循環時，能夠將搭載於搬運軌31的多個托盤21分別朝向逆時針方向搬運一個托盤21。

並且，這樣的循環每進行一次，在使托盤搬運裝置10的動作停止的狀態下，使各加工站11、12、13運作，對吸附於搬運軌31上排列的各托盤21的吸嘴26上的各工件14同步進行各種加工以及工件14的吸附、回收。

藉此，在本發明的托盤搬運裝置10以及托盤搬運方法中，能夠以使多個托盤21循環的方式進行搬運。透過使用與搬運軌31平行設置的流體軌91，即使是作為單一的流體供給吸引單元的流體泵92，也能夠在使多個托盤21的吸嘴26分別運作的狀態下，同時搬運多個托盤21。

並且，形成流體軌91中的流體通路的凹槽91d形成為，在流體軌91的長度方向即托盤21的搬運方向上延伸。由此，搭載於搬運軌31的托盤21即使被搬運，對置部件93所覆蓋的流體軌91的任意的通孔91e必定與凹部93a連通，並且托盤21與對置部件93一起移動，因此任意的通孔91e與對置部件93的凹部93a必定連通。其結果，即使托盤21移動，也能夠持續將工件14吸附於吸嘴26的下端(參照圖2)。

因此，在托盤搬運裝置10中，能夠一邊使吸嘴26運作一邊使托盤21移動，從而能夠避免將驅使吸嘴26運作的流體泵92搭載在托盤21上。

在此，當透過流體泵92對構成流體通路的凹槽91d的空氣進行吸引，並且經由通孔91e吸引對置部件93的凹部93a的空氣時，對置部件93被吸附在流體軌91的上表面，該吸附可能成為托盤21搬運的阻力。

在本實施方式中，為了防止對置部件93被吸附在流體軌91的上表面，在對置部件93上，樞軸支撐有在流體軌91上滾動的輥96。由此，即使將對置部件93與流體軌91的上表面対置，也能夠減少對於托盤21搬運的阻力。

另一方面，也考慮到當將對置部件93從流體軌91的上表面隔開預定間隙與流體軌91對置時，作為流體的空氣從預定間隙流入凹部93a，從而來自與凹部93a連通的吸嘴26的空氣的吸引變得困難。因此，通過將預定間隙 設為0-0.1mm，從而造成自吸嘴26吸引空氣變得困難的空氣量流入凹部93a的情況較少。並且，考慮來自間隔的空氣的流入，能夠通過確保充分的凹槽91d截面積以及通孔91e的個數或大小，從而續行自吸嘴26的空氣的吸引。

此外，也考慮到如果產生未被對置部件93覆蓋的通孔91e，空氣從該通孔91e流入凹槽91d，從而凹部93a的空氣經由被對置部件93覆蓋的其他的通孔91e與凹槽91d連通，使凹部93a的空氣的吸引變得困難。因此，能夠透過將多個托盤21接續搭載於搬運軌31，並使多個托盤21的對置部件93彼此接近或接觸進行搬運，從而避免對置部件93未覆蓋通孔91e的情況產生。另外，相鄰的對置部件93在彼此對置的端部相互抵接為佳。

並且，也考慮到在搬運軌31的長度較長的情況下，與搬運軌31平行設置的流體軌91也變得較長，從而相對於搭載並搬運托盤21的搬運軌31，流體軌91可能歪曲。因此，透過將對置部件93藉由懸掛單元94安裝在托盤21上，從而對置部件93一直被懸掛單元94朝向流體軌91按壓。其結果，流體軌91的歪曲被懸掛單元94吸收，從而能夠從對置部件93的流體軌91的上表面維持預定間隙，並搬運托盤21。

接下來，對本實施方式所起到的作用效果進行說明。

本實施方式所涉及的托盤搬運裝置10，其具備：搬運軌31，其將搭載有吸嘴26的托盤21搭載成能夠移動；托盤搬運單元51，其對搭載於搬運軌31的托盤21進行搬運；流體軌91，其沿著搬運軌31設置，並在內部形成有凹槽91d；以及流體泵92，其設置為與凹槽91d連通，並朝向凹槽91d供給流體或者從凹槽91d吸引流體。在流體軌91形成有使凹槽91d與外部連通的多個通孔91e，在托盤21上設置有對置部件93以及連通路93c，對置部件93形成有對多個通孔91e的一部分進行覆蓋的凹部93a，並且對置部件93與流體軌91對置，連通路93c將凹部93a與吸嘴26連通。

本實施方式所涉及的托盤搬運方法，其將搭載有吸嘴26的托盤21搭載於搬運軌31進行搬運，其包含：將內部形成有凹槽91d、並且形成有使凹槽91d與外部連通的多個通孔91e的流體軌91沿著搬運軌31設置；朝向凹槽91d供給流體或者從凹槽91d吸引流體；使形成有對多個通孔91e的一部分進行覆蓋的凹部93a的對置部件93與流體軌91對置；使凹部93a與搭載於托盤21的吸嘴26連通，並一邊使吸嘴26運作，一邊搬運托盤21以及對置部件93。

根據這樣的結構，由於將流體軌91沿著搬運軌31設置，從流體泵92朝向流體軌91供給流體或者吸引流體，將搭載於托盤21的吸嘴26與流體軌91連通，一邊使吸嘴26運作一邊搬運托盤21，因此能夠避免將驅使吸嘴26運作的流體泵92搭載在托盤21上。

此外，即使在將多個托盤21搭載於搬運軌31進行搬運的情況下，也能夠透過將流體軌91沿著搬運軌31設置，使搭載於多個托盤21上的吸嘴26分別與流體軌91連結。其結果，即使是單一的流體泵92，也能夠透過利用流體泵92朝向流體軌91供給流體或吸引流體，使分別搭載於多個托盤21的吸嘴26同時運作。

此外，在本實施方式中，即使在托盤21被托盤搬運單元51搬運至搬運軌31的任意位置的情況下，凹部93a也均對多個通孔91e的一部分進行覆蓋。

根據這樣的結構，能夠藉由凹部93a常態覆蓋形成於流體軌91的多個通孔91e的一部分，使托盤21的吸嘴26以及流體軌91的凹槽91d確實地連通。其結果，能夠一邊使吸嘴26運作一邊搬運托盤21。

此外，在本實施方式中，在對置部件93樞軸支撐有輥96，輥96在流體軌91上滾動，並以隔開預定間隙的方式使對置部件93與流體軌91對置。

根據這樣的結構，由於能夠防止對置部件93被吸附在流體軌91的上表面，因此能夠去除由對置部件93與流體軌91接觸而產生的滑動阻力。其結果，能夠減少對於托盤21搬運的阻力。

此外，在本實施方式中，在托盤21設置有懸掛單元94，懸掛單元94朝向流體軌91按壓對置部件93。

根據該結構，流體軌91的歪曲被懸掛單元94吸收，從而能夠從對置部件93的流體軌91的上表面維持預定間隙，並搬運托盤21。

此外，在本實施方式中，在搬運軌31上搭載有沿著搬運軌31排列的多個托盤21，相鄰的對置部件93在彼此對置的端部相互抵接。

根據該結構，由於相鄰的對置部件93在彼此對置的端部相互抵接，因此能夠使相鄰對置部件93在彼此的端部之間沒有間隙。其結果，在托盤21的搬運中，能夠避免發生對置部件93未覆蓋通孔91e的情況，從而能夠防止由通孔91e引起的漏氣。

此外，在本實施方式中，托盤21形成為，在流體軌91的延伸方向上的端部未從對置部件93的端部突出。

根據該結構，由於在流體軌91的延伸方向上的托盤21的端部未從對置部件93的端部突出，因此能夠防止相鄰托盤21在彼此端部抵接而導致相鄰對置部件93在彼此端部之間產生間隙。其結果，在托盤21的搬運中，能夠避免發生對置部件93未覆蓋通孔91e的情況，從而能夠防止由通孔91e引起的漏氣。

此外，在本實施方式中，托盤搬運裝置10還具備：返回軌41，其與搬運軌31平行設置，並將托盤21搭載成能夠移動；托盤返回單元61，其使搭載於返回軌41的托盤21朝向與搬運方向相反的方向移動；返回托盤移載機構70，其將搭載於搬運軌31的托盤21從搬運軌31的頂端移載至返回軌41的頂端； 以及搬運托盤移載機構80，其將搭載於返回軌41的托盤21從返回軌41的基端移載至搬運軌31的基端。

根據該結構，能夠以使托盤21沿著搬運軌31以及返回軌41循環的方式搬運托盤21。

此外，在本實施方式中，托盤搬運單元51具有：搬運帶52，搬運帶52設置為能夠沿著搬運軌31循環；以及伺服馬達59，伺服馬達59使搬運帶52循環。並且，托盤返回單元61具有：返回帶62，返回帶62設置為能夠沿著返回軌41循環；以及伺服馬達69，伺服馬達69使返回帶62循環。在托盤21上設置有卡止部件24，卡止部件24與托盤21一起在搬運帶52或返回帶62的寬度方向上移動，從而能夠與搬運帶52或返回帶62卡止。

根據該結構，由於托盤21獨立於搬運帶52或返回帶62的移動被禁止，因此托盤21與搬運帶52或返回帶62卡止而被搬運。

此外，將多個托盤21連續地搭載於搬運軌31上，並一邊使設置於多個托盤21的對置部件93彼此接近或者抵接，一邊搬運托盤21。

根據該結構，在托盤21的搬運中，能夠避免發生對置部件93未覆蓋通孔91e的情況，從而能夠防止由通孔91e引起的漏氣。

以上，雖然對本發明的實施方式進行了說明，但上述實施方式僅僅示出了本發明的應用例的一部分，並不意味著將本發明的技術範圍限定於上述實施方式的具體的結構。

接下來，對本發明所涉及的改變例進行說明。

在上述的實施方式中，說明了對置部件93在流體軌91方向的長度W2與托盤21的台座23在流體軌91方向的長度W1相比較長的情況。然而，對置部件93在流體軌91方向的長度W2，不僅限於此，也可以與托盤21的台座23在流體軌91方向上的長度W1相同。即使在該情況下，也能夠透過將多個托盤 21連續地搭載於搬運軌31上，並使多個托盤21的對置部件93相互接近或接觸而對托盤21進行搬運，從而避免發生對置部件93未覆蓋通孔91e的情況。

此外，在上述實施方式中，說明了利用電氣驅動式的伺服馬達59、69使滑輪55、66旋轉從而使搬運帶52或返回帶62循環的情況。然而，只要能夠使滑輪55、66旋轉，也可以使用流體壓力缸或流體壓力馬達代替伺服馬達。

此外，在上述實施方式中，說明了不讓流體軌91沿著返回軌41，在搭載於返回軌41的托盤21中，不使吸嘴26運作的情況。然而，不僅限於此，也可以使流體軌91沿著使托盤21後退的返回軌41形成。在該情況下，透過使對置部件93與沿著返回軌41設置的流體軌91對置，從而即使在搭載於返回軌41的托盤21中，也能夠使吸嘴26運作。

此外，在上述實施方式中，說明了流體壓力設備為透過空氣的吸引而使吸嘴26吸附工件14的情況。然而，流體壓力設備只要能夠利用流體運作，並不限於此，例如，也可以是利用流體的吸引使工件14旋轉的部件、或者對工件14進行加工的部件。

此外，在上述實施方式中，透過利用流體泵92將流體軌91的凹槽91d的空氣吸引變為負壓，從而使吸嘴26運作。然而，也可以朝向凹槽91d供給流體進行加壓，並將利用從凹槽91d供給的流體而運作的吸嘴26設置在托盤21上。

該情況下，也考慮到對與凹槽91d連通的通孔91e進行覆蓋的對置部件93浮起從而流體洩露的情況。因此，透過將把對置部件93朝向流體軌91按壓的懸掛單元94設置在托盤21上，從而防止對置部件93從流體軌91浮起，並抑制流體的洩露，從而能夠確保吸嘴26的運作。

本申請主張基於在2019年8月21日向日本專利局提出的日本專利申請號特願2019-151021的優先權，並透過參照的方式在本說明書中引入了該申請的全部內容。

10:托盤搬運裝置

11、12、13:加工站

16:工件供給機

17:工件回收機

21:托盤

22:直線運動塊

23:台座

24:卡止部件

26:流體壓力設備

27:夾具

31:搬運軌

32:支撐板

34:安裝板

51:托盤搬運單元

52:搬運帶

52c:下側搬運帶

52d:上側搬運帶

53、54:支撐台

55:滑輪

56:第二滑輪

57:帶軌

59:伺服馬達(第一循環單元)

59a:旋轉軸

71、81:架台

72、82:可動體

72a:台板

72b:短軌

73、83:軌道

74、84:台部件

75、85:滾珠螺桿

91:流體軌

91a:基材

91b:蓋板

91d:凹槽(流體通路)

91e:通孔

91f:傾斜面

92:流體泵(流體供給吸引單元)

92a:連通路

93:對置部件

93a:凹部

93c:連通路

94:懸掛單元

96:輥

Claims (10)

1. 一種托盤搬運裝置，其具備：搬運軌，其將搭載有流體壓力設備的托盤搭載成能夠移動；托盤搬運單元，其對搭載於所述搬運軌的所述托盤進行搬運；流體軌，其沿著所述搬運軌設置，並在內部形成有流體通路；以及流體供給吸引單元，其設置為與所述流體通路連通，並朝向所述流體通路供給流體或者從所述流體通路吸引流體；在所述流體軌形成有使所述流體通路與外部連通的多個通孔，在所述托盤上設置有對置部件以及連通路，所述對置部件形成有對多個所述通孔的一部分進行覆蓋的凹部，並且所述對置部件與所述流體軌對置，所述連通路將所述凹部與所述流體壓力設備連通；在所述對置部件樞軸支撐有輥，所述輥在所述流體軌上滾動，並以隔開預定間隙的方式使所述對置部件與所述流體軌對置。
2. 如請求項1所記載的托盤搬運裝置，其中，在所述托盤被所述托盤搬運單元搬運至所述搬運軌的任意位置的情況下，所述凹部均對多個所述通孔的一部分進行覆蓋。
3. 如請求項1所記載的托盤搬運裝置，其中，在所述托盤設置有懸掛單元，所述懸掛單元朝向所述流體軌按壓所述對置部件。
4. 如請求項1所記載的托盤搬運裝置，其中，在所述搬運軌上搭載有沿著所述搬運軌排列的多個所述托盤，相鄰的所述對置部件在彼此對置的端部相互抵接。
5. 如請求項4中所記載的托盤搬運裝置，其中， 所述托盤形成為，在所述流體軌的延伸方向上的端部未從所述對置部件的所述端部突出。
6. 如請求項1所記載的托盤搬運裝置，其中，還具備：返回軌，其與所述搬運軌平行設置，並將所述托盤搭載成能夠移動；托盤返回單元，其使搭載於所述返回軌的所述托盤朝向與搬運方向相反的方向移動；返回托盤移載機構，其將搭載於所述搬運軌的所述托盤從所述搬運軌的頂端移載至所述返回軌的頂端；以及搬運托盤移載機構，其將搭載於所述返回軌的所述托盤從所述返回軌的基端移載至所述搬運軌的基端。
7. 如請求項6所記載的托盤搬運裝置，其中，所述托盤搬運單元具有：搬運帶，所述搬運帶設置為能夠沿著所述搬運軌循環；以及第一循環單元，所述第一循環單元使所述搬運帶循環；所述托盤返回單元具有：返回帶，所述返回帶設置為能夠沿著所述返回軌循環；以及第二循環單元，所述第二循環單元使所述返回帶循環；在所述托盤上設置有卡止部件，所述卡止部件與所述托盤一起在所述搬運帶或所述返回帶的寬度方向上移動，從而所述卡止部件能夠與所述搬運帶或所述返回帶卡止。
8. 一種托盤搬運方法，其將搭載有流體壓力設備的托盤搭載於搬運軌進行搬運；其包含：將內部形成有流體通路、並且形成有使所述流體通路與外部連通的多個通孔的流體軌沿著所述搬運軌設置； 朝向所述流體通路供給流體或者從所述流體通路吸引流體；使形成有對多個所述通孔的一部分進行覆蓋的凹部的對置部件與所述流體軌對置；使所述凹部與搭載於所述托盤的所述流體壓力設備連通，並一邊使所述流體壓力設備運作，一邊搬運所述托盤以及所述對置部件；在所述對置部件樞軸支撐有輥，所述輥在所述流體軌上滾動，並一邊以隔開預定間隙的方式使所述對置部件與所述流體軌對置，一邊搬運所述托盤。
9. 如請求項8所記載的托盤搬運方法，其中，一邊將所述對置部件按壓在所述流體軌上，一邊搬運所述托盤。
10. 如請求項8或9所記載的托盤搬運方法，其中，將多個所述托盤連續地搭載於所述搬運軌上，並一邊使被設置於多個所述托盤的所述對置部件彼此接近或者抵接，一邊搬運所述托盤。

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