JP6497984B2 - 保持ノズル、保持ユニット及び搬送装置 - Google Patents

Description

本発明は、保持ノズルに関する。

ワークを搬送する際にワークを保持する保持ノズルには、負圧を利用してワークを吸着するものがある（特許文献１）。また、ワークを搬送する際にワークの姿勢をカメラ等で撮影するため、ワークの姿勢が変わらないように保持ノズルを固定するものがある（特許文献２）。

実願平４−１６３６６号（実開平５−６７４８５号）のＣＤ−ＲＯＭ 特許３６１０１６８号

ワークを搬送する際には、保持ノズルがワークに当接した際の衝撃が小さい方がよい。特許文献１に記載された技術では、ワークに押し付けられて収縮された保持ノズル内のスプリングの反発力により、保持ノズル内に負圧を発生させ、この負圧でワークを吸着させている。したがって、特許文献１に記載された技術では、保持ノズルがワークと当接する際にスプリングを圧縮させる力が必要になり、その際の衝撃は小さいものではない。また、特許文献２に記載された技術では、保持ノズルを固定するフック及びその作動機構が露出しているため、フックや作動機構から発生する塵埃等がワークへ付着することがある。

従って、本発明の目的は、保持ノズルがワークへ当接する際の衝撃を小さくすると共に、保持ノズルを固定する際に周囲への塵埃の発生を低減する技術を提供することにある。

本発明は、
ワークを負圧によって吸着保持する保持ノズルであって、
前記ワークを吸着する吸着部が一方側に設けられた吸着部材と、
負圧発生源に接続され、前記吸着部材の他方側を収容する収容部を備え、前記吸着部材を進退移動自在に支持する支持部材と、
前記吸着部材を前記進退移動の前進方向側に付勢する付勢部材と、
を備え、
前記支持部材は、前記収容部に、前記吸着部材の前記進退移動の前進限界及び後退限界を規定する第１及び第２の停止部をそれぞれ備え、
前記吸着部材は、前記他方側に、前記第１及び第２の停止部と当接する第１及び第２の当接部をそれぞれ備え、
前記支持部材は、
内部に前記吸着部材を摺動自在に収容する筒体と、
該筒体の一方部に設けられ、前記負圧発生源に接続される接続通路を備えるヘッドと、を備え、
前記筒体の内部と前記ヘッドとで囲まれた領域が前記収容部を構成し、
前記筒体は、前記筒体の内部に前記第１の停止部を備え、
前記ヘッドは、前記筒体の内部に位置する内方端部に前記第２の停止部を備えることを特徴とする。

本発明によれば、保持ノズルがワークへ当接する際の衝撃を小さくすると共に、保持ノズルを固定する際に周囲への塵埃の発生を低減することができる。

本発明の第一実施形態における搬送装置を用いたシステムの説明図。 搬送装置における保持ユニット及び移載ユニットの拡大斜視図。 保持ユニットの拡大斜視図。 保持ノズルとノズル支持部材との分解斜視図。 駆動制御ユニットのブロック図。 第一実施形態の保持ノズルにおいて、（Ａ）は負圧を発生していない時、（Ｂ）は負圧発生時を示す断面図。 第二実施形態の保持ノズルにおいて、（Ａ）は負圧を発生していない時、（Ｂ）は負圧発生時を示す断面図。 第三実施形態の保持ノズルにおいて、（Ａ）は負圧を発生していない時、（Ｂ）は負圧発生時を示す断面図。 第四実施形態の保持ノズルにおいて、（Ａ）は負圧を発生していない時、（Ｂ）は負圧発生時を示す断面図。 第五実施形態における保持ノズル。

以下、本発明の例示的な実施形態について図面を参照して説明する。なお、各図において、同じ参照符号は、同様の要素を示し、紙面に対する上下左右方向を、本実施形態における装置または部材の上下左右方向として、本文中の説明の際に用いることとする。

図１は本発明の第一実施形態に係る搬送装置Ａを含むシステムの説明図である。図１中、矢印Ｘ及びＹは水平方向であって互いに直交する２方向を示し、矢印Ｚは垂直方向を示す。システムは、搬送装置Ａと作業テーブルＰと測定ユニットＭＵとを備える。搬送装置Ａは、作業テーブルＰに載置されたワーク保持トレイＴ内のワークＷを同じく作業テーブルＰ上に載置された機器Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４へ搬送して、搭載する装置である。測定ユニットＭＵは、中央に測定に用いられるカメラ等の光学機器ＭＵ１を備え、その外周に照明装置ＭＵ２を配置したものを例示するが、この形態に限定されるものではない。

作業テーブルＰは、作業テーブルＰの外部から移送されてきたワーク保持トレイＴ及び機器Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４の作業テーブルＰ上の位置決めを行う機構（図示省略）を備えている。また、作業テーブルＰの下方に配置された測定ユニットＭＵは、搬送装置Ａに保持されるワークＷの水平方向位置及び水平方向と平行な面方向の姿勢を測定する。このため、ワーク保持トレイＴ及び機器Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４が載置される作業テーブルＰは、作業テーブルＰの下方に配置された測定ユニットＭＵが作業テーブルＰの上方に位置するワークＷを下方から測定可能なように開口ＯＰを備える。

＜搬送装置Ａ＞
搬送装置Ａは、ワークＷを保持する四つの保持ユニット１０と、保持ユニット１０を垂直軸の軸周りに回転させる回転機構２０と、保持ユニット１０をＺ方向である垂直方向に昇降させる昇降機構３０と、保持ユニット１０を垂直方向と直交するＸ及びＹ方向の水平方向に移動させる移動機構４０とを備える。移載ユニットは、回転機構２０、昇降機構３０及び移動機構４０を含む。さらに、搬送装置Ａは、測定ユニットＭＵで測定したワークＷの姿勢及び保持位置データとワークＷが搬送される搬送先の位置情報とを基に、回転機構２０、昇降機構３０、移動機構４０及び後述する負圧発生源５０の少なくともいずれか一つの駆動を制御する駆動制御ユニット６０を備える（図５参照）。

図２には、保持ユニット１０、回転機構２０及び昇降機構３０の詳細を説明するための拡大図を示す。本実施形態において、搬送装置Ａは、一つのワークＷを保持する保持ユニット１０を四つ備えている。このうち隣接する二つの保持ユニット１０、１０を一組として、二つの第一支持部材１１がそれぞれ二つの保持ユニット１０、１０を互いに連結する。そして、二つの第一支持部材１１が、それぞれ第二支持部材１２に接続される。したがって、第二支持部材１２には、四つの保持ユニット１０が装着されることになる。

また、第二支持部材１２は、回転機構２０の回転体２１に接続され、回転機構２０によって図２中矢印Ｗ１で示す垂直軸周りに回転可能である。したがって、四つの保持ユニット１０は、それぞれ第二支持部材１２に接続された状態で、回転機構２０によって垂直軸を中心とした円弧を描くように移動可能である。回転機構２０の回転体２１は、回転駆動源を備える回転駆動部２２に接続される。回転駆動源としては、例えば、モータ等の駆動源を挙げることができる。回転駆動部２２は、側面視Ｌ字型に形成された昇降機構３０の昇降体３１の水平方向に延びる底板３１ａの底面に接続される。

昇降体３１は昇降駆動源を備える昇降駆動部３２の内部に構成されたナット部材（図示せず）に接続される。昇降駆動源としては、モータ等の駆動源と昇降駆動部３２の内部に構成されたボールねじ機構との組み合わせを挙げることができる。側面視Ｌ字型に形成された昇降体３１は、水平方向に延びる底板３１ａと垂直方向に延びる側板３１ｂとを備える。昇降体３１の側板３１ｂの側面（昇降駆動部側の面）には、二つのガイド部材３１ｃ、３１ｃが配置される。

また、昇降体３１と対向する昇降駆動部３２の側面には、二つのガイド部材３１ｃ、３１ｃに対応した二つのレール部材３２ａ、３２ａが垂直方向並列に配置される。さらに昇降駆動部３２の下端には、ボールねじ部を駆動する駆動モータ３２ｂが配置される。したがって、昇降体３１は、昇降駆動部３２の昇降駆動源が駆動することで内蔵されるナットがボールネジに沿って移動することにより図２中矢印Ｚ１で示す垂直方向に昇降する。なお、昇降駆動源としては、上記したボールねじ機構に限定されず、例えば、モータ等の駆動源とラック−ピニオン機構等の機構との組み合わせを挙げることができる。

昇降体３１の底板３１ａの上面には、例えば、保持ユニット１０の後述する保持ノズル１００内に負圧を発生させる負圧発生源５０が載置される。負圧発生源５０としては、バキュームポンプ等を挙げることができるが、これに限定されるものではなく、周知の負圧発生装置であればいずれの構成を採用してもよい。また、工場に既設されている負圧設備から配管等を接続させて保持ノズル１００の負圧源として活用してもよい。負圧発生源５０からは、四つの保持ユニット１０のそれぞれに向けて延びる四本のエアチューブ５１、５１、５１、５１が配置されている。エアチューブ５１は、その一端が負圧発生源５０に接続され、他端が保持ユニット１０に接続される。

再び図１を参照して、保持ユニット１０と回転機構２０と負圧発生源５０とを支持する昇降機構３０は、移動機構４０に含まれる第一水平移動機構４１に接続され、第一水平移動機構４１に沿って水平方向の一方向である図１中矢印Ｙ１方向に往復移動可能である。そして第一水平移動機構４１は、作業テーブルＰ上のワーク保持トレイＴと複数の機器Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４との間を移動可能なように、移動機構４０に含まれる作業テーブルＰの長手方向へ延びる第二水平移動機構４２に接続され、第二水平移動機構４２に沿って水平方向の他方向である図１中矢印Ｘ１方向に往復移動可能である。なお、昇降機構３０を図１中矢印Ｙ１方向に移動する第一水平移動機構４１や、第一水平移動機構４１を図１中矢印Ｘ１方向に移動する第二水平移動機構４２としては、例えば、モータ等の駆動源と、ボールねじ機構またはラック−ピニオン機構等の機構との組み合わせを挙げることができる。

＜保持ユニット１０＞
図３に保持ユニット１０の拡大図を示す。保持ユニット１０は、四つの保持ノズル１００、１００、１００、１００と、保持ノズル１００が装着されるノズル支持部材１３と、ノズル支持部材１３に接続される昇降体１４と、昇降体１４を昇降するノズル昇降部１５とを備える。なお、ノズル昇降機構は、昇降体１４及びノズル昇降部１５を含む。本実施形態において、四つの保持ノズル１００は、それぞれ矩形状の四隅に配置され、ワークＷが矩形の場合、それぞれが矩形状のワークＷの四隅を保持することにより、保持ユニット１０がワークＷを安定して保持することができる。

ノズル支持部材１３は、側面視Ｌ字型の昇降体１４の水平方向へ延びる底板１４ａに接続される。また、昇降体１４の垂直方向へ延びる側板１４ｂは、ノズル昇降部１５に接続される。このとき、ノズル昇降部１５の下面から延びるロッド１５ａが昇降体１４の底板１４ａの上面に接続される。昇降体１４とノズル昇降部１５とのノズル昇降機構としては、例えば、モータ等の駆動源と、ボールねじ機構または流体を利用したアクチュエータ等の機構との組み合わせからなるスライドガイドを挙げることができる。

ノズル昇降部１５がロッド１５ａを垂直方向である図３中Ｚ２方向へ移動させることで、これに追従した底板１４ａと側板１４ｂとが共に移動し、昇降体１４が垂直方向に移動可能となる。したがって、昇降体１４及びノズル支持部材１３に接続された保持ノズル１００がノズル昇降部１５によって垂直方向（図３中矢印Ｚ２方向）に移動することが可能である。また、ノズル支持部材１３の側面には、負圧発生源５０に接続されたエアチューブ５１が接続される。

図４には、四つの保持ノズル１００とノズル支持部材１３との分解斜視図を示す。保持ノズル１００は、ワークＷと当接して吸着する吸着部１１０が一方側に設けられた吸着部材１２０と、吸着部材１２０を収容する筒体１３０と、筒体１３０とノズル支持部材１３とを接続するヘッド１４０とを備える。ヘッド１４０は、ノズル支持部材１３へ向けて突出し、外周面にネジ山（雄ネジ）が形成されたネジ部１４１を備える。保持ノズル１００は、ノズル支持部材１３の下面に開口されたノズル装着部１３ａに装着される。ノズル装着部１３ａ内にはネジ溝（雌ネジ）が形成されており、ネジ部１４１をノズル装着部１３ａのネジ溝に螺着させることで、保持ノズル１００がノズル支持部材１３に装着される。なお、保持ノズル１００のノズル支持部材１３に対する装着方法は、上記のものに限定されず、例えば、ネジ溝を設けずに、ヘッド１４０の突出部分をノズル装着部１３ａに圧入することで装着してもよい。

ノズル支持部材１３の側部には、負圧発生源５０から延びるエアチューブ５１が接続される流体接続部１３ｂが形成される。流体接続部１３ｂは、図示しないノズル支持部材１３内部に形成された連通路に接続される。ノズル支持部材１３内部に形成された図示しない連通路は、ノズル支持部材１３下面に形成された四つのノズル装着部１３ａ、１３ａ、１３ａ、１３ａと流体接続部１３ｂとを連通する。言い換えると、連通路のエアチューブ５１側の開口が流体接続部１３ｂ、また、連通路の保持ノズル１００側の開口がノズル装着部１３ａとされる。なお、各ノズル装着部１３ａへ流体接続部１３ｂから均等に流体の給排気を行うように、例えば、流体接続部１３ｂから各ノズル装着部１３ａまでの連通路の長さを同じ長さとすることが挙げられる。

＜駆動制御ユニット６０＞
図５は本実施形態のシステムの制御を行う駆動制御ユニット６０のブロック図である。駆動制御ユニット６０は、処理部６１と、記憶部６２と、インターフェース部６３とを備え、これらは互いに不図示のバスにより接続されている。処理部６１は、記憶部６２に記憶されたプログラムを実行する。処理部６１は、例えばＣＰＵである。記憶部６２は、例えば、ＲＡＭ、ＲＯＭ、ハードディスク等である。インターフェース部６３は、処理部６１と、外部デバイス（ホストコンピュータ６４、センサ（入力デバイス）６５、アクチュエータ（出力デバイス）６６）との間に設けられ、例えば、通信インターフェースや、Ｉ／Ｏインターフェース等である。

センサ６５には、例えば、ノズル支持部材１３が取り付けられた昇降体１４、回転体２１、昇降機構３０の昇降体３１、第一水平移動機構４１に移動される昇降機構３０、第二水平移動機構４２に移動される第一水平移動機構４１等の位置を検出するセンサ、測定ユニットＭＵのカメラの撮像素子等が含まれる。アクチュエータ６６には、回転機構２０、昇降機構３０、移動機構４０、負圧発生源５０の駆動源等が含まれる。駆動制御ユニット６０はホストコンピュータ６４の指示により、搬送装置Ａを制御する。以下、制御例について説明する。

＜搬送装置Ａの動作＞
図１を参照して、搬送装置Ａの動作について説明する。作業テーブルＰは、第二水平移動機構４２に沿うように配置されており、その一方端部側（図１中左方向端部側）に複数の未搭載のワークＷを保持するワーク保持トレイＴが配置され、ワーク保持トレイＴから離れるように他方端部側（図１中右方向端部側）に向かって複数の機器Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４（本実施形態では四つの機器）が配置される。

搬送装置ＡがワークＷをワーク保持トレイＴから機器Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４へ移載する際には、まず、駆動制御ユニット６０が昇降機構３０及び移動機構４０を用いて、ワーク保持トレイＴの上方に保持ユニット１０（図１中二点鎖線で示される保持ユニット１０、回転機構２０、昇降機構３０、及び負圧発生源５０）を移動させる。そして、駆動制御ユニット６０が昇降機構３０及びノズル昇降機構を用いて、保持ユニット１０を下降させてワーク保持トレイＴ上に載置されたワークＷの一部に対して接近させ、後述する保持ノズル１００の吸着動作により対象となるワークＷを保持ユニット１０に吸着させる。ワークＷを吸着した保持ユニット１０は、ノズル昇降機構及び昇降機構３０により上昇される。

次いで、駆動制御ユニット６０が、移動機構４０を駆動制御し、ワークＷを保持した保持ユニット１０を測定ユニットＭＵの上方へと移動させる。測定ユニットＭＵの上方にワークＷが到達した後、駆動制御ユニット６０は、測定ユニットＭＵに、ワークＷを下方から撮影させる。駆動制御ユニット６０は、ワークＷの水平回転方向の姿勢及びＸ−Ｙ方向の位置情報を、測定ユニットＭＵの撮像素子によって取得する。なお測定ユニットＭＵとしては、可視光線、赤外線、紫外線等を検出できる光学センサを採用でき、撮像素子としてＣＣＤ、ＣＭＯＳセンサ等から構成されるものを採用してもよい。

そして、駆動制御ユニット６０は、測定ユニットＭＵによって測定を終えたワークＷを保持する保持ユニット１０を、回転機構２０、昇降機構３０及び移動機構４０に、目標とする所定の機器Ｄ１まで移送させる。例えば、機器Ｄ１の所定箇所にワークＷを載置する場合には、図１に実線で示すように、駆動制御ユニット６０は、ワークＷを保持した保持ユニット１０を機器Ｄ１の上方へ移動させる。このとき、駆動制御ユニット６０は、測定ユニットＭＵで測定したワークＷのデータとワークＷが搬送される搬送先の位置情報とに基づき、回転機構２０、昇降機構３０及び移動機構４０の駆動を制御している。こうすることで、ワークＷを移載先に精度よく正しい姿勢で確実に位置づけることができる。

次に、駆動制御ユニット６０は、保持ユニット１０にワークＷを所定の機器Ｄ１に移載させる。このとき、駆動制御ユニット６０は、保持ユニット１０にワーク保持トレイＴからワークＷを吸着保持した手順と逆の手順を行わせる。この後、駆動制御ユニット６０は、この作業を他の機器Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４に対しても同様に行う。駆動制御ユニット６０は、四つの保持ユニット１０が保持している四つのワークＷを作業テーブルＰ上の四つの機器Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４のそれぞれに対して移載させる作業を完了させたら、保持ユニット１０を再びワーク保持トレイＴ上へと移動させる。

次いで、駆動制御ユニット６０は、保持ユニット１０に、新たなワークＷを吸着保持させる。このとき作業テーブルＰ上にあったワークＷを搭載済みの機器Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４は、ワークＷを未搭載の機器と交換され、このワークＷを未搭載の機器は新たなワークＷを吸着保持した保持ユニット１０が到着するまで待機される。そして、上記したと同様に駆動制御ユニット６０は、保持ユニット１０を新たに作業テーブルＰ上に配置された機器へ移動させ、それぞれの機器にワークＷを搭載させる。

＜保持ノズル１００＞
次に図６を参照して保持ノズル１００の詳細について説明する。また、図７から図１０を参照して他の実施形態における保持ノズルの詳細について説明する。なお、図６から図９においては共通して、それぞれの図の（Ａ）にワーク未吸着時の保持ノズルの断面図を示し、それぞれの図の（Ｂ）にワークＷ吸着時の保持ノズルの断面図を示す。図６には、第一実施形態における保持ノズル１００の断面図を示す。図７には、第二実施形態における保持ノズル２００の断面図を示す。図８には、第三実施形態における保持ノズル３００の断面図を示す。図９には、第四実施形態における保持ノズル４００の断面図を示す。図１０には、第五実施形態における保持ノズル５００の断面図を示す。

＜第一実施形態＞
図６に示す保持ノズル１００は、ワークＷを負圧によって吸着する吸着部１１０と、吸着部材１２０と、支持部材１０１と、付勢部材１５０とを備える。支持部材１０１は、内部に吸着部材１２０を摺動自在（進退移動自在）に収容する筒体１３０と、筒体１３０の一方部に設けられ、ノズル支持部材１３及びエアチューブ５１を介して負圧発生源５０に接続される接続通路１４５を備えるヘッド１４０とを備える。

＜吸着部１１０＞
吸着部（ノズル先端部材）１１０は、吸着部材１２０に接続される内部開口１１１ａを備えた筒体部１１１と、筒体部１１１から縮径して吸着部１１０の先端へと延びる傾斜部１１２と、傾斜部の端部である吸着部１１０の先端にワークＷと接触する平坦面である接触部１１３とを備える。また、吸着部１１０は、端部（後端側：図６（Ａ）及び図６（Ｂ）中では上端側）に平坦面である着座部１１５を備える。さらに、吸着部１１０の内部には、保持ノズル１００の長手方向に延びる第一流体通路１１４が形成される。また、吸着部１１０は、ワークＷに直接接触するためワークＷを傷つけない材質、例えば、ゴム等の樹脂で形成される。

＜吸着部材１２０＞
吸着部材１２０の一方側（前端側：図６（Ａ）及び図６（Ｂ）中では下端側）に、前述した吸着部１１０が設けられる。また、吸着部材１２０の他方側（後端側：図６（Ａ）及び図６（Ｂ）中では上端側）は、筒体１３０の内部に形成された摺動部１３１及び収容部１３４に収容される。吸着部材１２０は、筒体１３０に対して、進退移動自在に支持される。吸着部材１２０の内部には、第二流体通路１２５が形成される。この第二流体通路１２５は、前述した吸着部１１０の第一流体通路１１４と連通され、これにより、収容部１３４は、吸着部１１０の先端周辺の外部雰囲気と連通される。

また、吸着部材１２０は、筒状部材で構成され、吸着部１１０が接続される小径筒部１２０ａと、小径筒部１２０ａよりも大径で、一部が筒体１３０の摺動部１３１に収容される第一大径筒部１２０ｂと、第一大径筒部１２０ｂよりも大径で、後述する第一及び第二の当接部１２１、１２２を備える第二大径筒部１２０ｃとを備える。第二大径筒部１２０ｃは、収容部１３４に収容される。小径筒部１２０ａは、第一筒部１２０ｂより小径の外周面を備え、小径筒部１２０ａが筒体部１１１の内部開口１１１ａに挿入される。このとき、小径筒部１２０ａと第一大径筒部１２０ｂとの段差部１２６が吸着部１１０の着座部１１５に着座されることで、吸着部１１０と吸着部材１２０の軸方向における相対位置が規定される。この挿入の態様としては、例えば圧入や嵌入が挙げられ、また、このとき、接着剤による固定を行ってもよい。

筒部１２０ｂ（の外周面）は、筒体１３０の内周面（摺動部１３１）に摺動自在に接続される。吸着部材１２０の外周と筒体１３０の内周との間には、吸着部材１２０が摺動可能な程度の隙間が設けられている。なお、後述する保持ノズル１００の動作時、この隙間から流入出するエアーの流量よりも、負圧発生源５０によって吸引され、第一流体通路１１４、第二流体通路１２５を流れるエアーの流量、または吸引保持を解除（ブロー）する際のエアーの流量の方が大きいので、この隙間による吸着保持や解除への影響は少ない。なお、吸着部材１２０の進退方向は、垂直軸と平行である。

第二大径筒部１２０ｃは、第一大径筒部１２０ｂより大径の外周面を備え、第一大径筒部１２０ｂとの接続箇所になる段部に第一の当接部１２１を有し、第一の当接部１２１と軸方向反対側の端部に第二の当接部１２２を有する。第１の当接部１２１及び第２の当接部１２２は、それぞれ後述する第１及び第２の停止部１３２、１４２と当接する。また、第二大径筒部１２０ｃの内部には、後述する付勢部材１５０を収容する有底の窪みである第一収容部（収容部の一方部分）１２４が形成される。また、第二大径筒部１２０ｃは、吸着部材１２０の第一大径筒部１２０ｂの端部からヘッド１４０側へ延び、第一収容部１２４の周壁を形成する第二の当接部１２２を備える周壁部１２２ａを備え、第一収容部１２４の円形の底部となる端面１２３と周壁部１２２ａとによって、付勢部材１５０の一方の端部が収容される空間が形成される。また、第一収容部１２４の円形の底部となる端部１２３の直径は、付勢部材１５０の直径と同程度とすることで、第一収容部１２４の底部が付勢部材１５０を安定して保持することができる。

第二流体通路１２５は、第一収容部１２４の底部に臨んで開口され、収容部１３４と吸着部１１０の第一流体通路１１４とを連通する。したがって、第二流体通路１２５は、吸着部材１２０の内部に一方の端部から他方の端部に亘って貫通して設けられ、言い換えると、小径筒部１２０ａから第一大径筒部１２０ｂ及び第二大径筒部１２０ｃの一部の内部を貫通して形成される。

＜筒体１３０＞
支持部材１０１を構成する筒体１３０は、その内部に内径が段差状に拡径される貫通孔部を備え、前端側（図６（Ａ）及び図６（Ｂ）中では下端側）から順に、内部に吸着部材１２０を収容する第一の空間を形成する摺動部１３１と、摺動部１３１より大径の第二の空間を形成する内周壁１３４ａと、内周壁１３４ａより大径の第三の空間を形成する被接続部１３３とを備える。収容部１３４は、筒体１３０の内周壁１３４ａとヘッド１４０（の内周壁）とで囲まれた領域で形成される。また、収容部１３４に収容された付勢部材１５０は、吸着部材１２０を進退移動の前進方向側に付勢する。摺動部１３１と内周壁１３４ａと被接続部１３３とでそれぞれ形成される内部空間は互いに連通し、筒体１３０を貫通する通路を形成する。また、摺動部１３１と内周壁１３４ａとの接続箇所である段部には、第一の停止部１３２が形成される。第一の停止部１３２は、内周壁１３４ａの周方向に沿って連続して円環状に配置される態様や、内周壁１３４ａの周方向に沿って非連続に配置される態様が例示される。なお、第一の停止部１３２が周方向に沿って非連続に配置されるとは、第一の停止部１３２の周方向の一部が軸方向の前端側（図６（Ａ）及び図６（Ｂ）中では下端側）へ窪むことで、第一の停止部１３２の上端面が周方向に沿って非連続に配置される態様のことを含む。

筒体１３０は、その外周面の一部、例えば、摺動部１３１の中途部から筒体１３０の端部（図６（Ａ）及び図６（Ｂ）中では下端部）に亘る部分に、徐々に縮径するテーパ部を備える。筒体１３０の被接続部１３３には、後述するヘッド１４０の接続部１４６が接続される。また、筒体１３０の被接続部１３３には、被接続部１３３と連続して形成され、ヘッド１４０の装着位置を規定する規定部１３３ａ’が形成される。

＜ヘッド１４０＞
支持部材１０１を構成するヘッド１４０は、軸方向における一端部（後端部：図６（Ａ）及び図６（Ｂ）中では上端部）がノズル支持部材１３に接続され、軸方向における他端部（前端部：図６（Ａ）及び図６（Ｂ）中では下端部）が筒体１３０に接続される。ヘッド１４０の軸方向における一端部には、ノズル支持部材１３のノズル装着部１３ａに接続されるネジ部１４１が形成される。本実施形態においては、上記したように、ネジ部１４１のネジ溝が、ノズル支持部材１３のノズル装着部１３ａ内に螺着されることで、ヘッド１４０がノズル支持部材１３に装着される。また、ネジ部１４１の他端部側には、ヘッド１４０の軸を中心として放射方向に延びる延設面１４１ａ’が形成され、更に延設端部から他端部側に延び、ネジ部１４１より大径の外周部１４１ａを備える。外周部１４１ａには、筒体１３０の規定部１３３ａ’に当接する当接部１４０ａ’が形成され、当接部１４０ａ’から外周部１４１ａより小径で後述する接続部１４６を備える。

ヘッド１４０の軸方向における他端部（図６中下側端部）には、付勢部材１５０を収容する有蓋の窪みである第二収容部（収容部の他方部分）１４４が形成される。つまり、ヘッド１４０は、吸着部材１２０の他方側の端部と対向する内側縁部から吸着部材１２０側へ延び、接続部１４６および第二の停止部１４２を備え、第二収容部１４４の周壁を形成する周壁部１４２ａが設けられ、第二収容部１４４の円形の蓋部となる内方端面１４３と周壁部１４２ａとによって、付勢部材１５０の他方の端部が収容される空間を形成する。また、第二収容部１４４の円形の蓋部となる内方端面１４３の直径は、付勢部材１５０の直径と同程度とすることで、第二収容部１４４の蓋部が付勢部材１５０を安定して保持することができる。

また、ヘッド１４０の外周で、ヘッド１４０の吸着部材１２０側の端部には、筒体１３０の一方部である被接続部１３３と接続される接続部１４６が形成される。本実施形態では、接続部１４６は、被接続部１３３に圧入されて、筒体１３０とヘッド１４０とが一体化される。筒体１３０とヘッド１４０とが接続され一体化される際には、当接部１４０ａ’と規定部１３３ａ’とが当接することでお互いの軸方向の位置が規定され、吸着部材１２０が筒体１３０の収容部１３４で移動する距離Ｃ２および収容部１３４の軸方向の空間が規定される。また、当接部１４０ａ’と規定部１３３ａ’とが当接することで接続部におけるシール状態（密接状態）を形成する。なお、筒体１３０とヘッド１４０との接続は、接続部１４６及び被接続部１３３にネジ溝を形成して、これらを螺合させて接続してもよい。接続部１４６の吸着部材１２０側端面には、第二の停止部１４２が形成される。第二の停止部１４２は、吸着部材１２０の第二の当接部１２２が当接可能なように、第二の当接部１２２と対向して配置される。

なお、ヘッド１４０には、第二収容部１４４に臨んで開口する接続通路１４５を備える。保持ノズル１００におけるヘッド１４０をノズル支持部材１３に取り付けることで、この接続通路１４５が、ノズル支持部材１３の連通路と連通される。以上のように、筒体１３０とヘッド１４０とを含む支持部材１０１は、吸着部材１２０の進退移動の前進限界及び後退限界を規定する第１の停止部１３２及び第２の停止部１４２をそれぞれ備える。筒体１３０は、筒体１３０の内部に第１の停止部１３２を備え、ヘッド１４０は、筒体１３０の内部に位置する前端部に第２の停止部１４２を備える。

＜付勢部材１５０＞
付勢部材１５０は、一方の端部が吸着部材１２０の第一収容部１２４に収容され、他方の端部がヘッド１４０の第二収容部１４４に収容されるコイルバネである。またこのとき、付勢部材１５０は、一方の端面が吸着部材１２０の他方側の端部の端面１２３に、他方の端面がヘッド１４０の内方端部の内方端面１４３に当接される。本実施形態において、付勢部材１５０としてコイルバネを例示したが、これに限定されず、例えば、スポンジ状で、内部に多孔質部を有し、圧縮後復元可能な樹脂材料で形成したものを採用してもよい。

＜吸着動作＞
図６（Ａ）及び図６（Ｂ）を参照して、保持ノズル１００のワークＷを吸着保持する際の動作について説明する。図６（Ａ）は、ワークＷを非吸着時で保持ノズル１００内に負圧を発生していない状態を示す。ワークＷを非吸着時、保持ノズル１００の第一の停止部１３２と第一の当接部１２１とは互いに当接するが、第二の停止部１４２と第二の当接部１２２とは互いに当接しない。このとき、付勢部材１５０の長さ（全長）Ｃ１は、第一収容部１２４の底部となる端面１２３と第二収容部１４４の蓋部となる内方端面１４３との間の距離となる。また、吸着時に吸着部材１２０が筒体１３０に対して移動する距離Ｃ２は、この未吸着時における第二の当接部１２２と第二の停止部１４２との間の離間距離となる。ここで、移動距離Ｃ２と全長Ｃ１との比が、例えば１／５〜１／１０と非常に小さくなるように、保持ノズル１００は設計される。

図６（Ｂ）は、ワークＷを吸着させた時であり、保持ノズル１００内に負圧を発生させた状態を示す。図６（Ａ）に示すワークＷの非吸着の状態から図６（Ｂ）に示す吸着の状態へ移行するには、上記した駆動制御ユニット６０が、保持ユニット１０をワークＷに対して接近させ、保持ノズル１００と吸着部１１０の接触部１１３をワークＷの表面に当接させる。

次いで、駆動制御ユニット６０が負圧発生源５０を駆動させ、図６（Ｂ）の流体通路内に矢印Ｆ１で示すように、保持ノズル１００内部の空気をヘッド１４０の接続通路１４５を介して保持ノズル１００の外部へ排出する。このとき、ワークＷが吸着部１１０の接触部１１３に当接され、第一流体通路１１４の一方の開口がワークＷでふさがれた状態となるので、付勢部材１５０が含まれる収容部１３４が負圧となる。すると、保持ノズル１００内の負圧により、付勢部材１５０の付勢力に抗して、吸着部材１２０が、ヘッド１４０側へ移動させられる。

このとき、吸着部材１２０のヘッド１４０側への移動は、第２の当接部１２２が第２の停止部１４２に当接することで停止されるので、ワークＷに当接する際の吸着部１１０における接触部１１３の軸方向の位置が規定される。したがって、ワークＷを吸着保持した際の吸着部１１０の保持位置の精度が向上する。吸着部材１２０を軸方向に固定する機構として、支持部材１０１の収容空間１３４に第２の当接部１２２及び第２の停止部１４２を設けたことから、この機構を保持ノズル１００内部に収容することができ、保持ノズル１００が動作する際に発生した塵埃が周囲、特にワークＷに影響を及ぼすおそれはない。なお、このとき上記したように、第一大径筒部１２０ｂと吸着部材１２０との摺動部分の隙間は、保持ノズル１００内の負圧に影響がないほど小さく設定されている。

したがって、保持ノズル１００の内部が負圧になると、吸着部材１２０が移動されると共に、第一の停止部１３２と第一の当接部１２１とが互いに離れ、第二の停止部１４２と第二の当接部１２２とが互いに当接した状態となり、保持ノズル１００は図６（Ｂ）に示す吸着の状態となる。また、第一及び第二の当接部１２１、１２２と、第一及び第二の停止部１３２、１４２とを保持ノズル１００の内部に配置したことにより、保持ノズル１００が動作する際に発生した塵埃が周囲、特にワークＷに影響を及ぼすおそれはない。

以上のように、吸着部材１２０の移動後、第２の当接部１２２が第２の停止部１４２に当接することで吸着部材１２０の軸方向位置が規定され、ワークＷを吸着したときにおける測定ユニットＭＵ、例えばカメラによる、ワークＷの撮影位置（撮影深度）が精度よく常に一定に維持される。また、負圧発生源５０を停止して、保持ノズル１００内に空気が流入されると、保持ノズル１００の内部空間の負圧が低下し、付勢部材１５０の付勢力により吸着部材１２０が下方に移動する。このときも、保持ノズル１００の第一の停止部１３２と第一の当接部１２１とが互いに当接し、非吸着時の吸着部材１２０の軸方向位置を規定することができる。

さらに上記保持ノズル１００は、付勢部材１５０を全長Ｃ１にわたって収容し、かつ、ワークＷの吸着時に吸着部材１２０を移動させる距離Ｃ２を全長Ｃ１に比べて非常に小さくしている。このため、ワークＷの吸着時において、付勢部材１５０をその全長Ｃ１に対して圧縮させる割合が小さくなることから、付勢部材１５０の製造誤差にかかわらず、均質な付勢力を付与することができる。つまり、付勢部材１５０の伸長時と収縮時との付勢力差を一定の範囲内になるようにしている。そのため、保持ノズル１００によるワークＷの取り出し、および、ワークＷの載置の際に発生する保持ノズル１００の接触部１１３とワークＷとの衝撃（ワークＷに付与されるストレス）を小さくすることができる。

＜第二実施形態＞
図７（Ａ）及び図７（Ｂ）に第二実施形態に係る保持ノズル２００を示す。本実施形態は、上記した第一実施形態に係る保持ノズル１００と、吸着部材１２０の第一収容部１２４及び第二当接部１２２、ヘッド１４０の第二収容部１４４、接続部１４６、第二停止部１４２が異なる点で相違する。なお、その他の構成で同様の要素を採用している部材について、図７（Ａ）及び図７（Ｂ）において、第一実施形態で用いた参照符号と同一の参照符号を付している。

本実施形態の保持ノズル２００は、第一実施形態の第一収容部１２４を形成する第二大径筒部１２０ｃの一部（周壁部１２２ａ）に代えて、第二の当接部２０２を備え周方向に１２０度の等間隔で配置された三つの第一棒状部材２０１、２０１、２０１を採用している。三つの第一棒状部材２０１、２０１、２０１は、吸着部材１２０の端面１２３に立設され、吸着部材１２０の軸を中心とした放射状に配置され、三つの第一棒状部材２０１、２０１、２０１によって囲まれたその内部に付勢部材１５０（の一部：端部）を収容する。三つの第一棒状部材２０１、２０１、２０１で形成された円の直径は、付勢部材１５０の端部の直径と略等しくしている。また、第一棒状部材２０１のヘッド１４０側端部を第二の当接部２０２とする。

また、本実施形態の保持ノズル２００は、第一実施形態の第二収容部１４４を形成する接続部１４６の周壁部１４２ａに代えて、吸着部材１２０側に延びて形成される周壁の高さが低い周壁部１４２ａ’を備える。また、第二の停止部１４２に代えて、第二の停止部２０４を備え周方向に１２０度の等間隔で配置された三つの第二棒状部材２０３、２０３、２０３を採用している。三つの第二棒状部材２０３、２０３、２０３は、ヘッド１４０に立設され、放射状に配置され、三つの第一棒状部材２０３、２０３、２０３によって囲まれたその内部に付勢部材１５０を収容する。三つの第二棒状部材２０３、２０３、２０３で形成された円の直径は、付勢部材１５０の端部の直径と略等しくしている。また、第二棒状部材２０３の吸着部材１２０側端部を第二の停止部２０４とする。

保持ノズル２００の吸着動作は、上記した第一実施形態に係る保持ノズル１００の吸着動作と同様である。図７（Ｂ）に示すように、ワークＷの吸着保持が完了した状態で、第一棒状部材２０１の第二の当接部２０２と第二棒状部材２０３の第二の停止部２０４とが当接して、吸着部材１２０の保持位置が規定される。

本実施形態によれば、保持ノズル２００の内部に配置される部品の質量を減らすことができ、保持ノズル２００を軽量にすることができる。また、吸着部材１２０及びヘッド１４０に第一収容部１２４及び第二収容部１４４を形成することがないので、各部品を加工する工数を減らすことができる。なお、第一棒状部材２０１および第二棒状部材２０３は、それぞれが構成される端面１２３および内方端面１４３に設けたネジ溝に螺合させて構成される。または、端面１２３および内方端面１４３に穴を形成し、第一棒状部材２０１および第二棒状部材２０３のぞれぞれの一方端部を圧入させて構成してもよい。

＜第三実施形態＞
図８（Ａ）及び図８（Ｂ）に第三実施形態に係る保持ノズル３００を示す。本実施形態は、上記した第一実施形態に係る保持ノズル１００と、吸着部材１２０の第一収容部１２４、ヘッド１４０の第二収容部１４４内に追加で流体通路の延長部を配置した点で相違する。なお、その他の構成で同様の要素を採用している部材について、図８（Ａ）及び図８（Ｂ）において、第一実施形態で用いた参照符号と同一の参照符号を付している。

本実施形態の保持ノズル３００は、第一収容部１２４の端面１２３に、第二流体通路１２５を軸方向に延長する第一延長部３０１が形成される。第一延長部３０１は、第二大径筒部１２０ｃのヘッド１４０側端面に形成された第二の当接部１２２よりも軸方向において吸着部材１２０の内方にとどまる長さに形成されている。つまり、第一延長部３０１は、第二の当接部１２２を越えて吸着部材１２０の外方に飛び出すことはない。また、付勢部材１５０は、第一収容部１２４内であって、第一延長部３０１の外周面側に配置される。こうすることで、付勢部材１５０をより安定して第一収容部１２４内に保持することができる。

また、本実施形態の保持ノズル３００は、第二収容部１４４の端面１４３に、接続通路１４５を軸方向に延長する第二延長部３０２が形成される。第二延長部３０２は、ヘッド１４０の接続部１４６の吸着部材１２０側端面に形成された第二の停止部１４２よりも軸方向においてヘッド１４０の内方にとどまる長さに形成されている。つまり、第二延長部３０２は、第二の停止部１４２を越えてヘッド１４０部材の外方に飛び出すことはない。また、付勢部材１５０は、第二収容部１４４内であって、第二延長部３０２の外周面側に配置される。こうすることで、付勢部材１５０をより安定して第二収容部１４４内に保持することができる。

保持ノズル３００の吸着動作は、上記した第一実施形態に係る保持ノズル１００の吸着動作と同様である。図８（Ｂ）に示すように、ワークＷの吸着保持が完了した状態で、第二の当接部と第二の停止部１４２とが当接して、吸着部材１２０の保持位置が規定される。

本実施形態によれば、付勢部材１５０を収容する第一収容部１２４及び第二収容部１４４に通路部分を形成することで、保持ノズル３００（収容部１３４）の内部空間の容積を小さくすることができる。こうすることで、吸着動作時に保持ノズル内から排出される空気の量を減少させることができ、吸着動作を迅速に行わせることができる。

＜第四実施形態＞
図９（Ａ）及び図９（Ｂ）に第四実施形態に係る保持ノズル４００を示す。本実施形態は、上記した第一実施形態に係る保持ノズル１００と、吸着部材１２０の第一収容部１２４及び第二当接部１２２、ヘッド１４０の第二収容部１４４、接続部１４６、第二停止部１４２が異なる点で相違する。なお、その他の構成で同様の要素を採用している部材について、図９（Ａ）及び図９（Ｂ）において、第一実施形態で用いた参照符号と同一の参照符号を付している。

本実施形態の保持ノズル４００は、第一実施形態の第一収容部１２４を形成する第二大径筒部１２０ｃの一部（周壁１２２ａ）に代えて、第二大径筒部１２０ｃの端面１２３に立設され、第二流体通路１２５を軸方向に延長する第三延長部４０１を備える。また、第三延長部４０１のヘッド１４０側端面には、第二の当接部４０２が形成される。したがって、第三延長部４０１の軸方向長さは、第一実施形態における第一収容部１２４の窪みの深さ（周壁部１２２ａの高さ）と等しく設定される。付勢部材１５０は、付勢部材１５０の端部内径と略等しい外径で形成された第三延長部４０１の外周面側に配置される。こうすることで、付勢部材１５０を安定して吸着部材１２０に保持することができる。

また、本実施形態の保持ノズル４００は、第一実施形態の第二収容部１４４を形成する接続部１４６の周壁部１４２ａおよび第二の停止部１４２に代えて、吸着部材１２０側に延びて形成される周壁の高さが低い周壁部１４２ａ’を備える。また、ヘッド１４０の内方端面１４３に立設され、接続通路１４５を軸方向に延長する第四延長部４０３を備えている。また、第四延長部４０３の吸着部材１２０側端面には、第二の停止部４０４が形成される。したがって、第四延長部４０３の軸方向長さは、第一実施形態における第二収容部１４４の窪みの深さ（周壁部１４２ａの高さ）と等しく設定される。付勢部材１５０は、付勢部材１５０の端部内径と略等しい外径で形成された第四延長部４０３の外周面側に配置される。こうすることで、付勢部材１５０を安定してヘッド１４０に保持することができる。

保持ノズル４００の吸着動作は、上記した第一実施形態に係る保持ノズル１００の吸着動作と同様である。図９（Ｂ）に示すように、ワークＷの吸着保持が完了した状態で、第三延長部４０１の第二の当接部４０２と第四延長部４０３の第二の停止部４０４とが当接して、吸着部材１２０の保持位置が規定される。

本実施形態によれば、第三延長部４０１と第四延長部４０３とが、吸着動作時に接続され、迅速に第二流体通路１２５と接続通路１４５とを連結するので、吸着動作を迅速に行わせることができる。また、第三延長部４０１と第四延長部４０３とが、付勢部材１５０を保持する機能を有することで、部品点数を増加させることがなく、軽量化に寄与できると共に、吸着動作を迅速に行わせることができる。

＜第五実施形態＞
図１０に第五実施形態に係る保持ノズル５００を示す。図１０は、ワークＷを未吸着時で保持ノズル５００に負圧を発生していない状態を示す。本実施形態は、上記した第一実施形態に係る保持ノズル１００と、筒体１３０の外周面形状が異なる点で相違する。なお、その他の構成で同様の要素を採用している部材について、図１０において、第一実施形態で用いた参照符号と同一の参照符号を付している。

本実施形態の保持ノズル５００は、筒部１２０ｂの摺動部１３１に対応する外周面であって、吸着部１１０側の外周面が断面視において緩やかな円弧を描く形状の湾曲面５０１となっている。こうすることで、上記した測定ユニットＭＵが、保持ノズル５００を吸着部１１０側（図１０中下側）から照明等を当てた際に、湾曲部５０１の外周面に投射された光の反射を拡散させることができる。こうすることで、測定ユニットＭＵが計測したワークＷの画像の輪郭を明瞭にし、計測誤差を減少させることができる。

なお、上記第二実施形態から第五実施形態として示す保持ノズルは、第一実施形態において説明した搬送装置Ａに適用される。また、本実施形態においては、一つの保持ユニット１０に対して４つの保持ノズルを備える構成を例示したが、保持ノズルの数および／または配置は、上記のものに限定されず、適宜設定される。例えば、３つの保持ノズルをワークＷの任意の三カ所を保持するように三角形状に配置することで少ない数で安定してワークＷを保持することができる。また、ワークＷのサイズが接触部１１３より若干大きいくらいのサイズであれば、一つの保持ノズルによりワークＷの保持を行ってもよい。また、長尺のワークＷであれば、ワークＷ両端部を保持するように二つの保持ノズルを配置することができる。また、第二実施形態で用いた吸着部材１２０と第一実施形態の吸着部材１２０とをお互いに入れ替えて採用してもよい。

１０ 保持ユニット、２０ 回転機構、３０ 昇降機構、４０ 移動機構、５０ 負圧発生源、１００、２００、３００、４００、５００ 保持ノズル、１１０ 吸着部、１２０ 吸着部材、１２１ 第一の当接部、１２２ 第二の当接部、１３０ 筒部（支持部材１０１）、１３２ 第一の停止部、１３４ 収容部、１４０ ヘッド（支持部材１０１）、１４２ 第二の停止部、１５０ 付勢部材、Ｗ ワーク

Claims (13)

1. ワークを負圧によって吸着保持する保持ノズルであって、
   前記ワークを吸着する吸着部が一方側に設けられた吸着部材と、
   負圧発生源に接続され、前記吸着部材の他方側を収容する収容部を備え、前記吸着部材を進退移動自在に支持する支持部材と、
   前記吸着部材を前記進退移動の前進方向側に付勢する付勢部材と、
   を備え、
   前記支持部材は、前記収容部に、前記吸着部材の前記進退移動の前進限界及び後退限界を規定する第１及び第２の停止部をそれぞれ備え、
   前記吸着部材は、前記他方側に、前記第１及び第２の停止部と当接する第１及び第２の当接部をそれぞれ備え、
   前記支持部材は、
   内部に前記吸着部材を摺動自在に収容する筒体と、
   該筒体の一方部に設けられ、前記負圧発生源に接続される接続通路を備えるヘッドと、を備え、
   前記筒体の内部と前記ヘッドとで囲まれた領域が前記収容部を構成し、
   前記筒体は、前記筒体の内部に前記第１の停止部を備え、
   前記ヘッドは、前記筒体の内部に位置する内方端部に前記第２の停止部を備えることを特徴とする保持ノズル。
2. 前記筒体は、その内部に内径が段差状に拡径される貫通孔部を備え、
   前記貫通孔部は、前記吸着部材が摺動する摺動部と、前記摺動部より大径の内周壁と、を少なくとも備え、
   前記第１の停止部は、前記摺動部と前記内周壁との接続箇所である第１の段部に形成されることを特徴とする請求項１に記載の保持ノズル。
3. 前記ヘッドは、前記収容部の周壁を形成する周壁部を備え、
   前記貫通孔部は、前記筒体に接続される前記周壁部の接続部が接続される前記内周壁より大径の被接続部を備えることを特徴とする請求項２に記載の保持ノズル。
4. 前記周壁部の内周面は、前記内周壁より小径に形成され、
   前記周壁部の接続部は、前記内周壁より大径に形成され、
   前記周壁部の軸方向の長さは、前記第２の停止部が前記筒体の規定部と、前記内周壁と前記被接続部との接続箇所に形成される第２の段差部との間の範囲に設定されるように形成されることを特徴とする請求項３に記載の保持ノズル。
5. 前記付勢部材は、一方の端部が前記吸着部材の他方側の端部に、他方の端部が前記ヘッドの前記内方端部に当接され、
   前記付勢部材の全長に対する前記吸引部材の移動ストロークの比が1/5〜1/10に設定され、
   前記付勢部材の前記全長とは、前記第１の当接部が前記第１の停止部に当接した状態における前記付勢部材の長さであることを特徴とする請求項１に記載の保持ノズル。
6. 前記吸着部材は、前記吸着部材の他方側の端部から前記ヘッド側へ延び、前記収容部の一方部分を形成し、前記付勢部材の一方の端部が収容される第一収容部を備え、
   前記ヘッドは、前記吸着部材の他方側の端部と対向する内側縁部から前記吸着部材側へ延び、前記収容部の他方部分を形成し、前記付勢部材の他方の端部が収容される第二収容部を備えることを特徴とする請求項５に記載の保持ノズル。
7. 前記ヘッドは、
   前記負圧発生源に接続される接続通路と、
   前記付勢部材の他方の端部が収容される前記第二収容部と、
   前記筒体の一方部と接続される接続部と、
   を備え、
   前記筒体は、前記接続部と接続される被接続部を備えることを特徴とする請求項６に記載の保持ノズル。
8. 前記吸着部材は、前記収容部と前記吸着部とを連通する流体通路を前記吸着部材の内部に備えることを特徴とする請求項１に記載の保持ノズル。
9. 前記ワークに接触される前記吸着部の先端は、平坦面に形成されることを特徴とする請求項１に記載の保持ノズル。
10. 請求項１から９のいずれか一項に記載の保持ノズルを少なくとも一つ備えた保持ユニットであって、
    前記保持ノズルが装着されるノズル支持部材と、
    該ノズル支持部材を昇降するノズル昇降機構と、
    を備えたことを特徴とする保持ユニット。
11. 複数の保持ノズルを備え、前記ノズル支持部材は、
    前記保持ノズルがそれぞれ装着される開口を有するノズル装着部と、
    前記負圧発生源と接続され、それぞれの前記ノズル装着部と接続される連通路を有する流体接続部と、
    を備えることを特徴とする請求項１０に記載の保持ユニット。
12. 請求項１０または１１に記載の保持ユニットを備えた搬送装置であって、
    前記保持ユニットを前記吸着部材の進退方向と平行な垂直軸の軸周りに移動させる回転機構と、
    前記保持ユニットを昇降させる昇降機構と、
    前記保持ユニットを前記垂直軸と直交する水平方向の移動をさせる移動機構と、
    を備えることを特徴とする搬送装置。
13. 前記保持ユニットに保持される前記ワークの水平方向位置及び前記水平方向と平行な面方向の姿勢を測定する測定ユニットと、
    該測定ユニットで測定したデータと前記ワークが搬送される搬送先の位置情報とを基に、前記回転機構及び前記移動機構の駆動を制御する駆動制御ユニットと、
    を備えることを特徴とする請求項１２に記載の搬送装置。

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